JP2019212830A - レーザダイオードモジュール - Google Patents
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Abstract
【課題】戻り光の影響による不安定発振を抑制することができるレーザダイオードモジュール。【解決手段】レーザ光を出射するレーザダイオードと、レーザダイオードから出射されたレーザ光をコリメートして干渉計に導光するコリメートレンズを備えたレーザダイオードモジュールであって、コリメートレンズは、レンズ出射端における波面と、レンズ出射端から、レンズ出射端と干渉計内の固定鏡との距離の2倍の距離だけ離れた位置における波面とが同一形状となるようにレンズ位置を調整し、固定鏡からの戻り光をコリメートレンズにより集光した集光スポットがレーザダイオードの発光面に重ならないように、レーザダイオードモジュール又は固定鏡を傾けて光軸を調整した。【選択図】図1
Description
本発明は、垂直共振器面発光レーザ(Vertical Cavity Surface Emitting LASER、略してVCSELと呼ぶ。)等のレーザダイオードを用いたレーザダイオードモジュールに関する。
近年、フーリエ変換赤外分光光度計(FTIR)の小型化及び低価格化に伴って、基準光源であるHeNeレーザの代替えとして、垂直共振器面発光レーザVCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting)を使用したレーザダイオードモジュール(以下、LDモジュール)が採用されている。
垂直共振器面発光レーザは、レーザダイオードからなり、半導体基板に対して垂直方向に反射鏡があり、この反射鏡に光が出射する。垂直共振器面発光レーザは、低価格で低消費電力であるため、用いられている。また、レーザダイオードの波長としては、一般的に近赤外光が用いられている。
しかしながら、レーザダイオードは、戻り光の影響により、不安定発振を引き起こすことがある。不安定発振が起こると、干渉計内の移動鏡の速度が変動し、スペクトルの分解能が悪化する。
本発明の課題は、戻り光の影響による不安定発振を抑制することができるレーザダイオードモジュールを提供することにある。
本発明に係るレーザダイオードモジュールは、上記課題を解決するために、レーザ光を出射するレーザダイオードと、前記レーザダイオードから出射されたレーザ光をコリメートして干渉計に導光するコリメートレンズを備えたレーザダイオードモジュールであって、前記コリメートレンズは、レンズ出射端における波面と、レンズ出射端から、レンズ出射端と干渉計内の固定鏡との距離の2倍の距離だけ離れた位置における波面とが同一形状となるようにレンズ位置を調整し、前記固定鏡からの戻り光を前記コリメートレンズにより集光した集光スポットが前記レーザダイオードの発光面に重ならないように、レーザダイオードモジュール又は前記固定鏡を傾けて光軸を調整したことを特徴とする。
本発明によれば、コリメートレンズは、レンズ出射端における波面と、レンズ出射端から、レンズ出射端と干渉計内の固定鏡との距離の2倍の距離だけ離れた位置における波面とが同一形状となるようにレンズ位置を調整し、固定鏡からの戻り光をコリメートレンズにより集光した集光スポットがレーザダイオードの発光面に重ならないように、レーザダイオードモジュール又は固定鏡を傾けて光軸を調整したので、戻り光の影響による不安定発振を抑制することができる。
以下、本発明のレーザダイオードモジュールの実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
(実施例1)
図1は、実施例1のレーザダイオードモジュールの出射光の波面と光路長との関係を示す図である。図1に示すレーザダイオードモジュール(LDモジュール)3は、レーザダイオード1、コリメートレンズ2を備えて構成されている。
図1は、実施例1のレーザダイオードモジュールの出射光の波面と光路長との関係を示す図である。図1に示すレーザダイオードモジュール(LDモジュール)3は、レーザダイオード1、コリメートレンズ2を備えて構成されている。
レーザダイオード1は、850nmの近赤外光のレーザ光を発光する垂直共振器面発光レーザからなる。なお、レーザダイオード1は、近赤外光を発光するものであれば、850nmの波長ではなくてもよい。
