JP2019196952A - 密封性評価のための疑似漏れ試験方法及び疑似漏れ試験装置 - Google Patents

Abstract

【課題】疑似漏れ素子の疑似漏れを適確に測定し、ひいては検査対象の密封性評価の信頼性を高める。【解決手段】疑似漏れ素子３０を付けた検査対象９を試験槽１１に収容し、検査対象９の外部環境に対応する外部試験空間１１ａと、内部環境に対応する内部試験空間１９ａとを疑似漏れ素子３０の漏れ孔３２ａを介して連通させた状態におく。一方の試験空間１１ａにおける漏れ着目物質を濃度保持手段１５によって一定濃度に保つ。他方の試験空間１９ａにおいては漏れ着目物質を固定手段１２に固定させる。一方の試験空間１１ａから他方の試験空間１９ａへの漏れ着目物質の漏れを測定手段１３によって測定する。【選択図】図１

Description

本発明は、疑似漏れ素子の漏れ孔からの漏れすなわち疑似漏れを試験する方法及び装置に関し、特に検査対象の密封性を評価するための疑似漏れ試験方法及び装置に関する。

内容物の品質維持のために包装体（検査対象）の密封性を検査することは重要である。例えば、薬剤においては、外気中の水蒸気や酸素が包装材のピンホール等を透過して包装材の内部に浸入し、薬剤の品質を低下させる可能性がある。
密封性確認の検査方法として水没試験が多用されているが、商品によっては破壊試験となり、また定量的な判定が難しい問題がある。

包装体（検査対象）の密封性を非破壊でかつ定量的に評価する方法として、例えば検査対象に試験圧を付与して漏れを測定する漏れ試験が知られている（特許文献１、２等参照）。
特許文献１においては、試験槽の内部を隔壁によって外部試験空間と内部試験空間とに仕切り、外部試験空間（検査対象の外部環境に対応）には、例えば酸素や水蒸気などの漏れ着目物質を含むガスが充填されている。内部試験空間（検査対象の内部環境に対応）には、例えば窒素が充填されている。隔壁に疑似漏れ素子を設ける。そして、外部試験空間の漏れ着目物質が、疑似漏れ素子の漏れ孔を通して内部試験空間へ漏れる疑似漏れ流量を数日〜数ヶ月かけて測定する。当該疑似漏れ流量は、漏れ孔のサイズ（流路断面積及び流路長さ）や、内外の試験空間における漏れ着目物質の濃度差や温度、気圧などに依存する。該疑似漏れ流量の測定結果から品質保持限界の許容漏れ流量を算出して、該許容漏れを発生させる標準疑似漏れ素子を作製する。該標準疑似漏れ素子を用いて密封性評価の閾値を設定し、該閾値を用いて実際の検査対象に対する密封性評価を行なっている。

特開２０１７−２１５３１０号公報 国際公開ＷＯ２０１７／２０８５４３

前掲特許文献１の試験槽において、外部試験環境の漏れ着目物質が疑似漏れ素子を通して内部試験環境へ漏れると、外部試験環境においては漏れ着目物質濃度が下がり、内部試験環境においては漏れ着目物質濃度が上がる。したがって、時間の経過に伴って、漏れ着目物質の漏れ流量が低下する。低下度合は、外部試験環境及び内部試験環境の内容積などに依存する。このため、数日〜数ヶ月の試験期間経過後における内部試験環境の漏れ着目物質濃度を単純に前記試験期間で除しても、その値がそのまま疑似漏れ素子の疑似漏れ特性を表わしているとは言い切れず、漏れ孔サイズと漏れ着目物質の漏れ量が一義的に対応しているとは言い切れない。また、実際の検査対象の内部空間においては、薬剤などの内容物に漏れ着目物質濃度が吸着・吸収されることで漏れ着目物質濃度があまり上がらないことも有り得る。
本発明は、かかる事情に鑑み、疑似漏れ素子の疑似漏れを適確に測定して、密封性評価の信頼性を高めることを目的とする。

前記課題を解決するため、本発明方法は、検査対象の密封性評価のための疑似漏れを試験する方法であって、
前記検査対象の外部環境に対応する外部試験空間と、前記検査対象の内部環境に対応する内部試験空間とを疑似漏れ素子の漏れ孔を介して連通させた状態におく工程と、
前記外部試験空間と前記内部試験空間のうち一方の試験空間における漏れ着目物質を一定濃度に保つ工程と、
前記外部試験空間と前記内部試験空間のうち他方の試験空間において前記漏れ着目物質を固定手段に固定させる工程と、
前記一方の試験空間から前記他方の試験空間への前記漏れ着目物質の漏れを測定する工程と、
を備えたことを特徴とする。

当該発明方法によれば、前記一方の試験空間においては漏れ着目物質濃度が高濃度かつ一定に保持される。前記他方の試験空間においては漏れ着目物質の固定によって該漏れ着目物質の濃度が低く保持される。これによって、内外の試験空間の漏れ着目物質濃度に一定の差が形成される。したがって、漏れ着目物質が、高濃度側（一方）の試験空間から疑似漏れ素子の漏れ孔を通って低濃度側（他方）の試験空間へ拡散され、しかもその流量変化は繰り返し試験を行っても毎回ほぼ一定に維持される。よって、疑似漏れ素子の疑似漏れを適確に測定できる。測定した疑似漏れ流量は漏れ孔サイズと一義的に対応する。したがって、例えば、該疑似漏れ流量の測定結果から算出される品質保持限界の許容漏れ値の精度が高まり、該許容漏れを発生させる標準疑似漏れ素子の信頼度が高まり、ひいては、密封性評価の信頼性が高まる。
前記固定は、前記漏れ着目物質の吸着、吸収を含む。前記固定は、物理的な固定（吸着など）でもよく、化学変化を伴う化学的な固定でもよい。

前記測定工程では、前記固定手段の質量変化を測定することが好ましい。
前記固定手段の質量変化分は、実質的に前記固定手段に固定された漏れ着目物質の質量に相当する。したがって、前記質量変化を測定することで、漏れ着目物質の漏れ流量を質量変化として取得できる。

前記疑似漏れ素子を外部に臨むように設けるとともに内部に前記固定手段を設けた検査対象を、外部試験空間となる試験槽に収容し、
前記測定工程では、前記検査対象の質量変化を測定することがより好ましい。
この場合、試験槽の内壁と検査対象の外面との間の空間が前記外部試験空間となり、検査対象の内部空間が前記内部試験空間となる。そして、検査対象が密封欠陥部を有しているのと同等の状況で疑似漏れを起こすことができる。
前記疑似漏れ素子を設けた検査対象の質量増加分は実質的に前記固定手段の質量増加分に相当し、前記固定手段の質量増加分は前記固定手段により固定された漏れ着目物質の質量に相当する。したがって、前記検査対象の質量変化測定によって、漏れ着目物質の漏れ流量を測定できる。固定手段を検査対象の内部から取り出すことなく、実質的に固定手段の質量増加分を測定できる。

前記固定手段を、前記他方の試験空間における前記疑似漏れ素子の近傍部と遠隔部のうち少なくとも近傍部に配置しておくことが好ましい。
これによって、疑似漏れ素子の漏れ孔の両端間において漏れ着目物質の濃度差を確実に形成でき、前記漏れ孔を通して外部試験空間から内部試験空間への漏れ着目物質の流れ（拡散）を確実に形成することができる。よって、疑似漏れ素子の漏れ特性を確実に評価できる。

本発明装置は、検査対象の密封性評価のための疑似漏れを試験する装置であって、
前記検査対象の外部環境に対応する外部試験空間を画成する試験槽と、
前記検査対象の内部環境に対応する内部試験空間と前記外部試験空間とを連通する漏れ孔を有する疑似漏れ素子と、
前記外部試験空間と前記内部試験空間のうち一方の試験空間における漏れ着目物質を一定濃度に保つ濃度保持手段と、
前記外部試験空間と前記内部試験空間のうち他方の試験空間に設けられ、前記漏れ着目物質を固定する固定手段と、
前記一方の試験空間から前記他方の試験空間への前記漏れ着目物質の漏れを測定する測定手段と、
を備えたことを特徴とする。
当該発明装置によれば、漏れ着目物質が、高濃度側（一方）の試験空間から疑似漏れ素子の漏れ孔を通って低濃度側（他方）の試験空間へ拡散され、しかもその流量が試験期間中、安定して維持される。よって、疑似漏れ素子の疑似漏れを繰り返し性良く適確に測定できる。ひいては、密封性評価の信頼性が高まる。

