JP2020047767A - Feeding device of adhesive tape, feeding method, peeling device of sheet material, and peeling method - Google Patents

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Abstract

To prevent winding of an adhesive tape to a feeding reel when drawing and feeding the adhesive tape.SOLUTION: An adhesive tape feeding device 1 draws an adhesive tape T from a feeding reel 10 to which the adhesive tape T is wound to guide. The adhesive tape feeding device 1 is structured by: fixing means 23 of the feeding reel 10; an elevating roller 12 that is elevated so as to trace the feeding of the adhesive tape T from the feeding reel 10; tape fixing means 11c of fixing the adhesive tape T on a downstream side of the elevating roller 12 while nipping the adhesive tape; and drawing means 30 of drawing the adhesive tape T. After the adhesive tape T has been drawn by the drawing means 30, the adhesive tape wound to the feeding reel is peeled off by forcedly moving the elevating roller 12 to be tracked and moved by drawing the adhesive tape T so as to be tensed in a drawing direction of the adhesive tape T in a state where the adhesive tape T is fixed by the reel fixing means 23 and the tape fixing means 11c.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、各種の基板やシート材に粘着テープを貼り付けるために基板やシート材上に粘着テープを供給する粘着テープの供給装置及び供給方法に関する。さらに、偏光板や有機EL(以下、OLEDという。)等の被着体表面に仮着された保護シート上に粘着テープを供給して、前記保護シート上に粘着テープを貼り付け、前記粘着テープと一体に保護シートを剥離するシート材の剥離装置及び剥離方法に関する。   The present invention relates to an adhesive tape supply device and an adhesive tape supply method for supplying an adhesive tape onto a substrate or a sheet material in order to attach the adhesive tape to various substrates or sheet materials. Further, an adhesive tape is supplied onto a protective sheet temporarily attached to the surface of an adherend such as a polarizing plate or an organic EL (hereinafter, referred to as an OLED), and the adhesive tape is attached onto the protective sheet. The present invention relates to a sheet material peeling device and a peeling method for peeling a protective sheet integrally with the sheet material.

従来から、半導体ウエハ(以下、ウエハという。)等の基板の表面に貼り付けられた保護シートや偏光板の表面を保護する保護シートに剥離テープを貼り付けて、この剥離テープと一体に前記保護シートを剥離することが行われている(例えば、特許文献1)。   2. Description of the Related Art Conventionally, a release tape has been applied to a protective sheet attached to the surface of a substrate such as a semiconductor wafer (hereinafter, referred to as a wafer) or a protective sheet for protecting the surface of a polarizing plate, and the protection is integrally formed with the release tape. A sheet is peeled off (for example, Patent Document 1).

最近では、OLEDパネルの製造に当たり、OLED表面に仮着されている保護シートを剥離し、OLED表面に偏光板等の光学シートを貼り付けることが行われている。
しかし、前記OLEDは、柔軟性があり、また、その表面に仮着されている保護シートは剛性を有する樹脂材料で形成されているため、前記保護シートは、剥離が困難となっている。
Recently, when manufacturing an OLED panel, a protective sheet temporarily attached to the OLED surface is peeled off, and an optical sheet such as a polarizing plate is attached to the OLED surface.
However, the OLED is flexible, and the protective sheet temporarily attached to the surface thereof is formed of a rigid resin material, so that the protective sheet is difficult to peel.

従って、粘着性のある剥離テープで被着体から前記保護シートを剥離する場合、粘着力が低い剥離テープを用いると、前記保護シートの剛性に負けて、剥離テープが保護シートから剥がれて剥離ミスが発生する問題があった。そこで、前記保護シートを剥離するに当たり、粘着力が強い剥離テープが用いられるようになってきている。   Therefore, when the protective sheet is peeled from the adherend with an adhesive release tape, if a release tape having a low adhesive strength is used, the rigidity of the protective sheet is lost, and the release tape is peeled off from the protective sheet and a peeling error occurs. There was a problem that occurred. Therefore, in peeling the protective sheet, a peeling tape having a strong adhesive force has been used.

特開平9−114384号公報JP-A-9-114384

ところで、上記のように被着体から保護シートを剥離するに当たり、粘着力が強い剥離テープを用いた場合、前記剥離テープを供給する際に、前記剥離テープの粘着力により、供給リールに剥離テープが貼り付いた状態で送り出される。そのため、粘着テープの供給不良が生じ、装置を停止させて剥離テープの貼り付きを解消する必要があり、装置の稼働率が低下する問題がある。そこで、このように粘着力の強い剥離テープを用いた場合であっても、剥離テープを円滑に供給し、装置の停止時間を最小限にする必要がある。また、適宜の粘着力を有する剥離テープを保護シート上に貼り付けることにより、前記保護シートを円滑に剥離させる必要もある。   By the way, when peeling the protective sheet from the adherend as described above, when a strong adhesive tape is used, when supplying the release tape, the adhesive tape of the release tape causes the release tape to be supplied to the supply reel. Is sent in a state where is stuck. For this reason, a supply failure of the adhesive tape occurs, and it is necessary to stop the apparatus to eliminate the sticking of the release tape, and there is a problem that the operation rate of the apparatus decreases. Therefore, even when a peeling tape having a strong adhesive force is used, it is necessary to smoothly supply the peeling tape and minimize the downtime of the apparatus. In addition, it is necessary that the protective sheet is smoothly peeled off by attaching a release tape having an appropriate adhesive force on the protective sheet.

上記のような課題に鑑み、本発明は、各種粘着テープを円滑に供給するテープの供給装置及び供給方法を提供すると共に各種シート材の剥離装置及び剥離方法を提供することを目的とする。   In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a tape supply device and a supply method for smoothly supplying various adhesive tapes, and an object of the present invention to provide a device and a method for releasing various sheet materials.

請求項1の発明は、粘着テープを巻き回した供給リールから前記粘着テープを引き出して案内する粘着テープの供給装置において、
前記供給リールの固定手段と、
前記供給リールからの粘着テープの供給に追従して昇降する昇降ローラと、
前記昇降ローラの下流側で前記粘着テープを挟持して固定するテープ固定手段と、
前記粘着テープを引き出す引き出し手段と、を備え、
前記引き出し手段で粘着テープを引き出した後、前記リール固定手段と前記テープ固定手段で前記粘着テープを固定した状態で、前記粘着テープの引き出しによって追従移動した前記昇降ローラを粘着テープの引き出し方向に引っ張るように強制的に移動させるようにした構成を採用する粘着テープの供給装置である。
The invention according to claim 1 is a pressure-sensitive adhesive tape supply device that pulls out and guides the pressure-sensitive adhesive tape from a supply reel around which the pressure-sensitive adhesive tape is wound,
Fixing means for the supply reel,
An elevating roller that moves up and down following supply of the adhesive tape from the supply reel,
Tape fixing means for pinching and fixing the adhesive tape on the downstream side of the elevating roller,
Withdrawing means for pulling out the adhesive tape,
After the adhesive tape is pulled out by the pulling-out means, in a state where the adhesive tape is fixed by the reel fixing means and the tape fixing means, the lifting roller moved by following the pulling-out of the adhesive tape is pulled in the direction of pulling out the adhesive tape. This is a pressure-sensitive adhesive tape supply device that employs a configuration that is forcibly moved.

請求項2の発明は、被着体の表面に仮着されたシート材に粘着テープを供給する供給リールと、前記シート材を表面にして保持する保持テーブルと、前記供給リールから供給された前記粘着テープを折り返す剥離板とを備え、前記シート材に前記粘着テープを貼り付けて、前記保持テーブルと剥離板とを相対的に移動させることで、前記粘着テープを前記剥離板で折り返すことにより、前記シート材を前記粘着テープと一体に剥離するシート材の剥離装置において、
前記供給リールの固定手段と、
前記供給ロールからの粘着テープの供給に追従して昇降する昇降ローラと、
前記昇降ローラの下流側で前記粘着テープを挟持して固定するテープ固定手段と、
前記前記シート材と対向するように前記粘着テープを引き出す引き出し手段と、を備え、
前記引き出し手段で、前記粘着テープを引き出した後、前記リール固定手段と前記テープ固定手段で前記粘着テープを固定した状態で、前記粘着テープの引き出し方向に引っ張るように前記昇降ローラを強制的に移動させるようにした構成を採用するシート材の剥離装置である。
The invention according to claim 2 is a supply reel that supplies an adhesive tape to a sheet material temporarily attached to the surface of the adherend, a holding table that holds the sheet material on the surface, and the supply reel that is supplied from the supply reel. With a peeling plate that folds the adhesive tape, by sticking the adhesive tape to the sheet material, by relatively moving the holding table and the peeling plate, by folding the adhesive tape with the peeling plate, In a sheet material peeling device that peels the sheet material integrally with the adhesive tape,
Fixing means for the supply reel,
An elevating roller that moves up and down following the supply of the adhesive tape from the supply roll,
Tape fixing means for pinching and fixing the adhesive tape on the downstream side of the elevating roller,
Drawing out means for pulling out the pressure-sensitive adhesive tape so as to face the sheet material,
After the adhesive tape is pulled out by the drawer, the lifting roller is forcibly moved so that the adhesive tape is pulled in a direction in which the adhesive tape is pulled out while the adhesive tape is fixed by the reel fixing means and the tape fixing means. This is a sheet material peeling device that employs a configuration that allows the sheet material to be removed.

請求項3の発明は、粘着テープを巻き回した供給リールから粘着テープを引き出して案内する粘着テープの供給方法において、
前記供給リールから粘着テープを隣接するガイドローラを経由して前記粘着テープに追従して昇降自在な昇降ローラに巻き掛け、
前記供給リールから粘着テープを引き出すことで、前記粘着テープに追従して移動した昇降ローラを、
前記供給リールの回転を固定すると共に前記昇降ローラの下流側で前記粘着テープを固定した後、前記粘着テープの引き出し方向に引っ張るように前記昇降ローラを強制的に移動させるようにした構成を採用する粘着テープの供給方法である。
The invention according to claim 3 is a method for supplying an adhesive tape that draws out and guides the adhesive tape from a supply reel around which the adhesive tape is wound,
The adhesive tape from the supply reel is wound around a vertically movable roller that can move up and down following the adhesive tape via an adjacent guide roller,
By pulling out the adhesive tape from the supply reel, the elevating roller moved following the adhesive tape,
After the rotation of the supply reel is fixed and the adhesive tape is fixed on the downstream side of the elevating roller, a configuration is adopted in which the elevating roller is forcibly moved so as to be pulled in the pull-out direction of the adhesive tape. This is a method of supplying an adhesive tape.

請求項4の発明は、供給リールに巻回された粘着テープを剥離板上に引き出し、シート材が仮着された被着体を保持テーブルに保持した状態で前記剥離板上の粘着テープと前記シート材を貼り付けた後、前記保持テーブルと剥離板とを相対的に移動させることで、前記粘着テープを前記剥離板で折り返すことにより、前記シート材を前記粘着テープと一体に剥離するシート材の剥離方法において、
前記供給リールから粘着テープを隣接するガイドローラを経由して前記粘着テープに追従して昇降自在な昇降ローラに巻き掛けた後、前記粘着テープを剥離板上に引き出すようにしておき、
前記供給リールから粘着テープを引き出し、前記粘着テープに追従して移動した昇降ローラを、前記供給リールの回転を固定すると共に前記昇降ローラの下流側で前記粘着テープを固定した後、前記粘着テープの引き出し方向に引っ張るように前記昇降ローラを強制的に移動させるようにした構成を採用するシート材の剥離方法である。
The invention according to claim 4, wherein the adhesive tape wound on the supply reel is pulled out onto a release plate, and the adhesive tape on the release plate and the adhesive tape on which the sheet material is temporarily attached are held on a holding table while holding the adherend. A sheet material that peels the sheet material integrally with the adhesive tape by folding the adhesive tape by the release plate by relatively moving the holding table and the release plate after attaching the sheet material. In the method of peeling,
After winding the adhesive tape from the supply reel to a lift roller capable of moving up and down following the adhesive tape via an adjacent guide roller, the adhesive tape is drawn out onto a peeling plate,
Pulling out the adhesive tape from the supply reel, moving the lifting roller moved following the adhesive tape, fixing the rotation of the supply reel and fixing the adhesive tape on the downstream side of the lifting roller, This is a sheet material peeling method employing a configuration in which the elevating roller is forcibly moved so as to be pulled in a pull-out direction.

