JP2020006965A - Cover tape for carrier tape, and carrier tape - Google Patents

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祥子 大出
Sachiko Oide
祥子 大出
信裕 篠塚
Nobuhiro Shinozuka
信裕 篠塚
今井 博
Hiroshi Imai
博 今井
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Abstract

To provide a cover tape for a carrier tape, and the carrier tape by which effective protection of electronic components can be expected during cleaning of the components and reduction of the number of components in processes can be expected by omitting an electronic component storage jig and the like.SOLUTION: A carrier tape comprises a long resin tape 1 and a plurality of storage embossments 4 for an electronic component 10 arrayed on this resin tape 1. A cover tape 20 with through-circulation holes 22 for cleaning, which covers a plurality of storage embossments 4, is thermo-compression bonded to the resin tape 1 so as to be peelable, a working hole 6 is punched at a bottom 5 of each storage embossment 4, the carrier tape is immersed in a cleaning fluid in a cleaning tank, and thereby the electronic component 10 in the storage embossment 4 is cleaned. The cleaning fluid flows and circulates through the through-circulation hole 22 and the working hole 6, so that the soiled electronic component 10 can be effectively cleaned, and removal of a fine flux and resin residue adhering to the electronic component 10, a protective film, and a film formed on an electrode surface can be expected.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、電子部品の供給、洗浄、乾燥等に使用されるキャリアテープ用カバーテープ及びキャリアテープに関するものである。   The present invention relates to a carrier tape cover tape and a carrier tape used for supplying, cleaning, and drying electronic components.

従来におけるキャリアテープは、図4や図5に示すように、長尺の樹脂テープ1と、この樹脂テープ1の長手方向に所定の間隔で配列形成される電子部品10用の多数の収納エンボス4とを備え、樹脂テープ1の表面3に、電子部品10を完全に被覆する長いカバーテープ20Aが剥離可能に貼着されており(特許文献1参照)、電子部品10の供給、保管、在庫管理、輸送等に使用されている。   As shown in FIGS. 4 and 5, a conventional carrier tape includes a long resin tape 1 and a large number of storage embosses 4 for electronic components 10 arranged and formed at predetermined intervals in the longitudinal direction of the resin tape 1. A long cover tape 20A that completely covers the electronic component 10 is releasably attached to the surface 3 of the resin tape 1 (see Patent Document 1), and supply, storage, and inventory management of the electronic component 10 , Transportation, etc.

樹脂テープ1は、所定の樹脂により細長い帯形に成形され、側部に多数の送り孔2が所定の間隔でパンチングされており、この多数の送り孔2がキャリアテープの繰り出しに利用される。また、各収納エンボス4は、平面正方形に凹み形成され、電子部品10として、チップ電極にハンダバンプが接合された半導体チップ、個片化されたMEMS(微小電気機械システム)等が収納される。   The resin tape 1 is formed into a long and narrow strip shape by a predetermined resin, and a large number of feed holes 2 are punched at predetermined intervals on a side portion, and the large number of feed holes 2 are used for feeding out a carrier tape. Each of the storage embosses 4 is formed to have a concave shape in a plane square shape, and as the electronic component 10, a semiconductor chip in which solder bumps are bonded to chip electrodes, individual MEMS (micro electro mechanical system), and the like are stored.

収納エンボス4は、底部5が略平板に形成されるが、必要に応じ、底部5に図5(b)、(c)に示す作業孔6がパンチングされる。この作業孔6は、収納エンボス4に電子部品10が収納されているか否かをセンサが検知するのに利用されたり、カバーテープ20Aの剥離時に電子部品10が収納エンボス4から飛び出さないよう、電子部品10の真空吸着に用いられる。   The storage emboss 4 has a bottom 5 formed in a substantially flat plate, and a work hole 6 shown in FIGS. 5B and 5C is punched in the bottom 5 as necessary. The working hole 6 is used by a sensor to detect whether or not the electronic component 10 is stored in the storage emboss 4, or the electronic component 10 does not protrude from the storage emboss 4 when the cover tape 20 </ b> A is peeled off. Used for vacuum suction of the electronic component 10.

特開2017‐171393号公報JP 2017-171393 A

ところで、電子部品10には、フラックスや樹脂の残渣、保護膜を除去するため、洗浄が必要とされる。この洗浄の必要性について詳しく説明すると、例えば電子部品10がチップ電極にハンダバンプの接合された半導体チップの場合、半導体チップは、プリント基板に実装される。プリント基板に半導体チップを実装する方法には、ワイヤボンディング法やフリップチップ実装法があるが、近年、実装面積の縮小や電気的特性の向上が期待できるフリップチップ実装法が主流となっている。   By the way, the electronic component 10 needs to be cleaned in order to remove the flux, the residue of the resin, and the protective film. The necessity of this cleaning will be described in detail. For example, when the electronic component 10 is a semiconductor chip in which solder bumps are bonded to chip electrodes, the semiconductor chip is mounted on a printed board. As a method of mounting a semiconductor chip on a printed board, there are a wire bonding method and a flip chip mounting method. In recent years, a flip chip mounting method that can be expected to reduce a mounting area and improve electrical characteristics has become mainstream.

係るフリップチップ実装法では、プリント基板に半導体チップのハンダバンプを接合し、アンダーフィル樹脂でハンダ接合部を補強するが、実装時のハンダ接合で使用していたフラックスの残渣が存在していると、この残渣部で空孔が発生する。この空孔は、半導体チップの実装部におけるハンダのマイグレーションを引き起こす空間となり、信頼性を損なう原因となる。また、多量のフラックス残渣が吸湿すると、近傍のハンダ接合部でマイグレーションを引き起こしやすくなる。以上から、半導体チップのハンダバンプ周辺のフラックス残渣や実装後のフラックス残渣の洗浄は必要不可欠となる。   In such a flip-chip mounting method, solder bumps of a semiconductor chip are bonded to a printed circuit board, and a solder bonding portion is reinforced with an underfill resin.However, if there is a flux residue used in the solder bonding at the time of mounting, Voids are generated in the residue. These holes become spaces that cause migration of solder in the mounting portion of the semiconductor chip, and cause a loss of reliability. In addition, when a large amount of flux residue absorbs moisture, migration tends to occur at a nearby solder joint. From the above, it is indispensable to wash the flux residue around the solder bumps of the semiconductor chip and the flux residue after mounting.

また、半導体パッケージの薄型化に伴い、半導体ウェーハの薄型化が進んでいるが、この半導体ウェーハの薄型化においては、半導体ウェーハ裏面の研磨工程や再配線工程等の各種工程でハンダバンプが形成された半導体ウェーハの表面の回路面を樹脂製の保護シートで保護する必要がある。この保護の際、保護シートの樹脂の残渣が接点不良となることがあるので、半導体ウェーハの回路面の洗浄が重要となる。   Further, as semiconductor packages become thinner, semiconductor wafers are becoming thinner. In this thinner semiconductor wafer, solder bumps are formed in various processes such as a polishing process and a rewiring process on the back surface of the semiconductor wafer. It is necessary to protect the circuit surface on the surface of the semiconductor wafer with a protective sheet made of resin. At the time of this protection, the residue of the resin on the protection sheet may cause a contact failure, so that it is important to clean the circuit surface of the semiconductor wafer.

さらに、電子部品10がMEMS等のような脆弱部品の場合、この脆弱部品をレジスト等の保護膜で保護したまま個片化することがあるが、個片化した後には、洗浄による保護膜の除去が必須となる。   Further, when the electronic component 10 is a fragile component such as a MEMS, the fragile component may be separated into individual pieces while being protected by a protective film such as a resist. Removal is required.

