JP2019175832A - 表示パネル、表示装置、表示モジュール、及び電子機器 - Google Patents

表示パネル、表示装置、表示モジュール、及び電子機器 Download PDF

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Abstract

【課題】表示品位の高い表示パネルまたは表示装置を提供する。【解決手段】発光素子110と、絶縁層103と、保護層105と、導電層107と、を有する表示パネルである。発光素子110は、第1の電極111と、発光層112と、第2の電極113と、を有する。発光素子110は、保護層105側に光を射出する。絶縁層103、104は、第1の電極111と重なる第1の開口を有する。絶縁層103,104は、第1の電極111の端部を覆う。発光層112は、第1の開口を介して、第1の電極111と重なる。第2の電極113は、発光層112上に位置する。保護層105は、第2の電極113上に接する。保護層105は、発光素子110の保護層として機能する。保護層105は、絶縁層103と重なる第2の開口を有する。導電層107は、第2の開口を介して、第2の電極113と接続される。導電層107は、第2の電極の補助配線として機能する。【選択図】図1

Description

本発明の一態様は、表示パネル、表示装置、表示モジュール、及び電子機器に関する。
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置、電子機器、照明装置、入力装置(例えば、タッチセンサなど)、入出力装置(例えば、タッチパネルなど)、それらの駆動方法、又はそれらの製造方法を一例として挙げることができる。
近年、解像度の高い表示パネルが求められている。例えば、フルハイビジョン(画素数1920×1080)、4K(画素数3840×2160もしくは4096×2160等)、さらには8K(画素数7680×4320もしくは8192×4320等)といった画素数の多い表示パネルが盛んに開発されている。
また、表示パネルの大型化が求められている。例えば、家庭用のテレビジョン装置では、画面サイズが対角50インチを超えるものが主流となっている。画面のサイズが大きいほど、一度に表示可能な情報量を多くできるため、デジタルサイネージ等では更なる大画面化が求められている。
エレクトロルミネッセンス(Electroluminescence、以下ELと記す)現象を利用した発光素子(EL素子とも記す)は、薄型軽量化が容易である、入力信号に対し高速に応答可能である、直流低電圧電源を用いて駆動可能である等の特徴を有し、表示パネルへの応用が検討されている。例えば、特許文献1に、有機EL素子が適用された、可撓性を有する発光装置が開示されている。
特開2014−197522号公報
上面射出(トップエミッション)構造の表示パネルは、トランジスタ、容量素子、及び配線等を、発光素子の発光領域と重ねて配置することができるため、下面射出(ボトムエミッション)構造の表示パネルに比べて、画素の開口率を高めることができる。一方で、トップエミッション構造の表示パネルでは、発光素子が発した光を、共通電極を介して外部に取り出すため、共通電極が可視光を透過する必要がある。可視光を透過する導電材料を用いることで、共通電極の抵抗が高くなるという問題が生じる。共通電極の抵抗に起因する電圧降下が生じることで、表示面内の電位分布が不均一になり、発光素子の輝度がばらついて、表示品位が低下してしまう。
本発明の一態様は、表示パネルまたは表示装置の表示ムラまたは輝度ムラの抑制を課題の一とする。本発明の一態様は、表示品位の高い表示パネルまたは表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、信頼性の高い表示パネルまたは表示装置を提供することを課題の一とする。
本発明の一態様は、表示装置の大型化を課題の一とする。本発明の一態様は、継ぎ目が視認されにくい広い表示領域を有する表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、表示装置の薄型化または軽量化を課題の一とする。本発明の一態様は、曲面に沿って表示することが可能な表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、一覧性に優れた表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、新規な表示パネルまたは表示装置を提供することを課題の一とする。
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。本発明の一態様は、必ずしも、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。明細書、図面、請求項の記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
本発明の一態様の表示パネルは、発光素子と、第1の絶縁層と、保護層と、導電層と、を有する。発光素子は、第1の電極と、発光層と、第2の電極と、を有する。発光素子は、保護層側に光を射出する。第1の絶縁層は、第1の電極と重なる第1の開口を有する。第1の絶縁層は、第1の電極の端部を覆う。発光層は、第1の開口を介して、第1の電極と重なる。第2の電極は、発光層上に位置する。保護層は、第2の電極上に接する。保護層は、第1の絶縁層と重なる第2の開口を有する。導電層は、第2の開口を介して、第2の電極と接続される。
第2の電極は、発光層の端部を覆うことが好ましい。
第1の絶縁層は、無機絶縁層を有することが好ましい。
導電層の抵抗率は、第2の電極の抵抗率よりも低いことが好ましい。
保護層は、無機膜を有することが好ましい。保護層は、有機絶縁膜を有していてもよい。保護層は、無機膜(好ましくは無機絶縁膜)及び有機絶縁膜のうち一方または双方を有することができる。
本発明の一態様の表示パネルは、さらに、第2の絶縁層を有することが好ましい。第2の絶縁層は、導電層上に位置する。第2の絶縁層は、保護層と接する部分を有することが好ましい。
第1の絶縁層は、保護層と接する部分を有することが好ましい。
本発明の一態様は、上記構成のいずれかの表示パネルと、回路基板と、を有する、表示モジュールである。
本発明の一態様は、上記構成の表示モジュールと、アンテナ、バッテリ、筐体、カメラ、スピーカ、マイク、または操作ボタンの少なくともいずれか一と、を有する、電子機器である。
本発明の一態様の表示装置は、第1の表示パネル及び第2の表示パネルを有する。第1の表示パネルは、第1の表示領域を有する。第2の表示パネルは、第2の表示領域及び可視光を透過する領域を有する。第2の表示領域は、可視光を透過する領域と隣接する。第1の表示領域は、可視光を透過する領域と重なる部分を有する。第1の表示領域は、第1の発光素子と、第1の絶縁層と、第1の保護層と、第1の導電層と、を有する。第1の発光素子は、第1の電極と、第1の発光層と、第2の電極と、を有する。第1の発光素子は、第1の保護層側に光を射出する。第1の絶縁層は、第1の電極と重なる第1の開口を有する。第1の絶縁層は、第1の電極の端部を覆う。第1の発光層は、第1の開口を介して、第1の電極と重なる。第2の電極は、第1の発光層上に位置する。第1の保護層は、第2の電極上に接する。第1の保護層は、第1の絶縁層と重なる第2の開口を有する。第1の導電層は、第2の開口を介して、第2の電極と接続される。
上記表示装置において、第2の表示領域は、第2の発光素子と、第2の絶縁層と、第2の保護層と、第2の導電層と、を有することが好ましい。第2の発光素子は、第3の電極と、第2の発光層と、第4の電極と、を有する。第2の発光素子は、第2の保護層側に光を射出する。第2の絶縁層は、第3の電極と重なる第3の開口を有する。第2の絶縁層は、第3の電極の端部を覆う。第2の発光層は、第3の開口を介して、第3の電極と重なる。第4の電極は、第2の発光層上に位置する。第2の保護層は、第4の電極上に接する。第2の保護層は、第2の絶縁層と重なる第4の開口を有する。第2の導電層は、第4の開口を介して、第4の電極と接続される。
本発明の一態様により、表示パネルまたは表示装置の表示ムラまたは輝度ムラの抑制が可能となる。本発明の一態様により、表示品位の高い表示パネルまたは表示装置を提供できる。本発明の一態様により、信頼性の高い表示パネルまたは表示装置を提供できる。
本発明の一態様により、表示装置の大型化が可能となる。本発明の一態様により、継ぎ目が視認されにくい広い表示領域を有する表示装置を提供できる。本発明の一態様により、表示装置の薄型化または軽量化が可能となる。本発明の一態様により、曲面に沿って表示することが可能な表示装置を提供できる。本発明の一態様により、一覧性に優れた表示装置を提供できる。本発明の一態様により、新規な表示パネルまたは表示装置を提供できる。
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。明細書、図面、請求項の記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
表示パネルの一例を示す上面図及び断面図。 表示パネルの一例を示す上面図及び断面図。 表示パネルの一例を示す断面図。 表示パネルの一例を示す上面図、及び表示パネルの配置例を示す斜視図。 表示パネルの一例を示す上面図及び断面図。 表示パネルの一例を示す断面図。 トランジスタの構成例を示す断面図。 表示パネルの一例を示す断面図。 表示パネルの一例を示す断面図。 表示パネルの配置例を示す斜視図、上面図、及び断面図。 表示パネルの一例を示す斜視図。 表示パネルの一例を示す斜視図、上面図、及び断面図。 表示パネルの配置例を示す斜視図、上面図、及び断面図。 表示パネルの配置例を示す斜視図、上面図、及び断面図。 表示装置の一例を示すブロック図。 電子機器の一例を示す図。 実施例1の表示パネルの断面写真。
実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
なお、以下に説明する発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。また、同様の機能を指す場合には、ハッチパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。
また、図面において示す各構成の、位置、大きさ、範囲などは、理解の簡単のため、実際の位置、大きさ、範囲などを表していない場合がある。このため、開示する発明は、必ずしも、図面に開示された位置、大きさ、範囲などに限定されない。
なお、「膜」という言葉と、「層」という言葉とは、場合によっては、又は、状況に応じて、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」という用語を、「導電膜」という用語に変更することが可能である。または、例えば、「絶縁膜」という用語を、「絶縁層」という用語に変更することが可能である。
(実施の形態1)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示パネル及び表示装置について図1〜図7を用いて説明する。
[表示パネルの具体例1]
図1(A)、(B)に、表示パネルの画素部の上面図をそれぞれ示す。図1(A)、(B)に示す一点鎖線A1−A2間の断面図を、図1(C)〜(E)にそれぞれ示す。
図1(A)、(B)に示す表示パネルの画素部には、発光素子の発光領域である領域121が複数設けられている。当該画素部には、発光素子を覆う保護層105が設けられている。保護層105として、バリア性の高い膜を用いることで、発光素子に水分や酸素などの不純物が入り込むことを抑制できる。これにより、発光素子の劣化を抑制し、表示パネルの信頼性を高めることができる。
また、保護層105上には、補助配線107が設けられている。補助配線107は、領域122において、発光素子が有する共通電極と接続されている。領域122は、保護層105の開口部に相当する。共通電極が補助配線107と電気的に接続されているため、共通電極の抵抗に起因する電圧降下を抑制できる。これにより、表示パネルの輝度ムラを抑制し、表示パネルの表示品位を高めることができる。
補助配線107は開口を有し、当該開口の内側に領域121が設けられている。領域121は、補助配線107に囲まれているということもできる。図1(A)は、補助配線107が、領域121(発光素子)を1つずつ囲んでいる例である。図1(B)は、補助配線107が、領域121(発光素子)を3つずつ囲んでいる例である。このように、補助配線107は、様々なレイアウトを適用することができ、補助配線107に設けられる開口の大きさ及び数などは特に限定されない。
図1(C)に示す表示パネルの画素部は、基板101、発光素子110、絶縁層103、保護層105、及び補助配線107を有する。
発光素子110は、画素電極111、EL層112、及び共通電極113を有する。画素電極111は、基板101上に設けられ、EL層112は、画素電極111上に設けられ、共通電極113は、EL層112上に設けられている。発光素子110は、保護層105側に光を射出する。
画素電極111及び共通電極113の間に、発光素子の閾値電圧より高い電圧を印加すると、EL層112に陽極側から正孔が注入され、陰極側から電子が注入される。注入された電子と正孔はEL層112において再結合し、EL層112に含まれる発光物質が発光する。
本発明の一態様の表示パネルは、トップエミッション構造であるため、画素電極111は、光を取り出さない側の電極である。画素電極111は、可視光を反射する導電膜を有することが好ましい。
可視光を反射する導電膜は、例えば、アルミニウム、金、白金、銀、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、もしくはパラジウム等の金属材料、又はこれら金属材料を含む合金を用いることができる。また、上記金属材料又は合金に、ランタン、ネオジム、又はゲルマニウム等が添加されていてもよい。また、アルミニウムとチタンの合金、アルミニウムとニッケルの合金、アルミニウムとネオジムの合金、アルミニウム、ニッケル、及びランタンの合金(Al−Ni−La)等のアルミニウムを含む合金(アルミニウム合金)、銀と銅の合金、銀とパラジウムと銅の合金(Ag−Pd−Cu、APCとも記す)、又は銀とマグネシウムの合金等の銀を含む合金を用いて形成することができる。銀と銅を含む合金は、耐熱性が高いため好ましい。さらに、アルミニウム合金膜に接する金属膜又は金属酸化物膜を積層することで、アルミニウム合金膜の酸化を抑制することができる。該金属膜、金属酸化物膜の材料としては、チタン、酸化チタンなどが挙げられる。また、後述する可視光を透過する導電膜と上記金属材料または合金を含む導電膜とを積層してもよい。例えば、銀とインジウム錫酸化物(ITO:Indium Tin Oxide)の積層膜、銀とマグネシウムの合金とITOの積層膜などを用いることができる。