請求項1及び3の発明によれば、粘着テープを繰り出す際にその粘着力により、供給リールに粘着テープが巻き付いた場合であっても、昇降ローラを粘着テープの引き出し方向に引っ張るように移動させるので、巻き付いた部分の粘着テープが引き剥がされ、供給不良が解消される。   According to the first and third aspects of the present invention, when the adhesive tape is fed, even when the adhesive tape is wound around the supply reel, the elevating roller is moved so as to be pulled in the direction in which the adhesive tape is drawn out. Therefore, the adhesive tape of the wrapped portion is peeled off, and supply failure is eliminated.

請求項2及び4の発明によれば、被着体に強固に貼り付いたシート材を剥離する際に、粘着力の強い粘着テープを用いても、供給リールに巻き付いた粘着テープを引き剥がすことができるので、シート材剥離に適した各種の粘着テープを使用することができる。   According to the second and fourth aspects of the present invention, when the sheet material firmly adhered to the adherend is peeled off, the adhesive tape wound around the supply reel is peeled off even if a strong adhesive tape is used. Therefore, various adhesive tapes suitable for peeling the sheet material can be used.

は、本発明の粘着テープ供給装置を適用したシート材剥離装置の平面図である。1 is a plan view of a sheet material peeling device to which an adhesive tape supply device of the present invention is applied. は、図1のA−A方向断面矢視図である。FIG. 2 is a sectional view taken in the direction of arrows AA in FIG. 1. は、図1の右側面図である。FIG. 2 is a right side view of FIG. は、図2のB−B方向矢視図である。FIG. 3 is a view taken in the direction of arrows BB in FIG. 2. は、本発明の粘着テープ供給装置及びシート材剥離装置の動作説明図である。FIG. 4 is an operation explanatory view of the pressure-sensitive adhesive tape supply device and the sheet material peeling device of the present invention. は、本発明の粘着テープ供給装置及びシート材剥離装置の動作説明図である。FIG. 4 is an operation explanatory view of the pressure-sensitive adhesive tape supply device and the sheet material peeling device of the present invention. は、本発明の粘着テープ供給装置及びシート材剥離装置の動作説明図である。FIG. 4 is an operation explanatory view of the pressure-sensitive adhesive tape supply device and the sheet material peeling device of the present invention. は、本発明の粘着テープ供給装置及びシート材剥離装置の動作説明図である。FIG. 4 is an operation explanatory view of the pressure-sensitive adhesive tape supply device and the sheet material peeling device of the present invention. は、本発明の粘着テープ供給装置及びシート材剥離装置の動作説明図である。FIG. 4 is an operation explanatory view of the pressure-sensitive adhesive tape supply device and the sheet material peeling device of the present invention. は、本発明のシート材剥離装置の動作説明図である。FIG. 4 is an operation explanatory view of the sheet material peeling device of the present invention.

以下、本発明の一実施形態である粘着テープ供給装置を適用したシート材剥離装置について図1から図4に基づいて説明する。
図示のように、シート材剥離装置2は、剥離テープとなる粘着テープTを供給する粘着テープ供給装置1と、剥離ユニット30等を備えて構成されている。
Hereinafter, a sheet material peeling device to which an adhesive tape supply device according to one embodiment of the present invention is applied will be described with reference to FIGS.
As shown in the figure, the sheet material peeling device 2 includes an adhesive tape supply device 1 that supplies an adhesive tape T serving as a peeling tape, a peeling unit 30, and the like.

図2から図4のように前記粘着テープ供給装置1は、機台3と、前記機台3の幅方向に所定の間隔を空けて立設された支持枠4、4と、両支持枠4、4上に水平に設けられた支持台5に囲まれて形成されている。   As shown in FIGS. 2 to 4, the adhesive tape supply device 1 includes a machine base 3, support frames 4, 4 erected at predetermined intervals in the width direction of the machine base 3, and both support frames 4. , 4 and is surrounded by a support table 5 provided horizontally.

また、前記粘着テープ供給装置1は、前記粘着テープTが巻回された供給リール10と、前記粘着テープTを案内するガイドローラ11aと、前記ガイドローラ11aで案内された粘着テープTが巻き掛けられると共に粘着テープTの供給に追従して昇降自在な供給側昇降ローラ12と、前記供給側昇降ローラ12を経由した後、前記粘着テープTが巻き掛けられるガイドローラ11bと、テープ引き出し手段となる剥離ユニット30等を備えて構成されている。   Further, the adhesive tape supply device 1 includes a supply reel 10 around which the adhesive tape T is wound, a guide roller 11a for guiding the adhesive tape T, and an adhesive tape T guided by the guide roller 11a. A supply-side elevating roller 12 that can be moved up and down following the supply of the adhesive tape T, a guide roller 11b around which the adhesive tape T is wound after passing through the supply-side elevating roller 12, and a tape drawing means. It is configured to include a peeling unit 30 and the like.

前記供給リール10は、一方の支持枠4に軸支され、前記支持枠4に設けられたモータ15が、適宜のプーリとベルトを介して接続されている。前記モータ15は、前記供給リール10に適宜の引っ張り力を付与し、前記粘着テープTの繰り出しを制限すると共に、前記粘着テープTに適宜の張力を付与するようになっている。また、前記供給リール10の軸を押圧することで前記軸を固定する固定手段23が設けられ、前記固定手段23に接続されたシリンダ24の作用で前記回収リール14の軸を押圧して回転を防止するようになっている。   The supply reel 10 is pivotally supported by one of the support frames 4, and a motor 15 provided on the support frame 4 is connected to an appropriate pulley and a belt. The motor 15 applies an appropriate pulling force to the supply reel 10, restricts the feeding of the adhesive tape T, and applies an appropriate tension to the adhesive tape T. Further, fixing means 23 for fixing the shaft by pressing the shaft of the supply reel 10 is provided, and the shaft of the collection reel 14 is pressed by the action of a cylinder 24 connected to the fixing means 23 to rotate. To prevent it.

前記供給リール10は、本実施形態においては、細幅で比較的粘着力が強い剥離テープとしての粘着テープTが巻回されている。前記粘着力は、例えば有機ELパネル(以下OLEDという。)の表面保護として仮着されているセパレータ(シート材に相当。)を剥離できる程度あれば良いが、セパレータの剛性が高い場合やOLEDの柔軟性が高く、セパレータが剥がれ難い場合は、粘着力を上げても良い。   In the present embodiment, the supply reel 10 is wound with an adhesive tape T as a release tape having a narrow width and a relatively strong adhesive force. The adhesive force may be such that the separator (corresponding to a sheet material) temporarily attached as surface protection of an organic EL panel (hereinafter referred to as OLED) can be peeled off. When the separator has high flexibility and is hard to peel off, the adhesive strength may be increased.

