JP2019188325A - 塗布装置及び塗布方法 - Google Patents
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Description
しかし、プリント配線基板の端面から塵埃を取り除いたとしても、プリント配線基板の端面部分は脆いため、崩壊して更なる塵埃が発生するおそれがあるという課題があった。
特許文献1記載の塗布装置により、塗布円盤によってプリント配線基板の両側端面に膜形成液が塗布され、プリント配線基板の両端面に塗膜を形成することが可能となった。
さらに本発明者らは、基板の端面のほか、基板の孔部内面に膜形成液を塗布する塗布装置及び塗布方法を提案した。(特許文献2)
そのほか、板状の樹脂成形品、ガラス成形品などのワークの孔部端面、外周縁部端面に塗膜を形成することも求められている。
しかしながら、上記した塗布装置では、基板の上面及び下面の塗布部周縁部に膜形成液の飛沫が残ることがあり、後のプリント配線基板等の製造において、特に孔部周縁部の配線不良等を皆無にすることが難しいという課題があった。また、板状の樹脂成形品、ガラス成形品などのワークの孔部端面、外周縁部端面に塗膜を形成するための簡素な構造で、安価な塗布装置も求められていた。
ワークの孔部端面及び外周縁部端面を除き、前記ワークの上面をマスキングする上面マスキング板と、前記ワークの下面をマスキングする下面マスキング板とを備え、
前記ワークを挟み、前記上面マスキング板と、前記下面マスキング板とによりワークマスキングセットが構成され、
膜形成液の供給部を備えた上型、及び前記膜形成液の排出部を備えた下型により、前記ワークマスキングセットを囲み、膜形成液充填部が形成されるように構成されていることを特徴としている。
前記下面マスキング板が前記下型に固定され、前記上面マスキング板が前記上型に支持されていることを特徴とている。
上記塗布装置(2)によれば、下型に固定された下面マスキング板上にワークを載置し、上型に支持された上面マスキング板でワークのマスキングを行うことができるので、下型と上型との間へのワークの搬入と搬出を繰り返す方法で、ワークの各端面への膜形成液の塗布を行うことができる。そのため、極めて効率的にワークへの膜形成液の塗布を行うことができる。
前記上面マスキング板、及び前記下面マスキング板における前記ワーク側の面の孔部周縁部、及び外周縁部に、マスキング用ガスケットを備えていることを特徴としている。
上記塗布装置(3)によれば、ワークの孔部周縁部、及び外周縁部に対応する位置に、マスキング用ガスケットを備えているので、ワーク上面、及び下面への膜形成液の浸み込みを確実に防止することができる。そのため、特に、プリント配線基板等の基板において、孔部周縁部の配線不良を効果的に防止することができる。
前記上面マスキング板、及び前記下面マスキング板における前記ワーク側の面に、前記ワークの孔部に対応する開口部を有するシート状ガスケットを備えていることを特徴としている。
上記塗布装置(4)によれば、シート状ガスケットを備えているので、ワーク上面、及び下面への膜形成液の浸み込みを確実に防止することができる。そのため、特に、プリント配線基板等の基板において、孔部周縁部の配線不良を効果的に防止することができる。また、ガスケットの交換が容易という長所がある。
さらに、前記供給部に設けられた開閉バルブ、該開閉バルブに接続された膜形成液タンク又は吸気部への切り替えコックを備えるとともに、前記排出部に設けられた開閉バルブ、該開閉バルブに接続された気液分離タンク、及び該気液分離タンクに接続された吸引装置を備えていることを特徴としている。
上記塗布装置(5)によれば、吸引装置を利用して、膜形成液の塗布前に系内の塵埃を除去すること、塗布装置に膜形成液を導入すること、ワークに塗布された不要な膜形成液の除去や乾燥を早めることなどが可能なため、ワークの各端面への質の良い膜形成液の塗布を行うことができるとともに、効率的に膜形成液の塗布を行うことができる。
さらに、前記供給部に設けられた開閉バルブ、該開閉バルブに接続された膜形成液タンク及び送気部、前記膜形成液タンク及び送気部に接続された切り替えコック、該切り替えコックに接続された加圧装置を備えるとともに、前記排出部に設けられた開閉バルブ、該開閉バルブに接続された排液タンクを備えていることを特徴としている。