前記固定手段が、前記漏れ着目物質を吸着する吸着剤又は吸収する吸収剤を含むことが好ましい。
吸収とは、漏れ着目物質が吸収剤の内部に入り込んで出てこなくなることを言う。
吸着とは、漏れ着目物質が吸着剤の表面にくっ付いて離れなくなることを言う。

前記測定手段が、前記固定手段の重量を測定する重量計を含むことが好ましい。前記固定手段の質量増加分は、実質的に前記固定手段に固定された漏れ着目物質の質量に相当するから、重量計によって前記質量増加を測定することで、漏れ着目物質の漏れ流量を取得できる。固定手段を検査対象内に収容して疑似漏れ試験を行ない、検査対象の質量増加を重量計で測定してもよい。

本発明によれば、疑似漏れ素子の疑似漏れを適確に測定し、ひいては密封性評価の信頼性を高めることができる。

図１は、本発明の一実施形態に係る疑似漏れ試験装置を疑似漏れ工程の状態で示す解説正面断面図である。 図２は、疑似漏れ素子の一例を示す断面図である。 図３は、図１の円部ＩＩＩの拡大断面図である。 図４は、前記疑似漏れ試験装置の測定手段を測定工程状態で示す解説正面断面図である。 図５は、標準疑似漏れ素子の一例を示す断面図である。

以下、本発明の一実施形態を図面にしたがって説明する。
図１に示すように、本実施形態における検査対象９は、例えばバイアル瓶である。一般にバイアル瓶には薬剤や化学品が封入される。本実施形態の最終目的は、検査対象９の密封性評価である。具体的には、外部雰囲気から検査対象９の内部への漏れ着目物質の侵入（漏れ）度合が許容範囲か否かを検査する。
もちろん、本発明における検査対象はバイアル瓶に限らず、ブリスター包装体、目薬容器、ガソリンタンク、エンジン部品、電子部品、その他密封性を要するあらゆる物に適用できる。

漏れ着目物質としては、検査対象９の内容物（薬剤など）の品質に影響を与える物質であり、例えば水蒸気であるが、これに限られず、酸素、空気、水素その他のガスであってもよく、さらには細菌などであってもよい。
漏れ着目物質は一種類に限られない。例えば、酸素及び水蒸気など、複数成分を漏れ着目物質として設定してもよい。

図１は、前記密封性評価のための疑似漏れ測定を行なう疑似漏れ試験装置１０を示したものである。疑似漏れ試験装置１０は、試験槽１１と、疑似漏れ検査対象１９を備えている。試験槽１１は、恒温恒湿槽によって構成されている。試験槽１１の内部に疑似漏れ検査対象１９が収容されている。

図１に示すように、疑似漏れ検査対象１９は、１の検査対象９に疑似漏れ素子３０を装着したものである。図２に示すように、疑似漏れ素子３０は、環状のシール材３１と、オリフィス板３２と、フィルタ３３，３４を有し、全体として例えば円形になっている。
なお、図において、疑似漏れ素子３０の各構成要素の厚さは、疑似漏れ素子３０の直径に対して誇張されている。

シール材３１は、樹脂製の環状の基材３１ａと、該基材３１ａの裏面（図２において下面）に設けられた粘着層３１ｂを含む。シール材３１の径方向内側部分の粘着層３１ｂにオリフィス板３２の外周部が貼り付けられている。オリフィス板３２の材質は金属でもよく樹脂でもよい。オリフィス板３２の前記外周部より内側の部分は、シール材３１の中心穴３１ｃの内側に配置されている。オリフィス板３２の中央部にオリフィス状の漏れ孔３２ａ（ピンホール）が形成されている。漏れ孔３２ａのサイズ、特に内直径Ｄ_３２ａは厳密に管理されている。疑似漏れ素子３０は、規定の温度及び圧力条件下において漏れ孔３２ａから規定の漏れを発生させる。

オリフィス板３２の表側面（図２において上面）には接着層３５を介してフィルタ３３が貼り付けられている。オリフィス板３２の裏側面（図２において下面）には接着層３６を介してフィルタ３４が貼り付けられている。フィルタ３３，３４によって漏れ孔３２ａの両端が覆われている。これによって漏れ孔３２ａの詰まりを防止できる。
なお、２つのフィルタ３３，３４のうち例えば裏側フィルタ３４は、疑似漏れ素子３０を検査対象９に取付けるのに邪魔になる場合、省略してもよい。

図１に示すように、疑似漏れ素子３０は、バイアル瓶からなる検査対象９の例えば蓋９ｂに取り付けられている。図３に示すように、蓋９ｂには連通穴９ｃ（取付穴）を形成しておく。連通穴９ｃは、漏れ孔３２ａより大径である。
図３に示すように、前記連通穴９ｃを覆うようにして、疑似漏れ素子３０を蓋９ｂの表側面に被せる。オリフィス板３２より外周側のシール材３１を蓋９ｂに貼り付ける。これによって、疑似漏れ素子３０が検査対象９の外部に臨むように設けられている。漏れ孔３２ａが、裏側（図３において下側）のフィルタ３４を介して連通穴９ｃひいては検査対象９の内部に連なっている。

シール材３１によって、オリフィス板３２の外周と蓋９ｂひいては検査対象９との間が気密にシールされている。
なお、検査対象９における疑似漏れ素子３０を取り付ける箇所の形状によっては、シール材３１にヒダが出来たり、シール材３１と検査対象９との間に隙間が出来たりする場合がある。そのような場合でも、オリフィス板３２の外周と検査対象９との間のシール性を確保するために、図３の二点鎖線にて示すように、シール材３１の外周縁と検査対象９の外面との間に粘性シール剤３７を塗布してもよい。

試験槽１１と疑似漏れ検査対象１９とによって外部試験空間１１ａ（一方の試験空間）が画成されている。詳しくは、試験槽１１の内壁と疑似漏れ検査対象１９の外表面との間の槽内空間が、外部試験空間１１ａとなっている。外部試験空間１１ａは、検査対象９の外部環境に対応する。検査対象９内（内部環境）は、内部試験空間１９ａ（他方の試験空間）となっている。
内部試験空間１９ａと外部試験空間１１ａとが、検査対象９の躯体によって隔てられている。かつ内部試験空間１９ａと外部試験空間１１ａとが漏れ孔３２ａを介して連通されている。

外部試験空間１１ａの雰囲気ガスには一定濃度の漏れ着目物質が含まれている。
試験槽１１には濃度保持手段１５が接続されている。濃度保持手段１５は、濃度センサ１５ｃと、濃度制御部１５ａと、供給部１５ｂを含む。濃度センサ１５ｃは、外部試験空間１１ａにおける漏れ着目物質の濃度を検出する。供給部１５ｂは、外部試験空間１１ａに漏れ着目物質を補給する。濃度制御部１５ａは、濃度センサ１５ｃによる検出濃度に基づいて、供給部１５ｂからの補給量を制御する。

漏れ着目物質が水蒸気である場合、恒温恒湿槽からなる試験槽１１における恒湿機能部が、前記濃度保持手段１５として提供されている。外部試験空間１１ａは、一定温度下で一定湿度に保持されている。

