JP2019220527A - 液浸冷却用熱交換器 - Google Patents

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Abstract

【課題】冷却性能を向上させること。【解決手段】電子部品６０を収容可能であり電子部品６０を液浸して冷却する液体の冷媒１４を貯留する槽本体１０に冷媒１４に浸されて収容される液浸冷却用の熱交換器３０であって、槽本体１０の外部から循環冷媒が導入される導入管３２と、槽本体１０の外部に循環冷媒を排出する排出管３４と、導入管３２と排出管３４との間に接続されて導入管３２から排出管３４に向かって循環冷媒を流す複数の接続管３６と、を備え、複数の接続管３６は、重力方向に交差する方向に複数列に並び且つ重力方向に複数段に並んで設けられている、液浸冷却用熱交換器。【選択図】図１

Description

本発明は、液浸冷却用熱交換器に関する。
電子部品の冷却方法として、槽本体に貯留された冷却液に電子部品を浸して冷却する液浸冷却方法が知られている。液浸冷却方法では、電子部品が浸漬される冷却液の温度が上昇して電子部品に対する冷却効果が悪くなることを抑制するために、冷却液を冷やすための熱交換器を冷却液に浸漬させることがある。しかしながら、冷却液に熱交換器を浸漬させた場合でも、槽本体に貯留された冷却液に対流が発生せず、電子部品に対する冷却効果を改善できないことがある。そこで、冷却液上昇孔と冷却液下降孔を有する熱交換器を用い、発熱体の真上に配置される冷却液上昇孔の内面に断熱部材を設けることで、冷却液の対流を発生させることが提案されている（例えば、特許文献１）。
特開平３−５０８９７号公報
しかしながら、特許文献１に記載の方法では、槽本体に貯留する液体の冷媒に対流を発生させて、冷却性能を向上させる点で改善の余地が残されている。
１つの側面では、冷却性能を向上させることを目的とする。
１つの態様では、電子部品を収容可能であり前記電子部品を液浸して冷却する液体の第１冷媒を貯留する槽本体に前記第１冷媒に浸されて収容される液浸冷却用熱交換器であって、前記槽本体の外部から第２冷媒が導入される導入管と、前記槽本体の外部に前記第２冷媒を排出する排出管と、前記導入管と前記排出管との間に接続されて前記導入管から前記排出管に向かって前記第２冷媒を流す複数の接続管と、を備え、前記複数の接続管は、重力方向に交差する方向に複数列に並び且つ重力方向に複数段に並んで設けられている、液浸冷却用熱交換器である。
１つの側面として、冷却性能を向上させることができる。
図１（ａ）は、実施例１に係る液浸槽の透視正面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ間の断面図である。 図２（ａ）は、熱交換器の正面図、図２（ｂ）は、底面図である。 図３（ａ）は、熱交換器の斜視図、図３（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ間の断面図である。 図４は、比較例に係る液浸槽の透視正面図である。 図５は、実施例１に係る液浸槽の効果を説明するための断面図である。 図６（ａ）は、実施例２に係る液浸槽の透視正面図、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＡ−Ａ間の断面図である。
以下、図面を参照して、本発明の実施例について説明する。
図１（ａ）は、実施例１に係る液浸槽の透視正面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ間の断面図である。図１（ａ）及び図１（ｂ）のように、実施例１の液浸槽１００は、槽本体１０と液浸冷却用の熱交換器３０を備える。槽本体１０は、内部に空間１２を有する。空間１２内には、冷媒１４が密閉されて貯留されている。冷媒１４は、電気絶縁性及び熱伝導性を有する冷媒である。冷媒１４は、例えばフッ化炭素系冷却液などのフッ素系絶縁性冷媒である。槽本体１０は、例えばプラスチック又はステンレスで形成されている。