前記粘着テープTは、ガイドローラ11b、11cを経由し、支持板5の開口5aを介してガイドローラ31aに導かれた後、剥離ユニット30に供給されるようになっている。前記剥離ユニット30に導かれた粘着テープTは、ガイドローラ31dを経由し、開口5bを介して回収側昇降ローラ13に巻き掛けられ、ガイドローラ11dを経て回収リール14に巻き取られるようになっている。   The pressure-sensitive adhesive tape T is guided to the guide roller 31a via the opening 5a of the support plate 5 via the guide rollers 11b and 11c, and then supplied to the peeling unit 30. The adhesive tape T guided to the peeling unit 30 is wound around the collection-side elevating roller 13 via the opening 5b via the guide roller 31d, and is wound on the collection reel 14 via the guide roller 11d. ing.

前記供給側昇降ローラ12は、スライダ16に固定された支持板に軸支され、前記スライダ16は、前記支持枠4の上下方向に沿って立設された昇降ユニット17に接続されている。前記昇降ユニット17は、上下方向のレール17aが設けられ、適宜の駆動源(例えばシリンダやモータ。)で前記スライダ16を強制的に下降させることが可能になっている。従って、前記スライダ16の下降により、前記供給側昇降ローラ12が下降して前記粘着テープTを引き出し方向に引っ張るようになっている。また、前記供給側昇降ローラ12は、上昇時に自由状態となり、掛け渡された粘着テープTの供給に追従して上昇可能になっている。   The supply-side elevating roller 12 is pivotally supported by a support plate fixed to a slider 16, and the slider 16 is connected to an elevating unit 17 erected vertically along the support frame 4. The elevating unit 17 is provided with a vertical rail 17a, and can forcibly lower the slider 16 by an appropriate driving source (for example, a cylinder or a motor). Therefore, when the slider 16 is lowered, the supply-side elevating roller 12 is lowered to pull the adhesive tape T in the pull-out direction. In addition, the supply-side elevating roller 12 is in a free state when ascending, and is capable of ascending following the supply of the spread adhesive tape T.

前記ガイドローラ11cは、前記供給側昇降ローラ12の下流側に位置し、前記ガイドローラ11cの近傍に粘着テープTを挟持して固定するテープチャック18(本発明のテープ固定手段に相当。)が設けられている。前記テープチャック18は、シリンダ19が接続され、前記シリンダ19により開閉可能になっている。   The guide roller 11c is located on the downstream side of the supply-side elevating roller 12, and has a tape chuck 18 (corresponding to a tape fixing unit of the present invention) for holding and fixing an adhesive tape T near the guide roller 11c. Is provided. The tape chuck 18 is connected to a cylinder 19 and can be opened and closed by the cylinder 19.

前記回収側昇降ローラ13は、スライダ20に固定された支持板に軸支され、前記スライダ20は、支持枠4の上下方向に沿って設けられた軸21に昇降可能に軸支されている。また、前記スライダ20は、掛け渡された粘着テープTの供給に追従して昇降動するようになっている。従って、前記スライダ20の昇降動に伴って、前記回収側昇降ローラ13は昇降動するようになっている。   The recovery-side elevating roller 13 is pivotally supported by a support plate fixed to a slider 20, and the slider 20 is rotatably supported by a shaft 21 provided along the vertical direction of the support frame 4 so as to be able to move up and down. The slider 20 moves up and down in accordance with the supply of the adhesive tape T that has been wound. Therefore, as the slider 20 moves up and down, the recovery-side elevating roller 13 moves up and down.

前記回収リール14は、モータ22が接続され、粘着テープTと剥離されたシート材Sを巻き取るようになっている。また、前記回収リール14の軸を押圧することで前記軸を固定する固定手段25が設けられ、前記固定手段25に接続されたシリンダ26の作用で前記回収リール14の軸を押圧することで回転を防止するようになっている。   The collection reel 14 is connected to a motor 22 so as to take up the adhesive tape T and the separated sheet material S. Further, fixing means 25 for fixing the shaft by pressing the shaft of the collecting reel 14 is provided, and the shaft of the collecting reel 14 is rotated by pressing the shaft of the collecting reel 14 by the action of a cylinder 26 connected to the fixing means 25. Is to be prevented.

本発明のテープ引き出し手段を兼ねる剥離ユニット30についての詳細は後述する。本発明におけるテープ引き出し手段は、前記供給側昇降ローラ13の下流側で、粘着テープTを引き出せる機構であれば各種のものが採用できる。例えば、粘着テープTを挟持して前記粘着テープTを供給する方向に移動して引き出すものや、前記粘着テープTを巻き取ることによって引き出すものを採用できる。   Details of the peeling unit 30 which also functions as the tape pull-out means of the present invention will be described later. As the tape pull-out means in the present invention, various mechanisms can be adopted as long as the mechanism can pull out the adhesive tape T on the downstream side of the supply-side elevating roller 13. For example, it is possible to employ a device that holds the pressure-sensitive adhesive tape T and moves it in the direction in which the pressure-sensitive adhesive tape T is supplied, and pulls out the same.

以上が、本発明の粘着テープ供給装置1の構成であり、次にこの粘着テープ供給装置1を適用したシート材剥離装置2について以下に説明する。
本実施形態においては、OLEDの表面に保護シートとしてのシート材Sが仮着された被着体6から前記シート材Sを剥離する場合を例として説明する。
The above is the configuration of the pressure-sensitive adhesive tape supply device 1 of the present invention. Next, the sheet material peeling device 2 to which the pressure-sensitive adhesive tape supply device 1 is applied will be described below.
In the present embodiment, an example will be described in which the sheet material S is peeled off from the adherend 6 on which the sheet material S as a protective sheet is temporarily attached to the surface of the OLED.

前記シート材剥離装置2は、前記粘着テープ供給装置1の上部となる支持板5上に立設されている。また、前記シート材剥離装置2は、前記被着体6をその下面で吸着保持する保持テーブル27と、前記被着体6に仮着されたシート材Sに粘着テープTを貼り付けて前記粘着テープTと一体にシート材Sを剥離する剥離ユニット30と、複数のガイドローラ31a、31d等を備えて構成されている。   The sheet material peeling device 2 is provided upright on a support plate 5 which is an upper portion of the adhesive tape supply device 1. In addition, the sheet material peeling device 2 includes a holding table 27 that suction-holds the adherend 6 on its lower surface, and an adhesive tape T that is attached to a sheet material S temporarily attached to the adherend 6, and It comprises a peeling unit 30 for peeling off the sheet material S integrally with the tape T, and a plurality of guide rollers 31a and 31d.

前記支持板5上には、その幅方向と垂直に適宜の間隔を空けて2枚の側板37、37が立設されている。前記側板37、37の内側上部には、それぞれ対向するようにレール38、38が、前後方向(図示左右方向)に沿って敷設されている。   On the support plate 5, two side plates 37, 37 are provided upright at appropriate intervals perpendicular to the width direction. Rails 38, 38 are laid along the front-rear direction (left-right direction in the drawing) on the inner upper portions of the side plates 37, 37 so as to face each other.

前記保持テーブル27は、裏面側に図示しない適宜の吸着孔が穿設され、前記被着体6を吸着保持するようになっている。また、前記保持テーブル27は、図示しない適宜の駆動機構により水平動自在に構成され、前記被着体6を剥離ユニット30上に搬送するようになっている。   The holding table 27 is provided with an appropriate suction hole (not shown) on the back surface side to suck and hold the adherend 6. The holding table 27 is configured to be horizontally movable by an appropriate driving mechanism (not shown), and is configured to transport the adherend 6 onto the peeling unit 30.

本発明のテープ引き出し手段も兼ねる前記剥離ユニット30は、支持枠35、35間に形成され、前記支持枠35、35の外側側面には、スライダ39、39が設けられている。前記スライダ39、39は、それぞれ前記レール38、38に嵌合し、前記レール38、38に沿って移動可能になっている。また、一方の側板37には、前記レール38に沿ってボールネジ40が設けられ、前記ボールネジ40の一端にモータ41が接続されている。また、前記支持枠35の一方には、ナット部材42が設けられ、前記ナット部材42は、前記ボールネジ40に螺合している。従って、前記モータ41を正逆駆動することで前記剥離ユニット30は、前記レール38に沿って水平動自在になっており、その前進の際に前記粘着テープTを引っ張って引き出すようになっている。   The peeling unit 30, which also functions as the tape pulling-out means of the present invention, is formed between the support frames 35, 35, and sliders 39, 39 are provided on the outer side surfaces of the support frames 35, 35. The sliders 39, 39 are fitted on the rails 38, 38, respectively, and are movable along the rails 38, 38. A ball screw 40 is provided on one side plate 37 along the rail 38, and a motor 41 is connected to one end of the ball screw 40. A nut member 42 is provided on one side of the support frame 35, and the nut member 42 is screwed to the ball screw 40. Therefore, the peeling unit 30 is horizontally movable along the rail 38 by driving the motor 41 in the forward and reverse directions, and pulls out the adhesive tape T at the time of its forward movement. .

また、前記剥離ユニット30は、前記粘着テープTに貼り付けられたシート材Sを急激に折り返すことにより、前記シート材Sを粘着テープTと一体に剥離させる剥離板32と、粘着テープTを案内する2つのガイドローラ31b、31cと、前記ガイドローラ31cに掛け渡された粘着テープTを挟持して固定するテープチャック33等を備えて構成されている。   Further, the peeling unit 30 guides the peeling plate 32 that peels off the sheet material S integrally with the adhesive tape T by rapidly folding the sheet material S stuck on the adhesive tape T, and the adhesive tape T. And two guide rollers 31b and 31c, and a tape chuck 33 for holding and fixing the adhesive tape T wound around the guide roller 31c.

前記剥離板32は、矩形状の薄板で形成され、両側面が支持枠35、35に支持されている。また、前記剥離板32の下面の前方先端部は鋭角に形成され、粘着テープTを急激に折り返すことにより、前記粘着テープTに貼り付いたシート材Sを被着体6から剥離するようになっている。   The peeling plate 32 is formed of a rectangular thin plate, and both side surfaces are supported by support frames 35. The front end of the lower surface of the peeling plate 32 is formed at an acute angle, and the sheet material S adhered to the adhesive tape T is peeled off from the adherend 6 by rapidly folding the adhesive tape T. ing.

前記ガイドローラ31aは、支持板5上に立設された2本の支柱7、7間に軸支され、供給された粘着テープTを剥離板32上に水平に案内するようになっている。   The guide roller 31a is rotatably supported between two columns 7, 7 erected on the support plate 5, and guides the supplied adhesive tape T horizontally on the peeling plate 32.

また、前記支持枠35、35間の前方部で前記剥離板32の下方にガイドローラ31bが軸支され、後方に向けて前記粘着テープTを案内するようになっている。また、前記ガイドローラ31bの後方には、ガイドローラ31cが前記支持枠35、35間に軸支され、前記粘着テープTを前方のガイドローラ31dへと案内するようになっている。   A guide roller 31b is pivotally supported below the peeling plate 32 at a front portion between the support frames 35, and guides the adhesive tape T rearward. Behind the guide roller 31b, a guide roller 31c is pivotally supported between the support frames 35, 35 to guide the adhesive tape T to the front guide roller 31d.

前記ガイドローラ31cの後方には、支持板36が、前記支持枠35、35間に懸架
され、前記支持板36にシリンダ34が固定されている。前記シリンダ34にはテープチャック33が、前記ガイドローラ31cと対向するように設けられ、前記テープチャック33は、前記シリンダ34の作用により、前記粘着テープTをガイドローラ31cとの間で挟持して固定するようになっている。
Behind the guide roller 31c, a support plate 36 is suspended between the support frames 35, 35, and a cylinder 34 is fixed to the support plate 36. A tape chuck 33 is provided on the cylinder 34 so as to face the guide roller 31c. The tape chuck 33 nips the adhesive tape T between the cylinder 34 and the guide roller 31c by the action of the cylinder 34. It is designed to be fixed.

