JP2019217568A - 加工方法及び加工システム - Google Patents

Abstract

【課題】加工後の被加工物の洗浄時間を抑制することができること。【解決手段】加工方法は、被加工物の加工方法であって、被加工物を保持手段で保持する保持ステップＳＴ１と、加工液を供給しつつ該保持手段で保持された被加工物を加工手段で加工する加工ステップＳＴ３と、該加工ステップＳＴ３を実施する前に、陰イオン交換樹脂を有した加工液生成ユニットで水道水をアルカリ性にした加工液を生成する加工液生成ステップＳＴ２と、を備え、該加工ステップＳＴ３では、該加工液は供給された後に回収され、循環されて再度供給される。【選択図】図２

Description

本発明は、被加工物を加工する加工方法及び加工システムに関する。

被加工物を円柱状に形成する円筒研削盤等の加工装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００４−１１４１９４号公報

特許文献１に示された円筒研削盤は、被加工物を加工する際、水道水を加工液として循環させて利用している。しかしながら、円筒研削盤は、水道水を循環させると、水道水中にバクテリアが発生するおそれがある。そこで、特許文献１に示された円筒研削盤は、水道水にアルカリ性の界面活性剤等を混入させて加工液として使用していた。

しかし、特許文献１に示された円筒研削盤は、界面活性剤によって被加工物にふくまれる油分や研削盤の潤滑油が被加工物に付着しやすくなり、加工後の被加工物の洗浄に時間がかかるという問題があった。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、加工後の被加工物の洗浄時間を抑制することができる加工方法及び加工システムを提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工方法は、被加工物の加工方法であって、被加工物を保持手段で保持する保持ステップと、加工液を供給しつつ該保持手段で保持された被加工物を加工手段で加工する加工ステップと、該加工ステップを実施する前に、陰イオン交換樹脂を有した加工液生成ユニットで水道水をアルカリ性にした加工液を生成する加工液生成ステップと、を備え、該加工ステップでは、該加工液は供給された後に回収され、循環されて再度供給されることを特徴とする。

前記加工方法において、該加工ステップを実施した後、所定のタイミングで循環していた該加工液を廃棄する廃棄ステップを更に備え、該廃棄ステップを実施した後、他の被加工物を加工する前に、再度、該加工液生成ステップを実施しても良い。

前記加工方法において、該加工液のｐＨを確認するｐＨ確認ステップと、該ｐＨ確認ステップで確認された該加工液のｐＨが所定値を下回った際に該加工液生成ユニットの該陰イオン交換樹脂を再生させる再生ステップと、を備えても良い。

本発明の加工システムは、被加工物を加工する加工システムであって、水道水流入口と、加工液流出口が形成されたハウジングと、該ハウジング中に収容された陰イオン交換樹脂と、を有した加工液生成ユニットと、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段で保持された被加工物を加工する加工手段と、該加工手段で被加工物を加工する際に該加工液生成ユニットで生成された該加工液を加工点に供給する加工液供給ノズルと、該加工点に供給された該加工液を回収する加工液回収手段と、を備え、該加工液回収手段で回収された該加工液は該加工液供給ノズルで該加工点に供給される加工装置と、を備えたことを特徴とする。

前記加工システムにおいて、該加工液生成ユニットで生成された該加工液のｐＨを計測するｐＨ計測器を更に備えても良い。

本発明は、加工後の被加工物の洗浄時間を抑制することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係る加工システムの構成例を説明する図である。 図２は、実施形態１に係る加工方法を示すフローチャートである。 図３は、図２に示された加工方法の保持ステップを示す保持手段の側面図である。 図４は、図２に示された加工方法の加工液生成ステップを示す加工液生成ユニットの側断面図である。 図５は、図２に示された加工方法の加工ステップを示す加工システムの要部の側面図である。 図６は、図１に示された加工システムの制御ユニットが加工装置の加工動作の停止中に実施するフローチャートである。 図７は、図２に示された加工方法の加工液生成ステップにおいて制御ユニットが繰り返し実施するフローチャートである。 図８は、図１に示された加工システムの制御ユニットが加工装置の加工動作の停止中に実施する他のフローチャートである。 図９は、図８に示されたフローチャートの再生ステップを示す加工液生成ユニットの側断面図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る加工方法及び加工システムを図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る加工システムの構成例を説明する図である。図２は、実施形態１に係る加工方法を示すフローチャートである。