コリメートレンズ2は、レーザダイオード1と対向して配置され、レーザダイオード1からのレーザ光をコリメートする。
コリメートレンズ2は、レンズ出射端における波面と、レンズ出射端から、レンズ出射端と干渉計内の固定鏡5との距離Lの2倍の距離2Lだけ離れた位置における波面とが同一形状となるようにレンズ位置を調整する。
具体的には、コリメートレンズ2は、レンズ出射端の縦ビームプロファイルとレンズ出射端から距離2Lだけ離れた位置の縦ビームプロファイルとが同一形状となるように、レーザダイオード1との距離を調整する。
図2は、実施例1のレーザダイオードモジュールを備えた干渉計の構成図である。干渉計は、マイケルソン干渉計からなり、フーリエ変換赤外分光光度計から構成されている。干渉計は、LDモジュール3、移動鏡4、固定鏡5、ビームスプリッタ6、フォトダイオード(PD)7を備える。
移動鏡4は、コリメートレンズ2の出射端からの光路長がL±dL/2(dLは移動鏡4の移動量)となる位置に配置する。固定鏡5は、コリメートレンズ2の出射端からの光路長がLとなる位置に配置する。
LDモジュール3は、レーザダイオード1でレーザ光を発光し、レーザ光をコリメートレンズ2でコリメートしてビームスプリッタ6に導く。ビームスプリッタ6は、LDモジュール3からのレーザ光を一方のレーザ光と他方のレーザ光とに2分割する。
一方のレーザ光は固定鏡5で反射されてビームスプリッタ6に戻り、他方のレーザ光は、移動鏡4で反射されてビームスプリッタ6に戻り、ビームスプリッタ6で合成されて干渉波を発生させる。
干渉波は、フォトダイオード7に送られる。フォトダイオード7は、第1干渉波に基づきフーリエ変換処理を行う。移動鏡4の位置により、異なる干渉波が得られるので、フォトダイオード7は、フーリエ変換処理により、各位置の干渉波の信号強度から各波数成分の光の強度に分離する。
図3は、実施例1のレーザダイオードモジュールへの戻り光の経路を示す図である。図3において、レーザダイオード1は、LDチップ8とLDパッケージ9とを有している。LDチップ8は、LDパッケージ9の略中央に配置され、LDパッケージ9は、LDチップ8の出射光の経路10(図3の実線部分)の部分が開口されている。
固定鏡5及び移動鏡4からLDチップ8への戻り光の経路11は、点線で示される。戻り光の波面は、出射端時の波面と同一であるため、LDチップ8の発光面付近で集光する。
ここで、戻り光をコリメートレンズ2により集光した集光スポットがLDチップ8の発光面に重なったとすると、LDチップ8の発光面に、出射光と戻り光とが存在することになり、不安定発振が発生する。
このため、固定鏡5及び移動鏡4からの戻り光をコリメートレンズ2により集光した集光スポットがLDチップ8の発光面に重ならないように、レーザダイオードモジュール3又は固定鏡5及び移動鏡4を傾けて光軸を調整する。図4に示すように、LDチップ8の発光面12と戻り光の集光スポット13とが重ならないように光軸を調整している。
このように、実施例1のレーザダイオードモジュールによれば、コリメートレンズ2は、レンズ出射端における波面と、レンズ出射端から、レンズ出射端と干渉計内の固定鏡との距離の2倍の距離2Lだけ離れた位置における波面とが同一形状となるようにレンズ位置を調整し、固定鏡5からの戻り光をコリメートレンズ2により集光した集光スポットがレーザダイオード1の発光面に重ならないように、レーザダイオードモジュール3又は固定鏡5を傾けて光軸を調整した。
従って、戻り光の影響による不安定発振を抑制することができる。不安定発振が抑制されるため、干渉計内の移動鏡の速度変動が抑制されて、スペクトルの分解能が向上する。
(実施例2)
図5は、実施例2のレーザダイオードモジュールへの戻り光とフォトダイオードとの位置関係を示す図である。
図5は、実施例2のレーザダイオードモジュールへの戻り光とフォトダイオードとの位置関係を示す図である。
実施例2のレーザダイオードモジュールは、実施例1のレーザダイオードモジュールの構成に、さらに、LDチップ8に隣接して配置され、戻り光の光量を検出するフォトダイオード15を備えている。
フォトダイオード15は、本発明の光検出素子に対応する。フォトダイオード15で検出される光量が最大となるようにLDモジュール3又は固定鏡5を調整することを特徴とする。
このように、実施例2のレーザダイオードモジュールによれば、LDチップ8に隣接して配置されたフォトダイオード15により戻り光の光量を検出し、検出される光量が最大となるようにLDモジュール3又は固定鏡5を調整するので、調整が簡単になる。
近赤外光の波長を持つレーザダイオード1を使用するため、近赤外光を目視で確認できず、干渉計のアライメント調整が困難であった。
これに対して、実施例2のレーザダイオードモジュールによれば、フォトダイオード15の出力をモニタしながら干渉計のアライメント調整ができるため、調整が簡単になる。
なお、本発明は、レーザダイオード1として、基板に対して垂直方向に反射鏡があり反射鏡に光が出射する垂直共振器面発光レーザを用いたが、これに代えて、半導体基板の端面に反射鏡があり基板に対して平行方向に光を出射するレーザダイオードからなる端面発光レーザを用いても良い。
本発明に係るレーザダイオードモジュールは、フーリエ変換赤外分光光度計、ポータブルフーリエ変換赤外分光光度計に適用可能である。
1 レーザダイオード
2 コリメートレンズ
3 LDモジュール
4 移動鏡
5 固定鏡
6 ビームスプリッタ
7 フォトダイオード
8 LDチップ
9 LDパッケージ
10 出射光の経路
11 戻り光の経路
12 発光面
13 戻り光の集光スポット
15 フォトダイオード
2 コリメートレンズ
3 LDモジュール
4 移動鏡
5 固定鏡
6 ビームスプリッタ
7 フォトダイオード
8 LDチップ
9 LDパッケージ
10 出射光の経路
11 戻り光の経路
12 発光面
13 戻り光の集光スポット
15 フォトダイオード
Claims (4)
- レーザ光を出射するレーザダイオードと、
前記レーザダイオードから出射されたレーザ光をコリメートして干渉計に導光するコリメートレンズを備えたレーザダイオードモジュールであって、
前記コリメートレンズは、レンズ出射端における波面と、レンズ出射端から、レンズ出射端と干渉計内の固定鏡との距離の2倍の距離だけ離れた位置における波面とが同一形状となるようにレンズ位置を調整し、
前記固定鏡からの戻り光を前記コリメートレンズにより集光した集光スポットが前記レーザダイオードの発光面に重ならないように、レーザダイオードモジュール又は前記固定鏡を傾けて光軸を調整したことを特徴とするレーザダイオードモジュール。 - 前記レーザダイオードに隣接して配置され、前記戻り光の光量を検出する光検出素子を備え、前記光検出素子で検出される光量が最大となるようにレーザダイオードモジュール又は前記固定鏡を調整することを特徴とする請求項1記載のレーザダイオードモジュール。
- 前記レーザダイオードは、垂直共振器面発光レーザであることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のレーザダイオードモジュール。
- 前記干渉計は、マイケルソン干渉計であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載のレーザダイオードモジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018109241A JP2019212830A (ja) | 2018-06-07 | 2018-06-07 | レーザダイオードモジュール |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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JP2018109241A Pending JP2019212830A (ja) | 2018-06-07 | 2018-06-07 | レーザダイオードモジュール |
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2018
- 2018-06-07 JP JP2018109241A patent/JP2019212830A/ja active Pending
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