JP2020034080A - 回転制御装置 - Google Patents

Abstract

【課題】非接触式の相対的位置センサによって操作対象軸の回転方向の位置の測定を行う回転制御装置の検出精度と信頼性を長期間維持することを可能にする。【解決手段】回転制御装置は、操作対象軸の回転方向の機械的変位を非接触で検出する相対的位置センサと、操作対象軸の回転方向における所定の中間位置に操作対象軸が到達したときに検知信号を出力するＯＮ／ＯＦＦセンサと前記操作対象軸の回転位置を補正する補正部とを備え、ＯＮ／ＯＦＦセンサは、操作対象軸の軸線と直交する主面を有する基板と、基板の主面上に配置された電極（２１ａ、２１ｂ）と、操作対象軸が所定の中間位置にあるときに他端側の一部が電極の１つに接触する接触子（２０１ａ、２０１ｂ）と、基板の主面上に配置され、操作対象軸が所定の中間位置にないときに接触子の他端を主面から離間させる方向に移動させる複数のカム部材（２４ａ、２４ｂ）とを備える。【選択図】図８

Description

本発明は、操作対象軸の回転を制御する回転制御装置に関する。

一般に、弁軸などの操作対象軸の回転を制御する回転制御装置は、操作対象軸の回転方向の機械的変位を位置センサによって検出し、その検出結果に基づいて軸の操作量を決定している。例えば、ボール弁等のロータリ式の調節弁の弁軸を操作する電動式の操作器（アクチュエータ）では、位置センサとして可変抵抗器から成るポテンショメータを用い、そのポテンショメータによって検出した弁軸の回転方向の機械的変位量に基づいて、弁軸を制御している（特許文献１参照）。

また、軸の回転方向の機械的変位量を測定するための位置センサとしては、ポテンショメータに代表される接触式の位置センサの他に、ロータリエンコーダのように、測定対象の軸の回転方向の位置を非接触で検出する非接触式の位置センサがある。さらに、非接触式の位置センサには、検出対象軸の角度位置に対応した信号を出力する絶対的位置センサと、検出対象軸の回転角度、すなわち角度位置の変化量に応じた信号を出力する相対的位置センサとがある。例えば、非接触式の絶対的位置センサとしては、検出対象軸の絶対的な角度位置に対応したコード信号を出力するアブソリュート型のロータリエンコーダが、非接触式の相対的位置センサとしては、検出対象軸の回転角度に対応してパルスを出力するインクリメンタル型のロータリエンコーダが、夫々知られている（特許文献２参照）。

特開２０１１−０７４９３５号公報 特開２０１０−２８６４４４号公報

一般に、ポテンショメータは、摺動子を機械的に操作することによる抵抗値の変化を出力するセンサであるため、耐久性が低く、製品寿命が短い傾向がある。また、ポテンショメータの代わりに、絶対的非接触位置センサとしてのアブソリュート型のロータリエンコーダを用いた場合、一般に部品単価が高い上に、アブソリュート型のロータリエンコーダを駆動するためのバッテリが別途必要になることから、製品コストが増大してしまう。

そこで、本願発明者は、ポテンショメータの代わりに、ロータリエンコーダ等の非接触式の相対的位置センサと、所定の位置に操作対象軸が到達したときに検知信号を出力するＯＮ／ＯＦＦセンサとを用いた新たな回転制御装置を提案した（特願２０１７−０３４０１４）。この回転制御装置において、ＯＮ／ＯＦＦセンサは、操作対象軸２００の近傍に設けられ、各種演算処理を行うＩＣチップ３０を搭載したプリント基板２０の主面２０ａに電極２１ａを配置し、操作対象軸２００に連結されたショートプレート２０１を電極２１ａのいずれかと接触させて、不連続ながらも操作対象軸の絶対的な位置を検出する。以下、このようなＯＮ／ＯＦＦセンサを用いて、不連続ながらも操作対象軸の絶対的な位置を検出する位置センサを「不連続な絶対的位置センサ」ということがある。

ところが、このような構成では、ショートプレート（２０１）とプリント基板（２０）とを離間させるのに、ショートプレートとプリント基板２０との間隔の微妙な調整が必要となり、コスト上昇の原因となるばかりか、実現は容易ではない。また、ショートプレートのバネ性の経年変化による、接触抵抗の信頼性にも問題がある。逆に、ショートプレート２０１にプリント基板２０の主面２０ａを摺動させてしまうと、プリント基板２０に悪影響を与える恐れがあり、ポテンショメータと同じく、耐久性および製品寿命の問題が生じてしまう。

そこで、本願発明者は、ショートプレート（２０１）とプリント基板（２０）とを電極（２１ａ）上の所定領域で接触させつつその他の領域で双方を離間させるための構造として、例えば、電極（２１ａ）と電極（２１ａ）との間の領域に、ショートプレート（２０１）の先端部に設けられた接点（２０１ａ’）をプリント基板（２０）の主面（２０ａ）から離間する方向に移動させるカム部材（２４）が配設された新たな回転制御装置を提案した（特願２０１７−０６６０００）。

ところが、このような構成の回転制御装置では、例えば、ショートプレート（２０１）が、カム部材（２４）や電極（２１ａ）上を摺動するため、使用に伴いカム部材（２４）や電極（２１ａ）が摩耗して、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎによって検出される操作対象軸（２００）の位置、換言すれば、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎから検知信号（Ｐ1〜Ｐｎ）が出力されるときの操作対象軸（２００）の回転位置が変化してしまう。この結果、使用を重ねるうちに、操作対象軸の位置制御の精度が低下するといった問題が生じる恐れがある。

本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、位置検出の精度、耐久性および信頼性を向上させつつ低コスト化を実現した回転制御装置において、高い検出精度を長期間保持できる回転制御装置を提供することにある。

本発明に係る、操作対象軸（２００）の回転を制御する回転制御装置（１００）は、前記操作対象軸の回転の機械的変位を非接触で検出する相対的位置センサ（１）と、前記操作対象軸の回転可能な範囲（ＳＲ）の間にある少なくとも１つの中間位置（Ｐｃ、Ｐａ，Ｐｍ，Ｐｂ、Ｐｏ）に前記操作対象軸が到達したときに検知信号を出力するＯＮ／ＯＦＦセンサ（２＿１〜２＿ｎ）と、前記検知信号が出力されてからの、前記相対的位置センサによって検出される前記機械的変位の積算値（ＲＰ）と、前記ＯＮ／ＯＦＦセンサが出力する前記検知信号によって検出される前記中間位置を示す基準値（ＡＰ）とに基づいて、前記操作対象軸の絶対的な回転位置を算出する位置算出部（３）と、前記操作対象軸の回転位置の目標値（ＳＰ）の情報と、前記位置算出部によって算出された前記操作対象軸の絶対的な回転位置（ＰＶ）とに基づいて、前記操作対象軸の操作量（ＭＶ）を算出する操作量算出部（４）と、前記操作量算出部によって算出された前記操作量に基づいて、前記操作対象軸の回転可能な範囲内において前記操作対象軸を操作する操作部（５）と、前記基準値を補正する補正部（１０）とを備え、さらに、前記ＯＮ／ＯＦＦセンサは、前記操作対象軸の周りに設けられ、前記操作対象軸の軸線と直交する主面（２０ａ、２０ｂ）を有する基板（２０）と、前記基板の主面上に配設された少なくとも１つの電極（２１ａ、２１ｂ）と、一端が前記操作対象軸に固定され、前記操作対象軸の径方向に延在し、前記操作対象軸が前記中間位置にあるときに他端側の一部が前記電極の１つに接触する接触子（２０１ａ、２０１ｂ）と、前記接触子が前記電極の１つに接触すると前記検知信号を出力する検出回路（２３＿ｉ）と、前記基板の前記主面上かつ前記電極間に配置され、前記操作対象軸が前記中間位置にないときに前記接触子の他端を前記主面から離間させる方向に移動させるカム部材（２４ａ、２４ｂ）とを備え、前記補正部は、前記検知信号が出力されるときの前記操作対象軸の回転位置を異なる２つの時点で計測し、これら計測値に基づいて前記中間位置を示す基準値を補正するように構成された装置である。

上記回転制御装置において、前記操作対象軸の回転位置が、前記ＯＮ／ＯＦＦセンサによって検出される前記中間位置と絶対的な位置に固定された基準位置との間を回転する前記操作対象軸の変位量として計測されるように構成してもよい。

上記回転制御装置において、前記変位量が、前記操作対象軸が前記基準位置と前記中間位置との間を回転する間に前記相対的位置センサによって検出される機械的変位の積算値（ＰＣα/ ＰＣαｒｅｆ）として計測されるように構成してもよい。

上記回転制御装置において、前記基準位置が、前記操作対象軸の回転可能な範囲の端点を形成する第１位置および第２位置の少なくとも１つであるように構成してもよい。

上記回転制御装置において、前記中間位置が、前記検知信号の出力が開始される時点における前記操作対象軸の回転位置によって規定される第１の補正用検出位置（Ｐα１）、および／または、前記検知信号の出力が終了する時点における前記操作対象軸の回転位置として規定される第２の補正用検出位置（Ｐα２）を含むように構成してもよい。

上記回転制御装置において、前記変位量が、前記操作対象軸の絶対的な回転位置を示す値が増加する方向（特許う請求の範囲に記載の「順方向」に相当。以下「開方向」という。また、操作対象軸の絶対的な回転位置を示す値が減少する「逆方向」を、以下「閉方向」という。）へ前記操作対象軸が回転するときに前記中間位置が前記第１の補正用検出位置であるとして計測される第１の変位量（Ｌα１）、および／または、前記第１の変位量は、前記開方向へ前記操作対象軸が回転するときに、前記中間位置が前記第２の補正用検出位置であるとして計測される第２の変位量（Ｌα2）を含むように構成してもよい。

上記回転制御装置において、前記変位量が、前記操作対象軸の絶対的な回転位置を示す値が減少する前記閉方向へ前記操作対象軸が回転するときに前記中間位置が前記第１の補正用検出位置であるとして計測される第３の変位量（Ｌα３）、および/または、前記閉方向へ前記操作対象軸が回転するときに、前記中間位置が前記第２の補正用検出位置であるとして計測される第４の変位量（Ｌα４）を含むように構成してもよい。

上記回転制御装置において、前記補正部を、前記経時的変化量に基づいて前記基準値の補正量（Δθｃｎ）を算出し、前記絶対的な回転位置を示す値が増加する開方向へ前記操作対象軸が回転するときに検出される前記基準値に対して前記補正量（Δθｃｎ）を減算し、前記値が減少する前記閉方向へ前記操作対象軸が回転するときに検出される前記基準値に対し前記補正量（Δθｃｎ）を加算することで前記基準値を補正するように構成してもよい。

上記回転制御装置において、前記補正部を、前記第１の変位量または前記第４の変位量を用いて測定される前記経時的変化量に基づいて前記基準値に対する第１の補正量（Δθｃｎ１）を算出し、前記第２の変位量または第３の変位量を用いて測定される前記経時的変化量に基づいて前記基準値に対する第２の補正量（Δθｃｎ２）を算出し、前記開方向へ前記操作対象軸が回転するときに検出される前記基準値から前記第１の補正量（Δθｃｎ１）を減算し、前記閉方向へ前記操作対象軸が回転するときに検出される前記基準値に前記第２の補正量（Δθｃｎ２）を加算するように構成してもよい。

上記回転制御装置において、前記特定中間位置が前記中間位置の全てであってもよい。

なお、上記説明では、一例として、発明の構成要素に対応する図面上の参照符号を、括弧を付して記載している。

以上説明したことにより、本発明によれば、非接触式の相対的位置センサとＯＮ／ＯＦＦセンサとによって操作対象軸の回転方向の位置の測定を行う回転制御装置をより低コストで実現しつつ、その検出精度と信頼性を長期間維持することができる。

図１は、実施の形態１に係る回転制御装置の構成を示す図である。 図２は、不連続な絶対的位置センサの概念を説明する図である。 図３Ａは、不連続な絶対的位置センサの構成の一例を示す図である。 図３Ｂは、不連続な絶対的位置センサの構成の一例を示す図である。 図３Ｃは、不連続な絶対的位置センサの構成の一例を示す図である。 図３Ｄは、不連続な絶対的位置センサの構成の一例を示す図である。 図３Ｅは、不連続な絶対的位置センサの構成の一例における電極とカム部材との関係を説明する図である。 図４は、実施の形態１に係る回転制御装置の原点復帰動作モードにおける動作を説明するフロー図である。 図５は、実施の形態１に係る回転制御装置の通常動作モードにおける動作を説明するフロー図である。 図６は、初期時の特定中間位置における回転区間変位量を計測する様子を示す図である。 図７は、初期時の特定中間位置における回転区間変位量の計測プロセスを示すフロー図である。 図８は、補正時の特定中間位置における回転区間変位量を計測する様子を示す図である。 図９は、補正時の特定中間位置における回転区間変位量の計測プロセスを示すフロー図である。 図１０は、補正時の特定中間位置における回転区間変位量を計測する様子を示す図である。 図１１は、補正時の特定中間位置における回転区間変位量の計測プロセスを示すフロー図である。 図１２は、補正時の特定中間位置における回転区間変位量を計測する様子を示す図である。 図１３は、補正時の特定中間位置における回転区間変位量の計測プロセスを示すフロー図である。 図１４は、補正時の特定中間位置における回転区間変位量を計測する様子を示す図である。 図１５は、補正時の特定中間位置における回転区間変位量の計測プロセスを示すフロー図である。 図１６は、補正時の特定中間位置における回転区間変位量を計測する様子を示す図である。 図１７は、補正時の特定中間位置における回転区間変位量の計測プロセスを示すフロー図である。 図１８は、補正時の特定中間位置における回転区間変位量を計測する様子を示す図である。 図１９は、補正時の特定中間位置における回転区間変位量の計測プロセスを示すフロー図である。 図２０は、補正時の特定中間位置における回転区間変位量を計測する様子を示す図である。 図２１は、補正時の特定中間位置における回転区間変位量の計測プロセスを示すフロー図である。 図２２は、補正時の特定中間位置における回転区間変位量を計測する様子を示す図である。 図２３は、補正時の特定中間位置における回転区間変位量の計測プロセスを示すフロー図である。 図２４は、補正量を算出する様子を示す図である。 図２５は、補正量を算出する様子を示す図である。 図２６は、補正値を算出するプロセスを示すフロー図である。 図２７は、補正値を算出するプロセスを示すフロー図である。

≪回転制御装置の構成≫
はじめに、本実施の形態に係る回転制御装置１００の構成にいついて説明する。
図１は、本発明に係る実施の形態としての回転制御装置の構成を示す図である。
同図に示される回転制御装置１００は、例えば、プラント等において流量のプロセス制御に用いられるボール弁等のロータリ式の調節弁の弁軸の回転を制御する電動式の操作器である。

以下、回転制御装置１００の具体的な構成について説明する。
図１に示すように、操作対象軸としての弁軸２００の回転を制御する回転制御装置１００は、相対的位置センサ１、複数のＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎ（ｎは、２以上の整数）、位置算出部３、操作量算出部４、操作部５および補正部１０を備えている。複数のＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎは、不連続な絶対的位置センサを構成する。

これらの構成要素は、筐体内部に収容される。なお、回転制御装置１００は、上述した機能部に加えて、調節弁の弁開度等の各種情報をユーザに提示するための表示部（例えば液晶ディスプレイ）や外部機器との間でデータの送受信を行うための通信回路等を備えていてもよい。

先ず、調節弁の実開度、すなわち弁軸２００の回転方向の位置を測定するための相対的位置センサ１およびＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎを含む不連続な絶対的位置センサについて説明する。

相対的位置センサ１は、回転制御装置１００の操作対象軸としての弁軸２００の回転方向の機械的変位Ｍｄを非接触で検出する機能部である。相対的位置センサ１としては、検出対象軸（弁軸２００）の回転角度に対応してパルスを出力するインクリメンタル型のロータリエンコーダを例示することができる。本実施の形態では、相対的位置センサ１が、インクリメンタル型のロータリエンコーダであるとして説明する。

一方、不連続な絶対的位置センサは、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎを含み、操作対象軸である弁軸２００が回転方向における所定の位置に到達したときに、その所定の位置に対応して設けられた各ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎはそれぞれ検知信号Ｐ１〜Ｐｎを出力する。ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎは、弁軸２００が回転方向において特定の位置に到達したことを示す電気信号を出力することが可能な部品であればよい。具体的には、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎとして、例えば、リミットスイッチ、フォトインタラプタ―およびホール素子を用いることができる。ここで、上記電気信号は、弁軸２００が回転方向において特定の位置に到達したことを示す信号であればよく、例えばオン・オフ信号（状態を表す信号、例えばデジタル信号）である。

図２を参照して、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎの配置について説明する。図２には、ｎ＝５とした場合のＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿５の配置例が示されている。

図２に示すように、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿５は、弁軸２００の回転可能範囲ＳＲ内において、互いに異なる複数の位置毎に対応して設けられ、弁軸２００がその対応する位置に到達したときに検知信号Ｐ１〜Ｐｎを夫々出力する。

ここで、回転可能範囲ＳＲとは、弁軸２００の回転方向における回転可能な範囲であり、例えば、回転方向における第１位置としての弁開度が０％となる全閉位置Ｐｃから、第２位置としての弁開度が１００％となる全開位置Ｐｏまでの範囲を示す。

回転制御装置１００において、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿５は、弁開度が０％から１００％までの範囲における何れかの位置に対応して設けられている。例えば、図２に示す配置例の場合、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１は、弁開度が０％となる全閉位置Ｐｃに対応して設けられ、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿２は、弁開度が２０％となる位置Ｐａに対応して設けられ、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿３は、弁開度が５０％となる位置Ｐｍに対応して設けられ、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿４は、弁開度が７０％となる位置Ｐｂに対応して設けられ、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿５は、弁開度が１００％となる全開位置Ｐｏに対応して設けられている。
なお、通常動作モードに関する説明中の「所定の中間位置」は、弁軸２００において、弁開度が０％となる全閉位置Ｐｃと弁開度が１００％となる全開位置Ｐｏとを除いた、弁開度が２０％となる位置Ｐａ、弁開度が５０％となる位置Ｐｍ、弁開度が７０％となる位置Ｐｂを意味する。

図２に示す配置例の場合、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１は、弁軸２００が全閉位置Ｐｃに到達したときに検知信号Ｐ１を出力する。ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿２は、弁軸２００が位置Ｐａ（弁開度：２０％）に到達したときに検知信号Ｐ２を出力する。ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿３は、弁軸２００が位置Ｐｍ（弁開度：５０％）に到達したときに検知信号Ｐ３を出力する。ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿４は、弁軸２００が位置Ｐｂ（弁開度：７０％）に到達したときに検知信号Ｐ４を出力する。ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿５は、弁軸２００が全開位置Ｐｏ（弁開度：１００％）に到達したときに検知信号Ｐ５を出力する。

次に、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎの具体的な構造について説明する。
ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎは、弁軸２００の周りに設けられ、弁軸２００の軸線と直交する第１主面２０ａおよび第２主面２０ｂを有するプリント基板２０と、このプリント基板の第１主面２０ａおよび第２主面２０ｂ上にそれぞれ配置された複数の第１電極２１ａおよび第２電極２１ｂと、弁軸２００の側面に固定されたショートプレート２０１と、ショートプレート２０１の第１接触子２０１ａおよび第２接触子２０１ｂが複数の第１電極２１ａおよび第２電極２１ｂの１つにそれぞれ接触すると検知信号Ｐｉを出力する検出回路２３＿ｉと、プリント基板２０の第１主面２０ａ上に配置された複数の第１カム部材２４ａと、第２主面２０ｂ上に配置された複数の第２カム部材２４ｂとを備えている。

