JP2020001894A - 粘着テープの貼着装置及び粘着テープの貼着方法 - Google Patents

Abstract

【課題】テープ状部材の安定した搬送及び位置決めを行うことのできる粘着テープの貼着装置及び粘着テープの貼着方法を提供する。【解決手段】離型テープ２２に粘着テープ２１が貼着されたテープ状部材２を供給する供給部１２と、貼着対象物に対して、粘着テープ２１の離型テープ２２とは反対側の粘着面を貼着する貼着部１１と、テープ状部材２の貼着部１１に対する相対位置が変化するように、テープ状部材２を送る搬送部１４と、供給部１２によりテープ状部材２が供給される場合のテープ状部材２の第１のテンションが、搬送部１４によりテープ状部材２を送る場合のテープ状部材２の第２のテンションよりも高くなるように、テープ状部材２にテンションを与えるテンション機構３と、を有する。【選択図】図１

Description

本発明は、粘着テープの貼着装置及び粘着テープの貼着方法に関する。

液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの製造工程では、貼着対象物である基板に電子部品を実装する必要がある。この実装は、例えば、貼着装置に設けられた貼着部によって、基板の周縁上面に設けられた端子部に、粘着テープを介して電子部品を仮圧着後、熱と圧力を加えて本圧着することにより行う。

貼着される電子部品は、例えば、ＩＣチップ、ＴＣＰ（Ｔａｐｅ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）やＣＯＦ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｆｉｌｍ）等である。ＴＣＰは、薄膜状のフィルム上にＩＣ等のチップを搭載したパッケージである。粘着テープは、例えば、異方性導電フィルム（ＡＣＦ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ）を素材とし、幅が数ミリ、厚みが数１０ミクロン程度のテープである。ＡＣＦは、金属粒子を含有する樹脂製の異方導電性を有するフィルムである。

このように細い粘着テープは、離型テープに貼付されたテープ状部材として構成されている。貼着装置において、テープ状部材は、リールから送り出されて、粘着テープが基板に圧着された後、離型テープのみが剥離されて排出される。

テープ状部材は、貼着作業により粘着テープがなくなると、手動により新しいテープ状部材に交換されていた。具体的には、次の動作をオペレータが行っていた。まず、粘着テープの無くなったリールを未使用のリールに付け替える。付け替えた未使用のリールから新しいテープ状部材を引き出す。引き出したテープ状部材の先端から所定の長さ分の粘着テープを剥がし、貼着装置にセッティングする。このように先端部分の粘着テープを剥がすのは、貼着作業位置よりも搬送方向下流側でテープ状部材（離型テープ）を両面から挟んで搬送する搬送ローラ等に粘着テープが付着する等によりテープ状部材が搬送不良となるのを防止するためである。

特開２０１７−２１３４７号公報

以上のような貼着装置においては、テープ状部材の搬送と貼着を安定して行うことができるように、テープ状部材に一定のテンションを付与していた。例えば、一般的なテープ状部材の幅寸法は、１．０ｍｍよりも大きく、３．５ｍｍ以下であり、このようなテープ状部材であれば、２０ｇ〜５０ｇの一定のテンションを付与していれば、搬送と貼着を良好に行うことができていた。

しかしながら、近年、スマートフォン等のタブレット端末においては、小型化の要請と大画面化の要請が相俟って、組み込まれる表示パネルの額縁部分が非常に狭くなってきている。このため、基板の周縁における電子部品の実装領域も狭小化している。すると、電子部品の実装に用いられるテープ状部材も、幅の狭いものを用いる必要が生じてきている。具体的には、１．０ｍｍ以下の幅のテープ状部材が用いられるようになってきている。

このような幅の狭いテープ状部材の中には、付与されたテンションによって伸びが生じやすくなり、貼着部に対する位置決め精度が安定しない品種のものがあった。例えば、本発明者による検討の結果、幅の狭いテープ状部材では、２０ｇ程度のテンションであっても伸びが生じてしまい、貼着部に対する位置ずれが発生することが判明した。

そこで、本発明者は、テンションを１０ｇ程度に減じて、テープ状部材の伸びを抑えることによって、貼着部に対する位置ずれを防止してみた。すると、テンションが足りないことから、テープ状部材が、その搬送経路に配置されたローラなどから脱落するという不具合が生じた。

本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、テープ状部材の安定した搬送及び位置決めを行うことのできる粘着テープの貼着装置及び粘着テープの貼着方法を提供することにある。

本発明の粘着テープの貼着装置は、離型テープに粘着テープが貼着されたテープ状部材を供給する供給部と、貼着対象物に対して、前記粘着テープの前記離型テープとは反対側の粘着面を貼着する貼着部と、前記テープ状部材の前記貼着部に対する相対位置が変化するように、前記テープ状部材を送る搬送部と、前記供給部により前記テープ状部材が供給される場合の前記テープ状部材の第１のテンションが、前記搬送部により前記テープ状部材を送る場合の前記テープ状部材の第２のテンションよりも高くなるように、前記テープ状部材にテンションを与えるテンション機構と、を有する。

前記供給部は、一対の離隔した移動端の間を移動可能に設けられ、前記テープ状部材に接することにより、前記テープ状部材の移動を案内する可動ローラを有し、前記テンション機構は、前記テープ状部材に前記第１のテンションを与える第１の圧力と、前記テープ状部材に前記第２のテンションを与える第２の圧力とを切り替えて、前記可動ローラに対して一対の移動端の一方に向かう方向に圧力を加える加圧部を有していてもよい。

前記可動ローラの移動をガイドするガイド機構を有していてもよい。前記テープ状部材の位置を検出する検出部と、前記検出部により検出された前記テープ状部材の位置に基づいて、前記貼着部に対する前記テープ状部材の相対位置を補正する補正部と、を有していてもよい。

前記検出部は、前記テープ状部材の前記粘着テープを切断して切れ目となるハーフカットラインを撮像する撮像部を有していてもよい。

前記補正部は、前記貼着部に対する前記供給部及び前記搬送部の相対位置を補正する補正機構を有し、前記補正機構は、前記検出部により検出された前記テープ状部材の位置に基づいて、前記貼着部と前記供給部及び前記搬送部との相対位置を補正することで前記貼着部に対するテープ状部材の相対位置を補正してもよい。

本発明の粘着テープの貼着方法は、供給部が、離型テープに粘着テープが貼着されたテープ状部材を供給し、貼着部が、貼着対象物に対して、前記テープ状部材の前記粘着テープを貼着し、搬送部が、前記テープ状部材の前記貼着部に対する相対位置が変化するように、前記テープ状部材を搬送し、テンション機構が、前記供給部により前記テープ状部材が供給される場合の前記テープ状部材のテンションが、前記搬送部により前記テープ状部材を搬送する場合の前記テープ状部材のテンションよりも高くなるように、前記テープ状部材にテンションを与える。

本発明によれば、テープ状部材の安定した搬送及び位置決めを行うことのできる粘着テープの貼着装置及び粘着テープの貼着方法を得ることができる。

実施形態に係る貼着装置のテープ状部材の供給時を示す概略構成図である。 実施形態に係る貼着装置のテープ状部材の送り時を示す概略構成図である。 制御部の機能ブロック図である。 実施形態に係る貼着装置の粘着テープの頭出し動作の一例を示すフローチャートである。 （ａ）は、テープ状部材の送りを示す図である。（ｂ）は、粘着テープの先頭部分を説明するための図である。（ｃ）は、ハーフカットラインの形成を示す図である。（ｄ）は、ハーフカットラインの位置の良否判定を説明するための図である。（ｅ）は、粘着テープの捨打ちを説明するための図である。（ｆ１）は、貼着基準位置より下流側に粘着テープありと判定され、不良と判定される態様を示す図である。（ｆ２）は、貼着基準位置より上流側に粘着テープなしと判定され、不良と判定される態様を示す図である。（ｇ）は、貼着基準位置より下流側で粘着テープがなく、貼着基準位置より上流側で粘着テープありと判定され、良と判定される態様を示す図である。 貼着装置の、基板に対する粘着テープの貼着動作の一例を示すフローチャートである。 実施形態に係る貼着装置の貼着動作を示す図である。（ａ）は、粘着テープの頭出しが完了し、基板がセットされている状態を示す。（ｂ）は、ハーフカットされた状態を示す。（ｃ）は、テープ状部材が送られた状態を示す。（ｄ）は、粘着テープが基板に貼着され、離型テープが剥離された状態を示す。 （ａ）は、ハーフカットラインが貼着基準位置の手前にずれた場合のテープ状部材の送り補正を示す模式図である。（ｂ）は、ハーフカットラインが貼着基準位置を越えてずれた場合のテープ状部材の送り補正を示す模式図である。

［実施形態］
本発明の実施の形態（以下、実施形態と呼ぶ）の一例を、図面を参照して具体的に説明する。なお、図１及び図２に示すように、本実施形態において用いられるテープ状部材２は、例えば、粘着テープ２１が離型テープ２２に貼着されたものである。粘着テープ２１は、例えば、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）である。離型テープ２２は、粘着テープ２１から剥離可能なテープであり、例えば、ポリイミド等の樹脂フィルムによって形成されている。一般的に使用されるテープ状部材２の幅は、０．５〜３.５ｍｍ程度である。本実施形態では、１．０ｍｍ以下のテープ状部材２を用いる。

［構成］
図１（Ａ）、（Ｂ）、図２（Ａ）、（Ｂ）は、実施形態に係る貼着装置１の概略構成図である。図１（Ａ）、図２（Ａ）は、テンション機構３を示す部分側面図、図１（Ｂ）、図２（Ｂ）は貼着装置１を示す正面図である。貼着装置１は、貼着対象物に対して、粘着テープ２１の離型テープ２２とは反対側の粘着面を貼着する装置である。貼着面は、粘着テープ２１の粘着面である。貼着対象物は、例えば、後述する捨打ちプレート１１２、又は、フラットパネルディスプレイ等の表示装置を構成する部材としての基板３００（図７参照）である。

図１（Ｂ）に示すように、貼着装置１は、設置面に設置された架台（図示せず）に固定的に搭載され、設置面と平行、つまり、水平方向に平行な基台Ｔ上に構成されている。以下の説明では、設置面に直交して離れる方向を上方、設置面に直交して向かい合う方向を下方とする。貼着装置１は、貼着部１１、供給部１２、テンション機構３、回収部１３、搬送部１４、剥離部１５、切断部１６、照明部１７、撮像部１８、支持体Ｓ及び制御部１９を有する。なお、各部の位置関係を説明するために、相対的に供給部１２側をテープ状部材２の上流側といい、回収部１３側をテープ状部材２の下流側ともいう。

［貼着部］
貼着部１１は、貼着対象物に対して、テープ状部材２における粘着テープ２１の粘着面を貼着する。貼着部１１は、加圧ヘッド１１０、ステージ部材１１１を有する。

加圧ヘッド１１０は、図示しない昇降装置により上下に移動することにより、貼着対象物に対してテープ状部材２の加熱、加圧を行う。そのため、加圧ヘッド１１０には、図示しないヒータが設けられ、テープ状部材２との接触面が、所定の温度に加熱されている。さらに、加圧ヘッド１１０におけるテープ状部材２との接触面には、緩衝部材１１０ａが設けられている。この緩衝部材１１０ａは、例えば、弾性体により形成されたシートであり、加熱によって軟化した粘着テープ２１が加圧ヘッド１１０に付着することを防止する。すなわち、テープ状部材２において、粘着テープ２１の離型テープ２２とは反対側の面が貼着対象物との貼着面となる。加圧ヘッド１１０におけるテープ状部材２との接触面は、水平方向に平行で、テープ状部材２に沿う方向に長尺な面に形成されている。

ステージ部材１１１は、加圧ヘッド１１０によって貼着対象物にテープ状部材２が加熱加圧されるとき、貼着対象物を下から支持する部材である。ステージ部材１１１は、その上面に、貼着対象物を支持する水平の平坦面である支持面１１１ａを有する。つまり、ステージ部材１１１は、加圧ヘッド１１０に押圧された貼着対象物を支持するバックアップとして機能する。

ステージ部材１１１に載置される貼着対象物は、上述したように、捨打ちプレート１１２や製品となる基板３００である。例えば、捨打ちプレート１１２は、粘着テープ２１の先頭の不要な部分が貼着される。この捨打ちプレート１１２は、例えば、金属板であり、基板３００と同等の大きさを成し、ステージ部材１１１の支持面１１１ａ上に配置される。

貼着部１１において粘着テープ２１の貼着が行われる貼着作業位置に対してテープ状部材２が搬送される搬送経路上には、貼着基準位置１０が設定されている。貼着基準位置１０は、テープ状部材２における粘着テープ２１の切れ目２０が位置合わせされる基準位置であり、ここでは、テープ状部材２の搬送方向における、加圧ヘッド１１０の上流側端部の位置である。なお、この貼着基準位置１０は、加圧ヘッド１１０の上流側端部から、上流側に僅かにずれていてもよい。これは、テープ状部材２の後続部分まで加圧ヘッド１１０によって圧着されて貼着対象に付着してしまうことを防止するためである。たとえば、貼着基準位置１０を、加圧ヘッド１１０の上流側端部から１．０ｍｍ〜０．５ｍｍはみ出させてもよい。粘着テープ２１の切れ目２０は、例えば、テープ状部材２における粘着テープ２１の先頭部分、後述する切断部１６により形成された後述するハーフカットライン２０ｂである。

［供給部］
供給部１２は、貼着部１１にテープ状部材２を供給する。供給部１２は、供給リール１２０、可動ローラ１２１、経路ローラ１２２を有する。供給リール１２０は、テープ状部材２を巻装し、モータにより回動することによりテープ状部材２を供給するリールである。可動ローラ１２１は、一対の離隔した移動端の間を移動可能に設けられ、テープ状部材２に接することにより、テープ状部材２の移動を案内するローラである。可動ローラ１２１は、ダンサローラとも呼ぶ。本実施形態の可動ローラ１２１は、図１（Ａ）に示すように、円柱形の一対の端面に円板形のフランジを有するボビン形であり、フランジ間の円柱形の側面にテープ状部材２が接する。可動ローラ１２１は、図中、黒塗りの矢印に示すように、基台Ｔに対して垂直な方向に、つまり鉛直方向に上下動可能である。可動ローラ１２１は、後述するテンション機構３によって支持されている。経路ローラ１２２は、可動ローラ１２１を経たテープ状部材２の搬送方向を変えて、切断部１６に向けて送り出すローラである。

［回収部］
回収部１３は、貼着部１１において、貼着対象物に貼着された粘着テープ２１から剥離された離型テープ２２を回収する。回収部１３は、回収リール１３０、経路ローラ１３１を有する。

回収リール１３０は、離型テープ２２を巻き取って回収するリールである。経路ローラ１３１は、貼着部１１側からの離型テープ２２の搬送方向を変えて、回収リール１３０に向けて送り出すローラである。

［搬送部］
搬送部１４は、テープ状部材２の貼着部１１に対する相対位置が変化するように、テープ状部材２を送る。搬送部１４は、貼着部１１と回収部１３の間に配置され、テープ状部材２を供給部１２から貼着部１１を介して回収部１３に送る。搬送部１４は、一対の送りローラ１４０、図示しない送り用モータを有する。一対の送りローラ１４０は、離型テープ２２を挟み、ローラの回動によってテープ状部材２を供給リール１２０側から回収リール１３０側へ移動させる。つまり、一対の送りローラ１４０は、ニップローラとして機能する。送り用モータは、送りローラ１４０を回動させる駆動源である。送り用モータは、その回転軸が送りローラ１４０と連結されており、当該モータの駆動により回転軸が当該軸周りに回転することにより、送りローラ１４０を回転軸周りに回動させる。搬送部１４は、貼着部１１に対するテープ状部材２の相対位置を補正する補正部としても機能する。この相対位置の補正は、後述する検出部である撮像部１８により検出されたテープ状部材２の位置に基づいて行われる。つまり、搬送部１４は、撮像部１８により撮像された粘着テープ２１の切れ目２０と貼着基準位置１０とのずれ量に基づいて、テープ状部材２の送り量を補正する。

なお、供給リール１２０から供給されたテープ状部材２が可動ローラ１２１、経路ローラ１２２、経路ローラ１３１を経て回収リール１３０に至る経路が、テープ状部材２の搬送経路である。なお、この搬送経路において、経路ローラ１２２と後述する剥離部１５の間では、テープ状部材２は水平状態で支持されている。また、貼着基準位置１０に対してテープ状部材２の下流側を前、テープ状部材２の上流側を後ろともいう。

［剥離部］
剥離部１５は、貼着対象物に貼着された粘着テープ２１から離型テープ２２を剥離する。剥離部１５は、剥離棒１５０、１５１を有する。剥離棒１５０、１５１は、例えば丸棒であり、離型テープ２２と接する部材である。剥離棒１５０は、離型テープ２２の表面、すなわち、粘着テープ２１側の面と接し、剥離棒１５１は、離型テープ２２の裏面と接する。剥離棒１５０、１５１は、図示しない移動機構によって、図１に示すように、離型テープ２２が接した状態で貼着部１１の下流側から上流側（図１、点線の矢印方向）に水平移動することにより、貼着対象物に圧着された粘着テープ２１から離型テープ２２を剥離する。

［切断部］
切断部１６は、テープ状部材２における粘着テープ２１を切断する。この切断部１６は、更に離型テープ２２を切断しない程度に離型テープ２２に切込みを入れても良い。このように粘着テープ２１を切断することを、以下、ハーフカットと呼び、切断部１６により粘着テープ２１に形成されたラインを、ハーフカットライン２０ｂと呼ぶ。

切断部１６は、供給部１２と貼着部１１との間に設けられ、カッター１６０、バックアップ部材１６１を有する。カッター１６０は、粘着テープ２１に接して切断する部材であり、供給部１２と貼着部１１との間に設けられている。カッター１６０は、図示しない昇降機構により、その先端の刃がバックアップ部材１６１に対して接離する。カッター１６０の先端の刃は、テープ状部材２の幅方向に延びている。バックアップ部材１６１は、直方体形状のブロックである。このバックアップ部材１６１は、ブロックの下面に、カッター１６０との間でテープ状部材２を挟み、水平方向で離型テープ２２に接する平坦面１６１ａを有する。なお、本実施形態では、カッター１６０と貼着基準位置１０との距離が、基板３００に貼着される粘着テープ２１の長さよりも短くなるように、切断部１６の位置が設定されている。

［照明部］
照明部１７は、貼着基準位置１０の近傍において、テープ状部材２における粘着テープ２１側に配置されている。具体的には、照明部１７は、テープ状部材２の下方に配置され、粘着テープ２１側からテープ状部材２を照らす。

［撮像部］
撮像部１８は、貼着基準位置１０においてテープ状部材２を撮像する。撮像部１８は、テープ状部材２の位置を検出する検出部を構成する。撮像部１８は、例えば、カメラである。撮像部１８は、光軸を貼着基準位置１０に合わせて、テープ状部材２における粘着テープ２１側に配置されており、照明部１７により粘着テープ２１側からテープ状部材２が照らされた状態で、テープ状部材２を撮像する。

撮像部１８は、具体的には、テープ状部材２の下方であって、貼着基準位置１０の真下に配置されており、光軸がテープ状部材２に対して直交する。すなわち、撮像部１８の撮像範囲に貼着基準位置１０が含まれており、テープ状部材２の送りにより当該撮像範囲に粘着テープ２１の切れ目２０が入ると、撮像部１８は、切れ目２０を含めてテープ状部材２を撮像する。

なお、撮像部１８の光軸はテープ状部材２に対して直交していなくても良い。撮像部１８においても光軸が貼着基準位置１０と完全に一致する必要はなく、貼着基準位置１０に位置付けられたテープ状部材２の所望の部分が撮像範囲に入れば良い。

［テンション機構］
テンション機構３は、供給部１２によりテープ状部材２が供給される場合のテープ状部材２の第１のテンションが、搬送部１４によりテープ状部材２を送る場合のテープ状部材２の第２のテンションよりも高くなるように、テープ状部材２にテンションを与える機構である。テンションは、テープ状部材２が主として長手方向に引っ張られる力である。より具体的には、搬送部１４よりも上流側のテープ状部材２を上流方向に引っ張る力である。供給部１２によりテープ状部材２が供給される場合とは、供給部１２に収容されたテープ状部材２が供給部１２から出てくる状態をいう。本実施形態では、供給リール１２０に巻装されたテープ状部材２が供給リール１２０の回動に伴って、繰り出される又は解き出される状態をいう。搬送部１４によりテープ状部材２を送る場合とは、搬送部１４がテープ状部材２を貼着部１１に対して相対的に移動させる状態をいう。供給部１２によりテープ状部材２が供給される場合には、搬送部１４によるテープ状部材２の送りは停止しており、搬送部１４によりテープ状部材２を送る場合には、供給部１２によるテープ状部材２の供給は停止している。つまり、供給リール１２０が回動するときには、送りローラ１４０は回動せず、送りローラ１４０が回動するときには、供給リール１２０は回動しない。

供給部１２によりテープ状部材２が供給される場合のテープ状部材２の第１のテンションは、テープ状部材２の搬送経路からの脱落が生じる可能性を低減させるレベルのテンションである。これは、供給部１２からテープ状部材２を供給したときに、供給リール１２０の回動により繰り出されるテープ状部材２によってテンションが下がり、搬送経路で弛まないようにして、可動ローラ１２１を一方の移動端まで移動させるレベルのテンションである。本実施形態の一方の移動端は、重力に抗する方向の移動端、つまり上方の移動端である。搬送部１４によりテープ状部材２を送る場合の第２のテンションは、テープ状部材２の伸びにより生じる貼着部１１に対する位置ずれを低減させるレベルのテンションである。つまり、テープ状部材２の伸び量が一定の範囲に収まるレベルのテンションである。このような範囲は、貼着基準位置１０に対する位置決め誤差の許容値による。したがって、テンションによる伸びに起因するハーフカットライン２０ｂの貼着基準位置１０に対する位置ずれが、貼着基準位置１０に対する位置決め誤差の許容値内となるようなテンションに設定することが好ましい。例えば、本実施形態では、後述する図８で示すように、『所定範囲Ｒ１』の大きさが、位置決め誤差の許容値、つまり許容範囲といえる。この範囲Ｒ１内での位置ずれであれば補正できるが、この範囲Ｒ１を超えると補正できなくなるため、伸びによる位置ずれがこの範囲Ｒ１内で収まるようにテンションを設定するとよい。なお、テンションがゼロに近いと、テンションが低すぎてテープ２が自重で垂れてしまう。このため、このような垂れを押えられるテンションに設定するとよい。

テンション機構３は、図１（Ａ）、図２（Ａ）に示すように、ガイド機構３１、加圧部３２を有する。ガイド機構３１は、リニアガイド３１１に沿って移動するスライダ３１２を有し、スライダ３１２に可動ローラ１２１の軸が取り付けられている。リニアガイド３１１は、その長手方向が鉛直方向となるように、後述する支持体Ｓに取り付けられている。これにより、スライダ３１２は鉛直方向にスライド移動可能に設けられている。リニアガイド３１１の両端、つまり、上方の移動端と下方の移動端が、スライダ３１２の移動端となる。そして、スライダ３１２の移動端が、可動ローラ１２１の移動端を決定する。つまり、可動ローラ１２１は、一対の移動端の間を、重力に従う方向と重力に抗する方向に移動する。

また、スライダ３１２には、接続具３１３が取り付けられている。接続具３１３は、加圧部３２に接続される部材であり、スライダ３１２に取り付けられた鉛直方向の部分と、水平方向の部分とによって、断面がＬ字形となったプレートである。

加圧部３２は、テープ状部材２に第１のテンションを与える第１の圧力と、テープ状部材２に第２のテンションを与える第２の圧力とを切り替えて、可動ローラ１２１に対して一対の移動端の一方に向かう方向に圧力を加える。より具体的には、上方の移動端に向かう方向に圧力を加える。つまり、上記のような第１のテンションが得られるように可動ローラ１２１に加える圧力が第１の圧力である。また、上記のような第２のテンションが得られるように可動ローラ１２１に加える圧力が第２の圧力である。

例えば、テープ状部材２の幅が１．０ｍｍ以下の場合、第１の圧力は２０ｇ以上、第２の圧力は１０ｇ以下として、第１の圧力＞第２の圧力とすることが好ましいが、これには限定されない。より具体的な例としては、第１の圧力は２０ｇ〜５０ｇとすることが考えられるが、第２の圧力は、上記のように、テンションが貼着基準位置１０に対する位置決め誤差の許容値内となるような圧力とする。本実施形態の加圧部３２は、空気圧シリンダ３２１、電空レギュレータ３２２を有する。空気圧シリンダ３２１は、シリンダ３２１ａ内の気圧を変化させることにより、駆動ロッド３２１ｂを駆動する。駆動ロッド３２１ｂの駆動方向は鉛直方向であり、その先端は、ガイド機構３１の接続具３１３に接続されている。電空レギュレータ３２２は、不図示のポンプや空気圧タンクなどの空気圧源に接続されており、与えられた電気信号に応じて、空気圧シリンダ３２１に供給する気圧を制御する。これにより、空気圧シリンダ３２１は、可動ローラ１２１に対して、一方の移動端である上方に向かって圧力を加える。

［支持体］
支持体Ｓは、貼着装置１の主要な構成部を支持する部材である。支持体Ｓは、水平な基台Ｔに対して垂直な方向に立ち上げられた板状体又は枠状体である。支持体Ｓは、上記の供給部１２、テンション機構３、回収部１３、搬送部１４、剥離部１５、切断部１６、照明部１７、撮像部１８を支持している。但し、貼着部１１は、図示しない固定部材によって、支持体Ｓから独立して基台Ｔに支持固定されている。支持体Ｓは、補正機構Ｇを介して基台Ｔ上に支持されている。

補正機構Ｇは、撮像部１８によって検出されたテープ状部材２の位置に基づいて、貼着部１１に対するテープ状部材２の相対位置を補正する。本実施形態の補正機構Ｇは、上記の搬送部１４とともに補正部を構成する。補正機構Ｇは、テープ状部材２の位置に基づいて、貼着部１１に対する供給部１２及び搬送部１４の相対位置を補正することで、テープ状部材２の相対位置を補正する。より具体的には、補正機構Ｇは、支持体Ｓを、貼着基準位置１０に位置するテープ状部材２の長手方向及び搬送方向と平行な方向に、支持体Ｓを移動させる機構である。この補正機構Ｇによって、貼着基準位置１０に対するテープ状部材２の相対位置を補正することができる。補正機構Ｇは、例えば、テープ状部材２の長手方向と平行に配置されたリニアガイドＧ１に沿って移動するスライダＧ２を、図示しないモータにより回動するボールねじが駆動する機構とすることができる。

［制御部］
制御部１９は、貼着装置１の各部の制御を統括する制御装置である。制御部１９は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって構成できる。つまり、貼着部１１、供給部１２、テンション機構３、回収部１３、搬送部１４、剥離部１５、切断部１６、照明部１７、撮像部１８の制御などに関しては、その制御内容がプログラムされており、ＰＬＣやＣＰＵなどの処理装置により実行されるものである。

図３は、制御部１９の機能ブロック図である。図３に示すように、制御部１９は、貼着制御部１９０、テンション機構制御部１９１、剥離制御部１９２、切断制御部１９３、照明制御部１９４、撮像制御部１９５、判定部１９６、補正制御部１９７、搬送制御部１９８、記憶部１９９を有する。

貼着制御部１９０は、貼着部１１に設けられたヒータ及び昇降装置を制御し、ヒータに加圧ヘッド１１０を加熱させ、昇降装置に加熱した加圧ヘッド１１０を昇降させる。テンション機構制御部１９１は、テンション機構３を制御することにより、テープ状部材２にテンションを与える。つまり、供給部１２によりテープ状部材２が供給される場合には、テープ状部材２に第１のテンションを与え、搬送部１４によりテープ状部材２を送る場合には、テープ状部材２に第２のテンションを与えるように、テンション機構３を制御する。供給部１２によりテープ状部材２が供給される場合は、供給リール１２０が回動するときであり、搬送部１２によりテープ状部材２を送る場合は、送りローラ１４０が回動しているときである。本実施形態では、加圧部３２の空気圧シリンダ３２１の圧力が、テープ状部材２を供給する場合に第１の圧力となり、テープ状部材２を送る場合に第２の圧力となるように、テンション機構制御部１９１が電空レギュレータ３２２に制御信号を出力する。なお、このような第１のテンションと第２のテンションの切り替えは、後述する搬送制御部１９８の制御信号と連動して行われる。つまり、テンション機構制御部１９１は、搬送制御部１９８から出力される、供給リール１２０を回動させる信号（回動開始信号）を受けて、第１のテンションに切り替える。回動開始信号は、供給リール１２０からテープ状部材２を繰り出すための信号である。また、テンション機構制御部１９１は、搬送制御部１９８から出力される、供給リール１２０の回動を停止させる信号（回動停止信号）、または、送りローラ１４０を回動させる信号（送り開始信号）を受けて、第２のテンションに切り替える。つまり、本実施形態では、供給部１２からテープ状部材２が供給されているとき以外は、テープ状部材２を送る場合のみならず、テープ状部材２に第２のテンションが与えられるようになっている。このため、テープ状部材２が供給される場合以外は、加圧部３２の圧力が、第２の圧力となっている。

剥離制御部１９２は、剥離部１５に設けられた移動機構を制御し、剥離棒１５０、１５１を水平移動させることで基板３００又は捨打ちプレート１１２に圧着された粘着テープ２１を離型テープ２２から剥離する。切断制御部１９３は、切断部１６に設けられた昇降機構を制御し、カッター１６０を昇降させる。

照明制御部１９４は、照明部１７の点灯、消灯を制御する。撮像制御部１９５は、撮像部１８の撮像を制御する。

判定部１９６は、撮像部１８により得られたテープ状部材２の画像に基づいて、粘着テープ２１の切れ目２０の位置の良否や切断面の良否等の状態の良否を判定する。判定部１９６は、テープ状部材２の画像をグレースケール変換し、粘着テープ２１の切れ目２０の位置を検知する。そして、判定部１９６は、検知された切れ目２０が貼着基準位置１０の許容範囲内に位置するか否かを判定する。切れ目２０が許容範囲内に含まれる場合は良と判定し、切れ目２０が許容範囲外である場合は不良と判定する。

判定部１９６は、撮像部１８により得られたテープ状部材２の画像に基づいて、切れ目２０としてのハーフカットライン２０ｂを検知し、その切断面の形状の良否を判定する。ハーフカットライン２０ｂの切断面の形状は、テープ状部材２を粘着テープ２１側から見たときのカッター１６０により形成された切込みの形状である。ハーフカットライン２０ｂは、例えば、テープ状部材２の幅方向における画素値の大きい（明るい）一直線状で検出された場合に良と判定し、画素値の大きい部分が一直線状でなく斜めになっている場合や、蛇行や欠けなどの凸凹になっている場合は不良と判定する。

また、判定部１９６は、貼着基準位置１０の前後の領域の粘着テープ２１の有無に基づいて、粘着テープ２１の頭出しの良否を判定する。粘着テープ２１の頭出しとは、新たな供給リール１２０がセットされ、製品となる基板に貼着可能な先頭の粘着テープ２１の先端に形成されたハーフカットライン２０ｂを、貼着基準位置１０を含む所定範囲内に位置合わせすることをいい、当該所定範囲は、ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０に位置合わせされているとして許容される範囲である。判定部１９６は、粘着テープ２１の有無を、貼着基準位置１０の前後の各領域を、更に複数の小領域に分けて行っても良い。

補正制御部１９７は、判定部１９６により切れ目２０の位置が不良と判定された場合に、粘着テープ２１の切れ目２０と貼着基準位置１０との距離（ずれ）を算出する。すなわち、切れ目２０の位置が不良の場合、切れ目２０の位置が貼着基準位置１０に対して許容範囲以上にずれているので、切れ目２０の位置が許容範囲内となるようにテープ状部材２の位置を補正する必要がある。そこで、補正制御部１９７は、撮像部１８の撮像画像に基づいて貼着基準位置１０と切れ目２０の位置との距離を算出し、算出した距離に基づいて、補正機構Ｇのモータを駆動させる制御信号を生成する。すなわち、この制御信号は、算出した距離分、ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０に来るように、支持体Ｓを移動させるための信号であり、補正機構Ｇのモータに出力される。このように、圧着の前にハーフカットライン２０ｂを貼着基準位置１０に合わせることにより、貼着対象物への圧着位置を正確にすることができる。また、補正制御部１９７は、今回位置補正した粘着テープ２１が貼着対象物に貼着されてから次の粘着テープ２１のハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０に位置付けられるまでの間に、補正機構Ｇによって支持体Ｓを元の位置に戻す。支持体Ｓには、切断部１６が支持されているので、支持体Ｓを移動させることで変化した切断部１６（カッター１６０）と貼着基準位置１０との距離を元に戻すためである。

なお、切断部１６と貼着基準位置１０との間の距離は予め決まっており、ハーフカットライン２０ｂを形成した後、搬送部１４及び補正制御部１９７によって当該距離の分、テープ状部材２を送ることで、ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０に来るはずである。しかし、実際には、送り用モータ若しくは送りローラ１４０の回転誤差により、テープ状部材２の送り量に誤差が発生する場合がある。このため、圧着の際に補正機構Ｇによってハーフカットライン２０ｂの位置が補正できたとしても、テープ状部材２の送り量に誤差が発生していると、次にテープ状部材２を送った場合にも、ハーフカットライン２０ｂと貼着基準位置１０とのずれは発生する。

そこで、本実施形態では、補正制御部１９７は、この送り量のずれが補正されるように、搬送部１４の送り用モータを駆動させる制御信号を生成する。すなわち、この制御信号は、上記のように算出された粘着テープ２１のハーフカットライン２０ｂと貼着基準位置１０との距離分、ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０に来るように、テープ状部材２を送るための信号であり、搬送部１４の送り用モータに出力される。このように、本実施形態では、補正機構Ｇによる支持体Ｓの位置の補正と、搬送部１４によるテープ状部材２の送り量の補正を行うことによって、テープ状部材２と貼着部１１との相対位置の誤差の拡大を防止できる。

搬送制御部１９８は、テープ状部材２の送りを統括的に制御する。すなわち、搬送制御部１９８は、供給部１２と搬送部１４を制御する。より具体的には、搬送制御部１９８は、供給部１２からテープ状部材２を供給するときに、供給リール１２０を回動させる回動開始信号を出力する。そして、可動ローラ１２１が上方の移動端に到達した時点で、供給リール１２０の回動停止信号を出力する。なお、可動ローラ１２１の上方の移動端への到達は、例えば、センサによって検知する。また、搬送制御部１９８は、搬送部１４によってテープ状部材２を送るときに、送りローラ１４０を回転させる送り開始信号を出力する。そして、所定の送り量に対応する制御信号を出力する。この制御信号は、テープ状部材２を所定の送り量分送るために要する時間、又は、所定の送り量分送るために要する回転量等の信号である。搬送制御部１９８は、所定の送り量分の送りが完了する時点で、送り停止信号を出力する。これにより、所定の送り量だけテープ状部材２が送られる。所定の送り量は、例えば、カッター１６０と貼着基準位置１０との間の距離分の送り量である。

記憶部１９９は、本実施形態の貼着装置１に必要な各種の情報を記憶する。上記の各部の制御タイミング、第１の圧力、第２の圧力、撮像画像及びこれを変換した画像、貼着基準位置１０及びこれに対する切れ目２０の位置ずれ量等は、記憶部１９９に記憶される情報に含まれる。

［動作］
上記の構成を有する粘着テープ２１の貼着装置１の動作を、図４及び図５を参照して説明する。
（粘着テープの頭出し動作）
図４は、実施形態に係る貼着装置１の粘着テープ２１の頭出し動作の一例を示すフローチャートである。図５は、貼着装置１の頭出し動作を示す説明図である。

なお、前提として、新しい供給リール１２０が供給部１２にセットされ、テープ状部材２が供給リール１２０から引き出され、可動ローラ１２１、経路ローラ１２２、剥離部１５、経路ローラ１３１、及び送りローラ１４０を介して回収リール１３０に巻き掛けられている。このとき、可動ローラ１２１は、上方の移動端にあり、テンション機構３の第２の圧力が付与された状態にある（図１参照）。

また、このテープ状部材２における粘着テープ２１は、巻き掛けられる前に下流側がオペレータにより剥離されており、粘着テープ２１の切れ目２０である先頭部分２０ａが撮像部１８、つまり貼着基準位置１０よりも上流側に位置しているものとする。すなわち、当該先頭部分２０ａより下流側では粘着テープ２１が剥離され、離型テープ２２の表面が露出している。粘着テープ２１の先頭部分２０ａの形状は、オペレータにより剥離されるため、任意の形状である。例えば、テープ状部材２の幅方向と平行なラインであることもあれば、テープ状部材２の幅方向に対して傾斜したラインであったり、テープ状部材２の幅方向に対して山谷形状の蛇行したラインであったり凸凹のラインであったりすることもある。

また、ステージ部材１１１の支持面１１１ａ上には、捨打ちプレート１１２が予め載置されているものとする。

照明制御部１９４により照明部１７を点灯し、貼着基準位置１０を含みテープ状部材２を照らす（ステップＳ０１）。図５（ａ）に示すように、搬送部１４によりテープ状部材２を所定ピッチずつ送り（ステップＳ０２）、撮像部１８及び判定部１９６により粘着テープ２１の先頭部分２０ａ（切れ目２０）の位置の良否を判定する（ステップＳ０３）。すなわち、撮像部１８は、搬送部１４によりテープ状部材２が送られると、貼着基準位置１０を含む撮像範囲でテープ状部材２を撮影し、判定部１９６は撮像部１８により得られた画像をグレースケール化し、図５（ｂ）に示すように、その濃淡差から貼着基準位置１０を含む所定範囲Ｒ１内に粘着テープ２１の先頭部分２０ａが含まれているか否かを判定する。粘着テープ２１がある部分は暗く、粘着テープ２１がない部分は明るくなり、明暗の境界が先頭部分２０ａとなる。所定範囲Ｒ１は、例えば、撮像範囲内に設定された検査エリアである。

搬送部１４の送りのピッチは、所定範囲Ｒ１のテープ状部材２の搬送方向の長さと同じかそれより短い間隔である。判定部１９６により先頭部分２０ａが検知されなければ（ステップＳ０３のＮＯ）、ステップＳ０２に戻り、先頭部分２０ａが検知されるまでステップＳ０２及びＳ０３を繰り返す。

判定部１９６により先頭部分２０ａが検知されると（ステップＳ０３のＹＥＳ）、テープ状部材２を先頭部分２０ａが検知された位置に停止させた状態で、切断制御部１９３によりカッター１６０を上昇させ、テープ状部材２をハーフカットし（ステップＳ０４）、図５（ｃ）に示すように、粘着テープ２１を切断して切れ目２０としてのハーフカットライン２０ｂを形成する。そして、搬送部１４により切断部１６（カッター１６０）と貼着基準位置１０との距離分、テープ状部材２を送る（ステップＳ０５）。次いで、撮像部１８によりテープ状部材２を撮影し、判定部１９６によりハーフカットライン２０ｂの有無を検知する（ステップＳ０６）。ハーフカットライン２０ｂを検知しなかった場合（ステップＳ０６のＮＯ）は、ステップＳ０４に戻る。

ハーフカットライン２０ｂを検知した場合（ステップＳ０６のＹＥＳ）は、判定部１９６により、図５（ｄ）に示すように、検知されたハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０を含む許容範囲内にあるか否かを判定する（ステップＳ０７）。ハーフカットライン２０ｂが許容範囲内にない場合は（ステップＳ０７のＮＯ）、補正制御部１９７は、所定範囲Ｒ１内において認識されたハーフカットライン２０ｂの位置と貼着基準位置１０の位置とに基づいて、ハーフカットライン２０ｂと貼着基準位置１０との間の距離を算出する（ステップＳ０８）。そして、補正機構Ｇにより、ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０に来るように、算出された距離分、支持体Ｓを移動させることにより、補正し（ステップＳ０９）、ステップＳ０７に戻る。

ハーフカットライン２０ｂが許容範囲内にある場合（ステップＳ０７のＹＥＳ）、粘着テープ２１の先頭部分２０ａからハーフカットライン２０ｂまでの部分が加圧ヘッド１１０と捨打ちプレート１１２との間に位置している。この状態で、予め加熱した加圧ヘッド１１０でテープ状部材２を押し下げ、ハーフカットライン２０ｂより下流側の不要な粘着テープ２１を捨打ちプレート１１２に捨て打ちする（ステップＳ１０、図５（ｅ）参照）。すなわち、貼着制御部１９０により、予め加熱された加圧ヘッド１１０を下降させ、先頭部分２０ａからハーフカットライン２０ｂまでの不要な粘着テープ２１を捨打ちプレート１１２に貼着し、加圧ヘッド１１０を上昇させる。その後、剥離制御部１９２により、剥離棒１５０、１５１を貼着部１１側に水平移動させて、捨打ちプレート１１２に圧着された粘着テープ２１から離型テープ２２を剥離させる（ステップＳ１１）。

離型テープ２２が剥離されたら、撮像部１８によりテープ状部材２を撮影する（ステップＳ１２）。なお、このとき、テープ状部材２は送られていないので、貼着基準位置１０の上流側に残った粘着テープ２１の切れ目２０の位置は貼着基準位置１０に位置したまま変わらない。判定部１９６は、撮像部１８により得られた画像をグレースケール化し、図５（ｆ１）、（ｆ２）に示すように、貼着基準位置１０の前後にそれぞれ３箇所ずつ設定された合計６箇所の検査エリアとしての小領域Ｒ１１〜Ｒ１６において、それぞれ粘着テープ２１の有無を判定する（ステップＳ１３）。前後の３箇所の小領域Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１３およびＲ１４、Ｒ１５、Ｒ１６は、テープ状部材２の幅方向に並べて配置されるように予め設定されている。

この粘着テープ２１の有無の判定は、例えば、各小領域Ｒ１１〜Ｒ１６内において、所定の画素値以上となるピクセルの割合が所定割合以上となる場合、換言すれば所定の画素値未満となるピクセルの割合が所定割合未満となる場合は、当該小領域Ｒ１１〜Ｒ１６内に粘着テープ２１がないと判定し、所定の画素値以上となるピクセルの割合が所定割合未満となる場合、換言すれば所定の画素値未満となるピクセルの割合が所定割合以上となる場合は、当該小領域Ｒ１１〜Ｒ１６内に粘着テープ２１があると判定する。これにより、判定部１９６は、不要な粘着テープ２１が剥離された後で上流側に残った粘着テープ２１の先端（ハーフカットライン２０ｂ）の状態（形状）の良否を判断することで頭出しの良否を判定する。

判定部１９６は、図５（ｆ１）に示すように、貼着基準位置１０の前（下流側）にある小領域Ｒ１４〜Ｒ１６の少なくとも何れかで粘着テープ２１があると判定した場合は（ステップＳ１４のＮＯ）、頭出し不良としてステップＳ０４へ戻る。なお、この場合、不要な粘着テープ２１の剥離時に粘着テープ２１の一部が剥離されずに離型テープ２２に残り、剥離不良となっていることが考えられる。

なおここで、ステップＳ０４へ戻って頭出しをやり直すにあたり、供給リール１２０からテープ状部材２を繰り出して、可動ローラ１２１を上方の移動端に移動させる。このときの供給リール１２０の回動開始信号に応じて、第２のテンションが第１のテンションに切り替えられる。また、可動ローラ１２１の上方の移動端への到達にともなう回動停止信号に応じて、第１のテンションが再び第２のテンションに切り替えられる。

一方、図５（ｆ２）に示すように、貼着基準位置１０の前（下流側）にある小領域Ｒ１４〜Ｒ１６の何れにおいても粘着テープ２１がないと判定した場合で（ステップＳ１４のＹＥＳ）、貼着基準位置１０の後ろ（上流側）にある小領域Ｒ１１〜１３の少なくとも何れかで粘着テープ２１がないと判定した場合（ステップＳ１５のＮＯ）、頭出し不良としてステップＳ０４に戻る。この場合、不要な粘着テープ２１の剥離時に、先頭の粘着テープ２１である上流側の粘着テープ２１の先端の一部が一緒に剥離されてしまったことが考えられる。この原因としては、カッター１６０によるハーフカットが不良で、ハーフカットライン２０ｂにおいて不要な粘着テープ２１と先頭の粘着テープ２１の一部が繋がっていることが考えられる。なおこのときの頭出しのやり直しの際にも、上述と同様にテンションの切り替えが行われる。

また、図５（ｇ）に示すように、貼着基準位置１０の前（下流側）にある小領域Ｒ１４〜Ｒ１６の何れにおいても粘着テープ２１がないと判定した場合で（ステップＳ１４のＹＥＳ）、貼着基準位置１０の後ろ（上流側）にある各小領域Ｒ１１〜１３の何れにおいても粘着テープ２１があると判定した場合（ステップＳ１５のＹＥＳ）、頭出しが出来ていると判定し、終了する。

なお、ステップＳ０６、ステップＳ１４、又はステップＳ１５のＮＯ判定でステップＳ０４に戻り、次のステップＳ０６、ステップＳ１４、又はステップＳ１５で再度ＮＯ判定となることが繰り返されることも考えられる。このような場合、繰り返し回数を判定するステップを、ステップＳ０６又はステップＳ１４よりも前に設定しておき、設定回数の繰り返しが行われた場合、エラーとして頭出し動作を中断し、アラームなどでオペレータに異常を報知するようにしても良い。このような場合、前述のカッター１６０によるハーフカット不良が原因の一つとして考えられる。そこで、制御部１９が、アラームにより、カッター１６０を清掃したり交換したりするメンテナンス作業の実行を促すようにしても良い。

（貼着動作）
図６は、貼着装置１の、基板に対する粘着テープ２１の貼着動作の一例を示すフローチャートである。図７は、貼着装置１の貼着動作を示す説明図である。

前提として、図７（ａ）に示すように、粘着テープ２１の切れ目２０（ハーフカットライン２０ｂ）が貼着基準位置１０に位置しており、粘着テープ２１の頭出しが完了しているものとする。つまり、カッター１６０は頭出し動作の過程で検査済みであり、切れ目２０となるハーフカットライン２０ｂが切断部１６によりテープ状部材２の幅方向と平行になるように正常に形成されている。また、切れ目２０より下流側には粘着テープ２１が残存しておらず、送りローラ１４０等のテープ状部材２と接する部材に粘着テープ２１が付着することなく、テープ状部材２が搬送不良となるのを防止することができる。

また、ステージ部材１１１の支持面１１１ａ上には、捨打ちプレート１１２に代えて、例えばフラットパネルディスプレイを構成する部材としての製品用の基板３００が載置されているものとする。なお、基板３００には、所望の長さで粘着テープ２１が貼着される。ここでは、便宜上、基板３００の搬送方向の全長に粘着テープ２１を貼着するものとし、切断部１６と貼着基準位置１０との間の距離が、基板３００の長さ及び加圧ヘッド１１０の長さと等しいものとする。

なお、頭出し動作が完了した段階でも、供給リール１２０からテープ状部材２が繰り出され、可動ローラ１２１が上方の移動端に移動される。このときにも、上述したタイミングにて、第２のテンションから第１のテンションへの切り替えと、第１のテンションから第２のテンションへの切り替えが行われる。

したがって、頭出しが完了しているときには、上記のように、テンション機構３の加圧部３２が可動ローラ１２１に加える圧力は、第２の圧力に切り替わっている。このため、テープ状部材２には比較的軽い第２のテンションが付与されている（図１参照）。

図７（ｂ）に示すように、まず、切断部１６により、テープ状部材２をハーフカットする（ステップＳ２１）。そして、図７（ｃ）に示すように、搬送部１４により、カッター１６０と貼着基準位置１０との距離分、テープ状部材２を送る（ステップＳ２２）。このようにテープ状部材２が送られる間、テンション機構３の加圧部３２は、可動ローラ１２１に第２の圧力をかけているため、テープ状部材２には比較的軽い第２のテンションが付与されている。

この送りにより、ステップＳ２１で形成したハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０に来る。但し、ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０に合致しているとは限らない。このため、撮像部１８及び判定部１９６により、ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０の許容範囲内に位置しているかを判定し（ステップＳ２３）、ハーフカットライン２０ｂが所定範囲から外れている場合（ステップＳ２３のＮＯ）には、補正制御部１９７により、粘着テープ２１のハーフカットライン２０ｂと貼着基準位置１０との距離を算出し（ステップＳ２４）、当該距離分、ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０に来るように、補正機構Ｇにより支持体Ｓを移動させる補正量を設定する（ステップＳ２５）。すなわち、図８（ａ）に示すように、テープ状部材２の送りによりハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０の後ろ側にずれた場合、ずれた距離Ｄ１分、補正機構Ｇが支持体Ｓを貼着部１１側に移動させる。一方、図８（ｂ）に示すように、テープ状部材２の送りによりハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０の前側にずれた場合、ずれた距離Ｄ２分、補正機構Ｇが支持体Ｓを切断部１６側に移動させる。

その後、ステージ部材１１１を移動させて基板３００における粘着テープ２１が貼着される縁部をテープ状部材２の下に位置付ける。そして、予め加熱された加圧ヘッド１１０を降下させ、加圧ヘッド１１０とステージ部材１１１とで基板３００とテープ状部材２を挟み込んで圧着し、テープ状部材２の粘着テープ２１を基板３００上に貼着する（ステップＳ２６）。その後、加圧ヘッド１１０を上昇させ、剥離部１５を貼着部１１側に水平移動させることにより、図７（ｄ）に示すように、基板３００に貼着した粘着テープ２１から離型テープ２２を剥離し（ステップＳ２７）、剥離部１５を元の位置に戻す。

次いで、供給部１２からテープ状部材２を供給する（ステップＳ２８）。つまり、搬送制御部１９８が回動開始信号を出力し、供給リール１２０を回動させてテープ状部材２を繰り出す。このとき、テンション機構制御部１９１は、回動開始信号を受けて、電空レギュレータ３２２を制御し、空気圧シリンダ３２１の圧力を第１の圧力に切り替える。これにより、テープ状部材２に与えられるテンションが第１のテンションに切り替えられる。また、テープ状部材２の供給により可動ローラ１２１が上方の移動端に到達すると、そのことがセンサによって検知され、搬送制御部１９８が回動停止信号を出力する。テンション機構制御１９１は、この回動停止信号を受けて電空レギュレータ３２２を制御し、空気圧シリンダ３２１の圧力を第２の圧力に切り替える。これにより、テープ状部材２に与えられるテンションが第２のテンションに切り替えられる。

その後、粘着テープ２１が未貼着の基板３００に粘着テープ２１を貼着する場合は（ステップＳ２９のＹＥＳ）、ステージ部材１１１上の貼着済みの基板を、粘着テープ２１が未貼着の新たな基板３００に交換し、ステップＳ２１に戻る。一方、粘着テープ２１が未貼着の基板３００に粘着テープ２１を貼着しない場合は（ステップＳ２９のＮＯ）、終了する。

なお、テープ状部材２を送るステップＳ２２では、以下に説明するように、テープ状部材２の送り補正を行う。すなわち、上記のように、撮像部１８及び判定部１９６は、ハーフカットライン２０ｂが所定範囲から外れていた場合、補正制御部１９７により、粘着テープ２１のハーフカットライン２０ｂと貼着基準位置１０との距離を算出している。この距離は、上記のように、補正機構Ｇによる補正に用いられる。

さらに、搬送制御部１９８は、当該距離分、ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０に来るように搬送部１４によりテープ状部材２を送る送り量に対して補正量を設定する。搬送部１４は、当該補正量を加えた送り量でテープ状部材２を貼着基準位置１０に送る。

［効果］
（１）本実施形態は、離型テープ２２に粘着テープ２１が貼着されたテープ状部材２を供給する供給部１２と、貼着対象物に対して、粘着テープ２１の離型テープ２２とは反対側の粘着面を貼着する貼着部１１と、テープ状部材２の貼着部１１に対する相対位置が変化するように、テープ状部材２を送る搬送部１４と、供給部１２によりテープ状部材２が供給される場合のテープ状部材２の第１のテンションが、搬送部１４によりテープ状部材２を送る場合のテープ状部材２の第２のテンションよりも高くなるように、テープ状部材２にテンションを与えるテンション機構３と、を有する。

このため、搬送部１４によりテープ状部材２を送る場合のテープ状部材２の第２のテンションを抑えて、テープ状部材２の伸びによる貼着部に対する位置ずれを防止しつつ、供給部１２からテープ状部材２が供給される場合のテープ状部材２の第１のテンションを高くすることにより、テープ状部材２の搬送経路からの脱落を防止できる。これにより、比較的幅の狭いテープ状部材２であっても、安定した搬送及び位置決めを行うことができる。

（２）供給部１２は、一対の離隔した移動端の間を移動可能に設けられ、テープ状部材２に接することにより、テープ状部材２の移動を案内する可動ローラ１２１を有し、テンション機構３は、テープ状部材２に第１のテンションを与える第１の圧力と、テープ状部材２に第２のテンションを与える第２の圧力とを切り替えて、可動ローラ１２１に対して一対の移動端の一方、本実施形態では上方に向かう方向に圧力を加える加圧部３２と、を有する。

このため、加圧部３２による可動ローラ１２１に対する圧力を切り替えるだけで、テープ状部材２のテンションを切り替えることができるので、簡素な構造で安定した搬送及び位置決めを実現できる。なお、図１および図２に示すように、可動ローラ１２１が上方の移動端に位置するときは、下方の移動端側に位置するときよりも、テープ状部材２の搬送経路の長さが長くなる。そこで、可動ローラ１２１に対して圧力を加える方向は、テープ状部材２の搬送経路長を拡大させる方向と言い換えることができる。

（３）可動ローラ１２１の移動をガイドするガイド機構３１を有する。このため可動ローラ１２１の移動を安定させることができる。さらに、テープ状部材２の伸びを抑えた第２の圧力では、ガイド機構３１の摺動抵抗等によって、第２の圧力（第２のテンション）では、可動ローラ１２１が移動端（上方の移動端）まで移動しきれず、供給部１２から供給されたテープ状部材２に弛みができてしまう場合であっても、第１の圧力に切り替えることにより、可動ローラ１２１の移動を確保して、テープ状部材２の張りを維持できる。

（４）テープ状部材２の位置を検出する検出部と、検出部により検出されたテープ状部材２の位置に基づいて、貼着部１１に対するテープ状部材２の相対位置を補正する補正部と、を有する。このため、テンションの切り替えによっても、テープ状部材２の送りにより貼着部１１に対する位置ずれが生じる場合であっても、テープ状部材２の位置を補正して、正確な貼着が可能となる。

（５）検出部は、テープ状部材２の粘着テープ２１を切断して切れ目２０となるハーフカットライン２０ｂを撮像する撮像部１８を有する。このため、テープ状部材２の搬送と貼着の繰り返しの過程で、順次生成されるハーフカットライン２０ｂの位置に基づいて、逐一位置ずれを補正することが可能となり、位置ずれの拡大を防止できる。また、テープ状部材２の位置を検出するために、特別なアライメントマーク等を用いる必要もない。

（６）補正部は、貼着部１１に対する供給部１２及び搬送部１４の相対位置を調整する補正機構Ｇを有し、搬送部１４は、検出部により検出されたテープ状部材２の位置に基づいて、テープ状部材２の送り量を補正する。このため、送りの際に生じる貼着部１１に対するテープ状部材２の位置ずれを補正機構Ｇにより補正して、正確な貼着ができるとともに、さらに送り量を補正することにより、送りの際に生じる位置ずれが累積して拡大することを防止できる。

（７）粘着テープ２１は、異方性導電フィルムである。このため、幅が狭くなると伸縮しやすい異方性導電フィルムに適用した場合であっても、安定した搬送及び位置決めを行うことができる。

［他の実施形態］
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、下記に示す他の実施形態も包含する。また、本発明は、上記実施形態及び下記の他の実施形態の全て又はいずれかを組み合わせた形態も包含する。さらに、これらの実施形態を発明の範囲を逸脱しない範囲で、種々の省略や置き換え、変更を行うことができ、その変形も本発明に含まれる。

上記の実施形態では、テンション機構３の加圧部３２としては空気圧シリンダ３２１を用いたが、これには限定されない。例えば、モータ、ソレノイドであってもよい。回動可能なレバーにダンサローラを取り付けたレバーダンサを用いてもよい。

上記の実施形態では、補正機構Ｇは、供給部１２及び搬送部１４を移動させることにより、つまり支持体Ｓを移動させることにより、貼着部１１に対するテープ状部材２の相対位置を補正していた。しかし、補正機構Ｇは、貼着部１１を移動させることにより、テープ状部材２の相対位置を補正してもよい。

また、上記の実施形態では、貼着部１１を補正機構Ｇとは独立して設ける構成としたが、貼着部１１を補正機構Ｇと一体、つまり、支持体Ｓと一体に構成してもよい。このようにしても、ハーフカットライン２０ｂを基板３００等の貼着対象物に合わせて位置補正することができる。但し、この場合、貼着基準位置１０が支持体Ｓと一緒に移動するので、貼着基準位置１０に対するハーフカットライン２０ｂの相対位置を補正することはできない。しかしながら、本発明を適用することにより、テープ状部材２の伸びが抑制され、ハーフカットライン２０ｂの位置決め精度は格段に向上する。従って、この態様は、例えば、上述したように、貼着基準位置１０を加圧ヘッド１１０の上流側端部から１．０ｍｍ〜０．５ｍｍはみ出させて設定する場合など、ハーフカットライン２０ｂの位置決め誤差に比較的余裕がある場合に特に適用可能である。

また、補正部を搬送部１４のみによって構成して、補正機構Ｇの機能を、搬送部１４が兼用するようにしてもよい。つまり、搬送部１４によって、ハーフカットライン２０ｂを貼着基準位置１０に移動させて補正するようにしてもよい。例えば、図８（ａ）に示すように、ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０の後ろ側に距離Ｄ１位置ずれしていた場合には、テープ状部材２を貼着部１１側に距離Ｄ１だけ移動させるように送りローラ１４０を回転させる。また、図８（ｂ）に示すように、ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０の前側に距離Ｄ２位置ずれしていた場合には、テープ状部材２を切断部１６側に距離Ｄ２だけ移動させるように送りローラ１４０を回転させる。このとき、送りローラ１４０は、貼着基準位置１０に位置するテープ状部材２を弛ませる方向に回転するが、テープ状部材２には第２のテンションが与えられているため、弛むことなく上流側に引き戻される。

テンション機構３によるテンション付与の方向、加圧部３２による加圧の方向、可動ローラ１２１の移動方向は、テープ状部材２の搬送経路を拡大する方向であればよい。例えば、鉛直方向であっても、水平方向であっても、鉛直方向又は水平方向に対して傾斜した方向であってもよい。また、貼着部１１のステージ部材１１１と加圧ヘッド１１０の配置位置、切断部１６のカッター１６０とバックアップ部材１６１の配置位置は、テープ状部材２を挟んで対向していればよい。このため、上記の実施形態で示したものと上下が逆、つまり、貼着対象物における下側を向いた面に粘着テープ２１を下側から貼着するように配置されていてもよい。撮像部１８の位置や角度も上記の態様には限定されない。貼着部１１におけるテープ状部材２の搬送経路の方向についても、水平方向には限定されず、鉛直方向であっても、水平方向又は鉛直方向に対して傾斜した方向であってもよい。

また、回収部１３は、回収リール１３０を備える構成に限られるものではなく、離型テープ２２を回収できる構成であればよい。例えば、離型テープ２２を吸引して回収する構成の回収部１３であってもよい。また、搬送部１４は、送りローラ１４０を備える構成に限られるものではなく、テープ状部材２を所望の送り量で搬送できるものであればよい。例えば、チャック式の送り機構であってもよい。

また、上記の態様では、テンション機構３を、空気圧シリンダ３２１を備える加圧部３２によってテンションを付与する例としたが、これに限られるものではなく、第１、第２のテンションを与えることのできるものであれば、他の加圧部を用いても、加圧部以外の他の手段を用いてもよい。例えば、入力電圧を変えることによってトルクが変化するトルクモータを用いて、テンションを付与するテンション機構３としてもよい。この場合、可動ローラ１２１とトルクモータの出力軸とを、ワイヤ等の紐状の部材で連結する。そして、この紐状部材を出力軸に巻き上げる力を、トルクモータに供給する電圧の切り替えによって切り替え、第１のテンションと第２のテンションとの切替えを行うようにすればよい。

また、本発明に係る貼着装置１は、フラットパネルディスプレイの製造に限らず、太陽電池パネルの製造等、貼着対象物に異方性導電フィルムなどの粘着テープを貼着する装置等に適用可能である。

１ 貼着装置
２ テープ状部材
３ テンション機構
１０ 貼着基準位置
１１ 貼着部
１２ 供給部
１３ 回収部
１４ 搬送部
１５ 剥離部
１６ 切断部
１７ 照明部
１８ 撮像部
１９ 制御部
２０ 切れ目
２０ａ 先頭部分
２０ｂ ハーフカットライン
２１ 粘着テープ
２２ 離型テープ
３１ ガイド機構
３２ 加圧部
１１０ 加圧ヘッド
１１０ａ 緩衝部材
１１１ ステージ部材
１１１ａ 支持面
１１２ 捨打ちプレート
１２０ 供給リール
１２１ 可動ローラ
１２２ 経路ローラ
１３０ 回収リール
１３１ 経路ローラ
１４０ 送りローラ
１５０ 剥離棒
１５１ 剥離棒
１６０ カッター
１６１ バックアップ部材
１６１ａ 平坦面
１９０ 貼着制御部
１９１ テンション機構制御部
１９２ 剥離制御部
１９３ 切断制御部
１９４ 照明制御部
１９５ 撮像制御部
１９６ 判定部
１９７ 補正制御部
１９８ 搬送制御部
１９９ 記憶部
３００ 基板
３１１ リニアガイド
３１２ スライダ
３１３ 接続具
３２１ 空気圧シリンダ
３２１ａ シリンダ
３２１ｂ 駆動ロッド
３２２ 電空レギュレータ
Ｇ 補正機構
Ｇ１ リニアガイド
Ｇ２ スライダ
Ｓ ：支持体
Ｔ ：基台

Claims (7)

1. 離型テープに粘着テープが貼着されたテープ状部材を供給する供給部と、
   貼着対象物に対して、前記粘着テープの前記離型テープとは反対側の粘着面を貼着する貼着部と、
   前記テープ状部材の前記貼着部に対する相対位置が変化するように、前記テープ状部材を送る搬送部と、
   前記供給部により前記テープ状部材が供給される場合の前記テープ状部材の第１のテンションが、前記搬送部により前記テープ状部材を送る場合の前記テープ状部材の第２のテンションよりも高くなるように、前記テープ状部材にテンションを与えるテンション機構と、
   を有することを特徴とする粘着テープの貼着装置。
2. 前記供給部は、一対の離隔した移動端の間を移動可能に設けられ、前記テープ状部材に接することにより、前記テープ状部材の移動を案内する可動ローラを有し、
   前記テンション機構は、前記テープ状部材に前記第１のテンションを与える第１の圧力と、前記テープ状部材に前記第２のテンションを与える第２の圧力とを切り替えて、前記可動ローラに対して一対の移動端の一方に向かう方向に圧力を加える加圧部を有することを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
3. 前記可動ローラの移動をガイドするガイド機構を有することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の粘着テープの貼着装置。
4. 前記テープ状部材の位置を検出する検出部と、
   前記検出部により検出された前記テープ状部材の位置に基づいて、前記貼着部に対する前記テープ状部材の相対位置を補正する補正部と、
   を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の粘着テープの貼着装置。
5. 前記検出部は、前記テープ状部材の前記粘着テープを切断して切れ目となるハーフカットラインを撮像する撮像部を有することを特徴とする請求項４記載の粘着テープの貼着装置。
6. 前記補正部は、前記貼着部に対する前記供給部及び前記搬送部の相対位置を補正する補正機構を有し、
   前記補正機構は、前記検出部により検出された前記テープ状部材の位置に基づいて、前記貼着部と前記供給部及び前記搬送部との相対位置を補正することで前記貼着部に対するテープ状部材の相対位置を補正することを特徴とする請求項４又は請求項５記載の粘着テープの貼着装置。
7. 供給部が、離型テープに粘着テープが貼着されたテープ状部材を供給し、
   貼着部が、貼着対象物に対して、前記テープ状部材の前記粘着テープを貼着し、
   搬送部が、前記テープ状部材の前記貼着部に対する相対位置が変化するように、前記テープ状部材を搬送し、
   テンション機構が、前記供給部により前記テープ状部材が供給される場合の前記テープ状部材の第１のテンションが、前記搬送部により前記テープ状部材を搬送する場合の前記テープ状部材の第２のテンションよりも高くなるように、前記テープ状部材にテンションを与えることを特徴とする粘着テープの貼着方法。

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