上記塗布装置(6)によれば、加圧装置を利用して、膜形成液の塗布前に系内の塵埃を除去すること、塗布装置に膜形成液を導入すること、塗布装置に導入された膜形成液の加圧が可能なこと、ワークに塗布された不要な膜形成液の除去や乾燥を早めることなどが可能なため、ワークの各端面への質の良い膜形成液の塗布を行うことができるとともに、効率的に膜形成液の塗布を行うことができる。
上記上面マスキング板、及び/又は下面マスキング板によれば、上面マスキング板、及び/又は下面マスキング板の損耗等に応じて、マスキング板を随時交換することができるので、効率的、かつ確実な膜形成液の塗布を行うことができる。
上記シート状ガスケットによれば、シート状ガスケットの損耗等に応じて、ガスケットを随時交換することができるので、効率的、かつ確実な膜形成液の塗布を行うことができる。
上記塗布装置(1)〜(6)のいずれかを用いる塗布方法であって、
前記下型内に配置された前記下面マスキング板上に、前記ワークを載置し、
前記ワーク上に、前記上型に支持された前記上面マスキング板を載置することにより、前記ワークマスキングセットを構成するとともに、前記上型と前記下型とにより、前記膜形成液充填部を形成し、
前記供給部から前記膜形成液を導入することにより、前記膜形成液充填部内に前記膜形成液を充填し、前記ワークの各端面に前記膜形成液を塗布した後、前記排出部から前記膜形成液を排出し、
前記上型を上昇させ、前記ワークを取り出すことを特徴としている。
前記膜形成液の排出後、さらに、前記供給部を介して、前記膜形成液充填部内に乾燥用空気を流し、前記排出部からを排出することを特徴としている。
上記塗布方法(2)によれば、膜形成液の塗布・排出後、塗布装置内の不要な膜形成液の除去・乾燥を、速やか、かつ効果的に行うことができるという長所がある。
図1は、本発明が対象とするワークの一例である電子部品実装用のプリント配線基板(以下、ワークと表記する)の一例を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)に示したX−X線における断面図である。
ワーク10には、6つの孔部11、12、13、14、15、16があり、それぞれの孔部端面11a、12a、13a、14a、15a、16a、及び外周縁部17の端面17aに膜形成液が塗布される。
さらに、ワーク10を挟み、上面マスキング板21と、下面マスキング板26とによりワークマスキングセット20が構成され、膜形成液の供給部32を備えた上型31、及び膜形成液の排出部37を備えた下型36により、ワークマスキングセット20を囲み、膜形成液充填部39が形成されることによって塗布装置1が構成されている。
また、図5を参照して説明するように、下面マスキング板26は下型36に固定され、上面マスキング板21は上型31に支持されていることが好ましい。
膜形成液充填部39内に膜形成液が充填されている間に、ワークマスキングセット20内に配置されたワーク10に対し、膜形成液が塗布される。すなわち、膜形成液が、ワーク10の孔部端面11a、12a、13a、14a、15a、16a、及び外周縁部端面17aのそれぞれに接することになり、それによって、膜形成液が塗布される。
膜形成液が、塗布装置1の膜形成液充填部39に充填されている間に、膜形成液充填部39内の膜形成液を加圧することにより、膜形成液の塗布効果をいっそう高めることもできる。
押さえ板27は、押さえ板27の開口部を介して膜形成液がワーク10の各端面に流れるようにするとともに、下面マスキング板26を、ワーク10の面に隙間なく接触させる押さえ部材としての働きをするものである。その効果を得るために、押さえ板27は、変形性の低い材料であるアルミニウムなどの金属、ポリカーボネート、アクリル、ABSなどの樹脂を用いることが好ましく、その厚さも、ワーク10の大きさに合わせて適宜選択することが好ましい。
外周縁ガスケット28、及び孔部周縁ガスケット29は、一般的に用いられている合成ゴム、天然ゴムなどであり、ガスケット塗布装置により形成することができる。
図4には、下面マスキング板26の例を示したが、上面マスキング板21についても、上下が逆であるだけであり、その他の構成は同じである。
この場合のガスケットは、押さえ板27と同じ開口部、すなわち、ワーク10と同じ孔部が形成された、合成ゴム、天然ゴムなどの弾性を有するシート状のものである。シート状のガスケットは、打ち抜き加工などにより容易に作製することができる。
また、上型31、下型36は、内部が観察できるように透明性を有しているもので、ポリカーボネート、アクリル、透明なABS樹脂などの樹脂で構成されていることが好ましい。
上型31が下型36の上方に離れて位置する状態で、ワーク10が、図5(a)の右方向から塗布装置1内に搬入され、下面マスキング板26上にセットされる。
塗布装置1としての形態が整った後、図5(c)に示したように、排出部37側の開閉バルブ37aを閉じた状態で、供給部32側の開閉バルブ32aを開き、塗布装置1内に膜形成液を導入し、膜形成液充填部39を膜形成液で満たす。この場合、膜形成液の導入前又は導入時に、膜形成液充填部39の空気抜きを行う。
この空気抜きは、後に説明するように、膜形成液の導入が減圧方式の場合は、膜形成液充填部39内を真空状態としておけばよく、膜形成液の導入が加圧方式の場合は、上型31の上部に空気抜き用の開閉バルブを設けておけばよい。
塗布装置1から膜形成液を排出した後、図6(e)に示したように、上型31を上昇させ、ワーク10から上面マスキング板21を取り外す。
次に、図6(f)に示したように、塗布装置1内からワーク10を搬出し、ワーク10の各端面への膜形成液の塗布を完了する。
ワーク10は、そのように支持された下面マスキング板26と、上面マスキング21とに挟まれてマスキングされている。したがって、ワーク10面を確実にマスキングするためには、上面マスキング板21と下面マスキング板26との間が、ワーク10の上面及び下面への膜形成液の浸み込みを防止できる程度に押圧されることが好ましい。
その方法のひとつとしては、上型31の上部に空気抜き用のバルブを設ける方法がある。すなわち、膜形成液充填部39内への膜形成液の充填が終わるまで、膜形成液充填部39内の空気を抜く方法である。
予め、下面マスキング板26、ワーク10、及び上面マスキング21によりワークマスキングセット20を構成しておき、ワークマスキングセット20を下型36に載置した後、上型31を下型36に重ね合わせることにより、塗布装置1としてもよい。
この場合には、複数のワークマスキングセット20を準備しておき、下型36と上型31との間に、ワークマスキングセット20の搬入、搬出を繰り返すことにより、連続的にワーク10の各端部への膜形成液の塗布を行う。
図7に示した塗布システム40の場合には、塗布装置1の供給部32に設けられた開閉バルブ32a、開閉バルブ32aに接続された膜形成液タンク41又は吸気部42への切り替えコック43を備えるとともに、排出部37に設けられた開閉バルブ37a、開閉バルブ37aに接続された気液分離タンク44、及び気液分離タンク44に接続された吸引装置45を備えている。
さらに、真空ポンプなどの吸引装置45により真空引きを続けるようにしてもよい。それにより、塗布装置1内に残留している可能性のある不要な膜形成液を排出するとともに、ワーク10の各端面の塗膜の乾燥を早めることができる。
このように、塗布システム40を用いることによって、供給部32から供給される膜形成液を排出部37側で吸引することにより、ワーク10の各端面に膜形成液を塗布することができる。
図7には、真空ポンプなどの吸引装置45を利用し、真空吸引することにより、塗布装置1内に膜形成液を導入する例を示したが、図8に示したように、加圧することにより、塗布装置1内に膜形成液を導入してもよい。
塗布システム50によるワーク10への膜形成液の塗布を行う場合には、塗布装置1の供給部32から膜形成液を圧入することにより、膜形成液を膜形成液充填部39に満たし、ワーク10の各端面への膜形成液の塗布を行う。
ワーク10の各端面に対し、十分に膜形成液を塗布するために、一定時間膜形成液が充填された状態で、かつ加圧状態を維持することが好ましい。
なお、塗布装置1には、膜形成液を導入する際に膜形成液充填部39内の空気を排出するための空気抜き用のバルブが設けられている。
図8に示した塗布システム50の場合には、塗布装置1の膜形成液充填部39に満たされた膜形成液を加圧することができる。そのため、ワーク10の各端面への膜形成液の塗布をより確実に行うことができるという長所がある。
さらに、小型の対象物の場合には、1組のワークマスキングセットに複数の対象物であるワークをセットすることにより、複数のワークに対し、同時に膜形成液を塗布することもできる。
すなわち、下型36内に配置された下面マスキング板26上に、ワーク10を載置し、ワーク10上に、上型31に支持された上面マスキング板21を載置することにより、ワークマスキングセット20を構成するとともに、上型31と下型36とにより、膜形成液充填部39を形成し、供給部32から膜形成液を導入することにより、膜形成液充填部39内に膜形成液を充填し、ワーク10の各端面に膜形成液を塗布した後、排出部37から膜形成液を排出し、上型31を上昇させ、ワーク10を取り出す。
膜形成液の排出後、さらに、供給部32を介して、膜形成液充填部39内に乾燥用空気を流し、排出部37からを排出することが好ましい。
さらに、ワークごとに、上面マスキング板及び下面マスキング板を交換することなく、上面マスキング板及び下面マスキング板を繰り返し使用することができる。そのため、連続的に、かつ高い効率で、ワークへの膜形成液の塗布を行うことができるという長所がある。
このほか、本発明の実施の形態に係る塗布装置は、構成が簡素であり、価格が安いという長所がある。
10 ワーク
11、12、13、14、15、16 孔部
11a、12a、13a、14a、15a、16a 孔部端面
17 外周縁部
17a 外周縁部端面
20 ワークマスキングセット
21 上面マスキング板
22a 上面マスキング板支持部材
22b 下面マスキング板支持部材
26 下面マスキング板
27 押さえ板
28 外周縁ガスケット
29 孔部周縁ガスケット
31 上型
31a、36a 外枠部
32 供給部
32a、37a 開閉バルブ
36 下型
37 排出部
39 膜形成液充填部
40、50 塗布システム
41、51 膜形成液タンク
42 吸気部
43、53 三方コック
44 トラップタンク
45 吸引装置
46a、46b、46c、46d、46e、56a、56b、56c、56d、56e、56f ホース
52 加圧装置
54 排液タンク
55 送気部
Claims (10)
- ワークの孔部端面及び外周縁部端面を除き、前記ワークの上面をマスキングする上面マスキング板と、前記ワークの下面をマスキングする下面マスキング板とを備え、
前記ワークを挟み、前記上面マスキング板と、前記下面マスキング板とによりワークマスキングセットが構成され、
膜形成液の供給部を備えた上型、及び前記膜形成液の排出部を備えた下型により、前記ワークマスキングセットを囲み、膜形成液充填部が形成されるように構成されていることを特徴とする塗布装置。 - 前記下面マスキング板が前記下型に固定され、前記上面マスキング板が前記上型に支持されていることを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
- 前記上面マスキング板、及び前記下面マスキング板における前記ワーク側の面の孔部周縁部、及び外周縁部に、マスキング用ガスケットを備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の塗布装置。
- 前記上面マスキング板、及び前記下面マスキング板における前記ワーク側の面に、前記ワークの孔部に対応する開口部を有するシート状ガスケットを備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の塗布装置。
- さらに、前記供給部に設けられた開閉バルブ、該開閉バルブに接続された膜形成液タンク又は吸気部への切り替えコックを備えるとともに、前記排出部に設けられた開閉バルブ、該開閉バルブに接続された気液分離タンク、及び該気液分離タンクに接続された吸引装置を備えていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかの項に記載の塗布装置。
- さらに、前記供給部に設けられた開閉バルブ、該開閉バルブに接続された膜形成液タンク及び送気部、前記膜形成液タンク及び送気部に接続された切り替えコック、該切り替えコックに接続された加圧装置を備えるとともに、前記排出部に設けられた開閉バルブ、該開閉バルブに接続された排液タンクを備えていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかの項に記載の塗布装置。
- 請求項1〜6のいずれかの項に記載の塗布装置に用いられるものであることを特徴とする上面マスキング板、及び/又は下面マスキング板。
- 請求項4に記載の塗布装置に用いられるものであることを特徴とするシート状ガスケット。
- 請求項1〜6のいずれかの項に記載の塗布装置を用いる塗布方法であって、
前記下型内に配置された前記下面マスキング板上に、前記ワークを載置し、
前記ワーク上に、前記上型に支持された前記上面マスキング板を載置することにより、前記ワークマスキングセットを構成するとともに、前記上型と前記下型とにより、前記膜形成液充填部を形成し、
前記供給部から前記膜形成液を導入することにより、前記膜形成液充填部内に前記膜形成液を充填し、前記ワークの各端面に前記膜形成液を塗布した後、前記排出部から前記膜形成液を排出し、
前記上型を上昇させ、前記ワークを取り出すことを特徴とする塗装方法。 - 前記膜形成液の排出後、さらに、前記供給部を介して、前記膜形成液充填部内に乾燥用空気を流し、前記排出部からを排出することを特徴とする請求項9に記載の塗装方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI781812B (zh) * | 2020-12-22 | 2022-10-21 | 日商埃納科技股份有限公司 | 塗敷裝置及塗敷方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6191998A (ja) * | 1984-10-12 | 1986-05-10 | 松下電工株式会社 | 金属ベ−スプリント基板の防錆方法 |
JPH06208983A (ja) * | 1992-06-17 | 1994-07-26 | Santa Barbara Res Center | 半導体ウェハ等の湿式化学処理装置 |
JP2000225369A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-08-15 | Takuji Nakamura | 塗装方法および装置 |
US20080050533A1 (en) * | 2006-08-22 | 2008-02-28 | Deere & Company, A Delaware Corporation | Method and system for coating a workpiece |
JP2014087733A (ja) * | 2012-10-30 | 2014-05-15 | Denso Corp | 塗布装置 |
CN104741287A (zh) * | 2013-12-30 | 2015-07-01 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 成膜方法 |
JP2018008210A (ja) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | 株式会社エナテック | 塗布装置及び塗布方法 |
-
2018
- 2018-04-25 JP JP2018083747A patent/JP7050563B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6191998A (ja) * | 1984-10-12 | 1986-05-10 | 松下電工株式会社 | 金属ベ−スプリント基板の防錆方法 |
JPH06208983A (ja) * | 1992-06-17 | 1994-07-26 | Santa Barbara Res Center | 半導体ウェハ等の湿式化学処理装置 |
JP2000225369A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-08-15 | Takuji Nakamura | 塗装方法および装置 |
US20080050533A1 (en) * | 2006-08-22 | 2008-02-28 | Deere & Company, A Delaware Corporation | Method and system for coating a workpiece |
JP2014087733A (ja) * | 2012-10-30 | 2014-05-15 | Denso Corp | 塗布装置 |
CN104741287A (zh) * | 2013-12-30 | 2015-07-01 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 成膜方法 |
JP2018008210A (ja) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | 株式会社エナテック | 塗布装置及び塗布方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI781812B (zh) * | 2020-12-22 | 2022-10-21 | 日商埃納科技股份有限公司 | 塗敷裝置及塗敷方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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