以下、プリント基板２０の第１主面２０ａおよび第２主面２０ｂをあわせて「主面２０ａ、２０ｂ」ということがある。また、第１電極２１ａおよび第２電極２１ｂをあわせて「電極２１ａ、２１ｂ」ということがある。また、ショートプレート２０１の第１接触子２０１ａおよび第２接触子２０１ｂをあわせて「接触子２０１ａ、２０１ｂ」ということがある。また、第１カム部材２０ａと第２カム部材２０ｂとをあわせて「カム部材２０ａ、２０ｂ」ということがある。

図３Ａ〜３Ｅは、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎの具体的な構造の一例を示す図である。ここでは、ｎ＝５とした場合が図示されている。

ここで、図３Ａおよび図３Ｂは、それぞれ、弁軸２００が全閉位置Ｐｃ、位置Ｐａ（弁開度：２０％）、位置Ｐｍ（弁開度：５０％）、位置Ｐｂ（弁開度：７０％）、全開位置Ｐｏ（弁開度：１００％）の何れかに到達した状態におけるＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎの構造を模式的に示す平面図および断面図である。また、図３Ｃおよび図３Ｄは、それぞれ、弁軸２００が上記の所定の位置の何れにも到達していないときのＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎの構造を模式的に示す平面図および断面図である。また、図３Ｅは、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎの構造を模式的に示す側面図である。

この例において、個々のＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿ｉ（１≦ｉ≦ｎ）は、図３Ａ〜３Ｅに示されるように、弁軸２００の周りに設けられるプリント基板２０上に、抵抗Ｒと電極２１ａ、２１ｂを配置し、弁軸２００にショートプレート２０１を設けることによって実現することができる。

具体的には、プリント基板２０の第１主面２０ａに第１電極２１ａを形成するとともに、第１電極２１ａと電源電圧が供給される電源ラインＶｃｃとの間に抵抗Ｒを接続する。また、プリント基板２０の第２主面２０ｂに第２電極２１ｂを形成するとともに、第２電極２１ｂを、グラウンド電圧が供給されるグラウンドラインＧＮＤに接続する。プリント基板２０の二つの主面２０ａ、２０ｂにそれぞれ形成される複数の電極２１ａ、２１ｂは、弁軸２００の軸を中心とする円周Ｃ１に沿って配置されている。ここで、抵抗Ｒは、例えば、プリント基板２０の第１主面２０ａに配置すればよい。また、電源ラインＶｃｃは、例えば、プリント基板２０の第１主面２０ａに形成し、グラウンドラインＧＮＤは、例えば、プリント基板２０の第２主面２０ｂに形成すればよい。

プリント基板２０の第１主面２０ａには、後述する位置算出部３、操作量算出部４および補正部１０として機能するマイクロコントローラやＣＰＵ等のプログラム処理装置を含むＩＣチップ３０や記憶用メモリー等が配置される。ここで、上述した抵抗Ｒと電極２１ａとが接続されるノードｎａは、ＩＣチップ３０の何れか一つの入力端子に接続される。

弁軸２００は、プリント基板２０に設けられた貫通孔２０ｃに挿通されている。弁軸２００の軸線とプリント基板２０の主面２０ａ、２０ｂとは互いに直交する。弁軸２００の外周面には、ショートプレート２０１が接合されている。

図３Ｂ，３Ｄに示されるように、ショートプレート２０１は、例えば側面視「コ」字状に形成されている。ショートプレート２０１は、例えば、真鍮やステンレス等の金属から成る短冊状の板部材を曲げ加工して側面視「コ」字状に形成すればよい。このようなショートプレート２０１を弁軸２００の側面にネジ等で固定することによって、このショートプレート２０１は、一端が弁軸２００に固定されてこの弁軸２００の径方向に延在する第１接触子２０１ａと、この第１接触子２０１ａと電気的に接続され、一端が弁軸２００に固定されてこの弁軸２００の径方向に延在する第１接触子２０１ａとを提供することとなる。第１接触子２０１ａと第２接触子２０１ｂとは、ともに弾性変形可能な板状の部材である。プリント基板２０は、これら一対の接触子２０１ａ、２０１ｂの間に配置される。この状態でこれらの接触子２０１ａ、２０１ｂの接点２０１ａ’、２０１ｂ’がプリント基板２０の表と裏の２つの主面２０ａ、２０ｂの方向にそれぞれ付勢されている。したが
って、弁軸２００に固定されたショートプレート２０１は、対向する一対の接触子２０１ａ，２０１ｂがプリント基板２０を挟み込んだ状態で弁軸２００とともに回転する。

弁軸２００が、全閉位置Ｐｃ、弁開度が２０％となる位置Ｐａ、弁開度が５０％となる位置Ｐｍ、弁開度が７０％となる位置Ｐｂ、および全開位置Ｐｏの何れかの位置に到達したとき、ショートプレート２０１の接触子２０１ａ、２０１ｂは、これらの所定の位置に対応する位置に配置された電極２１ａ、２１ｂと接触する。例えば、図３Ａに示すように、弁軸２００が回転して、ショートプレート２０１がＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿３の位置に到達したとき、ショートプレート２０１の接点２０１ａ’がＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿３の電極２１ａと接触するとともに、ショートプレート２０１の接点２０１ｂ’がＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿３の電極２１ｂと接触する。このとき、電源ラインＶｃｃから、抵抗Ｒ、電極２１ａ、ショートプレート２０１、および電極２１ｂを介してグラウンドラインＧＮＤに至る電流経路が形成され、ノードｎａの電位が０Ｖ（グラウンド電位）となる。

一方、図３Ｃに示すように、ショートプレート２０１がＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１とＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿２との間にあるときは、すなわち、弁軸２００が中間位置にないときは、ショートプレート２０１の接点２０１ａ’，２０１ｂ’は、何れのＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿５の電極２１ａ，２１ｂにも接触しない状態となる。これにより、各ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿５のノードｎａの電位がＶｃｃ（電源電圧）となる。

このように、各ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿５のノードｎａの電圧変化を検知信号としてＩＣチップ３０に入力することにより、弁軸２００が回転方向における所定の位置に到達したことを検出することが可能となる。したがって、一端が電源ラインＶｃｃに接続された抵抗Ｒと、この抵抗Ｒの他端に接続された電極２１ａと、グラウンドラインＧＮＤに接続された電極２１ｂは、ショートプレート２０１の接触子２０１ａ、２０１ｂの他端側の一部が、複数の電極２１ａ、２１ｂのうち１つにそれぞれ接触すると検知信号Ｐｉを出力する検出回路を構成する。

さらに本実施の形態においては、ＯＮ／ＯＦＦセンサは、プリント基板２０の第１主面２０ａ上に配置されたカム部材２４ａと、第２主面２０ｂ上に配置されたカム部材２４ｂとを備えている。図３Ａおよび図３Ｃに示すように、これらのカム部材２４ａ、２４ｂは、それぞれプリント基板２０の２つの主面２０ａ、２０ｂ上において、弁軸２００の軸線を中心とする円周Ｃ２に沿って配置されている。

カム部材２４ａ、２４ｂは、プラスチック等の材料から構成され、それぞれ、円周Ｃ２に沿って主面上の所定の中間位置に対応する位置、すなわち電極２１ａ、２１ｂが配置されている位置に近づくにつれて主面からの高さが低くなる形状を有している。２つの主面２０ａ、２０ｂのそれぞれで隣り合う２つのカム部材の互いに対向する端部は、互いに離間している。
これらのカム部材２４ａ、２４ｂを接着剤でプリント基板２０に固定するには、接着剤やネジを用いればよい。なお、カム部材２４ａ、２４ｂをプリント基板２０上に実装する代わりに、図示しない樹脂ケース等の構造物上にカム部材２４ａ、２４ｂを形成してもよい。

図３Ｄは、弁軸２００が所定の位置、すなわち、図２に示した全閉位置Ｐｃ、位置Ｐａ、位置Ｐｍ、位置Ｐｂ、および全開位置Ｐｏのいずれかにないときの不連続な絶対的位置センサの様子を説明する図である。図３Ｄに示すように、弁軸２００が所定の位置のいずれにもないときに、ショートプレート２０１の接触子２０１ａ、２０１ｂは、プリント基板２０の両主面２０ａ、２０ｂ上にそれぞれ設けられたカム部材２４ａ、２４ｂと接触し、接触子２０１ａ、２０１ｂの他端側はプリント基板２０の両主面２０ａ、２０ｂから離間する方向に移動する。したがって、この場合は、接触子２０１ａ、２０１ｂの接点２０１ａ’、２０１ｂ’はプリント基板２０の主面２０ａ、２０ｂとは接触しない。
これに対し、弁軸２００が所定の位置のいずれかにあるときは、図３Ｂに示すように、ショートプレート２０１の接触子２０１ａ、２０１ｂは電極２１ａ、２１ｂに接触する。

次に、位置算出部３、操作量算出部４、および操作部５について説明する。

位置算出部３は、弁軸２００の絶対的な位置を算出する機能部である。位置算出部３は、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎの検知信号Ｐ１〜Ｐｎが出力されてからの、相対的位置センサ１によって検出された機械的変位Ｍｄの積算値と、その検知信号Ｐ１〜Ｐｎを出力したＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎに対応する位置を示す基準値ＡＰとに基づいて、操作対象軸の回転方向の絶対的な位置を算出する。
なお、基準値ＡＰは、例えば、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎに対応する位置を角度（°）として表した数値データであり、この数値データは、基板２０上に設けられたメモリー（またはＩＣチップ３０内のメモリー）に予め記憶されている。

位置算出部３は、例えば、マイクロコントローラやＣＰＵ等のプログラム処理装置によるプログラム処理によって実現することができる。上述の例の場合、プリント基板２０に載置されたＩＣチップ３０によって実現される。

より具体的には、位置算出部３は、基準値更新部３２、相対的位置情報取得部３１、および位置決定部３３を含む。

基準値更新部３２は、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎから検知信号Ｐ１〜Ｐｎが出力された場合に、基準値ＡＰを更新するとともにリセット信号ＲＳＴを出力する機能部である。

ここで、基準値ＡＰは、回転可能範囲ＳＲ内における絶対的な位置を示す値であり、弁軸２００の回転方向の絶対的な位置を算出する際の基準となる。

具体的に、基準値更新部３２は、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎが検知信号Ｐ１〜Ｐｎを出力する度に、基準値ＡＰを、その検知信号を出力したＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎに対応する位置を示す値に設定する。例えば、図２の例の場合、先ず、弁軸２００が回転して弁開度が２０％となる位置Ｐａに到達し、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿２が検知信号Ｐ２を出力した場合、基準値更新部３２は、基準値ＡＰを、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿２に対応する位置Ｐａを示す値に設定する。その後、弁軸２００が更に回転し、弁開度が５０％となる位置Ｐｍに弁軸２００が到達してＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿３が検知信号Ｐ３を出力した場合、基準値更新部３２は、基準値ＡＰを、位置Ｐａを示す値からＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿３に対応する位置Ｐｍを示す値に変更する。

相対的位置情報取得部３１は、相対的位置センサ１によって検出された弁軸２００の回転方向の機械的変位Ｍｄを取得し、その機械的変位Ｍｄの積算値ＲＰを算出する機能部である。例えば、相対的位置情報取得部３１は、相対的位置センサ１としてのインクリメンタル型のロータリエンコーダから出力されるパルスをカウントし、そのパルス数の積算値ＲＰを算出する。

また、相対的位置情報取得部３１は、基準値更新部３２からリセット信号ＲＳＴが出力された場合に、それまでにカウントしていたパルス数の積算値ＲＰをリセットする。リセット後、相対的位置情報取得部３１は、パルスのカウント動作を再開する。

すなわち、相対的位置情報取得部３１は、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎのいずれかから検知信号が出力される度に、積算値ＲＰをリセットする。したがって、相対的位置情報取得部３１によって算出される積算値ＲＰは、直前に基準値ＡＰが更新されてから次に基準値ＡＰが更新されるまでに、ロータリエンコーダから出力されたパルス数の累積値となる。

位置決定部３３は、基準値更新部３２によって生成された基準値ＡＰと、相対的位置情報取得部３１によって算出されたパルス数の積算値ＲＰに基づく弁軸２００の回転方向の機械的変位量とを加算して、回転可能範囲ＳＲにおける弁軸２００の絶対的な位置を算出する。位置決定部３３は、算出した弁軸２００の絶対的な位置を弁開度に換算し、換算した値を実開度ＰＶとして出力する。

操作量算出部４は、弁軸２００の回転方向の目標位置としての弁開度の目標値ＳＰと、位置算出部３によって算出された実開度ＰＶとに基づいて、弁軸２００の操作量を算出する機能部である。操作量算出部４は、例えば、位置算出部３と同様に、マイクロコントローラやＣＰＵ等のプログラム処理装置によるプログラム処理によって実現することができる。上述の例の場合、プリント基板２０に載置されたＩＣチップ３０によって実現される。

具体的には、操作量算出部４は、目標値取得部４１、偏差算出部４２、および操作量決定部４３を含む。

目標値取得部４１は、例えばバルブ制御システムにおける上位装置（図示せず）から与えられた弁開度の目標値ＳＰを取得する機能部である。目標値ＳＰは、外部コントローラから通信や、例えば4-20mＡのアナログ信号によって設定される。

偏差算出部４２は、目標値取得部４１によって取得された弁開度の目標値ＳＰと、位置算出部３によって算出された実開度ＰＶとの偏差ΔＰを算出する機能部である。

操作量決定部４３は、偏差算出部４２によって算出された偏差ΔＰに基づいて、弁軸２００が目標値ＳＰに基づく回転方向の目標位置に到達するまでに必要な操作量ＭＶを算出する。

操作部５は、操作量算出部４によって算出された操作量ＭＶに基づいて、弁軸２００を回転可能範囲ＳＲ内で操作する機能部である。具体的に、操作部５は、電動モータ５２、電動モータ駆動部５１、および減速機５３を含む。

電動モータ５２は、弁軸２００を操作するための回転力を発生させる部品である。電動モータ５２としては、ブラシレスモータやステッピングモータ、同期モータ等を例示することができる。

電動モータ駆動部５１は、電動モータ５２を駆動する機能部である。具体的に、電動モータ駆動部５１は、操作量算出部４によって算出された操作量ＭＶに応じた電流（または電圧）を電動モータ５２に印加することにより、電動モータ５２の出力軸を回転させる。

減速機５３は、電動モータ５２よって発生した回転力を減速して弁軸２００に伝達する動力伝達機構である。例えば、減速機５３は、平歯車機構等の各種歯車機構によって構成されている。減速機５３の出力軸が弁軸２００に連結されることにより、電動モータ５２の回転力を所定の減速比で減速した回転力によって弁軸２００を回転させることができる。

次に、補正部１０について説明する。この補正部１０は、位置算出部３で算出される弁軸２００の絶対的な位置に対して変化をもたらす要因、具体的には、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎを構成する要素の摩耗による経時的形状変化、特にカム部材２４ａ、２４ｂの摩耗による経時的形状変化といった要因が生じた場合に、「補正動作モードにおける動作原理」のところで詳述する方法によって、弁軸２００の絶対的な位置を算出する際に用いられる基準値ＡＰを補正し、これによって前記変化を是正する機能部である。

補正部１０は、操作指示部１１、位置検出部１２、位置情報保存部１３、検出位置変化量算出部１４および基準値補正量算出部１５といった機能部から主に構成され、例えば、基板２０上に設けられたメモリー（またはＩＣチップ３０内のメモリー）に演算プログラムの形で組み込まれる。

操作指示部１１は、例えば電源投入後に自動的に実行され、または、通常動作時において制御対象の制御に支障が生じない任意のタイミングで実施される補正モード（補正モードの詳細については後述する。）において、第１位置と第２位置との間に位置する弁軸２００（調節弁）を、中間位置、すなわち、全閉位置Ｐｃ、弁開度２０％位置Ｐａ、弁開度５０％位置Ｐｍ、弁開度７０％位置Ｐｂおよび全開位置Ｐｏのうちの少なくとも１つ（以下、「特定中間位置Ｐα」という。）と基準位置Ｐｓｔ（基準位置に関しては、「補正動作モードにおける動作原理」のところで詳述する。）との間で回転させまたは停止させる指示を与える機能部である。操作指示部１１は、弁軸２００を回転させる指示信号ＳＳ１０を操作部５に向けて出力するとともに、後述する位置検出部１２から出力される回転停止の指示信号ＳＳ１６を受信したとき、弁軸２００の回転を停止させる指示信号ＳＳ１０−２を操作部５に向けて出力する。

位置検出部１２は、前記操作指示部１１からの指示命令に基づいて回転する弁軸２００の位置を検出する機能部である。位置検出部１２は、例えば、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎからの検知信号（以下、通常動作モードにおける検知信号と区別するために、「補正用検知信号ＳＳ１１」という。）を受信し、この受信の開始または受信の終了をトリガーに、補正時における特定中間位置Ｐαを検出する機能部である。なお、特定中間位置Ｐαの検出に関しては、「補正動作モードにおける動作原理」のところで詳述する。特定中間位置Ｐαの検出に関する情報ＳＳ１３は、位置検出部１２から検出位置変化量算出部１４に向けて送信される。
また、位置検出部１２は、例えば、基準位置Ｐｓｔに配設された基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ（基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ１２ａ、１２ｂ。詳細については、後述する）から出力される基準位置検知信号ＳＳ１４を受信することで、弁軸２００が基準位置Ｐｓｔにあることを検出し、この検出情報ＳＳ１５を検出位置変化量算出部１４に向けて送信する。
さらに、位置検出部１２は、特定中間位置Ｐαおよび基準位置Ｐｓｔを検出すると、弁軸２００の回転を停止させる指示信号ＳＳ１６を操作指示部１１に向けて出力する。

位置情報保存部１３は、特定中間位置Ｐαと基準位置Ｐｓｔとの間を回転する弁軸２００の変位量（以下、「回転区間変位量Ｌα」という。）の初期値（以下、補正時の「回転区間変位量Ｌα」と区別するために「回転区間初期変位量Ｌαｒｅｆ」という。）、および回転区間初期変位量Ｌαｒｅｆに対応した弁軸２００の回転角度（以下、「初期回転角度θαｒｅｆ」という。）に関する情報（以下、「特定中間位置Ｐαに関する初期情報」という。）を記憶する機能部である。また、位置情報保存部１３は、第１位置と第２位置との間を回転する弁軸２００の変位量（以下、「回転可能区間変位量Ｌｓｐ」という。）および回転角（以下、「最大回転角θｓｐ」という。）といった情報（以下、「基本情報」という。）も記憶する。
初期情報および基本情報は、例えば、基板２０上（またはＩＣチップ３０内）に設けられた不揮発性メモリーに記憶される。

ここで、前記初期および初期値とは、本実施の形態に係る回転制御装置１００が製造された直後に、工場の完成品検査工程等において、「回転区間変位量Ｌαの初期値の計測方法」のところで後述する所定の方法によって回転区間変位量Ｌαが計測される時点およびその計測値を意味する。

検出位置変化量算出部１４は、「補正モードの動作原理」のところで詳述する方法によって、補正時の回転区間変位量Ｌαを計測し、この回転区間変位量Ｌαと位置情報保存部１３に格納されている回転区間初期変位量Ｌαｒｅｆとからこれらの差分に相当する経時的変化量ΔＬαを測定する機能部である。

ここで、回転区間変位量Ｌαおよび回転区間初期変位量Ｌαｒｅｆは、いずれも相対的位置センサ１によって検出される機械的変位の積算値、より具体的には、相対的位置センサ１を構成するインクリメンタル型のロータリエンコーダから一定の回転角毎に出力されるパルス数の積算値して計測される（以下、回転区間変位量Ｌαに対応する積算値を「回転区間積算値ＰＣα」といい、回転区間初期変位量Ｌαｒｅｆに対応する積算値を「回転区間回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆ」という。）。
また、前記基本情報である回転可能区間変位量Ｌｓｐも、相対的位置センサ１によって検出される機械的変位の積算値（以下、「回転可能区間積算値ＰＣｓｐ」という。）の形で計測される。