図１に示すように、内部試験空間１９ａには固定手段１２が収容されている。固定手段１２は、漏れ着目物質を吸着したり吸収したりすることで、空間を浮遊しないよう固定する。固定手段１２は、漏れ着目物質を吸着する吸着剤又は吸収する吸収剤によって構成されている。物理的に固定してもよく化学的に固定してもよい。化学的固定とは、漏れ着目物質の化学変化を伴う固定を言う。
漏れ着目物質が水蒸気である場合、固定手段１２として、塩化カルシウム、シリカゲル、ゼオライトなどの乾燥剤を用いるとよい。
漏れ着目物質が水素である場合、固定手段１２として水素吸蔵合金を用いるとよい。
固定手段１２は、比表面積が出来るだけ大きいことが好ましく、多孔質や粉状であることが好ましい。固定手段１２が漏れ着目物質を固定可能な容量は、疑似漏れ試験期間中に内部試験空間１９ａに浸入する漏れ着目物質の総量より大きいことが好ましい。

好ましくは、固定手段１２は、内部試験空間１９ａにおける上側部すなわち疑似漏れ素子３０の近傍部と、下側部すなわち遠隔部とのうち、少なくとも近傍部に配置されている。近傍部だけに配置する場合、内部試験空間１９ａの下側部にスペーサ（図示省略）を設けて、該スペーサ上に固定手段１２を配置することが好ましい。
固定手段１２と漏れ孔３２ａとの間の距離Ｄ_１２は、検査対象９又は試験槽１１の大きさにも依るが、好ましくはＤ_１２＝数μｍ〜数ｃｍである。検査対象９がバイアル瓶などの筒形状である場合、該筒形状の検査対象９の内直径をＤ_９とすると、下式１の関係が満たされることが好ましい。
Ｄ_３２ａ＜Ｄ_１２＜Ｄ_９ （１）

図４に示すように、更に疑似漏れ試験装置１０は、測定手段１３を構成要素として含む。測定手段１３は、重量計によって構成され、より好ましくは電子天秤によって構成されている。

前記の疑似漏れ試験装置１０によって次のようにして疑似漏れ測定を行ない、更には検査対象９の密封性評価を行なう。
固定手段１２及び疑似漏れ素子３０を設けた疑似漏れ検査対象１９の初期重量を測定手段１３によってあらかじめ測定しておく。
好ましくは、固定手段１２の収容前ひいては疑似漏れ試験開始前の内部試験空間１９ａの漏れ着目物質濃度は十分に低くしておく。

＜疑似漏れ試験＞
疑似漏れ検査対象１９を試験槽１１に収容して、試験槽１１を密閉する。
好ましくは、複数（図１では１つだけ図示）の試験槽１１を用意する。各試験槽１１に疑似漏れ検査対象１９を収容する。これら疑似漏れ検査対象１９の疑似漏れ素子３０の漏れ孔３２ａの大きさを互いに異ならせる。
試験期間は、例えば数日〜数ヶ月である。
試験期間中、濃度保持手段１５を常時稼働させる。

試験槽１１においては、外部試験空間１１ａと内部試験空間１９ａとの間における漏れ着目物質の濃度差によって、外部試験空間１１ａの漏れ着目物質が漏れ孔３２ａを通って内部試験空間１９ａへ拡散する。
これに伴い、外部試験空間１１ａにおける漏れ着目物質の濃度が低下する。該濃度低下が濃度センサ１５ｃによって検知され、検知情報が濃度制御部１５ａに入力される。濃度制御部１５ａは、前記検知情報に応じて供給部１５ｂを操作して、漏れ着目物質を供給部１５ｂから外部試験空間１１ａへ補給させる。これによって、外部試験空間１１ａにおける漏れ着目物質の濃度が一定に保持される。

内部試験空間１９ａにおいては、漏れ孔３２ａから入って来た漏れ着目物質が固定手段１２に固定される。したがって、内部試験空間１９ａを浮遊する漏れ着目物質の濃度は、試験開始前と同等の低濃度に維持される。よって、外部試験空間１１ａと内部試験空間１９ａとの間における漏れ着目物質の濃度差がほぼ一定に保持される。この結果、疑似漏れ素子３０の漏れ孔３２ａを通して漏れる漏れ着目物質の漏れ流量を、試験期間中ほぼ一定に保持できる。
或いは、薬剤などの内容物に漏れ着目物質濃度が吸着・吸収される状態を疑似的に作ることが出来る。
固定手段１２を、内部試験空間１９ａにおける疑似漏れ素子３０の近くに偏って配置しておくことによって、漏れ孔３２ａの両端間において漏れ着目物質の濃度差を確実に形成でき、前記漏れを確実に起こさせることができる。
疑似漏れ素子３０を付けた疑似漏れ検査対象１９を用いることで、実際の検査対象９が密封欠陥部を有しているのと同等の状況で疑似漏れを起こすことができる。
疑似漏れ検査対象１９内に固定手段１２を配置することで、実際の検査対象９の内容物が漏れ着目物質を吸着又は吸収するのと同等の状況で疑似漏れ流量の測定を行なうことができる。

