JP2020019197A - パターン転写装置およびパターン転写装置の制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】パターンの転写の精度が低下するのを抑制することができるパターン転写装置およびパターン転写装置の制御方法を得る。【解決手段】パターン転写装置は、基材の第一面に塗工された光硬化性樹脂に、パターンを転写する転写ロールと、光硬化性樹脂が塗工された基材の第二面を転写ロールに向けて押圧する押圧ロールと、光硬化性樹脂が硬化された基材を転写ロールから剥離させる剥離ロールと、剥離ロールを回転させる駆動源と、基材の剥離ロールに押圧されている部分の弛みを検出する検出部と、転写ロールと押圧ロールとの間に隙間が有る状態において検出部が弛みを検出した場合は、剥離ロールの回転速度が速くなるように駆動源を制御する制御部と、を備えている。【選択図】図９

Description

本発明の実施形態は、パターン転写装置およびパターン転写装置の制御方法に関する。

従来、搬送される基材の第一面に光硬化性樹脂を塗工機構によって塗工し、転写ロールの外周面に設けられたパターンを転写ロールによって光硬化性樹脂に転写し、パターンが転写された光硬化性樹脂に光照射装置によって光を照射することにより当該光硬化性樹脂を硬化させる、パターン転写装置が知られている（例えば、特許文献１）。この種の転写装置には、転写ロールに向けて基材を押圧する押圧ロールと、塗工された光硬化性樹脂が硬化された基材を転写ロールから剥離させる剥離ロールと、が設けられている。

特開２０１３−３５２４３号公報

従来技術においては、光硬化性樹脂の重合熱や光照射装置の光の熱によって基材が伸びることにより、基材における転写ロールに押圧されている部分に弛みが発生する虞がある。また、このような基材の延びは、転写ロールの外周面に歪みが有ったり外周面の円筒度が高い場合等にも発生する虞がある。弛みが、塗工された光硬化性樹脂に光が照射される基材の部分に移動したり当該部分に発生したりすると、光硬化性樹脂の硬化が阻害され、パターンの転写の精度が低下する虞がある。

本発明が解決しようとする課題は、パターンの転写の精度が低下するのを抑制することができるパターン転写装置およびパターン転写装置の制御方法を得ることである。

実施形態のパターン転写装置は、第一面と前記第一面とは反対側の第二面とを有した基材を当該基材の長手方向に搬送する搬送機構と、前記搬送機構によって搬送される前記基材の前記第一面に光硬化性樹脂を塗工する塗工機構と、パターンが設けられた外周面を有し、当該外周面に前記光硬化性樹脂が接した状態で前記光硬化性樹脂が塗工された前記基材が巻き掛けられて回転し、当該光硬化性樹脂に前記パターンを転写する転写ロールと、前記光硬化性樹脂が塗工された前記基材の前記第二面を前記転写ロールに向けて押圧する押圧ロールと、前記パターンが転写された前記光硬化性樹脂に光を照射することにより当該光硬化性樹脂を硬化させる光照射装置と、前記光照射装置により前記光硬化性樹脂が硬化された前記基材を前記転写ロールから剥離させる剥離ロールと、前記剥離ロールを回転させる駆動源と、前記基材のうち前記転写ロールに押圧されている部分の弛みを検出する検出部と、前記転写ロールと前記押圧ロールとの間に隙間が有る状態において前記検出部が前記弛みを検出した場合は、前記剥離ロールの回転速度が速くなるように前記駆動源を制御する制御部と、を備えている。

図１は、実施形態のパターン転写装置の構成図である。 図２は、実施形態の転写ロールおよび押圧ロールの一部を示す図であって、転写ロールと押圧ロールとの間に隙間が有る第一状態を示す図である。 図３は、実施形態の転写ロールおよび押圧ロールの一部を示す図であって、転写ロールと押圧ロールとの間に隙間が無い第二状態を示す図である。 図４は、実施形態のパターン転写装置のブロック図である。 図５は、実施形態のパターン転写装置の制御装置の機能的構成を示したブロック図である。 図６は、実施形態のパターン転写装置の転写機構の構成図であって、押圧ロールが第一状態の場合に帯状フィルムに弛みが発生した状態を示す図である。 図７は、実施形態のパターン転写装置の転写機構の構成図であって、押圧ロールが第二状態の場合に帯状フィルムに弛みが発生した状態を示す図である。 図８は、実施形態のパターン転写装置の転写機構の構成図であって、図７の状態から剥離ロールが移動されることにより弛みが解消された状態を示す図である。 図９は、実施形態のパターン転写装置の制御装置が実行する弛み対応処理を示すフローチャートである。

以下、本発明の例示的な実施形態が開示される。以下に示される実施形態の構成、ならびに当該構成によってもたらされる作用および効果は、一例である。なお、本明細書では、序数は、部品や部材を区別するためだけに用いられており、順番や優先度を示すものではない。

図１は、パターン転写装置１の構成図である。パターン転写装置１の処理対象物は、略一定の幅を有した長尺状の帯状フィルム１００である。帯状フィルム１００は、表面１００ａと当該表面１００ａとは反対側の裏面１００ｂとを有している。帯状フィルム１００は、例えば、合成樹脂材料によって構成されるが、これには限定されない。帯状フィルム１００は、ウエブとも称されうる。帯状フィルム１００は、基材の一例であり、表面１００ａは、第一面の一例であり、裏面１００ｂは、第二面の一例である。

パターン転写装置１は、帯状フィルム１００をその長手方向に連続的にあるいは断続的に搬送しながら、所定位置で表面１００ａに処理を施すことにより、表面１００ａ上に、その長手方向に渡って、凹凸形状が転写される樹脂層１００ｃを形成する。以降では、凹凸形状の転写前の樹脂層１００ｃを塗工層１００ｃａとも称し、凹凸形状の転写後の樹脂層１００ｃを成形層１００ｃｂとも称する。樹脂層１００ｃにおける帯状フィルム１００とは反対側の面が、樹脂層１００ｃの表面１００ｇである。帯状フィルム１００と樹脂層１００ｃとによってシート１０１が構成される。シート１０１の表面１０１ａは、樹脂層１００ｃの表面１００ｇによって構成され、シート１０１の裏面１０１ｂは、帯状フィルム１００の裏面１００ｂによって構成される。表面１００ａは、処理面とも称され、裏面１００ｂは、非処理面とも称されうる。

図１に示されるように、パターン転写装置１は、繰出機構１０、巻取機構２０、塗工機構３０、転写機構４０、および光照射装置５０を備えている。繰出機構１０および巻取機構２０は、帯状フィルム１００を当該帯状フィルム１００の長手方向に搬送する搬送機構を構成している。帯状フィルム１００は、繰出機構１０と巻取機構２０との間で、当該繰出機構１０および巻取機構２０によって搬送されるとともに、塗工機構３０、転写機構４０、および光照射装置５０によって処理される。よって、塗工機構３０、転写機構４０、および光照射装置５０は、処理機構とも称されうる。