前記ガイドローラ31dは、支持板5の前方に立設された2本の支柱8、8の上部に軸支されており、前記ガイドローラ31cから案内された粘着テープTを下方の回収側昇降ローラ13に案内するようになっている。またガイドローラ31dの前方側にはテープチャック43が設けられ、前記支柱8、8間の支持枠に設けられたシリンダ44に接続されている。前記テープチャック43は、前記シリンダ44の作用により、前記粘着テープTを前記ガイドローラ31dとの間で挟持して固定するようになっている。   The guide roller 31d is pivotally supported on the upper portions of two columns 8, 8 erected in front of the support plate 5, and lowers the adhesive tape T guided by the guide roller 31c to a lower collecting side elevating roller. 13. A tape chuck 43 is provided on the front side of the guide roller 31d, and is connected to a cylinder 44 provided on a support frame between the columns 8 and 8. The tape chuck 43 nips and fixes the adhesive tape T with the guide roller 31 d by the action of the cylinder 44.

前記粘着テープTは、前記テープチャック33を閉じて前記粘着テープTを固定した状態で前記剥離ユニット30を前進させることにより、引き出されるようになっている。   The adhesive tape T is pulled out by moving the peeling unit 30 forward with the tape chuck 33 closed and the adhesive tape T fixed.

以上が、本発明の粘着テープ供給装置及びシート材剥離装置の構成であり、次に図5から図10に基づいて粘着テープTの供給動作及びシート材の剥離動作について説明する。   The above is the configuration of the pressure-sensitive adhesive tape supply device and the sheet material peeling device of the present invention. Next, the supply operation of the pressure-sensitive adhesive tape T and the sheet material peeling operation will be described with reference to FIGS.

図5は、前記シート材剥離装置2での剥離動作の初期状態を表し、前記剥離ユニット30が前進位置に位置する。なお、この初期状態に先立ち保持テーブル27の下面に被着体6を吸着保持し、剥離板32上に前記被着体6を搬送する。前記被着体6は、図10のように頂点部の一つが先端となるように剥離板32上の粘着テープT上に位置させられ、前記被着体6の対角線方向と粘着テープTの供給方向が一致するように被着体6が粘着テープT上に押し付けられ、貼り付けされる。このとき、テープチャック18及び43は、閉じられ粘着テープTが固定される。また、供給側の固定手段23及び回収側の固定手段25も閉じられ、供給リール10及び回収リール14が固定される。また、供給側の昇降ローラ16は、下降位置に位置し、回収側昇降ローラ13は、上昇位置に位置する。   FIG. 5 shows an initial state of the peeling operation in the sheet material peeling device 2, and the peeling unit 30 is located at the forward position. Prior to this initial state, the adherend 6 is suction-held on the lower surface of the holding table 27, and the adherend 6 is transported onto the peeling plate 32. The adherend 6 is positioned on the adhesive tape T on the peeling plate 32 such that one of the apexes is the tip as shown in FIG. 10, and the diagonal direction of the adherend 6 and the supply of the adhesive tape T The adherend 6 is pressed and adhered onto the adhesive tape T so that the directions match. At this time, the tape chucks 18 and 43 are closed and the adhesive tape T is fixed. Further, the fixing means 23 on the supply side and the fixing means 25 on the collection side are also closed, and the supply reel 10 and the collection reel 14 are fixed. The supply-side lifting roller 16 is located at the lowered position, and the collection-side lifting roller 13 is located at the raised position.

次に図6のように保持テーブル27を固定状態で剥離ユニット30を後退させると、前記被着体6は、保持テーブル27に保持されたままであるので、粘着テープTが引っ張られて剥離板32の先端部分で急激に折り返され、シート材Sが粘着テープTと一体に剥離される。   Next, when the peeling unit 30 is retracted with the holding table 27 fixed as shown in FIG. 6, the adherend 6 is still held by the holding table 27, so that the adhesive tape T is pulled to release the peeling plate 32. Is sharply folded at the leading end of the sheet material, and the sheet material S is peeled off integrally with the adhesive tape T.

図7のように前記テープチャック18及び43が解放され、前記テープチャック33が閉じられる。また、前記固定手段23が解放される(前記固定手段25は閉じた状態)。この状態で前記剥離ユニット30二点鎖線位置から実線位置へと前進する。これにより、供給リール10から粘着テープTが引っ張られ、供給側昇降ローラ12が追従して上昇する。このとき、前記粘着テープTの粘着力が高いときは、モータ15でバックテンションを付与していても、粘着テープTが剥がれずに図示のごとく巻き付いた状態となる場合がある。なお、図示の粘着テープTの弛みは、理解を容易にするため、誇張して描いていることに留意されたい。一方、回収側の供給側昇降ローラ12は、粘着テープTに追従して下降していく。   As shown in FIG. 7, the tape chucks 18 and 43 are released, and the tape chuck 33 is closed. Further, the fixing means 23 is released (the fixing means 25 is closed). In this state, the peeling unit 30 advances from the two-dot chain line position to the solid line position. As a result, the adhesive tape T is pulled from the supply reel 10, and the supply-side elevating roller 12 follows and rises. At this time, when the adhesive force of the adhesive tape T is high, the adhesive tape T may be wound as shown in the figure without peeling even if the back tension is applied by the motor 15. It should be noted that the looseness of the illustrated adhesive tape T is exaggerated for easy understanding. On the other hand, the supply-side elevating roller 12 on the collection side descends following the adhesive tape T.

次に図8のようにテープチャック18及び45が閉じてガイドローラ11c及び31d間の粘着テープTが固定され、テープチャック33が解放される。   Next, as shown in FIG. 8, the tape chucks 18 and 45 are closed, the adhesive tape T between the guide rollers 11c and 31d is fixed, and the tape chuck 33 is released.

図9のように固定手段25が解放され、回収リール14が巻き取り駆動されることにより、回収側昇降ローラ13が粘着テープTに追従して上昇する。前記回収側昇降ローラ13が所定量上昇すると、図示しない適宜のセンサが検知して、巻き取りを停止する。一方、供給リール10は、固定手段23が閉じて固定され、この状態で、供給側昇降ローラ12が強制的に下降端に下降され、供給リール10に巻き付いた粘着テープTが剥離されて弛みが解消される。このように、強制的に供給リール10に巻き付いた粘着テープTを剥離するので、特に被着体6から剥離し難いシート材Sであっても粘着テープTの粘着力を上げて、剥離することができる。   As shown in FIG. 9, the fixing unit 25 is released, and the collection reel 14 is driven to wind up, so that the collection-side elevating roller 13 moves up following the adhesive tape T. When the collecting-side elevating roller 13 rises by a predetermined amount, an appropriate sensor (not shown) detects this and stops winding. On the other hand, the supply reel 10 is fixed by closing the fixing means 23. In this state, the supply-side elevating roller 12 is forcibly lowered to the lower end, and the adhesive tape T wound around the supply reel 10 is peeled off and loosened. Will be resolved. As described above, since the adhesive tape T wound around the supply reel 10 is forcibly peeled off, the adhesive force of the adhesive tape T is increased even if the sheet material S is difficult to be peeled off from the adherend 6 in particular. Can be.

