JP2019204483A - 微粒子検出時の画像処理方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】本発明の課題は、規則的に並んだ微細孔の位置をより正確に画像処理する方法を提供することにある。【解決手段】微粒子検出時の画像処理方法であって、パターンをもって配置された微細孔基板に微粒子を捕捉し、前記微粒子が捕捉された前記微細孔基板を撮影し、実際のパターンと撮影した画像上のパターンとのずれをアフィン変換によって補正することを特徴とする方法。【選択図】 なし

Description

本発明は、微粒子検出時の画像処理方法に関する。
あるパターンによって配置された微細孔に微粒子を捕捉する技術は従来から知られており(例えば、特許文献1参照)、捕捉後に顕微鏡等で拡大し、カメラで撮影を行うことで、微粒子の画像を取得し、解析することができる。この際、微細孔ごとに、画像やデータを取得しようとすると、撮影した画像から微細孔の位置を指定する必要がある。微細孔の位置は画像処理の手法であるテンプレートマッチによって検出することができるが、この方法は、処理時間が長くかかってしまう問題があった。
特開2012−013549号公報
本発明の課題は、規則的に並んだ微細孔の位置をより正確に画像処理する方法を提供す
ることにある。
本発明者は、アフィン変換を用いることで画像の微細孔の位置をより正確に補正できる
ことを見出した。
すなわち、本発明は、
微粒子検出時の画像処理方法であって、
パターンをもって配置された微細孔基板に微粒子を捕捉し、
前記微粒子が捕捉された前記微細孔基板を撮影し、
実際のパターンと撮影した画像上のパターンとのずれをアフィン変換によって補正することを特徴とする。
具体的には、規則的に微細孔が並んだ画像から、微細孔の位置を算出し、位置関係が既知である3点を使ったアフィン変換によって縮尺、角度、並進等からなる変形の度合いを求め、それによって微細孔の位置を補正する。
本発明は、規則的に並んだ微細孔の位置をより正確に画像処理することができる。
実施例1で用いた微細孔基板の撮影画像を示した図である。 微細孔の位置をアフィン変換によって補正したことを示した図である。
以下、本発明を実施するための形態について、詳細に説明する。但し、本発明は異なる
形態による実施が可能であり、以下に示す実施形態、実施例の例示にのみ限定されるもの
では無い。
パターンをもって配置された微細孔基板とは、例えば特許文献1に記載されているよう
な基板を指すが、これに限定されるものではない。
捕捉対象となる微粒子は特に制限はないが、生体試料系微粒子、無機材料系微粒子(シ
リカ、ジルコニア、酸化ニッケルなど)、有機材料系微粒子(ポリスチレンなど)を例示
できる。
微細孔基板の撮影方法は、顕微鏡とデジタルカメラを用いて撮影することが好ましい。
顕微鏡やデジタルカメラは、市販されているもので問題はなく、特に制限はない。
本発明では、微細孔基板を撮影した微細孔基板の撮影後、実際のパターンと撮影した画
像上のパターンとのずれをアフィン変換によって補正する。具体的には、微細孔基板に目
印となるマーク、すなわち微細孔と区別できるマークを設けておく。当該マークから任意
の3点を選び、その位置関係からアフィン変換を行う。
アフィン変換は、図形の並進、線形変換を行う処理であり、3×3の行列を用いる。変
換前の座標が(x,y)、変換後の座標が(u,v)とすると、
となる変換を行うのがアフィン変換である。
そこで、変換前、変換後の座標が3点を用いることで、変換行列、すなわち変換の度合
を求めることができる。
変換前を理論上の位置、変換後を実際の位置、変換の度合を撮影によるずれと扱えば、
撮影の度合を求め、補正することが出来る。
以下、実施例を用いて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれら例の内容に限定されるものではない。
微粒子が捕捉された微細孔基板を、顕微鏡にて撮影した画像を用いて本発明を実施した。顕微鏡は、オリンパス株式会社製IX83、対物レンズは、UPLFLN 10X2(10倍レンズ)、カメラは、浜松ホトニクス社製ORCA Flash4.0 V2を用いた。
1ピクセルあたり0.65ミクロンで、解像度は2048x2048ピクセルで一回の撮影によって得られるのは、およそ1331ミクロン×1331ミクロンである。撮影対象の微細孔は、直径30ミクロンで、縦横に50ミクロンピッチで配置されている。この微細孔基板には、縦横700ミクロンごとに十字のアライメントマークが設けられており、最も近い微細孔のちょうど中間に配置されている(図1参照)。
まず、アライメントマークの位置を基に微細孔の位置を算出した(図2における灰色のマーク)。
次に、アライメントマークから3点を選びその位置関係からアフィン変換によって変形の度合い(変換行列)を算出した。その変換行列を用いて、先の算出位置を補正した(図2における白色のマーク)。
その結果、画像の全領域において、およそ正しい位置に補正できた。

Claims (2)

  1. 微粒子検出時の画像処理方法であって、
    パターンをもって配置された微細孔基板に微粒子を捕捉し、
    前記微粒子が捕捉された前記微細孔基板を撮影し、
    実際のパターンと撮影した画像上のパターンとのずれをアフィン変換によって補正することを特徴とする方法。
  2. 前記微細孔基板の撮影方法が、顕微鏡とデジタルカメラを用いて撮影することを特徴とする請求項1に記載の方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011527890A (ja) * 2008-07-15 2011-11-10 インスティチュート・パスツール・コリア 基板上の特徴を撮像する方法及び装置
JP2016174578A (ja) * 2015-03-20 2016-10-06 東ソー株式会社 微小粒子選別装置および前記装置を備えた微小粒子回収装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011527890A (ja) * 2008-07-15 2011-11-10 インスティチュート・パスツール・コリア 基板上の特徴を撮像する方法及び装置
JP2016174578A (ja) * 2015-03-20 2016-10-06 東ソー株式会社 微小粒子選別装置および前記装置を備えた微小粒子回収装置

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