繰出機構１０は、繰出軸１１および繰出モータ１２を有している。繰出軸１１には、未処理の帯状フィルム１００が巻き付けられている。繰出モータ１２は、繰出軸１１を駆動する駆動源である。制御装置８０（図４）によって制御された繰出モータ１２が繰出軸１１を中心軸Ｃ１回りに回転させるのに伴い、繰出軸１１に巻き付けられた帯状フィルム１００が、帯状フィルム１００の搬送方向の前方（図１では右方）に繰り出される。以後、帯状フィルム１００の搬送方向を単に搬送方向とも称する。

巻取機構２０は、巻取軸２１および巻取モータ２２を有している。巻取軸２１は、円筒状の形状を有している。巻取モータ２２は、巻取軸２１を駆動する駆動源である。制御装置８０によって制御された巻取モータ２２が巻取軸２１を中心軸Ｃ２回りに回転させるのに伴い、処理済の帯状フィルム１００が、すなわち表面１００ａ上に成形層１００ｃｂを有した帯状フィルム１００が、巻取軸２１に巻き取られる。制御装置８０が繰出モータ１２および巻取モータ２２を制御することにより、帯状フィルム１００に所定の張力が与えられるとともに、帯状フィルム１００が所定の速度で搬送される。

塗工機構３０は、繰出機構１０と転写機構４０との間に位置され、帯状フィルム１００の表面１００ａ上に、例えば、略一定の厚さの塗工層１００ｃａを塗工する。塗工層１００ｃａは、例えば紫外線のような光の照射によって硬化する光硬化性を有した合成樹脂材料である。塗工機構３０は、合成樹脂材料を、送液ポンプによって帯状フィルム１００の表面１００ａ上に送り出す。送液ポンプは、例えば定量ポンプである。塗工層１００ｃａは、塗工機構３０により塗工された段階では、未感光であり、比較的柔軟な状態である。成形層１００ｃｂは、光硬化性樹脂層や、感光性樹脂とも称されうる。塗工層１００ｃａ、すなわち樹脂層１００ｃは、光硬化性樹脂の一例である。

転写機構４０は、転写ロール４１、押圧ロール４２、剥離ロール４３、転写モータ４４、および剥離モータ４５を有している。転写ロール４１、押圧ロール４２、および剥離ロール４３は、それぞれ円筒状の形状を有しており、互いに平行に配置されている。転写モータ４４は、転写ロール４１を回転させる駆動源である。剥離モータ４５は、剥離ロール４３を回転させる駆動源である。転写モータ４４、剥離モータ４５は、例えば速度制御可能なＡＣサーボモータである。

押圧ロール４２および剥離ロール４３は、それぞれ、転写ロール４１と間隔Ｉ１，Ｉ２を空けて配置されている。剥離ロール４３は、押圧ロール４２よりも帯状フィルム１００の搬送方向の前方に位置されている。帯状フィルム１００は、繰出軸１１と押圧ロール４２との間において所要の張力が与えられた状態で架け渡され、押圧ロール４２と剥離ロール４３との間で転写ロール４１の外周面４１ａの回りに巻き掛けられるとともに、剥離ロール４３と巻取軸２１との間においても所要の張力が与えられた状態で架け渡されている。押圧ロール４２および剥離ロール４３は、それぞれ、帯状フィルム１００の裏面１００ｂを支持している。帯状フィルム１００の搬送に伴い、当該帯状フィルム１００のうち塗工機構３０によって塗工層１００ｃａが塗工された部分は、押圧ロール４２に近付き、押圧ロール４２の外周に沿って移動し、転写ロール４１と押圧ロール４２との間を通り、転写ロール４１の外周面４１ａに沿って移動し、転写ロール４１と剥離ロール４３との間を通り、剥離ロール４３の外周に沿って移動し、剥離ロール４３から離間して、巻取軸２１に移動する。

転写ロール４１は、制御装置８０によって制御された転写モータ４４によって中心軸Ｃ３回りに回転可能に設けられる。パターン転写装置１において、制御装置８０は、転写ロール４１が例えば回転速度が一定のような所定の回転状態で回転するよう、転写モータ４４を制御する。また、このとき、制御装置８０は、帯状フィルム１００の張力に応じて繰出モータ１２および巻取モータ２２に作用する負荷が略一定となるように、繰出モータ１２および巻取モータ２２を制御する。また、押圧ロール４２および剥離ロール４３は、それぞれ、中心軸Ｃ３と平行な中心軸Ｃ４，Ｃ５回りに回転可能に設けられている。制御装置８０は、通常時には、剥離モータ４５を駆動しない。よって、この場合、剥離ロール４３は、剥離モータ４５により回転される主動ロールではなく、帯状フィルム１００の移動に伴って回転する従動ロールとして動作する。この場合には、剥離ロール４３の周速度は、転写ロール４１の周速度と同一である。剥離ロール４３の回転方向は、転写ロール４１の回転方向と反対である。また、押圧ロール４２は、モータにより回転される主動ロールではなく、帯状フィルム１００の移動に伴って回転する従動ロールである。よって、押圧ロール４２の周速度は、転写ロール４１と同一である。押圧ロール４２の回転方向は、転写ロール４１の回転方向と反対である。

転写ロール４１の外周面４１ａには、凹凸形状のパターン４１ｂが設けられている。なお、表面１００ａ上に樹脂層１００ｃが塗工された帯状フィルム１００は、押圧ロール４２と剥離ロール４３との間において、樹脂層１００ｃが外周面４１ａに接する姿勢で転写ロール４１に巻き掛けられる。このため、押圧ロール４２の外周面４２ａおよび剥離ロール４３の外周面４３ａは、帯状フィルム１００の裏面１００ｂすなわちシート１０１の裏面１０１ｂと接する。樹脂層１００ｃが塗工された帯状フィルム１００は、剥離ロール４３と巻取軸２１との間において所要の張力が与えられた状態で架け渡されている。この状態で、押圧ロール４２は、帯状フィルム１００の裏面１００ｂを転写ロール４１の外周面４１ａに押圧している。これにより、樹脂層１００ｃが外周面４１ａのパターン４１ｂに倣って変形し、樹脂層１００ｃにパターン４１ｂが転写される。すなわち、樹脂層１００ｃが、塗工層１００ｃａから成形層１００ｃｂに変化する。ここで、パターン４１ｂの転写において、転写ロール４１のパターン４１ｂの凸部が樹脂層１００ｃに食い込んで帯状フィルム１００の表面１００ａと接した場合には、帯状フィルム１００の表面１００ａにおけるパターン４１ｂの凸部と接した部分は、樹脂層１００ｃによって覆われていないため、シート１０１の表面１０１ａの一部を構成する。

