JP2019197193A - サーボモータ駆動装置及びガルバノ駆動装置、並びにレーザ加工装置 - Google Patents
サーボモータ駆動装置及びガルバノ駆動装置、並びにレーザ加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019197193A JP2019197193A JP2018092522A JP2018092522A JP2019197193A JP 2019197193 A JP2019197193 A JP 2019197193A JP 2018092522 A JP2018092522 A JP 2018092522A JP 2018092522 A JP2018092522 A JP 2018092522A JP 2019197193 A JP2019197193 A JP 2019197193A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drive
- signal
- determination
- galvano
- wear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 74
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 241000270281 Coluber constrictor Species 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- OQZCSNDVOWYALR-UHFFFAOYSA-N flurochloridone Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=CC(N2C(C(Cl)C(CCl)C2)=O)=C1 OQZCSNDVOWYALR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/082—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
Description
そこで、ガルバノミラーの目標の回動位置(角度)と、実際の回動位置(角度)との偏差に基づいてフィードバック制御をかけることにより、実際の回動位置を目標の回動位置に一致させるように制御するようにしたサーボモータ駆動装置が提案されている。
また、上記のガルバノ駆動装置では、前記駆動制御手段は、前記判定モード時に、前記ガルバノミラーの有効回動範囲全域を回動させる判定用駆動信号を出力し、前記摩耗検出手段は、前記判定用駆動信号に基づく回動状態信号に基づいて、前記ガルバノミラーの有効回動範囲全域に亘って摩耗度合を検出することが好ましい。
また、上記のガルバノ駆動装置では、前記駆動制御手段は、前記判定モード時に、前記ガルバノミラーを繰り返し回動させる判定用駆動信号を出力し、前記摩耗検出手段は、前記判定用駆動信号に基づく回動状態信号に基づいて、前記出力軸の軸受の摩耗度合を検出することが好ましい。
また、上記のガルバノ駆動装置では、前記駆動制御手段は、前記判定モード時に、前記ガルバノミラーを往復方向に繰り返し回動させる判定用駆動信号を出力し、前記摩耗検出手段は、前記判定用駆動信号に基づく回動状態信号に基づいて、前記ガルバノミラーの往復方向に亘って前記出力軸の軸受の摩耗度合を検出することが好ましい。
また、上記のガルバノ駆動装置では、前記駆動制御手段は、前記判定用駆動信号として台形波を出力することが好ましい。
また、上記のガルバノ駆動装置では、前記駆動制御手段は、電源の投入に続いて前記判定モードに移行することが好ましい。
また、上記のガルバノ駆動装置では、前記駆動制御手段は、電源のシャットダウン時に前記判定モードに移行し、前記摩耗検出手段は、前記判定モードにおける検出結果を記憶する記憶手段と、電源の再投入時に、前記記憶手段に記憶された検出結果を出力する出力手段を備えることが好ましい。
上記課題を解決するレーザ加工装置は、レーザ光源から出射されるレーザ光を、上記のいずれか1つに記載のガルバノ駆動装置で回動されるガルバノミラーを介して被加工面に照射することを特徴とする。
以下、レーザ加工装置に搭載されるガルバノ駆動装置の動作を制御するサーボモータ駆動装置の第一の実施形態を図面に従って説明する。
切換器11は、駆動制御手段5から出力される制御信号cs1に基づいて切替制御され、加算器9の出力信号と駆動位置信号dpのいずれかをV/I変換器(電圧電流変換器)12に出力する。駆動位置信号dp及び加算器9の出力信号は電圧信号であって、V/I変換器12は駆動位置信号dp若しくは加算器9の出力信号を電流信号に変換して駆動モータ2に駆動電流diとして供給する。
駆動モータ2には、出力軸3の回転位置(回転角)すなわちガルバノミラー1の回動角を検出する位置検出手段13が設けられている。位置検出手段13は、ガルバノミラー1の回動角を検出して電圧信号である現在位置信号rtに変換する。現在位置信号rtは、ガルバノミラー1の実際の回動状態を検出した回動状態信号となる。
図9は、ガルバノミラー1を往復動作させ、往動時及び復動時の現在位置信号rtに基づいて摩耗度合を判定する場合を示す。この場合には、例えば出力軸3の原点位置xから最大回動位置yまでの往動時と、最大回動位置yから原点位置xまでの復動時の現在位置信号rtが摩耗検出手段15に出力されて摩耗度合が判定される。
図1に示すように、駆動モータ2には温度検出手段16が設置されている。温度検出手段16は、駆動モータ2の温度を検出した現在温度信号tmを、摩耗検出手段15に出力する。
駆動モータ2の出力軸の軸受に充填されているグリスは、温度によって粘度が変化する。このため、レーザ加工装置の電源投入に続く摩耗度合の判定時には、駆動モータ2の温度が低いため、グリスの粘度が高い。また、レーザ加工装置のシャットダウン処理の開始に続いて行われる摩耗度合の判定時には、駆動モータ2の温度が高いため、グリスの粘度が低い。
駆動モータ2の軸受の摩耗度合を判定する判定モードは、レーザ加工装置の電源投入時あるいはシャットダウン処理の開始に続いて行われる。
図12は、レーザ加工装置の電源をシャットダウンするときに、判定モードを開始する場合を示す。レーザ加工装置に電源が投入されると、通常動作に移行して、駆動モータ2によりガルバノミラー1の動作が制御される(ステップ11)。