槽本体１０内には、電子部品６０、６２、及び６４が実装された配線基板７０が冷媒１４に浸された状態で収容される。冷媒１４は電気絶縁性を有することから、電子部品６０、６２、及び６４が実装された配線基板７０を冷媒１４に浸漬させて冷却することができる。電子部品６０は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）である。電子部品６２及び６４は、例えばメモリである。配線基板７０は、例えばプリント配線板である。電子部品６０の主面上に、複数の放熱フィンを有するヒートシンク７２が設けられていてもよい。これにより、電子部品６０の放熱面積が大きくなるため、電子部品６０が効果的に冷却される。ヒートシンク７２は、金属などの熱伝導率の高い材料で形成され、例えばアルミニウムで形成されている。
熱交換器３０は、槽本体１０に収容され、冷媒１４に浸漬される。熱交換器３０は、槽本体１０に貯留される冷媒１４を冷却するために設けられている。熱交換器３０は、導入管３２と、排出管３４と、導入管３２と排出管３４の間を接続する複数の接続管３６と、を有する。導入管３２、排出管３４、及び接続管３６は、金属などの熱伝導率の高い材料で形成されている。一例として、導入管３２、排出管３４、及び接続管３６は、アルミニウムで形成されている。なお、導入管３２、排出管３４、及び接続管３６は、同じ材料で形成されている場合に限られず、異なる材料で形成されていてもよい。
導入管３２及び排出管３４はそれぞれ１本ずつ設けられている場合でもよいが、実施例１では、複数本ずつ設けられている場合を例に説明する。複数の導入管３２は、１つの導入口３８を有する共通導入部４０に接続されている。複数の排出管３４は、１つの排出口４２を有する共通排出部４４に接続されている。導入口３８と排出口４２は、配管５０を介して、例えばチラーなどの外部熱交換器５２に接続される。配管５０には、ポンプ５４が設置されている。
熱交換器３０内には冷媒（以下、循環冷媒と称す）が封入されている。ポンプ５４が駆動すると、熱交換器３０と外部熱交換器５２との間を循環冷媒が循環する。熱交換器３０は槽本体１０に貯留される冷媒１４に浸漬されることから、熱交換器３０内を循環冷媒が流れることで冷媒１４と熱交換が起こり、冷媒１４が冷却される。
導入管３２及び排出管３４は、例えば槽本体１０の底面に垂直に延在している。複数の接続管３６は、例えば槽本体１０の底面に平行に延在している。なお、垂直に延在とは、槽本体１０の底面に完全に垂直となって延在している場合に限られず、槽本体１０の底面に対して多少の傾きをもって延在している場合も含まれる。同様に、平行に延在とは、槽本体１０の底面に完全に平行となって延在している場合に限られず、槽本体１０の底面に対して多少の傾きをもって延在している場合も含まれる。実施例１では、導入管３２及び排出管３４は重力方向に延在し、複数の接続管３６は重力方向に交差（例えば直交）する第１交差方向に延在している。
ここで、図２（ａ）から図３（ｂ）を併用して、熱交換器３０について説明する。図２（ａ）は、熱交換器の正面図、図２（ｂ）は、底面図である。図３（ａ）は、熱交換器の斜視図、図３（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ間の断面図である。なお、図２（ｂ）においては、一部部材を透視して導入管３２及び排出管３４を図示している。図３（ａ）においては、熱交換器３０を流れる循環冷媒の流れを矢印で示している。なお、循環冷媒は、槽本体１０に貯留される冷媒１４と同じ種類であってもよいし、異なる種類であってもよい。
複数の導入管３２は、互いに近接して並行となって重力方向に延在している。複数の排出管３４は、互いに近接して並行となって重力方向に延在している。複数の接続管３６は、導入管３２と排出管３４との間に接続され、重力方向に交差する第１交差方向に延在している。複数の接続管３６は、例えば重力方向に切断した断面形状が重力方向を長手方向とした扁平形状となっているが、円形形状などのその他の形状となっていてもよい。複数の接続管３６は、重力方向及び第１交差方向に交差（例えば直交）する第２交差方向を扁平形状の短手方向として、第２交差方向に複数列に並んで設けられている。また、複数の接続管３６は、重力方向にも複数段に並んで設けられている。なお、複数の接続管３６が重力方向に複数段に並んで設けられているとは、重力方向に完全に平行に複数段に並んで設けられている場合に限られず、重力方向から多少の傾きをもって複数段に並んで設けられている場合も含まれる。接続管３６の短手方向の幅Ｗは、例えば４ｍｍ程度であり、長手方向の長さＬは、例えば４５ｍｍ程度である。複数列に並んだ接続管３６の間隔Ｄ１は、例えば６ｍｍ程度であり、複数段に並んだ接続管３６の間隔Ｄ２は、例えば１０ｍｍ程度である。