上記により、シート材剥離装置2が初期状態に復帰し、次の被着体6が搬送されてシート材Sの剥離に供される。前記工程を繰り返し行うことで連続して被着体6からシート材Sが剥離される。   As described above, the sheet material peeling device 2 returns to the initial state, and the next adherend 6 is transported and used for peeling the sheet material S. The sheet material S is continuously peeled off from the adherend 6 by repeating the above steps.

以上が、本発明の一実施形態に係る粘着テープ供給装置及びシート材剥離装置であるが、本発明は上記の実施形態に限定されず、発明の範囲内で適宜の変更ができる。例えば、本実施形態においては、シート材の剥離装置として粘着テープ供給装置を適用したが、粘着テープを各種基板に貼り付けることに適用することもできる。また、本実施形態においては、細幅の粘着テープを用いたが、粘着テープの幅は、適宜変更できる。その他、強粘着で供給時に供給リールからテープが剥がれ難い各種の粘着テープや接着テープに好ましく利用できる。なお、本発明は、強粘着のテープに限らず、各種のテープに広く適用できる。   The above is the pressure-sensitive adhesive tape supply device and the sheet material peeling device according to one embodiment of the present invention. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed within the scope of the invention. For example, in the present embodiment, the adhesive tape supply device is applied as a sheet material peeling device, but the present invention can also be applied to attaching an adhesive tape to various substrates. Further, in the present embodiment, a narrow adhesive tape is used, but the width of the adhesive tape can be appropriately changed. In addition, it can be preferably used for various adhesive tapes and adhesive tapes which are strongly adhered and the tape is not easily peeled off from the supply reel during supply. The present invention can be widely applied to various tapes, not limited to strongly adhesive tapes.

S シート材
T 粘着テープ
1 粘着テープ供給装置
2 シート材剥離装置
3 機台
4 支持枠
5 支持台
5a 開口
5b 開口
6 被着体
7 支柱
8 支柱
10 供給リール
11a ガイドローラ
11b ガイドローラ
11c ガイドローラ
11d ガイドローラ
12 昇降ローラ
13 昇降ローラ
14 回収リール
15 モータ
16 スライダ
17 昇降ユニット
17a レール
18 テープチャック
19 シリンダ
20 スライダ
22 モータ
23 固定手段
24 シリンダ
25 固定手段
26 シリンダ
27 保持テーブル
30 剥離ユニット
31a ガイドローラ
31b ガイドローラ
31c ガイドローラ
31d ガイドローラ
32 剥離板
33 テープチャック
34 シリンダ
35 支持枠
36 支持板
37 側板
38 レール
39 スライダ
40 ボールネジ
41 モータ
42 ナット部材
43 テープチャック
44 シリンダ
S Sheet material T Adhesive tape 1 Adhesive tape supply device 2 Sheet material peeling device 3 Machine stand 4 Support frame 5 Support stand 5a Opening 5b Opening 6 Adherend 7 Support 8 Support 10 Supply reel 11a Guide roller 11b Guide roller 11c Guide roller 11d Guide roller 12 Lifting roller 13 Lifting roller 14 Recovery reel 15 Motor 16 Slider 17 Lifting unit 17a Rail 18 Tape chuck 19 Cylinder 20 Slider 22 Motor 23 Fixing means 24 Cylinder 25 Fixing means 26 Cylinder 27 Holding table 30 Peeling unit 31a Guide roller 31b Guide Roller 31c Guide roller 31d Guide roller 32 Peeling plate 33 Tape chuck 34 Cylinder 35 Support frame 36 Support plate 37 Side plate 38 Rail 39 Slider 40 Ball screw 41 Motor 42 Nut 43 tape chuck 44 cylinder

Claims (4)