(1)判定モードでは、切換器11,14が切り換えられて、駆動制御手段5から出力される駆動位置信号dpと、位置検出手段13で検出された現在位置信号rtとの偏差を補正するフィードバック制御が停止される。この状態で、摩耗検出手段15で現在位置信号rtとあらかじめ設定されている基準値との比較に基づいて、駆動モータ2の出力軸3の軸受の摩耗度合が検出される。従って、細かな摩耗度合を確認することが容易となる。
図13〜図15は、レーザ加工装置の第二の実施形態を示す。この実施形態では判定モード時にガルバノミラー1の回動状態を検出する回動状態信号を、駆動モータ2のコイル4に流れる電流値に基づいて生成するようにしたものである。第一の実施形態と同一構成部分は、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
また、駆動電流diの電流値がI/V変換器22により電圧信号に変換されて加算器21に出力される。このため、駆動電流diの変動を抑制するようにフィードバック制御が行われる。
(1)判定モードでは、切換器11,23が切り換えられて、駆動制御手段5から出力される駆動位置信号dpと、位置検出手段13で検出された現在位置信号rtとの偏差を補正するフィードバック制御が停止される。そして、駆動制御手段5から出力される判定用駆動電流モニタ(観察)信号dpiに基づく定電流で駆動モータ2が駆動される。この状態で、摩耗検出手段15で駆動電流diの変動を検出した回動状態信号rsに基づいて、駆動モータ2の出力軸3の軸受の摩耗度合が検出される。従って、細かな摩耗度合を確認することが容易となる。
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
Claims (11)
- 駆動モータの出力軸の回転によりガルバノミラーを回動させるガルバノ駆動手段と、
前記ガルバノ駆動手段に、前記ガルバノミラーをあらかじめ設定された回動位置まで回動させる駆動信号を出力する駆動制御手段と、
前記駆動信号に基づく前記ガルバノミラーの回動状態を検出した回動状態信号を出力する回動状態検出手段と、
前記駆動信号と前記回動状態信号との偏差を補正するように、前記駆動信号を補正して前記駆動モータに供給するフィードバック制御部と
を有するガルバノ駆動装置において、
前記駆動制御手段は、判定用駆動信号を出力する判定モードを備え、
前記判定用駆動信号に基づく前記ガルバノミラーの回動状態に基づいて前記出力軸の軸受の摩耗度合を検出する摩耗検出手段と、
前記判定モード時に前記フィードバック制御部の動作を無効化し、前記回動状態信号を前記摩耗検出手段のみに供給する切換手段と
を備えたことを特徴とするガルバノ駆動装置。 - 請求項1に記載のガルバノ駆動装置において、
前記駆動制御手段は、前記判定モード時に、前記ガルバノミラーの有効回動範囲全域を回動させる判定用駆動信号を出力し、
前記摩耗検出手段は、前記判定用駆動信号に基づく回動状態信号に基づいて、前記ガルバノミラーの有効回動範囲全域に亘って摩耗度合を検出することを特徴とするガルバノ駆動装置。 - 請求項1又は2に記載のガルバノ駆動装置において、
前記駆動制御手段は、前記判定モード時に、前記ガルバノミラーを繰り返し回動させる判定用駆動信号を出力し、
前記摩耗検出手段は、前記判定用駆動信号に基づく回動状態信号に基づいて、前記出力軸の軸受の摩耗度合を検出することを特徴とするガルバノ駆動装置。 - 請求項3に記載のガルバノ駆動装置において、
前記駆動制御手段は、前記判定モード時に、前記ガルバノミラーを往復方向に繰り返し回動させる判定用駆動信号を出力し、
前記摩耗検出手段は、前記判定用駆動信号に基づく回動状態信号に基づいて、前記ガルバノミラーの往復方向に亘って前記出力軸の軸受の摩耗度合を検出することを特徴とするガルバノ駆動装置。 - 請求項4に記載のガルバノ駆動装置において、
前記駆動制御手段は、前記判定用駆動信号として台形波を出力することを特徴とするガルバノ駆動装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載のガルバノ駆動装置において、
前記駆動制御手段は、前記駆動信号として前記ガルバノミラーをあらかじめ設定された回動位置まで回動させる駆動位置信号を出力するとともに、前記判定用駆動信号として判定用駆動位置モニタ(観察)信号を出力し、
前記摩耗検出手段は、前記回動状態信号として前記判定用駆動位置モニタ(観察)信号に基づく前記ガルバノミラーの回動位置を検出した現在位置信号とあらかじめ設定された基準値とを比較することにより、前記出力軸の軸受の摩耗度合を検出することを特徴とするガルバノ駆動装置。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載のガルバノ駆動装置において、
前記駆動制御手段は、電源の投入に続いて前記判定モードに移行することを特徴とするガルバノ駆動装置。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載のガルバノ駆動装置において、
前記駆動制御手段は、電源のシャットダウン時に前記判定モードに移行し、
前記摩耗検出手段は、
前記判定モードにおける検出結果を記憶する記憶手段と、
電源の再投入時に、前記記憶手段に記憶された検出結果を出力する出力手段と
を備えたことを特徴とするガルバノ駆動装置。 - 請求項6に記載のガルバノ駆動装置において、
前記駆動モータの温度を検出した現在温度信号を前記摩耗検出手段に出力する温度検出手段を備え、
前記摩耗検出手段は、前記現在温度信号に基づいて、前記現在位置信号と前記基準値のいずれかを温度補正することを特徴とするガルバノ駆動装置。 - レーザ光源から出射されるレーザ光を、請求項1乃至9のいずれか1項に記載のガルバノ駆動装置で回動されるガルバノミラーを介して被加工面に照射することを特徴とするレーザ加工装置。
- サーボモータと、
前記サーボモータを駆動するサーボモータ駆動手段と、
前記サーボモータ駆動手段に、駆動信号を出力する駆動制御手段と、
前記駆動信号に基づく前記サーボモータの出力軸の回動状態を検出した回動状態信号を出力する回動状態検出手段と、
前記駆動信号と前記回動状態信号との偏差を補正するように、前記駆動信号を補正して前記サーボモータに供給するフィードバック制御部と
を有するサーボモータ駆動装置において、
前記駆動制御手段は、判定用駆動信号を出力する判定モードを備え、
