JP2020033568A - Resin composition and adhesive film - Google Patents

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Abstract

To provide a resin composition that can give an insulating layer being excellent in all properties of dielectric loss tangent, thermal expansion coefficient, breaking point elongation, surface roughness and peel strength in the production of a printed wiring board.SOLUTION: A resin composition has (A) epoxy resin, (B) active ester compound, (C) carbodiimide compound, (D) thermoplastic resin and (E) inorganic filler, the content of (E) component being 40 mass% or more when a nonvolatile component in the resin composition is 100 mass%.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、樹脂組成物に関する。さらには、該樹脂組成物を用いた接着フィルム、プリント配線板、半導体装置に関する。   The present invention relates to a resin composition. Further, the present invention relates to an adhesive film, a printed wiring board, and a semiconductor device using the resin composition.

プリント配線板の製造技術として、絶縁層と導体層を交互に積み重ねるビルドアップ方式による製造方法が知られている。ビルドアップ方式による製造方法において、一般に、絶縁層は樹脂組成物を硬化させて形成される。例えば、特許文献1には、エポキシ樹脂、活性エステル化合物及びカルボジイミド化合物を含む樹脂組成物を硬化させて低誘電正接の絶縁層を形成する技術が開示されている。   As a manufacturing technique of a printed wiring board, a manufacturing method by a build-up method in which insulating layers and conductive layers are alternately stacked is known. In a manufacturing method using a build-up method, generally, an insulating layer is formed by curing a resin composition. For example, Patent Literature 1 discloses a technique in which a resin composition containing an epoxy resin, an active ester compound, and a carbodiimide compound is cured to form a low dielectric loss tangent insulating layer.

近年の軽薄短小の傾向から、プリント配線板のビルドアップによる積層数は増加する傾向にあるが、積層数の増加に伴って絶縁層と導体層との熱膨張の差によるクラックや回路歪みの発生が問題となる。斯かるクラックや回路歪みの問題を抑制する技術として、例えば、特許文献2には、樹脂組成物中の無機充填材の含有量を高めることによって、形成される絶縁層の熱膨張率を低く抑える技術が開示されている。   The number of laminations due to the build-up of printed wiring boards has tended to increase due to the recent tendency to be light and thin, but cracks and circuit distortion due to the difference in thermal expansion between the insulating layer and the conductor layer due to the increase in the number of laminations Is a problem. As a technique for suppressing such problems of cracks and circuit distortion, for example, in Patent Document 2, by increasing the content of an inorganic filler in a resin composition, the coefficient of thermal expansion of an insulating layer to be formed is suppressed to be low. Techniques are disclosed.

特開2006−335834号公報JP 2006-335834 A 特開2010−202865号公報JP 2010-202865 A

本発明者らは、プリント配線板の製造に際して、低誘電正接かつ低熱膨張率の絶縁層を形成すべく、特許文献1記載の樹脂組成物に無機充填材を高い含有量にて配合することを試みた。得られる樹脂組成物は、所期の誘電正接、熱膨張率を示す絶縁層をもたらす一方において、破断点伸度、表面粗度、ピール強度等の特性に劣る絶縁層に帰着する場合のあることを本発明者らは見出した。   The inventors of the present invention have found that, when manufacturing a printed wiring board, a high content of an inorganic filler is added to the resin composition described in Patent Document 1 in order to form an insulating layer having a low dielectric loss tangent and a low coefficient of thermal expansion. Tried. The resulting resin composition may result in an insulating layer exhibiting the expected dielectric loss tangent and coefficient of thermal expansion, but may result in an insulating layer having poor properties such as elongation at break, surface roughness, and peel strength. The present inventors have found.

本発明は、プリント配線板の製造に際して、誘電正接、熱膨張率、破断点伸度、表面粗度及びピール強度のいずれの特性にも優れる絶縁層をもたらすことのできる樹脂組成物を提供することを課題とする。   An object of the present invention is to provide a resin composition capable of providing an insulating layer that is excellent in any of the properties of dielectric loss tangent, coefficient of thermal expansion, elongation at break, surface roughness and peel strength when manufacturing a printed wiring board. As an issue.

本発明者らは、上記の課題につき鋭意検討した結果、下記特定の樹脂組成物によれば上記課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。   The present inventors have conducted intensive studies on the above problems, and as a result, have found that the following specific resin composition can solve the above problems, and have completed the present invention.

すなわち、本発明は以下の内容を含む。
[1] (A)エポキシ樹脂、(B)活性エステル化合物、(C)カルボジイミド化合物、(D)熱可塑性樹脂及び(E)無機充填材を含み、(E)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、40質量%以上である、樹脂組成物。
[2] (D)成分の重量平均分子量が、10000〜200000である、[1]に記載の樹脂組成物。
[3] (D)成分が、酸素原子、窒素原子及び硫黄原子からなる群より選択される1種以上の原子又は炭素−炭素二重結合を含有する官能基を有する熱可塑性樹脂である、[1]又は[2]に記載の樹脂組成物。
[4] (D)成分が、水酸基、カルボキシ基、酸無水物基、エポキシ基、アミノ基、チオール基、エノール基、エナミン基、ウレア基、シアネート基、イソシアネート基、チオイソシアネート基、ジイミド基、アルケニル基、アレン基及びケテン基からなる群より選択される1種以上の官能基を有する熱可塑性樹脂である、[1]〜[3]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[5] (D)成分が、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、酸無水物基含有ビニル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂及びスチレン系エラストマー樹脂からなる群より選択される1種以上の熱可塑性樹脂である、[1]〜[4]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[6] (C)成分の重量平均分子量が、500〜5000である、[1]〜[5]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[7] (C)成分のNCO含有量が5質量%以下である、[1]〜[6]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[8] (E)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、50質量%以上である、[1]〜[7]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[9] (E)成分の平均粒子径が、0.01μm〜3μmである、[1]〜[8]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[10] (E)成分がシリカである、[1]〜[9]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[11] さらに(F)硬化促進剤を含む、[1]〜[10]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[12] (F)成分が、4−ジメチルアミノピリジン又は1−ベンジル−2−フェニルイミダゾールである、[11]に記載の樹脂組成物。
[13] 樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成し、該絶縁層の表面を粗化処理した後の算術平均粗さ(Ra)が140nm以下である、[1]〜[12]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[14] 樹脂組成物の硬化物の破断点伸度が2%以上である、[1]〜[13]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[15] 樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度(Tg)が165℃以上である、[1]〜[14]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[16] 支持体と、該支持体と接合している[1]〜[15]のいずれかに記載の樹脂組成物の層とを含む、接着フィルム。
[17] [1]〜[15]のいずれかに記載の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む、プリント配線板。
[18] [17]に記載のプリント配線板を含む、半導体装置。
That is, the present invention includes the following contents.
[1] A resin composition comprising (A) an epoxy resin, (B) an active ester compound, (C) a carbodiimide compound, (D) a thermoplastic resin, and (E) an inorganic filler, wherein the content of the component (E) is A resin composition, which has a content of 40% by mass or more when the nonvolatile component in the composition is 100% by mass.
[2] The resin composition according to [1], wherein the component (D) has a weight average molecular weight of 10,000 to 200,000.
[3] The component (D) is a thermoplastic resin having a functional group containing one or more atoms selected from the group consisting of an oxygen atom, a nitrogen atom, and a sulfur atom or a carbon-carbon double bond. The resin composition according to [1] or [2].
[4] The component (D) is a hydroxyl group, a carboxy group, an acid anhydride group, an epoxy group, an amino group, a thiol group, an enol group, an enamine group, a urea group, a cyanate group, an isocyanate group, a thioisocyanate group, a diimide group, The resin composition according to any one of [1] to [3], which is a thermoplastic resin having one or more functional groups selected from the group consisting of an alkenyl group, an allene group, and a ketene group.
[5] The component (D) is at least one thermoplastic resin selected from the group consisting of a phenoxy resin, a polyvinyl acetal resin, a vinyl resin containing an acid anhydride group, a polyimide resin, a polyamideimide resin, and a styrene-based elastomer resin. The resin composition according to any one of [1] to [4].
[6] The resin composition according to any one of [1] to [5], wherein the component (C) has a weight average molecular weight of 500 to 5,000.
[7] The resin composition according to any one of [1] to [6], wherein the component (C) has an NCO content of 5% by mass or less.
[8] The resin composition according to any one of [1] to [7], wherein the content of the component (E) is 50% by mass or more when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass. .
[9] The resin composition according to any one of [1] to [8], wherein the component (E) has an average particle size of 0.01 μm to 3 μm.
[10] The resin composition according to any one of [1] to [9], wherein the component (E) is silica.
[11] The resin composition according to any one of [1] to [10], further comprising (F) a curing accelerator.
[12] The resin composition according to [11], wherein the component (F) is 4-dimethylaminopyridine or 1-benzyl-2-phenylimidazole.
[13] Any of [1] to [12], wherein the resin composition is cured to form an insulating layer, and an arithmetic average roughness (Ra) after the surface of the insulating layer is roughened is 140 nm or less. A resin composition according to any one of the above.
[14] The resin composition according to any one of [1] to [13], wherein the cured product of the resin composition has an elongation at break of 2% or more.
[15] The resin composition according to any one of [1] to [14], wherein the cured product of the resin composition has a glass transition temperature (Tg) of 165 ° C or higher.
[16] An adhesive film comprising a support and a layer of the resin composition according to any one of [1] to [15] bonded to the support.
[17] A printed wiring board including an insulating layer formed of a cured product of the resin composition according to any one of [1] to [15].
[18] A semiconductor device including the printed wiring board according to [17].

本発明によれば、プリント配線板の製造に際して、誘電正接、熱膨張率、破断点伸度、表面粗度及びピール強度のいずれの特性にも優れる絶縁層をもたらすことのできる樹脂組成物を提供することができる。   According to the present invention, there is provided a resin composition capable of providing an insulating layer having excellent properties in any of dielectric loss tangent, coefficient of thermal expansion, elongation at break, surface roughness, and peel strength when manufacturing a printed wiring board. can do.

以下、本発明をその好適な実施形態に即して詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to preferred embodiments.

[樹脂組成物]
本発明の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)活性エステル化合物、(C)カルボジイミド化合物、(D)熱可塑性樹脂及び(E)無機充填材を含み、(E)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、40質量%以上であることを特徴とする。
[Resin composition]
The resin composition of the present invention contains (A) an epoxy resin, (B) an active ester compound, (C) a carbodiimide compound, (D) a thermoplastic resin, and (E) an inorganic filler, and contains (E) a component. Is 40% by mass or more when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass.

(A)エポキシ樹脂、(B)活性エステル化合物及び(C)カルボジイミド化合物を含有する樹脂組成物に、(E)無機充填材を高い含有量にて配合すると、得られる樹脂組成物は、低誘電正接、低熱膨張率を示す絶縁層をもたらす一方において、破断点伸度、表面粗度、ピール強度等の特性に劣る絶縁層に帰着する場合のあることを本発明者らは見出した。本発明の樹脂組成物は、さらに(D)熱可塑性樹脂を含有することにより、低誘電正接、低熱膨張率はそのままに、破断点伸度、表面粗度及びピール強度にも優れる絶縁層をもたらすことを可能とするものである。この点、(B)活性エステル化合物を含まない樹脂組成物に(D)熱可塑性樹脂を添加しても、所期の破断点伸度、表面粗度及びピール強度は達成されない。また、(C)カルボジイミド化合物を含まない樹脂組成物に(D)熱可塑性樹脂を添加しても、所期の破断点伸度、表面粗度及びピール強度は達成されない。(E)無機充填材含有量の低い樹脂組成物に(D)熱可塑性樹脂を添加すると、そもそも所期の誘電正接、熱膨張率が達成されない。これらは、後に示す比較例の結果から明確に把握される。このように、本発明の樹脂組成物が奏する効果は、(A)エポキシ樹脂に加えて、(B)活性エステル化合物、(C)カルボジイミド化合物、(D)熱可塑性樹脂、及び一定量以上の(E)無機充填材を組み合わせて使用することにより特異的かつ相乗的にもたらされる効果である。   When a high content of (E) an inorganic filler is added to a resin composition containing (A) an epoxy resin, (B) an active ester compound and (C) a carbodiimide compound, the resulting resin composition has a low dielectric constant. The present inventors have found that while providing an insulating layer having a tangent and a low coefficient of thermal expansion, the insulating layer may be inferior in properties such as elongation at break, surface roughness, and peel strength. The resin composition of the present invention further comprises (D) a thermoplastic resin, thereby providing an insulating layer having excellent elongation at break, surface roughness and peel strength while maintaining a low dielectric loss tangent and a low coefficient of thermal expansion. It is possible to do that. In this regard, even if the thermoplastic resin (D) is added to the resin composition (B) containing no active ester compound, the desired elongation at break, surface roughness and peel strength are not achieved. Further, even if the thermoplastic resin (D) is added to the resin composition (C) containing no carbodiimide compound, the desired elongation at break, surface roughness and peel strength are not achieved. When the thermoplastic resin (D) is added to the resin composition (E) having a low inorganic filler content, the desired dielectric loss tangent and thermal expansion coefficient are not achieved in the first place. These are clearly understood from the results of the comparative examples described later. As described above, the effect of the resin composition of the present invention is such that, in addition to (A) the epoxy resin, (B) an active ester compound, (C) a carbodiimide compound, (D) a thermoplastic resin, and a certain amount or more of ( E) It is an effect brought specifically and synergistically by using an inorganic filler in combination.

以下、本発明の樹脂組成物に含まれる各成分について記載する。   Hereinafter, each component contained in the resin composition of the present invention will be described.

<(A)エポキシ樹脂>
本発明の樹脂組成物は、(A)成分として、エポキシ樹脂を含む。
<(A) Epoxy resin>
The resin composition of the present invention contains an epoxy resin as the component (A).

エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、tert−ブチル−カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   As the epoxy resin, for example, bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, bisphenol S epoxy resin, bisphenol AF epoxy resin, dicyclopentadiene epoxy resin, trisphenol epoxy resin, naphthol novolak epoxy resin, Phenol novolak type epoxy resin, alicyclic epoxy resin having ester skeleton, tert-butyl-catechol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin Resin, cresol novolak type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, epoxy resin having butadiene structure, alicyclic epoxy Alicyclic, heterocyclic epoxy resins, spiro ring-containing epoxy resins, cyclohexanedimethanol type epoxy resins, naphthylene ether type epoxy resin, trimethylol type epoxy resin, tetraphenyl ethane epoxy resin and the like. One epoxy resin may be used alone, or two or more epoxy resins may be used in combination.

エポキシ樹脂は、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。エポキシ樹脂の不揮発成分を100質量%とした場合に、少なくとも50質量%以上は1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂であるのが好ましい。中でも、1分子中に2個以上のエポキシ基を有し、温度20℃で液状のエポキシ樹脂(以下「液状エポキシ樹脂」という。)と、1分子中に3個以上のエポキシ基を有し、温度20℃で固体状のエポキシ樹脂(以下「固体状エポキシ樹脂」という。)とを含むことが好ましい。エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを併用することで、優れた可撓性を有する樹脂組成物が得られる。また、樹脂組成物の硬化物の破断強度も向上する。   The epoxy resin preferably contains an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. When the nonvolatile component of the epoxy resin is 100% by mass, at least 50% by mass or more is preferably an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. Among them, an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule and being liquid at a temperature of 20 ° C. (hereinafter, referred to as “liquid epoxy resin”), and having three or more epoxy groups in one molecule, It is preferable to include a solid epoxy resin at a temperature of 20 ° C. (hereinafter referred to as “solid epoxy resin”). By using a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin together as an epoxy resin, a resin composition having excellent flexibility can be obtained. Further, the breaking strength of the cured product of the resin composition is also improved.

液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、及びブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、及びナフタレン型エポキシ樹脂がより好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、及びビスフェノールAF型エポキシ樹脂がさらに好ましく、硬化物の物性バランスに優れるという観点から、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂が特に好ましい。液状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC(株)製の「HP4032」、「HP4032H」、「HP4032D」、「HP4032SS」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「828US」、「jER828EL」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、「jER807」(ビスフェノールF型エポキシ樹脂)、「jER152」(フェノールノボラック型エポキシ樹脂)、「YL7760」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂)、新日鉄住金化学(株)製の「ZX1059」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品)、ナガセケムテックス(株)製の「EX−721」(グリシジルエステル型エポキシ樹脂)、(株)ダイセル製の「セロキサイド2021P」(エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂)、「PB−3600」(ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂)が挙げられる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Examples of the liquid epoxy resin include bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, bisphenol AF epoxy resin, naphthalene epoxy resin, glycidyl ester epoxy resin, phenol novolak epoxy resin, and alicyclic epoxy resin having an ester skeleton. And an epoxy resin having a butadiene structure are preferred, and bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, bisphenol AF epoxy resin, alicyclic epoxy resin having an ester skeleton, and naphthalene epoxy resin are more preferred, and bisphenol A Epoxy resin and bisphenol AF epoxy resin are more preferred, and bisphenol AF epoxy resin is particularly preferred from the viewpoint of excellent balance of physical properties of the cured product. . Specific examples of the liquid epoxy resin include “HP4032”, “HP4032H”, “HP4032D”, and “HP4032SS” (naphthalene type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation, “828US” and “jER828EL” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. (Bisphenol A type epoxy resin), "jER807" (bisphenol F type epoxy resin), "jER152" (phenol novolak type epoxy resin), "YL7760" (bisphenol AF type epoxy resin), manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. “ZX1059” (mixture of bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin), “EX-721” (glycidyl ester type epoxy resin) manufactured by Nagase ChemteX Corporation, “Celoxide 2021P” manufactured by Daicel Corporation ] (Ester skeleton Alicyclic epoxy resin) having, "PB-3600" (epoxy resin having a butadiene structure) and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

固体状エポキシ樹脂としては、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂が好ましく、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、及びビフェニル型エポキシ樹脂がより好ましい。固体状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC(株)製の「HP−4700」、「HP−4710」(ナフタレン型4官能エポキシ樹脂)、「N−690」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「N−695」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「HP−7200」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂)、「EXA7311」、「EXA7311−G3」、「EXA7311−G4」、「EXA7311−G4S」、「HP6000」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂)、日本化薬(株)製の「EPPN−502H」(トリスフェノール型エポキシ樹脂)、「NC7000L」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、「NC3000H」、「NC3000」、「NC3000L」、「NC3100」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、新日鉄住金化学(株)製の「ESN475V」(ナフトール型エポキシ樹脂)、「ESN485」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「YX4000H」、「YL6121」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、「YX4000HK」(ビキシレノール型エポキシ樹脂(ビフェニル型エポキシ樹脂))、「YX8800」(アントラセン型エポキシ樹脂)、大阪ガスケミカル(株)製の「PG−100」、「CG−500」、三菱化学(株)製の「YL7800」(フルオレン型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「jER1010」(固体状ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、「jER1031S」(テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。   Examples of the solid epoxy resin include a naphthalene type tetrafunctional epoxy resin, a cresol novolak type epoxy resin, a dicyclopentadiene type epoxy resin, a trisphenol type epoxy resin, a naphthol type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, a naphthylene ether type epoxy resin, Anthracene type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, and tetraphenylethane type epoxy resin are preferred, and naphthalene type tetrafunctional epoxy resin, naphthol type epoxy resin, and biphenyl type epoxy resin are more preferred. Specific examples of the solid epoxy resin include “HP-4700”, “HP-4710” (naphthalene-type tetrafunctional epoxy resin), “N-690” (cresol novolac-type epoxy resin), and “HP-4700” manufactured by DIC Corporation. N-695 "(cresol novolak type epoxy resin)," HP-7200 "(dicyclopentadiene type epoxy resin)," EXA7311 "," EXA7311-G3 "," EXA7311-G4 "," EXA7311-G4S "," HP6000 " (Naphthylene ether type epoxy resin), Nippon Kayaku Co., Ltd. "EPPN-502H" (trisphenol type epoxy resin), "NC7000L" (naphthol novolak type epoxy resin), "NC3000H", "NC3000", “NC3000L”, “NC3100” (biphenyl "ESN475V" (naphthol type epoxy resin) and "ESN485" (naphthol novolak type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation, "YX4000H" and "YL6121" (biphenyl type) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. Epoxy resin), "YX4000HK" (bixylenol type epoxy resin (biphenyl type epoxy resin)), "YX8800" (anthracene type epoxy resin), "PG-100" and "CG-500" manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd. "YL7800" (fluorene type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, "jER1010" (solid bisphenol A type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, "jER1031S" (tetraphenylethane type epoxy resin), etc. Is mentioned.

エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを併用する場合、それらの量比(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂)は、質量比で、1:0.1〜1:8の範囲が好ましい。液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂との量比を斯かる範囲とすることにより、i)接着フィルムの形態で使用する場合に適度な粘着性がもたらされる、ii)接着フィルムの形態で使用する場合に十分な可撓性が得られ、取り扱い性が向上する、並びにiii)十分な破断強度を有する硬化物を得ることができるなどの効果が得られる。上記i)〜iii)の効果の観点から、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂の量比(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂)は、質量比で、1:0.3〜1:7の範囲がより好ましく、1:0.6〜1:6の範囲がさらに好ましい。   When a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin are used in combination as the epoxy resin, their ratio (liquid epoxy resin: solid epoxy resin) is preferably in the range of 1: 0.1 to 1: 8 by mass. preferable. By setting the ratio of the liquid epoxy resin to the solid epoxy resin in such a range, i) moderate adhesiveness is obtained when used in the form of an adhesive film, and ii) when used in the form of an adhesive film. And iii) a cured product having a sufficient breaking strength can be obtained. From the viewpoint of the above effects i) to iii), the mass ratio of the liquid epoxy resin to the solid epoxy resin (liquid epoxy resin: solid epoxy resin) is in the range of 1: 0.3 to 1: 7 by mass ratio. Is more preferable, and the range of 1: 0.6 to 1: 6 is still more preferable.

樹脂組成物中のエポキシ樹脂の含有量は、良好な機械強度、絶縁信頼性を示す絶縁層を得る観点から、好ましくは3質量%〜40質量%、より好ましくは5質量%〜35質量%、さらに好ましくは10質量%〜35質量%又は10質量%〜30質量%である。
なお、本発明において、樹脂組成物中の各成分の含有量は、別途明示のない限り、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたときの値である。
The content of the epoxy resin in the resin composition is preferably 3% by mass to 40% by mass, more preferably 5% by mass to 35% by mass, from the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting good mechanical strength and insulation reliability. More preferably, it is 10% by mass to 35% by mass or 10% by mass to 30% by mass.
In the present invention, the content of each component in the resin composition is a value when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, unless otherwise specified.

エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは50〜5000、より好ましくは50〜3000、さらに好ましくは80〜2000、さらにより好ましくは110〜1000である。この範囲となることで、硬化物の架橋密度が十分となり表面粗さの小さい絶縁層をもたらすことができる。なお、エポキシ当量は、JIS K7236に従って測定することができ、1当量のエポキシ基を含む樹脂の質量である。
エポキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは100〜5000、より好ましくは250〜3000、さらに好ましくは400〜1500である。ここで、エポキシ樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。
The epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably from 50 to 5,000, more preferably from 50 to 3,000, further preferably from 80 to 2,000, and still more preferably from 110 to 1,000. When the content falls within this range, the crosslinked density of the cured product becomes sufficient and an insulating layer having a small surface roughness can be obtained. The epoxy equivalent can be measured according to JIS K7236 and is the mass of a resin containing one equivalent of an epoxy group.
The weight average molecular weight of the epoxy resin is preferably from 100 to 5000, more preferably from 250 to 3000, and still more preferably from 400 to 1500. Here, the weight average molecular weight of the epoxy resin is a weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by a gel permeation chromatography (GPC) method.

<(B)活性エステル化合物>
本発明の樹脂組成物は、(B)成分として、活性エステル化合物を含む。
<(B) Active ester compound>
The resin composition of the present invention contains an active ester compound as the component (B).

活性エステル化合物は、1分子中に活性エステル基を1個以上有する化合物であり、後述する(C)カルボジイミド化合物、(D)熱可塑性樹脂、及び一定量以上の(E)無機充填材と組み合わせて使用することにより、誘電正接、熱膨張率、破断点伸度、表面粗度及びピール強度のいずれの特性にも優れる絶縁層をもたらすことができる。   The active ester compound is a compound having one or more active ester groups in one molecule, and is used in combination with (C) a carbodiimide compound described below, (D) a thermoplastic resin, and a certain amount or more of (E) an inorganic filler. By using this, it is possible to provide an insulating layer that is excellent in any of the properties of dielectric loss tangent, coefficient of thermal expansion, elongation at break, surface roughness, and peel strength.

活性エステル化合物としては、1分子中に活性エステル基を2個以上有する化合物が好ましく、例えば、フェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N−ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物が好ましく用いられる。活性エステル化合物は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   As the active ester compound, a compound having two or more active ester groups in one molecule is preferable. For example, a reaction of a phenol ester, a thiophenol ester, an N-hydroxyamine ester, an ester of a heterocyclic hydroxy compound, or the like. A compound having two or more highly active ester groups in one molecule is preferably used. The active ester compound may be used alone or in combination of two or more.

耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物と、ヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得られる活性エステル化合物が好ましい。中でも、カルボン酸化合物と、フェノール化合物、ナフトール化合物及びチオール化合物から選択される1種以上とを反応させて得られる活性エステル化合物がより好ましく、カルボン酸化合物と、フェノール性水酸基を有する芳香族化合物とを反応させて得られる、1分子中に2個以上の活性エステル基を有する芳香族化合物がさらに好ましく、少なくとも2個以上のカルボキシ基を1分子中に有するカルボン酸化合物と、フェノール性水酸基を有する芳香族化合物とを反応させて得られる芳香族化合物であって、1分子中に2個以上の活性エステル基を有する芳香族化合物がさらにより好ましい。活性エステル化合物は、直鎖状であってよく、分岐状であってもよい。また、少なくとも2個以上のカルボキシ基を1分子中に有するカルボン酸化合物が脂肪族鎖を含む化合物であれば樹脂組成物との相溶性を高くすることができ、芳香環を有する化合物であれば耐熱性を高くすることができる。   From the viewpoint of improving heat resistance, an active ester compound obtained by a condensation reaction of a carboxylic acid compound and / or a thiocarboxylic acid compound with a hydroxy compound and / or a thiol compound is preferable. Among them, an active ester compound obtained by reacting a carboxylic acid compound with one or more selected from a phenol compound, a naphthol compound and a thiol compound is more preferable, and a carboxylic acid compound and an aromatic compound having a phenolic hydroxyl group are preferred. Is more preferably an aromatic compound having two or more active ester groups in one molecule, and a carboxylic acid compound having at least two or more carboxy groups in one molecule, and a phenolic hydroxyl group. An aromatic compound obtained by reacting an aromatic compound with an aromatic compound, and more preferably an aromatic compound having two or more active ester groups in one molecule. The active ester compound may be linear or branched. Further, if the carboxylic acid compound having at least two or more carboxy groups in one molecule is a compound containing an aliphatic chain, compatibility with the resin composition can be increased, and if the compound has an aromatic ring, Heat resistance can be increased.

カルボン酸化合物としては、例えば、炭素原子数1〜20(好ましくは2〜10、より好ましくは2〜8)の脂肪族カルボン酸、炭素原子数7〜20(好ましくは7〜10)の芳香族カルボン酸が挙げられる。脂肪族カルボン酸としては、例えば、酢酸、マロン酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸等が挙げられる。芳香族カルボン酸としては、例えば、安息香酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。中でも、耐熱性の観点から、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸が好ましく、イソフタル酸、テレフタル酸がより好ましい。   Examples of the carboxylic acid compound include an aliphatic carboxylic acid having 1 to 20 (preferably 2 to 10, more preferably 2 to 8) carbon atoms and an aromatic carboxylic acid having 7 to 20 (preferably 7 to 10) carbon atoms. Carboxylic acids. Examples of the aliphatic carboxylic acid include acetic acid, malonic acid, succinic acid, maleic acid, and itaconic acid. Examples of the aromatic carboxylic acid include benzoic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid. Above all, from the viewpoint of heat resistance, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, and terephthalic acid are preferable, and isophthalic acid and terephthalic acid are more preferable.

チオカルボン酸化合物としては、特に制限はないが、例えば、チオ酢酸、チオ安息香酸等が挙げられる。   The thiocarboxylic acid compound is not particularly limited, and examples thereof include thioacetic acid and thiobenzoic acid.

フェノール化合物としては、例えば、炭素原子数6〜40(好ましくは6〜30、より好ましくは6〜23、さらに好ましくは6〜22)のフェノール化合物が挙げられ、好適な具体例としては、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、カテコール、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエン型ジフェノール等が挙げられる。フェノール化合物としてはまた、フェノールノボラック、特開2013−40270号公報記載のフェノール性水酸基を有するリン原子含有オリゴマーを使用してもよい。   Examples of the phenol compound include a phenol compound having 6 to 40 (preferably 6 to 30, more preferably 6 to 23, and still more preferably 6 to 22) carbon atoms. Preferred specific examples thereof include hydroquinone, Resorcinol, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthalin, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, catechol, dihydroxybenzophenone, tri Examples thereof include hydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, benzenetriol, and dicyclopentadiene-type diphenol. As the phenol compound, a phenol novolak or a phosphorus atom-containing oligomer having a phenolic hydroxyl group described in JP-A-2013-40270 may be used.

ナフトール化合物としては、例えば、炭素原子数10〜40(好ましくは10〜30、より好ましくは10〜20)のナフトール化合物が挙げられ、好適な具体例としては、α−ナフトール、β−ナフトール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン等が挙げられる。ナフトール化合物としてはまた、ナフトールノボラックを使用してもよい。   The naphthol compound includes, for example, a naphthol compound having 10 to 40 (preferably 10 to 30, more preferably 10 to 20) carbon atoms, and preferable specific examples thereof include α-naphthol, β-naphthol, , 5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene and the like. As the naphthol compound, naphthol novolak may be used.

中でも、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、カテコール、α−ナフトール、β−ナフトール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエン型ジフェノール、フェノールノボラック、フェノール性水酸基を有するリン原子含有オリゴマーが好ましく、カテコール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエン型ジフェノール、フェノールノボラック、フェノール性水酸基を有するリン原子含有オリゴマーがより好ましく、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、ジシクロペンタジエン型ジフェノール、フェノールノボラック、フェノール性水酸基を有するリン原子含有オリゴマーがさらに好ましく、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジシクロペンタジエン型ジフェノール、フェノールノボラック、フェノール性水酸基を有するリン原子含有オリゴマーがさらにより好ましく、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジシクロペンタジエン型ジフェノール、フェノール性水酸基を有するリン原子含有オリゴマーが殊更好ましく、ジシクロペンタジエン型ジフェノールが特に好ましい。   Among them, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, benzenetriol, dicyclopentadiene-type diphenol, phenol novolak, phosphorus-containing oligomers having a phenolic hydroxyl group are preferred, and catechol, 1,5 -Dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydride Roxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, benzenetriol, dicyclopentadiene-type diphenol, phenol novolak, and a phosphorus atom-containing oligomer having a phenolic hydroxyl group are more preferable, and 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, , 6-Dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, dicyclopentadiene-type diphenol, phenol novolak, and a phosphorus atom-containing oligomer having a phenolic hydroxyl group are more preferable, and 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6 -Dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dicyclopentadiene-type diphenol, phenol Rac, a phosphorus atom-containing oligomer having a phenolic hydroxyl group is even more preferable, and 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dicyclopentadiene-type diphenol, and phosphorus having a phenolic hydroxyl group Atom-containing oligomers are particularly preferred, and dicyclopentadiene-type diphenols are particularly preferred.

チオール化合物としては、特に制限はないが、例えば、ベンゼンジチオール、トリアジンジチオール等が挙げられる。   The thiol compound is not particularly restricted but includes, for example, benzenedithiol, triazinedithiol and the like.

活性エステル化合物の好適な具体例としては、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物、芳香族カルボン酸とフェノール性水酸基を有するリン原子含有オリゴマーとを反応させて得られる活性エステル化合物が挙げられ、中でもジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物、芳香族カルボン酸とフェノール性水酸基を有するリン原子含有オリゴマーとを反応させて得られる活性エステル化合物がより好ましい。なお本発明において、「ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造」とは、フェニレン−ジシクロペンチレン−フェニレンからなる2価の構造単位を表す。   Preferred specific examples of the active ester compound include an active ester compound containing a dicyclopentadiene-type diphenol structure, an active ester compound containing a naphthalene structure, an active ester compound containing an acetylated product of phenol novolak, and a benzoylated product of phenol novolak. Active ester compounds, active ester compounds obtained by reacting an aromatic carboxylic acid with a phosphorus atom-containing oligomer having a phenolic hydroxyl group, include active ester compounds containing a dicyclopentadiene-type diphenol structure, and naphthalene structures among others An active ester compound, an active ester compound obtained by reacting an aromatic carboxylic acid with a phosphorus atom-containing oligomer having a phenolic hydroxyl group is more preferable. In the present invention, the “dicyclopentadiene-type diphenol structure” represents a divalent structural unit composed of phenylene-dicyclopentylene-phenylene.

ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物として、より具体的には下記式(1)の化合物が挙げられる。   As the active ester compound having a dicyclopentadiene-type diphenol structure, more specifically, a compound represented by the following formula (1) is exemplified.

Figure 2020033568
(式中、Rはフェニル基又はナフチル基であり、kは0又は1を表し、nは繰り返し単位の平均数で0.05〜2.5である。)
Figure 2020033568
(In the formula, R is a phenyl group or a naphthyl group, k represents 0 or 1, and n is an average number of repeating units of 0.05 to 2.5.)

誘電正接を低下させ、耐熱性を向上させる観点から、Rはナフチル基が好ましく、kは0が好ましく、nは0.25〜1.5が好ましい。   From the viewpoint of reducing the dielectric loss tangent and improving the heat resistance, R is preferably a naphthyl group, k is preferably 0, and n is preferably 0.25 to 1.5.

活性エステル化合物としては、特開2004−277460号公報、特開2013−40270号公報に開示されている活性エステル化合物を用いてもよく、また市販の活性エステル化合物を用いることもできる。市販されている活性エステル化合物としては、例えば、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物として、EXB9451、EXB9460、EXB9460S、HPC−8000−65T(DIC(株)製)、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物としてEXB9416−70BK(DIC(株)製)、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物としてDC808(三菱化学(株)製)、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物としてYLH1026(三菱化学(株)製)、リン原子含有活性エステル化合物としてEXB9050L−62M(DIC(株))が挙げられる。   As the active ester compound, an active ester compound disclosed in JP-A-2004-277460 or JP-A-2013-40270 may be used, or a commercially available active ester compound may be used. Examples of commercially available active ester compounds include, for example, active ester compounds having a dicyclopentadiene-type diphenol structure, such as EXB9451, EXB9460, EXB9460S, HPC-8000-65T (manufactured by DIC Corporation), and an activity having a naphthalene structure. EXB9416-70BK (manufactured by DIC) as an ester compound, DC808 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as an active ester compound containing an acetylated phenol novolak, and YLH1026 (manufactured by Mitsubishi Chemical) as an active ester compound containing a benzoylated phenol novolak EXB9050L-62M (DIC Corporation) as a phosphorus atom-containing active ester compound.

後述する(C)カルボジイミド化合物、(D)熱可塑性樹脂、及び一定量以上の(E)無機充填材との組み合わせにおいて、誘電正接、熱膨張率、破断点伸度、表面粗度及びピール強度のいずれの特性にも優れる絶縁層を得る観点、特に表面粗度が低く、高いピール強度を示す絶縁層を得る観点から、樹脂組成物中の活性エステル化合物の含有量は、1質量%以上が好ましく、3質量%以上がより好ましく、5質量%以上がさらに好ましい。活性エステル化合物の含有量の上限は特に限定されないが、30質量%以下が好ましく、20質量%以下がより好ましく、15質量%以下がさらに好ましい。   In combination with (C) a carbodiimide compound described below, (D) a thermoplastic resin, and a certain amount or more of (E) an inorganic filler, dielectric loss tangent, coefficient of thermal expansion, elongation at break, surface roughness and peel strength are determined. The content of the active ester compound in the resin composition is preferably 1% by mass or more from the viewpoint of obtaining an insulating layer excellent in any of the properties, particularly, from the viewpoint of obtaining an insulating layer having low surface roughness and high peel strength. 3% by mass or more is more preferable, and 5% by mass or more is further preferable. The upper limit of the content of the active ester compound is not particularly limited, but is preferably 30% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, and even more preferably 15% by mass or less.

また、(A)エポキシ樹脂のエポキシ基数を1とした場合、機械強度の良好な絶縁層を得る観点から、(B)活性エステル化合物の反応基数は、0.2〜2が好ましく、0.3〜1.5がより好ましく、0.35〜1がさらに好ましい。ここで、「エポキシ樹脂のエポキシ基数」とは、樹脂組成物中に存在する各エポキシ樹脂の固形分質量をエポキシ当量で除した値をすべてのエポキシ樹脂について合計した値である。また、「反応基」とはエポキシ基と反応することができる官能基のことを意味し、「活性エステル化合物の反応基数」とは、樹脂組成物中に存在する活性エステル化合物の固形分質量を反応基当量で除した値を全て合計した値である。   Further, when the number of epoxy groups of (A) epoxy resin is 1, from the viewpoint of obtaining an insulating layer having good mechanical strength, the number of reactive groups of (B) active ester compound is preferably from 0.2 to 2, and from 0.3 to 0.3. -1.5 is more preferable, and 0.35-1 is still more preferable. Here, the “number of epoxy groups in the epoxy resin” is a value obtained by dividing the mass of the solid content of each epoxy resin present in the resin composition by the epoxy equivalent and summing the values for all epoxy resins. Further, "reactive group" means a functional group capable of reacting with an epoxy group, and "the number of reactive groups of the active ester compound" means the solid content mass of the active ester compound present in the resin composition. It is the total value of all values divided by the reactive group equivalent.

<(C)カルボジイミド化合物>
本発明の樹脂組成物は、(C)成分として、カルボジイミド化合物を含む。
<(C) Carbodiimide compound>
The resin composition of the present invention contains a carbodiimide compound as the component (C).

カルボジイミド化合物は、1分子中にカルボジイミド基(−N=C=N−)を1個以上有する化合物であり、上記の(B)活性エステル化合物、後述する(D)熱可塑性樹脂、及び一定量以上の(E)無機充填材と組み合わせて使用することにより、誘電正接、熱膨張率、破断点伸度、表面粗度及びピール強度のいずれの特性にも優れる絶縁層をもたらすことができる。カルボジイミド化合物としては、1分子中にカルボジイミド基を2個以上有する化合物が好ましい。カルボジイミド化合物は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   The carbodiimide compound is a compound having one or more carbodiimide groups (-N = C = N-) in one molecule, and includes the above-mentioned (B) active ester compound, (D) a thermoplastic resin described later, and a certain amount or more. When used in combination with the inorganic filler (E), an insulating layer having excellent properties such as dielectric loss tangent, coefficient of thermal expansion, elongation at break, surface roughness and peel strength can be obtained. As the carbodiimide compound, a compound having two or more carbodiimide groups in one molecule is preferable. The carbodiimide compounds may be used alone or in a combination of two or more.

一実施形態において、本発明の樹脂組成物に含まれるカルボジイミド化合物は、下記式(2)で表される構造単位を含有する。   In one embodiment, the carbodiimide compound contained in the resin composition of the present invention contains a structural unit represented by the following formula (2).

Figure 2020033568
(式中、Xは、アルキレン基、シクロアルキレン基又はアリーレン基を表し、これらは置換基を有していてもよい。pは1〜5の整数を表す。Xが複数存在する場合、それらは同一でも相異なってもよい。*は結合手を表す。)
Figure 2020033568
(In the formula, X represents an alkylene group, a cycloalkylene group or an arylene group, which may have a substituent. P represents an integer of 1 to 5. When a plurality of Xs are present, they are They may be the same or different. * Represents a bond.)