粘着テープを巻き回した供給リールから前記粘着テープを引き出して案内する粘着テープの供給装置において、
前記供給リールの固定手段と、
前記供給リールからの粘着テープの供給に追従して昇降する昇降ローラと、
前記昇降ローラの下流側で前記粘着テープを挟持して固定するテープ固定手段と、
前記粘着テープを引き出す引き出し手段と、を備え、
前記引き出し手段で粘着テープを引き出した後、前記リール固定手段と前記テープ固定手段で前記粘着テープを固定した状態で、前記粘着テープの引き出しによって追従移動した前記昇降ローラを粘着テープの引き出し方向に引っ張るように強制的に移動させるようにしたことを特徴とする粘着テープの供給装置。
In an adhesive tape supply device that pulls out and guides the adhesive tape from a supply reel wound with the adhesive tape,
Fixing means for the supply reel,
An elevating roller that moves up and down following supply of the adhesive tape from the supply reel,
Tape fixing means for pinching and fixing the adhesive tape on the downstream side of the elevating roller,
Withdrawing means for pulling out the adhesive tape,
After the adhesive tape is pulled out by the pulling-out means, in a state where the adhesive tape is fixed by the reel fixing means and the tape fixing means, the lifting roller moved by following the pulling-out of the adhesive tape is pulled in the direction of pulling out the adhesive tape. The adhesive tape supply device characterized in that the adhesive tape is forcibly moved as described above.
被着体の表面に仮着されたシート材に粘着テープを供給する供給リールと、前記シート材を表面にして保持する保持テーブルと、前記供給リールから供給された前記粘着テープを折り返す剥離板とを備え、前記シート材に前記粘着テープを貼り付けて、前記保持テーブルと剥離板とを相対的に移動させることで、前記粘着テープを前記剥離板で折り返すことにより、前記シート材を前記粘着テープと一体に剥離するシート材の剥離装置において、
前記供給リールの固定手段と、
前記供給ロールからの粘着テープの供給に追従して昇降する昇降ローラと、
前記昇降ローラの下流側で前記粘着テープを挟持して固定するテープ固定手段と、
前記前記シート材と対向するように前記粘着テープを引き出す引き出し手段と、を備え、
前記引き出し手段で、前記粘着テープを引き出した後、前記リール固定手段と前記テープ固定手段で前記粘着テープを固定した状態で、前記粘着テープの引き出し方向に引っ張るように前記昇降ローラを強制的に移動させるようにしたことを特徴とするシート材の剥離装置。
A supply reel that supplies the adhesive tape to the sheet material temporarily attached to the surface of the adherend, a holding table that holds the sheet material on the surface, and a release plate that folds the adhesive tape supplied from the supply reel. By attaching the adhesive tape to the sheet material, by moving the holding table and the release plate relatively, the adhesive tape is folded back by the release plate, the sheet material is the adhesive tape In a sheet material peeling device that peels off integrally with
Fixing means for the supply reel,
An elevating roller that moves up and down following the supply of the adhesive tape from the supply roll,
Tape fixing means for pinching and fixing the adhesive tape on the downstream side of the elevating roller,
Drawing out means for pulling out the pressure-sensitive adhesive tape so as to face the sheet material,
After the adhesive tape is pulled out by the drawer, the lifting roller is forcibly moved so that the adhesive tape is pulled in a direction in which the adhesive tape is pulled out while the adhesive tape is fixed by the reel fixing means and the tape fixing means. A sheet material peeling apparatus characterized in that the sheet material is peeled off.
粘着テープを巻き回した供給リールから粘着テープを引き出して案内する粘着テープの供給方法において、
前記供給リールから粘着テープを隣接するガイドローラを経由して前記粘着テープに追従して昇降自在な昇降ローラに巻き掛け、
前記供給リールから粘着テープを引き出すことで、前記粘着テープに追従して移動した昇降ローラを、
前記供給リールの回転を固定すると共に前記昇降ローラの下流側で前記粘着テープを固定した後、前記粘着テープの引き出し方向に引っ張るように前記昇降ローラを強制的に移動させるようにしたことを特徴とする粘着テープの供給方法。
In a method of supplying an adhesive tape that pulls out and guides the adhesive tape from a supply reel around which the adhesive tape is wound,
The adhesive tape from the supply reel is wound around a vertically movable roller that can move up and down following the adhesive tape via an adjacent guide roller,
By pulling out the adhesive tape from the supply reel, the elevating roller moved following the adhesive tape,
After fixing the rotation of the supply reel and fixing the adhesive tape on the downstream side of the elevating roller, the elevating roller is forcibly moved so as to be pulled in the pull-out direction of the adhesive tape. To supply adhesive tape.
供給リールに巻回された粘着テープを剥離板上に引き出し、シート材が仮着された被着体を保持テーブルに保持した状態で前記剥離板上の粘着テープと前記シート材を貼り付けた後、前記保持テーブルと剥離板とを相対的に移動させることで、前記粘着テープを前記剥離板で折り返すことにより、前記シート材を前記粘着テープと一体に剥離するシート材の剥離方法において、
前記供給リールから粘着テープを隣接するガイドローラを経由して前記粘着テープに追従して昇降自在な昇降ローラに巻き掛けた後、前記粘着テープを剥離板上に引き出すようにしておき、
前記供給リールから粘着テープを引き出し、前記粘着テープに追従して移動した昇降ローラを、前記供給リールの回転を固定すると共に前記昇降ローラの下流側で前記粘着テープを固定した後、前記粘着テープの引き出し方向に引っ張るように前記昇降ローラを強制的に移動させるようにしたことを特徴とするシート材の剥離方法。
After pulling out the adhesive tape wound on the supply reel onto the release plate, and attaching the adhesive tape on the release plate and the sheet material while holding the adherend to which the sheet material is temporarily attached on the holding table, By moving the holding table and the release plate relatively, the adhesive tape is folded back by the release plate, the sheet material peeling method of peeling the sheet material integrally with the adhesive tape,
After winding the adhesive tape from the supply reel to a lift roller capable of moving up and down following the adhesive tape via an adjacent guide roller, the adhesive tape is drawn out onto a peeling plate,
After pulling out the adhesive tape from the supply reel, moving the elevating roller moved following the adhesive tape, fixing the adhesive tape downstream of the elevating roller while fixing the rotation of the supply reel, A method for peeling a sheet material, wherein the lifting roller is forcibly moved so as to be pulled in a pull-out direction.
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004307122A (en) * 2003-04-04 2004-11-04 Canon Sales Co Inc Tape conveying device, tape processing device, tape conveying method, and tape processing method
JP2007307866A (en) * 2006-05-22 2007-11-29 Tokyo Seimitsu Co Ltd Tape sticking method and tape sticking apparatus
JP2007310035A (en) * 2006-05-16 2007-11-29 Takatori Corp Apparatus and method for peeling protective film stuck on substrate
JP2009141314A (en) * 2007-11-13 2009-06-25 Takatori Corp Peeling method and device for protective tape of wafer
JP2009277864A (en) * 2008-05-14 2009-11-26 Lintec Corp Sheet peeling device and method of peeling
JP2009283742A (en) * 2008-05-23 2009-12-03 Panasonic Corp Adhesive tape attaching device
JP2013219087A (en) * 2012-04-04 2013-10-24 Nitto Denko Corp Protective tape separation method and protective tape separation device

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004307122A (en) * 2003-04-04 2004-11-04 Canon Sales Co Inc Tape conveying device, tape processing device, tape conveying method, and tape processing method
JP2007310035A (en) * 2006-05-16 2007-11-29 Takatori Corp Apparatus and method for peeling protective film stuck on substrate
JP2007307866A (en) * 2006-05-22 2007-11-29 Tokyo Seimitsu Co Ltd Tape sticking method and tape sticking apparatus
JP2009141314A (en) * 2007-11-13 2009-06-25 Takatori Corp Peeling method and device for protective tape of wafer
JP2009277864A (en) * 2008-05-14 2009-11-26 Lintec Corp Sheet peeling device and method of peeling
JP2009283742A (en) * 2008-05-23 2009-12-03 Panasonic Corp Adhesive tape attaching device
JP2013219087A (en) * 2012-04-04 2013-10-24 Nitto Denko Corp Protective tape separation method and protective tape separation device

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