第２交差方向に複数列に並んだ接続管３６はそれぞれ、複数の導入管３２のうちの異なる導入管３２と複数の排出管３４のうちの異なる排出管３４との間に接続されている。すなわち、複数列に並んだ接続管３６のうちの１つは、複数の導入管３２のうちの１つと複数の排出管３４のうちの１つとの間に接続されている。複数列に並んだ接続管３６のうちの他の１つは、複数の導入管３２のうちの他の１つと複数の排出管３４のうちの他の１つとの間に接続されている。
接続管３６は、内部が複数の空間４６に仕切られていて、複数の流路が形成されている。複数の空間４６内を、導入管３２側から排出管３４側に向かって循環冷媒が流れる。ここで、図３（ａ）を用いて、熱交換器３０を流れる循環冷媒の流れについて説明する。外部熱交換器５２（図１（ａ）参照）で冷却された循環冷媒は、導入口３８から導入管３２に導入される。導入管３２に導入された循環冷媒は、導入管３２内を重力方向上側から下側に向かって流れ、その過程で複数の接続管３６に順次流れ込む。接続管３６に流れ込んだ循環冷媒は、接続管３６に形成された空間４６内を導入管３２側から排出管３４側に向かって流れた後、排出管３４に流れ込む。排出管３４に流れ込んだ循環冷媒は、排出管３４内を重力方向下側から上側に向かって流れた後、排出口４２から外部熱交換器５２に向かって排出される。
このように、循環冷媒は熱交換器３０内を流れ、槽本体１０に貯留される冷媒１４とは混合されない。例えば、槽本体１０に貯留される冷媒１４をポンプによって槽本体１０の外部に設けられた外部熱交換器に循環させ、冷媒１４を冷却させることが考えられる。この場合、配線基板７０を槽本体１０に出し入れする際に冷媒１４に異物が混入し、冷媒１４を循環させるポンプが故障することがある。これに対し、実施例１では、熱交換器３０を流れる循環冷媒と槽本体１０に貯留される冷媒１４とが混合しないため、冷媒１４に異物が混入した場合でも、循環冷媒を循環させるポンプ５４が故障することを抑制できる。
ここで、実施例１の液浸槽１００の効果を説明するにあたり、比較例の液浸槽について説明する。図４は、比較例に係る液浸槽の透視正面図である。図４のように、比較例の液浸槽５００では、熱交換器８０が冷媒１４に浸漬して槽本体１０に収容されている。熱交換器８０は、導入管８２と、排出管８４と、内部に流路が形成された平板部材８６と、を有する。平板部材８６の主面上には放熱フィンを有するヒートシンク８８が設けられていてもよい。平板部材８６は、槽本体１０の重力方向下側に位置する底部に設けられている。平板部材８６の重力方向上側に、電子部品６０、６２、及び６４が実装された配線基板７０が配置されている。導入管８２と排出管８４は、配管５０を介して、例えばチラーなどの外部熱交換器５２に接続される。
ポンプ５４が駆動すると、外部熱交換器５２で冷却された循環冷媒が、導入管８２に導入される。導入管８２に導入された循環冷媒は、平板部材８６の内部に形成された流路を流れた後、排出管８４から外部熱交換器５２に向かって排出される。
比較例によれば、槽本体１０に貯留される冷媒１４を冷却するために、冷媒１４に熱交換器８０が浸漬されている。熱交換器８０の平板部材８６は槽本体１０の底部に設置されていることから、槽本体１０の底部付近の冷媒１４は冷却される。しかしながら、電子部品６０、６２、及び６４で暖められた冷媒１４は電子部品６０、６２、及び６４よりも重力方向上側に上昇し易く、その一方で、熱交換器８０の平板部材８６によって冷却された冷媒１４は槽本体１０の重力方向下側に位置する底部付近に溜まり易い。このため、平板部材８６を流れる循環冷媒と平板部材８６の周囲に存在する冷媒１４との温度差が小さく、効果的な熱交換が行われ難い。また、冷媒１４に対流も発生し難い。このようなことから、電子部品６０、６２、及び６４に対して効果的な冷却が行われ難い。
図５は、実施例１に係る液浸槽の効果を説明するための断面図である。図１（ａ）及び図１（ｂ）で説明したように、実施例１では、冷媒１４に浸漬される熱交換器３０は、重力方向に延在する導入管３２及び排出管３４と、導入管３２と排出管３４との間に接続された複数の接続管３６と、を有する。複数の接続管３６は、重力方向に交差する第２交差方向に複数列に並び且つ重力方向に複数段に並んで設けられている。この場合、図５のように、電子部品６０で暖められた冷媒１４は、周囲の冷媒１４よりも密度が小さくなり、矢印９０のように、重力方向上側に上昇する。一方、接続管３６内を流れる循環冷媒によって冷却された冷媒１４は、周囲の冷媒１４よりも密度が大きくなり、矢印９２のように、重力方向下側に下降する。このときに、複数列に並んだ接続管３６の間に位置する冷媒１４は、接続管３６内を流れる循環冷媒によって冷却され易く、複数列に並んだ接続管３６よりも外側に存在する冷媒１４の影響を受け難いため暖められ難い。このため、複数列に並んだ接続管３６の間には、矢印９２のような、重力方向下側に下降する冷媒１４の流れが発生し易い。
また、接続管３６が重力方向に複数段に並んでいることでも、複数列に並んだ接続管３６の間に、矢印９２のような、重力方向下側に下降する冷媒１４の流れが発生し易くなる。これは、以下の理由によるものである。例えば、１枚の大きな接続管３６が導入管３２及び排出管３４の上端側から下端側にかけて重力方向に延在している場合、複数列に並んだ接続管３６の間の流路抵抗が大きくなる。この場合、冷媒１４は複数列に並んだ接続管３６の間を重力方向下側に流れ難くなる。一方、接続管３６が重力方向に複数段に並んで設けられていることで、複数列に並んだ接続管３６の間の流路抵抗が小さくなる。このため、複数列に並んだ接続管３６の間に、矢印９２のような、重力方向下側に下降する冷媒１４の流れが発生し易くなる。
このように、槽本体１０に貯留される冷媒１４に上昇流と下降流とが発生することで、矢印９０〜９６のように、槽本体１０内を冷媒１４が循環する流れが作り出される。これにより、槽本体１０に貯留される冷媒１４の温度差が小さくなる。よって、熱交換器３０を流れる循環冷媒と槽本体１０に貯留される冷媒１４との熱交換が効果的に行われ、電子部品６０が効果的に冷却されるようになる。
実施例１によれば、図１（ａ）のように、冷媒１４に浸漬される熱交換器３０は、循環冷媒が導入される導入管３２と、循環冷媒を排出する排出管３４と、導入管３２と排出管３４との間に接続されて導入管３２から排出管３４に向かって循環冷媒を流す複数の接続管３６と、を有する。複数の接続管３６は、図３（ａ）及び図３（ｂ）のように、重力方向に交差する第２交差方向に複数列に並び且つ重力方向に複数段に並んで設けられている。このように、接続管３６が重力方向に交差する第２交差方向に複数列に並び且つ重力方向に複数段に並んで設けられていることで、図５で説明したように、槽本体１０に貯留される冷媒１４に下降流を効果的に発生させることができる。したがって、電子部品６０などで暖められた冷媒１４による上昇流と相まって、槽本体１０に貯留される冷媒１４に対流を効果的に発生させることができ、冷却性能を向上させることができる。
重力方向に交差する第２交差方向に複数列に並んだ接続管３６の列数が多いほど、列の内側に位置する接続管３６の間に存在する冷媒１４は、複数列に並んだ接続管３６よりも外側に存在する冷媒１４の影響を受け難くなる。すなわち、複数列に並んだ接続管３６の列数が多くなるほど、列の内側に位置する接続管３６の間に存在する冷媒１４は冷却され易くなる。このため、大きな下降流が発生し易くなり、冷媒１４に大きな対流が発生し易くなる。このようなことから、第２交差方向に複数列に並んだ接続管３６の列数は、３列以上の場合が好ましく、５列以上の場合がより好ましく、８列以上の場合が更に好ましい。また、槽本体１０の大型化を抑制する点からは、第２交差方向に複数列に並んだ接続管３６の列数は、１０列以下の場合が好ましく、７列以下の場合がより好ましく、４列以下の場合が更に好ましい。