EL層112は、少なくとも発光層を有する。EL層112は、複数の発光層を有していてもよい。EL層112は、発光層以外の層として、正孔注入性の高い物質、正孔輸送性の高い物質、正孔ブロック材料、電子輸送性の高い物質、電子注入性の高い物質、又はバイポーラ性の物質(電子輸送性及び正孔輸送性が高い物質)等を含む層をさらに有していてもよい。EL層112は、1種または複数種の発光物質を含む。
EL層112には低分子系化合物及び高分子系化合物のいずれを用いることもでき、無機化合物を含んでいてもよい。EL層112を構成する層は、それぞれ、蒸着法(真空蒸着法を含む)、転写法、印刷法、インクジェット法、塗布法等の方法で形成することができる。
発光素子110は、EL層を1つ有するシングル素子であってもよいし、複数のEL層が電荷発生層を介して積層されたタンデム素子であってもよい。
本発明の一態様では、量子ドットなどの無機化合物を用いた発光素子を適用してもよい。
共通電極113は、光を取り出す側の電極である。共通電極113は、可視光を透過する導電膜を有することが好ましい。
可視光を透過する導電膜は、例えば、酸化インジウム、ITO、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛(ZnO)、ガリウム亜鉛酸化物(Ga−Zn酸化物)、アルミニウム亜鉛酸化物(Al−Zn酸化物)などを用いて形成することができる。また、金、銀、白金、マグネシウム、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、もしくはチタン等の金属材料、これら金属材料を含む合金、又はこれら金属材料の窒化物(例えば、窒化チタン)等も、透光性を有する程度に薄く形成することで用いることができる。また、上記材料の積層膜を導電膜として用いることができる。例えば、銀とマグネシウムの合金とITOの積層膜などを用いると、導電性を高めることができるため好ましい。また、グラフェン等を用いてもよい。
画素電極111及び共通電極113は、それぞれ、蒸着法又はスパッタリング法を用いて形成することができる。そのほか、インクジェット法などの吐出法、スクリーン印刷法などの印刷法、又はメッキ法を用いて形成することができる。
絶縁層103は、基板101上に設けられている。絶縁層103は、画素電極111と重なる開口を有する。図1(C)に示す領域121は、絶縁層103が開口されている部分である。絶縁層103は、画素電極111の端部を覆っている。
EL層112は、領域121において、画素電極111と重なる。具体的には、絶縁層103に設けられた開口を介して、画素電極111とEL層112とが互いに接している。また、共通電極113は、領域121において、画素電極111及びEL層112と重なる。上述の通り、領域121は、発光素子の発光領域である。
保護層105は、共通電極113上に設けられている。保護層105は、絶縁層103と重なる開口を有する。図1(C)に示す領域122は、保護層105が開口されている部分である。保護層105に設けられた開口を介して、共通電極113と補助配線107とが互いに接している。発光素子110の発光は、保護層105を介して、表示パネルの外部に取り出されるため、保護層105は、可視光に対する透過性が高いことが好ましい。
絶縁層103及び保護層105は、それぞれ、無機膜(または無機絶縁膜)を有することが好ましい。発光素子110を無機膜で囲むことで、水分や酸素などの不純物が外部から発光素子110に入り込むことを抑制できる。発光素子110を構成する有機化合物や金属材料が、不純物と反応することで、発光素子110は劣化してしまうことがある。このことから、発光素子110に不純物が入りにくい構成を適用することで、発光素子110の劣化が抑制され、発光素子110の信頼性を高めることができる。
図1(C)に示すように、2つの発光素子が有するEL層112が互いに分離している場合、EL層112の端部を共通電極113が覆い、EL層112の端部よりも外側で、共通電極113が、絶縁層103及び保護層105と接していることが好ましい。特に、これら3つの層(すなわち、共通電極113、絶縁層103、及び保護層105)が無機膜であると、不純物をEL層112に入りにくくすることができ、好ましい。
無機膜(または無機絶縁膜)は、防湿性が高く、水が拡散、透過しにくいことが好ましい。さらに、無機膜(または無機絶縁膜)は、水素及び酸素の一方または双方が拡散、透過しにくいことが好ましい。これにより、無機膜(または無機絶縁膜)をバリア膜として機能させることができる。そして、発光素子110に対して外部から不純物が拡散することを効果的に抑制でき、信頼性の高い表示パネルを実現できる。
絶縁層103は、1層以上の絶縁膜により形成することができる。保護層105は、1層以上の絶縁膜を有することが好ましい。絶縁層103及び保護層105には、それぞれ、酸化絶縁膜、窒化絶縁膜、酸化窒化絶縁膜、及び窒化酸化絶縁膜などを用いることができる。酸化絶縁膜としては、酸化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化ゲルマニウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ランタン膜、酸化ネオジム膜、酸化ハフニウム膜、及び酸化タンタル膜などが挙げられる。窒化絶縁膜としては、窒化シリコン膜及び窒化アルミニウム膜などが挙げられる。酸化窒化絶縁膜としては、酸化窒化シリコン膜などが挙げられる。窒化酸化絶縁膜としては、窒化酸化シリコン膜などが挙げられる。
なお、本明細書などにおいて、酸化窒化物とは、その組成として、窒素よりも酸素の含有量が多い材料を指し、窒化酸化物とは、その組成として、酸素よりも窒素の含有量が多い材料を指す。
特に、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、及び酸化アルミニウム膜は、それぞれ防湿性が高いため、絶縁層103及び保護層105として好適である。
また、保護層105には、ITO、Ga−Zn酸化物、Al−Zn酸化物、またはIn−Ga−Zn酸化物などを含む無機膜を用いることもできる。当該無機膜は、高抵抗であることが好ましく、具体的には、共通電極113よりも高抵抗であることが好ましい。当該無機膜は、さらに窒素を含んでいてもよい。
例えば、共通電極113に用いる可視光を透過する導電膜と、保護層105に用いる可視光を透過する無機膜と、は、共通の金属元素を有していてもよい。当該2つの膜が共通の金属元素を有することで、共通電極113と保護層105の密着性を高めることができ、膜剥がれや、界面から不純物が入り込むことを抑制できる。
例えば、共通電極113に、第1のITO膜を用い、保護層105に、第2のITO膜を用いることができる。第2のITO膜は、第1のITO膜よりも抵抗率の高い膜であることが好ましい。また、例えば、共通電極113に、第1のGa−Zn酸化物膜を用い、保護層105に、第2のGa−Zn酸化物膜を用いることができる。第2のGa−Zn酸化物膜は、第1のGa−Zn酸化物膜よりも抵抗率の高い膜であることが好ましい。
Gaと、Znと、Oと、を含む無機膜は、例えば、Ga−Zn−O系金属酸化物ターゲット(GaとZnOの混合焼結体)を用い、酸素雰囲気下やアルゴン及び酸素混合雰囲気下で成膜することで得られる。また、Alと、Znと、Oと、を含む絶縁膜は、例えば、Al−Zn−O系金属酸化物ターゲット(AlとZnOの混合焼結体)を用い、同様の雰囲気下で成膜することで得られる。また、同様のターゲットを用い、アルゴン、酸素及び窒素混合雰囲気下で成膜することで、Ga又はAlと、Znと、Oと、Nと、を含む無機膜を得ることができる。
絶縁層103及び保護層105は、それぞれ、20℃における固有抵抗が1010Ωcm以上であることが好ましい。
絶縁層103及び保護層105は、それぞれ、化学気相堆積(CVD:Chemical Vapor Deposition)法(プラズマ化学気相堆積(PECVD:Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)法など)、スパッタリング法(DCスパッタリング法、RFスパッタリング法、イオンビームスパッタリング法など)、原子層成膜(ALD:Atomic Layer Deposition)法等を用いて形成することができる。
スパッタリング法及びALD法は、低温での成膜が可能である。発光素子110に含まれるEL層112は、耐熱性が低い。このため、発光素子110を作製した後に形成する保護層105は、比較的低温、代表的には100℃以下で形成することが好ましく、スパッタリング法及びALD法が適している。
また、発光素子110を作製する前に形成する絶縁層103は、高温での成膜が可能である。成膜時の基板温度を高温(例えば、100℃以上350℃以下)とすることで、緻密でバリア性の高い膜を形成することができる。絶縁層103の形成には、スパッタリング法及びALD法だけでなく、CVD法も好適である。CVD法は、成膜速度が速いため、好ましい。
絶縁層103または保護層105として、それぞれ異なる成膜方法を用いて形成された絶縁膜を2層以上積層してもよい。
例えば、まず、スパッタリング法を用いて、1層目の無機膜を形成し、ALD法を用いて2層目の無機膜を形成することが好ましい。
スパッタリング法で形成される膜は、ALD法で形成される膜よりも、不純物が少なく密度が高い。ALD法で形成される膜は、スパッタリング法で形成される膜よりも、段差被覆性が高く、被成膜面の形状の影響を受けにくい。
1層目の無機膜は、不純物が少なく密度が高い。2層目の無機膜は、被形成面の段差の影響で1層目の無機膜が十分に被覆されなかった部分を覆って形成される。これにより、一方の無機膜のみを形成する場合に比べて、水などの拡散をより低減することが可能な保護層を形成することができる。
具体的には、まず、スパッタリング法を用いて、酸化アルミニウム膜、酸化ジルコニウム膜、ITO膜、Ga−Zn酸化物膜、Al−Zn酸化物膜、またはIn−Ga−Zn酸化物膜を形成し、次に、ALD法を用いて、酸化アルミニウム膜または酸化ジルコニウム膜を形成することが好ましい。
スパッタリング法を用いて形成する無機膜の厚さは、50nm以上1000nm以下が好ましく、100nm以上300nm以下がより好ましい。
ALD法を用いて形成する無機膜の厚さは、1nm以上100nm以下が好ましく、5nm以上50nm以下がより好ましい。
絶縁層103及び保護層105の水蒸気透過率は、それぞれ、1×10−2g/(m・day)未満、好ましくは5×10−3g/(m・day)以下、好ましくは1×10−4g/(m・day)以下、好ましくは1×10−5g(m・day)以下、好ましくは1×10−6g/(m・day)以下である。水蒸気透過率が低いほど、外部からトランジスタ及び発光素子への水の拡散を低減することができる。
絶縁層103の厚さ及び保護層105の厚さは、それぞれ、1nm以上1000nm以下であり、50nm以上500nm以下が好ましく、100nm以上300nm以下がより好ましい。絶縁層の厚さが薄いほど、表示パネル全体の厚さも薄くすることができ、好ましい。絶縁層の厚さが薄いほどスループットが向上するため、表示パネルの生産性を高めることができる。
補助配線107は、共通電極113よりも抵抗率の低い膜である。補助配線107は、例えば、モリブデン、チタン、クロム、タンタル、タングステン、アルミニウム、銅、銀、ネオジム、スカンジウム等の金属材料またはこれらの元素を含む合金材料を用いて、単層または積層で形成することができる。補助配線107に用いる材料の抵抗率は、共通電極113に用いる材料の抵抗率よりも低いことが好ましい。
図1(D)に示すように、表示パネルは、保護層105及び補助配線107を覆う無機絶縁層109を有していてもよい。または、図1(E)に示すように、表示パネルは、保護層105及び補助配線107を覆う有機絶縁層108及び無機絶縁層109を有していてもよい。なお、補助配線107上に形成する有機絶縁層と無機絶縁層の積層順及び積層数は特に限定されない。補助配線107上に形成する絶縁層は、無機絶縁膜及び有機絶縁膜の一方または双方を用いた、単層構造または積層構造とすることができる。
無機絶縁層109は、絶縁層103及び保護層105に用いることができる無機絶縁膜を用いることができる。
有機絶縁層108に用いることができる有機絶縁材料としては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、ポリシロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、及びフェノール樹脂等が挙げられる。
図1(E)に示すように、絶縁層103の代わりに、平坦化機能を有する絶縁層104を用いてもよい。例えば、絶縁層104は、有機絶縁層108に用いることができる有機絶縁材料を用いて形成することが好ましい。
画素電極111の端部を覆う絶縁層として、無機絶縁膜を用いると、有機絶縁膜を用いる場合に比べて、発光素子110に不純物が入りにくく、発光素子110の信頼性を高めることができる。画素電極111の端部を覆う絶縁層として、有機絶縁膜を用いると、無機絶縁膜を用いる場合に比べて、段差被覆性が高く、画素電極111の形状の影響を受けにくい。そのため、発光素子110のショートを防止できる。
なお、絶縁層103(または絶縁層104)及び保護層105は、それぞれ、無機絶縁膜及び有機絶縁膜の一方または双方を用いた、単層構造または積層構造とすることができる。
[表示パネルの具体例2]
図2(A)に、表示パネルの上面図を示す。図2(B)に、表示パネル360Aの断面図を示す。図2(B)は、図2(A)に示す一点鎖線B1−B2間及び一点鎖線B3−B4間の断面図に相当する。
図2(A)に示す表示パネルは、画素部71、接続部75、及び駆動回路78を有する。表示パネルにはFPC74が接続されている。
表示パネル360Aは、塗り分け方式が適用されたトップエミッション構造の表示パネルである。
図2(B)に示すように、表示パネル360Aは、基板361、絶縁層367、トランジスタ301、302、303、容量素子305、導電層356、357、絶縁層314、発光素子110、絶縁層104、保護層105、補助配線107、無機絶縁層109、及び基板371等を有する。
発光素子110は、画素電極111、EL層112、及び共通電極113を有する。画素電極111は、トランジスタ303のソースまたはドレインと電気的に接続されている。これらは、直接接続されるか、他の導電層を介して接続される。EL層112は、発光素子110ごとに設けられており、EL層112の端部は、共通電極113に覆われている。共通電極113は、EL層112の端部を覆い、EL層112の端部の外側で絶縁層104と接している。
発光素子110は、さらに、光学調整層114を有する。発光素子110に、マイクロキャビティ構造を適用することで、表示パネルから色純度の高い光を取り出すことができる。
絶縁層104は、画素電極111の端部及び光学調整層114の端部を覆っている。隣り合う2つの画素電極111は、絶縁層104によって電気的に絶縁されている。
保護層105は、接続部75において、共通電極113の端部を覆い、共通電極113の端部の外側で絶縁層104及び無機絶縁層109と接している。これにより、共通電極113に不純物が入り込むことを抑制できる。
さらに、保護層105及び無機絶縁層109は、表示パネル360Aの端部及びその近傍において、絶縁層314の端部及び絶縁層104の端部を覆い、保護層105は、絶縁層314の端部及び絶縁層104の端部の外側で、絶縁層313と接している。本実施の形態の表示パネルは、各種絶縁層及び保護層105において、有機膜の端部よりも無機膜(または無機絶縁膜)の端部が外側に位置するように設けられ、表示パネルの端部及びその近傍において、無機膜(または無機絶縁膜)どうしが接して積層されることが好ましい。これにより、表示パネルの外部から水分等の不純物が入り込みにくくなり、トランジスタ及び発光素子110の劣化を抑制することができる。
補助配線107は、保護層105の開口部を介して、共通電極113と電気的に接続されている。保護層105の開口部は、絶縁層104上に設けられる。補助配線107は、無機絶縁層109に覆われている。
発光素子110、絶縁層104、保護層105、補助配線107、及び無機絶縁層109については、表示パネルの具体例1での説明も参照できる。
基板361と基板371とは、接着層318によって貼り合わされている。基板361、基板371、及び接着層318で封止された空間320は、窒素やアルゴンなどの不活性ガス、または樹脂で充填されていることが好ましい。
基板361及び基板371には、ガラス、石英、樹脂、金属、合金、半導体などの材料を用いることができる。発光素子からの光を取り出す側の基板には、該光を透過する材料を用いる。基板361及び基板371として、可撓性を有する基板を用いることが好ましい。
接着層には、紫外線硬化型等の光硬化型接着剤、反応硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、嫌気型接着剤などの各種硬化型接着剤を用いることができる。また、接着シート等を用いてもよい。
駆動回路78はトランジスタ301を有する。画素部71は、トランジスタ302及びトランジスタ303を有する。
各トランジスタは、ゲート、ゲート絶縁層311、半導体層、バックゲート、ソース、及びドレインを有する。ゲート(下側のゲート)と半導体層は、ゲート絶縁層311を介して重なる。ゲート絶縁層311の一部は、容量素子305の誘電体としての機能を有する。トランジスタ302のソースまたはドレインとして機能する導電層は、容量素子305の一方の電極を兼ねる。バックゲート(上側のゲート)と半導体層は、絶縁層312及び絶縁層313を介して重なる。2つのゲートは電気的に接続されていることが好ましい。
駆動回路78と画素部71とで、トランジスタの構造が異なっていてもよい。駆動回路78及び画素部71は、それぞれ、複数の種類のトランジスタを有していてもよい。
容量素子305は、一対の電極と、その間の誘電体とを有する。容量素子305は、トランジスタのゲート(下側のゲート)と同一の材料、及び同一の工程で形成した導電層と、トランジスタのソース及びドレインと同一の材料、及び同一の工程で形成した導電層と、を有する。
トランジスタ、容量素子、及び配線等を、発光素子110の発光領域と重ねて配置することで、画素部71の開口率を高めることができる。
絶縁層312、絶縁層313、及び絶縁層314のうち、少なくとも一層には、水または水素などの不純物が拡散しにくい材料を用いることが好ましい。外部から不純物がトランジスタに拡散することを効果的に抑制することが可能となり、表示パネルの信頼性を高めることができる。絶縁層314は、平坦化層としての機能を有する。
絶縁層367は、下地膜としての機能を有する。絶縁層367には、水または水素などの不純物が拡散しにくい材料を用いることが好ましい。
接続部306は、導電層307を有する。導電層307は、トランジスタのソース及びドレインと同一の材料、及び同一の工程で形成することができる。導電層307は、駆動回路78に外部からの信号や電位を伝達する外部入力端子と電気的に接続する。ここでは、外部入力端子としてFPC74を設ける例を示している。接続体319を介してFPC74と導電層307は電気的に接続する。
接続体319としては、様々な異方性導電フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)及び異方性導電ペースト(ACP:Anisotropic Conductive Paste)などを用いることができる。
接続部75は、画素部71の外側に設けられており、共通電極113が、導電層357及び導電層356と電気的に接続される部分である。導電層356は、トランジスタのソース及びドレインと同一の材料、及び同一の工程で形成することができる。導電層357は、画素電極111と同一の材料、及び同一の工程で形成することができる。このように、トランジスタまたは発光素子が有する導電層と同一の材料及び同一の工程で形成した導電層と、共通電極113とを電気的に接続させることで、共通電極113の抵抗に起因する電圧降下を抑制し、表示パネルの表示ムラを低減させることができる。
本発明の一態様では、補助配線107と接続部75の双方を有するため、共通電極113の抵抗に起因する電圧降下を抑制し、表示パネルの表示ムラを低減させることができる。接続部75は、画素部71の四方を囲むように設けられていることが好ましい。
[表示パネルの具体例3]
図3(A)に、表示パネル360Bの断面図を示す。図3(A)は、図2(A)に示す一点鎖線B1−B2間及び一点鎖線B3−B4間の断面図に相当する。
図3(A)に示す表示パネル360Bは、基板371側に着色層131及び遮光層132が設けられており、EL層112が複数の画素に渡って設けられている点で、表示パネル360Aと異なる。表示パネル360Aと共通の点については説明を省略する。
表示パネル360Aでは、塗り分け方式を適用する例を示したが、表示パネル360Bのように、カラーフィルタ方式を適用することもできる。
着色層131は特定の波長域の光を透過する有色層である。例えば、赤色、緑色、青色、又は黄色の波長域の光を透過するカラーフィルタなどを用いることができる。着色層131に用いることのできる材料としては、金属材料、樹脂材料、顔料又は染料が含まれた樹脂材料などが挙げられる。
遮光層132は、隣接する着色層131の間に設けられている。遮光層132は隣接する発光素子110からの発光を遮り、隣接する発光素子110間における混色を抑制する。ここで、着色層131の端部を、遮光層132と重なるように設けることにより、光漏れを抑制することができる。遮光層132としては、発光素子110からの発光を遮る材料を用いることができ、例えば、金属材料、又は、顔料もしくは染料を含む樹脂材料等を用いてブラックマトリクスを形成することができる。なお、遮光層132は、駆動回路78などの画素部71以外の領域に設けると、導波光などによる意図しない光漏れを抑制できるため好ましい。
EL層112の端部よりも外側で、共通電極113は、導電層357及び導電層356と電気的に接続される(図3(A)の接続部75参照)。
このように、カラーフィルタ方式の表示パネルにおいても、補助配線107と接続部75の双方を設けることで、共通電極113の抵抗に起因する電圧降下を抑制し、表示パネルの表示ムラを低減させることができる。
さらに、図3(A)に示す保護層105及び無機絶縁層109は、表示パネル360Bの端部及びその近傍において、絶縁層314の端部及び絶縁層104の端部を覆い、保護層105は、絶縁層314の端部及び絶縁層104の端部の外側で、絶縁層313と接している。表示パネルの端部及びその近傍において、有機絶縁膜が設けられていなく、無機膜(または無機絶縁膜)どうしが接している部分を有することで、表示パネルの外部から水分等の不純物が入り込みにくくなり、トランジスタ及び発光素子110の劣化を抑制することができる。
なお、図3(B)に、表示パネルの端部及びその近傍の変形例を示す。図3(B)では、絶縁層314に絶縁層313に達する開口308が設けられており、当該開口308において、絶縁層313と保護層105とが接している。このように、有機絶縁膜が表示パネルの端部にまで存在する場合であっても、当該有機絶縁膜が開口を有し、当該開口で無機膜(または無機絶縁膜)どうしが接することで、表示パネルの外部から水分等の不純物が入り込みにくくなり、トランジスタ及び発光素子110の劣化を抑制することができる。
なお、図3(B)において、導電層307は、導電層355及び接続体319を介してFPC74と電気的に接続される。
[表示装置の具体例]
次に、複数の表示パネルを有する表示装置について、図4を用いて説明する。
図4(A)に、表示パネルDPの上面図を示し、図4(B)、(C)に、表示パネルDPを4つ有する表示装置の斜視図を示す。
複数の表示パネルDPを一以上の方向(例えば、一列またはマトリクス状等)に並べることで、広い表示領域を有する表示装置を作製することができる。
複数の表示パネルDPを用いて大型の表示装置を作製する場合、1つの表示パネルDPの大きさは大型である必要がない。したがって、表示パネルDPを作製するための製造装置を大型化しなくてもよく、省スペース化が可能である。また、中小型の表示パネルの製造装置を用いることができ、表示装置の大型化のために新規な製造装置を利用しなくてもよいため、製造コストを抑えることができる。また、表示パネルDPの大型化に伴う歩留まりの低下を抑制できる。
表示パネルDPの大きさが同じである場合、1つの表示パネルDPを有する表示部に比べ、複数の表示パネルDPを有する表示部の方が、表示領域が広く、一度に表示できる情報量が多い等の効果を有する。
ここで、表示パネルDPが、画素部71を囲むように非表示領域を有する場合を考える。このとき、例えば、複数の表示パネルDPの出力画像を合わせて一つの画像を表示すると、当該一つの画像は、表示装置の使用者にとって分離したように視認されてしまう。
表示パネルDPの非表示領域を狭くする(狭額縁な表示パネルDPを用いる)ことで、各表示パネルDPの表示が分離して見えることを抑制できるが、表示パネルDPの非表示領域を完全になくすことは困難である。
また、表示パネルDPの非表示領域の面積が狭いと、表示パネルDPの端部と表示パネルDP内の素子との距離が短くなり、表示パネルDPの外部から侵入する不純物によって、素子が劣化しやすくなる場合がある。
そこで、本発明の一態様では、複数の表示パネルDPの一部が重なるように配置する。重ねた2つの表示パネルDPのうち、少なくとも表示面側(上側)に位置する表示パネルDPは、可視光を透過する領域72を画素部71と隣接して有する。本発明の一態様では、下側に配置される表示パネルDPの画素部71と、上側に配置される表示パネルDPの可視光を透過する領域72とが重なる。したがって、重ねた2つの表示パネルDPの画素部71の間の非表示領域を縮小すること、さらには無くすことができる。これにより、使用者から表示パネルDPの継ぎ目が認識されにくい、大型の表示装置を実現することができる。
上側に位置する表示パネルDPの非表示領域の少なくとも一部は、可視光を透過する領域72であり、下側に位置する表示パネルDPの画素部71と重ねることができる。また、下側に位置する表示パネルDPの非表示領域の少なくとも一部は、上側に位置する表示パネルDPの画素部71、または可視光を遮る領域73と重ねることができる。これらの部分については、表示装置の狭額縁化(画素部以外の面積の縮小化)に影響しないため、面積の縮小化をしなくてもよい。
表示パネルDPの非表示領域が広いと、表示パネルDPの端部と表示パネルDP内の素子との距離が長くなり、表示パネルDPの外部から侵入する不純物によって、素子が劣化することを抑制できる。例えば、表示素子として有機EL素子を用いる場合は、表示パネルDPの端部と有機EL素子との距離を長くするほど、表示パネルDPの外部から水分や酸素等の不純物が有機EL素子に侵入しにくくなる(または到達しにくくなる)。本発明の一態様の表示装置では、表示パネルDPの非表示領域の面積を十分に確保できるため、有機EL素子等を用いた表示パネルDPを適用しても、信頼性が高い大型の表示装置を実現できる。
このように、表示装置に複数の表示パネルDPが設けられる場合、隣接する表示パネルDP間において画素部71が連続するように、複数の表示パネルDPが配置されることが好ましい。
図4(A)に示す表示パネルDPは、画素部71、可視光を透過する領域72、及び可視光を遮る領域73を有する。可視光を透過する領域72及び可視光を遮る領域73は、それぞれ、画素部71と隣接して設けられる。図4(A)では、表示パネルDPにFPC74が設けられている例を示す。
画素部71には、複数の画素が含まれる。可視光を透過する領域72には、表示パネルDPを構成する一対の基板、及び当該一対の基板に挟持された表示素子を封止するための封止材などが設けられていてもよい。このとき、可視光を透過する領域72に設けられる部材には、可視光に対して透光性を有する材料を用いる。可視光を遮る領域73には、画素部71に含まれる画素と電気的に接続された配線などが設けられていてもよい。また、可視光を遮る領域73には、走査線駆動回路及び信号線駆動回路の一方又は双方が設けられていてもよい。また、可視光を遮る領域73には、FPC74と接続された端子、当該端子と接続された配線などが設けられていてもよい。
図4(B)、(C)は、図4(A)に示す表示パネルDPを2×2のマトリクス状に(縦方向及び横方向にそれぞれ2つずつ)配置した例である。図4(B)は、表示パネルDPの表示面側の斜視図であり、図4(C)は、表示パネルDPの表示面とは反対側の斜視図である。
4つの表示パネルDP(表示パネルDPa、DPb、DPc、DPd)は、互いに重なる領域を有するように配置されている。具体的には、1つの表示パネルDPが有する可視光を透過する領域72が、他の表示パネルDPが有する画素部71の上(表示面側)に重畳する領域を有するように、表示パネルDPa、DPb、DPc、DPdが配置されている。また、1つの表示パネルDPが有する可視光を遮る領域73が、他の表示パネルDPの画素部71の上に重畳しないように、表示パネルDPa、DPb、DPc、DPdが配置されている。4つの表示パネルDPが重なる部分では、表示パネルDPa上に表示パネルDPbが重なり、表示パネルDPb上に表示パネルDPcが重なり、表示パネルDPc上に表示パネルDPdが重なっている。
