JP2019529808A - プロファイルを用いた真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
前記吸入ポート6がエジェクターポンプ側に直接連結されるため、ポンプ1で具現することができる真空速度及び真空度が高くなく、
特に、流入口5側の仕上げ部材3は構造上相当な程度の幅wを有するにもかかわらず、真空ポンプ1の特性に関連して効率的に活用できない、
などの問題がある。
長手方向に上側の装着ホールと下側の真空チャンバーが隣接して平行に形成され、前記真空チャンバーの一面には吸着手段と連通する多数の連通ホールが形成された中空型プロファイルと、
一端が圧縮空気流入口、他端がその排出口であり、側壁には一つ以上の通孔が形成されたシリンダー型ポンプであって、前記装着ホール内に長手方向に配置及び固定される一つ以上のエジェクターポンプと、
前記プロファイルの両側開口にそれぞれ提供され、前記流入口又は排出口に対応する貫通ホールが形成された第1キャップ及び第2キャップを含み、前記流入口側の第1キャップは前記真空チャンバーと装着ホールを連通させる通路を有するように設計されたエンドキャップと、
を含む。
20 プロファイル
21 装着ホール
22 真空チャンバー
23 連通ホール
24 T溝
25 包囲空間
30 エジェクターポンプ
31 流入口
32 排出口
33 通孔
34 固定部
35 シーリングリング
36 固定ボルト
37 環形溝
40 エンドキャップ
41 第1キャップ
42 第2キャップ
43、44 貫通ホール
45 通路
46 補助チャンバー
47 連通ホール
50 吸着手段
P 対象物
Claims (8)
- 長手方向に上側の装着ホール(21)と下側の真空チャンバー(22)が隣接して平行に形成され、前記真空チャンバーの一面には吸着手段(50)と連通する多数の連通ホール(23)が形成された中空型プロファイル(20)と、
一端が圧縮空気流入口(31)、他端がその排出口(32)であり、側壁には一つ以上の通孔(33)が形成されたシリンダー型ポンプであって、前記装着ホール(21)内に長手方向に配置及び固定される一つ以上のエジェクターポンプ(30)と、
前記プロファイルの両側開口にそれぞれ提供され、前記流入口又は排出口に対応する貫通ホール(43、44)が形成された第1キャップ(41)及び第2キャップ(42)を含み、前記流入口側の第1キャップ(41)は真空チャンバー(22)と装着ホール(21)を連通させる通路(45)を有するように設計されたエンドキャップ(40)と、
を含み、
前記装着ホール(21)と前記真空チャンバー(22)は前記プロファイル(20)自体で互いに連通しない要素として存在することを特徴とする、プロファイルを用いた真空ポンプ。 - 前記第1キャップ(41)は、その下部に、前記真空チャンバー(22)と空間的に連結されるように形成された補助チャンバー(46)を含み、前記補助チャンバー(46)の一片側に前記通路(45)が形成されるように設計されたことを特徴とする、請求項1に記載のプロファイルを用いた真空ポンプ。
- 前記補助チャンバー(46)の一面には吸着手段(50)と連通する連通ホール(47)が形成されたことを特徴とする、請求項2に記載のプロファイルを用いた真空ポンプ。
- 前記吸着手段(50)は前記真空チャンバー(22)及び前記補助チャンバー(46)の連通ホール(23、47)側の一面に付着されるパッドタイプ手段、又は前記連通ホール(23、47)に装着又は連結されるコップタイプ手段であることを特徴とする、請求項3に記載のプロファイルを用いた真空ポンプ。
- 前記エジェクターポンプ(30)は前記排出口(32)側の端部に形成されたリング形の固定部(34)を含み、前記固定部(34)はその外径部が前記装着ホール(21)の内面に密着して固定されることを特徴とする、請求項1に記載のプロファイルを用いた真空ポンプ。
- 前記エジェクターポンプ(30)は固定部(34)を別に備え、前記排出口(32)側の端部が前記固定部(34)に挿合されることを特徴とする、請求項5に記載のプロファイルを用いた真空ポンプ。
- 前記固定部(34)によって前記装着ホール(21)の一部に前記エジェクターポンプ(30)を取り囲む包囲空間(25)が形成され、前記通路(45)は前記真空チャンバー(22)と前記包囲空間(25)を連通させることを特徴とする、請求項5に記載のプロファイルを用いた真空ポンプ。
- 前記固定部(34)は外径部に形成された環形溝(37)を含み、固定ボルト(36)が前記プロファイル(20)の側壁を貫通し、その端部が前記環形溝(37)に挿入されることを特徴とする、請求項5に記載のプロファイルを用いた真空ポンプ。
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