検出位置変化量算出部１４は、位置検出部１２が出力する検出信号ＳＳ１３および検出信号ＳＳ１５を受信するとともに、相対位置センサ１から機械的変位Ｍｄに関する情報を受信する。検出位置変化量算出部１４は、これら受信情報に基づいて、回転区間積算値ＰＣαを計測する。さらに、検出位置変化量算出部１４は、位置情報保存部１３に格納されている、回転区間初期変位量Ｌαｒｅｆに対応した回転区間回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆに関する情報ＳＳ１７受信し、この回転区間回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆと回転区間積算値ＰＣαとの差分から、経時的積算変化量ΔＰＣαを測定する。

基準値補正量算出部１５は、検出位置の経時的積算変化量ΔＰＣαと弁軸２００の最大回転角θｓｐ及びこの回転角に対応した回転区間変位量Ｌｓｐに相当する回転可能区間積算値ＰＣｓｐとから基準値ＡＰに対する補正量Δθを算出する機能部である。
基準値補正量算出部１５は、検出位置変化量算出部１４から検出位置の経時的変化量ΔＬαおよび経時的積算変化量ΔＰＣαに関する情報ＳＳ１８を受信し、また、初期時の弁軸２００の最大回転角θｓｐとこの回転角に対応した回転区間変位量Ｌｓｐ（回転可能区間積算値ＰＣｓｐ）に関する情報ＳＳ１９を位置情報保存部１３から受信する。

また、本実施の形態に係る回転制御装置１００は、回転区間変位量Ｌαを計測する際の起点または終点となる基準位置Ｐｓｔを検出するためのセンサとして、前述したように、基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ（基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ１２ａ、１２ｂを備える。

この基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサは、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎと同様に、弁軸２００が回転方向において特定の位置に到達したことを示す電気信号を出力することが可能な部品であればよく、例えば、リミットスイッチ、フォトインタラプタ―およびホール素子から構成される。ここで、上記電気信号は、弁軸２００が回転方向において特定の位置に到達したことを示す信号であればよく、例えばオン・オフ信号（状態を表す信号、例えばデジタル信号）である。基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサは、弁軸２００が基準位置Ｐｓｔに到達すると、基準位置到達信号Ｑを出力するように構成されている。

本実施の形態は、弁軸２００の回転可能な範囲の端点を形成する第１位置および第２位置に、第１基準位置Ｐｓｔ１および第２基準位置Ｐｓｔ２を設けている。このため、弁軸２００が第１基準位置Ｐｓｔ１に到達したときに第１基準位置到達信号Ｑ1を出力する第１基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ１２ａが第１位置に、弁軸２００が第２基準位置Ｐｓｔ２に到達したときに第２基準位置到達信号Ｑ２を出力する第２基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ１２ｂが第２位置にそれぞれ配設されている。

なお、本実施の形態では、第１位置が全閉位置Ｐｃで構成され、第２位置が全開位置Ｐｏで構成されている。このため、第１基準位置Ｐｓｔ１と全閉位置Ｐｃとは同じ位置にあり、第２基準位置Ｐｓｔ２と全開位置Ｐｏとは同じ位置にある。したがって、構造的に可能であれば、全閉位置Ｐｃ側基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ１２ａをＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１で代用し、全開位置Ｐｏ側基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ１２ｂをＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿５で代用してもよい。
このとき、全閉位置Ｐｃおよび全開位置Ｐｏの検出位置が経時的に変化しないよう、例えば、これらの位置を検出するＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１および２＿５の近傍に、弁軸２００の回転を機械的に規制する要素（例えばストッパーＷ）が配設されていることが望ましい。ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１、２＿５が備える電極２１ａ、２１ｂおよびカム部材２４ａ、２４ｂ等の形で経時的形状変化によって全閉位置Ｐｃおよび全開位置Ｐｏの検出位置が経時的に変化することが想定される場合には、基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ１２ａ、１２ｂを、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１、２＿ｎで代用することなく、経時的形状変化のない部位に別途配設することが望ましい。

≪回転制御装置１００における通常動作モードの動作原理≫
次に、前記構成からなる本実施の形態に係る回転制御装置１００の動作態様のうち、通常動作モードの動作原理について、その一例を図１ないし図５を参照しながら説明する。
まず、回転制御装置１００による原点復帰の動作について説明する。

図４は、実施の形態１に係る回転制御装置１００の原点復帰動作モードにおける動作の流れを示す図である。
ここでは、回転制御装置１００の電源投入の時点で、弁軸２００が、弁開度が８０％となる位置に到達している場合を例にとり、説明する。

回転制御装置１００に電源が投入された場合、回転制御装置１００は、相対的位置センサの原点復帰の処理を行う原点復帰動作モードで動作を開始する。原点復帰動作モードにおいて、回転制御装置１００は、調節弁を閉じる方向に電動モータ５２を駆動する（Ｓ１１）。具体的には、電動モータ駆動部５１は、操作量決定部４３によって弁開度が０％となるように算出された操作量ＭＶに基づいて、電動モータ５２を駆動する。

次に、回転制御装置１００は、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎから検知信号が出力されたか否かを判定する（Ｓ１２）。ステップＳ１２において、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎから検知信号が出力されなかった場合には、回転制御装置１００は、引き続き、弁開度が０％になるように電動モータ５２を駆動する。

一方、ステップＳ１２において、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎから検知信号が出力された場合には、回転制御装置１００は、検知信号を出力したＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎに対応する位置を、弁軸２００の絶対的な位置を算出する際の基準値ＡＰ（初期点）とする（Ｓ１３）。

例えば、図２の例の場合、ステップＳ１１において弁開度が８０％となる位置から０％になる方向に弁軸２００が回転し、その後、弁開度が７０％となる位置Ｐｂに弁軸２００が到達したときに、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿４から検知信号Ｐ４が出力される。このとき、位置算出部３における基準値更新部３２は、検知信号Ｐ４を出力したＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿４に対応する位置Ｐｂを示す値を基準値ＡＰとして設定するとともに、リセット信号ＲＳＴを出力する。

基準値更新部３２からのリセット信号ＲＳＴを受けた相対的位置情報取得部３１は、それまでにカウントしていたパルス数の積算値ＲＰをリセットする（Ｓ１４）。

以上により原点復帰の処理が完了し、回転制御装置１００は、原点復帰動作モードから通常動作モードに移行する。

次に、原点復帰後の通常動作モードにおける回転制御装置１００の動作について説明する。
図５は、実施の形態１に係る回転制御装置の通常動作モードにおける動作の流れを示すフロー図である。

回転制御装置１００は、原点復帰動作モードが終了すると、通常動作モードに移行する。通常動作モードにおいて、回転制御装置１００は、上位装置から弁開度の目標値ＳＰの変更が指示されるまで待機する（Ｓ２０）。弁開度の目標値ＳＰの変更が指示された場合には、回転制御装置１００の偏差算出部４２が、位置算出部３によって算出された弁軸２００の絶対的な位置に基づく実開度ＰＶが上位装置から指示された目標値ＳＰよりも大きいか否かを判定する（Ｓ２１）。

ステップＳ２１において、実開度ＰＶが目標値ＳＰよりも大きい場合、回転制御装置１００は、調節弁を閉じる方向に電動モータ５２を駆動する（Ｓ２２ａ）。具体的には、操作量決定部４３が、偏差算出部４２によって算出された偏差ΔＰに基づいて、弁開度が目標値ＳＰとなるように操作量ＭＶを算出し、電動モータ駆動部５１が、その操作量ＭＶに基づいて電動モータ５２を駆動する。

一方、ステップＳ２１において、実開度ＰＶが目標値ＳＰよりも小さい場合、回転制御装置１００は、調節弁を開く方向に電動モータ５２を駆動する（Ｓ２２ｂ）。具体的には、操作量決定部４３が、偏差算出部４２によって算出された偏差ΔＰに基づいて、弁開度が目標値ＳＰとなるように操作量ＭＶを算出し、電動モータ駆動部５１が、その操作量ＭＶに基づいて電動モータ５２を駆動する。

ステップＳ２２ａまたはステップＳ２２ｂの後、回転制御装置１００は、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎの一つから検知信号が出力されたか否かを判定する（Ｓ２３）。

ステップＳ２３において、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎから検知信号が出力されていない場合には、回転制御装置１００は、直前に基準値更新部３２によって設定された基準値ＡＰと、相対的位置情報取得部３１によって算出された相対的位置センサ１からの出力パルス数の積算値ＲＰに基づく弁軸２００の機械的変位量とに基づいて、実開度ＰＶ（弁軸２００の絶対的な位置）を算出する（Ｓ２６）。

例えば、上述の原点復帰の処理（ステップＳ１１〜Ｓ１４）の後、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎから検知信号が一度も出力されていない場合には、原点復帰動作モードのステップＳ１３において設定した基準値ＡＰ（上記例の場合、弁開度が７０％となる位置）に、相対的位置情報取得部３１によって算出された積算値ＲＰに基づく弁軸２００の機械的変位量を加算することによって、実開度ＰＶを算出する。

一方、ステップＳ２３において、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎから検知信号が出力された場合には、回転制御装置１００は、基準値ＡＰを更新する（Ｓ２４）。具体的には、基準値更新部３２が、検知信号を出力したＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎに対応する位置を、新たな基準値ＡＰに設定する。例えば、上述の原点復帰動作モードにおいて、基準値ＡＰが位置Ｐｂ（弁開度：７０％）を示す値に設定された直後のステップＳ２３において、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿３から検知信号Ｐ３が出力された場合には、基準値更新部３２は、基準値ＡＰを、位置Ｐｂ（弁開度：７０％）を示す値から位置Ｐｍ（弁開度：５０％）を示す値に変更する。このとき、基準値更新部３２は、リセット信号ＲＳＴも出力する。

基準値更新部３２からのリセット信号ＲＳＴを受けた相対的位置情報取得部３１は、それまでにカウントしていた相対的位置センサ１の出力パルス数の積算値ＲＰをリセットする（Ｓ２５）。

次に、回転制御装置１００は、ステップＳ２４において基準値更新部３２によって設定された基準値ＡＰと、ステップＳ２５でリセットされた後に相対的位置情報取得部３１によってカウントされた積算値ＲＰとに基づいて、実開度ＰＶ（弁軸２００の絶対的な位置）を算出する（Ｓ２６）。例えば、ステップＳ２４において、基準値ＡＰが位置Ｐｍ（弁開度：５０％）を示す値に変更された場合には、その基準値ＡＰに、ステップＳ２５以降に相対的位置情報取得部３１によってカウントされた積算値ＲＰに基づく弁軸２００の機械的変位量を加算することによって弁軸２００の絶対的な位置を算出し、その位置から実開度ＰＶを算出する。

次に、回転制御装置１００は、ステップＳ２７において算出された実開度ＰＶが目標値ＳＰと一致するか否かを判定する（Ｓ２７）。

ステップＳ２７において、実開度ＰＶが目標値ＳＰと一致しない場合には、ステップＳ２１に戻り、回転制御装置１００は、再度、上述の処理（Ｓ２１〜Ｓ２６）を行う。一方、ステップＳ２７において、実開度ＰＶが目標値ＳＰと一致した場合には、回転制御装置１００は、弁開度を目標値に設定する一連の処理を終了する。

≪回転制御装置１００における補正モードの原理≫
次に、前記構成からなる本実施の形態に係る回転制御装置１００の動作態様のうち、例えば電源投入後に自動的に実施され、または、通常動作時において制御対象の制御に支障が生じない任意のタイミングで実施される補正モードの動作原理について、図６ないし図２３を参照しながら説明する。

＜補正モードの動作原理の概要＞
はじめに、弁軸２００の絶対的な位置に変化をもたらす要因について説明する。
基板２０、およびこの基板２０に設けられた電極２１ａ、２１ｂやカム部材２４ａ、２４ｂといったＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎを構成する要素は、回転制御装置１００が作動している間ショートプレート２０１を介して弁軸２００に接合する接触子２０１ａ、２０１ｂと摺動するため、使用時間・頻度に比例して摩耗する。これら構成要素の摩耗による経時的形状変化、特にカム部材２４ａ、２４ｂの摩耗による経時的形状変化は、接触子２０１ａ、２０１ｂと電極２１ａ、２１ｂとの接触態様を変様させ、この結果、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎによって検出される操作対象軸（２００）の位置、換言すれば、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎから検知信号Ｐ１〜Ｐｎが出力されるときの弁軸２００の回転位置を経時的に変化させる。このため、弁軸２００の位置を正確に検出するには、検知信号Ｐ１〜Ｐｎに基づいて検出される中間位置、すなわち、全閉位置Ｐｃ、弁開度２０％位置Ｐａ、弁開度５０％位置Ｐｍ、弁開度７０％位置Ｐｂおよび全開位置Ｐｏを示す基準値ＡＰも、経時的変化にあわせて変化させる必要がある。ところが、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎが不連続な絶対的位置センサとして機能する回転制御装置１００にあっては、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎによって検出される全閉位置Ｐｃ、位置Ｐａ、位置Ｐｍ、位置Ｐｂおよび全開位置Ｐｏを示すそれぞれの基準値ＡＰは、通常動作モードにおいて固定されている。このため、検知信号Ｐ１〜Ｐｎが出力されるときの弁軸２００の回転位置と、固定された基準値ＡＰに基づいて算出される弁軸２００の絶対的な回転位置とに齟齬が生じることなる。

本実施の形態においては、検知信号Ｐ１〜Ｐｎが出力される時点における弁軸２００の回転位置の経時的変化がＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎによって検出される特定中間位置Ｐαの検出位置の経時的変化であるとの理解のもとで補正が行われる。ここで、特定中間位置Ｐαの検出位置の経時的変化を、特定中間位置Ｐαと基準位置Ｐｓｔとの間を回転する弁軸２００（より詳細には、弁軸２００と接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）の回転区間変位量Ｌαの経時的変化量ΔＬαと捉え、この変化量を初期時と補正時とで計測する。そして、補正時の回転区間変位量Ｌα（以下、単に「回転区間変位量Ｌα」という。）と初期時の回転区間変位量Ｌα（以下、「回転区間初期変位量Ｌαｒｅｆ」という。）との差分から求まる経時的変化量ΔＬαを用いて、中間位置（ここで言う中間位置とは、特定中間位置Ｐαを含めた全ての中間位置を意味する）を示す基準値ＡＰの補正量ΔＡＰを算出する。

弁軸２００の回転区間変位量Ｌαは、前述したように、基準位置Ｐｓｔと特定中間位置Ｐαとの間を弁軸２００が回転する間に相対的位置センサ１が検出する機械的変位Ｍｄ、より具体的には、相対的位置センサ１を構成するインクリメンタル型のロータリエンコーダから一定の回転角毎に出力されるパルス数の積算値の形で定量的に計測される。弁軸２００の回転区間変位量Ｌαの経時的変化量ΔＬαは、初期時に計測された回転区間回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆと補正時に計測された回転区間積算値ＰＣαとの差分である経時的積算変化量ΔＰＣαの形で定量的に測定される。

基準位置Ｐｓｔは、前述したように、回転区間変位量Ｌαを計測する際の起点または終点となる位置であり、必要に応じて複数設けることができる。また、基準位置Ｐｓｔのうちの少なくとも１つは、経時的変化を伴わない位置、例えば、弁軸２００の回転を機械的に規制し、弁軸２００の回転範囲の端点を形成する位置である第１位置および第２位置のいずれかに設けることが望ましい。
本実施の形態では、全閉位置Ｐｃが配設された第１位置に第１基準位置Ｐｓｔ１が設けられ、全開位置Ｐｏが配設された第２位置に第２基準位置Ｐｓｔ２が設けられている。このため、初期時（すなわち、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２を構成する各要素に経時的形状変化のないとき）において、第１基準位置Ｐｓｔ１と全閉位置Ｐｃ、および第２基準位置Ｐｓｔ２と全開位置Ｐｏとが、それぞれ同一位置に設けられることになる。

特定中間位置Ｐαは、前述したように、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎから出力される検知信号Ｐ１〜Ｐｎによって検出される不連続な絶対的位置ｎの少なくとも１つ、すなわち、全閉位置Ｐｃ、弁開度２０％位置Ｐａ、弁開度５０％位置Ｐｍ、弁開度７０％位置Ｐｂおよび全開位置Ｐｏのうちの１つ、または２つ、または３つ、または４つ、または全部であって、基準値ＡＰにより、例えば角度（°）として定量的に表される。

特定中間位置Ｐαの検出は、以下に示す方法によって実行される。
すなわち、操作指示部１１を通じた回転指示により、弁軸２００に接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ（より詳細には、接触子２０１ａ、２０１ｂの先端部に配設された接点２０１ａ’、２０１ｂ’）が特定中間位置Ｐαに到達する位置、すなわち、特定中間位置Ｐαに設けられたＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿αの電極２１ａ、２１ｂと接触する位置まで回転すると、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿αから出力される補正用検知信号ＳＳ１１を位置検出部１２は受信する。ここで、中間位置を高精度（高分解能）で検出するためには、接触子２０１ａ、２０１ｂと電極２１ａ、２１ｂとが接触している間に相対的位置センサ１によって機械的変位Ｍｄが検出されないように、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎ（より詳細には、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎを構成する電極２１ａ、２１ｂやカム部材２４ａ、２４ｂ等）を設計することが望まし。しかし、例えこのように設計しても、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎの構成要素、特にカム部材２４ａ、２４ｂの摩耗によって接触子２０１ａ、２０１ｂと電極２１ａ、２１ｂとの接触範囲が拡張する。接触範囲が相対的位置センサ１によって検出される機械的変位Ｍｄよりも大きくなるまで拡張すると、補正用検知信号ＳＳ１１を受信する位置（以下、「受信開始点」という。この「受信開始点」は、特許請求の範囲に記載の「第１の補正用検出位置」に該当する。）とこの受信が途絶える位置（以下、「受信終了点」という。この「受信終了点」は、特許請求の範囲に記載の「第２の補正用検出位置」に該当する。）とで、相対的位置センサ１によって計測される回転区間積算値ＰＣαが異なることになる。すなわち、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎが出力する検知信号Ｐ１〜Ｐｎによって検出される特定中間位置Ｐαは、相対的位置センサ１によって２つの位置として識別されることになる。
本実施の形態では、必要に応じて、受信開始点と受信終了点とを区別し、これら２つの点の少なくとも１つを基点とし、この基点と基準位置Ｐｓｔとで規定される回転区間に対応した回転区間積算値ＰＣαをそれぞれ計測するように構成される。

なお、以下の説明では、必要に応じて、受信開始点を基点としたときの回転区間積算値ＰＣα（回転区間変位量Ｌα）を、第１の回転区間積算値ＰＣα１（第１の回転区間変位量Ｌα１）と称し、受信終了点を基点としたときの回転区間積算値ＰＣα（回転区間変位量Ｌα）を、第２の回転区間積算値ＰＣα２（第２の回転区間変位量Ｌα２）と称することがある。ここで、第１の回転区間変位量Ｌα１は、特許請求の範囲に記載の「第１の変位量」または「第３の変位量」に該当し、第２の回転区間変位量Ｌα２は、特許請求の範囲に記載の「第２の変位量」または「第４の変位量」に該当する。

受信開始点と受信終了点とを区別して特定中間位置Ｐαを検出することで、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿αの電極２１ａ、２１ｂと円周Ｃ１に沿って接続するカム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化に起因した経時的変化量ΔＬαに関して、例えば、図８、図１０、図１２および図１４に示すような、電極２１ａ、２１ｂの閉方向側端部（図８中の左側端部）に接続する部分の経時的形状変化Ｘ１に起因した経時的変化量ΔＬα（以下、この経時的変化量ΔＬαを必要に応じて「第１の経時的変化量ΔＬα１、ΔＬβ１またはΔＬγ１」と称し、これに対応する積算値を「第１の積算変位量ΔＰＣα１、ΔＰＣβ１またはΔＰＣγ１」と称する。）と、例えば、図１６、図１８、図２０および図２２に示すような、電極２１ａ、２１ｂの開方向側端部（図８中の右側端部）に接続する部分の経時的形状変化Ｘ２に起因した経時的変化量ΔＬα（以下、この経時的変化量ΔＬαを必要に応じて「第２の経時的変化量ΔＬα２」と称し、これに対応する積算値を「第２の積算変位量ΔＰＣα２」と称する。）とを区別して、これらを個別に測定することが可能になる。なお、各図中の実線は補正時のカム部材２４の形状を示し、破線は初期時のカム部材２４の形状を示す。

カム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化Ｘ１に起因した第１の経時的変化量ΔＬ１（経時的変化量ΔＬα１、ΔＬβ１またはΔＬγ１）、より具体的には、第１の経時的積算変化量ΔＰＣ１（第１の経時的積算変化量ΔＰＣα１、ΔＰＣβ１またはΔＰＣγ１）の測定は、例えば後述する第１の方法（図８参照）、第２の方法（図１０参照）、第３の方法（図１２参照）および第４の方法（図１４参照）によって実行される。

すなわち、絶対的な回転位置を示す値が増加する開方向へ弁軸２００を回転させながら、カム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化Ｘ１に起因した第１の回転区間変位量Ｌ１（第１の回転区間積算値ＰＣ１）を計測し、これを用いて特定中間位置ＰαまたはＰγの第１の経時的変化量ΔＬ１（第１の経時的積算変化量ΔＰＣ１）を測定するには、図１０に示す第２の方法または図１４に示す第４の方法によって、前記受信開始点を基点に特定中間位置ＰαまたはＰγを検出することになる。
これに対し、前記閉方向へ弁軸２００を回転させながら、カム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化Ｘ１に起因した第１の回転区間変位量Ｌ１（第１の回転区間積算値ＰＣ１）を計測し、これを用いて特定中間位置ＰαまたはＰβの第１の経時的変化量ΔＬ１（第１の経時的積算変化量ΔＰＣ１）を測定するには、図８に示す第１の方法または図１２に示す第３の方法によって、前記受信終了点を基点に特定中間位置ＰαまたはＰβを検出することになる。

他方、カム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化Ｘ２に起因した第２の経時的変化量ΔＬ２（第２の経時的積算変化量ΔＰＣ２）の測定は、例えば後述する第５の方法（図１６参照）、第６の方法（図１８参照）、第７の方法（図２０参照）および第８の方法（図２２参照）によって実行される。
すなわち、開方向へ弁軸２００を回転させながら、カム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化Ｘ２に起因した第２の回転区間変位量Ｌ２（第２の回転区間積算値ＰＣ２）を計測し、これを用いて特定中間位置ＰαまたはＰγの第２の経時的変化量ΔＬ２（第２の経時的積算変化量ΔＰＣ２）を測定するには、図１８に示す第６の方法または図２２に示す第８の方法によって、前記受信終点を基点に特定中間位置ＰαまたはＰγを検出することになる。
これに対し、前記閉方向へ弁軸２００を回転させながら、カム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化Ｘ２に起因した第２の回転区間変位量Ｌ２（第２の回転区間積算値ＰＣ２）を計測し、これを用いて特定中間位置ＰαまたはＰβの第２の経時的変化量ΔＬ２（第２の経時的積算変化量ΔＰＣ２）を測定するには、図１６に示す第５の方法または図２０に示す第７の方法によって、前記受信開始点を基点に特定中間位置ＰαまたはＰβを検出することになる。

＜特定中間位置Ｐαに関する初期情報の計測＞
次に、特定中間位置Ｐαに関する初期情報、すなわち、初期時における、特定中間位置Ｐαと基準位置Ｐｓｔとの間を回転する弁軸２００の回転区間初期変位量Ｌαｒｅｆ（回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆ）および初期回転角度θαｒｅｆの計測について、図６および７を参照しながら説明する。

ここで、初期および初期値とは、前述したように、本実施の形態に係る回転制御装置１００が製造された直後に、例えば製造工場の検査工程において計測される時点、およびその計測値を意味する。また、添え字「ｒｅｆ」が付された符号によって示される値は、前述したものを含め、全て初期値を意味する。
初期情報の計測は、製造工場に備え付けの所定の装置を用いて実施してもよいし、回転制御装置１００が備える各種機能部、例えば、補正部１０を通じて実施してもよい。

初期情報の計測は、例えば、図６に示すような態様によって実行される。
すなわち、回転区間初期変位量Ｌαｒｅｆは、前記通常動作モードの動作原理と同様に、特定中間位置Ｐαと基準位置Ｐｓｔとの間を弁軸２００が回転する間に相対的位置センサ１を構成するインクリメンタル型のロータリエンコーダから出力されるパルス数を積算することで、回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆとして計測される。初期回転角度θαｒｅｆは、回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆに1パルスあたりの回転角度を乗ずることで計測される。
計測された初期情報は、前述したように、例えば基板２０上（またはＩＣチップ３０内）に設けられた不揮発性メモリーに記憶され保存される。

本実施の形態では、全ての中間位置、すなわち、全閉位置Ｐｃ、弁開度２０％位置Ｐａ、弁開度５０％位置Ｐｍ、弁開度７０％位置Ｐｂおよび全開位置Ｐｏを特定中間位置Ｐα（Ｐα１〜Ｐα５）とし、それぞれの初期情報の計測が行われる。

初期情報の計測は、例えば図７に示すようなステップを介して実行される。
はじめに、弁軸２００（より詳細には、弁軸２００に接合されたショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）を第１基準位置Ｐｓｔ１に配置する（ステップＰＳ１）。このとき、第１基準位置Ｐｓｔ１に配設された第１基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ１２ａから第１基準位置検知信号Ｑ１が出力される。

次に、弁軸２００を開方向（全開位置Ｐｏに向けた方向）へ回転させるように電動モータ５２を駆動する（ステップＰＳ２）。

その後、回転弁軸２００（より詳細には、回転弁軸２００と接合する接触子２０１ａ、２０１ｂ）が特定中間位置Ｐαに到達したか否かを、特定中間位置Ｐαを検出の有無、すなわち、この位置に配設されたＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿αから出力される検知信号（以下、通常動作モードにおける検知信号Ｐｎ（ｎ＝1〜５）と区別するために、検知信号Ｐｎ´´という。）の受信の有無に基づいて判定する（ステップＰＳ３）。特定中間位置Ｐαを検出した場合には、後述するステップＰＳ４へと進み、特定中間位置Ｐαを検出しない場合には、ステップＰＳ２へと戻り、検知信号Ｐα´´を受信するまでステップＰＳ２およびＰＳ３が繰り返えされる。
全ての中間位置を特定中間位置Ｐαとする本実施の形態では、弁軸２００が、第１基準位置Ｐｓｔ１に最も近い中間位置である全閉位置Ｐｃに到達したときに、当該位置に配設されたＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１から出力される検知信号Ｐ１´´を受信することで全閉位置Ｐｃを検出し以降のステップＰＳ４へと進む。検知信号Ｐ１´´を受信しない場合には、ステップＰＳ２へと戻り、検知信号Ｐ１´´を受信するまでステップＰＳ２およびＰＳ３が繰り返えされる。
なお、第１基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ１２ａが全閉位置Ｐｃに配設されたＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１で代用されている場合には、初期検知信号Ｐ１´´は、第１基準位置検知信号Ｑ１と同一の信号となる。

検知信号Ｐα´´を受信することで特定中間位置Ｐαを検出すると、第１基準位置Ｐｓｔ１と特定中間位置Ｐαとの間を回転する弁軸２００の回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆおよび初期角度θαｒｅｆが計測される。この計測値は、例えば基板２０上（またはＩＣチップ３０内）に設けられた不揮発性メモリーに記憶される（ステップＰＳ４）。
ここで、全ての中間位置を特定中間位置Ｐαとする本実施の形態では、はじめに第１基準位置Ｐｓｔ１と隣接する全閉位置Ｐｃを検知信号Ｐ１´´の受信によって検出し、この全閉位置Ｐｃと第１基準位置Ｐｓｔ１との間を回転する弁軸２００の回転区間初期積算値ＰＣｃｒｅｆと初期角度θｃｒｅｆとが計測され、これら計測値が不揮発性メモリーに記憶されることになる。
なお、本実施の形態では、前述したように、第１基準位置Ｐｓｔ１と初期時の全閉位置Ｐｃとが同じ位置にある。このため、全閉位置Ｐｃにおける回転区間初期積算値ＰＣｃｒｅｆおよび初期角度θｃｒｅｆは、いずれもゼロとして計測されることになる。

次に、弁軸２００が全開位置Ｐｏ側の第２基準位置Ｐｓｔ２に到達したか否かを、当該位置に配設された第２基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ１２ｂから出力される第２基準位置検知信号Ｑ２の受信の有無に基づいて判定する（ステップＰＳ５）。

第２基準位置を検出しないときは、ステップＰＳ２へと戻って、ステップＰＳ２ないしステップＰＳ４が繰り返えされる。
全ての中間位置を特定中間位置Ｐαとする本実施の形態では、弁軸２００が、第２基準位置Ｐｓｔ２へ到達するまでに通過する全ての中間位置、すなわち、弁開度２０％位置Ｐａ、弁開度５０％位置Ｐｍ、弁開度７０％位置Ｐｂおよび全開位置Ｐｏを順次検出し、これら中間位置と第１基準位置Ｐｓｔ１との間を回転する弁軸２００の回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆ（回転区間初期積算値ＰＣａｒｅｆ、ＰＣｍｒｅｆ、ＰＣｂｒｅｆおよびＰＣｏｒｅｆ）および初期角度θｃｒｅｆ（初期角度θａｒｅｆ、θｍｒｅｆ、θｂｒｅｆおよびθｏｒｅｆ）がそれぞれ計測され、これら計測値が不揮発性メモリーに記憶されることになる。

弁軸２００が第２基準位置検知信号Ｑ２を受信して第２基準位置Ｐｓｔ２検出したならば、上記一連のステップが終了する。

なお、接触子２０１ａ、２０１ｂと電極２１ａ、２１ｂとの接触範囲が、装置製造時から、相対的位置センサ１によって検出される機械的変位Ｍｄよりも大きく設定されている場合には、初期時より、特定中間位置Ｐαを検出する際の基点として「受信終了点」と「受信終了点」とが存在することになる。
この場合、補正精度を担保する観点から、回転区間初期変位量Ｌαｒｅｆ（回転区間回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆ）と補正時の回転区間変位量Ｌα（回転区間積算値ＰＣα）とは、同一基点に基づいて計測されることが望ましい。

また、ステップＰＳ１において、弁軸２００を全開位置Ｐｏ側の第２基準位置Ｐｓｔ２に配置してもよい。この場合、ステップＰＳ２およびステップＰＳ５では、弁軸２００を閉方向（全開位置Ｐｃに向けた方向）へ回転させるように電動モータ５２を駆動する。また、弁軸２００が全閉位置Ｐｃ側の第１基準位置Ｐｓｔ１に到達したときに出力される第１基準位置検知信号Ｑ１を受信するまで、ステップＰＳ２ないしＰＳ４が繰り返されることなる。

＜経時的変化量ΔＬαの測定方法＞
次に、補正時の回転区間変位量Ｌαの計測および回転区間変位量Ｌαの経時的変化量ΔＬαの測定の方法を、図８ないし図２３を参照しながら説明する。

〔第１の方法〕
はじめに、図８および図９で示される第１の方法について説明する。

この第１の方法は、例えば図８に示すように、補正時に、全閉位置Ｐｃ側の第１位置に設けられた第１基準位置Ｐｓｔ１と全開位置Ｐｏ側の第２位置に設けられた第２基準位置Ｐｓｔ２との間の任意の位置（この任意の位置には、第２基準位置Ｐｓｔ２も含まれる）ある弁軸２００（より詳細には、弁軸２００に接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）を、第１基準位置Ｐｓｔ１に向かう閉方向へ回転させ、この間に検出される特定中間位置Ｐαと第１基準位置Ｐｓｔ１との間の回転区間変位量Ｌαを、相対的位置センサ１によって検出される機械的変位Ｍｄを積算することで回転区間積算値ＰＣαの形で定量的に計測し、この回転区間積算値ＰＣαと位置情報保存部１３に記憶・保存されている回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆとの差分から、特定中間位置Ｐαの経時的変化量ΔＬαを経時的積算変化量ΔＰＣαの形で定量的に計測するというものである。
この第１の方法は、例えば、所定の期間が経過した後に電源が投入されると自動的に実施され、または、通常動作時において制御対象の制御に支障が生じない任意のタイミングで実施される補正モードにおいて実行される。

図８に示す第１の方法は、前述したように、カム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化のうち、特に電極２１ａ、２１ｂの閉方向側端部と接続する部分の経時的形状変化Ｘ１に起因した第１の経時的変化量ΔＬα１を、第１の経時的積算変化量ΔＰＣα１の形で測定するための方法であり、前記閉方向へ弁軸２００を回転させながら補正用検知信号ＳＳ１１の受信終了点を基点として特定中間位置Ｐαを検出して回転区間変位量Ｌα（経時的積算変化量ＰＣα）を計測するように構成されている。
なお、以下で説明では、第１の方法を、第１の経時的変化量ΔＬα１の上位概念である経時的変化量ΔＬαを計測するための方法として説明する。

第１の方法は、例えば図９に示すステップＣＳ１ないしＣＳ７を経て実行される。
すなわち、補正部１０は、補正モードが始動すると、第１基準位置Ｐｓｔ１と第２基準位置Ｐｓｔ２との間の前記任意の位置にある弁軸２００を、全閉位置Ｐｃ側の第１基準位置Ｐｓｔ１に向かう閉方向へ回転させるように、電動モータ５２を駆動させる（ステップＣＳ１）。このとき補正部１０は、操作指示部１１を通じて、操作部５に向けて回転指示命令信号ＳＳ１０を出力する。

補正部１０は、第１基準位置Ｐｓｔ１に向かう閉方向へ弁軸２００が回転している間に、回転開始位置と第１基準位置Ｐｓｔ１との間に配設された特定中間位置Ｐαを、位置検出部１２を通じて検出する（ステップＣＳ２）。当該検出は、前述したように、補正用検知信号ＳＳ１１の受信終了点を基点として実行される。

位置検出部１２を通じて特定中間位置Ｐαが検出されると、位置検出部１２から検出位置変化量算出部１４に向けて検出信号ＳＳ１３が出力され、この検出信号ＳＳ１３を受信した検出位置変化量算出部１４は、回転区間積算値ＰＣαの積算（カウント）を開始する（ステップＣＳ３）。具体的には、通常動作モードと同様に、相対的位置センサ１を構成するインクリメンタル型のロータリエンコーダから出力されるパルス数の積算（カウント）を開始する。

さらに補正部１０は、操作指示部１１を通じて、弁軸２００を第１基準位置Ｐｓｔ１に向けて回転させるように電動モータ５２を駆動させる（ステップＣＳ４）。このとき、電動モータ５２の回転を指示する回転指示命令信号ＳＳ１０が操作指示部１１から操作部５に向けて出力される。

その後、補正部１０は、弁軸２００が第１基準位置Ｐｓｔ１に到達したか否か、すなわち、第１基準位置Ｐｓｔ１を検出したか否かを、当該位置に配設された第１基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ１２ａから出力される第１基準位置検知信号Ｑ１の受信の有無に基づいて判定する（ステップＣＳ５）。

位置検出部１２を通じて第１基準位置検知信号Ｑ１を受信し、これによって第１基準位置Ｐｓｔ１が検出されると、後述するステップＣＳ６へと進む。
他方、位置検出部１２を通じて第１基準位置Ｐｓｔ１が検出されなければ、ステップＣＳ４へと戻り、ステップＣＳ４ないしステップＣＳ５が繰り返えされる。このとき、操作指示部１１は、閉方向へ弁軸２００を回転させる回転指示命令信号ＳＳ１０を、操作部５に向けて出力し続ける。

位置検出部１２を通じて第１基準位置Ｐｓｔ１が検出されると、検出位置変化量算出部１４は、回転区間積算値ＰＣαの積算（カウント）を終了し、回転区間積算値ＰＣαを計測する（ステップＣＳ６）。この回転区間積算値ＰＣαは、前述したように、補正時の回転区間変位量Ｌαを定量的に表す計測値である。
また、位置検出部１２は、弁軸２００の回転停止の指示信号ＳＳ１６を操作指示部１１に向けて出力し、この回転停止の指示信号ＳＳ１６を受信した操作指示部１１は、操作部５に向けて弁軸２００の回転を停止させる指示信号ＳＳ１０−２を出力する。

さらに、検出位置変化量算出部１４は、回転区間積算値ＰＣαと、位置情報保存部１３に記憶・保存されている回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆとから、これら値の差分として求められる検出位置の経時的積算変化量ΔＰＣαを算出する（ステップＣＳ７）。回転区間積算値ＰＣαと、回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆと、検出位置の経時的積算変化量ΔＰＣαとの間には、ΔＰＣα＝ＰＣαｒｅｆ−ＰＣαの関係式が成り立つ。

以上のステップにより、第１の方法による回転区間積算値ＰＣα（補正時の特定中間位置Ｐαと第１基準位置Ｐｓｔ１との間の回転区間変位量Ｌαの計測）、および特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣα（特定中間位置Ｐαの経時的変化量ΔＬα）の測定が終了する。

なお、前記任意の位置から第１基準位置Ｐｓｔ１に至るまでの間に、弁軸２００（より詳細には、弁軸２００に接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）が複数の中間位置を通過する場合には、補正部１０は、それぞれの中間位置を特定中間位置ＰαとしてステップＣＳ２ないしステップＣＳ７を適宜実行するように構成してもよい。

〔第２の方法〕
次に、図１０および図１１で示される第２の方法について説明する。

第２の方法は、例えば図１０に示すように、全閉位置Ｐｃ側の第1位置に設けられた第１基準位置Ｐｓｔ１と全開位置Ｐｏ側の第２位置に設けられた第２基準位置Ｐｓｔ２との間の任意の位置（この任意の位置には、第１基準位置Ｐｓｔ１も含まれる）にある弁軸２００（より詳細には、弁軸２００に接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）を、第２基準位置Ｐｓｔ２に向けて回転（前記開方向に向けて回転）させ、この間に検出される所定の中間位置Ｐαから第２基準位置Ｐｓｔ２に至るまでの回転区間変位量Ｌαを、相対的位置センサ１が検出する機械的変位Ｍｄを積算することで回転区間積算値ＰＣαの形で定量的に計測し、この回転区間積算値ＰＣαと位置情報保存部１３に予め記憶されている回転区間回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆとの差分から、特定中間位置Ｐαの経時的変化量ΔＬαを経時的積算変化量ΔＰＣαの形で定量的に計測するというものである。
この第２の方法は、第１の方法と同様に、例えば、所定の期間が経過した後に電源が投入されると自動的に実施され、または、通常動作時において制御対象の制御に支障が生じない任意のタイミングで実施される補正モードにおいて実行される。

図１０に示す第２の方法は、前述したように、カム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化のうち、特に電極２１ａ、２１ｂの閉方向側端部と接続する部分の経時的形状変化Ｘ１に起因した経時的変化量ΔＬα１を、第１の経時的積算変化量ΔＰＣα１の形で測定するための方法であり、弁軸２００を開方向へ回転させながら補正用検知信号ＳＳ１１の受信開始点を基点として特定中間位置Ｐαを検出して回転区間変位量Ｌα（積算変位量ＰＣα）を計測するように構成されている。
なお、以下で説明では、第２の方法を、第１の経時的変化量ΔＬα１の上位概念である経時的変化量ΔＬαを計測するための方法として説明する。

第２の方法は、例えば図１１に示すステップを経て実行される。
すなわち、補正部１０は、補正モードが始動すると、第１基準位置Ｐｓｔ１と第２基準位置Ｐｓｔ２との間の前記任意の位置ある弁軸２００を、第２基準位置Ｐｓｔ２に向けて回転させるように電動モータを駆動させる（ステップＣＳ１０）。このとき補正部１０は、操作指示部１１を通じて、操作部５に向けて回転指示命令信号ＳＳ１０を出力する。

補正部１０は、第２基準位置Ｐｓｔ２に向かう開方向へ弁軸２００が回転している間に、回転開始位置と第２基準位置Ｐｓｔ２との間に配設された特定中間位置Ｐαを、位置検出部１２を通じて検出する（ステップＣＳ１１）。当該検出は、前述したように、補正用検知信号ＳＳ１１の受信開始点を基点として実行される。

位置検出部１２を通じて特定中間位置Ｐαが検出されると、第１の方法と同様に、位置検出部１２から検出位置変化量算出部１４に向けて検出信号ＳＳ１３が出力され、この検出信号ＳＳ１３を受信した検出位置変化量算出部１４は、回転区間積算値ＰＣαの積算（カウント）を開始する（ステップＣＳ１２）。具体的には、通常動作モードと同様に、相対的位置センサ１を構成するインクリメンタル型のロータリエンコーダから出力されるパルス数の積算（カウント）を開始する。

さらに補正部１０は、操作指示部１１を通じて、弁軸２００を第２基準位置Ｐｓｔ２に向けて回転させるように電動モータ５２を駆動させる（ステップＣＳ１３）。このとき、回転指示命令信号ＳＳ１０が操作指示部１１から操作部５に向けて出力される。

その後、補正部１０は、弁軸２００が第２基準位置Ｐｓｔ２に到達したか否か、すなわち、第２基準位置Ｐｓｔ２が検出されたか否かを、当該位置に配設された第２基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ１２ｂから出力される第２基準位置検知信号Ｑ２の受信の有無に基づいて判定する（ステップＣＳ１４）。

位置検出部１２を通じて第２基準位置検知信号Ｑ２を受信し、これによって第２基準位置Ｐｓｔ２が検出されると、後述するステップＣＳ１５へと進む。
他方、位置検出部１２を通じて第２基準位置Ｐｓｔ２が検出されなければ、ステップＣＳ１３へと戻り、ステップＣＳ１３ないしステップＣＳ１４が繰り返えされる。このとき、操作指示部１１は、開方向へ弁軸２００を回転させる回転指示命令信号ＳＳ１０を、操作部５に向けて出力し続ける。

位置検出部１２を通じて第２基準位置Ｐｓｔ２が検出されると、検出位置変化量算出部１４は、回転区間積算値ＰＣαの積算（カウント）を終了し、回転区間積算値ＰＣαを計測する（ステップＣＳ１５）。
また、位置検出部１２は、弁軸２００の回転停止の指示信号ＳＳ１６を操作指示部１１に向けて出力し、この回転停止の指示信号ＳＳ１６を受信した操作指示部１１は、操作部５に向けて弁軸２００の回転を停止させる指示信号ＳＳ１０−２を出力する。

さらに検出位置変化量算出部１４は、回転区間積算値ＰＣαと、位置情報保存部１３に記憶・保存されている回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆおよび回転可能区間積算値ＰＣｓｐとから、検出位置の経時的積算変化量ΔＰＣαを算出する（ステップＣＳ１６）。回転区間積算値ＰＣα、回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆ、回転可能区間積算値ＰＣｓｐおよび検出位置の経時的積算変化量ΔＰＣαの間には、ΔＰＣα＝ＰＣｓｐ−ＰＣαｒｅｆ−ＰＣαの関係式が成り立つ。

以上のステップにより、第２の方法による回転区間積算値ＰＣα（補正時の特定中間位置Ｐαから第１基準位置Ｐｓｔ１に至るまでの回転区間変位量Ｌα）の計測、および特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣα（特定中間位置Ｐαの経時的変化量ΔＬα）の測定が終了する。

なお、前記任意の位置から第１基準位置Ｐｓｔ１に至るまでの間に、弁軸２００（より詳細には、弁軸２００に接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）が複数の中間位置を通過する場合には、第１の方法と同様に、補正部１０は、それぞれの中間位置を特定中間位置ＰαとしてステップＣＳ１１ないしステップＣＳ１６を適宜実行するように構成してもよい。

〔第３の方法〕
次に、図１２および図１３で示される第３の方法について説明する。

第３の方法は、図１２に示すように、特定中間位置Ｐαにある弁軸２００（より詳細には、弁軸２００と接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）を第１基準位置Ｐｓｔ１に向かう閉方向へ回転させる間に、特定中間位置Ｐαと異なるもう一つの特定中間位置Ｐβを検出し、特定中間位置Ｐαと特定中間位置Ｐβとの間を回転する弁軸２００の変位量（以下、「回転区間変位量Ｌαβ」という。）を、相対的位置センサ１によって検出される機械的変位Ｍｄを積算（パルス数をカウント）することで、回転区間積算値ＰＣαβの形で計測し、この回転区間積算値ＰＣαβと、位置情報保存部１３に記憶・保存されている回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆおよび回転区間初期積算値ＰＣβｒｅｆと、第１の方法または第２の方法で測定された特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣαとから、特定中間位置Ｐβの経時的変化量ΔＬβを経時的積算変化量ΔＰＣβの形で定量的に計測するというものである。
この第３の方法は、第１の方法または第２の方法と同様に、例えば、所定の期間が経過した後に電源が投入されると自動的に実施され、または、通常動作時において制御対象の制御に支障が生じない任意のタイミングで実施される補正モードにおいて実行される。ただし、第３の方法は、例えば第１の方法または第２の方法によって経時的積算変化量ΔＰＣαが測定された後に実行される。
なお、上記特定中間位置Ｐβは、特定中間位置Ｐα以外であって、かつ特定中間位置Ｐαよりも全閉位置Ｐｃ側にある全閉位置Ｐｃ、弁開度２０％位置Ｐａ、弁開度５０％位置Ｐｍおよび弁開度７０％位置Ｐｂの少なくとも１つである。

図１２に示す第３の方法は、第１の方法および第２の方法と同様に、カム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化Ｘ１に起因した第１の経時的変化量ΔＬ１（第１の経時的積算変化量ΔＰＣ１）を測定するための方法であり、前記閉方向へ弁軸２００を回転させながら補正用検知信号ＳＳ１１の受信開始点を基点として特定中間位置Ｐβを検出して経時的変位量ΔＬβ１（経時的積算変化量ΔＰＣβ１）を計測するように構成されている。
なお、以下で説明では、第３の方法を、第１の経時的変化量ΔＬβ１の上位概念である経時的変化量ΔＬβを計測するための方法として説明する。

第３の方法は、第１の方法または第２の方法を経たのち、例えば図１３に示すステップを経ることで実行される。
すなわち、補正部１０は、第１の方法のステップＣＳ１ないしＣＳ７、または第２の方法のステップＣＳ１０ないしＣＳ１６を経ることで特定中間位置Ｐαを検出し、この特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣαを測定する（ステップＣＳ２０）。

その後、補正部１０は、全閉位置Ｐｃ側の第１基準位置Ｐｓｔ１に向にかう閉方向へ弁軸２００を回転させるように電動モータ５２を駆動する（ステップＣＳ２１）。このとき補正部１０は、操作指示部１１を通じて、操作部５に向けて回転指示命令信号ＳＳ１０を出力する。

補正部１０は、電動モータ５２を駆動させると同時に、相対的位置センサ１によって検出される機械的変位Ｍｄの積算（カウント）を開始する（ステップＣＳ２２）。これにより、特定中間位置Ｐαとこの特定中間位置Ｐαよりも第１基準位置Ｐｓｔ１側に位置する特定中間位置Ｐβとの間を回転する弁軸２００の回転区間変位量Ｌαβ（回転区間積算値ＰＣαβ）の測定が開始される。

その後、補正部１０は、位置検出部１２を通じて、特定中間位置Ｐβが検出されたか否かを判定する（ステップＣＳ２３）。
ここで、特定中間位置Ｐβの検出は、図１２に示すように、弁軸２００を前記閉方向に回転させながら特定中間位置Ｐαを検出する第１の方法と同様に、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿βから出力される補正用検知信号ＳＳ１１の受信終了点を基点として実行される。

位置検出部１２を通じて特定中間位置Ｐβが検出されなければ、ステップＣＳ２１へと戻り、ステップＣＳ２１ないしステップＣＳ２３が繰り返えされる。具体的には、検出位置変化量算出部１４を通じて、特定中間位置Ｐβが検出されるまで前記積算(カウント)が継続される。

他方、特定中間位置Ｐβが検出されると、位置検出部１２は、当該情報に関する検出信号ＳＳ１３を検出位置変化量算出部１４に向けて出力し、この検出信号ＳＳ１３を受信した検出位置変化量算出部１４は、相対的位置センサ１によって検出される機械的変位Ｍｄの積算（パルス数のカウント）を終了し、回転区間変位量Ｌαβに対応した回転区間積算値ＰＣαβを計測する（ステップＣＳ２４）。

その後、補正部１０は、検出位置変化量算出部１４を通じて、ステップＣＳ２４で計測された回転区間積算値ＰＣαβと、位置情報保存部１３に記憶・保存されている特定中間位置Ｐαの回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆおよび特定中間位置Ｐβの回転区間初期積算値ＰＣβｒｅｆと、既に測定済みの特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣαとから、特定中間位置Ｐβの経時的積算変化量ΔＰＣβを測定する（ステップＣＳ２５）。このとき、回転区間積算値ＰＣαβ、回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆ、回転区間初期積算値ＰＣβｒｅｆ、経時的積算変化量ΔＰＣαおよび経時的積算変化量ΔＰＣβとの間には、ΔＰＣβ＝(ＰＣαβ＋ΔＰＣα)‐ＰＣαβｒｅｆ（ただし、ＰＣαβｒｅｆ＝ＰＣαｒｅｆ−ＰＣβｒｅｆ）の関係式が成り立つ。

以上のステップにより、第３の方法による特定中間位置Ｐβの回転区間積算値ＰＣβ（補正時の特定中間位置Ｐαから特定中間位置Ｐβに至るまでの回転区間変位量Ｌαβ）の計測、および特定中間位置Ｐβの経時的積算変化量ΔＰＣβ（特定中間位置Ｐβの経時的変化量ΔＬβ）の測定が終了する。

なお、特定中間位置Ｐαから第１基準位置Ｐｓｔ１に至るまでの間に、弁軸２００（より詳細には、弁軸２００に接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）が複数の中間位置を通過する場合には、第１の方法または第２の方法と同様に、補正部１０は、それぞれの中間位置を特定中間位置ＰβとしてステップＣＳ２１ないしステップＣＳ２５を適宜実行するように構成してもよい。

〔第４の方法〕
次に、図１４および図１５で示される第４の方法について説明する。

第４の方法は、図１４に示すように、特定中間位置Ｐαにある軸２００（より詳細には、弁軸２００と接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）を第２基準位置Ｐｓｔ２にかう開方向へさせる間に、特定中間位置Ｐαと異なるもう一つの特定中間位置Ｐγを検出し、特定中間位置Ｐαと特定中間位置Ｐγとの間を回転する弁軸２００の変位量（以下、「回転区間変位量Ｌαγ」という。）を、相対的位置センサ１によって検出される機械的変位Ｍｄを積算（パルス数をカウント）することで回転区間積算値ＰＣαγの形で計測し、この回転区間積算値ＰＣαγと、位置情報保存部１３に予め記憶されている回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆおよび回転区間初期積算値ＰＣγｒｅｆと、第１の方法または第２の方法で測定された特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣαとから、特定中間位置Ｐγの経時的変化量ΔＬγを経時的積算変化量ΔＰＣγの形で定量的に計測するというものである。
この第４の方法は、従前の方法と同様に、例えば、所定の期間が経過した後に電源が投入されると自動的に実施され、または、通常動作時において制御対象の制御に支障が生じない任意のタイミングで実施される補正モードにおいて実行される。ただし、第４の方法は、例えば第１の方法または第２の方法によって経時的積算変化量ΔＰＣαが測定された後に実行される。
なお、上記特定中間位置Ｐγは、特定中間位置Ｐα以外であって、かつ特定中間位置Ｐαよりも全開位置Ｐｏ側にある弁開度２０％位置Ｐａ、弁開度５０％位置Ｐｍ、弁開度７０％位置Ｐｂおよび全開位置Ｐｏの少なくとも１つである。

図１４に示す第４の方法は、第１の方法および第２の方法と同様に、カム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化Ｘ１に起因した第１の経時的変化量ΔＬ１（第１の経時的積算変化量ΔＰＣ１）を測定するための方法であり、前記開方向へ弁軸２００を回転させながら補正用検知信号ＳＳ１１の受信開始点を基点として特定中間位置Ｐγを検出して経時的変化量ΔＬγ１（経時的積算変化量ΔＰＣγ１）を計測するように構成されている。
なお、以下で説明では、第４の方法を、第１の経時的変化量ΔＬγ１の上位概念である経時的変化量ΔＬγを計測するための方法として説明する。

第４の方法は、第１の方法または第２の方法を経たのち、例えば図１５に示すようなステップを経ることで実行される。
すなわち、補正部１０は、第１の方法のステップＣＳ１ないしＣＳ７、または第２の方法のステップＣＳ１０ないしＣＳ１６を経ることで特定中間位置Ｐαを検出し、この特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣαを測定する（ステップＣＳ３０）。

その後、補正部１０は、全開位置Ｐｏ側の第２基準位置Ｐｓｔ２に向かう開方向へ弁軸２００を回転させるように電動モータ５２を駆動する（ステップＣＳ３１）。このとき補正部１０は、操作指示部１１を通じて、操作部５に向けて回転指示命令信号ＳＳ１０を出力する。

補正部１０は、電動モータ５２を駆動させると同時に、相対的位置センサ１によって検出される機械的変位Ｍｄの積算（カウント）を開始する（ステップＣＳ３２）。これにより、特定中間位置Ｐαとこの特定中間位置Ｐαよりも第２基準位置Ｐｓｔ２側に位置する特定中間位置Ｐγとの間を回転する弁軸２００の回転区間変位量Ｌαγ（回転区間積算値ＰＣαγ）の測定が開始される。

その後、補正部１０は、位置検出部１２を通じて、特定中間位置Ｐγが検出されたか否かを判定する（ステップＣＳ３３）。
ここで、特定中間位置Ｐγの検出は、図１４に示すように、弁軸２００を前記開方向に回転させながら特定中間位置Ｐαを検出する第２の方法と同様に、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿γから出力される補正用検知信号ＳＳ１１の受信開始点を基点として実行される。

位置検出部１２を通じて特定中間位置Ｐγが検出されなければ、ステップＣＳ３１へと戻り、ステップＣＳ３１ないしステップＣＳ３３が繰り返えされる。具体的には、検出位置変化量算出部１４を通じて、特定中間位置Ｐγが検出されるまで前記積算(カウント)が継続される。

他方、特定中間位置Ｐγが検出されると、位置検出部１２は、当該情報に関する検出信号ＳＳ１３を検出位置変化量算出部１４に向けて出力し、この検出信号ＳＳ１３を受信した検出位置変化量算出部１４は、相対的位置センサ１によって検出される機械的変位Ｍｄの積算（パルス数のカウント）を終了し、回転区間変位量Ｌαγに対応した回転区間積算値ＰＣαγを計測する（ステップＣＳ３４）。

その後、補正部１０は、検出位置変化量算出部１４を通じて、ステップＣＳ３４で計測された特定中間位置Ｐαの回転区間積算値ＰＣαγと、位置情報保存部１３に記憶・保存されている特定中間位置Ｐαの回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆと、特定中間位置Ｐγの回転区間初期積算値ＰＣγｒｅｆと、既に測定済みの特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣαとから、特定中間位置Ｐγの経時的積算変化量ΔＰＣγを測定する（ステップＣＳ３５）。このとき、回転区間積算値ＰＣαγ、回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆ、回転区間初期積算値ＰＣγｒｅｆ、経時的積算変化量ΔＰＣαおよび経時的積算変化量ΔＰＣγとの間には、ΔＰＣγ＝ＰＣαγ−(ＰＣαγｒｅｆ＋ΔＰＣα)（ただし、ＰＣαγｒｅｆ＝ＰＣγｒｅｆ−ＰＣαｒｅｆ）の関係式が成立する。

以上のステップにより、第４の方法による補正時積算値ＰＣαγ（補正時の特定中間位置Ｐαから特定中間位置Ｐγにいたるまでの回転区間変位量Ｌαγ）の計測、および特定中間位置Ｐγの経時的積算変化量ΔＰＣγ（特定中間位置Ｐγの経時的変化量ΔＬγ）の測定が終了する。

なお、特定中間位置Ｐαから第２基準位置Ｐｓｔ２に至るまでの間に、弁軸２００（より詳細には、弁軸２００に接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）が複数の中間位置を通過する場合には、従前の方法と同様に、補正部１０は、それぞれの中間位置を特定中間位置ＰγとしてステップＣＳ３１ないしステップＣＳ３５を適宜実行するように構成してもよい。

〔第５の方法〕
次に、図１６および図１７で示される第５の方法について説明する。

この第５の方法は、第１の方法と同様に、弁軸２００（より詳細には、弁軸２００に接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）が、前記任意の位置から第１基準位置Ｐｓｔ１に向かう閉方向へ回転している間に特定中間位置Ｐαを検出し、この特定中間位置Ｐαの経時的変化量ΔＬαを経時的積算変化量ΔＰＣαの形で定量的に計測するというものである。

ただし、第１の方法と異なり、補正用検知信号ＳＳ１１の受信開始点を基点として、特定中間位置Ｐαを検出する。このため、第５の方法は、前述したように、カム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化のうち、電極２１ａ、２１ｂの開方向側端部と接続する部分の経時的形状変化Ｘ２に起因した第２の経時的変化量ΔＬ２（ΔＬα２）を、第２の経時的積算変化量ΔＰＣ２（ΔＰＣα２）形で測定するように構成されている。
なお、以下で説明では、第５の方法を、第２の経時的変化量ΔＬα２の上位概念である経時的変化量ΔＬαを計測するための方法として説明する。

第５の方法は、例えば図１７に示すステップＣＳ４０ないしＣＳ４６を経て実行される。このステップＣＳ４０ないしＣＳ４６は、基本的に第１の方法におけるステップＣＳ１ないしＣＳ７と同じである。

すなわち、補正部１０は、例えば、所定の期間が経過した後に電源が投入されると自動的に実施され、または、通常動作時において制御対象の制御に支障が生じない任意のタイミングで実施される補正モードが始動すると、前記任意の位置にある弁軸２００を、全閉位置Ｐｃ側の第１基準位置Ｐｓｔ１に向かう閉方向へ回転させるように、電動モータ５２を駆動させる（ステップＣＳ４０）。このとき補正部１０は、操作指示部１１を通じて、操作部５に向けて回転指示命令信号ＳＳ１０を出力する。

補正部１０は、第１基準位置Ｐｓｔ１に向けて弁軸２００が回転している間に、前記任意の位置と第１基準位置Ｐｓｔ１との間に配設された特定中間位置Ｐαを、位置検出部１２を通じて検出する（ステップＣＳ４１）。当該検出は、前述したように、補正用検知信号ＳＳ１１の受信開始点を基点として実行される。

位置検出部１２を通じて特定中間位置Ｐαが検出されると、位置検出部１２から検出位置変化量算出部１４に向けて検出信号ＳＳ１３が出力され、この検出信号ＳＳ１３を受信した検出位置変化量算出部１４は、回転区間積算値ＰＣαの積算（カウント）を開始する（ステップＣＳ４２）。具体的には、通常動作モードと同様に、相対的位置センサ１を構成するインクリメンタル型のロータリエンコーダから出力されるパルス数の積算（カウント）を開始する。

さらに補正部１０は、操作指示部１１を通じて、弁軸２００を第１基準位置Ｐｓｔ１に向けて回転させるように電動モータ５２を駆動させる（ステップＣＳ４３）。このとき、電動モータ５２の回転を指示する回転指示命令信号ＳＳ１０が操作指示部１１から操作部５に向けて出力される。

その後、補正部１０は、弁軸２００が第１基準位置Ｐｓｔ１に到達したか否か、すなわち、第１基準位置Ｐｓｔ１を検出したか否かを、当該位置に配設された第１基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ１２ａから出力される第１基準位置検知信号Ｑ１の受信の有無に基づいて判定する（ステップＣＳ４４）。

位置検出部１２を通じて第１基準位置検知信号Ｑ１を受信し、これによって第１基準位置Ｐｓｔ１が検出されると、後述するステップＣＳ４５へと進む。
他方、位置検出部１２を通じて第１基準位置Ｐｓｔ１が検出されなければ、ステップＣＳ４３へと戻り、ステップＣＳ４３ないしステップＣＳ４４が繰り返えされる。このとき、操作指示部１１は、前記閉方向へ弁軸２００を回転させる回転指示命令信号ＳＳ１０を、操作部５に向けて出力し続ける。

位置検出部１２を通じて第１基準位置Ｐｓｔ１が検出されると、検出位置変化量算出部１４は、回転区間積算値ＰＣαの積算（カウント）を終了し、回転区間積算値ＰＣαを計測する（ステップＣＳ４５）。この回転区間積算値ＰＣαは、前述したように、補正時の回転区間変位量Ｌαを定量的に表す計測値である。
また、位置検出部１２は、弁軸２００の回転停止の指示信号ＳＳ１６を操作指示部１１に向けて出力し、この回転停止の指示信号ＳＳ１６を受信した操作指示部１１は、操作部５に向けて弁軸２００の回転を停止させる指示信号ＳＳ１０−２を出力する。

さらに、検出位置変化量算出部１４は、回転区間積算値ＰＣαと、位置情報保存部１３に記憶・保存されている回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆとから、これら値の差分として求められる経時的積算変化量ΔＰＣαを算出する（ステップＣ４６）。回転区間積算値ＰＣαと、回転区間回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆと、検出位置の経時的積算変化量ΔＰＣαとの間には、ΔＰＣα＝ＰＣαｒｅｆ−ＰＣαの関係式が成り立つ。

以上のステップにより、第１の方法による回転区間積算値ＰＣα（補正時の特定中間位置Ｐαと第１基準位置Ｐｓｔ１との間の回転区間変位量Ｌαの計測）、および特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣα（特定中間位置Ｐαの経時的変化量ΔＬα）の測定が終了する。

なお、前記任意位置から第１基準位置Ｐｓｔ１に至るまでの間に、弁軸２００（より詳細には、弁軸２００に接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）が複数の中間位置を通過する場合には、従前の方法と同様に、補正部１０は、それぞれの中間位置を特定中間位置ＰαとしてステップＣＳ４１ないしステップＣＳ４６を適宜実行するように構成してもよい。

〔第６の方法〕
次に、図１８および図１９で示される第６の方法について説明する。

この第６の方法は、第２の方法と同様に、弁軸２００（より詳細には、弁軸２００に接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）が、前記任意の位置から第２基準位置Ｐｓｔ２に向かう開方向へ回転する間に特定中間位置Ｐαを検出し、この特定中間位置Ｐαの経時的変化量ΔＬαを経時的積算変化量ΔＰＣαの形で定量的に計測するというものである。

ただし、第２の方法と異なり、補正用検知信号ＳＳ１１の受信終了点を基点として、特定中間位置Ｐαを検出する。このため、第６の方法は、前述したように、カム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化のうち、電極２１ａ、２１ｂの開方向側端部と接続する部分の経時的形状変化Ｘ２に起因した第２の経時的変化量ΔＬ２（ΔＬα２）を、第２の経時的積算変化量ΔＰＣ２（ΔＰＣα２）の形で測定するように構成されている。
なお、以下で説明では、第６の方法を、第２の経時的変化量ΔＬα２の上位概念である経時的変化量ΔＬαを計測するための方法として説明する。

第６の方法は、例えば図１９に示すステップＣＳ５０ないしＣＳ５６を経て実行される。このステップＣＳ５０ないしＣＳ５６は、基本的に、第２の方法におけるステップＣＳ１０ないしＣＳ１６と同じである。

すなわち、補正部１０は、例えば、所定の期間が経過した後に電源が投入されると自動的に実施され、または、通常動作時において制御対象の制御に支障が生じない任意のタイミングで実施される補正モードが始動すると、前記任意の位置にある弁軸２００を、第２基準位置Ｐｓｔ２に向かう開方向へ回転させるように、電動モータを駆動させる（ステップＣＳ５０）。このとき補正部１０は、操作指示部１１を通じて、操作部５に向けて回転指示命令信号ＳＳ１０を出力する。

補正部１０は、第２基準位置Ｐｓｔ２に向けて弁軸２００が回転している間に、前記任意の位置と第２基準位置Ｐｓｔ２との間に配設された特定中間位置Ｐαを、位置検出部１２を通じて検出する（ステップＣＳ５１）。当該検出は、前述したように、補正用検知信号ＳＳ１１の受信終了点を基点として実行される。

位置検出部１２を通じて特定中間位置Ｐαが検出されると、位置検出部１２から検出位置変化量算出部１４に向けて検出信号ＳＳ１３が出力され、この検出信号ＳＳ１３を受信した検出位置変化量算出部１４は、回転区間積算値ＰＣαの積算（カウント）を開始する（ステップＣＳ５２）。具体的には、通常動作モードと同様に、相対的位置センサ１を構成するインクリメンタル型のロータリエンコーダから出力されるパルス数の積算（カウント）を開始する。

さらに補正部１０は、操作指示部１１を通じて、弁軸２００を第２基準位置Ｐｓｔ２に向けて回転させるように電動モータ５２を駆動させる（ステップＣＳ５３）。このとき、回転指示命令信号ＳＳ１０が操作指示部１１から操作部５に向けて出力される。

その後、補正部１０は、弁軸２００が第２基準位置Ｐｓｔ２に到達したか、すなわち、第２基準位置Ｐｓｔ２が検出されたか否かを、当該位置に配設された第２基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ１２ｂから出力される第２基準位置検知信号Ｑ２の受信の有無に基づいて判定する（ステップＣＳ５４）。

位置検出部１２を通じて第２基準位置検知信号Ｑ２を受信し、これによって第２基準位置Ｐｓｔ２が検出されると、後述するステップＣＳ６５へと進む。
他方、位置検出部１２を通じて第２基準位置Ｐｓｔ２が検出されなければ、ステップＣＳ５３へと戻り、ステップＣＳ５３ないしステップＣＳ５４が繰り返えされる。このとき、操作指示部１１は、開方向へ弁軸２００を回転させる回転指示命令信号ＳＳ１０を、操作部５に向けて出力し続ける。

位置検出部１２を通じて第２基準位置Ｐｓｔ２が検出されると、検出位置変化量算出部１４は、回転区間積算値ＰＣαの積算（カウント）を終了し、回転区間積算値ＰＣαを計測する（ステップＣＳ５５）。この回転区間積算値ＰＣαは、前述したように、補正時の回転区間変位量Ｌαを定量的に表す計測値である。
また、位置検出部１２は、弁軸２００の回転停止の指示信号ＳＳ１６を操作指示部１１に向けて出力し、この回転停止の指示信号ＳＳ１６を受信した操作指示部１１は、操作部５に向けて弁軸２００の回転を停止させる指示信号ＳＳ１０−２を出力する。

さらに、検出位置変化量算出部１４は、回転区間積算値ＰＣαと、位置情報保存部１３に記憶・保存されている回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆおよび回転可能区間積算値ＰＣｓｐとから、経時的積算変化量ΔＰＣαを算出する（ステップＣ５６）。回転区間積算値ＰＣαと、回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆ、回転可能区間積算値ＰＣｓｐおよび経時的積算変化量ΔＰＣαとの間には、ΔＰＣα＝ＰＣｓｐ−ＰＣαｒｅｆ−ＰＣαの関係式が成り立つ。

以上のステップにより、第６の方法による回転区間積算値ＰＣα（補正時の特定中間位置Ｐαと第１基準位置Ｐｓｔ１との間の回転区間変位量Ｌα）の計測、および特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣα（特定中間位置Ｐαの経時的変化量ΔＬα）の測定が終了する。

なお、前記任意の位置から第２基準位置Ｐｓｔ２に至るまでの間に、弁軸２００（より詳細には、弁軸２００に接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）が複数の中間位置を通過する場合には、従前の方法と同様に、補正部１０は、それぞれの中間位置を特定中間位置ＰαとしてステップＣＳ５１ないしステップＣＳ５６を適宜実行するように構成してもよい。

〔第７の方法〕
次に、図２０および２１に示される第７の方法について説明する。

この第７の方法は、第３の方法と同様に、特定中間位置Ｐαにある軸２００（より詳細には、弁軸２００と接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）を第１基準位置Ｐｓｔ１に向かう閉方向へ回転させている間に、特定中間位置Ｐαと異なるもう一つの特定中間位置Ｐβを検出し、特定中間位置Ｐαと特定中間位置Ｐβとの間を弁軸２００が回転する間に相対的位置センサ１が検出する機械的変位Ｍｄを積算（パルス数をカウント）することで、回転区間積算値ＰＣαβの形で計測し、この回転区間積算値ＰＣαβと、位置情報保存部１３に記憶・保存されている回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆおよび回転区間初期積算値ＰＣβｒｅｆと、第５の方法または第６の方法で測定された特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣαとから、特定中間位置Ｐβの経時的変化量ΔＬβを経時的積算変化量ΔＰＣβの形で定量的に計測するというものである。
この第７の方法は、従前の方法と同様に、例えば、所定の期間が経過した後に電源が投入されると自動的に実施され、または、通常動作時において制御対象の制御に支障が生じない任意のタイミングで実施される補正モードにおいて実行される。ただし、第７の方法は、例えば第５の方法または第６の方法によって経時的積算変化量ΔＰＣαが測定された後に実行される。
なお、上記特定中間位置Ｐβは、特定中間位置Ｐα以外であって、かつ特定中間位置Ｐαよりも全閉位置Ｐｃ側にある全閉位置Ｐｃ、弁開度２０％位置Ｐａ、弁開度５０％位置Ｐｍおよび弁開度７０％位置Ｐｂの少なくとも１つである。

第７の方法は、第３の方法と異なり、補正用検知信号ＳＳ１１の受信開始点を基点として、特定中間位置Ｐαを検出する。これにより、第７の方法は、カム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化Ｘ２に起因した第２の経時的変化量ΔＬ２（ΔＬβ２）、より具体的には第２の経時的積算変化量ΔＰＣ２（ΔＰＣβ２）を測定するように構成されている。
なお、以下で説明では、第７の方法を、第２の経時的変化量ΔＬβ２の上位概念である経時的変化量ΔＬβを計測するための方法として説明する。

第７の方法は、例えば図２１に示すステップＣＳ６０ないしＣＳ６５によって実行される。このステップＣＳ６０ないしＣＳ６５は、基本的に第３の方法におけるステップＣＳ２０ないしＣＳ２５と同じである。

第７の方法は、第５の方法または第６の方法を経たのち、例えば図２１に示すステップを経ることで実行される。
すなわち、補正部１０は、第５の方法のステップＣＳ４１ないしＣＳ４６、または第６の方法のステップＣＳ５１ないしＣＳ５６を経ることで特定中間位置Ｐαを検出し、この特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣαを測定する（ステップＣＳ６０）。

その後、補正部１０は、全閉位置Ｐｃ側の第１基準位置Ｐｓｔ１に向かう閉方向弁軸２００を回転させるように電動モータ５２を駆動する（ステップＣＳ６１）。このとき補正部１０は、操作指示部１１を通じて、操作部５に向けて回転指示命令信号ＳＳ１０を出力する。

補正部１０は、電動モータ５２を駆動させると同時に、相対的位置センサ１によって検出される機械的変位Ｍｄの積算（カウント）を開始する（ステップＣＳ６２）。これにより、特定中間位置Ｐαとこの特定中間位置Ｐαよりも第１基準位置Ｐｓｔ１側に位置する特定中間位置Ｐβとの間を回転する弁軸２００の回転区間変位量Ｌαβ（回転区間積算値ＰＣαβ）の測定が開始される。

その後、補正部１０は、位置検出部１２を通じて、特定中間位置Ｐβが検出されたか否かを判定する（ステップＣＳ６３）。
ここで、特定中間位置Ｐβの検出は、図２０に示すように、弁軸２００を前記閉方向に回転させながら特定中間位置Ｐαを検出する第１の方法と同様に、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿βから出力される補正用検知信号ＳＳ１１の受信開始点を基点として実行される。

位置検出部１２を通じて特定中間位置Ｐβが検出されなければ、ステップＣＳ６１へと戻り、ステップＣＳ６１ないしステップＣＳ６３が繰り返えされる。具体的には、検出位置変化量算出部１４を通じて、特定中間位置Ｐβが検出されるまで前記積算(カウント)が継続される。

他方、特定中間位置Ｐβが検出されると、位置検出部１２は、当該情報に関する検出信号ＳＳ１３を検出位置変化量算出部１４に向けて出力し、この検出信号ＳＳ１３を受信した検出位置変化量算出部１４は、相対的位置センサ１によって検出される機械的変位Ｍｄの積算（パルス数のカウント）を終了し、回転区間変位量Ｌαβに対応した回転区間積算値ＰＣαβを計測する（ステップＣＳ６４）。

その後、補正部１０は、検出位置変化量算出部１４を通じて、ステップＣＳ６４で計測された回転区間積算値ＰＣαβと、位置情報保存部１３に記憶・保存されている特定中間位置Ｐαの回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆおよび特定中間位置Ｐβの回転区間初期積算値ＰＣβｒｅｆと、既に測定済みの特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣαとから、特定中間位置Ｐβの経時的積算変化量ΔＰＣβを測定する（ステップＣＳ６５）。このとき、回転区間積算値ＰＣαβ、回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆ、回転区間初期積算値ＰＣβｒｅｆ、経時的積算変化量ΔＰＣαおよび経時的積算変化量ΔＰＣβとの間には、ΔＰＣβ＝ＰＣαβ‐(ＰＣαβｒｅｆ＋ΔＰＣα)（ただし、ＰＣαβｒｅｆ＝ＰＣαｒｅｆ−ＰＣβｒｅｆ）の関係式が成り立つ。

以上のステップにより、第７の方法による特定中間位置Ｐβの補正時積算値ＰＣβ（補正時の特定中間位置Ｐαから特定中間位置Ｐβにいたるまでの回転区間変位量Ｌαβ）の計測、および特定中間位置Ｐβの経時的積算変化量ΔＰＣβ（特定中間位置Ｐβの経時的変化量ΔＬβ）の測定は終了する。

なお、特定中間位置Ｐαから第１基準位置Ｐｓｔ１に至るまでに、弁軸２００（より詳細には、弁軸２００に接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）が複数の中間位置を通過する場合には、従前の方法と同様に、補正部１０は、それぞれの中間位置を特定中間位置ＰβとしてステップＣＳ６１ないしステップＣＳ６５を適宜実行するように構成してもよい。

〔第８の方法〕
次に、図２２および２３で示される第８の方法について説明する。

この第８の方法は、第４の方法と同様に、特定中間位置Ｐαにある軸２００（より詳細には、弁軸２００と接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）を第２基準位置Ｐｓｔ２に向かう開方向へ回転させている間に、特定中間位置Ｐαと異なるもう一つの特定中間位置Ｐγを検出し、特定中間位置Ｐαと特定中間位置Ｐγとの間を弁軸２００が回転する間に相対的位置センサ１が検出する機械的変位Ｍｄを積算（パルス数をカウント）することで、回転区間積算値ＰＣαγ（回転区間変位量Ｌαγ）を計測し、この計測された回転区間積算値ＰＣαγと、位置情報保存部１３に予め記憶されている回転区間回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆおよびＰＣγｒｅｆと、第５の方法または第６の方法で測定された特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣαとから、特定中間位置Ｐγの経時的変化量ΔＬγを経時的積算変化量ΔＰＣγの形で定量的に計測するというものである。
この第８の方法は、従前の方法と同様に、例えば、所定の期間が経過した後に電源が投入されると自動的に実施され、または、通常動作時において制御対象の制御に支障が生じない任意のタイミングで実施される補正モードにおいて実行される。ただし、第８の方法は、例えば第５の方法または第６の方法によって経時的積算変化量ΔＰＣαが測定された後に実行される。
なお、上記特定中間位置Ｐγは、特定中間位置Ｐα以外であって、かつ特定中間位置Ｐαよりも全開位置Ｐｏ側にある弁開度２０％位置Ｐａ、弁開度５０％位置Ｐｍ、弁開度７０％位置Ｐｂおよび全開位置Ｐｏの少なくとも１つである。

第８の方法は、第４の方法と異なり、補正用検知信号ＳＳ１１の受信終了点を基点として、特定中間位置Ｐαを検出する。これにより、第８の方法は、カム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化Ｘ２に起因した第２の経時的変化量ΔＬ２（ΔＬγ２）、より具体的には第２の経時的積算変化量ΔＰＣ２（ΔＰＣγ２）を測定するように構成されている。
なお、以下で説明では、第８の方法を、第２の経時的変化量ΔＬγ２の上位概念である経時的変化量ΔＬγを計測するための方法として説明する。

第８の方法は、第５の方法または第６の方法を経たのち、例えば図２３に示すステップＣＳ７０ないしＣＳ７５を経ることで実行される。このステップＣＳ７０ないしＣＳ７５は、基本的に第４の方法におけるステップＣＳ３０ないしＣＳ３５と同じである。

すなわち、補正部１０は、第５の方法のステップＣＳ４１ないしＣＳ４６、または第６の方法のステップＣＳ５１ないしＣＳ５６を経ることで特定中間位置Ｐαを検出し、この特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣαを測定する（ステップＣＳ７０）。

その後、補正部１０は、全開位置Ｐｏ側の第２基準位置Ｐｓｔ２に向かう開方向へ弁軸２００を回転させるように電動モータ５２を駆動する（ステップＣＳ７１）。このとき補正部１０は、操作指示部１１を通じて、操作部５に向けて回転指示命令信号ＳＳ１０を出力する。

補正部１０は、電動モータ５２を駆動させると同時に、相対的位置センサ１によって検出される機械的変位Ｍｄの積算（カウント）を開始する（ステップＣＳ７２）。これにより、特定中間位置Ｐαとこの特定中間位置Ｐαよりも第２基準位置Ｐｓｔ２側に位置する特定中間位置Ｐγとの間を回転する弁軸２００の回転区間変位量Ｌαγ（回転区間積算値ＰＣαγ）の測定が開始される。