（加工システム）
実施形態１に係る図１に示す加工システム１は、被加工物１００を加工するシステムである。実施形態１において、加工システム１が加工する被加工物１００は、ステンレス鋼等の金属で構成され、円柱状に形成される。実施形態１では、被加工物１００は、切削装置の先端に切削ブレードが装着されるスピンドルであるが、本発明では、スピンドルに限定されない。

加工システム１は、図１に示すように、加工液生成ユニット２と、加工装置３とを備える。加工液生成ユニット２は、加工装置３が加工中に被加工物１００に供給する加工液２００を生成するユニットである。

加工液生成ユニット２は、外観を構成するハウジング２１と、ハウジング２１内に収容された陰イオン交換樹脂２２とを備える。ハウジング２１は、水道水供給源２８から水道水が供給される水道水流入口２３が上端に形成された流入管２４と、ハウジング２１の上部に形成されかつハウジング２１の外壁２５を貫通した加工液流出口２６とを備える。流入管２４は、上端の水道水流入口２３が開閉弁２７を介して水道水供給源２８に接続されている。流入管２４は、水道水流入口２３を設けた上端をハウジング２１の外部に位置付け、開口２９を設けた下端をハウジング２１の内部に位置付けている。実施形態では、流入管２４の開口２９を設けた下端は、ハウジング２１の下部に設けられている。加工液流出口２６は、水道水流入口２３よりも下方でかつ開口２９を設けた下端よりも上方に設けられている。加工液流出口２６は、途中に開閉弁４１が設けられた配管４２を介して加工装置３の加工液貯留タンク４に接続している。

陰イオン交換樹脂２２は、水道水内の陰イオンを取り込んで、水酸化物イオン（ＯＨ⁻）を放出するアニオン交換樹脂である。加工液生成ユニット２は、水道水供給源２８からの水道水が水道水流入口２３を通して、ハウジング２１内に供給され、ハウジング２１内の陰イオン交換樹脂２２が水道水で浸漬される。

加工液生成ユニット２は、ハウジング２１内の陰イオン交換樹脂２２が水道水内の塩化物イオン（Ｃｌ⁻）、硫酸イオン（ＳＯ_４ ^２−）、炭酸水素イオン（ＨＣＯ_３ ⁻）等の陰イオンを取り込んで、水道水内に水酸化物イオン（ＯＨ⁻）を排出して、水道水からｐＨ値が９以上でかつ１１以下のアルカリ性の加工液２００を生成する。加工液生成ユニット２は、生成した加工液２００を加工液流出口２６を通して加工液貯留タンク４に供給する。

加工装置３は、図１に示すように、加工液貯留タンク４と、保持手段５と、加工手段６と、加工液供給ノズル７と、加工液回収手段８と、加工システム１の各構成要素をそれぞれ制御する制御ユニット９とを備える。

加工液貯留タンク４は、加工液生成ユニット２が生成した加工液２００を内部に貯留する容器である。

保持手段５は、被加工物１００を保持するものである。保持手段５は、被加工物１００の軸心方向の一端を保持するとともにモータ５１により軸心回りに回転される主軸５２と、被加工物１００の軸心方向の他端を保持するとともに軸心回りに回転自在に設けられた押し当て軸５３とを備える。実施形態１では、主軸５２及び押し当て軸５３は、被加工物１００の両端の端面に当接するとともに、被加工物１００と同軸に配置され、被加工物１００に近付くのにしたがって徐々に小径に形成された円柱状に形成されている。

主軸５２と、押し当て軸５３とは、互いに近づいたり離れる方向に移動自在である。保持手段５は、押し当て軸５３と主軸５２との間に被加工物１００を挟んで保持し、モータ５１により主軸５２が軸心回りに回転されることで、被加工物１００を軸心回りに回転する。なお、押し当て軸５３は、軸心回りに被加工物１００と連れ回る。

加工手段６は、保持手段５で保持された被加工物１００を加工するものである。実施形態１において、加工手段６は、図示しないモータにより軸心回りに回転自在に設けられたスピンドル６１と、スピンドル６１を回転自在に収容するスピンドルハウジング６２と、スピンドル６１の先端に装着される円筒状の研削砥石６３とを備える。加工手段６は、スピンドル６１と研削砥石６３とが同軸に配置され、スピンドル６１の軸心が保持手段５が保持した被加工物１００の軸心と平行に配置される。加工手段６は、スピンドル６１により軸心回りに回転される研削砥石６３の外周面６４を被加工物１００の外周面１０１に当接させた状態で、被加工物１００に対して相対的に軸心方向に移動されることで、被加工物１００の外周面１０１を研削加工する。

加工液供給ノズル７は、加工手段６で被加工物１００を加工する際に、加工液生成ユニット２で生成された加工液２００を加工点７１に供給するものである。加工点７１は、研削砥石６３の外周面６４の被加工物１００と当接する位置及び被加工物１００の外周面１０１の研削砥石６３と当接する位置である。実施形態１において、加工液供給ノズル７は、２つ設けられ、それぞれ保持手段５の主軸５２又は押し当て軸５３の上方に配置されている。加工液供給ノズル７は、加工液２００を噴射する開口が保持手段５に保持される被加工物１００の中央側に配置され、加工液貯留タンク４が貯留した加工液２００が配管４３を通して供給される。加工液供給ノズル７は、加工液２００を保持手段５に保持された被加工物１００の中央部に向かうにしたがって徐々に下方に向かう方向に開口から噴射する。

加工液回収手段８は、加工点７１に供給された加工液２００を回収するものである。実施形態１では、加工液回収手段８は、上方が開口し、かつ保持手段５及び被加工物１００の下方を覆うトレー８１と、トレー８１に設けられた加工液排出口８２と、加工液排出口８２と加工液貯留タンク４とを接続した配管８３とを備える。加工液排出口８２は、トレー８１の下部に設けられている。加工液回収手段８は、加工液供給ノズル７から加工点７１に供給され、加工点７１で生成された加工屑を含んだ加工液２００を加工液排出口８２及び配管８３を通して加工液貯留タンク４に供給する。

また、加工システム１は、配管４３を通して加工液貯留タンク４内の加工液２００を加圧して加工液供給ノズル７に供給する図示しないポンプと、配管４３内を流れる加工液２００から加工屑を除去する加工屑除去ユニット４４と、ｐＨ計測器１０とを備える。ポンプは、加工液２００を加圧して加工液供給ノズル７に供給することにより、加工液２００を加工液貯留タンク４と、加工液供給ノズル７と、加工液回収手段８との間で循環させる。加工屑除去ユニット４４は、フィルター、又は磁石を利用して、加工液２００から加工屑を除去する。ｐＨ計測器１０は、配管４２に設けられ、かつ配管４２内を通る加工液生成ユニット２で生成された加工液２００のｐＨ値（水素イオン指数ともいう）を計測し、計測結果を制御ユニット９に出力する。

制御ユニット９は、加工システム１の各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物１００に対する加工動作を加工システム１に実施させるものである。なお、制御ユニット９は、コンピュータである。制御ユニット９は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。

制御ユニット９の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工システム１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して加工システム１の上述した構成要素に出力する。また、制御ユニット９は、加工動作の状態や画像などを表示する表示ユニット、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニット、及びオペレータに音と光のうち少なくとも一方で報知する報知ユニットが接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。

制御ユニット９の記憶装置は、演算処理装置によりｐＨ計測器１０の計測結果である加工液２００のｐＨ値が書き込まれ、少なくとも最新のｐＨ値を記憶する。また、制御ユニット９の記憶装置は、演算処理装置により加工液貯留タンク４と加工液供給ノズル７と加工液回収手段８との間を循環する加工液２００を廃棄（交換）してからの加工した被加工物１００の数が書き込まれ、この被加工物１００の数を記憶する。

実施形態１に係る加工方法は、図１に示された加工システム１を用いた被加工物１００の加工方法である。加工方法は、図２に示すように、保持ステップＳＴ１と、加工液生成ステップＳＴ２と、加工ステップＳＴ３とを備える。

（保持ステップ）
図３は、図２に示された加工方法の保持ステップを示す保持手段の側面図である。保持ステップＳＴ１は、被加工物１００を保持手段５で保持するステップである。保持ステップＳＴ１では、加工システム１は、保持手段５の主軸５２と押し当て軸５３とを互いに離した後、これらの間に被加工物１００を位置付ける。このとき、主軸５２及び押し当て軸５３と被加工物１００とを同軸に位置付ける。保持ステップＳＴ１では、加工システム１は、主軸５２と押し当て軸５３とを互いに近づけて、図３に示すように、主軸５２と押し当て軸５３との間に被加工物１００を挟んで保持する。加工方法は、保持ステップＳＴ１後、加工液生成ステップＳＴ２に進む。

（加工液生成ステップ）
図４は、図２に示された加工方法の加工液生成ステップを示す加工液生成ユニットの側断面図である。加工液生成ステップＳＴ２は、加工ステップＳＴ３を実施する前に、陰イオン交換樹脂２２を有した加工液生成ユニット２で水道水をアルカリ性にした加工液２００を生成するステップである。

加工液生成ステップＳＴ２では、加工システム１は、開閉弁２７，４１を開き、図４に示すように、水道水供給源２８から水道水を水道水流入口２３を通して加工液生成ユニット２のハウジング２１内に供給し、陰イオン交換樹脂２２が水道水からアルカリ性の加工液２００を生成する。加工液生成ステップＳＴ２では、加工システム１は、加工液生成ユニット２が生成した加工液２００を加工液貯留タンク４内に貯留する。加工液生成ステップＳＴ２では、加工システム１は、加工液貯留タンク４内に所定量の加工液２００を貯留すると、開閉弁２７，４１を閉じる。加工方法は、加工液生成ステップＳＴ２後、加工ステップＳＴ３に進む。

（加工ステップ）
図５は、図２に示された加工方法の加工ステップを示す加工システムの要部の側面図である。加工ステップＳＴ３は、加工液２００を加工点７１に供給しつつ保持手段５で保持された被加工物１００を加工手段６で加工するステップである。

加工ステップＳＴ３では、加工システム１が、モータ５１で被加工物１００を軸心回りに回転させるとともに、スピンドル６１で軸心回りに回転させた研削砥石６３の外周面６４を被加工物１００の外周面１０１に当接させつつ、被加工物１００と研削砥石６３とを軸心に沿って相対的に移動させながら加工液供給ノズル７から加工点７１に加工液２００を供給する。なお、加工ステップＳＴ３では、加工システム１は、図示しないポンプで加工液貯留タンク４内の加工液２００を加圧して加工液供給ノズル７から加工点７１に供給するとともに、加工点７１に供給された加工液２００を加工屑とともに、加工液排出口８２及び配管８３を通して加工液貯留タンク４に戻す。

加工システム１は、加工液貯留タンク４に戻された加工液２００から加工屑除去ユニット４４で加工屑を除去した後、再度、加工液２００を加工点７１に供給する。このように、加工ステップＳＴ３では、加工システム１は、加工液貯留タンク４と、加工点７１との間で加工液２００を循環させて、加工液２００が加工点７１に供給された後に加工液回収手段８で回収され、循環されて、加工液供給ノズル７で再度加工点７１に供給される。こうして、加工システム１では、加工液回収手段８回収された加工液２００は、加工液供給ノズル７で加工点７１に供給される。加工方法は、所定時間、被加工物１００を加工すると、加工ステップＳＴ３を終了する。なお、実施形態１において、加工ステップＳＴ３が終了した後、加工液２００は、加工液貯留タンク４内に貯留される。

また、加工システム１の制御ユニット９は、加工装置３の加工手段６による被加工物１００の加工動作の停止中に図６に示すフローチャートを実施する。図６は、図１に示された加工システムの制御ユニットが加工装置の加工動作の停止中に実施するフローチャートである。

制御ユニット９は、加工システム１の加工装置３の加工動作の終了後即ち加工ステップＳＴ３を実施した後に、記憶装置に記憶された加工した被加工物１００の数に基づいて、所定のタイミングであるか否かを判定する（ステップＳＴ４）。所定のタイミングは、加工システム１の加工液貯留タンク４と、加工点７１との間で循環する加工液２００を廃棄（交換）するタイミングであり、例えば、所定数の被加工物１００を加工する毎である。

（廃棄ステップ）
制御ユニット９は、記憶装置に記憶した加工した被加工物１００の数が所定数以上であり、所定のタイミングであると判定する（ステップＳＴ４：Ｙｅｓ）と、廃棄ステップＳＴ５に進む。即ち、加工方法は、廃棄ステップＳＴ５を更に備える。廃棄ステップＳＴ５は、加工ステップＳＴ３を実施した後の加工装置３の被加工物１００に対する加工動作の停止中に、所定のタイミングで循環していた加工液２００を加工システム１外に廃棄するステップである。

廃棄ステップＳＴ５では、加工システム１は、加工液貯留タンク４に接続した排液用配管４５に設けられた開閉弁４６を開いて、加工液貯留タンク４内の加工液２００を加工システム１の外部に廃棄する。加工方法は、廃棄ステップＳＴ５実施した後、及び制御ユニット９が記憶装置に記憶した加工した被加工物１００の数が所定数未満であり所定のタイミングではないと判定する（ステップＳＴ４：Ｎｏ）と、図６に示されたフローチャートを終了する。なお、実施形態１において、廃棄ステップＳＴ５では、加工システム１の各構成要素（加工装置３及び加工液貯留タンク４等）を洗浄するのが望ましい。