＜測定工程＞
図４に示すように、疑似漏れ試験期間が終了したら、疑似漏れ検査対象１９を試験槽１１から取り出す。該疑似漏れ検査対象１９を、固定手段１２及び疑似漏れ素子３０が設けられた状態のまま測定手段１３によって重量測定する。好ましくは測定値の浮力補正を行なう。
当該測定重量から前記初期重量を減じた値が、試験期間中に外部試験空間１１ａから内部試験空間１９ａに漏れた漏れ着目物質の総重量に相当する。これによって、単位時間あたりの疑似漏れ流量が算出される。該疑似漏れ流量の算出値は、試験期間中における前記ほぼ一定に保持された実際の漏れ流量とほぼ一致しており、疑似漏れ素子３０の漏れ孔３２ａのサイズと一義的に対応し、ないしは疑似漏れ素子３０の漏れ特性を適確に反映した値となる。
好ましくは、複数の試験槽１１で試験を行なうことで、複数の漏れ孔サイズに対応する疑似漏れ流量のデータテーブルを取得する。

前記疑似漏れ流量の算出値と、漏れ孔サイズと、疑似漏れ試験期間と、検査対象９の内容物（薬剤など）の品質保証期間と、該内容物の漏れ着目物質に対する最大許容量などから、内容物の品質保持のために許容される漏れ孔の最大サイズ（以下「許容漏れ孔サイズ」と称す）が求まる。
前述したように、疑似漏れ流量の算出値と漏れ孔サイズとは対応関係性が高いから、許容漏れ孔サイズの算出精度を高めることができる。
好ましくは、複数の疑似漏れ流量の算出値及び漏れ孔サイズのデータテーブルを用いることで、許容漏れ孔サイズの算出精度を一層高めることができる。

続いて、図５に示すように、前記許容漏れ孔サイズ（内直径Ｄ_３２ａ＝Ｄｓ）の漏れ孔３２ａを有する疑似漏れ素子（以下「標準疑似漏れ素子３０Ｓ」と称す）を作製する。許容漏れ孔サイズの算出精度が高いから、標準疑似漏れ素子３０Ｓの信頼度を高めることができる。なお、標準疑似漏れ素子３０Ｓの構造は、前記疑似漏れ試験工程における疑似漏れ素子３０の構造と同じである。
該標準疑似漏れ素子３０Ｓによって漏れ判定の閾値を設定し、該閾値に基づいて実際の検査対象９に対して漏れ判定等の定量的な密封性評価を行なう（特許文献１参照）。標準疑似漏れ素子３０Ｓの信頼度が高いから、閾値の信頼度も高い。ひいては、密封性評価の信頼性を高めることができる。
標準疑似漏れ素子３０Ｓは、閾値設定の他、エアリークテスタなどの漏れ検査装置の較正にも利用できる（特許文献２参照）。標準疑似漏れ素子３０Ｓの信頼度が高いから、較正の信頼性を高めることができる。

本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の改変をなすことができる。
例えば、疑似漏れ素子３０，３０Ｓとして、オリフィス（ピンホール）に限られず、キャピラリ、マイクロピペットなどを用いてもよい。
試験槽１１に検査対象９を収容するのに代えて、試験槽１１内に隔壁を設けることで、該隔壁によって試験槽１１内部を外部試験空間１１ａと内部試験空間１９ａとに仕切ってもよい。
内部試験空間１９ａが高濃度側（一方）の試験空間となり、外部試験空間１１ａが低濃度（他方）の試験空間となっていてもよい。すなわち、内部試験空間１９ａにおける漏れ着目物質の濃度を外部試験空間１１ａにおける漏れ着目物質の濃度より高く設定し、漏れ孔３２ａを通して、内部試験空間１９ａから外部試験空間１１ａへの漏れ着目物質の漏れを生じさせて、該漏れを測定してもよい。濃度保持手段１５が内部試験空間１９ａに接続され、該濃度保持手段１５によって内部試験空間１９ａにおける漏れ着目物質の濃度を一定の高濃度に保持してもよい。固定手段１２を外部試験空間１１ａに設けてもよい。
例えば、バイアル瓶中の薬剤成分やガソリンタンク中のガソリン等、検査対象内から特定の漏れ着目物質が外部へ漏れるのを評価してもよい。

本発明は、例えば医薬品などを収容したバイアル瓶やＰＴＰ包装体の密封性評価に適用できる。

９ 検査対象
９ｂ 蓋
９ｃ 連通穴
１０ 疑似漏れ試験装置
１１ 試験槽
１１ａ 外部試験空間（一方の試験空間）
１２ 固定手段
１３ 測定手段
１９ 疑似漏れ検査対象
１９ａ 内部試験空間（他方の試験空間）
１５ 濃度保持手段
１５ａ 濃度制御部
１５ｂ 供給部
１５ｃ 濃度センサ
３０ 疑似漏れ素子
３１ シール材
３１ｂ 粘着層
３２ オリフィス板
３２ａ 漏れ孔
３３，３４ フィルタ
３５，３６ 接着層
Ｄ_１２ 固定手段と漏れ孔との間の距離

Claims (7)

1. 検査対象の密封性評価のための疑似漏れを試験する方法であって、
   前記検査対象の外部環境に対応する外部試験空間と、前記検査対象の内部環境に対応する内部試験空間とを疑似漏れ素子の漏れ孔を介して連通させた状態におく工程と、
   前記外部試験空間と前記内部試験空間のうち一方の試験空間における漏れ着目物質を一定濃度に保つ工程と、
   前記外部試験空間と前記内部試験空間のうち他方の試験空間において前記漏れ着目物質を固定手段に固定させる工程と、
   前記一方の試験空間から前記他方の試験空間への前記漏れ着目物質の漏れを測定する工程と、
   を備えたことを特徴とする疑似漏れ試験方法。
2. 前記測定工程では、前記固定手段の質量変化を測定することを特徴とする請求項１に記載の疑似漏れ試験方法。
3. 前記疑似漏れ素子を外部に臨むように設けるとともに内部に前記固定手段を設けた検査対象を、外部試験空間となる試験槽に収容し、
   前記測定工程では、前記検査対象の質量変化を測定することを特徴とする請求項１又は２に記載の疑似漏れ試験方法。
4. 前記固定手段を、前記他方の試験空間における前記疑似漏れ素子の近傍部と遠隔部のうち少なくとも近傍部に配置しておくことを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の疑似漏れ試験方法。
5. 検査対象の密封性評価のための疑似漏れを試験する装置であって、
   前記検査対象の外部環境に対応する外部試験空間を画成する試験槽と、
   前記検査対象の内部環境に対応する内部試験空間と前記外部試験空間とを連通する漏れ孔を有する疑似漏れ素子と、
   前記外部試験空間と前記内部試験空間のうち一方の試験空間における漏れ着目物質を一定濃度に保つ濃度保持手段と、
   前記外部試験空間と前記内部試験空間のうち他方の試験空間に設けられ、前記漏れ着目物質を固定する固定手段と、
   前記一方の試験空間から前記他方の試験空間への前記漏れ着目物質の漏れを測定する測定手段と、
   を備えたことを特徴とする疑似漏れ試験装置。
6. 前記固定手段が、前記漏れ着目物質を吸着する吸着剤又は吸収する吸収剤を含むことを特徴とする請求項５に記載の疑似漏れ試験装置。
7. 前記測定手段が、前記固定手段の重量を測定する重量計を含むことを特徴とする請求項５又は６に記載の疑似漏れ試験装置。

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