その後、補正部１０は、位置検出部１２を通じて、特定中間位置Ｐγが検出されたか否かを判定する（ステップＣＳ７３）。
ここで、特定中間位置Ｐγの検出は、図２２に示すように、弁軸２００を前記開方向に回転させながら特定中間位置Ｐαを検出する第６の方法と同様に、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿γから出力される補正用検知信号ＳＳ１１の受信終了点を基点として実行される。これにより、カム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化Ｘ２に起因した特定中間位置Ｐγの経時的積算変化量ΔＰＣγ２（特定中間位置Ｐγの回転区間変位量ΔＬγ２）が測定される。

位置検出部１２を通じて特定中間位置Ｐγが検出されなければ、ステップＣＳ７１へと戻り、ステップＣＳ７１ないしステップＣＳ７３が繰り返えされる。具体的には、検出位置変化量算出部１４を通じて、特定中間位置Ｐγが検出されるまで前記積算(カウント)が継続される。

他方、特定中間位置Ｐγが検出されると、位置検出部１２は、当該情報に関する検出信号ＳＳ１３を検出位置変化量算出部１４に向けて出力し、この検出信号ＳＳ１３を受信した検出位置変化量算出部１４は、相対的位置センサ１によって検出される機械的変位Ｍｄの積算（パルス数のカウント）を終了し、回転区間変位量Ｌαγに対応した回転区間積算値ＰＣαγを計測する（ステップＣＳ７４）。

その後、補正部１０は、検出位置変化量算出部１４を通じて、ステップＣＳ７４で計測された特定中間位置Ｐαの回転区間積算値ＰＣαγと、位置情報保存部１３に記憶・保存されている特定中間位置Ｐαの回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆと、特定中間位置Ｐγの回転区間初期積算値ＰＣγｒｅｆと、既に測定済みの特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣαとから、特定中間位置Ｐγの経時的積算変化量ΔＰＣγを測定する（ステップＣＳ７５）。このとき、回転区間積算値ＰＣαγ、回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆ、回転区間初期積算値ＰＣγｒｅｆ、経時的積算変化量ΔＰＣαおよび経時的積算変化量ΔＰＣγとの間には、ΔＰＣγ＝(ＰＣαγ＋ΔＰＣα)−ＰＣαγｒｅｆ（ただし、ＰＣαγｒｅｆ＝ＰＣγｒｅｆ−ＰＣαｒｅｆ）の関係式が成立する。

以上のステップにより、第８の方法による特定中間位置Ｐγの補正時積算値ＰＣαγ（補正時の特定中間位置Ｐαから特定中間位置Ｐγに至るまでの回転区間変位量Ｌαγ）の計測、および特定中間位置Ｐγの経時的積算変化量ΔＰＣγ（特定中間位置Ｐγの経時的変化量ΔＬγ）の測定が終了する。

なお、特定中間位置Ｐαから第２基準位置Ｐｓｔ２に至るまでに、弁軸２００（より詳細には、弁軸２００に接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）が複数の中間位置を通過する場合には、従前の方法と同様に、補正部１０は、それぞれの中間位置を特定中間位置ＰγとしてステップＣＳ７１ないしステップＣＳ７５を適宜実行する。

前記第１ないし第８の方法で計測・測定された各数値は、回転制御装置１００が備える記憶装置に保存されるように構成されてもよいし、回転制御装置１００から離隔した場所に設けられた記憶装置に無線または有線によって送信されて保存されるように構成してもよい。

〔第１の方法ないし第８の方法の組み合わせ〕
前記第１の方法ないし第８の方法を重畳的に組み合わせて補正モードを実行するように構成してもよい。
例えば、補正の際に弁軸２００を回転させる方向が同一である第１の方法と第５の方法を同時（重畳的）に実行することで、第１の経時的変化量ΔＬα１およびこれに対応する第１の積算変位量ΔＰＣα１と、第２の経時的変化量ΔＬα２およびこれに対応する第２の積算変位量ΔＰＣα２とを、前記任意位置から第１の基準位置Ｐｓｔ１に向けて弁軸２００を回転させる過程で略同時に測定することができる。これにより、短時間かつ高精度の補正を実現することができる。
同様に、第１の方法と第７の方法、第３と第７の方法、第２の方法と第６の方法、第２と第８の方法および第４と第８の方法を重畳的に組み合わせることで、短時間かつ高精度の補正を実現することができる。

また、前述したように、第３の方法および第４の方法は、第１の方法または第２の方法に続いて実施され、第７の方法および第８の方法は、第５の方法または第６の方法に続いて実施されるが、第１の方法と第２の方法、および第５の方法と第６の方法とを連続して実施するように構成してもよい。これにより、第１位置（第１基準位置Ｐｓｔ１）と第２位置（第２基準位置Ｐｓｔ２）との間に配設されている全ての中間位置に対し、それぞれを特定中間位置Ｐαとして経時的変化量ΔＬα（経時的積算変化量ΔＰＣα）を測定することができる。

＜補正方法＞
次に、図２４ないし図２７を参照しながら補正方法について説明する。
なお、中間位置を示す基準値ＡＰは、回転角度（°）で示される値であるとして説明する。

本実施の形態における補正は、前述したように、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿αの電極２１ａ、２１ｂの両端部（図２４及び図２５中の左右両端部。以下、「左側端部」および「右側端部」という。）に接続するカム部材２４ａ、２４ｂは、摩耗により経時的形状変化し、この経時的形状変化に起因して生じる中間位置の検出位置の変化を是正するように、基準値ＡＰを補正するものである。
以下、２つの補正方法について説明する。

〔第１の補正方法〕
第１の補正方法を、図２４ないし図２６を参照しながら説明する。この第１の補正方法は、第１の方法ないし第８の方法のいずれか１つの方法によって測定された特定中間位置Ｐαの経時的変化量ΔＬα（検出位置積算量ΔＰＣα）を用いて、中間位置Ｐを示す基準値ＡＰを補正する方法であり、図２６に示されるステップＨＳ１ないしＨＳ４により実行される。ここで、中間位置が複数設けられている場合（５つの中間位置が設けられている本実施の形態の場合）は、それぞれの中間位置においてステップＨＳ１ないしＨＳ４が実行される。

補正部１０は、基準値補正量算出部１５を通じて、前記第１ないし第８の方法のいずれかによって測定された特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣαと、位置情報保存部１３に記憶されている弁軸２００の最大回転角θｓｐおよびこの最大回転角θに対応した回転可能区間積算値ＰＣｓｐとから、特定中間位置Ｐαを含む中間位置Ｐを示す基準値ＡＰの補正量ΔＡＰを算出する（ステップＨＳ１）。このとき基準値補正量算出部１５は、検出位置変化量算出部１４から経時的積算変化量ΔＰＣαに関する情報ＳＳ１８を受信し、また、位置情報保存部１３から最大回転角θｓｐおよび回転可能区間積算値ＰＣｓｐに関する情報ＳＳ１９を受信する。
補正量ΔＡＰ、検出位置の変位量ΔＰＣα、最大回転角θｓｐおよび回転可能区間積算値ＰＣｓｐの間には、ΔＡＰ＝ΔＰＣα／ＰＣｓｐ×θｓｐといった関係式が成り立つ。

ここで、前記第１ないし第８の方法のいずれかによって測定された特定中間位置Ｐαが、複数配設された中間位置の全て、すなわち、特定中間位置Ｐαが、全閉位置Ｐｃ、位置Ｐａ、位置Ｐｍ、位置Ｐｂ、全開位置Ｐｏである場合には、それぞれの中間位置における経時的積算変化量ΔＰＣｃ、ΔＰＣａ、ΔＰＣｍ、ΔＰＣｂおよびΔＰＣｏが測定されているため、それぞれの中間位置を示す基準値ＡＰ（基準値ＡＰｃ、ＡＰａ、ＡＰｍ、ＡＰｂおよびＡＰｏ）毎に補正量ＡＰ（補正量ΔＡＰｃ、ΔＡＰａ、ΔＡＰｍ、ΔＡＰｂおよびΔＡＰｏ）を算出する。
他方、複数の中間位置のうちの１つの中間位置、例えば、弁開度２０％位置Ｐａのみの経時的積算変化量ΔＰＣａが測定されている場合には、この経時的積算変化量ΔＰＣａを用いて、全ての中間位置を示す基準値ＡＰ（ＡＰｃ、ＡＰａ、ＡＰｍ、ＡＰｂおよびＡＰｏ）に共通の補正量ΔＡＰを算出する。
前者によれば、高い精度の補正を実施することができる。後者によれば、補正に要する時間を抑えることができる。

基準値補正量算出部１５は、補正量ΔＡＰを算出したのち、弁軸２００が回転する方向を判定し（ステップＨＳ２）、この回転方向に応じて基準値ＡＰを補正する。

すなわち、弁軸２００が、図２４に示すように、絶対的位置を示す値が減少する前記閉方向（本実施の形態では、全開位置Ｐｏから全閉位置Ｐｃに向かう方向）に回転しているときに検出される基準値ＡＰに対しては、現在の値から補正量ΔＡＰを減算することで補正後の基準値ＡＰ´を算出する（ステップＨＳ３）。

他方、弁軸２００が、図２５に示すように、絶対的位置を示す値が増大する開方向（本実施の形態では、全閉位置Ｐｃから全開位置Ｐｏに向かう方向）に回転しているときに検出される基準値ＡＰに対しては、現在の値に補正量ΔＡＰを加算することで補正後の基準値ＡＰ´を算出する（ステップＨＳ４）。

以上のステップを経て、第１の補正方法は終了する。
補正後の基準値ＡＰ´に関すデータは、例えば、回転制御装置１００が備える不揮発性メモリーに保存される。また、別の仕様では、例えば回転制御装置１００から離隔した場所に設けられた記憶装置に無線または有線によって送信されて保存されるように構成してもよい。
保存された補正後の基準値ＡＰ´に関する情報ＳＳ２１は、例えば基準位置更新部３２へと送られ、通常動作モードにおいて、補正後の基準値ＡＰ´が反映された更新が実行される。また、補正を重ねることで蓄積されるデータは、その時系列的トレンドをモニターすることで回転制御装置１００の故障診断や予防保全に役立てることができる。このとき、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎの使用頻度を表すパラメータ、例えば、通常動作モードにおいてＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎから出力される検知信号Ｐ１〜Ｐｎの回数等を並行して取得することで、使用頻度と摩耗による検出位置の変化量／補正量との相関を求めることができるので、より効果的な予防保全が可能になる。

〔第２の補正方法〕
次に、第２の補正方法を、図２４、図２５および図２７を参照しながら説明する。この第２の補正方法は、第１の方法ないし第４の方法のうちの少なくとも１つによってカム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化Ｘ１に起因した第１の経時的変化量ΔＬα１およびこれに対応する第１の経時的積算変化量ΔＰＣα１を測定し、かつ第５の方法ないし第８の方法のうちの少なくとも１つによってカム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化Ｘ２に起因した第２の経時的変化量ΔＬα２およびこれに対応する第２の経時的積算変化量ΔＰＣα２を測定した場合に実行される補正方法であり、図２７に示されるステップＨＳ１０ないしＨＳ１４により実行される。ここで、中間位置が複数設けられている場合（５つの中間位置が設けられている本実施の形態の場合）は、それぞれの中間位置においてステップＨＳ１０ないしＨＳ１４が実行される。

補正部１０は、基準値補正量算出部１５を通じて、前記第１ないし第４の方法の少なくとも１つの方法によって測定された第１の経時的積算変化量ΔＰＣα１と、位置情報保存部１３に記憶されている弁軸２００の最大回転角θｓｐおよびこの最大回転角θｓｐの間に相対的位置センサ１が検出する機械的変位の回転可能区間積算値ＰＣｓｐとから、中間位置Ｐを示す基準値ＡＰにおける第１の補正量ΔＡＰ１を算出する（ステップＨＳ１０）。この第１の補正量ΔＡＰ１は、カム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化Ｘ１に起因した検出位置の変化を是正する補正量である。
このとき基準値補正量算出部１５は、検出位置変化量算出部１４から第１の経時的積算変化量ΔＰＣα１に関する情報ＳＳ１８を受信し、位置情報保存部１３から最大回転角θおよび回転可能区間積算値ＰＣｓｐに関する情報ＳＳ１９を受信する。
第１の補正量ΔＡＰ１、第１の経時的積算変化量ΔＰＣα１、最大回転角θｓｐおよび回転可能区間積算値ＰＣｓｐとの間には、ΔＡＰ＝ΔＰＣα／ＰＣｓｐ×θｓｐといった関係式が成立する。

前記第１ないし第４の方法における特定中間位置Ｐαが、複数配設された中間位置の全て、すなわち、全閉位置Ｐｃ、位置Ｐａ、位置Ｐｍ、位置Ｐｂおよび全開位置Ｐｏである場合には、それぞれの中間位置において第１の経時的積算変化量ΔＰＣｃ１、ΔＰＣａ１、ΔＰＣｍ１、ΔＰＣｂ１およびΔＰＣｏ１が測定されているため、それぞれの中間位置を示す基準値ＡＰ（基準値ＡＰｃ、ＡＰａ、ＡＰｍ、ＡＰｂおよびＡＰｏ）毎に第１の補正量ＡＰ１（第１の補正量ΔＡＰｃ１、ΔＡＰａ１、ΔＡＰｍ１、ΔＡＰｂ１およびΔＡＰｏ１）を算出する。
他方、複数の中間位置のうちの１つの中間位置、例えば、弁開度２０％位置Ｐａのみの第１の経時的積算変化量ΔＰＣａ１が測定されている場合には、この第１の経時的積算変化量ΔＰＣａ１を用いて、全ての中間位置を示す第１の基準値ＡＰ１（第１の基準値ＡＰｃ１、ＡＰａ１、ＡＰｍ１、ＡＰｂ１およびＡＰｏ１）に共通の第１の補正量ΔＡＰ１を算出する。
前者によれば、高い精度の補正を実施することができる。後者によれば、補正に要する時間を抑えることができる。

次に、補正部１０は、基準値補正量算出部１５を通じて、前記第５ないし第８の方法の少なくとも１つの方法によって測定された第２の経時的積算変化量ΔＰＣα２と、位置情報保存部１３に記憶されている弁軸２００の最大回転角θｓｐおよびこの最大回転角θｓｐの間に相対的位置センサ１が検出する機械的変位の回転可能区間積算値ＰＣｓｐとから、中間位置Ｐを示す基準値ＡＰにおける第２の補正量ΔＡＰ２を算出する（ステップＨＳ１１）。この第２の補正量ΔＡＰ２は、カム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化Ｘ２に起因した検出位置の変化を是正する補正量である。
このとき基準値補正量算出部１５は、検出位置変化量算出部１４から第１の経時的積算変化量ΔＰＣα２に関する情報ＳＳ１８を受信し、位置情報保存部１３から最大回転角θおよび回転可能区間積算値ＰＣｓｐに関する情報ＳＳ１９を受信する。
第２の補正量ΔＡＰ２、第２の経時的積算変化量ΔＰＣα２、最大回転角θｓｐおよび回転可能区間積算値ＰＣｓｐとの間には、ΔＡＰ＝ΔＰＣα／ＰＣｓｐ×θｓｐといった関係式が成立する。

前記第５ないし第８の方法における特定中間位置Ｐαが、複数配設された中間位置の全て、すなわち、全閉位置Ｐｃ、位置Ｐａ、位置Ｐｍ、位置Ｐｂおよび全開位置Ｐｏである場合には、それぞれの中間位置において第２の経時的積算変化量ΔＰＣｃ２、ΔＰＣａ２、ΔＰＣｍ２、ΔＰＣｂ２およびΔＰＣｏ２が測定されているため、それぞれの中間位置を示す基準値ＡＰ（基準値ＡＰｃ、ＡＰａ、ＡＰｍ、ＡＰｂおよびＡＰｏ）毎に第２の補正量ＡＰ２（第２の補正量ΔＡＰｃ２、ΔＡＰａ２、ΔＡＰｍ２、ΔＡＰｂ２およびΔＡＰｏ２）を算出する。
他方、複数の中間位置のうちの１つの中間位置、例えば、弁開度２０％位置Ｐａのみの第２の経時的積算変化量ΔＰＣａ２が測定されている場合には、この第２の経時的積算変化量ΔＰＣａ２を用いて、全ての中間位置を示す第２の基準値ＡＰ２（第２の基準値ＡＰｃ２、ＡＰａ２、ＡＰｍ２、ＡＰｂ２およびＡＰｏ２）に共通の第２の補正量ΔＡＰ２を算出する。
前者によれば、高い精度の補正を実施することができる。後者によれば、補正に要する時間を抑えることができる。

基準値補正量算出部１５は、第１の補正量ΔＡＰ１および第２の補正量ΔＡＰ２を算出したのち、弁軸２００が回転する方向を判定し（ステップＨＳ１２）、この回転方向に応じて基準値ＡＰを補正する。

すなわち、弁軸２００が、図２４に示すように、絶対的位置を示す値が減少する前記閉方向（本実施の形態では、全開位置Ｐｏから全閉位置Ｐｃに向かう方向）に回転しているときに検出される基準値ＡＰに対しては、現在の値から第１の補正量ΔＡＰ１を減算することで補正後の基準値ＡＰ´を算出する（ステップＨＳ１３）。

他方、弁軸２００が、図２５に示すように、絶対的位置を示す値が増大する開方向（本実施の形態では、全閉位置Ｐｃから全開位置Ｐｏに向かう方向）に回転しているときに検出される基準値ＡＰに対しては、現在の値に第１の補正量ΔＡＰ１を加算することで補正後の基準値ＡＰ´を算出する（ステップＨＳ１４）。

以上のステップを経て、第１の補正方法は終了する。
補正後の基準値ＡＰ´に関すデータは、第１の補正方法と同様に、例えば、回転制御装置１００が備える不揮発性メモリーに保存される。また、別の仕様では、例えば回転制御装置１００から離隔した場所に設けられた記憶装置に無線または有線によって送信されて保存されるように構成してもよい。

≪本実施の形態における補正の効果≫
第１の方法ないし第８の方法によれば、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎを構成する基板２０、電極２１ａ、２１ｂおよびカム部材２４ａ、２４ｂの摩耗等による経時的形状変化、特にカム部材２４ａ、２４ｂの経時的形状変化に起因した中間位置の検出位置の変化量を、必要なときに迅速に測定することができる。
また、第1の補正方法および第２の補正方法によれば、第１の方法ないし第８の方法の方法を用いて計測された検出位置変化量を用いて、中間位置を示す基準値ＡＰを適正な値に補正することができる。
これにより、操作対象軸の高い位置検出精度と、高い耐久性・信頼性を兼ね備え回転制御装置を低コストで実現しつつ、さらに高い位置検出精度を長期間保持することができる。

また、第１の方法ないし第８の方法によって測定された特定中間位置Ｐαの検出位置の変化量、および第１の補正方法および第２の補正方法によって算出された補正値を、例えば自身が備える記憶装置（不揮発性メモリー等）に記憶・保存するように構成し、または遠隔地に設けられた記憶装置へ有線または無線で送信して記憶・保存するように構成すれば、補正を重ねることにデータが蓄積され、これら蓄積デーを、例えば時系列なトレンドをモニターするといった形で分析することで、回転制御装置１００の故障診断や予防保全に役立てることができる。このとき、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎの使用頻度を表すパラメータ、例えば、通常動作モードにおいてＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎから出力される検知信号Ｐ１〜Ｐｎの回数等を同時に取得することで、摩耗による検出位置の変化量／補正量と使用頻度との相関を求めることができ、より効果的な予防保全が可能になる。

