JP2020043026A - Barrier discharge lamp - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態は、バリア放電ランプに関する。 Embodiments of the present invention relate to a barrier discharge lamp.
従来、基板の洗浄や改質を目的として使用されるバリア放電ランプが知られている。バリア放電ランプは、誘電体である発光管の内部に配置された螺旋状の内部電極と発光管の外部に配置された外部電極とを交流電源に接続することで発生する誘電体バリア放電により、発光管の内部に収容されたガスに応じた特定の波長を有する紫外光を放射する。 Conventionally, a barrier discharge lamp used for cleaning or modifying a substrate has been known. The barrier discharge lamp is a dielectric barrier discharge generated by connecting a spiral internal electrode disposed inside the arc tube, which is a dielectric, and an external electrode disposed outside the arc tube to an AC power supply. Ultraviolet light having a specific wavelength according to the gas contained in the arc tube is emitted.
上記のようなバリア放電ランプにおいては、例えば内部電極の寸法等により、発光効率の低下が発生する場合があった。 In the above-described barrier discharge lamp, the luminous efficiency may be reduced due to, for example, the size of the internal electrode.
本発明が解決しようとする課題は、発光効率の低下を抑制することができるバリア放電ランプを提供することである。 An object of the present invention is to provide a barrier discharge lamp capable of suppressing a decrease in luminous efficiency.
実施形態のバリア放電ランプは、円筒状の発光管と、内部電極と、反射膜とを具備する。発光管は、ガスが封入され、紫外光を透過する。内部電極は、発光管の内部に配置され、螺旋状の導体が発光管の管軸方向に延在する。反射膜は、発光管の内面に設けられ、紫外光を発光管の内部へ反射する。バリア放電ランプは、発光管の内部に設けられる内部電極と発光管の外面側に設けられる外部電極との間でバリア放電を行う。内部電極は、線径をφ、管軸方向の間隔をPとしたとき、P/φが10.0以上80.0mm以下である。 The barrier discharge lamp of the embodiment includes a cylindrical arc tube, an internal electrode, and a reflective film. The arc tube is filled with gas and transmits ultraviolet light. The internal electrode is disposed inside the arc tube, and a spiral conductor extends in the tube axis direction of the arc tube. The reflection film is provided on the inner surface of the arc tube and reflects ultraviolet light to the inside of the arc tube. The barrier discharge lamp performs a barrier discharge between an internal electrode provided inside the arc tube and an external electrode provided on the outer surface side of the arc tube. The internal electrode has a P / φ of 10.0 or more and 80.0 mm or less when the wire diameter is φ and the interval in the tube axis direction is P.
本発明によれば、発光管の割れを抑制することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the crack of an arc tube can be suppressed.
以下に説明する実施形態に係るバリア放電ランプ1は、円筒状の発光管2と、内部電極3と、反射膜4とを具備する。発光管2は、ガスが封入され、紫外光を透過する。内部電極3は、発光管2の内部に配置され、螺旋状の導体が発光管2の管軸方向に延在する。反射膜4は、発光管2の内面2aに設けられ、紫外光を発光管2の内部へ反射する。バリア放電ランプ1は、発光管2の内部に設けられる内部電極3と発光管2の外面2b側に設けられる外部電極7との間でバリア放電を行う。内部電極3は、線径をφ、管軸方向の間隔をPとしたとき、P/φが10.0以上80.0mm以下である。
A barrier discharge lamp 1 according to an embodiment described below includes a cylindrical arc tube 2, an
また、以下に説明する実施形態に係るバリア放電ランプ1は、円筒状の発光管2と、内部電極3と、反射膜4とを具備する。発光管2は、ガスが封入され、紫外光を透過する。内部電極3は、発光管2の内部に配置され、螺旋状の導体が発光管2の管軸方向に延在する。反射膜4は、発光管2の内面2aに設けられ、紫外光を発光管2の内部へ反射する。バリア放電ランプ1は、発光管2の内部に設けられる内部電極3と発光管2の外面2b側に設けられる外部電極7との間でバリア放電を行う。内部電極3は、線径φが0.5mm以上1.0mm以下であり、管軸方向の間隔Pが10mm以上50mm以下である。
A barrier discharge lamp 1 according to an embodiment described below includes a cylindrical arc tube 2, an
また、以下に説明する実施形態に係る内部電極3はコイル部3aを有し、コイル部3aのコイル外径をCとしたとき、C/φが25.0以上90.0以下である。
Further, the
また、以下に説明する実施形態に係るコイル部3aの外面3a1と発光管2の内面2aとの間隔が3mm以下である。
The distance between the outer surface 3a1 of the
また、以下に説明する実施形態に係る反射膜4の管軸方向の長さL4は、コイル部3aの管軸方向の長さL3以上である。
The length L4 of the reflection film 4 according to the embodiment described below in the tube axis direction is equal to or longer than the length L3 of the
また、以下に説明する実施形態に係るバリア放電ランプ1は、円筒状の発光管2と、内部電極3と、反射膜4と、外部電極7とを具備する。発光管2は、ガスが封入され、紫外光を透過する。内部電極3は、発光管2の内部に配置され、螺旋状の導体が発光管2の管軸方向に延在する。反射膜4は、発光管2の内面2aに設けられ、紫外光を発光管2の内部へ反射する。外部電極7は、反射膜4が設けられた内面2aに対応する発光管2の外面2b側に設けられる。内部電極3は、線径をφ、管軸方向の間隔をPとしたとき、P/φが10.0以上80.0mm以下である。
A barrier discharge lamp 1 according to an embodiment described below includes a cylindrical arc tube 2, an
また、以下に説明する実施形態に係るバリア放電ランプ1は、円筒状の発光管2と、内部電極3と、反射膜4と、外部電極7とを具備する。発光管2は、ガスが封入され、紫外光を透過する。内部電極3は、発光管2の内部に配置され、螺旋状の導体が発光管2の管軸方向に延在する。反射膜4は、発光管2の内面2aに設けられ、紫外光を発光管2の内部へ反射する。外部電極7は、反射膜4が設けられた内面2aに対応する発光管2の外面2b側に設けられる。内部電極3は、線径φが0.5mm以上1.0mm以下であり、管軸方向の間隔Pが10mm以上50mm以下である。
A barrier discharge lamp 1 according to an embodiment described below includes a cylindrical arc tube 2, an
以下に、本発明に係る実施形態を図面に基づき説明する。なお、以下に示す実施形態は、本発明が開示する技術を限定するものではない。 An embodiment according to the present invention will be described below with reference to the drawings. The embodiments described below do not limit the technology disclosed by the present invention.
[実施形態]
図1は、実施形態に係るバリア放電ランプを示す平面図であり、図2は、図1のA−A断面図である。図1および図2に示すように、実施形態に係るバリア放電ランプ1は、発光管2、内部電極3、反射膜4、口金5、リード線6を有する。また、バリア放電ランプ1は、バリア放電ランプ1の外面側に設けられる外部電極7との間でバリア放電を行う。なお、本実施形態ではバリア放電ランプ1の外面側に外部電極7を有する構成としているが、バリア放電ランプ1と外部電極7とが組み合わされた形態、より具体的には発光管2と外部電極8とが組み合された形態を「バリア放電ランプ」と称してもよい。
[Embodiment]
FIG. 1 is a plan view showing a barrier discharge lamp according to an embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. As shown in FIGS. 1 and 2, a barrier discharge lamp 1 according to the embodiment has an arc tube 2, an
なお、説明を分かりやすくするために、図1および図2には、照射方向を正方向とするZ軸を含む3次元の直交座標系を図示している。また、図1では外部電極7の図示を省略している。
1 and 2 illustrate a three-dimensional orthogonal coordinate system including the Z-axis with the irradiation direction being the positive direction. In FIG. 1, the illustration of the
発光管2は、紫外光を透過する円筒状の部材である。発光管2の材料としては、例えば波長200nm以下の真空紫外線透過率が高い合成石英が例示される。また、発光管2は、管軸方向(X軸方向)の両端がステム構造を有する封着部材で保持され、気密に封着されている。発光管2は、紫外線照射に伴う応力割れを抑制する観点から、例えば外径Dを30mm以上とすることができる。また、発光管2は、例えば管軸方向の長さを750mmとすることができる。 The arc tube 2 is a cylindrical member that transmits ultraviolet light. As a material of the arc tube 2, for example, synthetic quartz having a high vacuum ultraviolet transmittance of 200 nm or less is exemplified. The arc tube 2 is held at both ends in the tube axis direction (X axis direction) by a sealing member having a stem structure, and is hermetically sealed. The outer diameter D of the arc tube 2 can be, for example, 30 mm or more from the viewpoint of suppressing stress cracking due to ultraviolet irradiation. Further, the arc tube 2 can have a length in the tube axis direction of 750 mm, for example.
また、発光管2の内部にはガスが封入されている。ガスは、例えば80〜200kPaのキセノンガスである。なお、ガスは、例えば、クリプトン、キセノン、アルゴン、ネオン等のうち1種類、または複数種組み合わせたガスを含んで構成することができる。さらに、ガスは、必要に応じて、例えばハロゲンガスを含んでもよい。発光管2は、封入されたガスの種類に応じた特定のピーク波長を有する紫外光(エキシマ光)を発することができる。 Further, a gas is sealed inside the arc tube 2. The gas is, for example, xenon gas of 80 to 200 kPa. The gas can be configured to include, for example, one kind of krypton, xenon, argon, neon, or a combination of two or more kinds. Further, the gas may include, for example, a halogen gas as needed. The arc tube 2 can emit ultraviolet light (excimer light) having a specific peak wavelength according to the type of the sealed gas.
内部電極3は、発光管2の内部に配置される。内部電極3は、螺旋状の導体であるコイル部3aが発光管2の管軸方向に延在している。内部電極3は、例えばタングステンを含む材料で形成される。具体的には、内部電極3は、全成分のうち50%以上の成分がタングステンである。特に、タングステンにカリウムなどを添加したドープタングステンを内部電極3として適用すると、より高い寸法安定性を有することができる。
The
ここで、内部電極3は、線径φと、管軸方向の間隔Pとの関係をP/φで表すと、P/φが10.0以上80.0以下とすることができ、例えば37.5である。P/φが10未満であると、内部電極3自身が、発光管2から放射される紫外光の影となる、いわゆる遮光が発生するため、好ましくない。一方、P/φが80.0超過であると、管軸方向の間隔Pがより広くなることを示唆する。つまり、内部電極3と外部電極7とが対向する箇所において電界が集中し、内部電極3が赤熱してしまう。内部電極3が赤熱することで、誘電体バリア放電からグロー放電やアーク放電に移行し、誘電体バリア放電で発生したエキシマ分子が熱解離を起こすことから、紫外光の照度が低下する。このため、P/φが80.0超過となることは好ましくない。よって、P/φが10.0以上80.0以下、より好ましくは15.0〜40.0であることが望ましい。
Here, when the relationship between the wire diameter φ and the interval P in the tube axis direction is represented by P / φ, the
また、内部電極3の線径φは、例えば、0.5mm以上1.0mm以下とすることができ、より具体的には、例えば、0.8mmである。内部電極3の線径φを0.5mm未満とすると、内部電極3に印加される電力により、内部電極3が赤熱し、誘電体バリア放電からグロー放電やアーク放電に移行し、誘電体バリア放電で発生したエキシマ分子が熱解離を起こすことから、紫外光の照度が低下する。このため、内部電極3の線径φが0.5mm未満であることは好ましくない。一方、内部電極3の線径φを1.0mm超過とすると、内部電極3自身が、発光管2から放射される紫外光の影となる、いわゆる遮光が発生するため、好ましくない。以上のことから、内部電極3の線径φは、例えば、0.5mm以上1.0mm以下とすることができる。
The wire diameter φ of the
また、内部電極3は、例えば、管軸方向の間隔Pを、例えば10mm以上50mm以下とすることができる。間隔Pを10mm未満とすると、内部電極3自身が、発光管2から放射される紫外光の影となる、いわゆる遮光が発生するため、好ましくない。一方、間隔Pを50mm超過とすると、内部電極3と外部電極とが対向する箇所において電界が集中し、内部電極3が赤熱してしまう。内部電極3が赤熱することで、誘電体バリア放電からグロー放電やアーク放電に移行し、誘電体バリア放電で発生したエキシマ分子が熱解離を起こすことから、紫外光の照度が低下する。このため、間隔Pを40mm超過とすることは好ましくない。以上のことから、内部電極3の管軸方向の間隔Pを10mm以上50mm以下とすることにより、紫外光を安定して放射することができる。
The
また、内部電極3のコイル部3aのコイル外径Cと、線径φとの関係をC/φで表すと、C/φが20.0以上90.0以下とすることができ、例えばC/φが50.5である。C/φが20.0未満であると、内部電極3自身が、発光管2から放射される紫外光の影となる、いわゆる遮光が発生するため、好ましくない。一方、C/φが90.0超過であると、内部電極3の管軸方向の間隔Pを一定に保つことが難しくなり、内部電極3の管軸方向の間隔Pが不均一となる可能性がある。内部電極3の管軸方向の間隔Pが不均一となると、発光管2の管軸方向の紫外光の照度が不均一となるため、好ましくない。よって、C/φが20.0以上90.0以下、より好ましくは40.0〜60.0であることが望ましい。
When the relationship between the coil outer diameter C of the
また、内部電極3のコイル部3aの外面3a1と発光管2の内面2aとの間隔Lが3mm以下である。コイル部3aの外面3a1と発光管2の内面2aとの間隔Lが3mm超過となると、内部電極3、より具体的には内部電極3のコイル部3aと外部電極7との間隔が大きくなる。コイル部3aと外部電極7との間隔が大きくなると、発光管2の内部に印加できる電界が減少し、エキシマ分子を生成するために必要な励起エネルギーが確保できず、紫外光の照度が減少することに起因して発光効率が低下するため、好ましくない。よって、コイル部3aの外面3a1と発光管2の内面2aとの間隔Lが3mm以下、好ましくは2.5mm以下であることが望ましい。
The distance L between the outer surface 3a1 of the
反射膜4は、発光管2の内面2aに設けられ、紫外光を発光管2の内部へ反射する。反射膜4の材料としては、例えば、シリカが例示される。また、反射膜4は、シリカに限らず、例えばアルミナなどの紫外線散乱粒子を含む材料で構成されてもよい。反射膜4は、良好な反射率を保持する観点から、例えば厚さtが100μm以上300μm以下となるように形成される。なお、反射膜4は、内部電極3のコイル部3aに接していてもよく、また離れていてもよい。
The reflection film 4 is provided on the
また、反射膜4は、発光管2の周方向の角度θが180°以上、例えば200°以上300°以下の範囲となるように配置される。また、反射膜4の管軸方向の長さL4は、内部電極3のコイル部3aの管軸方向の長さL3以上となるように配置される。これにより、発光管2で発生する紫外光を効率よく被照射体に向けて照射することで発光効率の低下を抑制することができる。
The reflection film 4 is arranged such that the angle θ in the circumferential direction of the arc tube 2 is not less than 180 °, for example, not less than 200 ° and not more than 300 °. The length L4 of the reflection film 4 in the tube axis direction is arranged to be equal to or greater than the length L3 of the
外部電極7は、反射膜4が設けられた発光管2の内面2aに対応する発光管2の外面2b側に設けられる。外部電極7は、発熱したバリア放電ランプ1を放熱させる放熱ブロックを兼ねており、例えば、アルミニウム製またはステンレス製とすることができる。なお、外部電極7の内部に液体または気体の冷媒を流通させる流路を設け、放熱性をさらに高めてもよい。外部電極7と発光管2とは、互いに接していてもよく、離れていてもよいが、外部電極7と発光管2とを接触させると、放熱性を高めることができる。また、図2に示した例では、反射膜4の周方向の角度θと、外部電極7に覆われる発光管2の外面2bの周方向の角度とが同じとなるように図示したが、これに限らず、互いに異なっていてもよい。
The
リード線6は、内部電極3と電気的に接続されている。また、リード線6は、発光管2の管軸方向の両端を支持する口金5から引き出され、交流電源に接続された図示しない点灯装置を介して外部電極7と電気的に接続されており、電極間に所定の電圧を印加させて発光させることができる。点灯装置は、高電圧および高周波を出力可能なインバータを含み、交流電源からの電力をバリア放電ランプ1に供給可能に構成されている。点灯装置は、例えば周波数120kHzの正弦波を印加し、1kW程度のランプ電力でバリア放電ランプ1を点灯させることができる。
The
[評価試験]
バリア放電ランプの試作品を用いて点灯試験を行い、内部電極の管軸方向の間隔P、線径φ、P/φの変化による発光効率について評価した。図3に結果をそれぞれ示す。なお、電力[W]はオシロスコープTDS3012B(テクトロニクス社製)、電圧プローブはP3000(テクトロニクス社製)、電流はA6303(テクトロニクス社製)を用いた。UV照度[mW/cm2]は照度計本体UIT−250(ウシオ電機社製)に照度計ヘッドとしてVUV−S172(ウシオ電機社製)を接続し、バリア放電ランプに照度計ヘッドを接触させて紫外線照度を測定した。また、バリア放電ランプの特性を表すため、照度を電力で除した値を発光効率とした。なお、内部電極の状態は、発光効率が0.50以上であること、内部電極が赤熱していないことを判断基準とし、○:良好、△:内部電極に問題はないが発光効率が0.50以下、×:内部電極が赤熱してしまい問題あり、と判定した。図3に示すように、P/φが10.0以上80.0以下、線径φが0.5mm以上1.0mm以下であり、管軸方向の間隔Pが10mm以上50mm以下であれば、いずれも○:良好、と判断できる。これらの結果より、発光効率の低下を抑制する条件が確認された。
[Evaluation test]
A lighting test was performed using a prototype of a barrier discharge lamp, and the luminous efficiency due to changes in the spacing P of the internal electrodes in the tube axis direction, the wire diameter φ, and P / φ was evaluated. FIG. 3 shows the results. The power [W] used was an oscilloscope TDS3012B (manufactured by Tektronix), the voltage probe used was P3000 (manufactured by Tektronix), and the current used was A6303 (manufactured by Tektronix). The UV illuminance [mW / cm 2 ] is obtained by connecting a luminometer head UIT-250 (made by Ushio Inc.) with a VUV-S172 (made by Ushio Inc.) as an illuminometer head, and bringing the illuminometer head into contact with a barrier discharge lamp. The UV illuminance was measured. Further, in order to express the characteristics of the barrier discharge lamp, the value obtained by dividing the illuminance by the electric power was used as the luminous efficiency. The state of the internal electrodes is determined based on the luminous efficiency being 0.50 or more and the internal electrodes not being red-hot. 50 or less, x: It was determined that there was a problem that the internal electrode glowed red. As shown in FIG. 3, if P / φ is 10.0 or more and 80.0 or less, wire diameter φ is 0.5 mm or more and 1.0 mm or less, and interval P in the tube axis direction is 10 mm or more and 50 mm or less, In all cases, it can be determined that the mark is good. From these results, conditions for suppressing a decrease in luminous efficiency were confirmed.
上述したように、実施形態に係るバリア放電ランプ1は、円筒状の発光管2と、内部電極3と、反射膜4とを具備する。発光管2は、ガスが封入され、紫外光を透過する。内部電極3は、発光管2の内部に配置され、螺旋状の導体が発光管2の管軸方向に延在する。反射膜4は、発光管2の内面2aに設けられ、紫外光を発光管2の内部へ反射する。バリア放電ランプ1は、発光管2の内部に設けられる内部電極3と発光管2の近傍である外面2b側に設けられる外部電極7との間でバリア放電を行う。内部電極3は、線径をφ、管軸方向の間隔をPとしたとき、P/φが10.0以上80.0以下である。これにより、バリア放電ランプ1の発光効率の低下を抑制することができる。
As described above, the barrier discharge lamp 1 according to the embodiment includes the cylindrical arc tube 2, the
また、実施形態に係るバリア放電ランプ1は、円筒状の発光管2と、内部電極3と、反射膜4とを具備する。発光管2は、ガスが封入され、紫外光を透過する。内部電極3は、発光管2の内部に配置され、螺旋状の導体が発光管2の管軸方向に延在する。反射膜4は、発光管2の内面2aに設けられ、紫外光を発光管2の内部へ反射する。発光管2は、発光管2の内部に設けられる内部電極3と発光管2の近傍である外面2b側に設けられる外部電極7との間でバリア放電を行う。内部電極3は、線径φが0.5mm以上1.0mm以下、管軸方向の間隔Pが10mm以上50mm以下である。これにより、バリア放電ランプ1の発光効率の低下を抑制することができる。
Further, the barrier discharge lamp 1 according to the embodiment includes a cylindrical arc tube 2, an
また、実施形態に係るバリア放電ランプ1は、内部電極3がコイル部3aを有し、コイル部3aのコイル外径をCとしたとき、C/φが25.0以上90.0以下である。これにより、バリア放電ランプ1の発光効率の低下を抑制することができる。
Further, in the barrier discharge lamp 1 according to the embodiment, when the
また、実施形態に係るコイル部3aの外面3a1と発光管2の内面2aとの間隔Lが3mm以下である。これにより、バリア放電ランプ1の発光効率の低下を抑制することができる。
Further, the distance L between the outer surface 3a1 of the
また、実施形態に係る反射膜4の管軸方向の長さL4は、内部電極3のコイル部3aの管軸方向の長さL3以上である。これにより、バリア放電ランプ1の発光効率の低下を抑制することができる。
The length L4 of the reflection film 4 according to the embodiment in the tube axis direction is equal to or longer than the length L3 of the
本発明の実施形態を説明したが、実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。 Although embodiments of the present invention have been described, the embodiments are presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. The embodiment can be implemented in other various forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the spirit of the invention. The embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are also included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.
1 バリア放電ランプ
2 発光管
3 内部電極
4 反射膜
7 外部電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Barrier discharge lamp 2
Claims (7)
前記発光管の内部に配置され、螺旋状の導体が前記発光管の管軸方向に延在する内部電極と;
前記発光管の内面に設けられ、前記紫外光を前記発光管の内部へ反射する反射膜と;
を具備し、前記発光管の内部に設けられる前記内部電極と前記発光管の外面側に設けられる外部電極との間でバリア放電を行うバリア放電ランプであって、
前記内部電極は、線径をφ、前記管軸方向の間隔をPとしたとき、P/φが10.0以上80.0以下である、バリア放電ランプ。 A cylindrical arc tube filled with gas and transmitting ultraviolet light;
An internal electrode disposed inside the arc tube and having a spiral conductor extending in a tube axis direction of the arc tube;
A reflection film provided on an inner surface of the arc tube and reflecting the ultraviolet light to the inside of the arc tube;
A barrier discharge lamp that performs a barrier discharge between the internal electrode provided inside the arc tube and an external electrode provided on the outer surface side of the arc tube,
The barrier discharge lamp, wherein the internal electrode has P / φ of 10.0 or more and 80.0 or less when a wire diameter is φ and an interval in the tube axis direction is P.
前記発光管の内部に配置され、螺旋状の導体が前記発光管の管軸方向に延在する内部電極と;
前記発光管の内面に設けられ、前記紫外光を前記発光管の内部へ反射する反射膜と;
を具備し、前記発光管の内部に設けられる前記内部電極と前記発光管の外面側に設けられる外部電極との間でバリア放電を行うバリア放電ランプであって、
前記内部電極は、線径φが0.5mm以上1.0mm以下であり、前記管軸方向の間隔Pが10mm以上50mm以下である、バリア放電ランプ。 A cylindrical arc tube filled with gas and transmitting ultraviolet light;
An internal electrode disposed inside the arc tube and having a spiral conductor extending in a tube axis direction of the arc tube;
A reflection film provided on an inner surface of the arc tube and reflecting the ultraviolet light to the inside of the arc tube;
A barrier discharge lamp that performs a barrier discharge between the internal electrode provided inside the arc tube and an external electrode provided on the outer surface side of the arc tube,
A barrier discharge lamp, wherein the internal electrode has a wire diameter φ of 0.5 mm or more and 1.0 mm or less, and an interval P in the tube axis direction of 10 mm or more and 50 mm or less.
前記発光管の内部に配置され、螺旋状の導体が前記発光管の管軸方向に延在する内部電極と;
前記発光管の内面に設けられ、前記紫外光を前記発光管の内部へ反射する反射膜と;
前記反射膜が設けられた前記内面に対応する前記発光管の外面側に設けられる外部電極と;
を具備し、
前記内部電極は、線径をφ、前記管軸方向の間隔をPとしたとき、P/φが10.0以上80.0以下である、バリア放電ランプ。 A cylindrical arc tube filled with gas and transmitting ultraviolet light;
An internal electrode disposed inside the arc tube and having a spiral conductor extending in a tube axis direction of the arc tube;
A reflection film provided on an inner surface of the arc tube and reflecting the ultraviolet light to the inside of the arc tube;
An external electrode provided on the outer surface side of the arc tube corresponding to the inner surface provided with the reflective film;
With
The barrier discharge lamp, wherein the internal electrode has P / φ of 10.0 or more and 80.0 or less when a wire diameter is φ and an interval in the tube axis direction is P.
前記発光管の内部に配置され、螺旋状の導体が前記発光管の管軸方向に延在する内部電極と;
前記発光管の内面に設けられ、前記紫外光を前記発光管の内部へ反射する反射膜と;
前記反射膜が設けられた前記内面に対応する前記発光管の外面側に設けられる外部電極と;
を具備し、
前記内部電極は、線径φが0.5mm以上1.0mm以下であり、前記管軸方向の間隔Pが10mm以上50mm以下である、バリア放電ランプ。 A cylindrical arc tube filled with gas and transmitting ultraviolet light;
An internal electrode disposed inside the arc tube and having a spiral conductor extending in a tube axis direction of the arc tube;
A reflection film provided on an inner surface of the arc tube and reflecting the ultraviolet light to the inside of the arc tube;
An external electrode provided on the outer surface side of the arc tube corresponding to the inner surface provided with the reflective film;
With
A barrier discharge lamp, wherein the internal electrode has a wire diameter φ of 0.5 mm or more and 1.0 mm or less, and an interval P in the tube axis direction of 10 mm or more and 50 mm or less.
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