なお、開閉弁４６は、加工システム１が図２に示されたフローチャートを実施する際、即ち被加工物１００を加工する際には、閉じられる。また、加工方法は、図６に示すフローチャートを実施した後、即ち廃棄ステップＳＴ５を実施した後、加工前の他の被加工物１００を加工する前に、再度、図２に示されたフローチャート即ち加工液生成ステップＳＴ２を実施する。

また、加工液生成ステップＳＴ２中に、加工システム１の制御ユニット９は、図７に示すフローチャートを実施する。図７は、図２に示された加工方法の加工液生成ステップにおいて制御ユニットが繰り返し実施するフローチャートである。

（ｐＨ確認ステップ）
制御ユニット９は、加工液生成ステップＳＴ２において、ｐＨ確認ステップＳＴ６を実施する。即ち、実施形態１に係る加工方法は、ｐＨ確認ステップＳＴ６を備える。ｐＨ確認ステップＳＴ６は、加工液生成ユニット２が生成し、加工液生成ユニット２から加工液貯留タンク４に供給される加工液２００のｐＨ値を確認するステップである。ｐＨ確認ステップＳＴ６では、制御ユニット９は、ｐＨ計測器１０の計測結果である加工液２００のｐＨ値を記憶する。ｐＨ確認ステップＳＴ６は、加工液生成ステップＳＴ２において、所定の時間毎に繰り返し実施され、加工液生成ステップＳＴ２が終了すると、終了する。

また、加工システム１の制御ユニット９は、加工装置３の加工手段６による被加工物１００の加工動作の停止中に図８に示すフローチャートを実施する。図８は、図１に示された加工システムの制御ユニットが加工装置の加工動作の停止中に実施する他のフローチャートである。制御ユニット９は、加工システム１の加工装置３の加工動作の終了後即ち加工ステップＳＴ３を実施した後に、記憶装置に記憶された最新の加工液２００のｐＨ値即ちｐＨ確認ステップＳＴ６で確認された加工液２００のｐＨ値が所定値を下回ったか否かを判定する（ステップＳＴ７）。なお、実施形態１では、所定値は、加工液２００内でのバクテリアの発生を抑制できる値であり、例えば、９である。

制御ユニット９は、加工液２００のｐＨ値が所定値を下回ったと判定する（ステップＳＴ７：Ｙｅｓ）と、再生ステップＳＴ８に進む。即ち、加工方法は、再生ステップＳＴ８を備える。

（再生ステップ）
図９は、図８に示されたフローチャートの再生ステップを示す加工液生成ユニットの側断面図である。再生ステップＳＴ８は、ｐＨ確認ステップＳＴ６で確認された加工液２００のｐＨ値が所定値を下回った際に、加工液生成ユニット２の陰イオン交換樹脂２２を再生させるステップである。

実施形態１において、再生ステップＳＴ８では、開閉弁２７，４１を閉じて、加工液生成ユニット２を配管４２等から取り外して、図９に示すように、水道水流入口２３をアルカリ溶液供給源３００に接続する。再生ステップＳＴ８では、アルカリ溶液供給源３００からアルカリ溶液を、所定時間加工液生成ユニット２に供給する。アルカリ溶液が供給された加工液生成ユニット２の陰イオン交換樹脂２２は、アルカリ溶液内の水酸化物イオン（ＯＨ⁻）を取り込んで、水道水から取り込んだ陰イオンを放出する。なお、実施形態１では、アルカリ溶液として、１０％水酸化ナトリウム溶液を加工液生成ユニット２に供給する。

再生ステップＳＴ８は、アルカリ溶液供給源３００からアルカリ溶液を、所定時間加工液生成ユニット２に供給した後、加工液生成ユニット２内のアルカリ溶液を排出する。再生ステップＳＴ８は、加工液生成ユニット２内のアルカリ溶液を排出した後、加工液生成ユニット２を配管４２等に取り付ける。加工方法は、再生ステップＳＴ８実施した後、及び制御ユニット９が記憶装置に記憶された最新の加工液２００のｐＨ値が所定値を下回っていないと判定する（ステップＳＴ７：Ｎｏ）と、図８に示されたフローチャートを終了する。

実施形態１に係る加工方法及び加工システム１は、陰イオン交換樹脂２２で水道水自体をアルカリ性の加工液２００にするため、水道水に界面活性剤を添加することなく、加工液２００のバクテリアの発生を抑えることが可能である。なお、界面活性剤は、油分を付着しやすくするものである。加工方法及び加工システム１は、加工液２００に界面活性剤を使用しないため、被加工物１００に油分が付着することを防止でき、加工後の被加工物１００の洗浄時間を抑制することができる。加工方法及び加工システム１は、加工液２００に界面活性剤を使用しないため、環境負荷も小さく抑えることができる。

また、実施形態１に係る加工方法は、加工ステップＳＴ３を実施した後の加工装置３の加工動作の停止中に所定のタイミングで廃棄ステップＳＴ５を実施するので、加工液２００中の加工屑が過大となることを抑制することができる。

また、実施形態１に係る加工方法及び加工システム１は、加工ステップＳＴ３を実施した後の加工装置３の加工動作の停止中に記憶装置に記憶され最新の加工液２００のｐＨ値が所定値を下回った際に、加工液生成ユニット２の陰イオン交換樹脂２２を再生させる再生ステップＳＴ８を実施するので、加工液２００のｐＨ値が所定値以上となる状態に維持でき、加工液２００中のバクテリアの発生を抑制することができる。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。前述した実施形態では、加工システム１は、被加工物１００として切削装置のスピンドルを加工しているが、本発明では、スピンドルに限定されることなく、水道水を加工液２００として用いる種々の被加工物１００を加工しても良い。また、本発明は、図２に示されたフローチャートの実施中、即ち、加工装置３の被加工物１００の加工動作中に、蒸発、飛散又は加工液貯留タンク４に回収しきれなかったために、加工液貯留タンク４と加工点７１との間で循環する加工液２００が目減りすることがある。この場合、本発明は、開閉弁２７，４１を開いて、目減りした分、加工液２００を加工液生成ユニット２で生成して、加工液貯留タンク４に追加するのが望ましい。

１ 加工システム
２ 加工液生成ユニット
３ 加工装置
５ 保持手段
６ 加工手段
７ 加工液供給ノズル
８ 加工液回収手段
１０ ｐＨ計測器
２１ ハウジング
２２ 陰イオン交換樹脂
２３ 水道水流入口
２６ 加工液流出口
７１ 加工点
１００ 被加工物
２００ 加工液
ＳＴ１ 保持ステップ
ＳＴ２ 加工液生成ステップ
ＳＴ３ 加工ステップ
ＳＴ５ 廃棄ステップ
ＳＴ６ ｐＨ確認ステップ
ＳＴ８ 再生ステップ

Claims (5)

1. 被加工物の加工方法であって、
   被加工物を保持手段で保持する保持ステップと、
   加工液を供給しつつ該保持手段で保持された被加工物を加工手段で加工する加工ステップと、
   該加工ステップを実施する前に、陰イオン交換樹脂を有した加工液生成ユニットで水道水をアルカリ性にした加工液を生成する加工液生成ステップと、を備え、
   該加工ステップでは、該加工液は供給された後に回収され、循環されて再度供給される、加工方法。
2. 該加工ステップを実施した後、所定のタイミングで循環していた該加工液を廃棄する廃棄ステップを更に備え、
   該廃棄ステップを実施した後、他の被加工物を加工する前に、再度、該加工液生成ステップを実施する、請求項１に記載の加工方法。
3. 該加工液のｐＨを確認するｐＨ確認ステップと、
   該ｐＨ確認ステップで確認された該加工液のｐＨが所定値を下回った際に該加工液生成ユニットの該陰イオン交換樹脂を再生させる再生ステップと、を備えた、請求項１または請求項２に記載の加工方法。
4. 被加工物を加工する加工システムであって、
   水道水流入口と、加工液流出口が形成されたハウジングと、該ハウジング中に収容された陰イオン交換樹脂と、を有した加工液生成ユニットと、
   被加工物を保持する保持手段と、該保持手段で保持された被加工物を加工する加工手段と、該加工手段で被加工物を加工する際に該加工液生成ユニットで生成された該加工液を加工点に供給する加工液供給ノズルと、該加工点に供給された該加工液を回収する加工液回収手段と、を備え、該加工液回収手段で回収された該加工液は該加工液供給ノズルで該加工点に供給される加工装置と、
   を備えた加工システム。
5. 該加工液生成ユニットで生成された該加工液のｐＨを計測するｐＨ計測器を更に備えた、請求項４に記載の加工システム。

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