JP2019217620A

JP2019217620A - 放電加工装置

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Publication number: JP2019217620A
Application number: JP2018133339A
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Inventors: 潤 ▲高▼橋; Jun Takahashi
Original assignee: Sodick Co Ltd
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Filing date: 2018-07-13
Publication date: 2019-12-26
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Abstract

【課題】気中放電加工において、加工屑を十分に除去することができる放電加工装置を提供すること。【解決手段】放電加工装置は、被加工物との間で放電加工を行う工具電極と、工具電極が挿通されるハウジングと、ハウジングの内壁と工具電極との間に設けられた空間であるミスト生成領域に圧縮気体を供給する圧縮気体供給装置と、圧縮気体の流路であって、圧縮気体供給装置とミスト生成領域とを接続する第１流路と、ミスト生成領域に加圧加工液を供給する加圧加工液供給装置と、加圧加工液の流路であって、加圧加工液供給装置とミスト生成領域とを接続する第２流路と、を備え、第２流路とミスト生成領域との境界である加圧加工液供給口は、ハウジングの内壁にハウジングの内壁の周方向において等角度毎に２以上、または、ハウジングの内壁の全周に渡って形成されている。【選択図】図１

Description

本発明は、被加工物と工具電極との間に放電を発生させながら、工具電極を移動させることによって被加工物を加工する放電加工装置に関し、特に、空気中において被加工物の加工部分にミストを噴射させながら加工を行う放電加工装置に関する。

工具電極と被加工物とを所定の間隙をおいて配置し、工具電極と被加工物の両極間に電圧を印加して放電を発生させるとともに、工具電極と被加工物とを相対移動させて被加工物に加工を施し、所望の形状に加工する装置として放電加工装置が知られている。

また、特許文献１には、空気中で放電加工を行う気中放電加工装置が開示されている。この気中放電加工装置では、細穴工具電極内から噴出される圧縮空気と細穴工具電極の側面に沿って送られる圧縮空気に加えて、細穴工具電極の両側且つ加工部分から離れた位置に２本の液体ミスト噴出ノズルを配置し、当該液体ミスト噴出ノズルからミストを噴射させることにより、放電加工中に生じる加工屑を除去しつつ、被加工物の加工を行っている。

特開２００６−１０２８２８号公報

しかしながら、一般に、細穴工具電極の径は非常に小さく、特許文献１に記載の細穴工具電極内から噴出される圧縮空気と細穴工具電極の側面に沿って送られる圧縮空気も微量である。それに加えて、気体では、液体などと比較して加工屑を除去しづらい。さらに、特許文献１に記載の気中放電加工装置では、細穴工具電極の両側且つ加工部分から離れた位置に配置された２本の液体ミスト噴出ノズルからミストを噴射しているため、特に、被加工物の深部を加工する際に加工部分までミストが到達せず、加工屑を十分に除去することができないことがあった。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、気中放電加工において、加工屑を十分に除去することができる放電加工装置を提供することを主たる目的とする。

第１の発明の放電加工装置は、被加工物との間で放電加工を行う工具電極と、前記工具電極が挿通されるハウジングと、前記ハウジングの内壁と前記工具電極との間に設けられた空間であるミスト生成領域に圧縮気体を供給する圧縮気体供給装置と、前記圧縮気体の流路であって、前記圧縮気体供給装置と前記ミスト生成領域とを接続する第１流路と、前記ミスト生成領域に加圧加工液を供給する加圧加工液供給装置と、前記加圧加工液の流路であって、前記加圧加工液供給装置と前記ミスト生成領域とを接続する第２流路と、を備え、前記第２流路と前記ミスト生成領域との境界である加圧加工液供給口は、前記ハウジングの内壁に前記ハウジングの内壁の周方向において等角度毎に２以上、または、前記ハウジングの内壁の全周に渡って形成され、前記ミスト生成領域に供給された前記加圧加工液は、前記空間で前記圧縮気体と混合されることにより霧状に微粒子化し、ミストとして噴射されることを特徴とするものである。

本発明では、第２流路と空間との境界である加圧加工液供給口は、ハウジングの内壁にハウジングの内壁の周方向において等角度毎に２以上、または、ハウジングの内壁の全周に渡って形成されている。従って、ハウジングの内壁の周方向において、加圧加工液をミスト生成領域に偏りなく供給することができる。これにより、ミスト生成領域にミストを均一に生成し、工具電極に沿って偏りなく噴射させることができるため、放電加工が行われる工具電極近傍の加工屑を確実に除去することができる。