Xで表されるアルキレン基の炭素原子数は、好ましくは1〜20、より好ましくは1〜10、さらに好ましくは1〜6、1〜4、又は1〜3である。該炭素原子数に置換基の炭素原子数は含まれない。該アルキレン基の好適な例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基が挙げられる。   The number of carbon atoms of the alkylene group represented by X is preferably 1 to 20, more preferably 1 to 10, and still more preferably 1 to 6, 1 to 4, or 1 to 3. The number of carbon atoms does not include the number of carbon atoms of the substituent. Preferable examples of the alkylene group include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, and a butylene group.

Xで表されるシクロアルキレン基の炭素原子数は、好ましくは3〜20、より好ましくは3〜12、さらに好ましくは3〜6である。該炭素原子数に置換基の炭素原子数は含まれない。該シクロアルキレン基の好適な例としては、シクロプロピレン基、シクロブチレン基、シクロペンチレン基、シクロヘキシレン基が挙げられる。   The number of carbon atoms of the cycloalkylene group represented by X is preferably 3 to 20, more preferably 3 to 12, and still more preferably 3 to 6. The number of carbon atoms does not include the number of carbon atoms of the substituent. Preferable examples of the cycloalkylene group include a cyclopropylene group, a cyclobutylene group, a cyclopentylene group, and a cyclohexylene group.

Xで表されるアリーレン基は、芳香族炭化水素から芳香環上の水素原子を2個除いた基である。該アリーレン基の炭素原子数は、好ましくは6〜24、より好ましくは6〜18、さらに好ましくは6〜14、さらにより好ましくは6〜10である。該炭素原子数に置換基の炭素原子数は含まれない。該アリーレン基の好適な例としては、フェニレン基、ナフチレン基、アントラセニレン基が挙げられる。   The arylene group represented by X is a group obtained by removing two hydrogen atoms on an aromatic ring from an aromatic hydrocarbon. The number of carbon atoms of the arylene group is preferably 6 to 24, more preferably 6 to 18, further preferably 6 to 14, and still more preferably 6 to 10. The number of carbon atoms does not include the number of carbon atoms of the substituent. Preferable examples of the arylene group include a phenylene group, a naphthylene group and an anthracenylene group.

(B)活性エステル化合物、(D)熱可塑性樹脂、及び一定量以上の(E)無機充填材との組み合わせにおいて、誘電正接、熱膨張率、破断点伸度、表面粗度及びピール強度に一層優れる絶縁層を実現する観点から、Xは、アルキレン基又はシクロアルキレン基であることが好ましく、これらは置換基を有していてもよい。   In combination with (B) an active ester compound, (D) a thermoplastic resin and a certain amount or more of (E) an inorganic filler, dielectric tangent, coefficient of thermal expansion, elongation at break, surface roughness and peel strength are further improved. From the viewpoint of realizing an excellent insulating layer, X is preferably an alkylene group or a cycloalkylene group, and these may have a substituent.

Xで表されるアルキレン基、シクロアルキレン基又はアリール基は置換基を有していてもよい。該置換基としては、特に限定されないが、例えば、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルキルオキシ基、アリール基、アリールオキシ基、アシル基及びアシルオキシ基が挙げられる。置換基として用いられるハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。置換基として用いられるアルキル基、アルコキシ基は、直鎖状、分岐状のいずれであってもよく、その炭素原子数は、好ましくは1〜20、より好ましくは1〜10、さらに好ましくは1〜6、1〜4、又は1〜3である。置換基として用いられるシクロアルキル基、シクロアルキルオキシ基の炭素原子数は、好ましくは3〜20、より好ましくは3〜12、さらに好ましくは3〜6である。置換基として用いられるアリール基は、芳香族炭化水素から芳香環上の水素原子を1個除いた基であり、その炭素原子数は、好ましくは6〜24、より好ましくは6〜18、さらに好ましくは6〜14、さらにより好ましくは6〜10である。置換基として用いられるアリールオキシ基の炭素原子数は、好ましくは6〜24、より好ましくは6〜18、さらに好ましくは6〜14、さらにより好ましくは6〜10である。置換基として用いられるアシル基は、式:−C(=O)−Rで表される基(式中、Rはアルキル基又はアリール基を表す。)をいう。Rで表されるアルキル基は、直鎖状、分岐状のいずれであってもよく、その炭素原子数は、好ましくは1〜20、より好ましくは1〜10、さらに好ましくは1〜6、1〜4、又は1〜3である。Rで表されるアリール基の炭素原子数は、好ましくは6〜24、より好ましくは6〜18、さらに好ましくは6〜14、さらにより好ましくは6〜10である。置換基として用いられるアシルオキシ基は、式:−O−C(=O)−Rで表される基(式中、Rは上記と同じ意味を表す。)をいう。中でも、置換基としては、アルキル基、アルコキシ基、及びアシルオキシ基が好ましく、アルキル基がより好ましい。 The alkylene group, cycloalkylene group or aryl group represented by X may have a substituent. Examples of the substituent include, but are not particularly limited to, a halogen atom, an alkyl group, an alkoxy group, a cycloalkyl group, a cycloalkyloxy group, an aryl group, an aryloxy group, an acyl group, and an acyloxy group. Examples of the halogen atom used as a substituent include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom. The alkyl group and the alkoxy group used as the substituent may be linear or branched, and the number of carbon atoms is preferably 1 to 20, more preferably 1 to 10, and still more preferably 1 to 10. 6, 1-4, or 1-3. The number of carbon atoms of the cycloalkyl group and the cycloalkyloxy group used as the substituent is preferably 3 to 20, more preferably 3 to 12, and still more preferably 3 to 6. The aryl group used as a substituent is a group obtained by removing one hydrogen atom on an aromatic ring from an aromatic hydrocarbon, and the number of carbon atoms is preferably 6 to 24, more preferably 6 to 18, and still more preferably. Is 6 to 14, and even more preferably 6 to 10. The number of carbon atoms of the aryloxy group used as a substituent is preferably 6 to 24, more preferably 6 to 18, further preferably 6 to 14, and still more preferably 6 to 10. The acyl group used as a substituent refers to a group represented by the formula: —C (= O) —R 1 (wherein, R 1 represents an alkyl group or an aryl group). The alkyl group represented by R 1 may be linear or branched, and preferably has 1 to 20, more preferably 1 to 10, more preferably 1 to 6, carbon atoms. 1-4, or 1-3. The aryl group represented by R 1 preferably has 6 to 24 carbon atoms, more preferably 6 to 18, more preferably 6 to 14, and still more preferably 6 to 10. Acyloxy group used as a substituent of the formula: (wherein, R 1 represents the same meaning as above.) -O-C (= O ) group represented by -R 1 refers. Among them, as the substituent, an alkyl group, an alkoxy group, and an acyloxy group are preferable, and an alkyl group is more preferable.

式(2)中、pは1〜5の整数を表す。(B)活性エステル化合物、(D)熱可塑性樹脂、及び一定量以上の(E)無機充填材との組み合わせにおいて、誘電正接、熱膨張率、破断点伸度、表面粗度及びピール強度に一層優れる絶縁層を実現する観点から、pは、好ましくは1〜4、より好ましくは2〜4、さらに好ましくは2又は3である。   In the formula (2), p represents an integer of 1 to 5. In combination with (B) an active ester compound, (D) a thermoplastic resin and a certain amount or more of (E) an inorganic filler, dielectric tangent, coefficient of thermal expansion, elongation at break, surface roughness and peel strength are further improved. From the viewpoint of realizing an excellent insulating layer, p is preferably 1 to 4, more preferably 2 to 4, and further preferably 2 or 3.

式(2)中、Xが複数存在する場合、それらは同一でも相異なっていてもよい。好適な一実施形態において、少なくとも1つのXは、アルキレン基又はシクロアルキレン基であり、これらは置換基を有していてもよい。   In the formula (2), when a plurality of Xs are present, they may be the same or different. In a preferred embodiment, at least one X is an alkylene group or a cycloalkylene group, which may have a substituent.

好適な一実施形態において、カルボジイミド化合物は、カルボジイミド化合物の分子全体の質量を100質量%としたとき、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、さらに好ましくは70質量%以上、さらにより好ましくは80質量%以上又は90質量%以上にて、式(2)で表される構造単位を含有する。カルボジイミド化合物は、末端構造を除いて、式(2)で表される構造単位から実質的になってもよい。カルボジイミド化合物の末端構造としては、特に限定されないが、例えば、アルキル基、シクロアルキル基及びアリール基が挙げられ、これらは置換基を有していてもよい。末端構造として用いられるアルキル基、シクロアルキル基、アリール基は、Xで表される基が有していてもよい置換基について説明したアルキル基、シクロアルキル基、アリール基と同じであってよい。また、末端構造として用いられる基が有していてもよい置換基は、Xで表される基が有していてもよい置換基と同じであってよい。   In a preferred embodiment, the carbodiimide compound is preferably 50% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, further preferably 70% by mass or more, when the mass of the entire molecule of the carbodiimide compound is 100% by mass. More preferably, at least 80% by mass or at least 90% by mass contains the structural unit represented by the formula (2). The carbodiimide compound may consist essentially of the structural unit represented by the formula (2) except for the terminal structure. Although the terminal structure of the carbodiimide compound is not particularly limited, examples thereof include an alkyl group, a cycloalkyl group, and an aryl group, and these may have a substituent. The alkyl group, cycloalkyl group and aryl group used as the terminal structure may be the same as the alkyl group, cycloalkyl group and aryl group described for the substituent which the group represented by X may have. Further, the substituent that the group used as the terminal structure may have may be the same as the substituent that the group represented by X may have.

樹脂組成物を硬化する際のアウトガスの発生を抑制し得る観点から、カルボジイミド化合物の重量平均分子量は、好ましくは500以上、より好ましくは600以上、さらに好ましくは700以上、さらにより好ましくは800以上、特に好ましくは900以上又は1000以上である。また、良好な相溶性を得る観点から、カルボジイミド化合物の重量平均分子量の上限は、好ましくは5000以下、より好ましくは4500以下、さらに好ましくは4000以下、さらにより好ましくは3500以下、特に好ましくは3000以下である。カルボジイミド化合物の重量平均分子量は、例えば、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法(ポリスチレンン換算)で測定することができる。   From the viewpoint of suppressing the generation of outgas when the resin composition is cured, the weight average molecular weight of the carbodiimide compound is preferably 500 or more, more preferably 600 or more, still more preferably 700 or more, and still more preferably 800 or more. Particularly preferably, it is 900 or more or 1000 or more. In addition, from the viewpoint of obtaining good compatibility, the upper limit of the weight average molecular weight of the carbodiimide compound is preferably 5000 or less, more preferably 4500 or less, still more preferably 4000 or less, still more preferably 3500 or less, and particularly preferably 3000 or less. It is. The weight average molecular weight of the carbodiimide compound can be measured, for example, by gel permeation chromatography (GPC) method (in terms of polystyrene).

なお、カルボジイミド化合物は、その製法に由来して、分子中にイソシアネート基(−N=C=O)を含有する場合がある。良好な保存安定性を示す樹脂組成物を得る観点、ひいては所期の特性を示す絶縁層を実現する観点から、カルボジイミド化合物中のイソシアネート基の含有量(「NCO含有量」ともいう。)は、好ましくは5質量%以下、より好ましくは4質量%以下、さらに好ましくは3質量%以下、さらにより好ましくは2質量%以下、特に好ましくは1質量%以下又は0.5質量%以下である。   In some cases, the carbodiimide compound contains an isocyanate group (-N = C = O) in the molecule due to its production method. From the viewpoint of obtaining a resin composition exhibiting good storage stability and eventually realizing an insulating layer exhibiting desired characteristics, the content of isocyanate groups in the carbodiimide compound (also referred to as “NCO content”) is as follows. It is preferably at most 5 mass%, more preferably at most 4 mass%, further preferably at most 3 mass%, still more preferably at most 2 mass%, particularly preferably at most 1 mass% or at most 0.5 mass%.

カルボジイミド化合物は、市販品を使用してもよい。市販のカルボジイミド化合物としては、例えば、日清紡ケミカル(株)製のカルボジライト(登録商標)V−02B、V−03、V−04K、V−07及びV−09、ラインケミー社製のスタバクゾール(登録商標)P、P400、及びハイカジル510が挙げられる。   As the carbodiimide compound, a commercially available product may be used. Commercially available carbodiimide compounds include, for example, Carbodilite (registered trademark) V-02B, V-03, V-04K, V-07 and V-09 manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd., and Stabacol (registered trademark) manufactured by Rhein Chemie. P, P400, and Hykadil 510.

(B)活性エステル化合物、(D)熱可塑性樹脂、及び一定量以上の(E)無機充填材との組み合わせにおいて、誘電正接、熱膨張率、破断点伸度、表面粗度及びピール強度のいずれの特性にも優れる絶縁層を得る観点から、樹脂組成物中のカルボジイミド化合物の含有量は、1質量%以上が好ましく、2質量%以上がより好ましく、3質量%以上、4質量%以上又は5質量%以上がさらに好ましい。カルボジイミド化合物の含有量の上限は特に限定されないが、30質量%以下が好ましく、20質量%以下がより好ましく、15質量%以下がさらに好ましい。   In combination with (B) an active ester compound, (D) a thermoplastic resin, and a certain amount or more of (E) an inorganic filler, any of dielectric tangent, coefficient of thermal expansion, elongation at break, surface roughness and peel strength From the viewpoint of obtaining an insulating layer having excellent properties, the content of the carbodiimide compound in the resin composition is preferably 1% by mass or more, more preferably 2% by mass or more, and 3% by mass or more, 4% by mass or more, or 5% by mass. % By mass or more is more preferable. The upper limit of the content of the carbodiimide compound is not particularly limited, but is preferably 30% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, and even more preferably 15% by mass or less.

<(D)熱可塑性樹脂>
本発明の樹脂組成物は、(D)成分として、熱可塑性樹脂を含む。
<(D) thermoplastic resin>
The resin composition of the present invention contains a thermoplastic resin as the component (D).

熱可塑性樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、酸無水物基含有ビニル樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、スチレン系エラストマー樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂及びポリスルホン樹脂等が挙げられる。熱可塑性樹脂は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。熱可塑性樹脂としては、ガラス転移温度が80℃以上のものが好ましい。   As the thermoplastic resin, for example, a phenoxy resin, a polyvinyl acetal resin, an acid anhydride group-containing vinyl resin, a polyolefin resin, a polybutadiene resin, a polyimide resin, a polyamideimide resin, a styrene-based elastomer resin, a polyether sulfone resin, a polyphenylene ether resin and Polysulfone resin and the like can be mentioned. The thermoplastic resin may be used alone or in combination of two or more. The thermoplastic resin preferably has a glass transition temperature of 80 ° C. or higher.

中でも、(B)活性エステル化合物、(C)カルボジイミド化合物、及び一定量以上の(E)無機充填材との組み合わせにおいて、誘電正接、熱膨張率、破断点伸度、表面粗度及びピール強度に一層優れる絶縁層を得る観点から、熱可塑性樹脂は、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、酸無水物基含有ビニル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、及びスチレン系エラストマー樹脂からなる群より選択される1種以上であることが好ましい。   Among them, in combination with (B) an active ester compound, (C) a carbodiimide compound, and a certain amount or more of (E) an inorganic filler, dielectric tangent, coefficient of thermal expansion, elongation at break, surface roughness and peel strength are improved. From the viewpoint of obtaining a more excellent insulating layer, the thermoplastic resin is one selected from the group consisting of a phenoxy resin, a polyvinyl acetal resin, a vinyl resin containing an acid anhydride group, a polyimide resin, a polyamideimide resin, and a styrene-based elastomer resin. It is preferable that it is above.

機械強度の良好な絶縁層を得る観点から、熱可塑性樹脂の重量平均分子量は、好ましくは10000以上、より好ましくは15000以上、さらに好ましくは20000以上、さらにより好ましくは25000以上又は30000以上である。良好な相溶性を得る観点から、熱可塑性樹脂の重量平均分子量の上限は、好ましくは200000以下、より好ましくは180000以下、さらに好ましくは160000以下、さらにより好ましくは150000以下である。熱可塑性樹脂の重量平均分子量は、例えば、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法で測定することができる。詳細には、熱可塑性樹脂の重量平均分子量(ポリスチレン換算)は、測定装置として(株)島津製作所製LC−9A/RID−6Aを、カラムとして昭和電工(株)製Shodex K−800P/K−804L/K−804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。   From the viewpoint of obtaining an insulating layer having good mechanical strength, the weight average molecular weight of the thermoplastic resin is preferably 10,000 or more, more preferably 15,000 or more, further preferably 20,000 or more, and still more preferably 25,000 or more, or 30,000 or more. From the viewpoint of obtaining good compatibility, the upper limit of the weight average molecular weight of the thermoplastic resin is preferably 200,000 or less, more preferably 180,000 or less, further preferably 160,000 or less, and still more preferably 150,000 or less. The weight average molecular weight of the thermoplastic resin can be measured, for example, by gel permeation chromatography (GPC). In detail, the weight average molecular weight (in terms of polystyrene) of the thermoplastic resin is determined by using LC-9A / RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device and Shodex K-800P / K- manufactured by Showa Denko KK as a column. 804L / K-804L can be measured at a column temperature of 40 ° C. using chloroform or the like as a mobile phase, and can be calculated using a standard polystyrene calibration curve.

(B)活性エステル化合物、(C)カルボジイミド化合物、及び一定量以上の(E)無機充填材との組み合わせにおいて、誘電正接、熱膨張率、破断点伸度、表面粗度及びピール強度のいずれの特性にも優れる絶縁層を得る観点、特にピール強度の高い絶縁層を得る観点から、熱可塑性樹脂は、酸素原子、窒素原子及び硫黄原子からなる群より選択される1種以上の原子又は炭素−炭素二重結合を含有する官能基を有することが好ましい。斯かる官能基としては、水酸基、カルボキシ基、酸無水物基、エポキシ基、アミノ基、チオール基、エノール基、エナミン基、ウレア基、シアネート基、イソシアネート基、チオイソシアネート基、ジイミド基、アルケニル基、アレン基及びケテン基からなる群より選択される1種以上が挙げられる。酸無水物基としては、カルボン酸無水物基が好ましい。アルケニル基の好適な例としては、ビニル基、アリル基、スチリル基が挙げられる。斯かる官能基を有する熱可塑性樹脂を使用することにより、得られる絶縁層のガラス転移温度は高くなる傾向にあり、良好な耐熱性を示す絶縁層を実現することもできる。熱可塑性樹脂が斯かる官能基を含む場合、熱可塑性樹脂の官能基当量は、好ましくは100000以下、より好ましくは90000以下、80000以下、70000以下、60000以下、50000以下、40000以下、30000以下、20000以下、10000以下、8000以下、6000以下又は5000以下である。該官能基当量の下限は特に限定されないが、通常、50以上、100以上などとし得る。   In combination with (B) an active ester compound, (C) a carbodiimide compound, and a certain amount or more of (E) an inorganic filler, any of dielectric tangent, coefficient of thermal expansion, elongation at break, surface roughness and peel strength From the viewpoint of obtaining an insulating layer also having excellent properties, particularly from the viewpoint of obtaining an insulating layer having a high peel strength, the thermoplastic resin contains one or more atoms selected from the group consisting of oxygen atoms, nitrogen atoms, and sulfur atoms or carbon- It preferably has a functional group containing a carbon double bond. Examples of such a functional group include a hydroxyl group, a carboxy group, an acid anhydride group, an epoxy group, an amino group, a thiol group, an enol group, an enamine group, a urea group, a cyanate group, an isocyanate group, a thioisocyanate group, a diimide group, and an alkenyl group. , An allene group and a ketene group. As the acid anhydride group, a carboxylic acid anhydride group is preferable. Preferable examples of the alkenyl group include a vinyl group, an allyl group, and a styryl group. By using a thermoplastic resin having such a functional group, the glass transition temperature of the obtained insulating layer tends to be high, and an insulating layer exhibiting good heat resistance can be realized. When the thermoplastic resin contains such a functional group, the functional group equivalent of the thermoplastic resin is preferably 100,000 or less, more preferably 90000 or less, 80000 or less, 70,000 or less, 60,000 or less, 50,000 or less, 40000 or less, 30000 or less, It is 20,000 or less, 10,000 or less, 8000 or less, 6000 or less, or 5000 or less. The lower limit of the functional group equivalent is not particularly limited, but may be usually 50 or more, 100 or more.

以下に、好適な熱可塑性樹脂についてより詳細に説明するが、公知の手順に従って、以下に示す熱可塑性樹脂に上記の官能基をさらに付加した熱可塑性樹脂も本発明において好適に使用することができる。   Hereinafter, a preferred thermoplastic resin will be described in more detail, but according to a known procedure, a thermoplastic resin obtained by further adding the above functional group to the thermoplastic resin shown below can also be suitably used in the present invention. .

フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA骨格、ビスフェノールF骨格、ビスフェノールS骨格、ビスフェノールアセトフェノン骨格、ノボラック骨格、ビフェニル骨格、フルオレン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、ノルボルネン骨格、ナフタレン骨格、アントラセン骨格、アダマンタン骨格、テルペン骨格、及びトリメチルシクロヘキサン骨格からなる群から選択される1種以上の骨格を有するフェノキシ樹脂が挙げられる。フェノキシ樹脂の末端は、フェノール性水酸基、エポキシ基等のいずれの官能基でもよい。フェノキシ樹脂の具体例としては、三菱化学(株)製の「1256」及び「4250」(いずれもビスフェノールA骨格含有フェノキシ樹脂)、「YX8100」(ビスフェノールS骨格含有フェノキシ樹脂)、及び「YX6954」(ビスフェノールアセトフェノン骨格含有フェノキシ樹脂)が挙げられ、その他にも、新日鉄住金化学(株)製の「FX280」及び「FX293」、三菱化学(株)製の「YL7553」、「YL6794」、「YL7213」、「YL7290」及び「YL7482」等が挙げられる。   Examples of the phenoxy resin include bisphenol A skeleton, bisphenol F skeleton, bisphenol S skeleton, bisphenol acetophenone skeleton, novolak skeleton, biphenyl skeleton, fluorene skeleton, dicyclopentadiene skeleton, norbornene skeleton, naphthalene skeleton, anthracene skeleton, adamantane skeleton, terpene Phenoxy resins having one or more skeletons selected from the group consisting of a skeleton and a trimethylcyclohexane skeleton. The terminal of the phenoxy resin may be any functional group such as a phenolic hydroxyl group and an epoxy group. Specific examples of the phenoxy resin include “1256” and “4250” (both phenoloxy resins containing a bisphenol A skeleton), “YX8100” (phenoxy resin containing a bisphenol S skeleton), and “YX6954” (produced by Mitsubishi Chemical Corporation). Bisphenol acetophenone skeleton-containing phenoxy resin), as well as "FX280" and "FX293" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., "YL7553", "YL6794", "YL7213" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. "YL7290" and "YL7482".

ポリビニルアセタール樹脂の具体例としては、電気化学工業(株)製の電化ブチラール4000−2、5000−A、6000−C、6000−EP、積水化学工業(株)製のエスレックBHシリーズ、BXシリーズ、KSシリーズ(例えばKS−1)、BLシリーズ、BMシリーズ等が挙げられる。   Specific examples of the polyvinyl acetal resin include Electrified Butyral 4000-2, 5000-A, 6000-C, 6000-EP manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd., Eslek BH Series, BX Series manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., KS series (for example, KS-1), BL series, BM series and the like.

酸無水物基含有ビニル樹脂は、例えば、酸無水物基含有モノマー(d1)とその他のモノマー(d2)とを共重合させることにより得ることができる。酸無水物基含有モノマー(d1)としては、例えば、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、無水アコニット酸が挙げられる。その他のモノマー(d2)としては、酸無水物基含有モノマー(d1)と共重合し得る限り特に限定されず、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸エステル、スチレン等のエチレン性不飽和モノマーを使用してよい。酸無水物基含有ビニル樹脂の具体例としては、CRAY VALLEY HSC社製の「EF−30」、「EF−40」、「EF−60」、「EF−80」が挙げられる。   The acid anhydride group-containing vinyl resin can be obtained, for example, by copolymerizing the acid anhydride group-containing monomer (d1) and another monomer (d2). Examples of the acid anhydride group-containing monomer (d1) include maleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, and aconitic anhydride. The other monomer (d2) is not particularly limited as long as it can be copolymerized with the acid anhydride group-containing monomer (d1), and includes ethylenically unsaturated monomers such as (meth) acrylic acid, (meth) acrylic acid ester, and styrene. May be used. Specific examples of the acid anhydride group-containing vinyl resin include “EF-30”, “EF-40”, “EF-60”, and “EF-80” manufactured by CRAY VALLEY HSC.

ポリイミド樹脂の具体例としては、新日本理化(株)製の「リカコートSN−20」及び「リカコートPN−20」、DIC(株)製の「ユニディックV−8000」などが挙げられる。ポリイミド樹脂の具体例としてはまた、2官能性ヒドロキシル基末端ポリブタジエン、ジイソシアネート化合物及び四塩基酸無水物を反応させて得られる線状ポリイミド(特開2006−37083号公報)、ポリシロキサン骨格含有ポリイミド(特開2002−12667号公報、特開2000−319386号公報、WO2010/53186等)等の変性ポリイミドが挙げられる。   Specific examples of the polyimide resin include “Ricacoat SN-20” and “Ricacoat PN-20” manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd., and “Unidick V-8000” manufactured by DIC Corporation. Specific examples of the polyimide resin include linear polyimide (JP-A-2006-37083) obtained by reacting a difunctional hydroxyl group-terminated polybutadiene, a diisocyanate compound and a tetrabasic anhydride, and a polyimide containing a polysiloxane skeleton ( Modified polyimides such as JP-A-2002-12667, JP-A-2000-319386, and WO2010 / 53186.

ポリアミドイミド樹脂の具体例としては、東洋紡績(株)製の「バイロマックスHR11NN」及び「バイロマックスHR16NN」が挙げられる。ポリアミドイミド樹脂の具体例としてはまた、日立化成工業(株)製のポリシロキサン骨格含有ポリアミドイミド「KS9100」、「KS9300」等の変性ポリアミドイミドが挙げられる。   Specific examples of the polyamide-imide resin include “Viromax HR11NN” and “Viromax HR16NN” manufactured by Toyobo Co., Ltd. Specific examples of the polyamideimide resin also include modified polyamideimides such as “KS9100” and “KS9300”, a polysiloxane skeleton-containing polyamideimide manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.

スチレン系エラストマー樹脂としては、例えば、スチレン若しくはその類似体のブロックを少なくとも一つの末端ブロックとして含み、共役ジエン若しくはその水添物のエラストマーブロックを少なくとも一つの中間ブロックとして含むブロック共重合体を挙げることができる。詳細には、スチレン−ブタジエンジブロックコポリマー、スチレン−ブタジエントリブロックコポリマー、スチレン−イソプレンジブロックコポリマー、スチレン−イソプレントリブロックコポリマー、水素添加スチレン−ブタジエンジブロックコポリマー、水素添加スチレン−ブタジエントリブロックコポリマー、水素添加スチレン−イソプレンジブロックコポリマー、水素添加スチレン−イソプレントリブロックコポリマー、水素添加スチレン−ブタジエンランダムコポリマーなどが挙げられる。スチレン系エラストマー樹脂の具体例としては、旭化成工業(株)製のアサプレン、タフプレン、アサフレックス;クラレ(株)製のハイブラー、セプトンが挙げられる。   Examples of the styrene-based elastomer resin include, for example, a block copolymer including a block of styrene or an analog thereof as at least one end block, and including an elastomer block of a conjugated diene or a hydrogenated product thereof as at least one intermediate block. Can be. Specifically, styrene-butadiene diblock copolymer, styrene-butadiene block copolymer, styrene-isoprene diblock copolymer, styrene-isoprene triblock copolymer, hydrogenated styrene-butadiene diblock copolymer, hydrogenated styrene-butadiene block copolymer, Examples include hydrogenated styrene-isoprene diblock copolymer, hydrogenated styrene-isoprene triblock copolymer, and hydrogenated styrene-butadiene random copolymer. Specific examples of the styrene-based elastomer resin include Asaprene, Tufprene, and Asaflex manufactured by Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd .; and Hibler and Septon manufactured by Kuraray Co., Ltd.

ポリエーテルスルホン樹脂の具体例としては、住友化学(株)製の「PES5003P」等が挙げられる。   Specific examples of the polyether sulfone resin include “PES5003P” manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.

ポリスルホン樹脂の具体例としては、ソルベイアドバンストポリマーズ(株)製のポリスルホン「P1700」、「P3500」等が挙げられる。   Specific examples of the polysulfone resin include Polysulfone “P1700” and “P3500” manufactured by Solvay Advanced Polymers Co., Ltd.

(B)活性エステル化合物、(C)カルボジイミド化合物、及び一定量以上の(E)無機充填材との組み合わせにおいて、誘電正接、熱膨張率、破断点伸度、表面粗度及びピール強度のいずれの特性にも優れる絶縁層を得る観点から、樹脂組成物中の熱可塑性樹脂の含有量は、0.5質量%以上が好ましく、1質量%以上がより好ましく、1.5質量%以上がさらに好ましく、2質量%以上がさらに好ましい。熱可塑性樹脂の含有量の上限は特に限定されないが、40質量%以下が好ましく、30質量%以下がより好ましく、20質量%以下がさらに好ましく、15質量%以下がさらにより好ましい。   In combination with (B) an active ester compound, (C) a carbodiimide compound, and a certain amount or more of (E) an inorganic filler, any of dielectric tangent, coefficient of thermal expansion, elongation at break, surface roughness and peel strength In respect of obtaining an insulating layer having excellent characteristics, the content of the thermoplastic resin in the resin composition is preferably equal to or greater than 0.5% by mass, more preferably equal to or greater than 1% by mass, and still more preferably equal to or greater than 1.5% by mass. And more preferably 2% by mass or more. The upper limit of the content of the thermoplastic resin is not particularly limited, but is preferably 40% by mass or less, more preferably 30% by mass or less, still more preferably 20% by mass or less, and even more preferably 15% by mass or less.

<(E)無機充填材>
本発明の樹脂組成物は、(E)成分として、一定量以上の無機充填材を含む。
<(E) Inorganic filler>
The resin composition of the present invention contains a certain amount or more of an inorganic filler as the component (E).

(B)活性エステル化合物、(C)カルボジイミド化合物、及び(D)熱可塑性樹脂との組み合わせにおいて、誘電正接、熱膨張率、破断点伸度、表面粗度及びピール強度のいずれの特性にも優れる絶縁層を得る観点、特に低誘電正接、低熱膨張率の絶縁層を得る観点から、樹脂組成物層中の無機充填材の含有量は、40質量%以上であり、好ましくは45質量%以上、より好ましくは50質量%以上、さらに好ましくは55質量%以上又は60質量%以上である。無機充填材を、(B)活性エステル化合物、(C)カルボジイミド化合物、及び(D)熱可塑性樹脂と組み合わせて使用する本発明においては、破断点伸度、表面粗度及びピール強度を低下させることなく、無機充填材の含有量を更に高めることができる。例えば、樹脂組成物中の無機充填材の含有量は、62質量%以上、64質量%以上、66質量%以上、68質量%以上、70質量%以上、72質量%以上、又は74質量%以上にまで高めてよい。   In combination with (B) an active ester compound, (C) a carbodiimide compound, and (D) a thermoplastic resin, they are excellent in any of dielectric loss tangent, coefficient of thermal expansion, elongation at break, surface roughness and peel strength. From the viewpoint of obtaining an insulating layer, particularly from the viewpoint of obtaining an insulating layer having a low dielectric loss tangent and a low coefficient of thermal expansion, the content of the inorganic filler in the resin composition layer is 40% by mass or more, preferably 45% by mass or more, It is more preferably at least 50% by mass, and even more preferably at least 55% by mass or at least 60% by mass. In the present invention in which an inorganic filler is used in combination with (B) an active ester compound, (C) a carbodiimide compound, and (D) a thermoplastic resin, the elongation at break, the surface roughness, and the peel strength are reduced. In addition, the content of the inorganic filler can be further increased. For example, the content of the inorganic filler in the resin composition is 62% by mass or more, 64% by mass or more, 66% by mass or more, 68% by mass or more, 70% by mass or more, 72% by mass or more, or 74% by mass or more. May be increased to

樹脂組成物中の無機充填材の含有量の上限は、得られる絶縁層の機械強度の観点から、好ましくは90質量%以下、より好ましくは85質量%以下、さらに好ましくは80質量%以下である。   The upper limit of the content of the inorganic filler in the resin composition is preferably 90% by mass or less, more preferably 85% by mass or less, and still more preferably 80% by mass or less, from the viewpoint of the mechanical strength of the obtained insulating layer. .

無機充填材の材料は特に限定されないが、例えば、シリカ、アルミナ、ガラス、コーディエライト、シリコン酸化物、硫酸バリウム、炭酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、酸化亜鉛、ハイドロタルサイト、ベーマイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化マンガン、ホウ酸アルミニウム、炭酸ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、リン酸ジルコニウム、及びリン酸タングステン酸ジルコニウム等が挙げられ、シリカが特に好適である。シリカとしては、例えば、無定形シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、合成シリカ、中空シリカ等が挙げられる。またシリカとしては球形シリカが好ましい。無機充填材は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。市販されている球状溶融シリカとして、(株)アドマテックス製「SO−C2」、「SO−C1」が挙げられる。   Although the material of the inorganic filler is not particularly limited, for example, silica, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, hydrotalcite, boehmite, water Aluminum oxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide , Zirconium oxide, barium titanate, barium zirconate titanate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, zirconium phosphate tungstate, and the like, and silica is particularly preferred. That. Examples of the silica include amorphous silica, fused silica, crystalline silica, synthetic silica, and hollow silica. As the silica, spherical silica is preferable. One kind of the inorganic filler may be used alone, or two or more kinds may be used in combination. Examples of commercially available spherical fused silica include “SO-C2” and “SO-C1” manufactured by Admatechs.

無機充填材の平均粒径は、特に限定されないが、その上に微細な配線を形成し得る絶縁層を得る観点から、3μm以下が好ましく、2μm以下がより好ましく、1μm以下、0.7μm以下、0.5μm以下、0.4μm以下、又は0.3μm以下がさらに好ましい。一方、樹脂組成物を使用して樹脂ワニスを形成する際に適度な粘度を有し取り扱い性の良好な樹脂ワニスを得る観点から、無機充填材の平均粒径は、0.01μm以上が好ましく、0.03μm以上がより好ましく、0.05μm以上、0.07μm以上、又は0.1μm以上がさらに好ましい。無機充填材の平均粒径はミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的にはレーザー回折式粒度分布測定装置により、無機充填材の粒度分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材を超音波により水中に分散させたものを好ましく使用することができる。レーザー回折式粒度分布測定装置としては、(株)堀場製作所製「LA−500」、「LA−750」、「LA−950」等を使用することができる。   The average particle diameter of the inorganic filler is not particularly limited, but is preferably 3 μm or less, more preferably 2 μm or less, and more preferably 1 μm or less, 0.7 μm or less, from the viewpoint of obtaining an insulating layer on which fine wiring can be formed. 0.5 μm or less, 0.4 μm or less, or 0.3 μm or less is more preferable. On the other hand, the average particle size of the inorganic filler is preferably 0.01 μm or more from the viewpoint of obtaining a resin varnish having an appropriate viscosity and having good handleability when forming a resin varnish using the resin composition. It is more preferably at least 0.03 μm, even more preferably at least 0.05 μm, 0.07 μm or 0.1 μm. The average particle diameter of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction / scattering method based on Mie scattering theory. Specifically, it can be measured by preparing a particle size distribution of the inorganic filler on a volume basis by using a laser diffraction type particle size distribution measuring device, and setting a median diameter as an average particle size. As the measurement sample, a sample in which an inorganic filler is dispersed in water by ultrasonic waves can be preferably used. As a laser diffraction type particle size distribution measuring apparatus, "LA-500", "LA-750", "LA-950", etc. manufactured by Horiba, Ltd. can be used.

無機充填材は、耐湿性及び分散性を高める観点から、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、シラン系カップリング剤、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤などの1種以上の表面処理剤で処理されていることが好ましい。表面処理剤の市販品としては、例えば、信越化学工業(株)製「KBM403」(3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM803」(3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBE903」(3−アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM573」(N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「SZ−31」(ヘキサメチルジシラザン)等が挙げられる。   From the viewpoint of increasing the moisture resistance and dispersibility of the inorganic filler, aminosilane-based coupling agents, epoxysilane-based coupling agents, mercaptosilane-based coupling agents, silane-based coupling agents, organosilazane compounds, titanate-based coupling agents It is preferably treated with one or more surface treatment agents. Examples of commercially available surface treatment agents include “KBM403” (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. and “KBM803” (3-mercaptopropyltrimethoxy) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Silane), "KBE903" (3-aminopropyltriethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM573" (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. And “SZ-31” (hexamethyldisilazane).

表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量によって評価することができる。無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、無機充填材の分散性向上の観点から、0.02mg/m以上が好ましく、0.1mg/m以上がより好ましく、0.2mg/m以上が更に好ましい。一方、樹脂ワニスの溶融粘度やシート形態での溶融粘度の上昇を防止する観点から、1mg/m以下が好ましく、0.8mg/m以下がより好ましく、0.5mg/m以下が更に好ましい。 The degree of surface treatment with the surface treatment agent can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler. Carbon content per unit surface area of the inorganic filler, from the viewpoint of improving dispersibility of the inorganic filler is preferably 0.02 mg / m 2 or more, 0.1 mg / m 2 or more preferably, 0.2 mg / m 2 The above is more preferred. On the other hand, from the viewpoint of preventing an increase in the melt viscosity at the melt viscosity or sheet form a resin varnish, preferably 1 mg / m 2 or less, more preferably 0.8 mg / m 2 or less, 0.5 mg / m 2 or less is more preferable.

無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、表面処理後の無機充填材を溶剤(例えば、メチルエチルケトン(MEK))により洗浄処理した後に測定することができる。具体的には、溶剤として十分な量のMEKを表面処理剤で表面処理された無機充填材に加えて、25℃で5分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、(株)堀場製作所製「EMIA−320V」等を使用することができる。   The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured after the inorganic filler after the surface treatment is washed with a solvent (for example, methyl ethyl ketone (MEK)). Specifically, a sufficient amount of MEK as a solvent is added to the inorganic filler surface-treated with the surface treatment agent, and ultrasonic cleaning is performed at 25 ° C. for 5 minutes. After removing the supernatant and drying the solid content, the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured using a carbon analyzer. As the carbon analyzer, "EMIA-320V" manufactured by Horiba, Ltd. or the like can be used.

<(F)硬化促進剤>
本発明の樹脂組成物は、(F)成分として、硬化促進剤をさらに含んでもよい。
<(F) Curing accelerator>
The resin composition of the present invention may further contain a curing accelerator as the component (F).

硬化促進剤としては、特に限定されないが、例えば、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、リン系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤等が挙げられ、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤が好ましい。硬化促進剤は、1種単独で用いてもよく、又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Examples of the curing accelerator include, but are not particularly limited to, amine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, phosphorus-based curing accelerators, guanidine-based curing accelerators, and the like; amine-based curing accelerators, imidazole-based curing agents, and the like. Accelerators are preferred. The curing accelerator may be used alone or in combination of two or more.

アミン系硬化促進剤としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミンなどのトリアルキルアミン、4−ジメチルアミノピリジン、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,−トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセン等が挙げられ、4−ジメチルアミノピリジン、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセンが好ましい。   Examples of the amine-based curing accelerator include trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6-tris (dimethylaminomethyl) phenol, and 1,8-diazabicyclo. (5,4,0) -undecene and the like are preferable, and 4-dimethylaminopyridine and 1,8-diazabicyclo (5,4,0) -undecene are preferable.

イミダゾール系硬化促進剤としては、例えば、2−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3−ジヒドロ−1H−ピロロ[1,2−a]ベンズイミダゾール、1−ドデシル−2−メチル−3−ベンジルイミダゾリウムクロライド、2−メチルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン等のイミダゾール化合物及びイミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体が挙げられ、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾールが好ましい。   Examples of the imidazole-based curing accelerator include, for example, 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl- 2 Phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6- [2′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-undecylimidazolyl- (1 ′)]-Ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-ethyl-4′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino- 6- [2′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl- 4-methyl-5 hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo [1,2-a] benzimidazole, 1-dodecyl-2-methyl Imidazole compounds such as -3-benzylimidazolium chloride, 2-methylimidazoline, and 2-phenylimidazoline; and adducts of imidazole compounds and epoxy resins; 2-ethyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2- Phenylimidazole is preferred.

リン系硬化促進剤としては、例えば、トリフェニルホスフィン、ホスホニウムボレート化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、n−ブチルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩、(4−メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、ブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネート等が挙げられ、トリフェニルホスフィン、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩が好ましい。   Examples of the phosphorus-based curing accelerator include triphenylphosphine, a phosphonium borate compound, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, n-butylphosphonium tetraphenylborate, tetrabutylphosphonium decanoate, and (4-methylphenyl) triphenylphosphonium thiocyanate , Tetraphenylphosphonium thiocyanate, butyltriphenylphosphonium thiocyanate and the like, and triphenylphosphine and tetrabutylphosphonium decanoate are preferred.

グアニジン系硬化促進剤としては、例えば、ジシアンジアミド、1−メチルグアニジン、1−エチルグアニジン、1−シクロヘキシルグアニジン、1−フェニルグアニジン、1−(o−トリル)グアニジン、ジメチルグアニジン、ジフェニルグアニジン、トリメチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、ペンタメチルグアニジン、1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン、7−メチル−1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン、1−メチルビグアニド、1−エチルビグアニド、1−n−ブチルビグアニド、1−n−オクタデシルビグアニド、1,1−ジメチルビグアニド、1,1−ジエチルビグアニド、1−シクロヘキシルビグアニド、1−アリルビグアニド、1−フェニルビグアニド、1−(o−トリル)ビグアニド等が挙げられ、ジシアンジアミド、1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エンが好ましい。   Examples of the guanidine curing accelerator include dicyandiamide, 1-methylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, 1-phenylguanidine, 1- (o-tolyl) guanidine, dimethylguanidine, diphenylguanidine, trimethylguanidine, Tetramethylguanidine, pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] dec-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] Deca-5-ene, 1-methylbiguanide, 1-ethylbiguanide, 1-n-butylbiguanide, 1-n-octadecylbiguanide, 1,1-dimethylbiguanide, 1,1-diethylbiguanide, 1-cyclohexylbiguanide, 1 -Allyl biguanide, 1-phenyl biguanide, 1- ( - tolyl) biguanide, and the like, dicyandiamide, 1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] dec-5-ene are preferred.

中でも、上記(A)乃至(E)成分との組み合わせにおいて、誘電正接、熱膨張率、破断点伸度、表面粗度及びピール強度に一層優れる絶縁層を得る観点から、硬化促進剤としては、4−ジメチルアミノピリジン、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾールが特に好ましい。   Above all, in combination with the above components (A) to (E), from the viewpoint of obtaining an insulating layer having more excellent dielectric loss tangent, coefficient of thermal expansion, elongation at break, surface roughness and peel strength, as a curing accelerator, 4-dimethylaminopyridine, 1-benzyl-2-phenylimidazole are particularly preferred.

樹脂組成物中の硬化促進剤の含有量は、特に限定されないが、好ましくは0.005質量%〜1質量%、より好ましくは0.01質量%〜0.5質量%である。   The content of the curing accelerator in the resin composition is not particularly limited, but is preferably 0.005% by mass to 1% by mass, and more preferably 0.01% by mass to 0.5% by mass.

<その他の成分>
−硬化剤−
本発明の樹脂組成物は、さらに硬化剤(但し、(B)成分を除く。)を含んでもよい。硬化剤を含有することにより、得られる絶縁層の絶縁信頼性、ピール強度、機械強度を高めることができる。硬化剤としては、特に限定されないが、例えば、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤、ベンゾオキサジン系硬化剤等を挙げることができる。硬化剤は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。これらの中でも、上記(A)乃至(E)成分との組み合わせにおいて、誘電正接、熱膨張率、破断点伸度、表面粗度及びピール強度に一層優れる絶縁層を得る観点から、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤が好ましい。
<Other ingredients>
-Curing agent-
The resin composition of the present invention may further contain a curing agent (however, excluding the component (B)). By containing the curing agent, the insulation reliability, peel strength, and mechanical strength of the obtained insulating layer can be increased. The curing agent is not particularly limited, and examples thereof include a phenol-based curing agent, a naphthol-based curing agent, a cyanate ester-based curing agent, and a benzoxazine-based curing agent. The curing agents may be used alone or in combination of two or more. Among these, in combination with the above components (A) to (E), from the viewpoint of obtaining an insulating layer having more excellent dielectric loss tangent, coefficient of thermal expansion, elongation at break, surface roughness and peel strength, a phenolic curing agent is used. , Naphthol-based curing agents and cyanate ester-based curing agents are preferred.

フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤としては、耐熱性及び耐水性の観点から、ノボラック構造を有するフェノール系硬化剤、又はノボラック構造を有するナフトール系硬化剤が好ましい。また、ピール強度の観点から、含窒素フェノール系硬化剤又は含窒素ナフトール系硬化剤が好ましく、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤又はトリアジン骨格含有ナフトール系硬化剤がより好ましい。中でも、耐熱性、耐水性、及び導体層との密着強度を高度に満足させる観点から、トリアジン骨格含有フェノールノボラック樹脂が好ましい。フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤の具体例としては、例えば、明和化成(株)製の「MEH−7700」、「MEH−7810」、「MEH−7851」、日本化薬(株)製の「NHN」、「CBN」、「GPH」、新日鉄住金化学(株)製の「SN−170」、「SN−180」、「SN−190」、「SN−475」、「SN−485」、「SN−495」、「SN−375」、「SN−395」、DIC(株)製の「LA−7052」、「LA−7054」、「LA−3018」、「LA−1356」、「TD2090」等が挙げられる。   As the phenol-based curing agent and the naphthol-based curing agent, a phenol-based curing agent having a novolak structure or a naphthol-based curing agent having a novolak structure is preferable from the viewpoint of heat resistance and water resistance. From the viewpoint of peel strength, a nitrogen-containing phenol-based curing agent or a nitrogen-containing naphthol-based curing agent is preferred, and a triazine skeleton-containing phenol-based curing agent or a triazine skeleton-containing naphthol-based curing agent is more preferred. Among them, a phenol novolak resin containing a triazine skeleton is preferable from the viewpoint of highly satisfying heat resistance, water resistance, and adhesion strength to a conductor layer. Specific examples of the phenol-based curing agent and the naphthol-based curing agent include, for example, “MEH-7700”, “MEH-7810”, “MEH-7851” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd., and “MEH-7851” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. “NHN”, “CBN”, “GPH”, “SN-170”, “SN-180”, “SN-190”, “SN-475”, “SN-485”, manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. "SN-495", "SN-375", "SN-395", "LA-7052", "LA-7054", "LA-3018", "LA-1356", "TD-2090" manufactured by DIC Corporation. And the like.

シアネートエステル系硬化剤としては、特に限定されないが、例えば、ノボラック型(フェノールノボラック型、アルキルフェノールノボラック型など)シアネートエステル系硬化剤、ジシクロペンタジエン型シアネートエステル系硬化剤、ビスフェノール型(ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、ビスフェノールS型など)シアネートエステル系硬化剤、及びこれらが一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。具体例としては、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート(オリゴ(3−メチレン−1,5−フェニレンシアネート))、4,4’−メチレンビス(2,6−ジメチルフェニルシアネート)、4,4’−エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2−ビス(4−シアネート)フェニルプロパン、1,1−ビス(4−シアネートフェニルメタン)、ビス(4−シアネート−3,5−ジメチルフェニル)メタン、1,3−ビス(4−シアネートフェニル−1−(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4−シアネートフェニル)チオエーテル、及びビス(4−シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂、フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。シアネートエステル系硬化剤の市販品としては、ロンザジャパン(株)製の「PT30」及び「PT60」(いずれもフェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂)、「BA230」(ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー)等が挙げられる。   The cyanate ester-based curing agent is not particularly limited. For example, novolak type (phenol novolak type, alkylphenol novolak type, etc.) cyanate ester type curing agent, dicyclopentadiene type cyanate ester type curing agent, bisphenol type (bisphenol A type, (Bisphenol F type, bisphenol S type, etc.) cyanate ester type curing agents, and prepolymers in which these are partially triazined. Specific examples include bisphenol A dicyanate, polyphenol cyanate (oligo (3-methylene-1,5-phenylene cyanate)), 4,4′-methylenebis (2,6-dimethylphenyl cyanate), and 4,4′-ethylidene diphenyl Dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis (4-cyanate) phenylpropane, 1,1-bis (4-cyanatephenylmethane), bis (4-cyanate-3,5-dimethylphenyl) methane, Bifunctional cyanate resins such as 1,3-bis (4-cyanatephenyl-1- (methylethylidene)) benzene, bis (4-cyanatephenyl) thioether and bis (4-cyanatephenyl) ether, phenol novolak and cresol novolak Invite from etc. Polyfunctional cyanate resin is, these cyanate resins and partially triazine of prepolymer. Commercially available cyanate ester-based curing agents include “PT30” and “PT60” (both are phenol novolac-type polyfunctional cyanate ester resins) and “BA230” (part or all of bisphenol A dicyanate) manufactured by Lonza Japan K.K. Is a tripolymer which is triazine-modified to form a trimer).

ベンゾオキサジン系硬化剤の具体例としては、昭和高分子(株)製の「HFB2006M」、四国化成工業(株)製の「P−d」、「F−a」が挙げられる。   Specific examples of the benzoxazine-based curing agent include “HFB2006M” manufactured by Showa Polymer Co., Ltd., and “Pd” and “Fa” manufactured by Shikoku Chemicals.

樹脂組成物中の硬化剤の含有量は、特に限定されないが、得られる絶縁層の機械強度の観点から、0.5質量%〜10質量%が好ましく、1質量%〜6質量%がより好ましい。   The content of the curing agent in the resin composition is not particularly limited, but is preferably 0.5% by mass to 10% by mass, and more preferably 1% by mass to 6% by mass from the viewpoint of the mechanical strength of the obtained insulating layer. .

−難燃剤−
本発明の樹脂組成物は、さらに難燃剤を含んでもよい。難燃剤としては、例えば、有機リン系難燃剤、有機系窒素含有リン化合物、窒素化合物、シリコーン系難燃剤、金属水酸化物等が挙げられる。難燃剤は、1種単独で用いてもよく、又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。樹脂組成物中の難燃剤の含有量は特に限定はされないが、好ましくは0.5質量%〜10質量%、より好ましくは1質量%〜9質量%である。
-Flame retardant-
The resin composition of the present invention may further contain a flame retardant. Examples of the flame retardant include organic phosphorus-based flame retardants, organic nitrogen-containing phosphorus compounds, nitrogen compounds, silicone-based flame retardants, metal hydroxides, and the like. The flame retardants may be used alone or in a combination of two or more. The content of the flame retardant in the resin composition is not particularly limited, but is preferably 0.5% by mass to 10% by mass, and more preferably 1% by mass to 9% by mass.

−有機充填材−
本発明の樹脂組成物は、さらに有機充填材を含んでもよい。有機充填材としては、プリント配線板の絶縁層を形成するに際し使用し得る任意の有機充填材を使用してよく、例えば、ゴム粒子、ポリアミド微粒子、シリコーン粒子などが挙げられ、ゴム粒子が好ましい。
-Organic filler-
The resin composition of the present invention may further contain an organic filler. As the organic filler, any organic filler that can be used when forming the insulating layer of the printed wiring board may be used, and examples thereof include rubber particles, polyamide fine particles, and silicone particles, and rubber particles are preferable.

ゴム粒子としては、ゴム弾性を示す樹脂に化学的架橋処理を施し、有機溶剤に不溶かつ不融とした樹脂の微粒子体である限り特に限定されず、例えば、アクリロニトリルブタジエンゴム粒子、ブタジエンゴム粒子、アクリルゴム粒子などが挙げられる。ゴム粒子としては、具体的には、XER−91(日本合成ゴム(株)製)、スタフィロイドAC3355、AC3816、AC3816N、AC3832、AC4030、AC3364、IM101(以上、アイカ工業(株)製)パラロイドEXL2655、EXL2602(以上、呉羽化学工業(株)製)などが挙げられる。   The rubber particles are not particularly limited as long as the resin particles exhibiting rubber elasticity are subjected to a chemical crosslinking treatment, and are fine particles of a resin insoluble and infusible in an organic solvent, for example, acrylonitrile butadiene rubber particles, butadiene rubber particles, And acrylic rubber particles. Specific examples of the rubber particles include XER-91 (manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.), staphyloid AC3355, AC3816, AC3816N, AC3832, AC4030, AC3364, and IM101 (all manufactured by Aika Kogyo) paraloid EXL2655. And EXL2602 (all manufactured by Kureha Chemical Industry Co., Ltd.).

有機充填材の平均粒子径は、好ましくは0.005μm〜1μmの範囲であり、より好ましくは0.2μm〜0.6μmの範囲である。有機充填材の平均粒子径は、動的光散乱法を用いて測定することができる。例えば、適当な有機溶剤に有機充填材を超音波などにより均一に分散させ、濃厚系粒径アナライザー(大塚電子(株)製「FPAR−1000」)を用いて、有機充填材の粒度分布を質量基準で作成し、そのメディアン径を平均粒子径とすることで測定することができる。樹脂組成物中の有機充填材の含有量は、好ましくは1質量%〜10質量%、より好ましくは2質量%〜5質量%である。   The average particle size of the organic filler is preferably in the range of 0.005 μm to 1 μm, and more preferably in the range of 0.2 μm to 0.6 μm. The average particle size of the organic filler can be measured using a dynamic light scattering method. For example, the organic filler is uniformly dispersed in an appropriate organic solvent by ultrasonic waves or the like, and the particle size distribution of the organic filler is measured using a concentrated particle size analyzer (“FPAR-1000” manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). It can be measured by making a standard and making the median diameter the average particle diameter. The content of the organic filler in the resin composition is preferably 1% by mass to 10% by mass, more preferably 2% by mass to 5% by mass.

本発明の樹脂組成物は、必要に応じて、さらに他の成分を含んでいてもよい。斯かる他の成分としては、例えば、有機銅化合物、有機亜鉛化合物及び有機コバルト化合物等の有機金属化合物、並びに増粘剤、消泡剤、レベリング剤、密着性付与剤、着色剤及び硬化性樹脂等の樹脂添加剤等が挙げられる。   The resin composition of the present invention may further contain other components as necessary. Such other components include, for example, organometallic compounds such as organocopper compounds, organozinc compounds and organocobalt compounds, and thickeners, defoamers, leveling agents, adhesion-imparting agents, coloring agents and curable resins. And the like.

本発明の樹脂組成物の調製方法は、特に限定されるものではなく、例えば、配合成分を、必要により溶媒等を添加し、回転ミキサーなどを用いて混合・分散する方法などが挙げられる。   The method for preparing the resin composition of the present invention is not particularly limited, and examples thereof include a method in which the components are added with a solvent or the like as necessary, and mixed and dispersed using a rotary mixer or the like.

本発明の樹脂組成物は、低誘電正接の硬化物(絶縁層)をもたらすことができる。本発明の樹脂組成物の硬化物の誘電正接は、後述の<誘電正接の測定>に記載の方法により測定することができる。具体的には、空洞共振器摂動法により周波数5.8GHz、測定温度23℃で測定することができる。高周波での発熱防止、信号遅延及び信号ノイズの低減の観点から、誘電正接は0.010以下が好ましく、0.009以下がより好ましく、0.008以下、0.007以下又は0.006以下がさらに好ましい。誘電正接の下限は、低いほど好ましいが、通常、0.001以上などとし得る。   The resin composition of the present invention can provide a cured product (insulating layer) having a low dielectric loss tangent. The dielectric loss tangent of the cured product of the resin composition of the present invention can be measured by the method described below in <Measurement of dielectric loss tangent>. Specifically, it can be measured at a frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23 ° C. by a cavity resonator perturbation method. From the viewpoint of preventing heat generation at high frequencies, reducing signal delay and signal noise, the dielectric loss tangent is preferably equal to or less than 0.010, more preferably equal to or less than 0.009, and equal to or less than 0.008, 0.007 or 0.006. More preferred. Although the lower limit of the dielectric loss tangent is preferably as low as possible, it can usually be 0.001 or more.

本発明の樹脂組成物は、低熱膨張率の硬化物(絶縁層)をもたらすことができる。本発明の樹脂組成物の硬化物の線熱膨張係数は、後述の<ガラス転移温度及び線熱膨張係数の測定>に記載の方法により測定することができる。具体的には、引張加重法で熱機械分析を行うことにより、25〜150℃における平面方向の平均線熱膨張係数を測定することができる。本発明の樹脂組成物の硬化物は、好ましくは40ppm/℃以下、より好ましくは35ppm/℃以下、さらに好ましくは30ppm/℃以下、さらにより好ましくは25ppm/℃以下、特に好ましくは20ppm/℃以下の線熱膨張係数を示すことができる。線熱膨張係数の下限は特に限定されないが、通常、1ppm/℃以上である。   The resin composition of the present invention can provide a cured product (insulating layer) having a low coefficient of thermal expansion. The coefficient of linear thermal expansion of the cured product of the resin composition of the present invention can be measured by the method described below in <Measurement of glass transition temperature and coefficient of linear thermal expansion>. Specifically, the average linear thermal expansion coefficient in the plane direction at 25 to 150 ° C. can be measured by performing a thermomechanical analysis by a tensile load method. The cured product of the resin composition of the present invention is preferably at most 40 ppm / ° C, more preferably at most 35 ppm / ° C, still more preferably at most 30 ppm / ° C, even more preferably at most 25 ppm / ° C, particularly preferably at most 20 ppm / ° C. Can be shown. Although the lower limit of the linear thermal expansion coefficient is not particularly limited, it is usually 1 ppm / ° C. or more.

本発明の樹脂組成物は、良好な破断点伸度を示す硬化物(絶縁層)をもたらすことができる。本発明の樹脂組成物の硬化物の破断点伸度は、後述の<破断点伸度の測定>に記載の方法により測定することができる。具体的には、日本工業規格(JIS K7127)に準拠して、引っ張り試験法により測定することができる。本発明の樹脂組成物の硬化物は、好ましくは2%以上、より好ましくは2.1%以上、さらに好ましくは2.2%以上、さらにより好ましくは2.3%以上、2.4%以上、又は2.5%以上の破断点伸度を示すことができる。破断点伸度の上限は、好ましくは30%以下、より好ましくは20%以下、さらに好ましくは10%以下である。   The resin composition of the present invention can provide a cured product (insulating layer) showing good elongation at break. The elongation at break of the cured product of the resin composition of the present invention can be measured by the method described below in <Measurement of elongation at break>. Specifically, it can be measured by a tensile test method in accordance with Japanese Industrial Standards (JIS K7127). The cured product of the resin composition of the present invention is preferably at least 2%, more preferably at least 2.1%, further preferably at least 2.2%, still more preferably at least 2.3%, at least 2.4%. Or an elongation at break of 2.5% or more. The upper limit of the elongation at break is preferably 30% or less, more preferably 20% or less, and further preferably 10% or less.

本発明の樹脂組成物は、表面粗度の低い硬化物(絶縁層)をもたらすことができる。本発明の樹脂組成物の硬化物の算術平均粗さ(Ra)は、後述の<算術平均粗さ(Ra)の測定>に記載の方法により測定することができる。粗化処理後の絶縁層表面は、電気信号のロスを軽減するという点で、表面凹凸は小さいことが望まれる。具体的には、樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成し、該絶縁層の表面を粗化処理した後の該絶縁層表面の算術平均粗さ(Ra)は、140nm以下が好ましく、130nm以下がより好ましく、120nm以下がさらに好ましく、110nm以下がさらにより好ましく、100nm以下が特に好ましい。算術平均粗さ(Ra)の下限は、十分なピール強度を得る観点から、5nm以上が好ましく、10nm以上がより好ましく、15nm以上がさらに好ましい。   The resin composition of the present invention can provide a cured product (insulating layer) having low surface roughness. The arithmetic average roughness (Ra) of the cured product of the resin composition of the present invention can be measured by the method described below in <Measurement of arithmetic average roughness (Ra)>. It is desired that the surface of the insulating layer after the roughening treatment has small surface irregularities from the viewpoint of reducing loss of an electric signal. Specifically, the arithmetic average roughness (Ra) of the insulating layer surface after curing the resin composition to form an insulating layer and roughening the surface of the insulating layer is preferably 140 nm or less, and 130 nm or less. The following is more preferable, 120 nm or less is still more preferable, 110 nm or less is still more preferable, and 100 nm or less is especially preferable. From the viewpoint of obtaining a sufficient peel strength, the lower limit of the arithmetic average roughness (Ra) is preferably 5 nm or more, more preferably 10 nm or more, and still more preferably 15 nm or more.

本発明の樹脂組成物は、ピール強度の高い硬化物(絶縁層)をもたらすことができる。本発明の樹脂組成物の硬化物のピール強度は、後述の<メッキ導体層のピール強度の測定>に記載の方法により測定することができる。具体的には、樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成し、粗化処理した後の該絶縁層の表面にメッキして導体層を形成した場合、得られる導体層と絶縁層とのピール強度は、0.50kgf/cm以上が好ましく、0.55kgf/cm以上がより好ましく、0.60kgf/cm以上がさらに好ましい。ピール強度の上限は特に限定されないが、通常、1.2kgf/cm以下などとし得る。   The resin composition of the present invention can provide a cured product (insulating layer) having high peel strength. The peel strength of the cured product of the resin composition of the present invention can be measured by the method described below in <Measurement of peel strength of plated conductor layer>. Specifically, when the resin composition is cured to form an insulating layer, and the surface of the insulating layer after the roughening treatment is plated to form a conductive layer, the peel between the obtained conductive layer and the insulating layer is peeled off. The strength is preferably at least 0.50 kgf / cm, more preferably at least 0.55 kgf / cm, even more preferably at least 0.60 kgf / cm. The upper limit of the peel strength is not particularly limited, but may be usually 1.2 kgf / cm or less.

本発明の樹脂組成物はまた、ガラス転移温度(Tg)の高い硬化物(絶縁層)をもたらすことができる。本発明の樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度(Tg)は、後述の<破断点伸度の測定>に記載の方法により測定することができる。本発明の樹脂組成物の硬化物は、好ましくは165℃以上、より好ましくは170℃以上、175℃以上、又は180℃以上のガラス転移温度(Tg)を示すことができる。ガラス転移温度(Tg)の上限は特に限定されないが、通常、250℃以下である。   The resin composition of the present invention can also provide a cured product (insulating layer) having a high glass transition temperature (Tg). The glass transition temperature (Tg) of the cured product of the resin composition of the present invention can be measured by the method described below in <Measurement of elongation at break>. The cured product of the resin composition of the present invention can exhibit a glass transition temperature (Tg) of preferably 165 ° C or higher, more preferably 170 ° C or higher, 175 ° C or higher, or 180 ° C or higher. The upper limit of the glass transition temperature (Tg) is not particularly limited, but is usually 250 ° C. or lower.

本発明の樹脂組成物は、プリント配線板の絶縁層を形成するための樹脂組成物(プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物)として好適に使用することができ、プリント配線板の層間絶縁層を形成するための樹脂組成物(プリント配線板の層間絶縁層用樹脂組成物)としてより好適に使用することができ、その上にメッキにより導体層が形成される層間絶縁層を形成するための樹脂組成物(メッキにより導体層を形成するプリント配線板の層間絶縁層用樹脂組成物)としてさらに好適に使用することができる。本発明の樹脂組成物はまた、接着フィルム、プリプレグ等のシート状積層材料、ソルダーレジスト、アンダーフィル材、ダイボンディング材、半導体封止材、穴埋め樹脂、部品埋め込み樹脂等、樹脂組成物が必要とされる用途の広範囲に使用できる。   The resin composition of the present invention can be suitably used as a resin composition for forming an insulating layer of a printed wiring board (resin composition for an insulating layer of a printed wiring board). Can be more suitably used as a resin composition for forming a conductive layer (resin composition for an interlayer insulating layer of a printed wiring board), on which a conductive layer is formed by plating to form an interlayer insulating layer. It can be more suitably used as a resin composition (a resin composition for an interlayer insulating layer of a printed wiring board in which a conductor layer is formed by plating). The resin composition of the present invention also requires a resin composition, such as an adhesive film, a sheet-like laminated material such as a prepreg, a solder resist, an underfill material, a die bonding material, a semiconductor sealing material, a filling resin, and a component filling resin. It can be used in a wide range of applications.

[接着フィルム]
本発明の樹脂組成物は、ワニス状態で用いることもできるが、工業的には一般に、接着フィルムの形態で用いることが好ましい。
[Adhesive film]
Although the resin composition of the present invention can be used in a varnish state, it is generally preferable to use it in the form of an adhesive film industrially.

接着フィルムは、支持体と、該支持体と接合している樹脂組成物層(接着層)とを含んでなり、樹脂組成物層(接着層)が本発明の樹脂組成物から形成される。   The adhesive film includes a support and a resin composition layer (adhesive layer) bonded to the support, and the resin composition layer (adhesive layer) is formed from the resin composition of the present invention.

樹脂組成物層の厚さは、プリント配線板の薄型化の観点から、好ましくは100μm以下、より好ましくは80μm以下、さらに好ましくは60μm以下、さらにより好ましくは50μm以下又は40μm以下である。樹脂組成物層の厚さの下限は、特に限定されないが、通常、5μm以上又は10μm以上である。   The thickness of the resin composition layer is preferably 100 μm or less, more preferably 80 μm or less, further preferably 60 μm or less, still more preferably 50 μm or less or 40 μm or less, from the viewpoint of reducing the thickness of the printed wiring board. The lower limit of the thickness of the resin composition layer is not particularly limited, but is usually 5 μm or more or 10 μm or more.

支持体としては、例えば、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔、離型紙が挙げられ、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔が好ましい。   Examples of the support include a film made of a plastic material, a metal foil, and release paper, and a film made of a plastic material and a metal foil are preferable.

支持体としてプラスチック材料からなるフィルムを使用する場合、プラスチック材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET」と略称することがある。)、ポリエチレンナフタレート(以下「PEN」と略称することがある。)等のポリエステル、ポリカーボネート(以下「PC」と略称することがある。)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエーテルサルファイド(PES)、ポリエーテルケトン、ポリイミドなどが挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。   When a film made of a plastic material is used as the support, the plastic material may be, for example, polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes abbreviated as “PET”) or polyethylene naphthalate (hereinafter sometimes abbreviated as “PEN”). .), Acrylics such as polymethyl methacrylate (PMMA), cyclic polyolefins, triacetyl cellulose (TAC), polyether sulfide (PES), and polyethers. Ketone, polyimide and the like can be mentioned. Among them, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferable, and inexpensive polyethylene terephthalate is particularly preferable.

支持体として金属箔を使用する場合、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられ、銅箔が好ましい。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属(例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等)との合金からなる箔を用いてもよい。   When a metal foil is used as the support, examples of the metal foil include a copper foil and an aluminum foil, and a copper foil is preferable. As the copper foil, a foil made of a single metal of copper may be used, and a foil made of an alloy of copper and another metal (for example, tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, silicon, titanium, etc.) may be used. May be used.

支持体は、樹脂組成物層と接合する側の表面にマット処理、コロナ処理を施してあってもよい。また、支持体としては、樹脂組成物層と接合する側の表面に離型層を有する離型層付き支持体を使用してもよい。離型層付き支持体の離型層に使用する離型剤としては、例えば、アルキド樹脂、オレフィン樹脂、ウレタン樹脂、及びシリコーン樹脂からなる群から選択される1種以上の離型剤が挙げられる。離型剤の市販品としては、例えば、アルキド樹脂系離型剤である、リンテック(株)製の「SK−1」、「AL−5」、「AL−7」などが挙げられる。   The support may have been subjected to a mat treatment or a corona treatment on the surface to be joined to the resin composition layer. Further, as the support, a support with a release layer having a release layer on the surface to be joined to the resin composition layer may be used. Examples of the release agent used in the release layer of the support having a release layer include one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resins, olefin resins, urethane resins, and silicone resins. . Commercially available release agents include, for example, "SK-1", "AL-5", "AL-7" manufactured by Lintec Co., Ltd., which are alkyd resin release agents.

支持体の厚さは、特に限定されないが、5μm〜75μmの範囲が好ましく、10μm〜60μmの範囲がより好ましい。なお、支持体が離型層付き支持体である場合、離型層付き支持体全体の厚さが上記範囲であることが好ましい。   The thickness of the support is not particularly limited, but is preferably in the range of 5 μm to 75 μm, and more preferably in the range of 10 μm to 60 μm. When the support is a support with a release layer, the thickness of the entire support with a release layer is preferably within the above range.

接着フィルムは、例えば、有機溶剤に樹脂組成物を溶解した樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスを、ダイコーターなどを用いて支持体上に塗布し、更に乾燥させて樹脂組成物層を形成させることにより製造することができる。   The adhesive film is prepared, for example, by preparing a resin varnish in which a resin composition is dissolved in an organic solvent, applying the resin varnish on a support using a die coater or the like, and further drying to form a resin composition layer. It can be manufactured by the following.

有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン(MEK)及びシクロヘキサノン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びカルビトールアセテート等の酢酸エステル類、セロソルブ及びブチルカルビトール等のカルビトール類、トルエン及びキシレン等の芳香族炭化水素類、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド(DMAc)及びN−メチルピロリドン等のアミド系溶媒等を挙げることができる。有機溶剤は1種単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。   Examples of the organic solvent include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone (MEK) and cyclohexanone, ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate, cellosolve and butyl carbitol, etc. Carbitols, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, and amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide (DMAc) and N-methylpyrrolidone. The organic solvents may be used alone or in combination of two or more.

乾燥は、加熱、熱風吹きつけ等の公知の方法により実施してよい。乾燥条件は特に限定されないが、樹脂組成物層中の有機溶剤の含有量が10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。樹脂ワニス中の有機溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30質量%〜60質量%の有機溶剤を含む樹脂ワニスを用いる場合、50℃〜150℃で3分間〜10分間乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成することができる。   Drying may be performed by a known method such as heating or blowing hot air. The drying conditions are not particularly limited, but drying is performed so that the content of the organic solvent in the resin composition layer is 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. Although it depends on the boiling point of the organic solvent in the resin varnish, for example, when using a resin varnish containing 30% by mass to 60% by mass of an organic solvent, the resin composition is dried at 50 ° C. to 150 ° C. for 3 minutes to 10 minutes. An object layer can be formed.

接着フィルムにおいて、樹脂組成物層の支持体と接合していない面(即ち、支持体とは反対側の面)には、支持体に準じた保護フィルムをさらに積層することができる。保護フィルムの厚さは、特に限定されないが、例えば、1μm〜40μmである。保護フィルムを積層することにより、樹脂組成物層の表面へのゴミ等の付着やキズを防止することができる。接着フィルムは、ロール状に巻きとって保存することが可能である。接着フィルムが保護フィルムを有する場合、保護フィルムを剥がすことによって使用可能となる。   In the adhesive film, a protective film conforming to the support can be further laminated on the surface of the resin composition layer that is not bonded to the support (that is, the surface on the side opposite to the support). The thickness of the protective film is not particularly limited, but is, for example, 1 μm to 40 μm. By laminating the protective film, it is possible to prevent dust and the like from adhering to the surface of the resin composition layer and to prevent scratches. The adhesive film can be wound into a roll and stored. When the adhesive film has a protective film, it can be used by peeling off the protective film.

本発明の接着フィルムは、プリント配線板の絶縁層を形成するため(プリント配線板の絶縁層用)に好適に使用することができ、プリント配線板の層間絶縁層を形成するため(プリント配線板の層間絶縁層用)により好適に使用することができ、その上にメッキにより導体層が形成される層間絶縁層を形成するための樹脂組成物(メッキにより導体層を形成するプリント配線板の層間絶縁層用)にさらに好適に使用することができる。   The adhesive film of the present invention can be suitably used for forming an insulating layer of a printed wiring board (for an insulating layer of a printed wiring board), and for forming an interlayer insulating layer of a printed wiring board (for a printed wiring board). And a resin composition for forming an interlayer insulating layer on which a conductive layer is formed by plating (an interlayer of a printed wiring board on which a conductive layer is formed by plating). (For an insulating layer).

[プリント配線板]
本発明のプリント配線板は、本発明の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む。
[Printed wiring board]
The printed wiring board of the present invention includes an insulating layer formed from a cured product of the resin composition of the present invention.

一実施形態において、本発明のプリント配線板は、上述の接着フィルムを用いて、下記(I)及び(II)の工程を含む方法により製造することができる。
(I)内層基板上に、接着フィルムを、該接着フィルムの樹脂組成物層が内層基板と接合するように積層する工程
(II)樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する工程
In one embodiment, the printed wiring board of the present invention can be manufactured by a method including the following steps (I) and (II) using the above-mentioned adhesive film.
(I) Step of laminating an adhesive film on an inner layer substrate such that the resin composition layer of the adhesive film is bonded to the inner layer substrate (II) Step of thermosetting the resin composition layer to form an insulating layer

工程(I)で用いる「内層基板」とは、主として、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等の基板、又は該基板の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)が形成された回路基板をいう。またプリント配線板を製造する際に、さらに絶縁層及び/又は導体層が形成されるべき中間製造物の内層回路基板も本発明でいう「内層基板」に含まれる。   The “inner layer substrate” used in the step (I) mainly means a substrate such as a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, a thermosetting polyphenylene ether substrate, or one or both surfaces of the substrate. A circuit board on which a patterned conductor layer (circuit) is formed. Further, when manufacturing a printed wiring board, an inner circuit board of an intermediate product on which an insulating layer and / or a conductor layer is to be further formed is also included in the “inner layer board” in the present invention.

内層基板と接着フィルムの積層は、例えば、支持体側から接着フィルムを内層基板に加熱圧着することにより行うことができる。接着フィルムを内層基板に加熱圧着する部材(以下、「加熱圧着部材」ともいう。)としては、例えば、加熱された金属板(SUS鏡板等)又は金属ロール(SUSロール)等が挙げられる。なお、加熱圧着部材を接着フィルムに直接プレスするのではなく、内層基板の表面凹凸に接着フィルムが十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスするのが好ましい。   The lamination of the inner layer substrate and the adhesive film can be performed, for example, by heat-pressing the adhesive film to the inner layer substrate from the support side. Examples of a member (hereinafter, also referred to as a “thermocompression member”) for thermocompression bonding the adhesive film to the inner layer substrate include a heated metal plate (SUS mirror plate or the like) or a metal roll (SUS roll). It is preferable that the thermocompression bonding member is not pressed directly on the adhesive film, but is pressed via an elastic material such as heat-resistant rubber so that the adhesive film sufficiently follows the surface irregularities of the inner substrate.

内層基板と接着フィルムの積層は、真空ラミネート法により実施してよい。真空ラミネート法において、加熱圧着温度は、好ましくは60℃〜160℃、より好ましくは80℃〜140℃の範囲であり、加熱圧着圧力は、好ましくは0.098MPa〜1.77MPa、より好ましくは0.29MPa〜1.47MPaの範囲であり、加熱圧着時間は、好ましくは20秒間〜400秒間、より好ましくは30秒間〜300秒間の範囲である。積層は、好ましくは圧力26.7hPa以下の減圧条件下で実施する。   The lamination of the inner substrate and the adhesive film may be performed by a vacuum lamination method. In the vacuum laminating method, the thermocompression bonding temperature is preferably in the range of 60 ° C. to 160 ° C., more preferably 80 ° C. to 140 ° C., and the thermocompression bonding pressure is preferably 0.098 MPa to 1.77 MPa, more preferably 0 ° C. .29 MPa to 1.47 MPa, and the heat-compression bonding time is preferably 20 seconds to 400 seconds, more preferably 30 seconds to 300 seconds. The lamination is preferably performed under a reduced pressure condition of a pressure of 26.7 hPa or less.

積層は、市販の真空ラミネーターによって行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、(株)名機製作所製の真空加圧式ラミネーター、ニチゴー・モートン(株)製のバキュームアップリケーター等が挙げられる。   Lamination can be performed by a commercially available vacuum laminator. Examples of commercially available vacuum laminators include a vacuum pressurized laminator manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd., and a vacuum applicator manufactured by Nichigo Morton Co., Ltd.

積層の後に、常圧下(大気圧下)、例えば、加熱圧着部材を支持体側からプレスすることにより、積層された接着フィルムの平滑化処理を行ってもよい。平滑化処理のプレス条件は、上記積層の加熱圧着条件と同様の条件とすることができる。平滑化処理は、市販のラミネーターによって行うことができる。なお、積層と平滑化処理は、上記の市販の真空ラミネーターを用いて連続的に行ってもよい。   After lamination, the laminated adhesive film may be subjected to a smoothing process under normal pressure (under atmospheric pressure), for example, by pressing a thermocompression bonding member from the support side. The pressing conditions for the smoothing treatment can be the same as the conditions for the thermocompression bonding of the lamination. The smoothing treatment can be performed with a commercially available laminator. Note that the lamination and the smoothing treatment may be continuously performed using the above-mentioned commercially available vacuum laminator.

支持体は、工程(I)と工程(II)の間に除去してもよく、工程(II)の後に除去してもよい。   The support may be removed between step (I) and step (II), or may be removed after step (II).

工程(II)において、樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する。   In the step (II), the insulating layer is formed by thermosetting the resin composition layer.

樹脂組成物層の熱硬化条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常採用される条件を使用してよい。   The thermosetting conditions of the resin composition layer are not particularly limited, and conditions usually employed when forming an insulating layer of a printed wiring board may be used.

例えば、樹脂組成物層の熱硬化条件は、樹脂組成物の種類等によっても異なるが、硬化温度は120℃〜240℃の範囲(好ましくは150℃〜210℃の範囲、より好ましくは170℃〜190℃の範囲)、硬化時間は5分間〜90分間の範囲(好ましくは10分間〜75分間、より好ましくは15分間〜60分間)とすることができる。   For example, the thermosetting conditions of the resin composition layer vary depending on the type of the resin composition and the like, but the curing temperature is in the range of 120 ° C to 240 ° C (preferably in the range of 150 ° C to 210 ° C, more preferably 170 ° C to 170 ° C). The curing time can be in a range of 5 minutes to 90 minutes (preferably 10 minutes to 75 minutes, more preferably 15 minutes to 60 minutes).

樹脂組成物層を熱硬化させる前に、樹脂組成物層を硬化温度よりも低い温度にて予備加熱してもよい。例えば、樹脂組成物層を熱硬化させるのに先立ち、50℃以上120℃未満(好ましくは60℃以上110℃以下、より好ましくは70℃以上100℃以下)の温度にて、樹脂組成物層を5分間以上(好ましくは5分間〜150分間、より好ましくは15分間〜120分間)予備加熱してもよい。   Before thermally curing the resin composition layer, the resin composition layer may be preheated at a temperature lower than the curing temperature. For example, prior to thermosetting the resin composition layer, the resin composition layer is heated at a temperature of 50 ° C or more and less than 120 ° C (preferably 60 ° C or more and 110 ° C or less, more preferably 70 ° C or more and 100 ° C or less). Preheating may be performed for 5 minutes or more (preferably 5 minutes to 150 minutes, more preferably 15 minutes to 120 minutes).

プリント配線板を製造するに際しては、(III)絶縁層に穴あけする工程、(IV)絶縁層を粗化処理する工程、(V)絶縁層表面に導体層を形成する工程をさらに実施してもよい。これらの工程(III)乃至(V)は、プリント配線板の製造に用いられる、当業者に公知の各種方法に従って実施してよい。なお、支持体を工程(II)の後に除去する場合、該支持体の除去は、工程(II)と工程(III)との間、工程(III)と工程(IV)の間、又は工程(IV)と工程(V)との間に実施してよい。   In manufacturing the printed wiring board, (III) a step of forming a hole in the insulating layer, (IV) a step of roughening the insulating layer, and (V) a step of forming a conductor layer on the surface of the insulating layer may be further performed. Good. These steps (III) to (V) may be performed according to various methods used for manufacturing a printed wiring board and known to those skilled in the art. When the support is removed after step (II), the support may be removed between step (II) and step (III), between step (III) and step (IV), or It may be performed between IV) and step (V).

工程(III)は、絶縁層に穴あけする工程であり、これにより絶縁層にビアホール、スルーホール等のホールを形成することができる。工程(III)は、絶縁層の形成に使用した樹脂組成物の組成等に応じて、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等を使用して実施してよい。ホールの寸法や形状は、プリント配線板のデザインに応じて適宜決定してよい。   The step (III) is a step of forming a hole in the insulating layer, whereby a hole such as a via hole or a through hole can be formed in the insulating layer. Step (III) may be performed using, for example, a drill, laser, plasma, or the like, depending on the composition of the resin composition used to form the insulating layer. The size and shape of the hole may be appropriately determined according to the design of the printed wiring board.

工程(IV)は、絶縁層を粗化処理する工程である。粗化処理の手順、条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常使用される公知の手順、条件を採用することができる。例えば、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理、中和液による中和処理をこの順に実施して絶縁層を粗化処理することができる。膨潤液としては特に限定されないが、アルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液であり、該アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液がより好ましい。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン(株)製のスウェリング・ディップ・セキュリガンスP、スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU等が挙げられる。膨潤液による膨潤処理は、特に限定されないが、例えば、30℃〜90℃の膨潤液に絶縁層を1分間〜20分間浸漬することにより行うことができる。酸化剤としては、特に限定されないが、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。アルカリ性過マンガン酸溶液等の酸化剤による粗化処理は、60℃〜80℃に加熱した酸化剤溶液に絶縁層を10分間〜30分間浸漬させて行うことが好ましい。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5質量%〜10質量%が好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン(株)製のコンセントレート・コンパクトCP、ドージングソリューション・セキュリガンスP等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。また、中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、例えば、アトテックジャパン(株)製のリダクションソリューション・セキュリガントPが挙げられる。中和液による処理は、酸化剤溶液による粗化処理がなされた処理面を30℃〜80℃の中和液に5分間〜30分間浸漬させることにより行うことができる。   Step (IV) is a step of roughening the insulating layer. The procedure and conditions of the roughening treatment are not particularly limited, and well-known procedures and conditions usually used when forming an insulating layer of a printed wiring board can be adopted. For example, a swelling process using a swelling solution, a roughening process using an oxidizing agent, and a neutralizing process using a neutralizing solution can be performed in this order to roughen the insulating layer. The swelling solution is not particularly limited, but includes an alkali solution, a surfactant solution, and the like, and is preferably an alkali solution. As the alkali solution, a sodium hydroxide solution and a potassium hydroxide solution are more preferable. Examples of commercially available swelling liquids include Swelling Dip Securigans P and Swelling Dip Securigans SBU manufactured by Atotech Japan KK. The swelling treatment with the swelling liquid is not particularly limited, but can be performed, for example, by immersing the insulating layer in a swelling liquid at 30 ° C to 90 ° C for 1 minute to 20 minutes. Although it does not specifically limit as an oxidizing agent, For example, alkaline permanganate solution which melt | dissolved potassium permanganate and sodium permanganate in aqueous solution of sodium hydroxide is mentioned. The roughening treatment using an oxidizing agent such as an alkaline permanganate solution is preferably performed by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution heated to 60 ° C to 80 ° C for 10 minutes to 30 minutes. The concentration of the permanganate in the alkaline permanganate solution is preferably from 5% by mass to 10% by mass. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganate solutions such as Concentrate CP and Dosing Solution Securigans P manufactured by Atotech Japan KK. As the neutralizing solution, an acidic aqueous solution is preferable, and as a commercial product, for example, Reduction Solution Securiganto P manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. is exemplified. The treatment with the neutralizing solution can be performed by immersing the roughened surface with the oxidizing agent solution in the neutralizing solution at 30 ° C. to 80 ° C. for 5 minutes to 30 minutes.

工程(V)は、絶縁層表面に導体層を形成する工程である。   Step (V) is a step of forming a conductor layer on the surface of the insulating layer.

導体層に使用する導体材料は特に限定されない。好適な実施形態では、導体層は、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ及びインジウムからなる群から選択される1種以上の金属を含む。導体層は、単金属層であっても合金層であってもよく、合金層としては、例えば、上記の群から選択される2種以上の金属の合金(例えば、ニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金及び銅・チタン合金)から形成された層が挙げられる。中でも、導体層形成の汎用性、コスト、パターニングの容易性等の観点から、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金、銅・チタン合金の合金層が好ましく、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層がより好ましく、銅の単金属層が更に好ましい。   The conductor material used for the conductor layer is not particularly limited. In a preferred embodiment, the conductive layer is one or more selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin and indium. Including metal. The conductor layer may be a single metal layer or an alloy layer. As the alloy layer, for example, an alloy of two or more metals selected from the above group (for example, nickel-chromium alloy, copper Nickel alloy and copper-titanium alloy). Among them, from the viewpoints of versatility of conductor layer formation, cost, ease of patterning, etc., a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or a nickel-chromium alloy, copper A nickel alloy or an alloy layer of copper-titanium alloy is preferable, a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or an alloy layer of nickel-chromium alloy is more preferable. Metal layers are more preferred.

導体層は、単層構造であっても、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層が2層以上積層した複層構造であってもよい。導体層が複層構造である場合、絶縁層と接する層は、クロム、亜鉛若しくはチタンの単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層であることが好ましい。   The conductor layer may have a single-layer structure or a multilayer structure in which two or more single metal layers or alloy layers made of different types of metals or alloys are stacked. When the conductor layer has a multilayer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single metal layer of chromium, zinc, or titanium, or an alloy layer of a nickel-chromium alloy.

導体層の厚さは、所望のプリント配線板のデザインによるが、一般に3μm〜35μm、好ましくは5μm〜30μmである。   The thickness of the conductive layer depends on the desired design of the printed wiring board, but is generally 3 μm to 35 μm, preferably 5 μm to 30 μm.

導体層は、メッキにより形成してよい。例えば、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の従来公知の技術により絶縁層の表面にメッキして、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。以下、導体層をセミアディティブ法により形成する例を示す。   The conductor layer may be formed by plating. For example, a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed by plating the surface of the insulating layer by a conventionally known technique such as a semi-additive method or a full-additive method. Hereinafter, an example in which a conductor layer is formed by a semi-additive method will be described.

まず、絶縁層の表面に、無電解メッキによりメッキシード層を形成する。次いで、形成されたメッキシード層上に、所望の配線パターンに対応してメッキシード層の一部を露出させるマスクパターンを形成する。露出したメッキシード層上に、電解メッキにより金属層を形成した後、マスクパターンを除去する。その後、不要なメッキシード層をエッチングなどにより除去して、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。   First, a plating seed layer is formed on the surface of the insulating layer by electroless plating. Next, a mask pattern for exposing a part of the plating seed layer corresponding to a desired wiring pattern is formed on the formed plating seed layer. After a metal layer is formed on the exposed plating seed layer by electrolytic plating, the mask pattern is removed. Thereafter, the unnecessary plating seed layer is removed by etching or the like, so that a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed.

上述のとおり、本発明の樹脂組成物を使用してプリント配線板を製造することにより、誘電正接、熱膨張率、破断点伸度、表面粗度及びピール強度のいずれの特性にも優れる絶縁層を備えたプリント配線板を有利に製造することができる。   As described above, by manufacturing a printed wiring board using the resin composition of the present invention, an insulating layer having excellent properties such as dielectric loss tangent, coefficient of thermal expansion, elongation at break, surface roughness and peel strength Can be advantageously manufactured.

[半導体装置]
本発明のプリント配線板を用いて、半導体装置を製造することができる。半導体装置としては、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラ及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。
[Semiconductor device]
A semiconductor device can be manufactured using the printed wiring board of the present invention. Examples of the semiconductor device include various semiconductor devices used for electric appliances (for example, computers, mobile phones, digital cameras, televisions, and the like) and vehicles (for example, motorcycles, automobiles, trains, ships, and aircrafts).

本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板の導通箇所に、部品(半導体チップ)を実装することにより製造することができる。「導通箇所」とは、「プリント配線板における電気信号を伝える箇所」であって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、半導体チップは半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。   The semiconductor device of the present invention can be manufactured by mounting a component (semiconductor chip) on a conductive portion of the printed wiring board of the present invention. The “conduction point” is a “point where an electric signal is transmitted on the printed wiring board”, and the point may be a surface or an embedded point. The semiconductor chip is not particularly limited as long as it is an electric circuit element made of a semiconductor.

本発明の半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能しさえすれば、特に限定されないが、具体的には、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法、などが挙げられる。ここで、「バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法」とは、「半導体チップをプリント配線板の凹部に直接埋め込み、半導体チップとプリント配線板上の配線とを接続させる実装方法」のことである。   The method of mounting a semiconductor chip when manufacturing the semiconductor device of the present invention is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively. Specifically, a wire bonding mounting method, a flip chip mounting method, and no bump A mounting method using a build-up layer (BBUL), a mounting method using an anisotropic conductive film (ACF), a mounting method using a non-conductive film (NCF), and the like can be given. Here, the “mounting method using the bump-less build-up layer (BBUL)” refers to a “mounting method for directly embedding a semiconductor chip in a recess of a printed wiring board and connecting the semiconductor chip to wiring on the printed wiring board”. It is.

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、「部」は質量部を意味する。   Hereinafter, the present invention will be described specifically with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples. “Parts” means parts by mass.

〔測定方法・評価方法〕
まずは各種測定方法・評価方法について説明する。
[Measurement method and evaluation method]
First, various measurement methods and evaluation methods will be described.

<ピール強度、算術平均粗さ(Ra値)測定用サンプルの調製>
(1)内層回路基板の下地処理
内層回路を形成したガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板の厚さ0.4mm、パナソニック(株)製「R1515A」)の両面をメック(株)製「CZ8101」にて1μmエッチングして銅表面の粗化処理を行った。
<Preparation of sample for measuring peel strength and arithmetic average roughness (Ra value)>
(1) Underlayer treatment of inner layer circuit board Glass cloth base epoxy resin double-sided copper-clad laminate on which inner layer circuit is formed (copper foil thickness: 18 μm, board thickness: 0.4 mm, “R1515A” manufactured by Panasonic Corporation) Both surfaces were etched at 1 μm using “CZ8101” manufactured by Mec Corporation to roughen the copper surface.

(2)接着フィルムの積層
実施例及び比較例で作製した接着フィルムを、バッチ式真空加圧ラミネーター((株)名機製作所製「MVLP−500」)を用いて、樹脂組成物層が内層回路基板と接合するように、内層回路基板の両面にラミネート処理した。ラミネート処理は、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、100℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着することにより行った。
(2) Lamination of Adhesive Film The adhesive film produced in each of Examples and Comparative Examples was subjected to a batch-type vacuum press laminator (“MVLP-500” manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.) to form a resin composition layer having an inner layer circuit. Laminating treatment was performed on both sides of the inner circuit board so as to be bonded to the board. The lamination treatment was performed by reducing the pressure to 13 hPa or less by reducing the pressure for 30 seconds, and then performing pressure bonding at 100 ° C. and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds.

(3)樹脂組成物の硬化
接着フィルムの積層後、100℃で30分間、次いで180℃で30分間の条件で樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成した。その後、支持体を剥離して絶縁層を露出させた。
(3) Curing of Resin Composition After laminating the adhesive film, the resin composition layer was thermally cured at 100 ° C. for 30 minutes and then at 180 ° C. for 30 minutes to form an insulating layer. Thereafter, the support was peeled off to expose the insulating layer.

(4)粗化処理
絶縁層の露出した内層回路基板を、膨潤液(アトテックジャパン(株)製「スエリングディップ・セキュリガントP」、ジエチレングリコールモノブチルエーテル含有の水酸化ナトリウム水溶液)に60℃で10分間浸漬し、次いで酸化剤(アトテックジャパン(株)製「コンセントレート・コンパクトCP」、過マンガン酸カリウム濃度約6質量%、水酸化ナトリウム濃度約4質量%の水溶液)に80℃で20分間浸漬し、最後に中和液(アトテックジャパン(株)製「リダクションソリューション・セキュリガントP」、硫酸ヒドロキシルアミン水溶液)に40℃で5分間浸漬した。その後、80℃で30分間乾燥させた。得られた基板を「評価基板a」と称する。
(4) Roughening treatment The inner layer circuit board with the exposed insulating layer was immersed in a swelling solution (“Swelling Dip Securiganto P”, manufactured by Atotech Japan KK, aqueous sodium hydroxide solution containing diethylene glycol monobutyl ether) at 60 ° C. for 10 minutes. Immersion, then immersion in an oxidizing agent ("Concentrate Compact CP" manufactured by Atotech Japan KK, aqueous solution of potassium permanganate concentration of about 6% by mass and sodium hydroxide concentration of about 4% by mass) at 80 ° C for 20 minutes. Finally, it was immersed in a neutralizing solution (“Reduction Solution Securiganto P”, manufactured by Atotech Japan KK, aqueous hydroxylamine sulfate solution) at 40 ° C. for 5 minutes. Then, it dried at 80 degreeC for 30 minutes. The obtained substrate is referred to as “evaluation substrate a”.

(5)導体層の形成
セミアディティブ法に従って、絶縁層の粗化面に導体層を形成した。
すなわち、粗化処理後の基板を、PdClを含む無電解メッキ液に40℃で5分間浸漬した後、無電解銅メッキ液に25℃で20分間浸漬した。次いで、150℃にて30分間加熱してアニール処理を行った後に、エッチングレジストを形成し、エッチングによりパターン形成した。その後、硫酸銅電解メッキを行い、厚さ30μmの導体層を形成し、アニール処理を200℃にて60分間行った。得られた基板を「評価基板b」と称する。
(5) Formation of Conductive Layer A conductive layer was formed on the roughened surface of the insulating layer according to the semi-additive method.
That is, the substrate after the roughening treatment was immersed in an electroless plating solution containing PdCl 2 at 40 ° C. for 5 minutes, and then immersed in an electroless copper plating solution at 25 ° C. for 20 minutes. Next, after annealing at 150 ° C. for 30 minutes, an etching resist was formed and a pattern was formed by etching. Thereafter, copper sulfate electrolytic plating was performed to form a conductor layer having a thickness of 30 μm, and annealing was performed at 200 ° C. for 60 minutes. The obtained substrate is referred to as “evaluation substrate b”.

<算術平均粗さ(Ra)の測定>
評価基板aについて、非接触型表面粗さ計(ビーコインスツルメンツ社製「WYKO NT3300」)を用いて、VSIコンタクトモード、50倍レンズにより測定範囲を121μm×92μmとして得られる数値によりRa値を求めた。無作為に選んだ10点の平均値を求めることにより測定した。
<Measurement of arithmetic average roughness (Ra)>
For the evaluation substrate a, the Ra value was determined by using a non-contact type surface roughness meter (“WYKO NT3300” manufactured by Becoinstruments Co., Ltd.) using a VSI contact mode and a 50 × lens with a measurement range of 121 μm × 92 μm. . It was determined by determining the average of 10 randomly selected points.

<メッキ導体層のピール強度の測定>
絶縁層と導体層のピール強度の測定は、評価基板bについて、日本工業規格(JIS C6481)に準拠して行った。具体的には、評価基板bの導体層に、幅10mm、長さ100mmの部分の切込みをいれ、この一端を剥がしてつかみ具で掴み、室温中にて、50mm/分の速度で垂直方向に35mmを引き剥がした時の荷重(kgf/cm)を測定し、剥離強度を求めた。測定には、引っ張り試験機((株)TSE製「AC−50C−SL」)を使用した。
<Measurement of peel strength of plated conductor layer>
The measurement of the peel strength of the insulating layer and the conductor layer was performed on the evaluation substrate b in accordance with Japanese Industrial Standards (JIS C6481). Specifically, a cut of 10 mm in width and 100 mm in length is made in the conductor layer of the evaluation board b, and one end thereof is peeled off and gripped with a gripper, and at room temperature in the vertical direction at a speed of 50 mm / min. The load (kgf / cm) when 35 mm was peeled off was measured to determine the peel strength. A tensile tester (“AC-50C-SL” manufactured by TSE) was used for the measurement.

<破断点伸度の測定>
実施例及び比較例で作製した接着フィルムを200℃にて90分間加熱して樹脂組成物層を熱硬化させた後、支持体を剥離した。得られた硬化物を「評価用硬化物c」と称する。評価用硬化物cについて、日本工業規格(JIS K7127)に準拠して、テンシロン万能試験機((株)オリエンテック製「RTC−1250A」)により引っ張り試験を行い、破断点伸度を測定した。
<Measurement of elongation at break>
The adhesive films produced in Examples and Comparative Examples were heated at 200 ° C. for 90 minutes to thermally cure the resin composition layer, and then the support was peeled off. The obtained cured product is referred to as “evaluated cured product c”. The cured product c for evaluation was subjected to a tensile test using a Tensilon universal testing machine ("RTC-1250A" manufactured by Orientec Co., Ltd.) in accordance with Japanese Industrial Standards (JIS K7127) to measure the elongation at break.

<ガラス転移温度及び線熱膨張係数の測定>
評価用硬化物cを、幅約5mm、長さ約15mmの試験片に切断し、熱機械分析装置((株)リガク製「Thermo Plus TMA8310」)を使用して、引張加重法にて熱機械分析を行った。詳細には、試験片を前記熱機械分析装置に装着した後、荷重1g、昇温速度5℃/分の測定条件にて連続して2回測定した。そして2回目の測定において、ガラス転移温度(Tg;℃)と、25℃から150℃までの範囲における平均線熱膨張係数(CTE;ppm/℃)を算出した。
<Measurement of glass transition temperature and coefficient of linear thermal expansion>
The cured product c for evaluation is cut into a test piece having a width of about 5 mm and a length of about 15 mm, and a thermomechanical analyzer (“Thermo Plus TMA8310” manufactured by Rigaku Corporation) is used to obtain a thermomechanical product by a tensile load method. Analysis was carried out. Specifically, after the test piece was mounted on the thermomechanical analyzer, the measurement was continuously performed twice at a load of 1 g and at a heating rate of 5 ° C./min. In the second measurement, the glass transition temperature (Tg; ° C) and the average coefficient of linear thermal expansion (CTE; ppm / ° C) in the range from 25 ° C to 150 ° C were calculated.

<誘電正接の測定>
評価用硬化物cを、幅2mm、長さ80mmの試験片に切断した。該試験片について、アジレントテクノロジーズ社製「HP8362B」を用いて、空洞共振摂動法により測定周波数5.8GHz、測定温度23℃にて誘電正接を測定した。2本の試験片について測定を行い、平均値を算出した。
<Measurement of dielectric loss tangent>
The cured product c for evaluation was cut into a test piece having a width of 2 mm and a length of 80 mm. The dielectric loss tangent of the test piece was measured at a measurement frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23 ° C. by a cavity resonance perturbation method using “HP8362B” manufactured by Agilent Technologies. The measurement was performed on two test pieces, and the average value was calculated.

<実施例1>
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「828US」、エポキシ当量約180)10部、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」、エポキシ当量約269)25部、ビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「YX4000HK」、エポキシ当量約185)25部、及びフェノキシ樹脂(三菱化学(株)製「YL7553BH30」、固形分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)20部を、ソルベントナフサ30部に撹拌しながら加熱溶解させた。室温にまで冷却した後、そこへ、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤(DIC(株)製「LA−3018−50P」、水酸基当量約151、固形分50%の2−メトキシプロパノール溶液)15部、活性エステル化合物(DIC(株)製「HPC−8000−65T」、活性基当量約223、不揮発成分65質量%のトルエン溶液)20部、カルボジイミド化合物(日清紡ケミカル(株)製「V−03」、NCO含有量0質量%、不揮発成分50質量%のトルエン溶液)20部、硬化促進剤(4−ジメチルアミノピリジン(DMAP)、固形分10質量%のMEK溶液)3部、アミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SO−C2」)275部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを調製した。
<Example 1>
Bisphenol A type epoxy resin ("828US", Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent about 180) 10 parts, biphenyl type epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd. "NC3000L", epoxy equivalent about 269) 25 parts, bixylenol 25 parts of epoxy resin (“YX4000HK” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent: about 185) and phenoxy resin (“YL7553BH30” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), 1: 1 solution of MEK and cyclohexanone having a solid content of 30% by mass. 20) was heated and dissolved in 30 parts of solvent naphtha while stirring. After cooling to room temperature, 15 parts of a triazine skeleton-containing phenolic curing agent ("LA-3018-50P" manufactured by DIC Corporation, a hydroxyl equivalent of about 151, a 2-methoxypropanol solution having a solid content of 50%) were added thereto. 20 parts of an active ester compound (“HPC-8000-65T” manufactured by DIC Corporation, an active group equivalent of about 223, a toluene solution of a nonvolatile component of 65% by mass), and a carbodiimide compound (“V-03” manufactured by Nisshinbo Chemical Inc.) 20 parts of an NCO content of 0% by mass, a non-volatile component of 50% by mass in a toluene solution) 20 parts, a curing accelerator (4-dimethylaminopyridine (DMAP), a solid content of 10% by mass in an MEK solution) 3 parts, and an aminosilane-based coupling agent ( Spherical silica (average particle size 0.5 μm, surface-treated with Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. “KBM573”, Admatechs “SO C2 ") 275 parts were mixed, and uniformly dispersed in a high-speed rotary mixer to prepare a resin varnish.

支持体としてアルキド樹脂系離型層付きPETフィルム(リンテック(株)製「AL5」、厚さ38μm)を用意した。該支持体の離型層上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚さが30μmとなるように樹脂ワニスを均一に塗布し、80℃〜120℃(平均100℃)で4分間乾燥させて、接着フィルムを作製した。   As a support, a PET film with an alkyd resin-based release layer (“AL5” manufactured by Lintec Co., Ltd., thickness 38 μm) was prepared. A resin varnish is uniformly applied on the release layer of the support so that the thickness of the resin composition layer after drying is 30 μm, and dried at 80 ° C. to 120 ° C. (average 100 ° C.) for 4 minutes. Then, an adhesive film was produced.

<実施例2>
カルボジイミド化合物(日清紡ケミカル(株)製「V−03」、不揮発分50質量%のトルエン溶液)の配合量を80部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 2>
A resin varnish and an adhesive film were prepared in the same manner as in Example 1, except that the amount of the carbodiimide compound (“V-03” manufactured by Nisshinbo Chemical Inc., a toluene solution having a nonvolatile content of 50% by mass) was changed to 80 parts. did.

<実施例3>
アミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SO−C2」)の配合量を100部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 3>
100 parts by weight of spherical silica (average particle size: 0.5 μm, Admatex “SO-C2”) surface-treated with an aminosilane-based coupling agent (“KBM573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1 except that the composition was changed to.

<実施例4>
アミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SO−C2」)275部を、アミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.3μm、(株)アドマテックス製「SO−C1」)275部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 4>
275 parts of spherical silica (average particle diameter: 0.5 μm, Admatex “SO-C2”) surface-treated with an aminosilane coupling agent (“KBM573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) Except that 275 parts of spherical silica (average particle diameter: 0.3 μm, Admatex “SO-C1”) surface-treated with a coupling agent (“KBM573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was used. In the same manner as in Example 1, a resin varnish and an adhesive film were produced.

<実施例5>
活性エステル化合物(DIC(株)製「HPC−8000−65T」、活性基当量約223、不揮発成分65質量%のトルエン溶液)20部を、活性エステル化合物(DIC(株)製「EXB9050L−62M」、活性基当量約334、不揮発成分62質量%のMEK溶液)21部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 5>
An active ester compound (“EXB9050L-62M” manufactured by DIC Corporation) was mixed with 20 parts of an active ester compound (“HPC-8000-65T” manufactured by DIC Corporation, a toluene solution of an active group equivalent of about 223 and a nonvolatile component of 65% by mass). Resin varnish and adhesive film were prepared in the same manner as in Example 1 except that the amount of the active group was changed to 21 parts (MEK solution containing an active group equivalent of about 334 and a nonvolatile component of 62% by mass).

<実施例6>
硬化促進剤(4−ジメチルアミノピリジン(DMAP)、固形分10質量%のMEK溶液)3部を、硬化促進剤(四国化成(株)製「1B2PZ」、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、固形分10質量%のMEK溶液)6部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 6>
3 parts of a curing accelerator (4-dimethylaminopyridine (DMAP), a MEK solution having a solid content of 10% by mass) was added to a curing accelerator (“1B2PZ” manufactured by Shikoku Chemicals Co., Ltd., 1-benzyl-2-phenylimidazole, A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1 except that the amount was changed to 6 parts by weight (MEK solution of 10% by mass).

<実施例7>
カルボジイミド化合物(日清紡ケミカル(株)製「V−03」、不揮発成分50質量%のトルエン溶液)20部を、カルボジイミド化合物(日清紡ケミカル(株)製「V−07」、NCO含有量0.5質量%、不揮発成分50質量%のトルエン溶液)20部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 7>
20 parts of a carbodiimide compound (“V-03” manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd., a toluene solution of 50% by mass of a non-volatile component) was mixed with 20 parts of a carbodiimide compound (“V-07” manufactured by Nisshinbo Chemical Inc., NCO content 0.5 mass). %, A toluene solution containing 50% by mass of a nonvolatile component), and a resin varnish and an adhesive film were prepared in the same manner as in Example 1.

<実施例8>
フェノキシ樹脂(三菱化学(株)製「YL7553BH30」、固形分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)20部を、ポリビニルブチラール樹脂(ガラス転移温度105℃、積水化学工業(株)製「KS−1」、不揮発成分15質量%のエタノールとトルエンの1:1溶液)40部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 8>
20 parts of a phenoxy resin (“YL7553BH30” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, a 1: 1 solution of MEK having a solid content of 30% by mass and cyclohexanone) was mixed with a polyvinyl butyral resin (glass transition temperature 105 ° C., manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) KS-1 ", a resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1 except that the amount was changed to 40 parts (a 1: 1 solution of ethanol and toluene containing 15% by mass of a nonvolatile component).

<実施例9>
フェノキシ樹脂(三菱化学(株)製「YL7553BH30」、固形分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)20部を、酸無水物基含有ビニル系樹脂(CRAY VALLEY HSC社製「EF−30」、固形分50%のシクロヘキサノン溶液)12部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 9>
20 parts of a phenoxy resin (“YL7553BH30” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, a 1: 1 solution of MEK having a solid content of 30% by mass and cyclohexanone) was mixed with an acid anhydride group-containing vinyl resin (“EF-30” manufactured by CRAY VALLEY HSC). A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1 except that the amount was changed to 12 parts (cyclohexanone solution having a solid content of 50%).

<実施例10>
フェノキシ樹脂(三菱化学(株)製「YL7553BH30」、固形分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)20部を、ポリイミド樹脂(新日本理化(株)製「SN−20」、固形分20%のN−メチル−2−ピロリドン(NMP)溶液)30部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 10>
20 parts of a phenoxy resin (“YL7553BH30” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, a 1: 1 solution of MEK and cyclohexanone having a solid content of 30% by mass) were mixed with a polyimide resin (“SN-20” manufactured by Nippon Rika Co., Ltd.) A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1 except that the amount was changed to 30 parts of a 20% N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) solution).

<実施例11>
フェノキシ樹脂(三菱化学(株)製「YL7553BH30」、固形分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)20部を、ポリイミド樹脂(DIC(株)製「ユニディックV−8000」、不揮発成分40質量%のエチルジグリコールアセテート溶液)15部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 11>
20 parts of a phenoxy resin (“YL7553BH30”, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, a 1: 1 solution of MEK and cyclohexanone having a solid content of 30% by mass) were mixed with a polyimide resin (“Unidick V-8000”, manufactured by DIC Corporation), a nonvolatile component. A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1 except that the amount was changed to 15 parts of a 40% by mass ethyl diglycol acetate solution.

<実施例12>
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「828US」、エポキシ当量約180)10部を、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂((株)ダイセル製「セロキサイド 2021P」)10部に変更した以外は、実施例2と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 12>
10 parts of bisphenol A type epoxy resin ("828US" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent: about 180) was changed to 10 parts of an alicyclic epoxy resin having an ester skeleton ("CELLOXIDE 2021P" manufactured by Daicel Corporation). Except for the above, a resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 2.

<実施例13>
トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤(DIC(株)製「LA−3018−50P」、水酸基当量約151、固形分50%の2−メトキシプロパノール溶液)の配合量を5部に変更し、ベンゾオキサジン系硬化剤(四国化成工業(株)製「P−d」、固形分50%のシクロヘキサノン溶液)10部を追加した以外は、実施例2と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 13>
The blending amount of the triazine skeleton-containing phenolic curing agent (“LA-3018-50P” manufactured by DIC Corporation, a hydroxyl group equivalent of about 151, a 2-methoxypropanol solution having a solid content of 50%) was changed to 5 parts, and the benzoxazine-based A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 2, except that 10 parts of a curing agent ("P-d" manufactured by Shikoku Chemicals Co., Ltd., cyclohexanone solution having a solid content of 50%) was added.

<実施例14>
フェノキシ樹脂(三菱化学(株)製「YL7553BH30」、固形分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)20部を、合成例1のシロキサン骨格含有ポリイミド樹脂(固形分55質量%)10.9部に変更した以外は、実施例2と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 14>
9. 20 parts of a phenoxy resin (“YL7553BH30” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, a 1: 1 solution of MEK having a solid content of 30% by mass and cyclohexanone) was mixed with the siloxane skeleton-containing polyimide resin of Synthesis Example 1 (solid content: 55% by mass). A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 2 except that the amount was changed to 9 parts.

[合成例1]
環流冷却器を連結した水分定量受器、窒素導入管、攪拌器を備えた500mLのセパラブルフラスコに、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)20部、γ−ブチロラクトン70.9部、トルエン7部、ジアミノシロキサン(信越化学工業(株)製「X−22−9409」、アミン当量665)61.5部、2,6−ビス(1−ヒドロキシ−1−トリフルオロメチル−2,2,2−トリフルオロエチル)−1,5−ナフタレンジアミン(HFA−NAP)7.4部を加えて窒素気流下で45℃にて2時間攪拌して反応を行った。次いでこの反応溶液を昇温し、約160℃に保持しながら窒素気流下で縮合水をトルエンとともに共沸除去した。水分定量受器に所定量の水がたまっていること、水の流出が見られなくなっていることを確認したところでさらに昇温し、200℃で1時間攪拌した。その後冷却して終了とし、ヘキサフルオロイソプロパノール基(HFA基)を有するシロキサン骨格含有ポリイミド樹脂を55質量%含むワニスを作製した。この場合の、樹脂中のシロキサン構造の含有量は70.9質量%で、HFA基当量は2881g/molである。
[Synthesis Example 1]
20 parts of 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA) was placed in a 500 mL separable flask equipped with a water metering receiver connected to a reflux condenser, a nitrogen inlet tube and a stirrer, 70.9 parts of γ-butyrolactone, 7 parts of toluene, 61.5 parts of diaminosiloxane (“X-22-9409” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., amine equivalent: 665), 2,6-bis (1-hydroxy-1) -Trifluoromethyl-2,2,2-trifluoroethyl) -1,5-naphthalenediamine (HFA-NAP) (7.4 parts) was added, and the mixture was stirred at 45 ° C. for 2 hours under a nitrogen stream to carry out a reaction. Was. Then, the reaction solution was heated and condensed water was azeotropically removed together with toluene under a nitrogen stream while maintaining the temperature at about 160 ° C. When it was confirmed that a predetermined amount of water had accumulated in the water content receiver and no outflow of water was observed, the temperature was further increased and the mixture was stirred at 200 ° C. for 1 hour. Thereafter, the system was cooled to complete the process, and a varnish containing 55% by mass of a siloxane skeleton-containing polyimide resin having a hexafluoroisopropanol group (HFA group) was produced. In this case, the content of the siloxane structure in the resin was 70.9% by mass, and the HFA group equivalent was 2,881 g / mol.

<実施例15>
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「828US」、エポキシ当量約180)10部を、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「YL7760」、エポキシ当量約235)10部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 15>
10 parts bisphenol A type epoxy resin (Mitsubishi Chemical Corporation "828US", epoxy equivalent about 180) 10 parts bisphenol AF type epoxy resin (Mitsubishi Chemical Corporation "YL7760", epoxy equivalent about 235) 10 parts A resin varnish and an adhesive film were prepared in the same manner as in Example 1 except for performing the above.

<比較例1>
カルボジイミド化合物(日清紡ケミカル(株)製「V−03」、不揮発成分50質量%のトルエン溶液)20部を使用しなかった以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Comparative Example 1>
A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1, except that 20 parts of a carbodiimide compound ("V-03" manufactured by Nisshinbo Chemical Inc., a toluene solution of 50% by mass of a nonvolatile component) was not used.

<比較例2>
活性エステル化合物(DIC(株)製「HPC−8000−65T」、活性基当量約223、不揮発成分65質量%のトルエン溶液)20部を使用しなかった以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Comparative Example 2>
A resin was prepared in the same manner as in Example 1, except that 20 parts of an active ester compound (“HPC-8000-65T” manufactured by DIC Corporation, an active group equivalent of about 223, a toluene solution of a nonvolatile component of 65% by mass) was not used. A varnish and an adhesive film were produced.

<比較例3>
フェノキシ樹脂(三菱化学(株)製「YL7553BH30」、固形分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)20部を使用しなかった以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Comparative Example 3>
Resin varnish and adhesive film in the same manner as in Example 1 except that 20 parts of a phenoxy resin (“YL7553BH30” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, a 1: 1 solution of MEK having a solid content of 30% by mass and cyclohexanone) was not used. Was prepared.

<比較例4>
アミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SO−C2」)の配合量を40部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Comparative Example 4>
The amount of spherical silica (average particle size: 0.5 μm, “SO-C2” manufactured by Admatechs Co., Ltd.) surface-treated with an aminosilane-based coupling agent (“KBM573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) is adjusted to 40. A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1 except that the parts were changed to parts.

結果を表1に示す。   Table 1 shows the results.

Figure 2020033568
Figure 2020033568

Claims (18)

(A)エポキシ樹脂、(B)活性エステル化合物、(C)カルボジイミド化合物、(D)熱可塑性樹脂及び(E)無機充填材を含み、(E)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、40質量%以上である、樹脂組成物。   It contains (A) an epoxy resin, (B) an active ester compound, (C) a carbodiimide compound, (D) a thermoplastic resin, and (E) an inorganic filler, and the content of the (E) component is non-volatile in the resin composition. A resin composition, which has a content of 40% by mass or more when the component is 100% by mass. (D)成分の重量平均分子量が、10000〜200000である、請求項1に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, wherein the component (D) has a weight average molecular weight of 10,000 to 200,000. (D)成分が、酸素原子、窒素原子及び硫黄原子からなる群より選択される1種以上の原子又は炭素−炭素二重結合を含有する官能基を有する熱可塑性樹脂である、請求項1又は2に記載の樹脂組成物。   The component (D) is a thermoplastic resin having at least one atom selected from the group consisting of an oxygen atom, a nitrogen atom, and a sulfur atom or a functional group containing a carbon-carbon double bond. 3. The resin composition according to 2. (D)成分が、水酸基、カルボキシ基、酸無水物基、エポキシ基、アミノ基、チオール基、エノール基、エナミン基、ウレア基、シアネート基、イソシアネート基、チオイソシアネート基、ジイミド基、アルケニル基、アレン基及びケテン基からなる群より選択される1種以上の官能基を有する熱可塑性樹脂である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   (D) Component is a hydroxyl group, a carboxy group, an acid anhydride group, an epoxy group, an amino group, a thiol group, an enol group, an enamine group, a urea group, a cyanate group, an isocyanate group, a thioisocyanate group, a diimide group, an alkenyl group, The resin composition according to any one of claims 1 to 3, which is a thermoplastic resin having at least one functional group selected from the group consisting of an allene group and a ketene group. (D)成分が、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、酸無水物基含有ビニル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂及びスチレン系エラストマー樹脂からなる群より選択される1種以上の熱可塑性樹脂である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The component (D) is at least one thermoplastic resin selected from the group consisting of a phenoxy resin, a polyvinyl acetal resin, a vinyl resin containing an acid anhydride group, a polyimide resin, a polyamideimide resin, and a styrene-based elastomer resin. Item 5. The resin composition according to any one of Items 1 to 4. (C)成分の重量平均分子量が、500〜5000である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the component (C) has a weight average molecular weight of 500 to 5,000. (C)成分のNCO含有量が5質量%以下である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 6, wherein the NCO content of the component (C) is 5% by mass or less. (E)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、50質量%以上である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 7, wherein the content of the component (E) is 50% by mass or more when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass. (E)成分の平均粒子径が、0.01μm〜3μmである、請求項1〜8のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 8, wherein the component (E) has an average particle diameter of 0.01 µm to 3 µm. (E)成分がシリカである、請求項1〜9のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 9, wherein the component (E) is silica. さらに(F)硬化促進剤を含む、請求項1〜10のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 10, further comprising (F) a curing accelerator. (F)成分が、4−ジメチルアミノピリジン又は1−ベンジル−2−フェニルイミダゾールである、請求項11に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 11, wherein the component (F) is 4-dimethylaminopyridine or 1-benzyl-2-phenylimidazole. 樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成し、該絶縁層の表面を粗化処理した後の算術平均粗さ(Ra)が140nm以下である、請求項1〜12のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The arithmetic average roughness (Ra) after hardening a resin composition to form an insulating layer and subjecting the surface of the insulating layer to a roughening treatment is 140 nm or less, according to any one of claims 1 to 12. Resin composition. 樹脂組成物の硬化物の破断点伸度が2%以上である、請求項1〜13のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 13, wherein the cured product of the resin composition has an elongation at break of 2% or more. 樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度(Tg)が165℃以上である、請求項1〜14のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 14, wherein a cured product of the resin composition has a glass transition temperature (Tg) of 165 ° C or higher. 支持体と、該支持体と接合している請求項1〜15のいずれか1項に記載の樹脂組成物の層とを含む、接着フィルム。   An adhesive film comprising: a support; and a layer of the resin composition according to claim 1 bonded to the support. 請求項1〜15のいずれか1項に記載の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む、プリント配線板。   A printed wiring board comprising an insulating layer formed from a cured product of the resin composition according to claim 1. 請求項17に記載のプリント配線板を含む、半導体装置。   A semiconductor device comprising the printed wiring board according to claim 17.
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