電子部品10を洗浄する場合、電子部品10の洗浄方法として、(1)バスケットに多数の電子部品10を収納した後、バスケットを洗浄槽に浸漬させるバッチ式洗浄法、(2)コンベヤ上に多数の電子部品10を専用治具を介して配列し、コンベヤにより多数の電子部品10を搬送してシャワー洗浄するコンベヤ式洗浄法が採用される。   When the electronic components 10 are to be washed, (1) a batch type washing method in which a large number of electronic components 10 are stored in a basket and then the basket is immersed in a washing tank, and (2) a large number of electronic components 10 are washed on a conveyor. A conveyor-type cleaning method is employed in which the electronic components 10 are arranged via a dedicated jig, and a number of electronic components 10 are conveyed by a conveyor and shower-cleaned.

しかしながら、(1)のバッチ式洗浄法の場合には、バスケットに電子部品10を単に収納するので、洗浄時における電子部品10の有効な保護が期待できず、電子部品10のハンダバンプが損傷したり、チッピングが生じるおそれがある。また、(2)のコンベヤ式洗浄法の場合には、洗浄時に電子部品10を適切に収納保護する専用治具を複数準備する必要があるので、工程内部品点数の削減を図ることができず、しかも、洗浄作業の煩雑化や遅延化を招くという問題が生じる。   However, in the case of the batch cleaning method (1), since the electronic component 10 is simply stored in the basket, effective protection of the electronic component 10 during cleaning cannot be expected, and solder bumps of the electronic component 10 may be damaged. And chipping may occur. Further, in the case of the conveyor-type cleaning method (2), it is necessary to prepare a plurality of dedicated jigs for appropriately storing and protecting the electronic components 10 at the time of cleaning, so that the number of parts in the process cannot be reduced. In addition, there is a problem that the cleaning operation is complicated and delayed.

これらを踏まえて考察するに、キャリアテープは、多数の収納エンボス4に電子部品10をそれぞれ適切に収納して有効に保護することができ、しかも、電子部品10を連続的に搬送したり、電子部品10の搬送に特別の専用治具を何ら必要としないので、汚染した電子部品10の洗浄や乾燥に使用可能なタイプを開発できれば、非常に有意義である。   Considering these facts, the carrier tape can effectively protect the electronic components 10 by appropriately storing the electronic components 10 in a large number of storage embosses 4, and furthermore, can continuously transport the electronic components 10, Since no special jig is required for transporting the component 10, it would be very significant if a type that can be used for cleaning and drying the contaminated electronic component 10 can be developed.

本発明は上記に鑑みなされたもので、洗浄時における電子部品の有効な保護が期待でき、電子部品を収納する治具等の省略により、工程内部品点数の削減が期待できるキャリアテープ用カバーテープ及びキャリアテープを提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above, and it is possible to expect effective protection of electronic components at the time of cleaning, and a cover tape for a carrier tape that can be expected to reduce the number of components in a process by omitting a jig or the like for housing electronic components. And a carrier tape.

本発明においては上記課題を解決するため、キャリアテープ用カバーテープに洗浄用の貫通流通孔が設けられることを特徴としている。
なお、キャリアテープ用カバーテープの長手方向に洗浄用の複数の貫通流通孔が所定の間隔をおいて設けられると良い。
In order to solve the above problems, the present invention is characterized in that a through-flow hole for cleaning is provided in a cover tape for a carrier tape.
Note that a plurality of through-flow holes for cleaning may be provided at predetermined intervals in the longitudinal direction of the carrier tape cover tape.

また、本発明においては上記課題を解決するため、樹脂テープに、電子部品を収納する収納エンボスが形成され、この収納エンボスに作業孔が設けられるものであり、
樹脂テープに請求項1又は2に記載したキャリアテープ用カバーテープが貼り着けられることを特徴としている。
Further, in the present invention, in order to solve the above problems, a storage emboss for housing the electronic component is formed on the resin tape, and a work hole is provided in the storage emboss,
A carrier tape cover tape according to claim 1 or 2 is attached to the resin tape.

なお、洗浄液により電子部品が洗浄された後、乾燥されると良い。
また、樹脂テープにキャリアテープ用カバーテープの両側部が貼り着けられ、樹脂テープにキャリアテープ用カバーテープの両側部以外の残部が対向するようにすることができる。
また、樹脂テープと収納エンボスの作業孔のうち、少なくとも収納エンボスの作業孔がキャリアテープ用カバーテープの貫通流通孔に略対向するようにすることができる。
Note that it is preferable that the electronic component is dried after being cleaned with the cleaning liquid.
Also, both sides of the carrier tape cover tape can be adhered to the resin tape, and the remaining portions other than the both sides of the carrier tape cover tape can face the resin tape.
Further, among the working holes of the resin tape and the storage emboss, at least the work holes of the storage emboss can be made to substantially face the through-flow holes of the carrier tape cover tape.

また、樹脂テープと収納エンボスの底部のうち、少なくとも収納エンボスの底部がキャリアテープ用カバーテープの貫通流通孔に対向するようにすることが可能である。
また、収納エンボスの中央部がキャリアテープ用カバーテープの貫通流通孔に略対向するようにすることも可能である。
In addition, it is possible that at least the bottom of the storage emboss of the resin tape and the bottom of the storage emboss is opposed to the through-flow hole of the carrier tape cover tape.
Further, it is also possible to make the central portion of the storage emboss substantially face the through-flow hole of the carrier tape cover tape.

さらに、長尺の樹脂テープと、この樹脂テープの長手方向に並べて形成される電子部品用の複数の収納エンボスとを備え、洗浄液で洗浄されるキャリアテープで、樹脂テープの両側部のうち、少なくとも一側部の長手方向に複数の送り孔が並べ設けられ、樹脂テープの表面に、複数の収納エンボスを被覆する長尺のキャリアテープ用カバーテープが貼り着けられ、このキャリアテープ用カバーテープの長手方向に洗浄用の複数の貫通流通孔が並べ設けられており、各収納エンボスの底部に作業孔が貫通して設けられるとともに、この収納エンボスの底部と作業孔の少なくともいずれかがキャリアテープ用カバーテープの貫通流通孔に略対向するようにすることが可能である。   Furthermore, a long resin tape, comprising a plurality of storage embosses for electronic components formed side by side in the longitudinal direction of the resin tape, a carrier tape that is washed with a cleaning liquid, at least of both sides of the resin tape A plurality of feed holes are arranged in the longitudinal direction of one side, and a long carrier tape cover tape covering a plurality of storage embosses is attached to the surface of the resin tape. A plurality of through-flow holes for cleaning are arranged in the direction, a working hole is provided through the bottom of each storage emboss, and at least one of the bottom of the storage emboss and the work hole is provided with a carrier tape cover. It is possible to substantially face the through-flow hole of the tape.

ここで、特許請求の範囲におけるキャリアテープ用カバーテープは、透明、不透明、半透明を特に問うものではない。このキャリアテープ用カバーテープの貫通流通孔は、単数複数を特に問うものではない。この貫通流通孔は、平面円形、楕円形、矩形、多角形、格子形、溝形等に形成することができる。   Here, the cover tape for a carrier tape in the claims is not particularly limited to transparent, opaque, and translucent. The number of through-flow holes in the carrier tape cover tape is not particularly limited to one or more. This through-flow hole can be formed in a plane circular shape, an elliptical shape, a rectangular shape, a polygonal shape, a lattice shape, a groove shape, or the like.

キャリアテープに使用される樹脂テープは、必要に応じて透明性、絶縁性、導電性、色彩が付与される。この樹脂テープは、既存のタイプを流用することが可能である。電子部品には、少なくともチップ電極にハンダバンプが接合された半導体チップ、個片化されたMEMS、キャパシタ、抵抗素子等が含まれる。また、収納エンボスの作業孔は、単数複数を問うものではない。この作業孔は、平面円形、楕円形、矩形、多角形、格子形、溝形等に形成することが可能である。   The resin tape used for the carrier tape is provided with transparency, insulation, conductivity, and color as needed. This resin tape can use an existing type. The electronic components include at least a semiconductor chip in which solder bumps are bonded to chip electrodes, singulated MEMS, capacitors, resistance elements, and the like. Further, the working hole of the storage emboss does not matter singly or plurally. The working hole can be formed in a plane circular shape, an elliptical shape, a rectangular shape, a polygonal shape, a lattice shape, a groove shape, or the like.