表示パネルDPa、DPbの短辺同士が互いに重なり、画素部71aの一部と、可視光を透過する領域72bの一部と、が重なっている。また、表示パネルDPa、DPcの長辺同士が互いに重なり、画素部71aの一部と、可視光を透過する領域72cの一部と、が重なっている。
画素部71bの一部は、可視光を透過する領域72cの一部、及び可視光を透過する領域72dの一部と重なっている。また、画素部71cの一部は、可視光を透過する領域72dの一部と重なっている。
したがって、画素部71a〜71dがほぼ継ぎ目なく配置された領域を表示装置の表示領域79とすることができる。
ここで、表示パネルDPは、可撓性を有していることが好ましい。例えば、表示パネルDPを構成する一対の基板は可撓性を有することが好ましい。
これにより、例えば、図4(B)、(C)に示すように、表示パネルDPaのFPC74aの近傍を湾曲させ、FPC74aに隣接する表示パネルDPbの画素部71bの下側に、表示パネルDPaの一部、及びFPC74aの一部を配置することができる。その結果、FPC74aを表示パネルDPbの裏面と物理的に干渉することなく配置することができる。また、表示パネルDPaと表示パネルDPbとを重ねて固定する場合に、FPC74aの厚さを考慮する必要がないため、可視光を透過する領域72bの上面と、表示パネルDPaの上面との高さの差を低減できる。その結果、画素部71a上に位置する表示パネルDPbの端部を目立たなくすることができる。
さらに、各表示パネルDPに可撓性を持たせることで、表示パネルDPbの画素部71bにおける上面の高さを、表示パネルDPaの画素部71aにおける上面の高さと一致するように、表示パネルDPbを緩やかに湾曲させることができる。そのため、表示パネルDPaと表示パネルDPbとが重なる領域近傍を除き、各表示領域の高さを揃えることが可能で、表示領域79に表示する映像の表示品位を高めることができる。
上記では、表示パネルDPaと表示パネルDPbの関係を例に説明したが、他の隣接する2つの表示パネルDP間でも同様である。
なお、隣接する2つの表示パネルDP間の段差を軽減するため、表示パネルDPの厚さは薄いことが好ましい。例えば、表示パネルDPの厚さは、1mm以下が好ましく、300μm以下がより好ましく、100μm以下がさらに好ましい。
表示パネルDPは、走査線駆動回路及び信号線駆動回路の双方を内蔵することが好ましい。表示パネルとは別に駆動回路を配置する場合、駆動回路を備えるプリント基板、多くの配線及び端子などが、表示パネルの裏側(表示面側とは反対側)に配置される。そのため、表示装置全体の部品点数が膨大となり、表示装置の重量が増加することがある。表示パネルDPが、走査線駆動回路及び信号線駆動回路の双方を有することで、表示装置の部品点数を削減し、表示装置の軽量化を図ることができる。これにより、表示装置の可搬性を高めることができる。
ここで、走査線駆動回路及び信号線駆動回路は、表示する画像のフレーム周波数に応じて、高い駆動周波数で動作することが求められる。特に信号線駆動回路は、走査線駆動回路と比較してさらに高い駆動周波数で動作することが求められる。そのため、信号線駆動回路に適用されるトランジスタのいくつかは、大きな電流を流す能力が求められる場合がある。一方、画素部に設けられるトランジスタのいくつかは、表示素子を駆動するために十分な耐圧性能が求められる場合がある。
そこで、駆動回路が有するトランジスタと、画素部が有するトランジスタと、の構造を作り分けることが好ましい。例えば、画素部に設けられるトランジスタの一つまたは複数に、高耐圧のトランジスタを適用し、駆動回路に設けられるトランジスタの一つまたは複数に、駆動周波数の高いトランジスタを適用する。
より具体的な構成としては、信号線駆動回路に適用する一つまたは複数のトランジスタに、画素部に適用するトランジスタよりもゲート絶縁層の薄いトランジスタを適用する。このように、2種類のトランジスタを作り分けることで、信号線駆動回路を、画素部が設けられる基板上に作りこむことができる。
また、信号線駆動回路に適用する一つまたは複数のトランジスタに、画素部に適用するトランジスタよりもチャネル長の短いトランジスタを適用することが好ましい。例えば、信号線駆動回路を構成するトランジスタのチャネル長が、1.5μm未満、好ましくは1.2μm以下、より好ましくは1.0μm以下、さらに好ましくは0.9μm以下、さらに好ましくは0.8μm以下、さらに好ましくは0.6μm以下であって、0.1μm以上であることが好ましい。
一方、画素部に設けられる各トランジスタは、信号線駆動回路を構成するトランジスタのうち、最もチャネル長が短いものよりも、チャネル長が長いことが好ましい。例えば、画素部に設けられるトランジスタのチャネル長は1μm以上、好ましくは1.2μm以上、より好ましくは1.4μm以上であって、20μm以下、好ましくは15μm以下、より好ましくは10μm以下であることが好ましい。
また、走査線駆動回路、信号線駆動回路、及び画素部に適用する各トランジスタは、チャネルが形成される半導体に、金属酸化物を適用することが好ましい。これにより、例えばアモルファスシリコンを適用した表示パネルで実現が困難な信号線駆動回路を表示パネルに実装することができる。また、多結晶シリコンなどを適用した場合に比べて、特性のばらつきが小さく、大面積化が容易であるため、低コストで歩留り良く表示パネルを作製することができる。
例えば、後述するトランジスタ210aを画素部のトランジスタとして用い、トランジスタ210bを駆動回路のトランジスタとして用いることが好ましい(図7(A1)、(A2)参照)。
なお、本明細書等において、トランジスタのチャネル長方向とは、ソースとドレイン間を最短距離で結ぶ直線に平行な方向のうちの1つをいう。すなわち、チャネル長方向は、トランジスタがオン状態のときに半導体層を流れる電流の方向に相当する。また、チャネル幅方向とは、当該チャネル長方向に直交する方向をいう。なお、トランジスタの構造や形状によっては、チャネル長方向及びチャネル幅方向は1つに定まらない場合がある。
また、本明細書等において、トランジスタのチャネル長とは、例えばトランジスタの上面図または断面図において、半導体層とゲート電極とが重畳する領域の、チャネル長方向における長さをいう。また、トランジスタのチャネル幅とは、当該領域の、チャネル幅方向の長さをいう。
なお、トランジスタの構造や形状によっては、チャネル長及びチャネル幅は、1つの値に定まらない場合がある。そのため、本明細書等では、チャネル長及びチャネル幅は、その最大値、最小値、若しくは平均値、または、最大値と最小値の間の任意の値とすることができる。代表的には、チャネル長及びチャネル幅は、その最小値とする。
また、トランジスタの構造によっては、半導体層を挟む一対のゲート電極(第1のゲート電極、第2のゲート電極)を有する場合がある。このとき、トランジスタのチャネル長及びチャネル幅は、それぞれのゲート電極に対応して2つ定義できる。そのため、本明細書等で単にチャネル長と記載した場合、2つのチャネル長のうち長い方若しくは短い方のいずれか一方、その両方、またはその平均値を指すこととする。同様に、本明細書等で単にチャネル幅と記載した場合、2つのチャネル幅のうち長い方若しくは短い方のいずれか一方、その両方、またはその平均値を指すこととする。
[表示パネルの具体例4]
図5(A)、(B)に表示パネルの上面図を示す。図5(A)における一点鎖線C1−C2間及び一点鎖線C3−C4間の断面図を図5(C)及び図6(A)、(B)に示す。
図5(A)、(B)に示す表示パネルは、画素部71、可視光を透過する領域72、接続部75、及び駆動回路78を有する。表示パネルにはFPC74が接続されている。図5(A)、(B)では、可視光を透過する領域72が、画素部71に隣接し、画素部71の2辺に沿って配置されている例を示す。さらに、図5(A)、(B)では、接続部75が、画素部71の残りの2辺に沿って配置されている例を示す。
図5(A)に示す表示パネルの角部は、角ばっており、図5(B)に示す表示パネルの角部は、丸くなっている。フィルム基板を用いた表示パネルは、様々な上面形状で作製することができる。例えば、表示パネルの角部が曲率を有する形状の方が、表示パネルの分断の際にクラックが生じにくく作製しやすいことがある。
図5(C)に示すように、表示パネル370Aは、基板361、接着層363、絶縁層365、367、トランジスタ301、302、303、容量素子305、導電層356、357、絶縁層314、発光素子110、絶縁層104、保護層105、補助配線107、無機絶縁層109、及び基板371等を有する。
表示パネル370Aは、塗り分け方式が適用されたトップエミッション構造の表示パネルである。
基板361と基板371とは、接着層317によって貼り合わされている。また、基板361と絶縁層365とは、接着層363によって貼り合わされている。
表示パネル370Aは、作製基板上で形成されたトランジスタ、発光素子110等を、基板361上に転置することで形成される構成である。
表示パネル370Aの接続部306近傍では、絶縁層314に絶縁層313に達する開口308が設けられており、当該開口308において、絶縁層313と保護層105とが接している。このように、有機絶縁膜が表示パネルの端部にまで存在する場合であっても、当該有機絶縁膜が開口を有し、当該開口で無機膜(または無機絶縁膜)どうしが接することで、表示パネルの外部から水分等の不純物が入り込みにくくなり、トランジスタ及び発光素子110の劣化を抑制することができる。また、表示パネル370Aの画素部71において、可視光を透過する領域72近傍では、保護層105及び無機絶縁層109が、絶縁層314の端部及び絶縁層104の端部を覆い、保護層105は、絶縁層314の端部及び絶縁層104の端部の外側で、絶縁層313と接している(なお、これらの部分を、可視光を透過する領域72の一部とみなすこともできる)。このことからも、表示パネルの外部から水分等の不純物が入り込みにくくなり、トランジスタ及び発光素子110の劣化を抑制することができる。
図5(C)に示す表示パネル370Aの画素部71、接続部75、駆動回路78、及び接続部306の構成は、表示パネル360A(図2(B))と多くの部分で共通しているため、上記の説明を参照できる。
可視光を透過する領域72に含まれる各層は、可視光を透過する。図5(C)では、可視光を透過する領域72が、基板361、接着層363、絶縁層365、絶縁層367、ゲート絶縁層311、絶縁層312、絶縁層313、保護層105、無機絶縁層109、接着層317、及び基板371を有する例を示す。この積層構造において、各界面の屈折率の差が小さくなるよう各層の材料を選択することが好ましい。互いに接する2つの層の屈折率を小さくすることで、使用者が、2つの表示パネルの継ぎ目を視認しにくくなる。
また、図6(A)に示す表示パネル370Bや、図6(B)に示す表示パネル370Cのように、可視光を透過する領域72は、画素部71の可視光を透過する領域72近傍の部分に比べて、絶縁層の数が少ないことが好ましい。
表示パネル370Bは、表示パネル370Aと異なり、可視光を透過する領域72が、絶縁層313、保護層105、及び無機絶縁層109を有さない構成である。
表示パネル370Cは、表示パネル370Aと異なり、可視光を透過する領域72が、絶縁層367、ゲート絶縁層311、絶縁層312、絶縁層313、保護層105、及び無機絶縁層109を有さない構成である。
可視光を透過する領域72が有する絶縁層の数を少なくすることで、屈折率の差の大きい界面を減らすことができる。これにより、可視光を透過する領域72における外光の反射を抑制することができる。そして、可視光を透過する領域72の可視光の透過率を高めることができる。これにより、下側に配置される表示パネルの表示における、可視光を透過する領域72を介して視認される部分と、該領域を介さずに視認される部分との輝度(明るさ)の差を、小さくすることができる。したがって、表示装置の表示ムラもしくは輝度ムラを抑制することができる。
なお、表示パネル370A、370B、370Cにおいて、画素部71の可視光を透過する領域72近傍の部分、及び、可視光を透過する領域72以外の構成は同様である。
可視光を透過する領域72を画素部71に接して設けるため、画素部71の少なくとも一辺には、接続部75が隣接して設けられない。接続部75が設けられていない辺側では、共通電極113の抵抗に起因する電圧降下が生じやすくなる。本発明の一態様では、補助配線107を有するため、画素部71全体において電圧降下を抑制し、表示パネルの輝度ムラを抑制することができる。これにより、表示パネルの表示品位を高めることができる。
[トランジスタの構成例]
次に、表示パネルまたは表示装置に用いることができるトランジスタについて、説明する。
表示パネルまたは表示装置が有するトランジスタの構造は特に限定されない。例えば、プレーナ型のトランジスタとしてもよいし、スタガ型のトランジスタとしてもよいし、逆スタガ型のトランジスタとしてもよい。また、トップゲート構造またはボトムゲート構造のいずれのトランジスタ構造としてもよい。または、チャネルの上下にゲート電極が設けられていてもよい。
図7に、トランジスタの構成例を示す。各トランジスタは、絶縁層141と絶縁層208の間に設けられている。絶縁層141は、下地膜としての機能を有することが好ましい。絶縁層208は、平坦化膜としての機能を有することが好ましい。
図7(A1)、(A2)に示すトランジスタ210a、210bは、それぞれ、半導体層に金属酸化物を有する、トップゲート構造のトランジスタである。金属酸化物は、酸化物半導体として機能することができる。
トランジスタの半導体には、酸化物半導体を用いることが好ましい。シリコンよりもバンドギャップが広く、且つキャリア密度の小さい半導体材料を用いると、トランジスタのオフ状態における電流を低減できるため好ましい。
トランジスタ210a、210bは、導電層201、絶縁層202、導電層203a、導電層203b、半導体層、導電層205、及び絶縁層207を有する。トランジスタ210aは、さらに絶縁層206aを有し、トランジスタ210bは、さらに絶縁層206bを有する。導電層201は、ゲートとして機能する。導電層205は、バックゲートとして機能する。絶縁層202、絶縁層206a、及び絶縁層206bは、ゲート絶縁層として機能する。半導体層は、チャネル形成領域204aと一対の低抵抗領域204bとを有する。チャネル形成領域204aは、絶縁層206aまたは絶縁層206bを介して、導電層205と重なる。チャネル形成領域204aは、絶縁層202を介して、導電層201と重なる。導電層203aは、絶縁層207に設けられた開口を介して、一対の低抵抗領域204bの一方と電気的に接続される。同様に、導電層203bは、一対の低抵抗領域204bの他方と電気的に接続される。絶縁層202、絶縁層206a、絶縁層206b、及び絶縁層207には各種無機絶縁膜を用いることができる。特に、絶縁層202、絶縁層206a、及び絶縁層206bに含まれる、チャネル形成領域204aと接する絶縁膜には、酸化物絶縁膜が好適であり、絶縁層207には、窒化物絶縁膜が好適である。
トランジスタ210bは、ゲート絶縁層として機能する絶縁層206bの厚さが、トランジスタ210aにおいてゲート絶縁層として機能する絶縁層206aの厚さよりも薄い。また、トランジスタ210bのチャネル長Lbは、トランジスタ210aのチャネル長Laよりも短い。これらのことから、トランジスタ210bは、トランジスタ210aよりも駆動周波数を高くすることができ、トランジスタ210aは、トランジスタ210bよりも高耐圧とすることができる。そのため、表示パネルにおいて、画素部のトランジスタとして、トランジスタ210aを用い、駆動回路のトランジスタとして、トランジスタ210bを用いることが好ましい。
なお、トランジスタ210a、210bの一方のみを用いて表示パネルを作製してもよい。また、トランジスタ210a、210bの一方と、他のトランジスタと、を組み合わせて表示パネルを作製してもよい。
トランジスタ210a、210bには、チャネルが形成される半導体層を2つのゲートで挟持する構成が適用されている。2つのゲートを接続し、これらに同一の信号を供給することによりトランジスタを駆動することが好ましい。このようなトランジスタは他のトランジスタと比較して電界効果移動度を高めることが可能であり、オン電流を増大させることができる。その結果、高速駆動が可能な回路を作製することができる。さらには、回路部の占有面積を縮小することが可能となる。オン電流の大きなトランジスタを適用することで、表示パネルまたは表示装置を大型化、または高精細化したときに配線数が増大したとしても、各配線における信号遅延を低減することが可能であり、表示ムラを抑制することができる。または、2つのゲートのうち、一方に閾値電圧を制御するための電位を与え、他方に駆動のための電位を与えることで、トランジスタの閾値電圧を制御することができる。
半導体層として機能する金属酸化物膜は、不活性ガス及び酸素ガスのいずれか一方または双方を用いて成膜することができる。なお、金属酸化物膜の成膜時における酸素の流量比(酸素分圧)に、特に限定はない。ただし、電界効果移動度が高いトランジスタを得る場合においては、金属酸化物膜の成膜時における酸素の流量比(酸素分圧)は、0%以上30%以下が好ましく、5%以上30%以下がより好ましく、7%以上15%以下がさらに好ましい。
金属酸化物は、少なくともインジウムまたは亜鉛を含むことが好ましい。特にインジウム及び亜鉛を含むことが好ましい。金属酸化物については、実施の形態4で詳述する。
金属酸化物は、エネルギーギャップが2eV以上であることが好ましく、2.5eV以上であることがより好ましく、3eV以上であることがさらに好ましい。このように、エネルギーギャップの広い金属酸化物を用いることで、トランジスタのオフ電流を低減することができる。
金属酸化物膜は、スパッタリング法により形成することができる。そのほか、PLD法、PECVD法、熱CVD法、ALD法、真空蒸着法などを用いてもよい。
図7(B)に示すトランジスタ220は、半導体層204に金属酸化物を有する、ボトムゲート構造のトランジスタである。
トランジスタ220は、導電層201、絶縁層202、導電層203a、導電層203b、及び半導体層204を有する。導電層201は、ゲートとして機能する。絶縁層202は、ゲート絶縁層として機能する。半導体層204は、絶縁層202を介して、導電層201と重なる。導電層203a及び導電層203bは、それぞれ、半導体層204と電気的に接続される。トランジスタ220は、絶縁層211と絶縁層212によって覆われていることが好ましい。絶縁層211及び絶縁層212には各種無機絶縁膜を用いることができる。特に、絶縁層211には、酸化物絶縁膜が好適であり、絶縁層212には、窒化物絶縁膜が好適である。
図7(C)に示すトランジスタ230は、半導体層に低温ポリシリコン(LTPS(Low Temperature Poly−Silicon))を有する、トップゲート構造のトランジスタである。
トランジスタ230は、導電層201、絶縁層202、導電層203a、導電層203b、半導体層、及び絶縁層213を有する。導電層201は、ゲートとして機能する。絶縁層202は、ゲート絶縁層として機能する。半導体層は、チャネル形成領域214a及び一対の低抵抗領域214bを有する。半導体層はさらにLDD(Lightly Doped Drain)領域を有していてもよい。図7(C)では、チャネル形成領域214aと低抵抗領域214bの間にLDD領域214cを有する例を示す。チャネル形成領域214aは、絶縁層202を介して、導電層201と重なる。導電層203aは、絶縁層202及び絶縁層213に設けられた開口を介して、一対の低抵抗領域214bの一方と電気的に接続される。同様に、導電層203bは、一対の低抵抗領域214bの他方と電気的に接続される。絶縁層213には、各種無機絶縁膜を用いることができる。特に、絶縁層213には窒化物絶縁膜が好適である。
図7(D)に示すトランジスタ240は、半導体層224に水素化アモルファスシリコンを有する、ボトムゲート構造のトランジスタである。
トランジスタ240は、導電層201、絶縁層202、導電層203a、導電層203b、不純物半導体層225、及び半導体層224を有する。導電層201は、ゲートとして機能する。絶縁層202は、ゲート絶縁層として機能する。半導体層224は、絶縁層202を介して、導電層201と重なる。導電層203a及び導電層203bは、それぞれ、不純物半導体層225を介して、半導体層224と電気的に接続される。トランジスタ240は、絶縁層226に覆われていることが好ましい。絶縁層226には、各種無機絶縁膜を用いることができる。特に、絶縁層226には窒化物絶縁膜が好適である。
以上のように、本実施の形態の表示パネルは、発光素子上にバリア性の高い絶縁層を有するため、発光素子に不純物が入り込むことを抑制できる。これにより、発光素子の劣化を抑制し、表示パネルの信頼性を高めることができる。さらに、当該表示パネルは、発光素子が有する共通電極の補助配線を、当該絶縁層上に有するため、共通電極の抵抗に起因する電圧降下を抑制できる。これにより、表示パネルの輝度ムラを抑制し、表示パネルの表示品位を高めることができる。
本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。また、本明細書において、1つの実施の形態の中に、複数の構成例が示される場合は、構成例を適宜組み合わせることが可能である。
(実施の形態2)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示パネルについて図8及び図9を用いて説明する。
本実施の形態の表示パネルは、第1の基板と、トランジスタと、発光素子と、第1の絶縁層と、第1の無機絶縁層と、第2の無機絶縁層と、第3の無機絶縁層と、保護層と、接着層と、を有する。第1の基板は可撓性を有する。トランジスタは、第1の無機絶縁層を介して、第1の基板と重なる。トランジスタの半導体層は、第1の無機絶縁層と第2の無機絶縁層との間に位置する。発光素子は、第2の無機絶縁層と保護層との間に位置する。発光素子は、第1の電極と、発光層と、第2の電極と、を有する。発光素子は保護層側に光を射出する。第1の絶縁層は、第1の電極と重なる第1の開口を有する。第1の絶縁層は第1の電極の端部を覆う。発光層は、第1の開口を介して、第1の電極と重なる。第2の電極は発光層上に位置する。発光素子は、保護層を介して、第3の無機絶縁層と重なる。第3の無機絶縁層は、接着層を介して、発光素子と重なる。保護層は、第1の絶縁層の端部よりも外側で、第2の無機絶縁層と接する。表示パネルは、さらに、導電層を有することが好ましい。保護層は、第1の絶縁層と重なる第2の開口を有することが好ましく、導電層は、第2の開口を介して、第2の電極と接続されることが好ましい。
本実施の形態の表示パネルは、表示面(おもて面)側に第3の無機絶縁層が設けられており、裏面側に第1の無機絶縁層が設けられており、表示パネルの側面側で第2の無機絶縁層と保護層とが第1の絶縁層の端部よりも外側で互いに接している。このような構成とすることで、表示パネルの表示面、裏面、及び側面のいずれからも、発光素子に水分や酸素などの不純物が入りにくい。これにより、発光素子の劣化を抑制し、表示パネルの信頼性を高めることができる。
実施の形態1で説明した表示パネルと同様に、本実施の形態の表示パネルにおいても、保護層としてバリア性の高い膜を用いる。また、発光素子が有する共通電極の補助配線として機能する導電層を保護層上に形成することが好ましい。これにより、共通電極の抵抗に起因する電圧降下を抑制でき、表示パネルの輝度ムラを抑制し、表示パネルの表示品位を高めることができる。
[表示パネルの具体例5]
図8(A)に表示パネル380Aの断面図を示し、図9(A)に表示パネル380Bの断面図を示す。図8(A)及び図9(A)は、それぞれ、図2(A)に示す一点鎖線B1−B2間及び一点鎖線B3−B4間の断面図に相当する。実施の形態1で説明した表示パネルと共通の点については説明を省略することがある。
表示パネル380Aは、カラーフィルタ方式が適用されたトップエミッション構造の表示パネルである。表示パネル380Bは、塗り分け方式が適用されたトップエミッション構造の表示パネルである。
表示パネル380A、380Bは、それぞれ、基板361、接着層363、絶縁層365、トランジスタ301、302、303、容量素子305、導電層356、357、絶縁層314、発光素子110、絶縁層104、保護層105、補助配線107、接着層317、無機絶縁層109、絶縁層375、接着層373、及び基板371等を有する。表示パネル380Aは、さらに、着色層131及び遮光層132を有する。
発光素子110は、画素電極111、EL層112、及び共通電極113を有する。画素電極111は、トランジスタ303のソースまたはドレインと電気的に接続されている。これらは、直接接続されるか、他の導電層を介して接続される。表示パネル380Aが有するEL層112は複数の画素に渡って設けられている。表示パネル380Bが有するEL層112は、発光素子110ごとに設けられている。EL層112の端部は、共通電極113に覆われている。共通電極113は、EL層112の端部を覆い、EL層112の端部の外側で絶縁層104と接している。発光素子110は、さらに、光学調整層114を有する。発光素子110に、マイクロキャビティ構造を適用することで、表示パネルから色純度の高い光を取り出すことができる。
基板361と絶縁層365とは、接着層363によって貼り合わされている。また、基板371と絶縁層375とは、接着層373によって貼り合わされている。本実施の形態の表示パネルの作製では、まず、作製基板上で形成された絶縁層365、トランジスタ、発光素子110等と、別の作製基板上で形成された絶縁層375(表示パネル380Aでは、さらに、着色層131及び遮光層132)とを、接着層317で貼り合わせる。そして、2つの作製基板をそれぞれ剥離し、剥離により露出した面に、基板361及び基板371をそれぞれ貼る。基板361及び基板371としては、可撓性を有する基板が好ましく、作製基板よりも可撓性が高い基板が特に好ましい。
絶縁層365及び絶縁層375は、それぞれ、無機絶縁層を有する。無機絶縁層の材料は、実施の形態1を参照できる。特に、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、及び酸化アルミニウム膜は、それぞれ防湿性が高いため、絶縁層365及び絶縁層375として好適である。絶縁層365及び絶縁層375は、それぞれ、作製基板上に形成される。作製基板としてガラス基板などを用いることで、高温をかけて、防湿性が高い無機絶縁層を形成することができる。
本実施の形態の表示パネルでは、絶縁層365及び絶縁層375が、それぞれ、無機絶縁層を有する。これにより、表示パネルの表示面(おもて面)及び裏面から不純物が入り込みにくくなり、トランジスタ及び発光素子110の劣化を抑制することができる。
絶縁層104は、画素電極111の端部及び光学調整層114の端部を覆っている。隣り合う2つの画素電極111は、絶縁層104によって電気的に絶縁されている。
保護層105は、接続部75において、共通電極113の端部を覆い、共通電極113の端部の外側で絶縁層104及び無機絶縁層109と接している。これにより、共通電極113に不純物が入り込むことを抑制できる。
さらに、表示パネル380Aの端部及びその近傍において、保護層105及び無機絶縁層109は、絶縁層314の端部及び絶縁層104の端部を覆い、保護層105は、絶縁層314の端部及び絶縁層104の端部の外側で、絶縁層313と接している。また、表示パネル380Bの端部及びその近傍において、保護層105及び無機絶縁層109は、絶縁層314の端部及び絶縁層104の端部を覆い、保護層105は、絶縁層314の端部及び絶縁層104の端部の外側で、絶縁層312と接している。
保護層105は、トランジスタのゲート絶縁層または保護層として機能する無機絶縁層のいずれかと接することが好ましい。例えば、図8(A)、図9(A)では、トランジスタのゲート絶縁層(バックゲート絶縁層ともいえる)である絶縁層312または絶縁層313と、保護層105が接している。そのほか、図7(A1)に示す絶縁層202、207、図7(B)に示す絶縁層211、212、図7(C)に示す絶縁層202、213、図7(D)に示す絶縁層202、226などのいずれかと、保護層105が接していてもよい。
例えば、トランジスタのゲート絶縁層または保護層のうち、防水性が最も高い絶縁層と保護層105とが接することが好ましい。これにより、表示パネルの側面における防水性を高めることができる。
また、窒化膜である保護層105と窒化膜とが接する構成(窒化シリコン膜同士が接するなど)、もしくは、酸化膜である保護層105と酸化膜(酸化窒化膜)とが接する構成(酸化窒化シリコン膜と酸化アルミニウム膜が接するなど)が好ましい。これにより、2層の密着性が高く、表示パネルの側面における防水性を高めることができる。
本実施の形態の表示パネルでは、各種絶縁層及び保護層105において、有機膜の端部よりも無機膜(または無機絶縁膜)の端部が外側に位置するように設けられ、表示パネルの端部及びその近傍において、無機膜(または無機絶縁膜)どうしが接して積層される。これにより、表示パネルの側面から不純物が入り込みにくくなり、トランジスタ及び発光素子110の劣化を抑制することができる。