前記判定用駆動信号に基づく前記サーボモータの回動状態に基づいて前記出力軸の軸受の摩耗度合を検出する摩耗検出手段と、
前記判定モード時に前記フィードバック制御部の動作を無効化し、前記回動状態信号を前記摩耗検出手段のみに供給する切換手段と
を備えたことを特徴とするサーボモータ駆動装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018092522A JP7241295B2 (ja) | 2018-05-11 | 2018-05-11 | サーボモータ駆動装置及びガルバノ駆動装置、並びにレーザ加工装置 |
PCT/JP2019/016025 WO2019216121A1 (ja) | 2018-05-11 | 2019-04-12 | サーボモータ駆動装置及びガルバノ駆動装置、並びにレーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018092522A JP7241295B2 (ja) | 2018-05-11 | 2018-05-11 | サーボモータ駆動装置及びガルバノ駆動装置、並びにレーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019197193A true JP2019197193A (ja) | 2019-11-14 |
JP7241295B2 JP7241295B2 (ja) | 2023-03-17 |
Family
ID=68466974
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018092522A Active JP7241295B2 (ja) | 2018-05-11 | 2018-05-11 | サーボモータ駆動装置及びガルバノ駆動装置、並びにレーザ加工装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7241295B2 (ja) |
WO (1) | WO2019216121A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021084904A1 (ja) | 2019-10-30 | 2021-05-06 | エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法及びプログラム |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04237583A (ja) * | 1991-01-22 | 1992-08-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光出力発生装置 |
US6304359B1 (en) * | 1999-07-20 | 2001-10-16 | Lasesys Corporation | High scan efficiency galvanometric laser scanning device |
US20020083779A1 (en) * | 2000-10-20 | 2002-07-04 | Takayuki Narita | Bearing test method, bearing test device, bearing monitoring device and storage device |
JP2003191083A (ja) * | 2001-12-26 | 2003-07-08 | Sunx Ltd | レーザマーキング装置 |
JP2007098412A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Sunx Ltd | レーザ加工装置 |
JP2007240626A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Ricoh Co Ltd | 光スキャナ駆動方法、および光スキャナ駆動装置 |
JP2009192837A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Mitsubishi Electric Corp | ガルバノスキャナ制御装置 |
JP2012213790A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Hitachi Via Mechanics Ltd | レーザ加工装置 |
JP2013050644A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Keyence Corp | 光学ガルバノスキャナ及びこれを備えたレーザマーカ装置 |
JP2013167777A (ja) * | 2012-02-16 | 2013-08-29 | Hitachi Via Mechanics Ltd | レーザ加工装置 |
JP2016118603A (ja) * | 2014-12-19 | 2016-06-30 | 株式会社Jvcケンウッド | 画像表示装置及び画像補正方法 |
-
2018
- 2018-05-11 JP JP2018092522A patent/JP7241295B2/ja active Active
-
2019
- 2019-04-12 WO PCT/JP2019/016025 patent/WO2019216121A1/ja active Application Filing
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04237583A (ja) * | 1991-01-22 | 1992-08-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光出力発生装置 |
US6304359B1 (en) * | 1999-07-20 | 2001-10-16 | Lasesys Corporation | High scan efficiency galvanometric laser scanning device |
US20020083779A1 (en) * | 2000-10-20 | 2002-07-04 | Takayuki Narita | Bearing test method, bearing test device, bearing monitoring device and storage device |