本発明によれば、電子部品を洗浄する場合、キャリアテープを用意してその樹脂テープの収納エンボスに電子部品を収納し、樹脂テープにキャリアテープ用カバーテープを貼り付けて電子部品を覆い、その後、洗浄液でキャリアテープを洗浄すれば良い。すると、洗浄液は、キャリアテープ用カバーテープの外部から貫通流通孔を通過して収納エンボス内に流入し、収納エンボス内の電子部品を洗浄する。   According to the present invention, when cleaning an electronic component, a carrier tape is prepared, the electronic component is stored in a storage embossment of the resin tape, a cover tape for a carrier tape is attached to the resin tape, and the electronic component is covered. The carrier tape may be washed with a washing liquid. Then, the cleaning liquid flows from the outside of the carrier tape cover tape through the through-flow holes into the storage emboss, and cleans the electronic components in the storage emboss.

本発明によれば、洗浄時における電子部品の有効な保護が期待でき、電子部品を収納する治具等の省略により、工程内部品点数の削減が期待できるという効果がある。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, effective protection of an electronic component at the time of washing | cleaning can be expected and there exists an effect that reduction of the number of parts in a process can be expected by omitting the jig etc. which accommodate an electronic component.

請求項2記載の発明によれば、キャリアテープ用カバーテープの長手方向に複数の貫通流通孔を設けることにより、収納エンボスに対する洗浄液の流入量を増加させ、収納エンボス内の電子部品をより効果的に洗浄することができる。また、例え収納エンボスが複数の場合にも、各収納エンボス内に洗浄液を流入させ、収納エンボス内の電子部品を効果的に洗浄することができる。   According to the second aspect of the present invention, by providing a plurality of through-flow holes in the longitudinal direction of the carrier tape cover tape, the inflow amount of the cleaning liquid into the storage emboss is increased, and the electronic components in the storage emboss can be more effectively used. Can be washed. Also, even when there are a plurality of storage embosses, the cleaning liquid can flow into each storage emboss, and the electronic components in the storage emboss can be effectively cleaned.

請求項3記載の発明によれば、洗浄時に電子部品を有効に保護することができ、しかも、電子部品収納治具の省略により、工程内部品点数の削減に資することができるという効果がある。
請求項4記載の発明によれば、洗浄液により収納エンボス内の電子部品を湿式洗浄するので、乾式洗浄に比べ、より大きな洗浄力を得ることが可能になる。
According to the third aspect of the present invention, the electronic components can be effectively protected at the time of cleaning, and the omission of the electronic component storage jig can contribute to a reduction in the number of components in the process.
According to the fourth aspect of the present invention, since the electronic components in the storage emboss are wet-cleaned by the cleaning liquid, it is possible to obtain a greater cleaning power than dry cleaning.

請求項5記載の発明によれば、キャリアテープ用カバーテープの貫通流通孔から洗浄液を樹脂テープとキャリアテープ用カバーテープの間に流通させて収納エンボス内に流入させることができる。したがって、洗浄液の収納エンボス内への流入量を増加させ、収納エンボス内の電子部品を精密洗浄することが可能になる。   According to the fifth aspect of the present invention, the cleaning liquid can flow between the resin tape and the carrier tape cover tape from the through-flow hole of the carrier tape cover tape and flow into the storage emboss. Therefore, the flow rate of the cleaning liquid into the storage emboss can be increased, and the electronic components in the storage emboss can be precisely cleaned.

請求項6記載の発明によれば、略対向するキャリアテープ用カバーテープの貫通流通孔と収納エンボスの作業孔とが洗浄液を円滑に流通させて汚れた電子部品を洗浄するとともに、汚れた洗浄液を収納エンボスの外部に排出するので、汚れた電子部品の効率的な洗浄が期待でき、電子部品に付着した異物や塵埃を有効に除去することが可能になる。   According to the invention as set forth in claim 6, the through-flow holes of the carrier tape cover tape and the working holes of the storage emboss, which are substantially opposed to each other, allow the cleaning liquid to smoothly flow to clean the dirty electronic components, and to clean the dirty cleaning liquid. Since the electronic components are discharged to the outside of the storage emboss, efficient cleaning of the dirty electronic components can be expected, and foreign substances and dust attached to the electronic components can be effectively removed.

請求項7記載の発明によれば、キャリアテープ用カバーテープの貫通流通孔と収納エンボスの作業孔とが洗浄液を流通させて汚れた電子部品を洗浄するとともに、汚れた洗浄液を収納エンボスの外部に排出するので、汚れた電子部品の効率的な洗浄が期待でき、電子部品に付着した異物や塵埃を有効に除去することができる。   According to the invention as set forth in claim 7, the through-flow holes of the carrier tape cover tape and the working holes of the storage emboss allow the cleaning liquid to flow to wash the dirty electronic components, and the dirty cleaning liquid flows outside the storage emboss. Since the discharge is performed, efficient cleaning of the contaminated electronic components can be expected, and foreign matters and dust adhering to the electronic components can be effectively removed.

本発明に係るキャリアテープ用カバーテープ及びキャリアテープの実施形態を模式的に示す説明図で、(a)図は平面図、(b)図は断面側面図、(c)図は断面端面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing which shows typically the embodiment of the cover tape for carrier tapes and carrier tape which concerns on this invention, (a) figure is a top view, (b) figure is sectional side view, (c) figure is sectional end view. is there. 本発明に係るキャリアテープ用カバーテープ及びキャリアテープの第2の実施形態を模式的に示す説明図で、(a)図は平面図、(b)図は断面側面図、(c)図は断面端面図である。It is explanatory drawing which shows 2nd Embodiment of the cover tape for carrier tapes and carrier tape which concerns on this invention typically, (a) figure is a top view, (b) figure is sectional side view, (c) figure is sectional. It is an end elevation. 本発明に係るキャリアテープ用カバーテープ及びキャリアテープの第3の実施形態を模式的に示す説明図で、(a)図は平面図、(b)図は断面側面図、(c)図は断面端面図である。It is explanatory drawing which shows 3rd Embodiment of the cover tape for carrier tapes and carrier tape which concerns on this invention typically, (a) figure is a top view, (b) figure is sectional side view, (c) figure is sectional. It is an end elevation. 従来におけるキャリアテープを模式的に示す説明図で、(a)図は平面図、(b)図は断面側面図、(c)図は断面端面図である。It is explanatory drawing which shows the conventional carrier tape typically, (a) figure is a top view, (b) figure is sectional side view, (c) figure is sectional end elevation. 従来における他のキャリアテープを模式的に示す説明図で、(a)図は平面図、(b)図は断面側面図、(c)図は断面端面図である。It is explanatory drawing which shows the other conventional carrier tape typically, (a) figure is a top view, (b) figure is sectional side view, (c) figure is sectional end elevation.

以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態におけるキャリアテープは、図1(a)、(b)、(c)に示すように、巻取リールに巻回される長い樹脂テープ1と、この樹脂テープ1に所定の間隔で多数配列形成される電子部品10用の収納エンボス4とを備え、樹脂テープ1に、多数の収納エンボス4を被覆する洗浄用の貫通流通孔22付きのカバーテープ20が剥離可能に貼着され、各収納エンボス4の底部5に作業孔6がパンチングされており、超音波洗浄機の洗浄槽の洗浄液に浸漬されることにより、収納エンボス4内の電子部品10が湿式洗浄される。   Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1A, 1B, and 1C, a carrier tape according to this embodiment is wound around a take-up reel. A long resin tape 1 is provided, and a large number of storage embosses 4 for electronic components 10 arranged and formed on the resin tape 1 at predetermined intervals. The resin tape 1 is covered with a large number of storage embosses 4 for cleaning. A cover tape 20 with a through-flow hole 22 is releasably adhered, and a working hole 6 is punched in a bottom portion 5 of each storage emboss 4 and is immersed in a cleaning liquid in a cleaning tank of an ultrasonic cleaning machine, The electronic component 10 in the storage emboss 4 is wet-cleaned.

樹脂テープ1は、所定の樹脂により図1(a)の左右方向に伸びる可撓性の細長い帯形に成形され、一側部長手方向に多数の送り孔2が所定の間隔をおき一列に並べてパンチングされるとともに、各送り孔2が平面円形に形成されており、多数の送り孔2がキャリアテープの繰り出しに利用される。この樹脂テープ1の材料としては、特に限定されるものではないが、汎用性に優れる透明のポリスチレン、A‐PET、強度に優れるポリエチレンテレフタレート、耐薬品性に優れるポリプロピレン、機械的性質や成形性に優れるABS樹脂、耐衝撃性や寸法安定性に優れるポリカーボネート等の基材があげられる。   The resin tape 1 is formed of a predetermined resin into a flexible elongated strip extending in the left-right direction of FIG. 1A, and a plurality of feed holes 2 are arranged in a line at predetermined intervals in one side longitudinal direction. While being punched, each feed hole 2 is formed in a plane circular shape, and a large number of feed holes 2 are used for feeding out a carrier tape. The material of the resin tape 1 is not particularly limited, but is a transparent polystyrene having excellent versatility, A-PET, polyethylene terephthalate having excellent strength, polypropylene having excellent chemical resistance, and having excellent mechanical properties and moldability. Substrates such as excellent ABS resin and polycarbonate excellent in impact resistance and dimensional stability.

樹脂テープ1の長さは、例えば500m以上、1400m以上、2000m以上に設定される。また、樹脂テープ1の幅は、例えば規格化された8、12、16、24、32、44、56、72mm等のサイズに設定される。樹脂テープ1の厚さは、特に限定されるものではないが、可撓性と強度とを両立させる観点から、0.17mm以上0.50mm以下、好ましくは0.20mm以上0.40mm以下、より好ましくは0.30mm前後の薄さとされる。   The length of the resin tape 1 is set to, for example, 500 m or more, 1400 m or more, and 2000 m or more. The width of the resin tape 1 is set to, for example, standardized sizes such as 8, 12, 16, 24, 32, 44, 56, and 72 mm. The thickness of the resin tape 1 is not particularly limited, but from the viewpoint of achieving both flexibility and strength, from 0.17 mm to 0.50 mm, preferably from 0.20 mm to 0.40 mm, Preferably, the thickness is about 0.30 mm.

多数の収納エンボス4は、樹脂テープ1の略中央部長手方向に一定の間隔で配列形成される。各収納エンボス4は、例えば底の浅い平面矩形のポケット形に凹み形成され、電子部品10として、チップ電極にハンダバンプが接合された半導体チップ、個片化されたMEMS、キャパシタ、抵抗素子等が収納される。   A large number of storage embossments 4 are arranged at regular intervals in the longitudinal direction of a substantially central portion of the resin tape 1. Each of the storage embosses 4 is, for example, formed in a recessed shape in a flat rectangular pocket shape having a shallow bottom, and stores, as the electronic component 10, a semiconductor chip in which solder bumps are bonded to chip electrodes, individual MEMS, capacitors, resistance elements, and the like. Is done.

収納エンボス4の平坦な底部5の中央には、平面円形の作業孔6がパンチングされる。この作業孔6は、電子部品10の洗浄時に洗浄液の流出孔・流入孔として利用される。また、収納エンボス4に電子部品10が収納されているか否かをセンサが検知するのに利用されたり、カバーテープ20の剥離時に電子部品10が収納エンボス4から飛び出さないよう、吸着装置による電子部品10の真空吸着にも用いることが可能である。   In the center of the flat bottom 5 of the storage embossing 4, a flat circular work hole 6 is punched. The working holes 6 are used as outflow holes and inflow holes of a cleaning liquid when the electronic component 10 is cleaned. Also, the electronic device 10 is used by a sensor to detect whether or not the electronic component 10 is stored in the storage emboss 4, or by an electronic device using a suction device so that the electronic component 10 does not protrude from the storage emboss 4 when the cover tape 20 is peeled off. It can also be used for vacuum suction of the component 10.

カバーテープ20は、所定の材料により図1(a)の左右方向に伸びる可撓性の細長い帯形に成形され、樹脂テープ1の一側部を除く表面3長手方向に熱圧着されて多数の収納エンボス4の開口を被覆することにより、収納エンボス4内の電子部品10の飛び出しを規制する。このカバーテープ20の材料としては、特に限定されるものではないが、例えばポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンフィルム等の基材に、常温接着性の感圧式接着層や熱融着性の接着層が積層された材料が用いられる。   The cover tape 20 is formed of a predetermined material into a flexible elongated strip extending in the left-right direction of FIG. 1A, and is thermocompression-bonded in the longitudinal direction of the surface 3 excluding one side of the resin tape 1 to form a large number. By covering the opening of the storage emboss 4, the protrusion of the electronic component 10 in the storage emboss 4 is restricted. The material of the cover tape 20 is not particularly limited. For example, a normal temperature adhesive pressure-sensitive adhesive layer or a heat fusible adhesive layer is applied to a base material such as a polyester film, a polyethylene terephthalate film, or a polyethylene film. Are used.

カバーテープ20は、透明タイプ等からなり、40μm以上70μm以下、好ましくは45μm以上65μm以下、より好ましくは48μm以上55μm以下程度の厚さとされる。このカバーテープ20は、樹脂テープ1の一側部以外の表面3に両側部21がそれぞれ熱圧着され、両側部21以外の残部が樹脂テープ1の一側部以外の表面3に熱圧着されることなく対向しており、この対向により、樹脂テープ1の表面3との間の僅かな隙間に洗浄液が浸入可能となる。   The cover tape 20 is made of a transparent type or the like, and has a thickness of about 40 μm to 70 μm, preferably about 45 μm to 65 μm, more preferably about 48 μm to 55 μm. This cover tape 20 is thermocompression-bonded on both sides 21 to the surface 3 other than one side of the resin tape 1, and the remainder other than both sides 21 is thermocompression-bonded to the surface 3 other than one side of the resin tape 1. The cleaning liquid can penetrate into a slight gap between the resin tape 1 and the front surface 3.

カバーテープ20の略中央部長手方向には、洗浄用の多数の貫通流通孔22が所定の間隔でパンチング形成され、各貫通流通孔22が平面円形に形成されており、多数の貫通流通孔22が収納エンボス4の作業孔6に一対一の関係で上方から対向する。このような貫通流通孔22は、電子部品10の洗浄時に洗浄液の流入孔・流出孔として機能し、相対向する作業孔6との間で洗浄液を円滑に流動させる。貫通流通孔22は、作業孔6に対して部分的に対向する関係でも良いが、優れた洗浄効果を得るためには、作業孔6に対して正対する関係が最適である。   In the longitudinal direction of the central portion of the cover tape 20, a large number of through-flow holes 22 for cleaning are punched at predetermined intervals, and each of the through-flow holes 22 is formed in a plane circular shape. Faces the working hole 6 of the storage emboss 4 from above in a one-to-one relationship. The through-flow holes 22 function as an inflow hole and an outflow hole of the cleaning liquid when the electronic component 10 is cleaned, and allow the cleaning liquid to flow smoothly between the opposing working holes 6. The through-flow hole 22 may have a relationship in which the through-flow hole 22 partially opposes the working hole 6, but in order to obtain an excellent cleaning effect, the relationship directly facing the working hole 6 is optimal.

上記構成において、電子部品10を洗浄・乾燥する場合には、先ず、未使用のキャリアテープを用意し、このキャリアテープの樹脂テープ1の多数の収納エンボス4に汚れた電子部品10をそれぞれ収納し、樹脂テープ1の表面3にカバーテープ20の両側部21をそれぞれ熱圧着して電子部品10を被覆保護するとともに、各収納エンボス4の作業孔6にカバーテープ20の貫通流通孔22を上方から対向させ、その後、超音波洗浄機の洗浄槽の洗浄液にキャリアテープを所定時間(例えば、1分、3分、5分、10分、30分等)浸漬して電子部品10を超音波洗浄すれば良い。   In the above configuration, when the electronic component 10 is to be washed and dried, first, an unused carrier tape is prepared, and the dirty electronic components 10 are stored in a large number of storage embosses 4 of the resin tape 1 of the carrier tape. The both sides 21 of the cover tape 20 are thermocompression-bonded to the surface 3 of the resin tape 1 to cover and protect the electronic component 10, and the through-flow holes 22 of the cover tape 20 are inserted into the working holes 6 of the storage embosses 4 from above. After that, the carrier tape is immersed in a cleaning liquid in a cleaning tank of the ultrasonic cleaning machine for a predetermined time (for example, 1, 3, 5, 10, 30 minutes, etc.) to ultrasonically clean the electronic component 10. Good.

この浸漬の際、繰出リールから巻取リールにキャリアテープを連続的に繰り出しながら洗浄槽の洗浄液に電子部品10を浸漬しても良いし、巻取リールにキャリアテープを巻回した後、巻取リールと共にキャリアテープを洗浄槽の洗浄液に浸漬して電子部品10を超音波洗浄しても良い。   In this immersion, the electronic component 10 may be immersed in the cleaning liquid in the cleaning tank while continuously feeding the carrier tape from the take-out reel to the take-up reel, or the carrier tape may be wound on the take-up reel and then taken up. The electronic component 10 may be ultrasonically cleaned by immersing the carrier tape together with the reel in a cleaning solution in a cleaning tank.

洗浄槽の洗浄液は、特に限定されるものではないが、例えばグリコールエーテル系溶液(例えば、PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)、PGME(プロピレングリコールモノメチルエーテル)等)等が使用される。また、フラックス用の洗浄液としては、限定されるものではないが、パインアルファ(荒川化学工業株式会社製:製品名)やクリンスルー(花王株式会社製:製品名)等が用いられる。   The cleaning liquid in the cleaning tank is not particularly limited, but for example, a glycol ether-based solution (eg, PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate), PGME (propylene glycol monomethyl ether), etc.) is used. Further, examples of the cleaning liquid for the flux include, but are not limited to, Pine Alpha (manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd .: product name) and Clean Through (manufactured by Kao Corporation: product name).

洗浄槽の洗浄液にキャリアテープを浸漬すると、洗浄液は、カバーテープ20の外部から貫通流通孔22を経由して収納エンボス4内に流入し、収納エンボス4内の汚れた電子部品10を洗浄し、収納エンボス4の作業孔6から外部に流出する。また、収納エンボス4の外部から作業孔6を経由して収納エンボス4内に流入し、収納エンボス4内の汚れた電子部品10を洗浄し、カバーテープ20の貫通流通孔22から外部に流出する。このような洗浄液の流通・循環により、汚れた電子部品10を効果的に洗浄して汚染した洗浄液を迅速に排水することができるので、電子部品10に付着した微細なフラックスや樹脂の残渣、保護膜、電子部品10の電極表面の形成膜の除去が大いに期待できる。   When the carrier tape is immersed in the cleaning liquid in the cleaning tank, the cleaning liquid flows into the storage emboss 4 from the outside of the cover tape 20 via the through-flow hole 22, and cleans the dirty electronic component 10 in the storage emboss 4. It flows out of the working hole 6 of the storage emboss 4 to the outside. In addition, it flows into the storage emboss 4 from outside the storage emboss 4 via the work hole 6, cleans the dirty electronic component 10 in the storage emboss 4, and flows out through the through circulation hole 22 of the cover tape 20. . By such a circulation and circulation of the cleaning liquid, the contaminated electronic component 10 can be effectively cleaned, and the contaminated cleaning liquid can be quickly drained. The removal of the film and the film formed on the electrode surface of the electronic component 10 can be greatly expected.

電子部品10を超音波洗浄したら、洗浄槽からキャリアテープを引き上げ、このキャリアテープに付着した洗浄液を液切りした後、電子部品10に対して空気を吹き付け循環等すれば、電子部品10を乾燥させることができる。この際、空気は、洗浄液同様、収納エンボス4の作業孔6やカバーテープ20の貫通流通孔22から収納エンボス4内に流入したり、流出するので、電子部品10を短時間で迅速に乾燥させ、高品質の電子部品10を得ることができる。   When the electronic component 10 is ultrasonically cleaned, the carrier tape is pulled up from the cleaning tank, the cleaning liquid attached to the carrier tape is drained, and then the electronic component 10 is dried by blowing air on the electronic component 10 and circulating. be able to. At this time, like the cleaning liquid, the air flows into and out of the storage emboss 4 through the working hole 6 of the storage emboss 4 and the through-flow hole 22 of the cover tape 20, so that the electronic component 10 is quickly and quickly dried. Thus, a high quality electronic component 10 can be obtained.

なお、電子部品10を超音波洗浄した後、キャリアテープを真空乾燥器に収納し、この真空乾燥器の槽内を減圧することにより、付着している洗浄液の蒸発を促して乾燥させ、高品質の電子部品10を得ることもできる。   After the electronic component 10 is ultrasonically cleaned, the carrier tape is housed in a vacuum dryer, and the inside of the tank of the vacuum dryer is depressurized to promote the evaporation of the attached cleaning liquid and to dry it. Electronic component 10 can be obtained.

上記によれば、汚染した電子部品10の洗浄や乾燥に使用可能なキャリアテープを得ることができる。すなわち、収納エンボス4に電子部品10を収納して適正な保護を図るので、洗浄時における電子部品10の位置ずれやガタツキを防止することができ、洗浄時に電子部品10のハンダバンプが損傷したり、チッピングが生じるおそれを有効に排除することができる。また、電子部品10を適切に収納保護する専用治具を特に必要としないので、工程内部品点数の削減を図ることができ、しかも、洗浄・乾燥作業の簡素化、迅速化、容易化に資することができる。   According to the above, a carrier tape that can be used for cleaning and drying the contaminated electronic component 10 can be obtained. That is, since the electronic component 10 is stored in the storage embossment 4 to appropriately protect the electronic component 10, misalignment and rattling of the electronic component 10 during cleaning can be prevented, and solder bumps of the electronic component 10 can be damaged during cleaning. The possibility that chipping occurs can be effectively eliminated. In addition, since a special jig for appropriately storing and protecting the electronic component 10 is not required, the number of components in the process can be reduced, and the washing and drying operations can be simplified, speeded up, and facilitated. be able to.

また、貫通流通孔22が平面視で収納エンボス4の中央部に位置するので、洗浄液が収納エンボス4の内部全体に均等に流入・流出し、電子部品10の全体を精密洗浄することが可能となる。さらに、洗浄液が滞留することなく、流通・循環するので、汚染した洗浄液を迅速に排水し、汚染したフラックスや樹脂の残渣、保護膜、電子部品10の電極表面の形成膜等が電子部品10に再付着するのを有効に防止することが可能になる。   In addition, since the through-flow hole 22 is located at the center of the storage emboss 4 in a plan view, the cleaning liquid can flow uniformly into and out of the entire inside of the storage emboss 4, and the entire electronic component 10 can be precisely cleaned. Become. Further, since the cleaning liquid flows and circulates without stagnation, the contaminated cleaning liquid is quickly drained, and contaminated flux, resin residue, a protective film, a film formed on the electrode surface of the electronic component 10, and the like are transferred to the electronic component 10. It is possible to effectively prevent redeposition.

次に、図2(a)、(b)、(c)は本発明の第2の実施形態を示すもので、この場合には、カバーテープ20の略中央部長手方向に、洗浄用の多数の貫通流通孔22を所定の間隔でパンチング形成し、この多数の貫通流通孔22の一部を収納エンボス4の作業孔6に正対させ、多数の貫通流通孔22の残部を隣接する複数の収納エンボス4間における樹脂テープ1の表面3に対向させるようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。   Next, FIGS. 2A, 2B, and 2C show a second embodiment of the present invention. In this case, a large number of cleaning Are formed at predetermined intervals by punching, a part of the plurality of through-flow holes 22 is directly opposed to the working hole 6 of the storage emboss 4, and the remaining portions of the plurality of through-flow holes 22 are adjacent to the plurality of through-holes 22. It is made to face the surface 3 of the resin tape 1 between the storage embossments 4. The other parts are the same as those in the above-described embodiment, and a description thereof will be omitted.

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、多数の貫通流通孔22の残部を樹脂テープ1の表面3に対向させるので、この貫通流通孔22から洗浄液を樹脂テープ1とカバーテープ20間の僅かな隙間に流通させた後、収納エンボス4内に流入させることができる。したがって、洗浄液の収納エンボス4内への流入量を増加させ、収納エンボス4内の汚れた電子部品10をより効果的に精密洗浄することができる。また、樹脂テープ1の表面3を洗浄し、微細な異物を除去することも可能である。   In this embodiment, the same operation and effect as those in the above embodiment can be expected, and the remaining portion of the large number of through-flow holes 22 is opposed to the surface 3 of the resin tape 1. After flowing through a small gap between the cover embossing tape 20 and the cover tape 20, it can flow into the storage emboss 4. Therefore, the flow rate of the cleaning liquid into the storage emboss 4 can be increased, and the dirty electronic component 10 in the storage emboss 4 can be more effectively and precisely cleaned. It is also possible to clean the surface 3 of the resin tape 1 to remove fine foreign matter.

次に、図3(a)、(b)、(c)はは本発明の第3の実施形態を示すもので、この場合には、カバーテープ20の略中央部長手方向に、洗浄用の多数の貫通流通孔22を所定の間隔でパンチング形成し、この多数の貫通流通孔22を一対の貫通流通孔22毎に分割し、この一対の貫通流通孔22を各収納エンボス4の底部中央付近に対向させるようにしている。   Next, FIGS. 3A, 3B, and 3C show a third embodiment of the present invention. In this case, the cleaning tape is disposed substantially in the longitudinal direction of the central portion of the cover tape 20. A large number of through-flow holes 22 are formed at predetermined intervals by punching, and the large number of through-holes 22 are divided into a pair of through-holes 22. To be opposed.

一対の貫通流通孔22は、カバーテープ20の幅方向や長手方向に所定の間隔をおいて隣接配置される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、カバーテープ20の貫通流通孔22のパターンの多様化が期待できるのは明らかである。
The pair of through-flow holes 22 are arranged adjacent to each other at a predetermined interval in the width direction and the longitudinal direction of the cover tape 20. The other parts are the same as those in the above-described embodiment, and a description thereof will be omitted.
In this embodiment, it is apparent that the same operation and effect as the above embodiment can be expected, and that the pattern of the through-flow holes 22 of the cover tape 20 can be expected to be diversified.

なお、上記実施形態では平板形の樹脂テープ1を示したが、何らこれに限定されるものではない。例えば、樹脂テープ1を、間隔をおいて相対向する左右一対のフランジ片と、この左右一対のフランジ片の間に架設されて多数の収納エンボス4を支持する段差受片とを一体に備えた可撓性の長い帯形に形成しても良い。また、樹脂テープ1の両側部に多数の送り孔2を所定の間隔をおき一列に並べてパンチングしても良い。   In the above embodiment, the flat resin tape 1 is shown, but the present invention is not limited to this. For example, the resin tape 1 is integrally provided with a pair of left and right flange pieces facing each other at an interval, and a step receiving piece that is bridged between the pair of right and left flange pieces and supports a large number of storage embosses 4. It may be formed in a long flexible band shape. Alternatively, a plurality of feed holes 2 may be arranged in a row at predetermined intervals on both sides of the resin tape 1 and punched.

また、収納エンボス4の底部5は、平坦でも良いが、上げ底でも良い。また、収納エンボス4の底部5に作業孔6をパンチングするが、この作業孔6を複数形成して平面H字形やX字形、十字形、サイコロの五の目形等に配列しても良い。また、収納エンボス4の周壁に作業孔6をパンチングしても良いし、収納エンボス4の底部5と周壁とに作業孔6をそれぞれパンチングすることもできる。   The bottom 5 of the storage emboss 4 may be flat or raised. In addition, the working holes 6 are punched in the bottom 5 of the storage embossing 4, but a plurality of such working holes 6 may be formed and arranged in a plane H shape, an X shape, a cross shape, a pentagonal shape of dice, or the like. Further, the working hole 6 may be punched in the peripheral wall of the storage emboss 4, or the work hole 6 may be punched in the bottom 5 and the peripheral wall of the storage emboss 4.

また、樹脂テープ1の表面3にカバーテープ20の両側部21をそれぞれ熱圧着しても良いが、着脱自在に粘着することもできる。また、カバーテープ20の貫通流通孔22を、収納エンボス4の作業孔6に完全に対向させても良いが、部分的に対向させることもできる。さらに、各収納エンボス4の底部5とカバーテープ20の複数の貫通流通孔22とを対向させ、この複数の貫通流通孔22を所定の模様に配列することも可能である。具体的には、収納エンボス4の底部四隅とカバーテープ20の複数の貫通流通孔22とを対向させたり、収納エンボス4の底部5に対向する複数の貫通流通孔22を平面H字形やX字形、十字形に配列したり、複数の貫通流通孔22をサイコロの五の目形等に配列することも可能である。   Further, both side portions 21 of the cover tape 20 may be thermocompression-bonded to the front surface 3 of the resin tape 1, respectively, or may be detachably adhered. Further, the through-flow hole 22 of the cover tape 20 may be completely opposed to the working hole 6 of the storage emboss 4, or may be partially opposed. Further, it is also possible that the bottom 5 of each storage emboss 4 and the plurality of through-flow holes 22 of the cover tape 20 face each other, and the plurality of through-flow holes 22 are arranged in a predetermined pattern. Specifically, the bottom four corners of the storage emboss 4 and the plurality of through-flow holes 22 of the cover tape 20 may be opposed to each other, or the plurality of through-flow holes 22 facing the bottom 5 of the storage emboss 4 may be formed into a flat H-shape or an X-shape. It is also possible to arrange them in a cross shape, or to arrange the plurality of through-flow holes 22 in a quincunx shape of a dice.

以下、本発明に係るキャリアテープの実施例を比較例と共に説明する。
〔実施例1〕
先ず、図1(a)、(b)、(c)に示すキャリアテープを用意し、このキャリアテープの収納エンボスに半導体チップからなる4×4mmの電子部品を収納し、キャリアテープの表面にカバーテープの両側部をそれぞれ熱圧着して電子部品を被覆した。
Hereinafter, examples of the carrier tape according to the present invention will be described together with comparative examples.
[Example 1]
First, a carrier tape shown in FIGS. 1 (a), 1 (b) and 1 (c) is prepared, a 4 × 4 mm electronic component made of a semiconductor chip is stored in a storage emboss of the carrier tape, and a cover is provided on the surface of the carrier tape. The electronic components were covered by thermocompression bonding on both sides of the tape.

キャリアテープは、A‐PETにより幅12mmに成形された樹脂テープとし、この樹脂テープの一側部長手方向に多数の送り孔を所定のピッチで一列に並べてパンチングするとともに、各送り孔をφ1.5mmの大きさとした。また、樹脂テープの中央部長手方向に、4×4mmの電子部品を収納可能な収納エンボスを8mmピッチで多数凹み形成し、各収納エンボスの底部中央に、φ1.0mmの作業孔をパンチングした。   The carrier tape is a resin tape molded to a width of 12 mm by A-PET. A number of feed holes are arranged in a line at a predetermined pitch in one longitudinal direction of one side of the resin tape and punched. The size was 5 mm. Further, a large number of storage embosses capable of accommodating 4 × 4 mm electronic components were formed at a pitch of 8 mm in the longitudinal direction of the central portion of the resin tape, and a work hole of φ1.0 mm was punched at the center of the bottom of each storage emboss.

カバーテープは、ポリエチレンテレフタレートフィルム製の幅9.5mmのテープとし、このテープに多数の貫通流通孔を8mmピッチでパンチングするとともに、各貫通流通孔をφ1.0mmの大きさとした。また、キャリアテープの表面にカバーテープの両側部をそれぞれ熱圧着する際、各収納エンボスの作業孔に貫通流通孔を一対一の関係で正対させた。   The cover tape was a 9.5 mm wide tape made of a polyethylene terephthalate film, and a large number of through-flow holes were punched in the tape at a pitch of 8 mm, and each of the through-flow holes was made to have a size of φ1.0 mm. Further, when the both sides of the cover tape were thermocompression-bonded to the surface of the carrier tape, the through-holes were directly opposed to the working holes of each storage emboss in a one-to-one relationship.

キャリアテープの樹脂テープ表面にカバーテープを熱圧着したら、超音波洗浄機の洗浄槽の洗浄液にキャリアテープを浸漬し、30KHz、30分間の条件で電子部品を超音波洗浄した。洗浄槽の洗浄液としては、フラックス洗浄剤(荒川化学工業株式会社製:製品名パインアルファST‐180)を採用した。   After the cover tape was thermocompression-bonded to the surface of the resin tape of the carrier tape, the carrier tape was immersed in a cleaning solution in a cleaning tank of an ultrasonic cleaner, and the electronic components were ultrasonically cleaned at 30 KHz for 30 minutes. As a cleaning liquid for the cleaning tank, a flux cleaning agent (Pine Alpha ST-180, manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.) was used.

電子部品を超音波洗浄したら、洗浄槽からキャリアテープを引き上げ、このキャリアテープに付着した洗浄液を液切りした後、カバーテープの貫通流通孔に0.5MPaの条件で圧縮空気を10秒間吹き付け、収納エンボス内の電子部品を乾燥させた。こうして電子部品を乾燥させたら、洗浄結果と乾燥結果とを表1にまとめて記載した。   After the electronic parts are ultrasonically cleaned, the carrier tape is pulled up from the cleaning tank, the cleaning liquid attached to the carrier tape is drained, and then compressed air is blown into the through-flow holes of the cover tape under the condition of 0.5 MPa for 10 seconds and stored. The electronic components in the emboss were dried. When the electronic component was dried in this way, the cleaning results and the drying results are summarized in Table 1.

洗浄結果は、電子部品に対する残存異物の有無、及び電子部品の電極表面をEDXで成分分析してその効果を確認することとし、結果が良好な場合には○とし、結果が不良の場合には×とした。また、乾燥結果は、収納エンボス内に洗浄液が残存しているか否かにより判定することとし、洗浄液が残存していない場合には○とし、洗浄液が残存していない場合には×とした。   The cleaning result is to check the presence or absence of residual foreign substances on the electronic component and the effect of component analysis on the electrode surface of the electronic component by EDX. X. The drying result was determined based on whether or not the cleaning liquid remained in the storage emboss. When the cleaning liquid did not remain, it was evaluated as ○, and when the cleaning liquid did not remain, it was evaluated as X.

〔比較例1〕
先ず、図4(a)、(b)、(c)に示すキャリアテープを用意し、このキャリアテープの収納エンボスに半導体チップからなる4×4mmの電子部品を収納し、キャリアテープの表面にカバーテープの両側部をそれぞれ熱圧着して電子部品を被覆した。
[Comparative Example 1]
First, a carrier tape shown in FIGS. 4A, 4B, and 4C is prepared, and a 4 × 4 mm electronic component made of a semiconductor chip is stored in a storage emboss of the carrier tape, and a cover is provided on the surface of the carrier tape. The electronic components were covered by thermocompression bonding on both sides of the tape.

キャリアテープは、A‐PETにより幅12mmに成形された樹脂テープとし、この樹脂テープの一側部長手方向に多数の送り孔を所定の間隔をおき一列に並べてパンチングするとともに、各送り孔をφ1.5mmの大きさとした。また、樹脂テープの中央部長手方向に、4×4mmの電子部品を収納可能な収納エンボスを8mmピッチで多数凹み形成したが、各収納エンボスの作業孔は省略した。
カバーテープは、ポリエチレンテレフタレートフィルム製の幅9.5mmのテープとしたが、貫通流通孔は省略した。
The carrier tape is a resin tape molded to a width of 12 mm by A-PET. A number of feed holes are arranged in a line at predetermined intervals in a longitudinal direction of one side of the resin tape and punched. The size was 0.5 mm. In the longitudinal direction of the central portion of the resin tape, a large number of storage embosses capable of storing 4 × 4 mm electronic components were formed at a pitch of 8 mm, but the working holes of each storage emboss were omitted.
The cover tape was a tape made of polyethylene terephthalate film having a width of 9.5 mm, but the through-flow holes were omitted.

キャリアテープの樹脂テープ表面にカバーテープを熱圧着したら、超音波洗浄機の洗浄槽の洗浄液にキャリアテープを浸漬し、30KHz、30分間の条件で電子部品を超音波洗浄した。洗浄槽の洗浄液としては、フラックス洗浄剤(荒川化学工業株式会社製:製品名パインアルファST‐180)を採用した。   After the cover tape was thermocompression-bonded to the surface of the resin tape of the carrier tape, the carrier tape was immersed in a cleaning solution in a cleaning tank of an ultrasonic cleaner, and the electronic components were ultrasonically cleaned at 30 KHz for 30 minutes. As a cleaning liquid for the cleaning tank, a flux cleaning agent (Pine Alpha ST-180, manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.) was used.

電子部品を超音波洗浄したら、洗浄槽からキャリアテープを引き上げ、このキャリアテープに付着した洗浄液を液切りし、収納エンボス内の電子部品を乾燥させた。こうして電子部品を乾燥させたら、洗浄結果と乾燥結果とを表1にまとめて記載した。   After ultrasonic cleaning of the electronic components, the carrier tape was pulled up from the cleaning tank, the cleaning liquid attached to the carrier tape was drained, and the electronic components in the storage emboss were dried. When the electronic component was dried in this way, the cleaning results and the drying results are summarized in Table 1.

洗浄結果は、電子部品に対する残存異物の有無、及び電子部品の電極表面をEDXで成分分析してその効果を確認することとし、結果が良好な場合には○とし、結果が不良の場合には×とした。また、乾燥結果は、収納エンボス内に洗浄液が残存しているか否かにより判定することとし、洗浄液が残存していない場合には○とし、洗浄液が残存していない場合には×とした。   The cleaning result is to check the presence or absence of residual foreign substances on the electronic component and the effect of component analysis on the electrode surface of the electronic component by EDX. X. The drying result was determined based on whether or not the cleaning liquid remained in the storage emboss. When the cleaning liquid did not remain, it was evaluated as ○, and when the cleaning liquid did not remain, it was evaluated as X.

〔比較例2〕
先ず、図5(a)、(b)、(c)に示すキャリアテープを用意し、このキャリアテープの収納エンボスに半導体チップからなる4×4mmの電子部品を収納し、キャリアテープの表面にカバーテープの両側部をそれぞれ熱圧着して電子部品を被覆した。
[Comparative Example 2]
First, a carrier tape shown in FIGS. 5 (a), 5 (b) and 5 (c) is prepared, a 4 × 4 mm electronic component made of a semiconductor chip is stored in a storage emboss of the carrier tape, and a cover is provided on the surface of the carrier tape. The electronic components were covered by thermocompression bonding on both sides of the tape.

