JP2012213790A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012213790A JP2012213790A JP2011080688A JP2011080688A JP2012213790A JP 2012213790 A JP2012213790 A JP 2012213790A JP 2011080688 A JP2011080688 A JP 2011080688A JP 2011080688 A JP2011080688 A JP 2011080688A JP 2012213790 A JP2012213790 A JP 2012213790A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- deviation
- laser processing
- galvano scanner
- processing apparatus
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
【解決手段】指令信号と現在位置との偏差に基づいてミラーを揺動させるアクチュエータを動作させ、前記ミラーに入射する光の出射角を制御するガルバノスキャナ制御装置を持つレーザ加工装置において、偏差111の振動成分の特徴量を算出する偏差信号分析部207と、特徴量を記録する記憶部208と、記録された偏差波形の特徴量とレーザ光照射条件から加工形状を予測する加工形状推定部209と、予測された加工形状を使用者に伝える表示部210を持つことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
一方、時間領域のデータから直接振動成分を分析する手法がいくつか提案されている(非特許文献2および3)。
なお、図12と同等の機能のものは同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
本発明は、偏差111に発生する振動成分を分析する偏差信号分析部207と、振動成分の周波数や減衰率といった特徴量118を記録するための記憶部208、また上位制御装置201からレーザ光制御装置206に送信されるレーザ照射条件116と記憶部208に記録された振動の特徴量119から加工形状を推定する加工形状推定部209を持ち、加工形状を表示する表示部210を持つことを特徴とする。
移動量によって振動の程度が異なる場合、例えば移動量に基づいていくつかの区分に分けて評価することで推定精度が向上する。
実際のレーザ加工装置の場合、多くは2つ以上のガルバノスキャナを用いる。そのため、初期ショットの照射が移動距離の長いガルバノスキャナに依存する。この場合、すべての組み合わせに対して評価してもよいが、初期ショットの時間を振ってe1〜e3の距離(差分)が最大となる場合を求め、予想される最大のズレ量として簡易的に把握することも可能である。
ガルバノスキャナのように、微小角の揺動運動を繰り返し行う場合、軸受の劣化は特定位置で激しく生じることが多い。そのため、中心付近での測定のみでは特性変動を捉えられない可能性がある。
1)偏差波形より機械特性の劣化による加工形状の悪化を常時監視することができる。
2)周波数帯域毎に異なった対策を行うことが可能となる。例えば低域で悪化した傾向が見られる場合にはガルバノスキャナを交換したり、中域で悪化傾向が見られる場合はメンテナンスを実施したりすると言う風に要因別に個別の対策のみで済ますことができ、作業の簡略化に大きな効果がある。
3)従来技術と比較して、加工中であっても状態を監視できるので、従来のように一定周期で検査のために加工を止めたりする必要が無いのでタクトタイムの向上が可能となる。
等の効果を奏する。
30 ガルバノスキャナ
50 ミラー
207 偏差信号分析部
208 記憶部
209 加工形状推定部
210 表示部
300 揺動軸
307 スケール
Claims (6)
- 指令信号と現在位置との偏差に基づいてミラーを揺動させるアクチュエータを動作させ、前記ミラーに入射する光の出射角を制御するガルバノスキャナ制御装置を持つレーザ加工装置において、偏差の振動成分の特徴量を算出する偏差信号分析部と、特徴量を記録する記憶部と、記録された偏差波形の特徴量とレーザ光照射条件から加工形状を予測する加工形状推定部と、予測された加工形状を使用者に伝える表示部を持つことを特徴とするレーザ加工装置。
- 前記特徴量は、偏差の振動周波数と減衰率であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記記憶部のデータは、時系列で保存されることを特徴とする請求項1または2に記載のレーザ加工装置。
- 前記加工形状推定部は、前記記憶部の時系列データより加工形状を予測することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
- 前記記憶部のデータは、指令信号に基づく目標角度と偏差信号の特徴量を合わせて記録することを特徴とする請求項1または2に記載のレーザ加工装置。
- 指令信号と現在位置との偏差に基づいてミラーを揺動させるアクチュエータを動作させ、前記ミラーに入射する光の出射角を制御するガルバノスキャナ制御装置を持つレーザ加工装置において、偏差の振動成分を周波数帯域毎に分離するデジタルフィルタと、周波数帯域毎の偏差が事前に決められた範囲外になったと判別する偏差信号判別器と、判別した結果を表示する表示部を備えていることを特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011080688A JP5711032B2 (ja) | 2011-03-31 | 2011-03-31 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011080688A JP5711032B2 (ja) | 2011-03-31 | 2011-03-31 | レーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012213790A true JP2012213790A (ja) | 2012-11-08 |
JP5711032B2 JP5711032B2 (ja) | 2015-04-30 |
Family
ID=47267124
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011080688A Active JP5711032B2 (ja) | 2011-03-31 | 2011-03-31 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5711032B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013052394A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-21 | Panasonic Industrial Devices Sunx Co Ltd | レーザ加工装置 |
JP2014098792A (ja) * | 2012-11-14 | 2014-05-29 | Via Mechanics Ltd | 回転体の制御装置及びレーザ加工装置 |
CN106914698A (zh) * | 2015-12-24 | 2017-07-04 | 株式会社理光 | 光加工装置 |
JP2019197193A (ja) * | 2018-05-11 | 2019-11-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | サーボモータ駆動装置及びガルバノ駆動装置、並びにレーザ加工装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001352679A (ja) * | 2000-06-09 | 2001-12-21 | Hitachi Ltd | 電力系統の安定化装置及び監視装置 |
JP2005234215A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Hitachi Via Mechanics Ltd | ガルバノスキャナの制御方法およびガルバノスキャナ並びにレーザ加工機 |
JP2009192837A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Mitsubishi Electric Corp | ガルバノスキャナ制御装置 |
-
2011
- 2011-03-31 JP JP2011080688A patent/JP5711032B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001352679A (ja) * | 2000-06-09 | 2001-12-21 | Hitachi Ltd | 電力系統の安定化装置及び監視装置 |
JP2005234215A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Hitachi Via Mechanics Ltd | ガルバノスキャナの制御方法およびガルバノスキャナ並びにレーザ加工機 |
JP2009192837A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Mitsubishi Electric Corp | ガルバノスキャナ制御装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013052394A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-21 | Panasonic Industrial Devices Sunx Co Ltd | レーザ加工装置 |
JP2014098792A (ja) * | 2012-11-14 | 2014-05-29 | Via Mechanics Ltd | 回転体の制御装置及びレーザ加工装置 |
CN106914698A (zh) * | 2015-12-24 | 2017-07-04 | 株式会社理光 | 光加工装置 |
JP2019197193A (ja) * | 2018-05-11 | 2019-11-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | サーボモータ駆動装置及びガルバノ駆動装置、並びにレーザ加工装置 |
JP7241295B2 (ja) | 2018-05-11 | 2023-03-17 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | サーボモータ駆動装置及びガルバノ駆動装置、並びにレーザ加工装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5711032B2 (ja) | 2015-04-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5711032B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
US10678222B2 (en) | Data collection device and computer readable medium | |
JP6603192B2 (ja) | 学習モデル構築装置、故障予測システム、学習モデル構築方法及び学習モデル構築プログラム | |
JP6722372B2 (ja) | 工具認識機能を有した工作機械監視予測制御装置 | |
US20160018294A1 (en) | Vibration damping system and vehicle | |
AU2018340218B2 (en) | Method for determining an actuating force on the basis of sound emission measurements | |
JP2017174180A (ja) | サーボ制御装置、サーボ制御方法及びサーボ制御プログラム | |
JP2019046311A (ja) | 情報処理装置および情報処理方法 | |
KR102100488B1 (ko) | 전자기 액추에이터 타입의 장비를 모니터링하는 방법 | |
JP4533640B2 (ja) | ガルバノスキャナの制御方法およびガルバノスキャナ | |
Unger et al. | Modeling of the stick-slip effect in heavy copper wire bonding to determine and reduce tool wear | |
JPWO2007080692A1 (ja) | Aeセンサ及びaeセンサの動作状態確認方法 | |
JP6034208B2 (ja) | ガルバノスキャナ制御装置およびレーザ加工装置 | |
KR101974722B1 (ko) | 3차원 적층 가공의 실시간 가공 상태 검사와 보정 장치 및 이를 적용한 방법 | |
JP4908378B2 (ja) | 磁気ディスク装置及び磁気ヘッドの制御方法 | |
WO2022097624A1 (ja) | 機械学習装置、洗浄予測装置、及び洗浄システム | |
WO2015162772A1 (ja) | アクティブ制振装置および設計方法 | |
US20220252481A1 (en) | Acoustic analysis of a state of a machine | |
JP2013167777A (ja) | レーザ加工装置 | |
CN111201492B (zh) | 用于确定钻孔的位置误差和保证钻孔过程的方法 | |
JP2011227768A (ja) | ステージ装置,それを用いた荷電粒子線装置及び縮小投影露光装置,およびステージ制御方法 | |
JP6308852B2 (ja) | 駆動装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 | |
WO2018173539A1 (ja) | 診断システム | |
US20180039260A1 (en) | Control device and control system | |
JP4663603B2 (ja) | 渦電流探傷方法および渦電流探傷システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130919 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140624 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140722 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140903 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150224 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150305 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5711032 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |