JP2020035638A - 紫外線センサ - Google Patents
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Abstract
Description
本出願人は、図13に示した紫外線センサ1Cにおいて、カソード電極12を、母材となる結晶方位(200)のタングステン(W)と、この母材のアノード電極11に対向する面に形成した金属膜、具体的には結晶方位(110)のタングステンの膜とから形成している(特願2017−147608号参照)。
λmax=h・c×109/(w×1.60×10-19) ・・・・(1)
λmax:限界感度波長、h:プランク定数(6.63×10-34J・s)、c:光速(3.00×108m/s)、w:仕事関数。
図7に本発明の実施の形態1に係る紫外線センサ1Aの要部の構成を示す。同図において、図13を参照して説明した構成要素と同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明は省略する。
図11に本発明の実施の形態2に係る紫外線センサ1Bの要部の構成を示す。実施の形態2に係る紫外線センサ1Bでは、ガラスパッケージ13Bのエンベロープガラス13−2’を蛍光抑制材料で形成している。
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
Claims (10)
- アノード電極と、このアノード電極に所定の間隙を隔てて対向して設けられたカソード電極と、前記アノード電極および前記カソード電極を収容したガラス製の保護管とを備え、前記アノード電極と前記カソード電極との間の放電によって生じる電流に基づいて、前記保護管の前記アノード電極と対向する方向に位置する天板部を透過して入射される紫外線を検出する紫外線センサにおいて、
前記保護管は、
前記アノード電極および前記カソード電極の周囲を囲むように前記天板部に接合された筒部と、
前記筒部の内壁面に形成された、前記アノード電極と前記カソード電極との間の放電に起因して前記筒部に誘発される蛍光を抑制する蛍光抑制膜と
を備えることを特徴とする紫外線センサ。 - 請求項1に記載された紫外線センサにおいて、
前記保護管は、さらに、
前記筒部の前記天板部とは反対側の面を塞ぐように接合された台座部を備え、
前記蛍光抑制膜は、
前記台座部の内壁面にも形成されている
ことを特徴とする紫外線センサ。 - 請求項1又は2に記載された紫外線センサにおいて、
前記蛍光抑制膜は、
SiもしくはSiO2を含む材料からなる
ことを特徴とする紫外線センサ。 - 請求項1〜3の何れか1項に記載された紫外線センサにおいて、
前記蛍光抑制膜は、
前記筒部に誘発される250〜300nmの波長の蛍光を抑制する
ことを特徴とする紫外線センサ。 - アノード電極と、このアノード電極に所定の間隙を隔てて対向して設けられたカソード電極と、前記アノード電極および前記カソード電極を収容したガラス製の保護管とを備え、前記アノード電極と前記カソード電極との間の放電によって生じる電流に基づいて、前記保護管の前記アノード電極と対向する方向に位置する天板部を透過して入射される紫外線を検出する紫外線センサにおいて、
前記保護管は、
前記アノード電極および前記カソード電極の周囲を囲むように前記天板部に接合された筒部を備え、
前記筒部は、
前記アノード電極と前記カソード電極との間の放電に起因して前記筒部に誘発される蛍光を抑制する蛍光抑制材料で形成されている
ことを特徴とする紫外線センサ。 - 請求項5記載された紫外線センサにおいて、
前記保護管は、さらに、
前記筒部の前記天板部とは反対側の面を塞ぐように接合された台座部を備え、
前記台座部は、
前記蛍光抑制材料で形成されている
ことを特徴とする紫外線センサ。 - 請求項5又は6に記載された紫外線センサにおいて、
前記蛍光抑制材料は、
石英ガラスである
ことを特徴とする紫外線センサ。 - 請求項5〜7の何れか1項に記載された紫外線センサにおいて、
前記蛍光抑制材料は、
前記筒部に誘発される250〜300nmの波長の蛍光を抑制する
ことを特徴とする紫外線センサ。 - 請求項1〜8の何れか1項に記載された紫外線センサにおいて、
前記カソード電極は、
結晶方位(200)のタングステンからなる板状の母材と、
前記母材の前記アノード電極に対向する面に形成された、前記母材の仕事関数よりも大きい仕事関数を有する金属膜とを備える
ことを特徴とする紫外線センサ。 - 請求項9に記載された紫外線センサにおいて、
前記金属膜は、
結晶方位(110)のタングステンからなる
ことを特徴とする紫外線センサ。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020174725A1 (ja) * | 2019-02-28 | 2020-09-03 | 株式会社アドマップ | SiC膜構造体 |
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