また、上述したように、帯状フィルム１００は、剥離ロール４３と巻取軸２１との間において所要の張力が与えられた状態で架け渡されており、このため、剥離ロール４３に押し付けられている。よって、帯状フィルム１００は、転写ロール４１と剥離ロール４３との間よりも搬送方向の前方においては、転写ロール４１から離間し、剥離ロール４３に沿って移動する。すなわち、剥離ロール４３は、帯状フィルム１００の搬送方向を屈曲させることにより、成形層１００ｃｂが硬化された帯状フィルム１００を転写ロール４１から剥離させる。

また、転写機構４０は、押圧ロール４２を移動させる押圧ロール用移動機構４６と、剥離ロール４３を移動させる剥離ロール用移動機構４７と、を有している。剥離ロール用移動機構４７は、移動機構の一例である。

押圧ロール用移動機構４６は、モータ４６ａおよびボールネジ４６ｂを有している。押圧ロール用移動機構４６は、押圧ロール４２の位置を調整することにより、押圧ロール４２と転写ロール４１との間隔Ｉ１を調整可能である。押圧ロール用移動機構４６は、モータ４６ａの回転運動を、ボールネジ４６ｂによって、間隔Ｉ１が変わる方向（図１では左右方向）の押圧ロール４２の直線運動に変換する。モータ４６ａは、転写ロール４１を移動させる駆動源であり、例えばＡＣサーボモータである。

剥離ロール用移動機構４７は、モータ４７ａおよびボールネジ４７ｂを有している。剥離ロール用移動機構４７は、剥離ロール４３の位置を調整することにより、剥離ロール４３と転写ロール４１との間隔Ｉ２を調整可能である。剥離ロール用移動機構４７は、モータ４７ａの回転運動を、ボールネジ４７ｂによって、間隔Ｉ２が変わる方向（図１では左右方向）の剥離ロール４３の直線運動に変換する。モータ４７ａは、剥離ロール４３を移動させる駆動源であり、例えばＡＣサーボモータである。

剥離ロール用移動機構４７は、通常時は、転写ロール４１と剥離ロール４３との間に隙間が無い状態となるように、剥離ロール４３を位置させている。転写ロール４１と剥離ロール４３との間に隙間が無い状態とは、転写ロール４１の中心軸Ｃ３と剥離ロール４３の中心軸Ｃ５との間において、転写ロール４１の外周面４１ａとシート１０１の表面１０１ａとの間、および、剥離ロール４３の外周面４３ａとシート１０１の裏面１０１ｂとの間の両方に、隙間が無い状態をいう。

転写ロール４１と剥離ロール４３との間に隙間が無い状態は、転写ロール４１と剥離ロール４３とによってシート１０１が挟まれている状態、すなわち転写ロール４１と剥離ロール４３とによって帯状フィルム１００が挟まれている状態である。転写ロール４１の外周面４１ａにおけるシート１０１の表面１０１ａと接している部分と、剥離ロール４３の外周面４３ａにおけるシート１０１の裏面１０１ｂと接している部分とは、ニップ部を構成している。

光照射装置５０は、転写ロール４１の外側において、転写ロール４１の外周面４１ａに重ねられた帯状フィルム１００と間隔を空けて対向する位置に配置されている。帯状フィルム１００は、樹脂層１００ｃを硬化させる光について透過性を有している。よって、光照射装置５０からの光は帯状フィルム１００を介して樹脂層１００ｃに照射される。当該光によって、転写ロール４１の外周面４１ａ回りに巻き掛けられている樹脂層１００ｃが硬化する。当該光は、例えば紫外線である。未露光の樹脂層１００ｃが形成された帯状フィルム１００、および露光されることにより硬化した成形層１００ｃｂを有した帯状フィルム１００は、転写ロール４１、剥離ロール４３、および巻取軸２１の外周に略倣いうる可撓性を有している。

また、パターン転写装置１には、センサ７０が設けられている。センサ７０は、当該センサ７０と帯状フィルム１００との間の距離を計測する距離センサである。例えば、センサ７０は、当該センサ７０と帯状フィルム１００の裏面１００ｂとの間の距離を非接触で計測可能なレーザ変位計等である。詳細には、センサ７０は、帯状フィルム１００のうち転写ロール４１に押圧されている部分１００ｄのうち、光照射装置５０からの光が照射される部分と剥離ロール４３に支持される部分との間の帯状フィルム１００の部分１００ｅ、と間隔を空けて対向している。すなわち、センサ７０は、当該センサ７０と、上記帯状フィルム１００の部分１００ｅの裏面１００ｂとの間の距離を検出する。なお、センサ７０は、帯状フィルム１００のうち転写ロール４１に押圧されている部分１００ｄのうち、光照射装置５０からの光が照射される部分と剥離ロール４３に支持される部分との間の部分１００ｅ以外の部分の裏面１００ｂと、当該センサ７０との間の距離を検出してもよい。センサ７０は、当該センサ７０と当該部分１００ｅとの間の距離を計測し、計測した距離を示す距離情報を制御装置８０に送信する。ここで、帯状フィルム１００のうち転写ロール４１に押圧されている部分１００ｄは、帯状フィルム１００のうち転写ロール４１に沿う部分である。以後、帯状フィルム１００のうち転写ロール４１に押圧されている部分１００ｄを被押圧部分１００ｄとも称する。

このような構成のパターン転写装置１は、転写ロール４１と押圧ロール４２との間に隙間が有る第一状態と、転写ロール４１と押圧ロール４２との間に隙間が無い第二状態とのいずれかの状態で使用される。すなわち、押圧ロール４２は、第一状態と第二状態とを切り替え可能である。第一状態および第二状態は、帯状フィルム１００の厚さや帯状フィルム１００に塗工される樹脂層１００ｃの厚さに応じて使い分けられる。例えば、パターン４１ｂが大きく樹脂層１００ｃの厚さが比較的厚い場合には、パターン転写装置１は第一状態で使用される。一方、例えば、パターン４１ｂが小さく樹脂層１００ｃの厚さが比較的薄い場合には、パターン転写装置１は第二状態で使用される。第一状態と第二状態との切り替えは、制御装置８０によって制御される押圧ロール用移動機構４６によって行なわれる。

以下に、押圧ロール４２の第一状態および第二状態について図２，３を参照して詳細に説明する。

図２は、転写ロール４１および押圧ロール４２の一部を示す図であって、転写ロール４１と押圧ロール４２との間に隙間ｇ１，ｇ２が有る第一状態を示す図である。図２に示される第一状態は、転写ロール４１の外周面４１ａと押圧ロール４２の外周面４２ａとの間隔Ｉ１が帯状フィルム１００の厚さおよび樹脂層１００ｃの厚さの合計すなわちシート１０１の厚さよりも大きく設定されたことにより実現されている。なお、図２等に示された線Ｌ１は、転写ロール４１の中心軸Ｃ３と押圧ロール４２の中心軸Ｃ４とを結ぶ線である。