キャリアテープは、A‐PETにより幅12mmに成形された樹脂テープとし、この樹脂テープの一側部長手方向に多数の送り孔を所定の間隔をおき一列に並べてパンチングするとともに、各送り孔をφ1.5mmの大きさに形成した。また、樹脂テープの中央部長手方向に、4×4mmの電子部品を収納する収納エンボスを8mmピッチで多数凹み形成し、各収納エンボスの底部中央に、φ1.0mmの作業孔をパンチングした。
カバーテープは、ポリエチレンテレフタレートフィルム製の幅9.5mmのテープとしたが、貫通流通孔を省略した。
The carrier tape is a resin tape molded to a width of 12 mm by A-PET. A number of feed holes are arranged in a line at predetermined intervals in a longitudinal direction of one side of the resin tape and punched. It was formed in a size of 0.5 mm. In addition, a large number of storage embosses for accommodating 4 × 4 mm electronic components were formed at a pitch of 8 mm in the longitudinal direction of the central portion of the resin tape, and a work hole of φ1.0 mm was punched at the center of the bottom of each storage emboss.
The cover tape was a 9.5 mm wide tape made of a polyethylene terephthalate film, but the through-flow holes were omitted.

キャリアテープの樹脂テープ表面にカバーテープを熱圧着したら、比較例1と同様にして電子部品を超音波洗浄し、電子部品を乾燥させた後、洗浄結果と乾燥結果とを表1に記載した。   After the cover tape was thermocompression-bonded to the surface of the resin tape of the carrier tape, the electronic components were subjected to ultrasonic cleaning in the same manner as in Comparative Example 1, and the electronic components were dried. The results of cleaning and drying are shown in Table 1.

〔比較例3〕
先ず、作業孔無しのキャリアテープを用意し、このキャリアテープの収納エンボスに半導体チップからなる4×4mmの電子部品を収納し、キャリアテープの表面にカバーテープの両側部をそれぞれ熱圧着して電子部品を被覆した。
[Comparative Example 3]
First, a carrier tape having no working holes is prepared, a 4 × 4 mm electronic component made of a semiconductor chip is stored in the embossment of the carrier tape, and both sides of the cover tape are thermocompression-bonded to the surface of the carrier tape. Parts were coated.

キャリアテープは、比較例1と同様とした。また、カバーテープは、ポリエチレンテレフタレートフィルム製の幅9.5mmのテープとし、このテープに8mmピッチで多数の貫通流通孔をパンチングするとともに、各貫通流通孔をφ1.0mmの大きさに形成した。樹脂テープの表面にカバーテープの両側部をそれぞれ熱圧着する際、各収納エンボスの底部に貫通流通孔を対向させた。
キャリアテープの樹脂テープ表面にカバーテープを熱圧着したら、比較例1と同様にして電子部品を超音波洗浄し、電子部品を乾燥させた後、洗浄結果と乾燥結果とを表1に記載した。
The carrier tape was the same as in Comparative Example 1. The cover tape was a polyethylene terephthalate film tape having a width of 9.5 mm, and a large number of through-flow holes were punched into the tape at a pitch of 8 mm, and each of the through-flow holes was formed to have a size of φ1.0 mm. When both sides of the cover tape were thermocompression-bonded to the surface of the resin tape, the through-flow holes were made to face the bottom of each storage emboss.
After the cover tape was thermocompression-bonded to the surface of the resin tape of the carrier tape, the electronic components were subjected to ultrasonic cleaning in the same manner as in Comparative Example 1, and the electronic components were dried. The results of cleaning and drying are shown in Table 1.

Figure 2020006965
Figure 2020006965

〔評 価〕
実施例のキャリアテープの場合、作業孔と貫通流通孔との正対により、優れた洗浄結果と乾燥結果を得ることができ、汚染した電子部品の洗浄や乾燥に最適なキャリアテープであるのが判明した。
これに対し、各比較例のキャリアテープの場合、充分な洗浄結果と乾燥結果を得ることができなかった。特に、比較例2、3のキャリアテープの場合、異物が残存し、実用性に深刻な疑義が生じた。
[Evaluation]
In the case of the carrier tape of the embodiment, excellent cleaning results and drying results can be obtained by directly facing the working holes and the through-flow holes, and the carrier tape most suitable for cleaning and drying of contaminated electronic components is. found.
On the other hand, in the case of the carrier tapes of Comparative Examples, sufficient cleaning results and drying results could not be obtained. In particular, in the case of the carrier tapes of Comparative Examples 2 and 3, foreign matters remained, and serious doubts were raised in practicality.

本発明に係るキャリアテープ用カバーテープ及びキャリアテープは、機械、電気、電子、半導体等の製造分野で使用される。   The cover tape for a carrier tape and the carrier tape according to the present invention are used in the fields of manufacturing machinery, electricity, electronics, semiconductors, and the like.

1 樹脂テープ
3 表面
4 収納エンボス
5 底部
6 作業孔
10 電子部品
20 カバーテープ(キャリアテープ用カバーテープ)
20A カバーテープ
21 両側部
22 貫通流通孔
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Resin tape 3 Front surface 4 Storage emboss 5 Bottom 6 Working hole 10 Electronic component 20 Cover tape (cover tape for carrier tape)
20A Cover tape 21 Both sides 22 Through flow hole

Claims (7)

洗浄用の貫通流通孔が設けられることを特徴とするキャリアテープ用カバーテープ。   A cover tape for a carrier tape, wherein a through-flow hole for cleaning is provided. 長手方向に洗浄用の複数の貫通流通孔が所定の間隔をおいて設けられる請求項1記載のキャリアテープ用カバーテープ。   The cover tape for a carrier tape according to claim 1, wherein a plurality of through-flow holes for cleaning are provided at predetermined intervals in a longitudinal direction. 樹脂テープに、電子部品を収納する収納エンボスが形成され、この収納エンボスに作業孔が設けられるキャリアテープであり、
樹脂テープに請求項1又は2に記載したキャリアテープ用カバーテープが貼り着けられることを特徴とするキャリアテープ。
A storage tape for storing electronic components is formed on the resin tape, and the storage tape is a carrier tape in which working holes are provided.
A carrier tape, wherein the carrier tape cover tape according to claim 1 is attached to a resin tape.
洗浄液により洗浄された後、乾燥される請求項3記載のキャリアテープ。   The carrier tape according to claim 3, wherein the carrier tape is dried after being washed with a washing liquid. 樹脂テープにキャリアテープ用カバーテープの両側部が貼り着けられ、樹脂テープにキャリアテープ用カバーテープの両側部以外の残部が対向する請求項3又は4記載のキャリアテープ。   5. The carrier tape according to claim 3, wherein both sides of the carrier tape cover tape are adhered to the resin tape, and a remaining portion other than both sides of the carrier tape cover tape faces the resin tape. 樹脂テープと収納エンボスの作業孔のうち、少なくとも収納エンボスの作業孔がキャリアテープ用カバーテープの貫通流通孔に略対向する請求項3、4、又は5記載のキャリアテープ。   6. The carrier tape according to claim 3, wherein at least the working hole of the storage emboss is substantially opposed to the through-flow hole of the carrier tape cover tape. 樹脂テープと収納エンボスの底部のうち、少なくとも収納エンボスの底部がキャリアテープ用カバーテープの貫通流通孔に対向する請求項3、4、又は5記載のキャリアテープ。   6. The carrier tape according to claim 3, wherein at least a bottom portion of the storage embossment, of the resin tape and the bottom portion of the storage embossment, faces the through-flow hole of the carrier tape cover tape.
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