補助配線107は、保護層105の開口部を介して、共通電極113と電気的に接続されている。保護層105の開口部は、絶縁層104上に設けられる。補助配線107は、無機絶縁層109に覆われている。
図8(B)、(C)、図9(B)に表示パネルの端部及びその近傍の変形例を示す。図8(B)、(C)では、絶縁層314に絶縁層313に達する開口308が設けられており、当該開口308において、絶縁層313と保護層105とが接している。このように、有機絶縁膜が表示パネルの端部にまで存在する場合であっても、当該有機絶縁膜が開口を有し、当該開口で無機膜(または無機絶縁膜)どうしが接することで、表示パネルの側面から不純物が入り込みにくくなり、トランジスタ及び発光素子110の劣化を抑制することができる。
なお、図8(B)において、導電層307は、導電層355及び接続体319を介してFPC74と電気的に接続される。
図9(B)では、共通電極113が、絶縁層314の端部及び絶縁層104の端部を覆い、絶縁層314の端部及び絶縁層104の端部の外側で、絶縁層312と接している。共通電極113には、ITOなど、保護層105に用いることができる無機材料を適用することができる。つまり、共通電極113は、保護層としての機能を兼ねることができる。したがって、共通電極113と絶縁層312とが互いに接することで、表示パネルの側面から不純物が侵入することを抑制できる。また、図9(B)に示すように、共通電極113の端部よりも外側で、保護層105と絶縁層312とが接することが好ましい。
以上のように、本実施の形態の表示パネルは、絶縁層365、絶縁層375、トランジスタ側の無機絶縁層(ゲート絶縁層または保護層)、及び保護層105の4つの無機層を用いることで、表示パネルの表面、裏面、及び側面からの不純物の侵入を抑制し、表示パネルの信頼性を高める構成である。
本実施の形態は、他の実施の形態及び実施例と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態3)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示パネル及び表示装置について図10〜図15を用いて説明する。
本実施の形態の表示パネルは、表示領域と、第1の端子領域と、第2の端子領域と、を有する。第1の端子領域は表示領域を遮らないように配置され、表示領域と重なる領域を備える。第1の端子領域は第1の一群の端子を備え、第1の一群の端子は第1の端子を含む。第2の端子領域は第2の一群の端子を備え、第2の一群の端子は第2の端子を含む。表示領域は、一群の画素、他の一群の画素、走査線及び信号線を備える。一群の画素は画素を含み、行方向に配設される。他の一群の画素は画素を含み、行方向と交差する列方向に配設される。走査線は一群の画素と電気的に接続される。また、信号線は他の一群の画素と電気的に接続され、信号線は第1の端子及び第2の端子と電気的に接続される。
これにより、例えば、第1の端子及び第2の端子のうち一方は、他方から供給される信号を、他の端子に供給することができる。または、例えば、第1の端子及び第2の端子のうち一方から供給される信号を、第1の端子または第2の端子の他方及び他の一群の画素に分配することができる。
図10(A)に、複数の表示パネルを有する表示装置の斜視図を示す。図10(B)に、当該表示装置の上面図を示す。図10(A)、(B)に示す一点鎖線Y1−Y2間の断面図を図10(C)に示す。図10(A)、(B)に示す一点鎖線Z1−Z2間の断面図を図10(D)に示す。
図11(A)は、1枚の表示パネルの斜め上方からの斜視図であり、図11(B)は当該表示パネルの斜め下方からの斜視図である。
図12(A)に、1枚の表示パネルの斜視図を示す。図12(B)に、当該表示パネルの上面図を示す。図12(A)、(B)に示す一点鎖線Y1−Y2間の断面図を図12(C)に示す。図12(A)、(B)に示す一点鎖線Z1−Z2間の断面図を図12(D)に示す。
図13(A)に、矢印C1で示す方向に並べられた2つの表示パネルの斜視図を示す。図13(B)に、当該2つの表示パネルの上面図を示す。図13(A)、(B)に示す一点鎖線Z1−Z2間の断面図を図13(C)に示す。
図14(A)に、4つの表示パネルの斜視図を示す。図14(B)に、矢印R1で示す方向に並べられた2つの表示パネルの上面図を示す。図14(A)、(B)に示す一点鎖線Y1−Y2間の断面図を図14(C)に示す。
図15は、表示装置のブロック図である。
なお、本明細書において、1以上の整数を値にとる変数を符号に用いる場合がある。例えば、1以上の整数の値をとる変数pを含む(p)を、最大p個の構成要素のいずれかを特定する符号の一部に用いる場合がある。また、例えば、1以上の整数の値をとる変数m及び変数nを含む(m,n)を、最大m×n個の構成要素のいずれかを特定する符号の一部に用いる場合がある。
<表示パネル700(p,q)>
図11(A)、(B)、図12(A)〜(D)に示す表示パネル700(p,q)は、表示領域231と、端子領域529Aと、端子領域529Bと、を有する。
表示パネル700(p,q)は、基材510、基材770、及び機能層520を有する。機能層520は、基材510及び基材770の間に挟まれる領域を有する。機能層520は、表示素子及びトランジスタ等を有する。
《端子領域529A》
端子領域529Aは、表示領域231を遮らないように配置され、端子領域529Aは表示領域231と重なる領域を備える。具体的には、端子領域529Aは、表示領域231の奥行き方向(図中に矢印D1で示す方向)側に配置される(図11(B)参照)。また、表示領域231は、奥行き方向に対向する方向に向けて表示する。換言すれば、端子領域529Aは、表示領域231の背面に配置される。これにより、表示領域231の表示を遮ることなく、端子領域529Aを表示領域231に重ねて配置することができる。
端子領域529Aは一群の端子519A(1)乃至端子519A(n)を備え、一群の端子519A(1)乃至端子519A(n)は端子519A(j)を含む(図15参照)。
《端子領域529B》
端子領域529Bは一群の端子519B(1)乃至端子519B(n)を備え、一群の端子519B(1)乃至端子519B(n)は端子519B(j)を含む。なお、端子領域529Bは表示領域231の外側に配置される(図11(A)参照)。
《表示領域231》
表示領域231は、一群の画素702(i,1)乃至画素702(i,n)、他の一群の画素702(1,j)乃至画素702(m,j)、走査線G1(i)及び信号線S1(j)を備える(図15参照)。
一群の画素702(i,1)乃至画素702(i,n)は、画素702(i,j)を含み、行方向(図中に矢印R1で示す方向)に配設される。
他の一群の画素702(1,j)乃至画素702(m,j)は、画素702(i,j)を含み、行方向と交差する列方向(図中に矢印C1で示す方向)に配設される。
《走査線G1(i)》
走査線G1(i)は、一群の画素702(i,1)乃至画素702(i,n)と電気的に接続される。
《信号線S1(j)》
信号線S1(j)は他の一群の画素702(1,j)乃至画素702(m,j)と電気的に接続され、端子519A(j)及び端子519B(j)と電気的に接続される。
これにより、例えば、端子519A(j)及び端子519B(j)のうち一方は、他方から供給される信号を、他の端子に供給することができる。または、例えば、端子519A(j)及び端子519B(j)のうち一方から供給される信号を、端子519A(j)または端子519B(j)の他方及び他の一群の画素702(1,j)乃至画素702(m,j)に分配することができる。
または、表示品位を損なうことなく、端子519A(j)を配置することができる。または、端子519A(j)を使用者から隠すことができる。または、表示領域231より外側の領域の透光性が損なわれない。または、表示領域231を他の物品に近づけることができる。または、表示領域231を他の物品と並べて配置することができる。または、表示領域231を他の表示パネルの表示領域に隣接させることができる。その結果、利便性または信頼性に優れた新規な表示パネルを提供することができる。
また、信号線S1(j)は、第1の領域、第2の領域、第3の領域を備える。なお、第3の領域は、第1の領域及び第2の領域に挟まれる。
信号線S1(j)は、第1の領域において、端子519A(j)と電気的に接続され、第2の領域において、端子519B(j)と電気的に接続される(図15参照)。また、信号線S1(j)は、第3の領域において、画素702(i,j)と電気的に接続される。
これにより、例えば、端子519A(j)を信号線S1(j)の一方の端部と電気的に接続し、端子519B(j)を他方の端部に電気的に接続し、画素702(i,j)を信号線S1(j)の一方の端部及び他方の端部の間の領域と電気的に接続することができる。
または、端子519A(j)または端子519B(j)の一方から供給される他の一群の画素702(1,j)乃至画素702(m,j)に表示する画像データを含む信号以外の信号を、端子519A(j)または端子519B(j)の他方から供給することができる。または、当該表示パネルに表示しない画像データを含む信号を、信号線を用いて伝達することができる。その結果、利便性または信頼性に優れた新規な表示パネルを提供することができる。
表示パネル700(p,q)は、駆動回路GDAと、駆動回路SD1と、を有することが好ましい(図15参照)。
《駆動回路GDA》
駆動回路GDAは走査線G1(i)と電気的に接続され、駆動回路GDAは選択信号を供給する機能を備える。
駆動回路GDAは、シフトレジスタ及びラッチ回路を備える。例えば、表示領域231に用いるトランジスタと同じ構成を備えるトランジスタを駆動回路GDAに用いることができる。これにより、駆動回路GDA及び表示領域231を、同一の工程で作製することができる。
なお、表示領域231に用いるトランジスタより高速で動作するように、駆動回路GDAに用いるトランジスタの寸法等を設計することができる。
駆動回路GDAは、30Hz以上の頻度で、選択信号を走査線G1(i)に供給する機能を備えることが好ましい。または、駆動回路GDAは、頻度を変えて選択信号を供給する機能を備えることが好ましい。例えば、1Hz以下または30Hz以上の頻度で、選択信号を走査線G1(i)に供給する機能を備える。
《駆動回路SD1》
駆動回路SD1は端子519B(j)と電気的に接続され、駆動回路SD1は、画像信号を供給する機能を備える。
これにより、例えば、一の表示パネルに表示する画像データを含む信号及び他の表示パネルに表示する画像データを含む信号を端子519B(j)に供給することができる。または、例えば、端子519B(j)に供給される他の表示パネルに表示する画像データを含む信号を、端子519A(j)から供給することができる。その結果、利便性または信頼性に優れた新規な表示パネルを提供することができる。
駆動回路SD1は、シフトレジスタ、ラッチ回路、デジタルアナログ変換回路及びバッファアンプ等を備える。デジタルアナログ変換回路は、例えば、抵抗列及びパストランジスタを用いた論理回路を備える。
例えば、単結晶シリコンを半導体に用いるトランジスタを、駆動回路SD1に用いることができる。または、例えば、酸化物半導体膜を用いるトランジスタを駆動回路SD1に用いることができる。
例えば、酸化物半導体膜を用いるトランジスタを論理回路のパストランジスタに用いることができる。これにより、例えば、レーザ結晶化に伴いリッジが形成されてしまうポリシリコン膜に比べて、半導体膜の表面の凹凸を小さくすることができる。または、例えば、20nm程度の薄い絶縁膜をゲート絶縁層に用いることができる。または、酸化物半導体膜を用いるトランジスタの駆動能力を高めることができる。または、ポリシリコンを用いるトランジスタで構成する論理回路等に比べて、動作速度を速くすることができる。
<表示装置の構成例1>
本実施の形態で説明する表示装置は、一群の表示パネル700(p,1)乃至表示パネル700(p,t)と、他の一群の表示パネル700(1,q)乃至表示パネル700(s,q)と、を有する(図10(B)参照)。なお、s行t列の行列状に表示パネルを配置する構成の一例として、6行6列の行列状に表示パネルを配置する構成を図示して説明するが、本発明の一態様の表示装置は、この構成に限らない。
一群の表示パネル700(p,1)乃至表示パネル700(p,t)は行方向に配設され、一群の表示パネル700(p,1)乃至表示パネル700(p,t)は表示パネル700(p,q)を含む。
他の一群の表示パネル700(1,q)乃至表示パネル700(s,q)は、行方向と交差する列方向に配設され、他の一群の表示パネル700(1,q)乃至表示パネル700(s,q)は、表示パネル700(p,q)及び表示パネル700(p+1,q)を含む。
<表示装置の構成例2>
また、本実施の形態で説明する他の表示装置の構成例は、表示パネル700(p,q)及び表示パネル700(p+1,q)を有する(図15参照)。なお、s行t列の行列状に表示パネルを配置する構成の一例として、2行1列の行列状に表示パネルを配置する構成を図示して説明するが、本発明の一態様の表示装置は、この構成に限らない。
表示パネル700(p,q)及び表示パネル700(p+1,q)は、列方向(図中に矢印C1で示す方向)に配設される。
《表示パネル700(p+1,q)》
表示パネル700(p+1,q)は、端子領域529C及び表示領域231Bを備える。
《端子領域529C》
端子領域529Cは表示領域231Bの外側に設けられ、端子領域529Cは端子領域529Aと重なる領域を備える。
端子領域529Cは、一群の端子519C(1)乃至端子519C(n)を備え、一群の端子519C(1)乃至端子519C(n)は、端子519C(j)を備える。
端子519C(j)は、端子519A(j)と電気的に接続され、表示領域231Bは、表示領域231の表示を視認できる方向から、表示を視認できるように配置される。
これにより、一群の表示パネルを近づけて配置することができる。または、一群の表示パネルの表示領域が連続するように配置することができる。または、他の一群の表示パネルを近づけて配置することができる。または、他の一群の表示パネルの表示領域が連続するように配置することができる。
または、連続する画像を一群の表示パネルに表示することができる。または、連続する画像を他の一群の表示パネルに表示することができる。
または、一の表示パネルの第2の端子に供給され、他の表示パネルに表示する画像データを含む信号を、一の表示パネルの第1の端子から、他のパネルの第3の端子に供給することができる。その結果、利便性または信頼性に優れた新規な表示装置を提供することができる。
表示パネル700(p+1,q)は端子領域529Dを備えることが好ましい。
《端子領域529D》
端子領域529Dは、表示領域231Bを遮らないように配置され、端子領域529Dは、表示領域231Bと重なる領域を備える。例えば、端子領域529Aの表示領域231に対する配置と同様に、端子領域529Dを表示領域231Bに対して配置することができる。換言すれば、端子領域529Dは、表示領域231Bの背面に配置される。
端子領域529Dは、一群の端子519D(1)乃至端子519D(n)を備え、一群の端子519D(1)乃至端子519D(n)は端子519D(j)を含む。
《表示領域231B》
表示領域231Bは、画素702B(i,j)及び信号線S1B(j)を備える。
信号線S1B(j)は、画素702B(i,j)、端子519C(j)及び端子519D(j)と電気的に接続される。
これにより、例えば、第4の端子は、第3の端子から供給される信号を供給することができる。または、例えば、第3の端子から供給される信号を、第4の端子及び他の画素に分配することができる。
または、表示品位を損なうことなく、第4の端子を配置することができる。または、第4の端子を使用者から隠すことができる。または、他の表示領域より外側の領域の透光性が損なわれない。または、他の表示領域を他の物品に近づけることができる。または、他の表示領域を他の物品と並べて配置することができる。その結果、利便性または信頼性に優れた新規な表示装置を提供することができる。
<表示装置の構成例3>
本実施の形態の表示装置は、制御部238を有することが好ましい(図15参照)。
《制御部238》
制御部238は、画像情報V1及び制御情報CIを供給される。
制御部238は画像情報V1に基づいて情報V11を生成し、制御情報CIに基づいて制御信号SP11を生成する。また、制御部238は、情報V11及び制御信号SP11を供給
する。
具体的には、制御部238は、制御回路233、伸張回路234及び画像処理回路235を備える。
《制御回路233》
制御回路233は制御信号SP11を生成し、供給する機能を備える。
制御回路233は制御信号SP11を供給する機能を備える。例えば、クロック信号またはタイミング信号などを制御信号SP11に用いることができる。具体的には、駆動回路GDAまたは駆動回路SD1の動作を開始するスタートパルスを制御信号SP11に用いることができる。これにより、複数の駆動回路の動作を同期することができる。
例えば、タイミングコントローラを制御回路233に用いることができる。
なお、制御回路233を表示パネルに含めることもできる。例えば、リジッド基板に実装された制御回路233を表示パネルに用いることができる。リジッド基板に実装された制御回路233を、フレキシブルプリント基板を用いて駆動回路に、電気的に接続することができる。
具体的には、駆動回路GDAと電気的に接続することができる。また、駆動回路SD1と電気的に接続することができる。
《伸張回路234》
伸張回路234は、圧縮された状態で供給される画像情報V1を伸張する機能を備える。伸張回路234は、記憶部を備える。記憶部は、例えば伸張された画像情報を記憶する機能を備える。
《画像処理回路235》
画像処理回路235は、例えば、記憶領域を備える。記憶領域は、例えば、画像情報V1に含まれる情報を記憶する機能を備える。
画像処理回路235は、例えば、所定の特性曲線に基づいて画像情報V1を補正して情報V11を生成する機能と、情報V11を供給する機能を備える。
駆動回路GDAは制御信号SP11に基づいて、選択信号及び制御信号SP12を生成する。
駆動回路GDAは選択信号及び制御信号SP12を供給する。
駆動回路SD1は情報V11に基づいて、画像信号を供給する。
端子領域529Aは端子519A(0)を備える。端子519A(0)は駆動回路GDAと電気的に接続され、制御信号SP12を供給される。
端子領域529Cは、端子519C(0)を備える。端子519C(0)は、端子519A(0)と電気的に接続される。
表示パネル700(p+1,q)は、駆動回路GDB及び走査線G1B(j)を備えることが好ましい。
《駆動回路GDB》
駆動回路GDBは端子519C(0)及び走査線G1B(i)と電気的に接続される。
駆動回路GDBは、制御信号SP12に基づいて、他の選択信号を生成し、供給する。
《画素702B(i,j)》
画素702B(i,j)は、走査線G1B(i)及び信号線S1B(j)と電気的に接続される。
画素702B(i,j)は、情報V11及び他の選択信号を供給される。
これにより、第1の駆動回路乃至第3の駆動回路の動作を同期することができる。または、連続する画像を一群の表示パネルに同期して表示することができる。または、連続する画像を他の一群の表示パネルに同期して表示することができる。その結果、利便性または信頼性に優れた新規な表示装置を提供することができる。
本実施の形態は、他の実施の形態及び実施例と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態4)
本実施の形態では、本発明の一態様で開示されるトランジスタに用いることができる金属酸化物について説明する。以下では特に、金属酸化物とCAC(Cloud−Aligned Composite)−OSの詳細について説明する。
CAC−OSまたはCAC−metal oxideは、材料の一部では導電性の機能と、材料の一部では絶縁性の機能とを有し、材料の全体では半導体としての機能を有する。なお、CAC−OSまたはCAC−metal oxideを、トランジスタのチャネル形成領域に用いる場合、導電性の機能は、キャリアとなる電子(またはホール)を流す機能であり、絶縁性の機能は、キャリアとなる電子を流さない機能である。導電性の機能と、絶縁性の機能とを、それぞれ相補的に作用させることで、スイッチングさせる機能(On/Offさせる機能)をCAC−OSまたはCAC−metal oxideに付与することができる。CAC−OSまたはCAC−metal oxideにおいて、それぞれの機能を分離させることで、双方の機能を最大限に高めることができる。
また、CAC−OSまたはCAC−metal oxideは、導電性領域、及び絶縁性領域を有する。導電性領域は、上述の導電性の機能を有し、絶縁性領域は、上述の絶縁性の機能を有する。また、材料中において、導電性領域と、絶縁性領域とは、ナノ粒子レベルで分離している場合がある。また、導電性領域と、絶縁性領域とは、それぞれ材料中に偏在する場合がある。また、導電性領域は、周辺がぼけてクラウド状に連結して観察される場合がある。
また、CAC−OSまたはCAC−metal oxideにおいて、導電性領域と、絶縁性領域とは、それぞれ0.5nm以上10nm以下、好ましくは0.5nm以上3nm以下のサイズで材料中に分散している場合がある。
また、CAC−OSまたはCAC−metal oxideは、異なるバンドギャップを有する成分により構成される。例えば、CAC−OSまたはCAC−metal oxideは、絶縁性領域に起因するワイドギャップを有する成分と、導電性領域に起因するナローギャップを有する成分と、により構成される。当該構成の場合、キャリアを流す際に、ナローギャップを有する成分において、主にキャリアが流れる。また、ナローギャップを有する成分が、ワイドギャップを有する成分に相補的に作用し、ナローギャップを有する成分に連動してワイドギャップを有する成分にもキャリアが流れる。このため、上記CAC−OSまたはCAC−metal oxideをトランジスタのチャネル形成領域に用いる場合、トランジスタのオン状態において高い電流駆動力、つまり大きなオン電流、及び高い電界効果移動度を得ることができる。
すなわち、CAC−OSまたはCAC−metal oxideは、マトリックス複合材(matrix composite)、または金属マトリックス複合材(metal matrix composite)と呼称することもできる。
CAC−OSは、例えば、金属酸化物を構成する元素が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上2nm以下、またはその近傍のサイズで偏在した材料の一構成である。なお、以下では、金属酸化物において、一つあるいはそれ以上の金属元素が偏在し、該金属元素を有する領域が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上2nm以下、またはその近傍のサイズで混合した状態をモザイク状、またはパッチ状ともいう。
なお、金属酸化物は、少なくともインジウムを含むことが好ましい。特にインジウム及び亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
例えば、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OS(CAC−OSの中でもIn−Ga−Zn酸化物を、特にCAC−IGZOと呼称してもよい。)とは、インジウム酸化物(以下、InOX1(X1は0よりも大きい実数)とする。)、またはインジウム亜鉛酸化物(以下、InX2ZnY2Z2(X2、Y2、及びZ2は0よりも大きい実数)とする。)と、ガリウム酸化物(以下、GaOX3(X3は0よりも大きい実数)とする。)、またはガリウム亜鉛酸化物(以下、GaX4ZnY4Z4(X4、Y4、及びZ4は0よりも大きい実数)とする。)などと、に材料が分離することでモザイク状となり、モザイク状のInOX1、またはInX2ZnY2Z2が、膜中に均一に分布した構成(以下、クラウド状ともいう。)である。
つまり、CAC−OSは、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とが、混合している構成を有する複合金属酸化物である。なお、本明細書において、例えば、第1の領域の元素Mに対するInの原子数比が、第2の領域の元素Mに対するInの原子数比よりも大きいことを、第1の領域は、第2の領域と比較して、Inの濃度が高いとする。
なお、IGZOは通称であり、In、Ga、Zn、及びOによる1つの化合物をいう場合がある。代表例として、InGaO(ZnO)m1(m1は自然数)、またはIn(1+x0)Ga(1−x0)(ZnO)m0(−1≦x0≦1、m0は任意数)で表される結晶性の化合物が挙げられる。
上記結晶性の化合物は、単結晶構造、多結晶構造、またはCAAC(c−axis aligned crystal)構造を有する。なお、CAAC構造とは、複数のIGZOのナノ結晶がc軸配向を有し、かつa−b面においては配向せずに連結した結晶構造である。
一方、CAC−OSは、金属酸化物の材料構成に関する。CAC−OSとは、In、Ga、Zn、及びOを含む材料構成において、一部にGaを主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。従って、CAC−OSにおいて、結晶構造は副次的な要素である。
なお、CAC−OSは、組成の異なる二種類以上の膜の積層構造は含まないものとする。例えば、Inを主成分とする膜と、Gaを主成分とする膜との2層からなる構造は、含まない。
なお、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とは、明確な境界が観察できない場合がある。
なお、ガリウムの代わりに、アルミニウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれている場合、CAC−OSは、一部に該金属元素を主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。
CAC−OSは、例えば基板を意図的に加熱しない条件で、スパッタリング法により形成することができる。また、CAC−OSをスパッタリング法で形成する場合、成膜ガスとして、不活性ガス(代表的にはアルゴン)、酸素ガス、及び窒素ガスの中から選ばれたいずれか一つまたは複数を用いればよい。また、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガスの流量比は低いほど好ましく、例えば酸素ガスの流量比を0%以上30%未満、好ましくは0%以上10%以下とすることが好ましい。
CAC−OSは、X線回折(XRD:X−ray diffraction)測定法のひとつであるOut−of−plane法によるθ/2θスキャンを用いて測定したときに、明確なピークが観察されないという特徴を有する。すなわち、X線回折から、測定領域のa−b面方向、及びc軸方向の配向は見られないことが分かる。
またCAC−OSは、プローブ径が1nmの電子線(ナノビーム電子線ともいう。)を照射することで得られる電子線回折パターンにおいて、リング状に輝度の高い領域と、該リング領域に複数の輝点が観測される。従って、電子線回折パターンから、CAC−OSの結晶構造が、平面方向、及び断面方向において、配向性を有さないnc(nano−crystal)構造を有することがわかる。
また例えば、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OSでは、エネルギー分散型X線分光法(EDX:Energy Dispersive X−ray spectroscopy)を用いて取得したEDXマッピングにより、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とが、偏在し、混合している構造を有することが確認できる。
CAC−OSは、金属元素が均一に分布したIGZO化合物とは異なる構造であり、IGZO化合物と異なる性質を有する。つまり、CAC−OSは、GaOX3などが主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域と、に互いに相分離し、各元素を主成分とする領域がモザイク状である構造を有する。
ここで、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域は、GaOX3などが主成分である領域と比較して、導電性が高い領域である。つまり、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域を、キャリアが流れることにより、酸化物半導体としての導電性が発現する。従って、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域が、酸化物半導体中にクラウド状に分布することで、高い電界効果移動度(μ)が実現できる。
一方、GaOX3などが主成分である領域は、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域と比較して、絶縁性が高い領域である。つまり、GaOX3などが主成分である領域が、酸化物半導体中に分布することで、リーク電流を抑制し、良好なスイッチング動作を実現できる。