１００…回転制御装置（操作器）、２００…弁軸、１…相対的位置センサ、２，２＿１〜２＿ｎ…ＯＮ／ＯＦＦセンサ、３…位置算出部、４，４Ａ…操作量算出部、５…操作部、１０…補正部、１１…操作指示部、１２…位置検出部、１３…位置情報保存部、１４…検出位置変化量算出部、１５…基準値補正量算出部、２０…プリント基板、２０ａ、２０ｂ…主面、２１ａ、２１ｂ…電極、２０１…ショートプレート、２０１ａ、２０１ｂ…接触子、２３＿ｉ…検出回路、２４ａ、２４ｂ…カム部材、３１…相対的位置情報取得部、３２…基準値更新部、３３…位置決定部、４１…目標
値取得部、４２…偏差算出部、４３…操作量決定部、５１…電動モータ駆動部、５２…電動モータ、５３…減速機、ＳＰ…目標値、ＰＶ…実開度、ΔＰ…偏差、ＭＶ…操作量、ＲＰ…積算値、ＡＰ…基準値、ＲＳＴ…リセット信号、Ｐα…特定中間位置、Ｐα…特定中間位置、Ｐｓｔ１…第１基準位置、Ｐｓｔ２…第２基準位置、Ｌα…回転区間変位量、ΔＬα…経時的変化量、ＰＣα…回転区間積算値ＰＣα ｒｅｆ…初期時積算値、ΔＰＣα…経時的積算変化量、ΔＡＰ…基準値補正量。

上記回転制御装置において、前記変位量が、前記操作対象軸の絶対的な回転位置を示す値が増加する方向（特許請求の範囲に記載の「順方向」に相当。以下「開方向」という。また、操作対象軸の絶対的な回転位置を示す値が減少する「逆方向」を、以下「閉方向」という。）へ前記操作対象軸が回転するときに前記中間位置が前記第１の補正用検出位置であるとして計測される第１の変位量（Ｌα１）、および／または、前記開方向へ前記操作対象軸が回転するときに、前記中間位置が前記第２の補正用検出位置であるとして計測される第２の変位量（Ｌα2）を含むように構成してもよい。

図３Ｂ，３Ｄに示されるように、ショートプレート２０１は、例えば側面視「コ」字状に形成されている。ショートプレート２０１は、例えば、真鍮やステンレス等の金属から成る短冊状の板部材を曲げ加工して側面視「コ」字状に形成すればよい。このようなショートプレート２０１を弁軸２００の側面にネジ等で固定することによって、このショートプレート２０１は、一端が弁軸２００に固定されてこの弁軸２００の径方向に延在する第１接触子２０１ａと、この第１接触子２０１ａと電気的に接続され、一端が弁軸２００に固定されてこの弁軸２００の径方向に延在する第２接触子２０１ｂとを提供することとなる。第１接触子２０１ａと第２接触子２０１ｂとは、ともに弾性変形可能な板状の部材である。プリント基板２０は、これら一対の接触子２０１ａ、２０１ｂの間に配置される。この状態でこれらの接触子２０１ａ、２０１ｂの接点２０１ａ’、２０１ｂ’がプリント基板２０の表と裏の２つの主面２０ａ、２０ｂの方向にそれぞれ付勢されている。したがって、弁軸２００に固定されたショートプレート２０１は、対向する一対の接触子２０１ａ，２０１ｂがプリント基板２０を挟み込んだ状態で弁軸２００とともに回転する。

ここで、回転区間変位量Ｌαおよび回転区間初期変位量Ｌαｒｅｆは、いずれも相対的位置センサ１によって検出される機械的変位の積算値、より具体的には、相対的位置センサ１を構成するインクリメンタル型のロータリエンコーダから一定の回転角毎に出力されるパルス数の積算値して計測される（以下、回転区間変位量Ｌαに対応する積算値を「回転区間積算値ＰＣα」といい、回転区間初期変位量Ｌαｒｅｆに対応する積算値を「回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆ」という。）。
また、前記基本情報である回転可能区間変位量Ｌｓｐも、相対的位置センサ１によって検出される機械的変位の積算値（以下、「回転可能区間積算値ＰＣｓｐ」という。）の形で計測される。

検出位置変化量算出部１４は、位置検出部１２が出力する検出信号ＳＳ１３および検出信号ＳＳ１５を受信するとともに、相対位置センサ１から機械的変位Ｍｄに関する情報を受信する。検出位置変化量算出部１４は、これら受信情報に基づいて、回転区間積算値ＰＣαを計測する。さらに、検出位置変化量算出部１４は、位置情報保存部１３に格納されている、回転区間初期変位量Ｌαｒｅｆに対応した回転区間回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆに関する情報ＳＳ１７受信し、この回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆと回転区間積算値ＰＣαとの差分から、経時的積算変化量ΔＰＣαを測定する。

なお、本実施の形態では、第１位置が全閉位置Ｐｃで構成され、第２位置が全開位置Ｐｏで構成されている。このため、第１基準位置Ｐｓｔ１と全閉位置Ｐｃとは同じ位置にあり、第２基準位置Ｐｓｔ２と全開位置Ｐｏとは同じ位置にある。したがって、構造的に可能であれば、全閉位置Ｐｃ側基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ１２ａをＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１で代用し、全開位置Ｐｏ側基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ１２ｂをＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿５で代用してもよい。
このとき、全閉位置Ｐｃおよび全開位置Ｐｏの検出位置が経時的に変化しないよう、例えば、これらの位置を検出するＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１および２＿５の近傍に、弁軸２００の回転を機械的に規制する要素（例えばストッパーＷ）が配設されていることが望ましい。ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１、２＿５が備える電極２１ａ、２１ｂおよびカム部材２４ａ、２４ｂ等の経時的形状変化によって全閉位置Ｐｃおよび全開位置Ｐｏの検出位置が経時的に変化することが想定される場合には、基準位置ＯＮ／ＯＦＦセンサ１２ａ、１２ｂを、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１、２＿ｎで代用することなく、経時的形状変化のない部位に別途配設することが望ましい。

次に、回転制御装置１００は、ステップＳ２６において算出された実開度ＰＶが目標値
ＳＰと一致するか否かを判定する（Ｓ２７）。

弁軸２００の回転区間変位量Ｌαは、前述したように、基準位置Ｐｓｔと特定中間位置Ｐαとの間を弁軸２００が回転する間に相対的位置センサ１が検出する機械的変位Ｍｄ、より具体的には、相対的位置センサ１を構成するインクリメンタル型のロータリエンコーダから一定の回転角毎に出力されるパルス数の積算値の形で定量的に計測される。弁軸２００の回転区間変位量Ｌαの経時的変化量ΔＬαは、初期時に計測された回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆと補正時に計測された回転区間積算値ＰＣαとの差分である経時的積算変化量ΔＰＣαの形で定量的に測定される。

第２基準位置検知信号Ｑ２を受信して弁軸２００が第２基準位置Ｐｓｔ２に到達したことを検出したならば、上記一連のステップが終了する。

なお、接触子２０１ａ、２０１ｂと電極２１ａ、２１ｂとの接触範囲が、装置製造時から、相対的位置センサ１によって検出される機械的変位Ｍｄよりも大きく設定されている場合には、初期時より、特定中間位置Ｐαを検出する際の基点として「受信開始点」と「受信終了点」とが存在することになる。
この場合、補正精度を担保する観点から、回転区間初期変位量Ｌαｒｅｆ（回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆ）と補正時の回転区間変位量Ｌα（回転区間積算値ＰＣα）とは、同一基点に基づいて計測されることが望ましい。

また、ステップＰＳ１において、弁軸２００を全開位置Ｐｏ側の第２基準位置Ｐｓｔ２に配置してもよい。この場合、ステップＰＳ２およびステップＰＳ５では、弁軸２００を閉方向（全閉位置Ｐｃに向けた方向）へ回転させるように電動モータ５２を駆動する。また、弁軸２００が全閉位置Ｐｃ側の第１基準位置Ｐｓｔ１に到達したときに出力される第１基準位置検知信号Ｑ１を受信するまで、ステップＰＳ２ないしＰＳ４が繰り返されることなる。

第２の方法は、例えば図１０に示すように、全閉位置Ｐｃ側の第1位置に設けられた第１基準位置Ｐｓｔ１と全開位置Ｐｏ側の第２位置に設けられた第２基準位置Ｐｓｔ２との間の任意の位置（この任意の位置には、第１基準位置Ｐｓｔ１も含まれる）にある弁軸２００（より詳細には、弁軸２００に接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）を、第２基準位置Ｐｓｔ２に向けて回転（前記開方向に向けて回転）させ、この間に検出される所定の中間位置Ｐαから第２基準位置Ｐｓｔ２に至るまでの回転区間変位量Ｌαを、相対的位置センサ１が検出する機械的変位Ｍｄを積算することで回転区間積算値ＰＣαの形で定量的に計測し、この回転区間積算値ＰＣαと位置情報保存部１３に予め記憶されている回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆとの差分から、特定中間位置Ｐαの経時的変化量ΔＬαを経時的積算変化量ΔＰＣαの形で定量的に計測するというものである。
この第２の方法は、第１の方法と同様に、例えば、所定の期間が経過した後に電源が投入されると自動的に実施され、または、通常動作時において制御対象の制御に支障が生じない任意のタイミングで実施される補正モードにおいて実行される。

さらに、検出位置変化量算出部１４は、回転区間積算値ＰＣαと、位置情報保存部１３に記憶・保存されている回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆとから、これら値の差分として求められる経時的積算変化量ΔＰＣαを算出する（ステップＣ４６）。回転区間積算値ＰＣαと、回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆと、検出位置の経時的積算変化量ΔＰＣαとの間には、ΔＰＣα＝ＰＣαｒｅｆ−ＰＣαの関係式が成り立つ。

以上のステップにより、第５の方法による回転区間積算値ＰＣα（補正時の特定中間位置Ｐαと第１基準位置Ｐｓｔ１との間の回転区間変位量Ｌαの計測）、および特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣα（特定中間位置Ｐαの経時的変化量ΔＬα）の測定が終了する。

位置検出部１２を通じて第２基準位置検知信号Ｑ２を受信し、これによって第２基準位置Ｐｓｔ２が検出されると、後述するステップＣＳ５５へと進む。
他方、位置検出部１２を通じて第２基準位置Ｐｓｔ２が検出されなければ、ステップＣＳ５３へと戻り、ステップＣＳ５３ないしステップＣＳ５４が繰り返えされる。このとき、操作指示部１１は、開方向へ弁軸２００を回転させる回転指示命令信号ＳＳ１０を、操作部５に向けて出力し続ける。

この第８の方法は、第４の方法と同様に、特定中間位置Ｐαにある軸２００（より詳細には、弁軸２００と接合するショートプレート２０１に設けられた接触子２０１ａ、２０１ｂ）を第２基準位置Ｐｓｔ２に向かう開方向へ回転させている間に、特定中間位置Ｐαと異なるもう一つの特定中間位置Ｐγを検出し、特定中間位置Ｐαと特定中間位置Ｐγとの間を弁軸２００が回転する間に相対的位置センサ１が検出する機械的変位Ｍｄを積算（パルス数をカウント）することで、回転区間積算値ＰＣαγ（回転区間変位量Ｌαγ）を計測し、この計測された回転区間積算値ＰＣαγと、位置情報保存部１３に予め記憶されている回転区間初期積算値ＰＣαｒｅｆおよびＰＣγｒｅｆと、第５の方法または第６の方法で測定された特定中間位置Ｐαの経時的積算変化量ΔＰＣαとから、特定中間位置Ｐγの経時的変化量ΔＬγを経時的積算変化量ΔＰＣγの形で定量的に計測すると
いうものである。
この第８の方法は、従前の方法と同様に、例えば、所定の期間が経過した後に電源が投入されると自動的に実施され、または、通常動作時において制御対象の制御に支障が生じない任意のタイミングで実施される補正モードにおいて実行される。ただし、第８の方法は、例えば第５の方法または第６の方法によって経時的積算変化量ΔＰＣαが測定された後に実行される。
なお、上記特定中間位置Ｐγは、特定中間位置Ｐα以外であって、かつ特定中間位置Ｐαよりも全開位置Ｐｏ側にある弁開度２０％位置Ｐａ、弁開度５０％位置Ｐｍ、弁開度７０％位置Ｐｂおよび全開位置Ｐｏの少なくとも１つである。

以上のステップを経て、第１の補正方法は終了する。
補正後の基準値ＡＰ´に関すデータは、例えば、回転制御装置１００が備える不揮発性メモリーに保存される。また、別の仕様では、例えば回転制御装置１００から離隔した場所に設けられた記憶装置に無線または有線によって送信されて保存されるように構成してもよい。
保存された補正後の基準値ＡＰ´に関する情報ＳＳ２１は、例えば基準値更新部３２へと送られ、通常動作モードにおいて、補正後の基準値ＡＰ´が反映された更新が実行される。また、補正を重ねることで蓄積されるデータは、その時系列的トレンドをモニターすることで回転制御装置１００の故障診断や予防保全に役立てることができる。このとき、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎの使用頻度を表すパラメータ、例えば、通常動作モードにおいてＯＮ／ＯＦＦセンサ２＿１〜２＿ｎから出力される検知信号Ｐ１〜Ｐｎの回数等を並行して取得することで、使用頻度と摩耗による検出位置の変化量／補正量との相関を求めることができるので、より効果的な予防保全が可能になる。

以上のステップを経て、第２の補正方法は終了する。
補正後の基準値ＡＰ´に関すデータは、第１の補正方法と同様に、例えば、回転制御装置１００が備える不揮発性メモリーに保存される。また、別の仕様では、例えば回転制御装置１００から離隔した場所に設けられた記憶装置に無線または有線によって送信されて保存されるように構成してもよい。

１００…回転制御装置（操作器）、２００…弁軸、１…相対的位置センサ、２，２＿１〜２＿ｎ…ＯＮ／ＯＦＦセンサ、３…位置算出部、４…操作量算出部、５…操作部、１０…補正部、１１…操作指示部、１２…位置検出部、１３…位置情報保存部、１４…検出位置変化量算出部、１５…基準値補正量算出部、２０…プリント基板、２０ａ、２０ｂ…主面、２１ａ、２１ｂ…電極、２０１…ショートプレート、２０１ａ、２０１ｂ…接触子、２３＿ｉ…検出回路、２４ａ、２４ｂ…カム部材、３１…相対的位置情報取得部、３２…基準値更新部、３３…位置決定部、４１…目標値取得部、４２…偏差算出部、４３…操作量決定部、５１…電動モータ駆動部、５２…電動モータ、５３…減速機、ＳＰ…目標値、ＰＶ…実開度、ΔＰ…偏差、ＭＶ…操作量、ＲＰ…積算値、ＡＰ…基準値、ＲＳＴ…リセット信号、Ｐα…特定中間位置、Ｐｓｔ１…第１基準位置、Ｐｓｔ２…第２基準位置、Ｌα…回転区間変位量、ΔＬα…経時的変化量、ＰＣα…回転区間積算値、ＰＣα ｒｅｆ…回転区間初期積算値、ΔＰＣα…経時的積算変化量、ΔＡＰ…基準値補正量。

Claims (9)

1. 操作対象軸の回転を制御する回転制御装置であって、
   前記操作対象軸の回転の機械的変位を非接触で検出する相対的位置センサと、
   前記操作対象軸の回転可能な範囲の間にある少なくとも１つの中間位置に前記操作対象軸が到達したときに検知信号を出力するＯＮ／ＯＦＦセンサと、
   前記検知信号が出力されてからの、前記相対的位置センサによって検出される前記機械的変位の積算値と、前記ＯＮ／ＯＦＦセンサが出力する前記検知信号によって検出される前記中間位置を示す基準値とに基づいて、前記操作対象軸の絶対的な回転位置を算出する位置算出部と、
   前記操作対象軸の回転位置の目標値の情報と、前記位置算出部によって算出された前記操作対象軸の絶対的な回転位置とに基づいて、前記操作対象軸の操作量を算出する操作量算出部と、
   前記操作量算出部によって算出された前記操作量に基づいて、前記操作対象軸の回転可能な範囲内において前記操作対象軸を操作する操作部と、
   前記基準値を補正する補正部とを備え、
   前記ＯＮ／ＯＦＦセンサは、前記操作対象軸の周りに設けられ、前記操作対象軸の軸線と直交する主面を有する基板と、前記基板の主面上に配設された少なくとも１つの電極と、一端が前記操作対象軸に固定され、前記操作対象軸の径方向に延在し、前記操作対象軸が前記中間位置にあるときに他端側の一部が前記電極の１つに接触する接触子と、前記接触子が前記電極の１つに接触すると前記検知信号を出力する検出回路と、前記基板の前記主面上かつ前記電極間に配置され、前記操作対象軸が前記中間位置にないときに前記接触子の他端を前記主面から離間させる方向に移動させるカム部材とを備え、
   前記補正部は、前記検知信号が出力されるときの前記操作対象軸の回転位置を異なる２つの時点で計測し、これら計測値に基づいて前記中間位置を示す基準値を補正するように構成されている、
   回転制御装置。
2. 請求項１に記載された回転制御装置において、
   前記操作対象軸の回転位置は、前記ＯＮ／ＯＦＦセンサによって検出される前記中間位置と絶対的な位置に固定された基準位置との間を回転する前記操作対象軸の変位量として計測される、
   回転制御装置。
3. 請求項２に記載された回転制御装置において、
   前記変位量は、前記操作対象軸が前記基準位置と前記中間位置との間を回転する間に前記相対的位置センサによって検出される機械的変位の積算値として計測される、
   回転制御装置。
4. 請求項２または３に記載された回転制御装置において、
   前記基準位置は、前記操作対象軸の回転可能な範囲の端点を形成する第１位置および第２位置の少なくとも１つである、
   回転制御装置。
5. 請求項２ないし４のいずれかに記載された回転制御装置において、
   前記中間位置は、前記検知信号の出力が開始される時点における前記操作対象軸の回転位置によって規定される第１の補正用検出位置、および／または、前記検知信号の出力が終了する時点における前記操作対象軸の回転位置として規定される第２の補正用検出位置を含む
   回転制御装置。
6. 請求項５に記載された回転制御装置において、
   前記変位量は、前記操作対象軸の絶対的な回転位置を示す値が増加する順方向へ前記操作対象軸が回転するときに前記中間位置が前記第１の補正用検出位置であるとして計測される第１の変位量、および／または、前記順方向へ前記操作対象軸が回転するときに、前記中間位置が前記第２の補正用検出位置であるとして計測される第２の変位量を含む
   回転制御装置。
7. 請求項５または６に記載された回転制御装置において、
   前記変位量は、前記操作対象軸の絶対的な回転位置を示す値が減少する逆方向へ前記操作対象軸が回転するときに前記中間位置が前記第１の補正用検出位置であるとして計測される第３の変位量、および/または、前記逆方向へ前記操作対象軸が回転するときに、前記中間位置が前記第２の補正用検出位置であるとして計測される第４の変位量を含む
   回転制御装置。
8. 請求項１ないし７のいずれかに記載された回転制御装置において、
   前記補正部は、前記経時的変化量に基づいて前記基準値の補正量を算出し、前記絶対的な回転位置を示す値が増加する順方向へ前記操作対象軸が回転するときに検出される前記基準値に対して前記補正量を減算し、前記値が減少する逆方向へ前記操作対象軸が回転するときに検出される前記基準値に対し前記補正量を加算することで前記基準値を補正するように構成されている、
   回転制御装置。
9. 請求項６または７に記載された回転制御装置において、
   前記補正部は、前記第１の変位量または前記第４の変位量を用いて測定される前記経時的変化量に基づいて前記基準値に対する第１の補正量を算出し、前記第２の変位量または第３の変位量を用いて測定される前記経時的変化量に基づいて前記基準値に対する第２の補正量を算出し、
   前記順方向へ前記操作対象軸が回転するときに検出される前記基準値から前記第１の補正量を減算し、前記逆方向へ前記操作対象軸が回転するときに検出される前記基準値に前記第２の補正量を加算するように構成されている、
   回転制御装置。

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