JP2019196934A - マイクロ流体デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1の実施の形態に係るマイクロ流体デバイスは、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)流量計であり、当該マイクロ流体デバイスに含まれる流量センサは、被計測流体が流れる流路内に設置され、被計測流体の流量を計測するものである。用途としては、医療薬品の流量管理や、生物化学試験の試薬・培養液の管理等が考えられる。
上述した第1実施形態では、切欠き部130bは、1本のシリコンチューブ130につき1箇所設けただけであるので、切欠き部130bが流路121の方向と異なる方向を向いた状態でシリコンチューブ130を挿入した場合には、被計測流体の流れの悪化は免れない。
本実施形態の本実施形態のマイクロ流体デバイスは、上述した第1実施形態と同様のシリコンチューブ130、つまり、切欠き部130bを1箇所だけ設けたシリコンチューブ130を用いながら、上述した第2実施形態のように、シリコンチューブ130を、切欠き部130bが流路121の方向と異なる方向に向いた状態で挿入し、先端部130aがシリコン基板110の表面に当接した状態になったとしても、被計測流体の流れの良好な状態が保たれるようにしたものである。
本実施形態のマイクロ流体デバイス10は、図5に示すように、上記第1〜第3実施形態のマイクロ流体デバイス100を樹脂製のケース300で覆った点が異なっている。
110 シリコン基板
110a 流量センサ
120 流路形成部
121 流路
121a 液だまり部
122a,122b 孔
130,131 シリコンチューブ
130a,131a 先端部
130b,131b〜131e 切欠き部
300 ケース
301 ケース本体
302 ケース蓋
302a,302b 孔
Claims (4)
- 表面上にセンサが形成された基板と、
当該基板の表面に対向する面に、被計測流体が流れる流路となる溝が、少なくとも1本形成された流路形成部と、
前記被計測流体を前記流路に導入する導入管と、
当該被計測流体を前記流路から導出する導出管と、
を有し、
前記流路は、前記基板の表面に、前記流路形成部を、前記溝が形成された面を対向させて重ね合わせることによって形成され、
前記流路形成部には、前記流路の両端部に相当する位置にそれぞれ孔が形成され、
前記各孔にはそれぞれ、前記導入管及び前記導出管が挿入され、
前記導入管及び前記導出管にはそれぞれ、当該周壁の一部を当該先端部にかけて1箇所切り欠いて形成された切欠き部が設けられている
ことを特徴とするマイクロ流体デバイス。 - 前記流路形成部の前記基板の表面に対向する面には、前記各孔をそれぞれ囲むとともに、前記流路となる溝に連結する、液だまり部となる溝が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のマイクロ流体デバイス。
- 表面上にセンサが形成された基板と、
当該基板の表面に対向する面に、被計測流体が流れる流路となる溝が、少なくとも1本形成された流路形成部と、
前記被計測流体を前記流路に導入する導入管と、
当該被計測流体を前記流路から導出する導出管と、
を有し、
前記流路は、前記基板の表面に、前記流路形成部を、前記溝が形成された面を対向させて重ね合わせることによって形成され、
前記流路形成部には、前記流路の両端部に相当する位置にそれぞれ孔が形成され、
前記各孔にはそれぞれ、前記導入管及び前記導出管が挿入され、
前記導入管及び前記導出管にはそれぞれ、当該周壁の一部を当該先端部にかけて複数箇所切り欠いて形成された複数の切欠き部が設けられている
ことを特徴とするマイクロ流体デバイス。 - 前記基板及び前記流路形成部の全体を覆う樹脂製のケースをさらに有し、
前記樹脂製のケースには、前記導入管及び前記導出管をそれぞれ挿通する孔が形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のマイクロ流体デバイス。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018089873A JP2019196934A (ja) | 2018-05-08 | 2018-05-08 | マイクロ流体デバイス |
JP2022077354A JP7258203B2 (ja) | 2018-05-08 | 2022-05-10 | マイクロ流体デバイス |
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JP2018089873A JP2019196934A (ja) | 2018-05-08 | 2018-05-08 | マイクロ流体デバイス |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2019196934A true JP2019196934A (ja) | 2019-11-14 |
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ID=68537925
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018089873A Pending JP2019196934A (ja) | 2018-05-08 | 2018-05-08 | マイクロ流体デバイス |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2019196934A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4310459A1 (en) * | 2022-07-21 | 2024-01-24 | Surpass Industry Co., Ltd. | Thermal type flowmeter and manufacturing method of thermal type flowmeter |
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-
2018
- 2018-05-08 JP JP2018089873A patent/JP2019196934A/ja active Pending
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