図３（ａ）及び図３（ｂ）のように、複数の接続管３６は、長手方向と短手方向を有する断面形状を有する。そして、複数の接続管３６は、重力方向を長手方向とし、重力方向に交差する第２交差方向を短手方向として、第２交差方向に複数列に並び且つ重力方向に複数段に並んで設けられていることが好ましい。これにより、例えば接続管３６の断面形状が円形形状である場合に比べて、複数列に並んだ接続管３６の間で接続管３６と冷媒１４とが接触する面積を大きくすることができる。よって、接続管３６内を流れる循環冷媒による冷媒１４の冷却を効果的に行うことができ、下降流を効果的に発生させることができる。また、接続管３６を複数列に並んで設けた場合でも、設置スペースを小さくすることができる。なお、接続管３６の断面形状が円形形状であっても、冷媒１４に対流を発生させて、冷却性能を向上させる効果は得られる。
図３（ｂ）のように、接続管３６の内部は複数の空間４６に仕切られている場合が好ましい。これにより、接続管３６内を流れる循環冷媒が接続管３６内の一部に偏って流れることを抑制でき、また、接続管３６内を複数の空間４６に仕切る壁部分も循環冷媒による冷媒１４の冷却に寄与することになる。よって、槽本体１０に貯留される冷媒１４の冷却効果を向上させることができる。また、接続管３６内が複数の空間４６に仕切られていることで、複数の空間に仕切られずに１つの空間となっている場合に比べて、接続管３６の強度を向上させることができる。
図１（ａ）及び図１（ｂ）のように、複数の接続管３６は、電子部品６０などが実装された配線基板７０に対して重力方向に交差する方向にずれて配置される場合が好ましい。これにより、図５で説明したような、槽本体１０に貯留される冷媒１４が循環する流れを効果的に作り出すことができる。なお、図１（ａ）及び図１（ｂ）では、配線基板７０は、重力方向に複数段に並んで設けられた接続管３６の中央付近に配置されているが、上側又は下側に偏って配置されていてもよい。また、図１（ａ）及び図１（ｂ）では、複数の接続管３６は、配線基板７０に対して第２交差方向にずれて配置されているが、第１交差方向にずれて配置される場合でも、槽本体１０に貯留される冷媒１４が循環する流れを効果的に作り出すことができる。また、図１（ａ）及び図１（ｂ）のように、槽本体１０に貯留される冷媒１４が循環する流れを効果的に作り出す点から、配線基板７０は、重力方向に立てて槽本体１０に収容されることが好ましい。
槽本体１０に貯留される冷媒１４と熱交換器３０を流れる循環冷媒とは、同じ種類の冷媒であってもよいし、異なる種類の冷媒であってもよい。槽本体１０に貯留される冷媒１４と熱交換器３０を流れる循環冷媒とを同じ種類の冷媒とすることで、何らかの理由によって熱交換器３０を流れる循環冷媒が槽本体１０に流れ出た場合でも、電子部品６０などへの悪影響を抑制できる。また、槽本体１０に貯留される冷媒１４と熱交換器３０を流れる循環冷媒とを異なる種類の冷媒とすることで、循環冷媒として冷却に適した放熱能力の高い冷媒を採用することができる。例えば、槽本体１０に貯留される冷媒１４をフッ素系絶縁性冷媒とし、熱交換器３０を流れる循環冷媒を水又はプロピレングリコール系の冷媒としてもよい。
実施例１では、導入管３２及び排出管３４が重力方向に延在している場合を例に示したが、この場合に限られず、重力方向から傾いた方向に延在している場合でもよい。
図６（ａ）は、実施例２に係る液浸槽の透視正面図、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＡ−Ａ間の断面図である。実施例１の液浸槽１００では、図１（ａ）及び図１（ｂ）のように、電子部品６０などが実装された配線基板７０が、熱交換器３０に対して片側のみに配置される場合を例に示した。しかしながら、実施例２の液浸槽２００のように、熱交換器３０の一方側に電子部品６０などが実装された配線基板７０が配置され、他方側に電子部品６６などが実装された配線基板７４が配置される場合でもよい。この場合、電子部品６０及び６６で暖められた冷媒１４の上昇流が大きくなることから、槽本体１０に貯留された冷媒１４の対流を効果的に発生させることができる。
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明はかかる特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
なお、以上の説明に関して更に以下の付記を開示する。
（付記１）電子部品を収容可能であり前記電子部品を液浸して冷却する液体の第１冷媒を貯留する槽本体に前記第１冷媒に浸されて収容される液浸冷却用熱交換器であって、前記槽本体の外部から第２冷媒が導入される導入管と、前記槽本体の外部に前記第２冷媒を排出する排出管と、前記導入管と前記排出管との間に接続されて前記導入管から前記排出管に向かって前記第２冷媒を流す複数の接続管と、を備え、前記複数の接続管は、重力方向に交差する方向に複数列に並び且つ重力方向に複数段に並んで設けられている、液浸冷却用熱交換器。
（付記２）前記複数の接続管は、重力方向に交差する前記方向に３列以上に並んで設けられている、付記１記載の液浸冷却用熱交換器。
（付記３）前記複数の接続管は、長手方向と短手方向を有する断面形状を有し、重力方向を前記長手方向とし、重力方向に交差する前記方向を前記短手方向として、重力方向に交差する前記方向に複数列に並び且つ重力方向に複数段に並んで設けられている、付記１または２記載の液浸冷却用熱交換器。
（付記４）前記複数の接続管は、内部が複数の空間に仕切られている、付記１から３のいずれか一項記載の液浸冷却用熱交換器。
（付記５）前記複数の接続管は、前記電子部品に対して重力方向に交差する方向にずれて配置される、付記１から４のいずれか一項記載の液浸冷却用熱交換器。
（付記６）前記第１冷媒と前記第２冷媒は同じ種類の冷媒である、付記１から５のいずれか一項記載の液浸冷却用熱交換器。
（付記７）前記第１冷媒と前記第２冷媒は異なる種類の冷媒である、付記１から５のいずれか一項記載の液浸冷却用熱交換器。
（付記８）前記第１冷媒はフッ素系絶縁性冷媒であり、前記第２冷媒は水又はプロピレングリコール系の冷媒である、付記７記載の液浸冷却用熱交換器。
１０ 槽本体
１２ 空間
１４ 冷媒
３０ 熱交換器
３２ 導入管
３４ 排出管
３６ 接続管
３８ 導入口
４０ 共通導入部
４２ 排出口
４４ 共通排出部
４６ 空間
５０ 配管
５２ 外部熱交換器
５４ ポンプ
６０、６２、６４、６６ 電子部品
７０、７４ 配線基板
７２ ヒートシンク
８０ 熱交換器
８２ 導入管
８４ 排出管
８６ 平板部材
８８ ヒートシンク
１００、２００、５００ 液浸槽

Claims (6)

  1. 電子部品を収容可能であり前記電子部品を液浸して冷却する液体の第１冷媒を貯留する槽本体に前記第１冷媒に浸されて収容される液浸冷却用熱交換器であって、
    前記槽本体の外部から第２冷媒が導入される導入管と、
    前記槽本体の外部に前記第２冷媒を排出する排出管と、
    前記導入管と前記排出管との間に接続されて前記導入管から前記排出管に向かって前記第２冷媒を流す複数の接続管と、を備え、
    前記複数の接続管は、重力方向に交差する方向に複数列に並び且つ重力方向に複数段に並んで設けられている、液浸冷却用熱交換器。
  2. 前記複数の接続管は、長手方向と短手方向を有する断面形状を有し、重力方向を前記長手方向とし、重力方向に交差する前記方向を前記短手方向として、重力方向に交差する前記方向に複数列に並び且つ重力方向に複数段に並んで設けられている、請求項１記載の液浸冷却用熱交換器。
  3. 前記複数の接続管は、内部が複数の空間に仕切られている、請求項１または２記載の液浸冷却用熱交換器。
  4. 前記複数の接続管は、前記電子部品に対して重力方向に交差する方向にずれて配置される、請求項１から３のいずれか一項記載の液浸冷却用熱交換器。
  5. 前記第１冷媒と前記第２冷媒は同じ種類の冷媒である、請求項１から４のいずれか一項記載の液浸冷却用熱交換器。
  6. 前記第１冷媒と前記第２冷媒は異なる種類の冷媒である、請求項１から４のいずれか一項記載の液浸冷却用熱交換器。
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