JP2020024193A - ターゲット材料を照射するためのシステム - Google Patents
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Abstract
Description
− 前記ターゲット材料を照射するエネルギービームを通過させるためのビームラインチャネル軸X1に沿って延在するビームラインチャネル、
− ターゲット材料又はターゲット材料を裏打ちする基板を前記ビームラインチャネル軸X1に対する視射角で保持するためのターゲットホルダ、
− 前記ターゲットホルダを囲むためのハウジングであって、ハウジングが開放される場合にターゲット材料がターゲットホルダに挿入されるか又はそれから取り出され得るように開放可能であるハウジング、
− デグレーダフォイルであって、ターゲット材料の上流の前記エネルギービームのエネルギーを低下させるためにビームラインチャネルにわたって位置決めされるデグレーダフォイル、
− 照射中にターゲット材料が冷却され得るように、ターゲットホルダの近傍の冷却ダクト内において冷却流体を通過させるための少なくとも1つのターゲット冷却入口及び1つのターゲット冷却出口、
− 前記デグレーダフォイルの近傍において冷却ガスを通過させるための少なくとも1つのデグレーダフォイル冷却入口及び1つのデグレーダフォイル冷却出口
を含むカプセルに関する。
− 前記閉蓋部は、前記カプセルの後端部を形成するように前記ビームライン軸X1に対して前記ハウジングに同軸に締結可能であり、
− 前記ターゲットホルダは、前記閉蓋部が前記ハウジングに締結される場合、前記ターゲットホルダが前記ハウジングに挿入されるように前記閉蓋部に堅固に結合される。
− 上で検討したような少なくとも1つのカプセル、
− 前記回収施設に配置されるための受取ステーション、
− ビームライン軸に沿ったビームラインからエネルギービームを受け取るためのターゲット照射ステーション、
− 前記受取ステーションと前記ターゲット照射ステーションとの間で前記カプセルを搬送するための移送チューブを含む搬送システム
を含み、
− 前記搬送システムは、前記ターゲット照射ステーションに配置される第1のターミナルを含み、
− 前記ターゲット照射ステーションは、前記ターゲット材料を照射するための照射ユニットを含み、
− 前記照射ステーションは、第1のターミナルと照射ユニットとの間でカプセルを移送するための第1のアクチュエータと、カプセルを照射位置に固定するための第2のアクチュエータとを含み、
− 前記ターゲット照射ステーションは、ビームラインからのエネルギービームを狭めるためのコリメータを含み、
− 前記少なくとも1つのカプセルは、前記カプセルのビームラインチャネル軸X1が前記ビームラインと整列及び接続される照射位置で第2のアクチュエータによって照射ユニット内に固定され得、
− 前記ターゲット照射ステーションは、前記カプセルがその照射位置に固定される場合、前記カプセルのターゲット冷却入口及びターゲット冷却出口と流体連通する少なくとも1つのターゲット冷却入口ダクト及び1つのターゲット冷却出口ダクトを含み、
− 前記ターゲット照射ステーションは、前記カプセルがその照射位置に固定される場合、前記カプセルのデグレーダフォイル冷却入口及びデグレーダフォイル冷却出口と流体連通する少なくとも1つのデグレーダフォイル冷却入口ダクト及び1つのデグレーダフォイル冷却出口ダクトを含み、
− 前記受取ステーションは、前記搬送システムの第2のターミナルとして移送チューブに接続され、前記受取ステーションは、前記カプセルが前記受取ステーションから引き出され得るように開放可能である、システムにも関する。
− 前記カプセルのターゲット冷却入口は、前記カプセルの後端部に配置される円形入口であり、前記ターゲット冷却入口は、ビームラインチャネル軸X1と整列され、
− 前記カプセルのターゲット冷却出口は、前記カプセルの後端部に配置され、前記ターゲット冷却出口は、ビームラインチャネル軸X1を中心として配置される環状冷却出口であり、
− 前記照射ステーションのターゲット冷却入口ダクトは、前記カプセルのターゲット冷却入口の半径と一致する半径を有する円形形状を有する、ビームライン軸上に配置される端部を有し、
− 前記照射ステーションのターゲット冷却出口ダクトは、前記カプセルのターゲット冷却出口の半径と一致する半径を有する環状出口を有する、ビームライン軸上に配置される端部を有する。
− 前記カプセルのデグレーダフォイル冷却入口は、前記カプセルの前端部に配置される、半径R1を有する弧状入口であり、
− 前記カプセルのデグレーダフォイル冷却出口は、前記カプセルの前端部に配置される弧状出口であり、前記弧状出口は、半径R1と異なる半径R2を有し、
− 前記照射ステーションのデグレーダフォイル冷却入口ダクトは、前記カプセルの弧状入口の半径R1に一致する半径を有する、ビームライン軸を中心とする環状形状を有する端部を有し、
− 前記照射ステーションのデグレーダフォイル冷却出口ダクトは、前記カプセルの弧状出口の半径R2に一致する半径を有する、ビームライン軸を中心とする環状形状を有する端部を有する。
− 前記ターゲット材料2を照射するエネルギービームを通過させるためのビームラインチャネル軸X1に沿って延在するビームラインチャネル4、
− ターゲット材料2又はターゲット材料2を裏打ちする基板2aを前記ビームラインチャネル軸X1に対する視射角で保持するためのターゲットホルダ1、
− 前記ターゲットホルダ1を囲むためのハウジング3であって、ハウジング3が開放される場合にターゲット材料2がターゲットホルダ1に挿入されるか又はそれから取り出されるように開放可能であるハウジング3、
− 少なくとも1つのデグレーダフォイル5a、5b、5cであって、ターゲット材料2の上流のエネルギービームのエネルギーを低下させるためにビームラインチャネル4にわたって位置決めされる少なくとも1つのデグレーダフォイル5a、5b、5c、
− 照射中にターゲット材料2が冷却され得るように、ターゲットホルダ1の近傍の冷却ダクト6内において冷却流体を通過させるための少なくとも1つのターゲット冷却入口14及び1つのターゲット冷却出口15、
− 少なくとも1つのデグレーダフォイル5a、5b、5cの近傍において冷却ガスを通過させるための少なくとも1つのデグレーダフォイル冷却入口20及び1つのデグレーダフォイル冷却出口21
を含む。
− 上で検討したような少なくとも1つのカプセル、
− 回収施設9に配置されるための受取ステーション8、
− 図4に示すような、ビームライン軸に沿ったビームラインからエネルギービームを受け取るためのターゲット照射ステーション10、
− 前記受取ステーション8と前記ターゲット照射ステーション10との間で前記カプセルを搬送するための移送チューブ12を含む搬送システム11
を含み、
− 搬送システム11は、ターゲット照射ステーション10に配置される第1のターミナル16を含み、
− ターゲット照射ステーション10は、ターゲット材料2を照射するための照射ユニット17を含み、
− 照射ステーション10は、第1のターミナル16と照射ユニット17との間でカプセルを移送するための第1のアクチュエータ34と、カプセルを照射位置に固定するための第2のアクチュエータ18とを含み、
− ターゲット照射ステーション10は、ビームラインからのエネルギービームを狭めるためのコリメータ19を含み、
− 少なくとも1つのカプセルは、前記カプセルのビームラインチャネル軸X1がビームラインと整列及び接続される照射位置で第2のアクチュエータ18によって照射ユニット17内に固定され得、
− ターゲット照射ステーション10は、カプセルがその照射位置に固定される場合、カプセルのターゲット冷却入口14及びターゲット冷却出口15と流体連通するターゲット冷却入口ダクト22及びターゲット冷却出口ダクト23を含み、
− ターゲット照射ステーション10は、カプセルがその照射位置に固定される場合、カプセルのデグレーダフォイル冷却入口20及びデグレーダフォイル冷却出口21と流体連通するデグレーダフォイル冷却入口ダクト24及びデグレーダフォイル冷却出口ダクト25を含み、
− 受取ステーション8は、搬送システム11の第2のターミナルとして移送チューブ12に接続され、受取ステーション8は、カプセルが受取ステーション8から引き出され得るように開放可能である、システムにも関する。
・カプセルが回収施設9から照射ステーション10に移送される必要がある場合、第1の三方弁29の大気ポートが閉じられる一方、第1の吸引チューブ26が送風機28と流体連通する。一方、第2の三方弁30の送風機ポートが閉じられる一方、第2の吸引チューブ27が雰囲気と流体連通する。その結果、空気は、送風機28を通して第1の吸引チューブ26から吸い出される。吸引チューブ26内のこの減圧は、回収施設9から照射ステーション10への移送チューブ12内のカプセルの移動と、同時に雰囲気から第2の吸引チューブ27内への空気吸引とを生じる。
・カプセルが照射ステーション10から回収施設9に移送される必要がある場合、第2の三方弁30の大気ポートが閉じられる一方、第2の吸引チューブ27が送風機28と流体連通する。一方、第1の三方弁29の送風機ポートが閉じられる一方、吸引チューブ26が雰囲気と流体連通する。その結果、空気は、送風機28を通して第2の吸引チューブ27から吸い出される。吸引チューブ27内のこの減圧は、照射ステーション10から回収施設への移送チューブ12内のカプセルの移動と、同時に雰囲気から第1の吸引チューブ26内への空気吸引とを生じる。
・ビームラインチャネル軸X1は、ビームラインと整列及び接続され、
・ターゲット冷却入口ダクト22及びターゲット冷却出口ダクト23は、カプセルのターゲット冷却入口14及びターゲット冷却出口15と流体連通し、
・デグレーダフォイル冷却入口ダクト24及びデグレーダフォイル冷却出口ダクト25は、前記カプセルのデグレーダフォイル冷却入口20及びデグレーダフォイル冷却出口21と流体連通する。
2 ターゲット材料
2a 基板
3 ハウジング
3a 支持体
4 ビームラインチャネル
5a、5b、5c デグレーダフォイル
6 冷却ダクト
7 閉蓋部
8 受取ステーション
9 ホットセル
10 照射ステーション
11 搬送システム
12 前端部
13 後端部
14 ターゲット冷却入口
15 ターゲット冷却出口
16 第1のターミナル
17 照射ユニット
18 第2のアクチュエータ
19 コリメータ
20 デグレーダフォイル冷却入口
21 デグレーダフォイル冷却出口
22 ターゲット冷却入口ダクト
23 ターゲット冷却出口ダクト
24 デグレーダフォイル冷却入口ダクト
25 デグレーダフォイル冷却出口ダクト
26 第1の吸引チューブ
27 第2の吸引チューブ
28 送風機
29 第1の三方弁
30 第2の三方弁
31 本体
32 第1の弁
33 第2の弁
34 第1のアクチュエータ
35 載置台
36 コリメータ冷却入口ダクト
37 コリメータ冷却出口ダクト
38 ビームライン
39 エネルギービーム発生器
Claims (15)
- ターゲット照射ステーションとホットセル等の回収ステーションとの間の搬送システムにおいてターゲット材料(2)を移送するためのカプセルにおいて、
− 前記ターゲット材料(2)を照射するエネルギービームを通過させるためのビームラインチャネル軸X1に沿って延在するビームラインチャネル(4)、
− 前記ターゲット材料(2)又は前記ターゲット材料(2)を裏打ちする基板を前記ビームラインチャネル軸X1に対する視射角で保持するためのターゲットホルダ(1)、
− 前記ターゲットホルダ(1)を囲むためのハウジング(3)であって、前記ハウジング(3)が開放される場合に前記ターゲット材料(2)が前記ターゲットホルダ(1)に挿入されるか又はそれから取り出され得るように開放可能であるハウジング(3)、
− デグレーダフォイル(5a、5b、5c)であって、前記ターゲット材料(2)の上流の前記エネルギービームのエネルギーを低下させるために前記ビームラインチャネル(4)にわたって位置決めされるデグレーダフォイル(5a、5b、5c)、
− 前記照射中に前記ターゲット材料(2)が冷却され得るように、前記ターゲットホルダの近傍のターゲット冷却ダクト(6)内において冷却流体を通過させるための少なくとも1つのターゲット冷却入口(14)及び1つのターゲット冷却出口(15)、
− 前記デグレーダフォイル(5a、5b、5c)の近傍において冷却ガスを通過させるための少なくとも1つのデグレーダフォイル冷却入口(20)及び1つのデグレーダフォイル冷却出口(21)
を含むことを特徴とするカプセル。 - 請求項1に記載のカプセルにおいて、前記視射角は、10°〜90°に含まれることを特徴とするカプセル。
- 請求項1又は2に記載のカプセルにおいて、前記ビームラインチャネル軸X1を中心とする回転の寸法形状によって画定される形状を有し、前端部(12)と後端部(13)とを含み、前記ビームラインチャネル(4)は、前記前端部(12)から前記ターゲットホルダ(1)まで前記カプセルの内側で延在することを特徴とするカプセル。
- 請求項3に記載のカプセルにおいて、前記ターゲット冷却入口(14)は、前記カプセルの前記後端部(13)に配置され、前記ターゲット冷却入口は、前記ビームラインチャネル軸X1と整列されることを特徴とするカプセル。
- 請求項3又は4に記載のカプセルにおいて、前記ターゲット冷却出口(15)は、前記カプセルの前記後端部(13)に配置され、前記ターゲット冷却出口(15)は、前記ビームラインチャネル軸X1を中心として配置される環状冷却出口であることを特徴とするカプセル。
- 請求項1乃至5の何れか1項に記載のカプセルにおいて、前記ハウジングは、閉蓋部(7)を含み、
− 前記閉蓋部(7)は、前記カプセルの前記後端部(13)を形成するように前記ビームライン軸X1に対して前記ハウジング(3)に同軸に締結可能であり、
− 前記ターゲットホルダ(1)は、前記閉蓋部(7)が前記ハウジング(3)に締結される場合、前記ターゲットホルダ(1)が前記ハウジング(3)に挿入されるように前記閉蓋部(7)に堅固に結合されることを特徴とするカプセル。 - 請求項1乃至6の何れか1項に記載のカプセルにおいて、前記ターゲット冷却ダクト(6)は、前記冷却流体が前記ターゲット材料(2)又は前記ターゲットホルダ(1)に保持される前記ターゲット材料を裏打ちする前記基板と熱的に接触することができるように構成されることを特徴とするカプセル。
- ターゲット照射ステーション(10)においてターゲット材料を照射し、且つ前記ターゲット照射ステーション(10)とホットセル(9)等の回収施設との間で前記照射されたターゲット材料を移送するためのシステムにおいて、
− 請求項1乃至7の何れか1項に記載の少なくとも1つのカプセル、
− 前記回収施設(9)に配置されるための受取ステーション(8)、
− ビームライン軸に沿ったビームラインからエネルギービームを受け取るためのターゲット照射ステーション(10)、
− 前記受取ステーション(8)と前記ターゲット照射ステーション(10)との間で前記カプセルを搬送するための移送チューブ(12)を含む搬送システム(11)
を含み、
− 前記搬送システム(11)は、前記ターゲット照射ステーション(10)に配置される第1のターミナル(16)を含み、
− 前記ターゲット照射ステーション(10)は、前記ターゲット材料(2)を照射するための照射ユニット(17)を含み、
− 前記照射ステーションは、前記第1のターミナル(16)と前記照射ユニット(17)との間で前記カプセルを移送するための第1のアクチュエータ(34)と、前記カプセルを照射位置に固定するための第2のアクチュエータ(18)とを含み、
− 前記ターゲット照射ステーション(10)は、前記ビームラインからの前記エネルギービームを狭めるためのコリメータ(19)を含み、
− 前記少なくとも1つのカプセルは、前記カプセルの前記ビームラインチャネル軸X1が前記ビームラインと整列及び接続される照射位置で前記第2のアクチュエータ(18)によって前記照射ユニット(17)内に固定され得、
− 前記ターゲット照射ステーション(10)は、前記カプセルがその照射位置に固定される場合、前記カプセルの前記ターゲット冷却入口(14)及び前記ターゲット冷却出口(15)と流体連通する少なくとも1つのターゲット冷却入口ダクト及び1つのターゲット冷却出口ダクトを含み、
− 前記ターゲット照射ステーション(10)は、前記カプセルがその照射位置に固定される場合、前記カプセルの前記デグレーダフォイル冷却入口(20)及び前記デグレーダフォイル冷却出口(21)と流体連通する少なくとも1つのデグレーダフォイル冷却入口ダクト及び1つのデグレーダフォイル冷却出口ダクトを含み、
− 前記受取ステーション(8)は、前記搬送システム(11)の第2のターミナルとして前記移送チューブ(12)に接続され、前記受取ステーション(8)は、前記カプセルが前記受取ステーション(8)から引き出され得るように開放可能であることを特徴とするシステム。 - 請求項8に記載のシステムにおいて、前記搬送システム(11)は、空気圧システムであることを特徴とするシステム。
- 請求項9に記載のシステムにおいて、前記搬送システム(11)は、真空空気圧システムであることを特徴とするシステム。
- 請求項8乃至10の何れか1項に記載のシステムにおいて、前記受取ステーション(8)は、前記第2のターミナルが前記搬送システム(11)と前記回収施設(9)との間のエアロックとして使用され得るようにゲート弁を通して前記移送チューブ(12)に接続されることを特徴とするシステム。
- 請求項8乃至11の何れか1項に記載のシステムにおいて、前記照射ステーション(10)の前記ターゲット冷却入口ダクト(22)及び前記ターゲット冷却出口ダクト(23)並びに前記カプセルの前記ターゲット冷却入口(14)及び前記ターゲット冷却出口(15)は、前記照射ステーション(10)の前記ターゲット冷却入口ダクト(22)が前記カプセルの前記ターゲット冷却入口(14)と流体連通するように、且つ前記カプセルが前記照射位置に固定される場合、前記照射ステーション(10)の前記ターゲット冷却出口ダクト(23)が、前記ビームラインチャネル軸X1に対する前記カプセルと前記照射ユニット(17)との間の相対的な角度向きに関係なく、前記カプセルの前記ターゲット冷却出口(15)と流体連通するように構成されることを特徴とするシステム。
- 請求項12に記載のシステムにおいて、
− 前記カプセルの前記ターゲット冷却入口(14)は、前記カプセルの前記後端部(13)に配置される円形入口であり、前記ターゲット冷却入口(14)は、前記ビームラインチャネル軸X1と整列され、
− 前記カプセルの前記ターゲット冷却出口(15)は、前記カプセルの前記後端部(13)に配置され、前記ターゲット冷却出口(15)は、前記ビームラインチャネル軸X1を中心として配置される環状冷却出口であり、
− 前記照射ステーション(10)の前記ターゲット冷却入口ダクト(22)は、前記カプセルの前記ターゲット冷却入口(14)の半径と一致する半径を有する円形形状を有する、前記ビームライン軸上に配置される端部を有し、
− 前記照射ステーション(10)の前記ターゲット冷却出口ダクトは、前記カプセルの前記ターゲット冷却出口(15)の半径と一致する半径を有する環状出口を有する、前記ビームライン軸上に配置される端部を有することを特徴とするシステム。 - 請求項8乃至13の何れか1項に記載のシステムにおいて、前記照射ステーション(10)の前記デグレーダフォイル冷却入口ダクト(24)及び前記デグレーダフォイル冷却出口ダクト(25)並びに前記カプセルの前記デグレーダフォイル冷却入口(20)及び前記デグレーダフォイル冷却出口(21)は、前記照射ステーション(10)の前記デグレーダフォイル冷却入口ダクト(24)が前記カプセルの前記デグレーダフォイル冷却入口(20)と流体連通するように、且つ前記カプセルが前記照射位置に固定される場合、前記照射ステーション(10)の前記少なくとも1つのデグレーダフォイル冷却出口ダクト(25)が、前記ビームラインチャネル軸X1に対する前記カプセルと前記照射ユニット(17)との間の相対的な角度向きに関係なく、前記カプセルの前記デグレーダフォイル冷却出口(21)と流体連通するように構成されることを特徴とするシステム。
- 請求項8乃至14の何れか1項に記載のシステムにおいて、
− 前記カプセルの前記デグレーダフォイル冷却入口(20)は、前記カプセルの前記前端部(12)に配置される、半径R1を有する弧状入口であり、
− 前記カプセルの前記デグレーダフォイル冷却出口(21)は、前記カプセルの前記前端部(12)に配置される弧状出口であり、前記弧状出口は、前記半径R1と異なる半径R2を有し、
− 前記照射ステーション(10)の前記デグレーダフォイル冷却入口ダクト(24)は、前記カプセルの前記弧状入口(20)の前記半径R1に一致する半径を有する、前記ビームライン軸を中心とする環状形状を有する端部を有し、
− 前記照射ステーション(10)の前記デグレーダフォイル冷却出口ダクト(25)は、前記カプセルの前記弧状出口(21)の前記半径R2に一致する半径を有する、前記ビームライン軸を中心とする環状形状を有する端部を有することを特徴とするシステム。
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