JP2003191083A (ja) * | 2001-12-26 | 2003-07-08 | Sunx Ltd | レーザマーキング装置 |
JP2007098412A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Sunx Ltd | レーザ加工装置 |
JP2007240626A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Ricoh Co Ltd | 光スキャナ駆動方法、および光スキャナ駆動装置 |
JP2009192837A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Mitsubishi Electric Corp | ガルバノスキャナ制御装置 |
JP2012213790A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Hitachi Via Mechanics Ltd | レーザ加工装置 |
JP2013050644A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Keyence Corp | 光学ガルバノスキャナ及びこれを備えたレーザマーカ装置 |
JP2013167777A (ja) * | 2012-02-16 | 2013-08-29 | Hitachi Via Mechanics Ltd | レーザ加工装置 |
JP2016118603A (ja) * | 2014-12-19 | 2016-06-30 | 株式会社Jvcケンウッド | 画像表示装置及び画像補正方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021084904A1 (ja) | 2019-10-30 | 2021-05-06 | エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法及びプログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7241295B2 (ja) | 2023-03-17 |
WO2019216121A1 (ja) | 2019-11-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5709173B2 (ja) | 加工点にエネルギー又は物質を供給する加工機における加工情報取得装置 | |
US10175684B2 (en) | Laser processing robot system and control method of laser processing robot system | |
JP4256353B2 (ja) | サーボ制御装置及びサーボ系の調整方法 | |
JP6457432B2 (ja) | 揺動切削を行う工作機械のサーボ制御装置、制御方法及びコンピュータプログラム | |
JP6744815B2 (ja) | 工作機械の制御装置および工作機械 | |
WO2019188155A1 (ja) | レーザ切断加工装置及びレーザ切断加工方法 | |
JP6382897B2 (ja) | レーザ溶接システム | |
JP2016047540A (ja) | 高速位置決め機能を有するレーザ加工装置 | |
JP2020116666A (ja) | 工作機械の工具管理システム | |
WO2019216121A1 (ja) | サーボモータ駆動装置及びガルバノ駆動装置、並びにレーザ加工装置 | |
US10866574B2 (en) | Machine tool controller with learning error compensation | |
CN107303626B (zh) | 激光加工装置及激光加工方法 | |
JP5850959B2 (ja) | 加工点に物質を供給する加工機における加工情報取得装置 | |
JP5823045B2 (ja) | トルク制御装置 | |
JP2009276491A (ja) | ガルバノスキャナシステムの調整方法 | |
CN110773886A (zh) | 控制装置 | |
JP2017177273A (ja) | レーザ加工システムおよびその制御方法 | |
KR101638347B1 (ko) | 차량용 홀 가공장치 | |
JP4698092B2 (ja) | ガルバノスキャナ装置及びその制御方法 | |
JP2015142390A (ja) | モータ制御装置および同装置における補正データ作成方法 | |
JP2008225652A (ja) | 数値制御装置 | |
WO2022080216A1 (ja) | サーボ制御装置 | |
JP2023051446A (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
JP2018020415A (ja) | 工作機械用駆動装置 | |
KR100650609B1 (ko) | 용접공간이 협소한 후판재의 맞대기 자동용접방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210305 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220419 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220620 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220920 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221111 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230201 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230222 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7241295 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |