JP2019505831A - 対物レンズシステム - Google Patents
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Abstract
Description
この出願は、2015年12月7日に出願された米国仮特許出願第62/264,155号の利益を主張し、その全体が参照により本明細書に援用される。
本発明は、リソグラフィ投影装置、デバイス製造方法、及びそれにより製造されたデバイスに応用される対物レンズシステムに関する。
1. ステップモードでは、マスクテーブルMTは基本的に静止状態に保たれている。そして、マスクの像全体が1回の作動(すなわち1回の「フラッシュ」)で目標部分Cに投影される。次に基板テーブルWTがX方向および/またはY方向にシフトされ、異なる目標部分CがビームPBにより照射され得る。2. スキャンモードでは、基本的に同一シナリオが適用されるが、但し、ここでは、所定の目標部分Cは1回の「フラッシュ」では露光されない。代わって、マスクテーブルMTが、速度vにて所定方向(いわゆる「走査方向」、例えばY方向)に移動可能であり、それによって投影ビームPBがマスクの像を走査する。これと同時に、基板テーブルWTが速度V=Mvで、同一方向あるいは反対方向に移動する。ここで、MはレンズPLの倍率(一般的にM=1/4あるいは1/5)である。このように、解像度を妥協することなく、比較的大きな目標部分Cを露光することが可能となる。
実際に、非対称における変化(すなわちプロセス変化)を検出可能にすることが、おそらく、なお重要である。図24は、1nmのルーフトップの変化に対する位相変化を示したものである。これは、18nm/4=4.5nmのプロセス変化に相当する。結果の位相変化は、光子統計に基づいて計測される0.1ラジアンの次数のものである。
Claims (14)
- 物体側より順に、
偏心誘導コマ収差補正素子と、
視野依存性収差を補正するように構成および配置された第1レンズ素子群と、
高次球面色収差を補正するように構成および配置された第2レンズ素子群と、
低次球面色収差を補正するように構成および配置された第3レンズ素子群と、
正の屈折力を有する第4レンズ素子群と、
を備えることを特徴とする対物レンズ。 - 約500nm〜約900nmの波長を有する光に対して条件:
NA>0.6、
P−V奇数波面誤差<5nm、および
作動距離>8mm、を満たすことを特徴とする請求項1に記載の対物レンズ。 - 前記第4レンズ素子群は、CaF2レンズ素子から成ることを特徴とする請求項1または2に記載の対物レンズ。
- 前記第4レンズ素子群は、CaF2レンズ素子から成ることを特徴とする請求項3に記載の対物レンズ。
- 前記第2レンズ素子群と前記第3レンズ素子群との間に配置されたCaF2レンズ素子をさらに備えることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の対物レンズ。
- 前記第2レンズ素子群と前記第3レンズ素子群との間に配置された開口絞りをさらに備えることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の対物レンズ。
- 各レンズ群は、異常部分分散エレメントを含む少なくとも1つのレンズ素子を備えることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の対物レンズ。
- 前記偏心誘導コマ収差補正素子は、溶融石英を含むことを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の対物レンズ。
- 前記第1レンズ素子群は、正常部分分散を有するガラスを含む横色補正ダブレットおよびメニスカス素子を備えることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の対物レンズ。
- 前記第2レンズ素子群は、ダブレットを備えることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載の対物レンズ。
- 物体側から順に、
第1メニスカスレンズと、
正の屈折力を有する高分散素子と負の屈折力を有する低分散素子とを有する第1ダブレットと、
低分散材料を含む第2メニスカスレンズと、
負の屈折力を有する第2ダブレットと、
正レンズと、
絞りと、
1つの低分散素子と1つの高分散素子からなる一対のレンズ素子を備えるレンズ群と、
3つの低分散光学素子を含み、正の屈折力を有するレンズ群と、
を備えることを特徴とする対物レンズ。 - 約500nm〜約900nmの波長を有する光に対して条件:
NA>0.6、
P−V奇数波面誤差<5nm、および
作動距離>8mm、を満たすことを特徴とする請求項11に記載の対物レンズ。 - 放射の投影ビームを提供するための放射システムと、
所望のパターンに従って投影ビームをパターニングするために使用されるパターニングデバイスを支持する支持構造と、
基板を保持する基板テーブルと、
パターン形成されたビームを基板の目標部分に投影するための投影システムと、
自己参照干渉計を有するアラインメントシステムと、を備え、
前記自己参照干渉計が、請求項1から12のいずれかに記載の対物レンズを備えることを特徴とするリソグラフィ投影装置。 - 瞳面内に設けられ、瞳面の選択された部分からの光を通過させるように制御可能な空間光変調器と、前記空間光変調器を通過した光を検出素子上に集光するためのコレクタと、を備える検出システムを備えることを特徴とする請求項13に記載のリソグラフィ投影装置。
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