第２の発明の放電加工装置は、前記第１の発明において、前記工具電極が挿通され、前記ミスト生成領域の上側に配置される液槽と、前記加圧加工液供給装置から前記液槽内に前記加圧加工液を供給する流路であって、前記液槽と前記加圧加工液供給装置とを接続する第３流路と、をさらに備えたことを特徴とするものである。

本発明では、工具電極が挿通され、ミスト生成領域の上側に配置される液槽と、加圧加工液供給装置から液槽内に加圧加工液を供給する流路であって、液槽と加圧加工液供給装置とを接続する第３流路と、をさらに備えている。従って、液槽内の加工液によって工具電極を冷却することができる。これにより、放電加工時の工具電極の温度上昇を抑制し、工具電極の消耗を抑えることができる。

第３の発明の放電加工装置は、前記第２の発明において、前記ミスト生成領域は、前記ハウジングの下端側に設けられたミスト生成空間と前記ミスト生成空間と前記液槽との間に前記ミスト生成空間の上側全域を覆うように設けられた圧縮気体供給空間とからなり、前記ミスト生成空間には、前記第１流路を介して前記加圧加工液供給装置から加圧加工液が供給され、前記圧縮気体供給空間には、前記第２流路を介して前記圧縮気体供給装置から圧縮気体が供給されることを特徴とするものである。

本発明では、ミスト生成領域は、ハウジングの下端側に設けられたミスト生成空間とミスト生成空間と液槽との間にミスト生成空間の上側全域を覆うように設けられた圧縮気体供給空間とからなり、ミスト生成空間には、第１流路を介して加圧加工液供給装置から加圧加工液が供給され、圧縮気体供給空間には、第２流路を介して圧縮気体供給装置から圧縮気体が供給される。従って、第１流路から送られた圧縮空気は、圧縮気体供給空間を経由してミスト生成空間に供給される。これにより、空間に圧縮気体を偏りなく供給することができるため、圧縮空気の流れをより安定化させることができる。

第４の発明の放電加工装置は、前記第２または３の発明において、前記工具電極を支持する２以上のダイスをさらに備え、前記ダイスのうちの１つは、前記液槽の下端部に配置され、前記工具電極と前記ダイスとの間には、間隙が設けられていることを特徴とするものである。

本発明では、工具電極を支持する２以上のダイスをさらに備え、ダイスのうちの１つは、液槽の下端部に配置され、工具電極とダイスとの間には、間隙が設けられている。従って、放電加工中に生じる工具電極の芯振れを防止することができる。これにより、加工位置のずれを防止し、高い精度で加工を行うことができる。また、ベンチュリ効果により、液槽内の加圧加工液を工具電極とダイスとの間の間隙から噴出させることができる。これにより、液槽内の加工液をミスト生成に利用することができる。また、加工液により、液槽の下側の工具電極を冷却することができる。

第５の発明の放電加工装置は、前記第２〜４の何れかの発明において、前記工具電極を支持する２以上のダイスをさらに備え、前記ダイスのうちの１つは、前記液槽の上端部に配置され、前記工具電極と前記ダイスとの間には、間隙が設けられていることを特徴とするものである。

本発明では、工具電極を支持する２以上のダイスをさらに備え、ダイスのうちの１つは、液槽の上端部に配置され、工具電極とダイスとの間には、間隙が設けられている。従って、放電加工中に生じる工具電極の芯振れを防止することができる。これにより、加工位置のずれを防止し、高い精度で加工を行うことができる。また、液槽内の加圧加工液を工具電極とダイスとの間の間隙から噴出させることができる。これにより、液槽内での冷却に加えて、液槽の上側でも工具電極を冷却することができる。

第６の発明の放電加工装置は、前記第１〜５の何れかの発明において、前記圧縮気体は、空気であることを特徴とするものである。

ここで、例えば、圧縮気体が酸素である場合、放電加工に伴い被加工物が激しく燃焼する。これにより、加工を速く進行させることができる代わりに、コストが高くなってしまう。また、例えば、圧縮気体が窒素である場合、燃焼が抑制され、加工速度が低下してしまう。

本発明では、圧縮気体は、空気である。これにより、加工を一定速度以上で行うとともに、圧縮気体に要するコストを削減することができる。

第７の発明の放電加工装置は、前記第１〜６の何れかの発明において、前記加圧加工液は、水であることを特徴とするものである。

本発明では、加圧加工液は、水である。これにより、工具電極の冷却を効率的に行い、消耗を抑えることができる。また、加圧加工液に要するコストを削減することができる。

第８の発明の放電加工装置は、前記第１〜７の何れかの発明において、放電加工中、前記工具電極は、同軸周りに回転していることを特徴とするものである。

本発明では、放電加工中、工具電極は、同軸周りに回転している。これにより、放電加工中に生じる工具電極の芯振れを防止することができる。また、ミスト生成領域から噴射されたミストをより均一に拡散させることができる。

本発明によれば、ハウジングの内壁の周方向において、加圧加工液をミスト生成領域に偏りなく供給することができる。これにより、ミスト生成領域にミストを均一に生成し、工具電極に沿って偏りなく噴射させることができるため、放電加工が行われる工具電極近傍の加工屑を確実に除去することができる。

本発明の実施形態にかかる放電加工装置の概要を示す図である。図１におけるＸ−Ｘ断面図である。

以下、図面を用いて本発明の実施形態について説明する。以下に示す実施形態中で示した各特徴事項は、互いに組み合わせ可能である。また、各特徴事項について独立して発明が成立する。

図１に示すように、放電加工装置１００は、図示しない被加工物の加工部分にミストを噴射しつつ、放電加工を行うためのものである。放電加工装置１００は、図示しない被加工物との間に電圧が印加されることにより放電を発生させる工具電極１と、工具電極１を保持するハウジング２と、ハウジング２内にミスト生成のための圧縮気体と加圧加工液とをそれぞれ供給する圧縮気体供給装置３および加圧加工液供給装置４などを備えている。なお、図１の白色矢印は、圧縮気体供給装置３から送られる圧縮気体を示し、黒色矢印は、加圧加工液供給装置４から送られる加圧加工液を示している。

工具電極１は、その内部に中空孔が設けられた円筒型のパイプ電極である。工具電極１は、外径が０．３〜３．０ｍｍである。放電加工中、工具電極１は、図示しない回転駆動部によって、同軸周りに回転される。また、工具電極１の中空孔内には、圧縮気体供給装置３から圧縮気体が供給され、図示しない被加工物の加工部分に噴射される。

ハウジング２は、貫通孔２ａが設けられた略筒型形状をなしている。貫通孔２ａの略中央から上側部分には、加圧加工液が充填される液槽５が嵌合された状態で取り付けられている。貫通孔２ａの略中央から下側部分には、圧縮気体と加圧加工液とが混合されてミストが生成される空間であるミスト生成領域６が設けられている。貫通孔２ａには、液槽５およびミスト生成領域６を貫くように、工具電極１が挿通される。ハウジング２には、圧縮気体供給装置３からミスト生成領域６に圧縮気体を送る際の流路となる第１流路７が形成されている。ハウジング２には、加圧加工液供給装置４からミスト生成領域６に加圧加工液を送る際の流路となる第２流路８が形成されている。ハウジング２には、加圧加工液供給装置４から液槽５に加圧加工液を送る際の流路となる第３流路９が形成されている。

液槽５は、加圧加工液供給装置４から送られた加圧加工液により、工具電極１を冷却するためのものである。液槽５は、貫通孔５ａが設けられた略筒型形状をなしている。貫通孔５ａの上端部および下端部には、その内部に充填される加圧加工液が多量に漏れ出さないように封止するとともに、外周を取り囲むように工具電極１を支持するダイス１０ａ，１０ｂがそれぞれ取り付けられている。ダイス１０ａ，１０ｂと工具電極１との間には、間隙Ｇ１，Ｇ２が設けられている。間隙Ｇ１，Ｇ２の大きさは、０．００２５〜０．０１０ｍｍである。

ミスト生成領域６は、液槽５の直下に形成され、第１流路７と連通する圧縮気体供給空間６ａと第２流路８と連通するミスト生成空間６ｂとからなる。

圧縮気体供給空間６ａは、ミスト生成空間６ｂへと続く圧縮気体の流路の断面積が小さくなるように、その高さが低く設定されている。これにより、第１流路７から送られた圧縮気体の流速を急激に上げることができる。圧縮気体供給空間６ａは、ミスト生成空間６ｂの上側全域を覆うように形成されている。

ミスト生成空間６ｂは、圧縮気体供給空間６ａと連通し、圧縮気体供給空間６ａからハウジング２の下端までを貫く円柱型の空間である。ミスト生成空間６ｂにおけるハウジング２の内壁間の内径は、０．８〜５．０ｍｍである。ミスト生成空間６ｂと第２流路８との境界であるハウジング２の内壁には、第２流路８から送られた加圧加工液をミスト生成空間６ｂに噴出する複数の加圧加工液供給口１１が形成されている。

複数の加圧加工液供給口１１は、円形状である。複数の加圧加工液供給口１１は、径の大きさが等しい。複数の加圧加工液供給口１１の径の大きさは、０．２〜０．５ｍｍである。複数の加圧加工液供給口１１は、同じ高さに配置されている。加圧加工液供給口１１は、上下方向、すなわち、ハウジング２の同軸方向からみて、工具電極１を中心として、ミスト生成空間６ｂを形成するハウジング２の内壁の周方向において、ハウジング２の内壁に等角度毎に２以上配置されている。本実施形態では、加圧加工液供給口１１は、図２に示すように、上下方向からみて、工具電極１を中心として、ミスト生成空間６ｂを形成するハウジング２の内壁の周方向において、ハウジング２の内壁に９０度毎に４つ配置されている。また、本実施形態では、ミスト生成空間６ｂの周囲を取り巻く第２流路８を４つに分岐してミスト生成空間６ｂと接続させることにより、４つの加圧加工液供給口１１を形成させている。

圧縮気体供給装置３は、圧縮気体を供給するためのものである。圧縮気体は空気である。加圧加工液供給装置４は、加圧加工液を供給するためのものである。加圧加工液は水である。

次に、放電加工時のミスト生成について、図１を参照しつつ、詳細に説明する。

圧縮気体供給空間６ａに供給された圧縮気体は、圧縮気体供給空間６ａで加速されてミスト生成空間６ｂへと送られ、開口部であるミスト噴射口６ｂ１へと向かう高速の圧縮気体の流れを形成する。また、上述したように、工具電極１とダイス１０ｂとの間の間隙Ｇ２の大きさは０．００２５〜０．０１０ｍｍ、加圧加工液供給口１１の径は０．２〜０．５ｍｍであり、ミスト生成領域６への加工液の供給口の断面積は何れも小さい。そのため、加圧加工液による強制加圧に加えて、ベンチュリ効果によってミスト生成領域６に発生した負圧により、間隙Ｇ２および加圧加工液供給口１１から加圧加工液が噴出する。噴出した加圧加工液は、圧縮気体によって霧状に微細化され、ミスト噴射口６ｂ１からミストとして噴射される。

（作用効果）
本実施形態では、４つの加圧加工液供給口１１は、同じ径を有する円形状であって、同じ高さに配置されている。さらに、図２に示すように、４つの加圧加工液供給口１１は、上下方向からみて、工具電極１を中心として、ミスト生成空間６ｂを形成するハウジング２の内壁の周方向において、ハウジング２の内壁に９０度毎に配置されている。これにより、ミスト生成空間６ｂに加圧加工液を偏りなく供給することができる。従って、ミスト生成空間６ｂにミストを均一に生成し、工具電極１に沿って偏りなく噴射させることができるため、放電加工が行われる工具電極１近傍の加工屑を確実に除去することができる。

また、図１に示すように、加圧加工液供給口１１は、ミスト生成空間６ｂの高さ方向中央部に設けられている。従って、圧縮気体供給空間６ａから下方向に安定した圧縮気体の流れが形成されている中に加圧加工液を供給することができる。これにより、生成されたミストを同気流に乗せて安定して噴射し続けることができる。

また、工具電極１は、加圧加工液が充填される液槽５に挿通されている。従って、液槽５内の加圧加工液によって工具電極１を冷却することができる。これにより、放電加工時の工具電極１の温度上昇を抑制し、工具電極１の消耗を抑えることができる。

また、圧縮気体供給空間６ａは、ミスト生成空間６ｂの上側全域を覆うように設けられている。従って、圧縮気体供給空間６ａを経由してミスト生成空間６ｂに圧縮気体を送ることができる。これにより、圧縮気体をミスト生成空間６ｂに偏りなく供給することができるため、圧縮気体の流れをより安定化させることができる。

また、液槽５の貫通孔５ａの上端部および下端部には、外周を取り囲むように工具電極１を支持するダイス１０ａ，１０ｂがそれぞれ配置されている。従って、ダイス１０ａ，１０ｂにより、放電加工中に生じる工具電極１の芯振れを防止することができる。これにより、加工位置のずれを防止し、高い精度で加工を行うことができる。

また、ダイス１０ｂと工具電極１との間には間隙Ｇ２が設けられ、間隙Ｇ２の大きさは０．００２５〜０．０１０ｍｍである。従って、ベンチュリ効果により、液槽５内の加圧加工液を工具電極１とダイス１０ｂとの間の間隙Ｇ２から噴出させることができる。これにより、液槽５内の加圧加工液をミスト生成に利用することができる。また、加圧加工液により、液槽５の下側の工具電極１を冷却することができる。

また、ダイス１０ａと工具電極１との間には間隙Ｇ１が設けられ、間隙Ｇ２の大きさは０．００２５〜０．０１０ｍｍである。従って、液槽５内の加圧加工液を工具電極１とダイス１０ａとの間の間隙Ｇ１から噴出させることができる。これにより、液槽５内での冷却に加えて、液槽５の上側でも工具電極１を冷却することができる。

また、圧縮気体供給装置３から供給される圧縮気体は、空気である。これにより、加工を一定速度以上で行うとともに、圧縮気体に要するコストを削減することができる。

また、加圧加工液供給装置４から供給される加圧加工液は、水である。これにより、工具電極１の冷却を効率的に行い、消耗を抑えることできる。また、加圧加工液に要するコストを削減することができる。

また、放電加工中、工具電極１は、図示しない回転駆動部によって同軸周りに回転している。これにより、放電加工中に生じる工具電極１の芯振れを防止することができる。また、ミスト生成空間６ｂから噴射されたミストをより均一に拡散させることができる。

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施形態や実施例に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

本実施形態では、工具電極１は、パイプ電極であると記載したが、工具電極１は、棒状電極であっても構わない。また、パイプ電極に設けられる貫通孔は、如何なる個数および形状であっても構わない。

本実施形態では、液槽５は、ハウジング２に対して別途設けられていると記載したが、例えば、ハウジング２内の内部空間として設けられていても構わない。

本実施形態では、ミスト生成空間６ｂは、圧縮気体供給空間６ａからハウジング２の下端までを貫く円柱型の空間であると記載したが、ミスト生成空間６ｂは、例えば、その断面が台形型となるように形成されていても構わない。より具体的には、ミスト生成空間６ｂにおけるハウジング２の内壁間の距離は、ハウジング２の下端に近づくにつれて大きくなるように形成されていても構わない。或いは、ミスト生成空間６ｂにおけるハウジング２の内壁間の距離は、ハウジング２の下端に近づくにつれて小さくなるように形成されていても構わない。また、ミスト生成空間６ｂは、高さ方向途中部にハウジング２の内壁間の距離が大きくなる部分や小さくなる部分が形成されていても構わない。

また、加圧加工液供給口１１は、上下方向からみて、工具電極１を中心として、ミスト生成空間６ｂを形成するハウジング２の内壁の周方向において、９０度毎に４つ配置されていると記載したが、例えば、加圧加工液供給口１１は、ハウジング２の内壁の全周に渡って形成されていても構わない。

また、圧縮気体は空気であると記載したが、圧縮気体は、例えば、酸素や窒素、アルゴンであっても構わない。

また、加圧加工液は水であると記載したが、加圧加工液は、例えば、水溶性加工液や油性加工液であっても構わない。

１工具電極
２ハウジング
２ａ貫通孔
３圧縮気体供給装置
４加圧加工液供給装置
５液槽
５ａ貫通孔
６ミスト生成領域
６ａ圧縮気体供給空間
６ｂミスト生成空間
６ｂ１ミスト噴射口
７第１流路
８第２流路
９第３流路
１０ａ，１０ｂダイス
１１加圧加工液供給口
Ｇ１，Ｇ２間隙
１００放電加工装置

第１の発明の放電加工装置は、被加工物との間で放電加工を行う工具電極と、前記工具電極が挿通されるハウジングと、前記ハウジングの内壁と前記工具電極との間に設けられた空間であるミスト生成領域に圧縮気体を供給する圧縮気体供給装置と、前記圧縮気体の流路であって、前記圧縮気体供給装置と前記ミスト生成領域とを接続する第１流路と、前記ミスト生成領域に加圧加工液を供給する加圧加工液供給装置と、前記加圧加工液の流路であって、前記加圧加工液供給装置と前記ミスト生成領域とを接続する第２流路と、を備え、前記第２流路と前記ミスト生成領域との境界である加圧加工液供給口は、前記ハウジングの内壁に前記ハウジングの内壁の周方向において等角度毎に２以上、または、前記ハウジングの内壁の全周に渡って形成され、前記ミスト生成領域に供給された前記加圧加工液は、前記圧縮気体と混合されることにより霧状に微粒子化し、ミスト噴出口からミストとして噴射され、前記第２流路と前記ミスト生成領域との接続部は、前記第１流路と前記ミスト生成領域との接続部よりも前記ミスト噴射口側に設けられていることを特徴とするものである。

第３の発明の放電加工装置は、前記第２の発明において、前記ミスト生成領域は、前記ハウジングの下端側に設けられたミスト生成空間と前記ミスト生成空間と前記液槽との間に前記ミスト生成空間の上側全域を覆うように設けられた圧縮気体供給空間とからなり、前記ミスト生成空間には、前記第２流路を介して前記加圧加工液供給装置から加圧加工液が供給され、前記圧縮気体供給空間には、前記第１流路を介して前記圧縮気体供給装置から圧縮気体が供給されることを特徴とするものである。

本発明では、ミスト生成領域は、ハウジングの下端側に設けられたミスト生成空間とミスト生成空間と液槽との間にミスト生成空間の上側全域を覆うように設けられた圧縮気体供給空間とからなり、ミスト生成空間には、第２流路を介して加圧加工液供給装置から加圧加工液が供給され、圧縮気体供給空間には、第１流路を介して圧縮気体供給装置から圧縮気体が供給される。従って、第１流路から送られた圧縮空気は、圧縮気体供給空間を経由してミスト生成空間に供給される。これにより、空間に圧縮気体を偏りなく供給することができるため、圧縮空気の流れをより安定化させることができる。

Claims

被加工物との間で放電加工を行う工具電極と、
前記工具電極が挿通されるハウジングと、
前記ハウジングの内壁と前記工具電極との間に設けられた空間であるミスト生成領域に圧縮気体を供給する圧縮気体供給装置と、
前記圧縮気体の流路であって、前記圧縮気体供給装置と前記ミスト生成領域とを接続する第１流路と、
前記ミスト生成領域に加圧加工液を供給する加圧加工液供給装置と、
前記加圧加工液の流路であって、前記加圧加工液供給装置と前記ミスト生成領域とを接続する第２流路と、
を備え、
前記第２流路と前記ミスト生成領域との境界である加圧加工液供給口は、前記ハウジングの内壁に前記ハウジングの内壁の周方向において等角度毎に２以上、または、前記ハウジングの内壁の全周に渡って形成され、
前記ミスト生成領域に供給された前記加圧加工液は、前記空間で前記圧縮気体と混合されることにより霧状に微粒子化し、ミストとして噴射されることを特徴とする放電加工装置。
前記工具電極が挿通され、前記ミスト生成領域の上側に配置される液槽と、
前記加圧加工液供給装置から前記液槽内に前記加圧加工液を供給する流路であって、前記液槽と前記加圧加工液供給装置とを接続する第３流路と、をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の放電加工装置。
前記ミスト生成領域は、前記ハウジングの下端側に設けられたミスト生成空間と前記ミスト生成空間と前記液槽との間に前記ミスト生成空間の上側全域を覆うように設けられた圧縮気体供給空間とからなり、
前記ミスト生成空間には、前記第１流路を介して前記加圧加工液供給装置から加圧加工液が供給され、
前記圧縮気体供給空間には、前記第２流路を介して前記圧縮気体供給装置から圧縮気体が供給されることを特徴とする請求項２に記載の放電加工装置。
前記工具電極を支持する２以上のダイスをさらに備え、
前記ダイスうちの１つは、前記液槽の下端部に配置され、
前記工具電極と前記ダイスとの間には、間隙が設けられていることを特徴とする請求項２または３に記載の放電加工装置。
前記工具電極を支持する２以上のダイスをさらに備え、
前記ダイスのうちの１つは、前記液槽の上端部に配置され、
前記工具電極と前記ダイスとの間には、間隙が設けられていることを特徴とする請求項２〜４の何れかに記載の放電加工装置。
前記圧縮気体は、空気であることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の放電加工装置。
前記加圧加工液は、水であることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の放電加工装置。
放電加工中、前記工具電極は、同軸周りに回転していることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の放電加工装置。