図２に示されるように、第一状態、すなわち転写ロール４１と押圧ロール４２との間に隙間ｇ１，ｇ２が有る状態とは、転写ロール４１の中心軸Ｃ３と押圧ロール４２の中心軸Ｃ４との間において、転写ロール４１の外周面４１ａと帯状フィルム１００の表面１００ａとの間、および、押圧ロール４２の外周面４２ａとシート１０１の裏面１０１ｂとの間の少なくとも一方に、隙間ｇ１，ｇ２が有る状態をいう。転写ロール４１の中心軸Ｃ３と押圧ロール４２の中心軸Ｃ４との間において、転写ロール４１の外周面４１ａと帯状フィルム１００の表面１００ａとの間に隙間ｇ１が有るとは、転写ロール４１の外周面４１ａと帯状フィルム１００の表面１００ａとが離間した状態をいう。また、転写ロール４１の中心軸Ｃ３と押圧ロール４２の中心軸Ｃ４との間において、押圧ロール４２の外周面４２ａとシート１０１の裏面１０１ｂとの間に隙間ｇ２が有る状態とは、押圧ロール４２の外周面４２ａとシート１０１の裏面１０１ｂとが離間した状態をいう。なお、図２では、二つの隙間ｇ１，ｇ２の両方が形成された例が示されているが、隙間ｇ１，ｇ２のうち一方だけが形成されていてもよい。

転写ロール４１と押圧ロール４２との間に隙間ｇ１，ｇ２が有る状態は、転写ロール４１と押圧ロール４２とによってシート１０１が挟まれていない状態、すなわち転写ロール４１と押圧ロール４２とによって帯状フィルム１００が挟まれていない状態である。

第一状態では、帯状フィルム１００は、転写ロール４１の中心軸Ｃ３と押圧ロール４２の中心軸Ｃ４との間よりも当該帯状フィルム１００の搬送方向の前方、かつ、光照射装置５０からの光が照射される位置よりも当該帯状フィルム１００の搬送方向の後方にて、転写ロール４１の外周面４１ａに沿わされる（図１）。これにより、光照射装置５０からの光の照射を受ける前の樹脂層１００ｃに、パターン４１ｂが転写される。

図３は、実施形態の転写ロール４１および押圧ロール４２の一部を示す図であって、転写ロール４１と押圧ロール４２との間に隙間ｇ１，ｇ２が無い第二状態を示す図である。図３に示される第二状態は、転写ロール４１の外周面４１ａと押圧ロール４２の外周面４２ａとの間隔Ｉ１が帯状フィルム１００の厚さに設定されたことにより実現されている。

図３に示されるように、第二状態、すなわち転写ロール４１と押圧ロール４２との間に隙間ｇ１，ｇ２が無い状態とは、転写ロール４１の中心軸Ｃ３と押圧ロール４２の中心軸Ｃ４との間において、転写ロール４１の外周面４１ａと帯状フィルム１００の表面１００ａとの間、および、押圧ロール４２の外周面４２ａとシート１０１の裏面１０１ｂとの間の両方に、隙間ｇ１，ｇ２が無い状態をいう。転写ロール４１の中心軸Ｃ３と押圧ロール４２の中心軸Ｃ４との間において、転写ロール４１の外周面４１ａと帯状フィルム１００の表面１００ａとの間に隙間ｇ１が無い状態とは、転写ロール４１の外周面４１ａと帯状フィルム１００の表面１００ａとが接した状態をいう。また、転写ロール４１の中心軸Ｃ３と押圧ロール４２の中心軸Ｃ４との間において、押圧ロール４２の外周面４２ａとシート１０１の裏面１０１ｂとの間に隙間ｇ２が無い状態とは、押圧ロール４２の外周面４２ａとシート１０１の裏面１０１ｂとが接した状態をいう。

転写ロール４１と押圧ロール４２との間に隙間ｇ１，ｇ２が無い状態は、転写ロール４１と押圧ロール４２とによってシート１０１が挟まれている状態、すなわち転写ロール４１と押圧ロール４２とによって帯状フィルム１００が挟まれている状態である。

図４は、パターン転写装置１のブロック図である。制御装置８０は、パターン転写装置１の全体の動作を制御し、パターン転写装置１の各種の機能を実現するコンピュータである。制御装置８０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）８１、ＲＯＭ（Read Only Memory）８２、およびＲＡＭ（Random Access Memory）８３を有している。ＣＰＵ８１は、ＲＯＭ８２等の記憶部に記憶された各種プログラムに従って各種の演算処理および制御を実行する。ＣＰＵ８１は、ハードウェアプロセッサの一例である。ＲＯＭ８２は、ＣＰＵ８１が実行する各種プログラムや各種データを記憶する。ＲＡＭ８３は、ＣＰＵ８１が実行する各種プログラムを一時的に記憶したり各種データを書き換え可能に記憶する。

また、制御装置８０には、繰出モータ１２、巻取モータ２２、転写モータ４４、剥離モータ４５、モータ４６ａ、モータ４７ａ、光照射装置５０、センサ７０、記憶装置８４、および入力装置８５が接続されている。

記憶装置８４は、不揮発性であり、電源が供給されなくても情報を保存する。記憶装置８４は、各種情報を書き換え可能に記憶する。記憶装置８４は、例えば、帯状フィルム１００、樹脂層１００ｃ、およびシート１０１の厚さを記憶する。シート１０１の厚さは、帯状フィルム１００の厚さと樹脂層１００ｃの厚さとの合計である。記憶装置８４は、例えば、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）やＳＳＤ（Solid State Drive）等である。

入力装置８５は、例えば、キーボードや表示装置を有し、当該入力装置８５に対する操作者の操作に応じた情報を制御装置８０に入力する。

図５は、パターン転写装置１の制御装置８０の機能的構成を示したブロック図である。図５に示されるように、制御装置８０は、機能的構成として、判定部９１、検出部９２、および制御部９３を有している。これらの機能的構成は、制御装置８０のＣＰＵ８１がＲＯＭ８２や記憶装置８４等の記憶部に記憶されたプログラムを実行した結果として実現される。なお、実施形態では、これらの機能的構成の一部または全部が専用のハードウェア（回路）によって実現されてもよい。判定部９１、検出部９２、および制御部９３の詳細は、後述する。

制御装置８０は、転写処理を実行する。まず、制御装置８０は、押圧ロール４２を第一状態（図２）と第二状態（図３）とのうちいずれか一方の状態にする。具体的には、制御装置８０は、転写ロール４１の外周面４１ａと押圧ロール４２の外周面４２ａとの間隔Ｉ１が予め設定された設定値となるように、押圧ロール用移動機構４６のモータ４６ａを制御して押圧ロール４２を移動させる。ここで、例えば、間隔Ｉ１の設定値は、入力装置８５等によって設定されうる。

次に、制御装置８０は、帯状フィルム１００に塗工された塗工層１００ｃａにパターン４１ｂが転写されるよう、繰出モータ１２、巻取モータ２２、転写モータ４４、剥離モータ４５、モータ４６ａ、モータ４７ａ、および光照射装置５０を駆動する。このようにして、制御装置８０は、押圧ロール４２を第一状態または第二状態にして、通常運転を行なう。

図６は、パターン転写装置１の転写機構４０の構成図であって、押圧ロール４２が第一状態の場合に帯状フィルム１００に弛みが発生した状態を示す図である。図７は、パターン転写装置１の転写機構４０の構成図であって、押圧ロール４２が第二状態の場合に帯状フィルム１００に弛みが発生した状態を示す図である。なお、図６，７では、パターン４１ｂ等の図示が省略されている。

図６や図７に示されるように、上記の転写処理中に、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄに弛みが発生する場合がある。ここで、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄに弛みが有るとは、転写ロール４１の外周面４１ａと帯状フィルム１００上の樹脂層１００ｃとの間に隙間が有る状態をいう。すなわち、当該弛みとは、帯状フィルム１００上の樹脂層１００ｃが転写ロール４１の外周面４１ａから離間した状態をいう。換言すると、当該弛みとは、シート１０１の表面１０１ａが転写ロール４１の外周面４１ａから離間した状態をいう。弛みは、浮きとも称されうる。

上記弛みを解消するために、制御装置８０は、弛み対応処理を実行する。弛み対応処理は、図５に示される判定部９１、検出部９２および制御部９３によって実行される。以下に弛み対応処理について詳細に説明する。

判定部９１は、転写ロール４１の中心軸Ｃ３と押圧ロール４２の中心軸Ｃ４との間において、転写ロール４１と押圧ロール４２との間に隙間ｇ１，ｇ２が有るか否か、すなわち押圧ロール４２が第一状態か否かを判定する。具体的には、判定部９１は、転写ロール４１の中心軸Ｃ３と押圧ロール４２の中心軸Ｃ４との間における転写ロール４１の外周面４１ａと帯状フィルム１００の表面１００ａとの間の距離ｘ１（図２，３）が、零よりも大きい場合には（図２）、すなわち転写ロール４１の外周面４１ａと帯状フィルム１００の表面１００ａとが離間している場合には、転写ロール４１と押圧ロール４２との間に隙間ｇ１，ｇ２が有り、押圧ロール４２は第一状態であると判定する。一方、判定部９１は、転写ロール４１の中心軸Ｃ３と押圧ロール４２の中心軸Ｃ４との間における転写ロール４１の外周面４１ａと帯状フィルム１００の表面１００ａとの間の距離ｘ１が、零の場合には（図３）、すなわち転写ロール４１の外周面４１ａと帯状フィルム１００の表面１００ａとが接している場合には、転写ロール４１と押圧ロール４２との間に隙間ｇ１，ｇ２が無く、押圧ロール４２は第二状態であると判定する。

転写ロール４１の外周面４１ａと帯状フィルム１００の表面１００ａとの間の距離ｘ１は、例えば、押圧ロール用移動機構４６の所定の初期状態からのモータ４６ａの回転量（回転角）またはボールネジ４６ｂの送り量と、記憶装置８４に記憶された帯状フィルム１００の厚さと、に基づいて算出される。よって、転写ロール４１の中心軸Ｃ３と押圧ロール４２の中心軸Ｃ４との間における、転写ロール４１の外周面４１ａと帯状フィルム１００の表面１００ａとの間に、樹脂層１００ｃが僅かに存在していても、転写ロール４１の外周面４１ａと帯状フィルム１００の表面１００ａとの間の距離が零と算出されれば、押圧ロール４２は第二状態であると判定されうる。ここで、押圧ロール用移動機構４６の所定の初期状態からのモータ４６ａの回転量（回転角）やボールネジ４６ｂの送り量、記憶装置８４に記憶された帯状フィルム１００の厚さは、転写ロール４１の外周面４１ａと帯状フィルム１００の表面１００ａとの間の距離ｘ１に関する情報の一例である。

検出部９２は、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄの弛みを検出する。詳細には、検出部９２は、センサ７０と帯状フィルム１００との間の距離を示す距離情報をセンサ７０から受信する。すなわち、検出部９２は、距離情報をセンサ７０から取得する。検出部９２は、距離情報に基づいて、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄに弛みが有るか否かを判定する。検出部９２は、センサ７０が計測したセンサ７０と帯状フィルム１００との間の距離が、規定の距離の場合には、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄに弛みは無いと判定する。規定の距離は、センサ７０と、弛みが無い状態の帯状フィルム１００との間の距離である。一方、検出部９２は、センサ７０が計測したセンサ７０と帯状フィルム１００との間の距離が、規定の距離未満の場合には、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄに弛みが有ると判定する。すなわち、検出部９２は、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄの弛みを検出する。センサ７０が出力する距離情報は、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄの弛みを検出するための帯状フィルム１００の情報の一例である。

制御部９３は、検出部９２が弛みを検出した場合に、第一解消処理と第二解消処理とのいずれか一つを行なう。

制御部９３は、転写ロール４１と押圧ロール４２との間に隙間ｇ１，ｇ２が有る場合、すなわち押圧ロール４２が第一状態の場合（図２）、第一解消処理を行なう。具体的には、制御部９３は、剥離ロール４３の回転速度が速くなるように、すなわち剥離ロール４３の周速度が速くなるように、剥離モータ４５を制御する。したがって、剥離ロール４３の回転速度が検出部９２による弛みの検出前に比べて速くなる。これにより、弛み部１００ｆにおける搬送方向の前方側の端部が弛み部１００ｆにおける搬送方向の後方側の端部よりも速く搬送され、弛みが解消される（図１）。このとき、例えば、剥離ロール４３の回転速度は、検出部９２による弛みの検出前に比べて１．１倍にされる。なお、回転速度の倍率は、１．１倍未満であってもよいし、１．１倍を超えてもよい。また、剥離ロール４３の目標回転速度は予め設定されており、制御部９３は、剥離ロール４３の速度が目標回転速度になるように、剥離モータ４５を制御する。なお、剥離ロール４３の回転速度を速度センサ（不図示）によって検出し、その検出結果を用いて、制御部９３が剥離モータ４５を制御してもよい。また、このとき、制御部９３は、帯状フィルム１００の張力に応じて巻取モータ２２に作用する負荷が略一定となるように、巻取モータ２２を制御する。すなわち、制御部９３は、巻取軸２１回転速度が速くなるように巻取モータ２２を制御する。

制御部９３は、転写ロール４１と押圧ロール４２との間に隙間ｇ１，ｇ２が無い場合、すなわち押圧ロール４２が第二状態の場合（図３）、第二解消処理を行なう。具体的には、制御部９３は、剥離ロール４３が転写ロール４１から離れる方向（図７では右側）に剥離ロール４３が移動するよう剥離ロール用移動機構４７を制御する。このとき、制御部９３は、帯状フィルム１００の張力に応じて巻取モータ２２に作用する負荷が、略一定となるように、巻取モータ２２を制御する。すなわち、制御部９３は、巻取軸２１の回転速度が速くなるように巻取モータ２２を制御する。これにより、弛み部１００ｆにおける搬送方向の前方側の端部が弛み部１００ｆにおける搬送方向の後方側の端部よりも速く搬送され、弛みが解消される。また、この弛みが解消する間、弛み部１００ｆが搬送方向の前方に移動して、剥離ロール４３よりも搬送方向の前方に移動して転写ロール４１から遠ざかる。

ここで、図８には、図７の状態から剥離ロール４３が移動されることにより弛みが解消された状態が示されている。なお、図８等に示された線Ｌ２は、転写ロール４１の中心軸Ｃ３と押圧ロール４２の中心軸Ｃ４とを結ぶ線である。また、図８では、パターン４１ｂ等の図示が省略されている。図８から、転写ロール４１から離れる方向に剥離ロール４３が移動されることにより、転写ロール４１と剥離ロール４３との間に隙間が形成され、弛みが解消することが分かる。

次に、弛み対応処理（パターン転写装置１の制御方法）の流れを図９を参照して説明する。図９は、パターン転写装置１の制御装置８０が実行する弛み対応処理を示すフローチャートである。

図９に示されるように、まずは、判定部９１が、転写ロール４１と押圧ロール４２との間に隙間ｇ１，ｇ２が有るか否か、すなわち押圧ロール４２が第一状態か否かを判定する（Ｓ１０）。判定部９１が、転写ロール４１と押圧ロール４２との間に隙間ｇ１，ｇ２が有る、すなわち押圧ロール４２は第一状態であると判定した場合には（Ｓ１０：Ｙｅｓ（図２））、制御装置８０は、Ｓ１１に進む。

Ｓ１１では、検出部９２が、センサ７０と帯状フィルム１００との間の距離を示す距離情報をセンサ７０から取得する。次に、検出部９２が、距離情報に基づいて、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄに弛みが有るか否かを判定する（Ｓ１２）。

検出部９２が、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄに弛みが有ると判定した場合には（Ｓ１２：Ｙｅｓ）、制御部９３が、剥離ロール４３の回転速度が速くなるように剥離モータ４５を制御し、剥離ロール４３を増速させる（Ｓ１３）。

次に、検出部９２が、センサ７０と帯状フィルム１００との間の距離を示す距離情報をセンサ７０から取得する（Ｓ１４）。次に、検出部９２が、距離情報に基づいて、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄに弛みが有るか否か、すなわち弛みが解消したか否かを判定する（Ｓ１５）。

Ｓ１５において、検出部９２が、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄの弛みが解消していないと判定した場合には（Ｓ１５：Ｎｏ）、制御装置８０は、Ｓ１４に戻り、Ｓ１４およびＳ１５の処理を繰り返す。

Ｓ１５において、検出部９２が、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄの弛みが解消したと判定した場合には（Ｓ１５：Ｙｅｓ）、制御部９３が、剥離ロール４３の回転速度が増速前の速度すなわち初期速度に戻るよう剥離モータ４５を制御する（Ｓ１６）。これにより、剥離モータ４５が、減速して初期速度に戻る。

次に、制御装置８０は、制御を終了するか否かを判定する（Ｓ１７）。制御を終了するか否かの判定は、例えば、入力装置８５からの制御終了指示の有無等に基づき行なわれる。帯状フィルム１００は、制御を終了すると判定した場合には（Ｓ１７：Ｙｅｓ）、処理を終了する。一方、制御装置８０は、制御を終了しないと判定した場合には（Ｓ１７：Ｎｏ）、Ｓ１１に戻り、Ｓ１１以降の処理を繰り返す。

また、Ｓ１２において、検出部９２が、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄに弛みが無いと判定した場合には（Ｓ１２：Ｎｏ）、制御装置８０は、Ｓ１７に進み、Ｓ１７の処理を実行する。

一方、Ｓ１０において、判定部９１が、転写ロール４１と押圧ロール４２との間に隙間ｇ１，ｇ２が無い、すなわち押圧ロール４２は第二状態であると判定した場合には（Ｓ１０：Ｎｏ（図３））、制御装置８０は、Ｓ２１に進む。

Ｓ２１では、検出部９２が、センサ７０と帯状フィルム１００との間の距離を示す距離情報をセンサ７０から取得する。次に、検出部９２が、距離情報に基づいて、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄに弛みが有るか否かを判定する（Ｓ２２）。

検出部９２が、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄに弛みが有ると判定した場合には（Ｓ２２：Ｙｅｓ）、制御部９３が、転写ロール４１から離れる方向に剥離ロール４３が移動して剥離ロール４３と転写ロール４１との間隔Ｉ２が増大するように、剥離ロール用移動機構４７のモータ４７ａを制御する（Ｓ２３）。これにより、転写ロール４１と剥離ロール４３との間に隙間が形成される（図８）。

次に、検出部９２が、センサ７０と帯状フィルム１００との間の距離を示す距離情報をセンサ７０から取得する（Ｓ２４）。次に、検出部９２が、距離情報に基づいて、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄに弛みが有るか否か、すなわち弛みが解消したか否かを判定する（Ｓ２５）。

Ｓ２５において、検出部９２が、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄの弛みが解消していないと判定した場合には（Ｓ２５：Ｎｏ）、制御装置８０は、Ｓ２４に戻り、Ｓ２４およびＳ２５の処理を繰り返す。

Ｓ２５において、検出部９２が、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄの弛みが解消したと判定した場合には（Ｓ２５：Ｙｅｓ）、制御部９３が、剥離ロール４３が移動前の位置すなわち初期位置に戻るよう、剥離ロール用移動機構４７のモータ４７ａを制御する（Ｓ２６）。これにより、剥離ロール４３が初期位置に戻る。

次に、制御装置８０は、制御を終了するか否かを判定する（Ｓ２７）。制御を終了するか否かの判定方法は、Ｓ１７と同様である。制御装置８０は、制御を終了すると判定した場合には（Ｓ２７：Ｙｅｓ）、処理を終了する。一方、制御装置８０は、制御を終了しないと判定した場合には（Ｓ２７：Ｎｏ）、Ｓ２１に戻り、Ｓ２１以降の処理を繰り返す。

また、Ｓ２２において、検出部９２が、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄに弛みが無いと判定した場合には（Ｓ２２：Ｎｏ）、制御装置８０は、Ｓ２７に進み、Ｓ２７の処理を実行する。

以上のように、本実施形態では、検出部９２は、帯状フィルム１００（基材）の被押圧部分１００ｄ（部分）の弛みを検出する。制御部９３は、転写ロール４１と押圧ロール４２との間に隙間ｇ１，ｇ２が有る第一状態において検出部９２が弛みを検出した場合は、剥離ロール４３の回転速度が速くなるように剥離モータ４５（駆動源）を制御する。よって、本実施形態によれば、帯状フィルム１００（基材）の被押圧部分１００ｄの弛みを解消することができるので、パターン４１ｂの転写の精度が低下するのを抑制することができる。このとき、本実施形態では、転写ロール４１と剥離ロール４３とによって帯状フィルム１００が挟まれた状態となっているので、転写ロール４１に帯状フィルム１００を押圧する押圧力が低下するのを抑制することができる。よって、パターン４１ｂの転写の精度が低下するのを抑制することができる。

また、本実施形態では、制御部９３は、転写ロール４１と押圧ロール４２との間に隙間ｇ１，ｇ２が無い第二状態において検出部９２が弛みを検出した場合は、剥離ロール４３が転写ロール４１から離れる方向に移動するように剥離ロール用移動機構４７（移動機構）を制御する。よって、本実施形態によれば、帯状フィルム１００の被押圧部分１００ｄの弛みを解消することができたり、当該弛みを転写ロール４１から離れる方向に移動させることができるので、パターン４１ｂの転写の精度が低下するのを抑制することができる。このとき、転写ロール４１と押圧ロール４２とによって帯状フィルム１００が挟まれた状態となっているので、転写ロール４１に帯状フィルム１００を押圧する押圧力が低下するのを抑制することができる。よって、パターン４１ｂの転写の精度が低下するのを抑制することができる。

以上のように、本実施形態では、押圧ロール４２の状態が第一状態と第二状態とのいずれであっても、帯状フィルム１００に弛みが発生した場合に、押圧ロール４２および剥離ロール４３のうちいずれか一方と転写ロール４１とによって帯状フィルム１００が挟まれている状態を維持することができる。

なお、上記実施形態では、センサ７０が距離センサの例が示されたが、これに限定されない。例えば、センサ７０は、帯状フィルム１００を撮像するイメージセンサであってもよい。この場合には、検出部９２は、センサ７０から送信された撮像画像に基づいて、帯状フィルム１００の弛みの有無を判定することができる。この場合、例えば、センサ７０は、帯状フィルム１００を転写ロール４１の軸方向から撮像する位置に配置されてよい。

また、上記実施形態では、押圧ロール用移動機構４６および剥離ロール用移動機構４７が、それぞれ、モータ４６ａ，４７ａとボールネジ４６ｂ，４７ｂを有し、モータ４６ａ，４７ａがＡＣサーボモータである例が示されたが、これに限定されない。例えば、押圧ロール用移動機構４６および剥離ロール用移動機構４７は、モータ４６ａ，４７ａがリニアモータであり、モータ４６ａ，４７ａの直線運動によって押圧ロール４２および剥離ロール４３を移動させる構成であってもよい。

また、上記実施形態では、図９に示された制御装置８０の弛み対応処理において、Ｓ１５およびＳ２５にて弛みが解消したと判定されたことを条件に、Ｓ１６，Ｓ２６の処理が行なわれる例が示されたが、これに限定されない。例えば、Ｓ１３およびＳ２３を行なってから規定時間が経過したことを条件に、Ｓ１６，Ｓ２６の処理が行なわれてもよい。この場合には、Ｓ１４，Ｓ１５，２４，Ｓ２６の処理は、省略される。また、この場合に、Ｓ１３での剥離ロール４３の増速の度合いを、帯状フィルム１００の搬送速度や転写ロール４１の回転速度が速いほど大きくしてもよい。すなわち、Ｓ１３において、帯状フィルム１００の搬送速度や転写ロール４１の回転速度が速いほど剥離ロール４３の回転速度をより速くしてもよい。

また、上記実施形態では、転写ロール４１の外周面４１ａと帯状フィルム１００の表面１００ａとの間の距離を、押圧ロール用移動機構４６の所定の初期状態からのモータ４６ａの回転量（回転角）またはボールネジ４６ｂの送り量と、記憶装置８４に記憶された帯状フィルム１００の厚さと、に基づいて算出した例が示されたが、これに限定されない。例えば、転写ロール４１の外周面４１ａと帯状フィルム１００の表面１００ａとの間の距離は、距離センサ等によって計測してもよい。

また、上記実施形態では、判定部９１は、転写ロール４１と押圧ロール４２との間の隙間ｇ１，ｇ２無しの判定を、転写ロール４１の外周面４１ａと帯状フィルム１００の表面１００ａとが接しているかで判定したが、これに限定されない。例えば、判定部９１は、転写ロール４１と押圧ロール４２との間の隙間ｇ１，ｇ２無しの判定を、転写ロール４１の外周面４１ａとシート１０１の表面１０１ａとが接しているかで判定してもよい。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１…パターン転写装置、１０…繰出機構、２０…巻取機構、３０…塗工機構、４１…転写ロール、４１ａ…外周面、４１ｂ…パターン、４２…押圧ロール、４３…剥離ロール、４５…剥離モータ（駆動源）、５０…光照射装置、９２…検出部、９３…制御部、１００ａ…表面（第一面）、１００ｂ…裏面（第二面）、１００…帯状フィルム（基材）、１００ｃ…樹脂層（光硬化性樹脂）、１００ｄ…被押圧部分（部分）、ｇ１，ｇ２…隙間。

Claims (6)

1. 第一面と前記第一面とは反対側の第二面とを有した基材を当該基材の長手方向に搬送する搬送機構と、
   前記搬送機構によって搬送される前記基材の前記第一面に光硬化性樹脂を塗工する塗工機構と、
   パターンが設けられた外周面を有し、当該外周面に前記光硬化性樹脂が接した状態で前記光硬化性樹脂が塗工された前記基材が巻き掛けられて回転し、当該光硬化性樹脂に前記パターンを転写する転写ロールと、
   前記光硬化性樹脂が塗工された前記基材の前記第二面を前記転写ロールに向けて押圧する押圧ロールと、
   前記パターンが転写された前記光硬化性樹脂に光を照射することにより当該光硬化性樹脂を硬化させる光照射装置と、
   前記光照射装置により前記光硬化性樹脂が硬化された前記基材を前記転写ロールから剥離させる剥離ロールと、
   前記剥離ロールを回転させる駆動源と、
   前記基材のうち前記転写ロールに押圧されている部分の弛みを検出する検出部と、
   前記転写ロールと前記押圧ロールとの間に隙間が有る状態において前記検出部が前記弛みを検出した場合は、前記剥離ロールの回転速度が速くなるように前記駆動源を制御する制御部と、
   を備えたパターン転写装置。
2. 第一面と前記第一面とは反対側の第二面とを有した基材を当該基材の長手方向に搬送する搬送機構と、
   前記搬送機構によって搬送される前記基材の前記第一面に光硬化性樹脂を塗工する塗工機構と、
   パターンが設けられた外周面を有し、当該外周面に前記光硬化性樹脂が接した状態で前記光硬化性樹脂が塗工された前記基材が巻き掛けられて回転し、当該光硬化性樹脂に前記パターンを転写する転写ロールと、
   前記光硬化性樹脂が塗工された前記基材の前記第二面を前記転写ロールに向けて押圧する押圧ロールと、
   前記パターンが転写された前記光硬化性樹脂に光を照射することにより当該光硬化性樹脂を硬化させる光照射装置と、
   前記光照射装置により前記光硬化性樹脂が硬化された前記基材を前記転写ロールから剥離させる剥離ロールと、
   前記剥離ロールを移動させる移動機構と、
   前記基材のうち前記転写ロールに押圧されている部分の弛みを検出する検出部と、
   前記転写ロールと前記押圧ロールとの間に隙間が無い状態において前記検出部が前記弛みを検出した場合は、前記剥離ロールが前記転写ロールから離れる方向に移動するように前記移動機構を制御する制御部と、
   を備えたパターン転写装置。
3. 第一面と前記第一面とは反対側の第二面とを有した基材を当該基材の長手方向に搬送する搬送機構と、
   前記搬送機構によって搬送される前記基材の前記第一面に光硬化性樹脂を塗工する塗工機構と、
   パターンが設けられた外周面を有し、当該外周面に前記光硬化性樹脂が接した状態で前記光硬化性樹脂が塗工された前記基材が巻き掛けられて回転し、当該光硬化性樹脂に前記パターンを転写する転写ロールと、
   前記光硬化性樹脂が塗工された前記基材の前記第二面を前記転写ロールに向けて押圧する押圧ロールと、
   前記パターンが転写された前記光硬化性樹脂に光を照射することにより当該光硬化性樹脂を硬化させる光照射装置と、
   前記光照射装置により前記光硬化性樹脂が硬化された前記基材を前記転写ロールから剥離させる剥離ロールと、
   前記剥離ロールを回転させる駆動源と、
   前記剥離ロールを移動させる移動機構と、
   前記基材のうち前記転写ロールに押圧されている部分の弛みを検出する検出部と、
   前記転写ロールと前記押圧ロールとの間に隙間が有る状態において前記検出部が前記弛みを検出した場合は、前記剥離ロールの回転速度が速くなるように前記駆動源を制御し、前記転写ロールと前記押圧ロールとの間に前記隙間が無い状態において前記検出部が前記弛みを検出した場合は、前記剥離ロールが前記転写ロールから離れる方向に移動するように前記移動機構を制御する制御部と、
   を備えたパターン転写装置。
4. 第一面と前記第一面とは反対側の第二面とを有した基材を当該基材の長手方向に搬送する搬送機構と、
   前記搬送機構によって搬送される前記基材の前記第一面に光硬化性樹脂を塗工する塗工機構と、
   パターンが設けられた外周面を有し、当該外周面に前記光硬化性樹脂が接した状態で前記光硬化性樹脂が塗工された前記基材が巻き掛けられて回転し、当該光硬化性樹脂に前記パターンを転写する転写ロールと、
   前記光硬化性樹脂が塗工された前記基材の前記第二面を前記転写ロールに向けて押圧する押圧ロールと、
   前記パターンが転写された前記光硬化性樹脂に光を照射することにより当該光硬化性樹脂を硬化させる光照射装置と、
   前記光照射装置により前記光硬化性樹脂が硬化された前記基材を前記転写ロールから剥離させる剥離ロールと、
   前記剥離ロールを回転させる駆動源と、
   を備えたパターン転写装置の制御方法であって、
   検出部が、前記基材のうち前記転写ロールに押圧されている部分の弛みを検出するステップと、
   制御部が、前記転写ロールと前記押圧ロールとの間に隙間が有る状態において前記検出部が前記弛みを検出した場合は、前記剥離ロールの回転速度が速くなるように前記駆動源を制御するステップと、
   を含むパターン転写装置の制御方法。
5. 第一面と前記第一面とは反対側の第二面とを有した基材を当該基材の長手方向に搬送する搬送機構と、
   前記搬送機構によって搬送される前記基材の前記第一面に光硬化性樹脂を塗工する塗工機構と、
   パターンが設けられた外周面を有し、当該外周面に前記光硬化性樹脂が接した状態で前記光硬化性樹脂が塗工された前記基材が巻き掛けられて回転し、当該光硬化性樹脂に前記パターンを転写する転写ロールと、
   前記光硬化性樹脂が塗工された前記基材の前記第二面を前記転写ロールに向けて押圧する押圧ロールと、
   前記パターンが転写された前記光硬化性樹脂に光を照射することにより当該光硬化性樹脂を硬化させる光照射装置と、
   前記光照射装置により前記光硬化性樹脂が硬化された前記基材を前記転写ロールから剥離させる剥離ロールと、
   前記剥離ロールを移動させる移動機構と、
   を備えたパターン転写装置の制御方法であって、
   検出部が、前記基材のうち前記転写ロールに押圧されている部分の弛みを検出するステップと、
   制御部が、前記転写ロールと前記押圧ロールとの間に隙間が無い状態において前記検出部が前記弛みを検出した場合は、前記剥離ロールが前記転写ロールから離れる方向に移動するように前記移動機構を制御するステップと、
   を含むパターン転写装置の制御方法。
6. 第一面と前記第一面とは反対側の第二面とを有した基材を当該基材の長手方向に搬送する搬送機構と、
   前記搬送機構によって搬送される前記基材の前記第一面に光硬化性樹脂を塗工する塗工機構と、
   パターンが設けられた外周面を有し、当該外周面に前記光硬化性樹脂が接した状態で前記光硬化性樹脂が塗工された前記基材が巻き掛けられて回転し、当該光硬化性樹脂に前記パターンを転写する転写ロールと、
   前記光硬化性樹脂が塗工された前記基材の前記第二面を前記転写ロールに向けて押圧する押圧ロールと、
   前記パターンが転写された前記光硬化性樹脂に光を照射することにより当該光硬化性樹脂を硬化させる光照射装置と、
   前記光照射装置により前記光硬化性樹脂が硬化された前記基材を前記転写ロールから剥離させる剥離ロールと、
   前記剥離ロールを回転させる駆動源と、
   前記剥離ロールを移動させる移動機構と、
   を備えたパターン転写装置の制御方法であって、
   検出部が、前記転写ロールと前記押圧ロールとの間に隙間が有る状態において前記基材のうち前記転写ロールに押圧されている部分の弛みを検出するステップと、
   制御部が、前記転写ロールと前記押圧ロールとの間に前記隙間が有る状態において前記検出部が前記弛みを検出した場合は、前記剥離ロールの回転速度が速くなるように前記駆動源を制御するステップと、
   前記検出部が、前記転写ロールと前記押圧ロールとの間に前記隙間が無い状態において前記弛みを検出するステップと、
   制御部が、前記転写ロールと前記押圧ロールとの間に前記隙間が無い状態において前記検出部が前記弛みを検出した場合は、前記剥離ロールが前記転写ロールから離れる方向に移動するように前記移動機構を制御するステップと、
   を含むパターン転写装置の制御方法。

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