従って、CAC−OSを半導体素子に用いた場合、GaOX3などに起因する絶縁性と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1に起因する導電性とが、相補的に作用することにより、高いオン電流(Ion)、及び高い電界効果移動度(μ)を実現することができる。
また、CAC−OSを用いた半導体素子は、信頼性が高い。従って、CAC−OSは、ディスプレイをはじめとするさまざまな半導体装置に最適である。
本実施の形態は、他の実施の形態及び実施例と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態5)
本実施の形態では、本発明の一態様の電子機器について図16を用いて説明する。
本実施の形態の電子機器は、本発明の一態様の表示パネルまたは表示装置を有する。これにより、電子機器の表示部は、高品質な映像を表示することができる。
本実施の形態の電子機器の表示部には、例えばフルハイビジョン、2K、4K、8K、16K、またはそれ以上の解像度を有する映像を表示させることができる。また、表示部の画面サイズは、対角20インチ以上、対角30インチ以上、対角50インチ以上、対角60インチ以上、または対角70インチ以上とすることができる。
電子機器としては、例えば、テレビジョン装置、デスクトップ型もしくはノート型のパーソナルコンピュータ、コンピュータ用などのモニタ、デジタルサイネージ(Digital Signage:電子看板)、パチンコ機などの大型ゲーム機などの比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、などが挙げられる。
本発明の一態様の電子機器は、アンテナを有していてもよい。アンテナで信号を受信することで、表示部で映像や情報等の表示を行うことができる。また、電子機器がアンテナ及び二次電池を有する場合、アンテナを、非接触電力伝送に用いてもよい。
本発明の一態様の電子機器は、センサ(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)を有していてもよい。
本発明の一態様の電子機器は、様々な機能を有することができる。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付または時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア(プログラム)を実行する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出す機能等を有することができる。
図16(A)にテレビジョン装置の一例を示す。テレビジョン装置7100は、筐体7101に表示部7000が組み込まれている。ここでは、スタンド7103により筐体7101を支持した構成を示している。
表示部7000に、本発明の一態様の表示パネルまたは表示装置を適用することができる。
図16(A)に示すテレビジョン装置7100の操作は、筐体7101が備える操作スイッチや、別体のリモコン操作機7111により行うことができる。または、表示部7000にタッチセンサを備えていてもよく、指等で表示部7000に触れることでテレビジョン装置7100を操作してもよい。リモコン操作機7111は、当該リモコン操作機7111から出力する情報を表示する表示部を有していてもよい。リモコン操作機7111が備える操作キーまたはタッチパネルにより、チャンネル及び音量の操作を行うことができ、表示部7000に表示される映像を操作することができる。
なお、テレビジョン装置7100は、受信機及びモデムなどを備えた構成とする。受信機により一般のテレビ放送の受信を行うことができる。また、モデムを介して有線または無線による通信ネットワークに接続することにより、一方向(送信者から受信者)または双方向(送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など)の情報通信を行うことも可能である。
図16(B)に、ノート型パーソナルコンピュータの一例を示す。ノート型パーソナルコンピュータ7200は、筐体7211、キーボード7212、ポインティングデバイス7213、外部接続ポート7214等を有する。筐体7211に、表示部7000が組み込まれている。
表示部7000に、本発明の一態様の表示パネルまたは表示装置を適用することができる。
図16(C)、(D)に、デジタルサイネージの一例を示す。
図16(C)に示すデジタルサイネージ7300は、筐体7301、表示部7000、及びスピーカ7303等を有する。さらに、LEDランプ、操作キー(電源スイッチ、または操作スイッチを含む)、接続端子、各種センサ、マイクロフォン等を有することができる。
図16(D)は円柱状の柱7401に取り付けられたデジタルサイネージ7400である。デジタルサイネージ7400は、柱7401の曲面に沿って設けられた表示部7000を有する。
図16(C)、(D)において、表示部7000に、本発明の一態様の表示パネルまたは表示装置を適用することができる。
表示部7000が広いほど、一度に提供できる情報量を増やすことができる。また、表示部7000が広いほど、人の目につきやすく、例えば、広告の宣伝効果を高めることができる。
表示部7000にタッチパネルを適用することで、表示部7000に静止画または動画を表示するだけでなく、使用者が直感的に操作することができ、好ましい。また、路線情報もしくは交通情報などの情報を提供するための用途に用いる場合には、直感的な操作によりユーザビリティを高めることができる。
また、図16(C)、(D)に示すように、デジタルサイネージ7300またはデジタルサイネージ7400は、ユーザーが所持するスマートフォン等の情報端末機7311または情報端末機7411と無線通信により連携可能であることが好ましい。例えば、表示部7000に表示される広告の情報を、情報端末機7311または情報端末機7411の画面に表示させることができる。また、情報端末機7311または情報端末機7411を操作することで、表示部7000の表示を切り替えることができる。
また、デジタルサイネージ7300またはデジタルサイネージ7400に、情報端末機7311または情報端末機7411の画面を操作手段(コントローラ)としたゲームを実行させることもできる。これにより、不特定多数のユーザーが同時にゲームに参加し、楽しむことができる。
本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
本実施例では、本発明の一態様の表示パネルの断面観察を行った結果について説明する。
図17に示す断面写真において、上側が表示パネルの裏面側で、下側が表示面側である。
中間層(Interlayer)は、図9(A)などに示す平坦化機能を有する絶縁層314に相当する。つまり、図17では、絶縁層314が2層構造である。
中間層側から、EL層112、共通電極113、及び保護層105が積層されている。
共通電極113としては、ITO膜を形成した。保護層105としては、酸化アルミニウム(AlOx)膜を形成した。ITO膜はスパッタリング法を用いて形成し、AlOx膜はALD法を用いて形成した。
絶縁層104の端部、及び、中間層の端部には、それぞれ段差が生じている。図17から、EL層112、共通電極113、及び保護層105が段切れすることなく正常に成膜できていることが確認できた。
また、断面写真には含まれていないが、表示パネルの端部付近、かつ、中間層の端部及び共通電極113の端部よりも外側において、共通電極113及び保護層105がそれぞれFET側の無機膜と接する。つまり、本実施例の表示パネルの端部には、図9(B)に示すような構造が適用されている。これにより、表示パネルの側面における防水性を高めることができる。
71 画素部
71a 画素部
71b 画素部
71c 画素部
71d 画素部
72 領域
72b 領域
72c 領域
72d 領域
73 領域
74 FPC
74a FPC
75 接続部
78 駆動回路
79 表示領域
101 基板
103 絶縁層
104 絶縁層
105 保護層
107 補助配線
108 有機絶縁層
109 無機絶縁層
110 発光素子
111 画素電極
112 EL層
113 共通電極
114 光学調整層
121 領域
122 領域
131 着色層
132 遮光層
141 絶縁層
201 導電層
202 絶縁層
203a 導電層
203b 導電層
204 半導体層
204a チャネル形成領域
204b 低抵抗領域
205 導電層
206a 絶縁層
206b 絶縁層
207 絶縁層
208 絶縁層
210a トランジスタ
210b トランジスタ
211 絶縁層
212 絶縁層
213 絶縁層
214a チャネル形成領域
214b 低抵抗領域
214c LDD領域
220 トランジスタ
224 半導体層
225 不純物半導体層
226 絶縁層
230 トランジスタ
231 表示領域
231B 表示領域
233 制御回路
234 伸張回路
235 画像処理回路
238 制御部
240 トランジスタ
301 トランジスタ
302 トランジスタ
303 トランジスタ
305 容量素子
306 接続部
307 導電層
308 開口
311 ゲート絶縁層
312 絶縁層
313 絶縁層
314 絶縁層
317 接着層
318 接着層
319 接続体
320 空間
355 導電層
356 導電層
357 導電層
360A 表示パネル
360B 表示パネル
361 基板
363 接着層
365 絶縁層
367 絶縁層
370A 表示パネル
370B 表示パネル
370C 表示パネル
371 基板
373 接着層
375 絶縁層
380A 表示パネル
380B 表示パネル
510 基材
519A 端子
519B 端子
519C 端子
519D 端子
520 機能層
529A 端子領域
529B 端子領域
529C 端子領域
529D 端子領域
700 表示パネル
702 画素
702B 画素
770 基材
7000 表示部
7100 テレビジョン装置
7101 筐体
7103 スタンド
7111 リモコン操作機
7200 ノート型パーソナルコンピュータ
7211 筐体
7212 キーボード
7213 ポインティングデバイス
7214 外部接続ポート
7300 デジタルサイネージ
7301 筐体
7303 スピーカ
7311 情報端末機
7400 デジタルサイネージ
7401 柱
7411 情報端末機

Claims (15)

  1. 発光素子と、第1の絶縁層と、保護層と、導電層と、を有し、
    前記発光素子は、第1の電極と、発光層と、第2の電極と、を有し、
    前記発光素子は、前記保護層側に光を射出し、
    前記第1の絶縁層は、前記第1の電極と重なる第1の開口を有し、
    前記第1の絶縁層は、前記第1の電極の端部を覆い、
    前記発光層は、前記第1の開口を介して、前記第1の電極と重なり、
    前記第2の電極は、前記発光層上に位置し、
    前記保護層は、前記第2の電極上に接し、
    前記保護層は、前記第1の絶縁層と重なる第2の開口を有し、
    前記導電層は、前記第2の開口を介して、前記第2の電極と接続される、表示パネル。
  2. 第1の基板と、トランジスタと、発光素子と、第1の絶縁層と、第1の無機絶縁層と、第2の無機絶縁層と、第3の無機絶縁層と、保護層と、接着層と、を有し、
    前記第1の基板は、可撓性を有し、
    前記トランジスタは、前記第1の無機絶縁層を介して、前記第1の基板と重なり、
    前記トランジスタの半導体層は、前記第1の無機絶縁層と前記第2の無機絶縁層との間に位置し、
    前記発光素子は、前記第2の無機絶縁層と前記保護層との間に位置し、
    前記発光素子は、第1の電極と、発光層と、第2の電極と、を有し、
    前記発光素子は、前記保護層側に光を射出し、
    前記第1の絶縁層は、前記第1の電極と重なる第1の開口を有し、
    前記第1の絶縁層は、前記第1の電極の端部を覆い、
    前記発光層は、前記第1の開口を介して、前記第1の電極と重なり、
    前記第2の電極は、前記発光層上に位置し、
    前記発光素子は、前記保護層を介して、前記第3の無機絶縁層と重なり、
    前記第3の無機絶縁層は、前記接着層を介して、前記発光素子と重なり、
    前記保護層は、前記第1の絶縁層の端部よりも外側で、前記第2の無機絶縁層と接する、表示パネル。
  3. 請求項2において、
    さらに、導電層を有し、
    前記保護層は、前記第1の絶縁層と重なる第2の開口を有し、
    前記導電層は、前記第2の開口を介して、前記第2の電極と接続される、表示パネル。
  4. 請求項1乃至3のいずれか一において、
    前記第2の電極は、前記発光層の端部を覆う、表示パネル。
  5. 請求項1乃至4のいずれか一において、
    前記第1の絶縁層は、無機絶縁層を有する、表示パネル。
  6. 請求項1または3において、
    前記導電層の抵抗率は、前記第2の電極の抵抗率よりも低い、表示パネル。
  7. 請求項1乃至6のいずれか一において、
    前記保護層は、無機膜を有する、表示パネル。
  8. 請求項1乃至7のいずれか一において、
    前記保護層は、有機絶縁膜を有する、表示パネル。
  9. 請求項1または3において、
    さらに、第2の絶縁層を有し、
    前記第2の絶縁層は、前記導電層上に位置する、表示パネル。
  10. 請求項9において、
    前記第2の絶縁層は、前記保護層と接する部分を有する、表示パネル。
  11. 請求項1乃至10のいずれか一において、
    前記第1の絶縁層は、前記保護層と接する部分を有する、表示パネル。
  12. 請求項1乃至11のいずれか一に記載の表示パネルと、
    回路基板と、を有する、表示モジュール。
  13. 請求項12に記載の表示モジュールと、
    アンテナ、バッテリ、筐体、カメラ、スピーカ、マイク、または操作ボタンの少なくともいずれか一と、を有する、電子機器。
  14. 第1の表示パネル及び第2の表示パネルを有し、
    前記第1の表示パネルは、第1の表示領域を有し、
    前記第2の表示パネルは、第2の表示領域及び可視光を透過する領域を有し、
    前記第2の表示領域は、前記可視光を透過する領域と隣接し、
    前記第1の表示領域は、前記可視光を透過する領域と重なる部分を有し、
    前記第1の表示領域は、第1の発光素子と、第1の絶縁層と、第1の保護層と、第1の導電層と、を有し、
    前記第1の発光素子は、第1の電極と、第1の発光層と、第2の電極と、を有し、
    前記第1の発光素子は、前記第1の保護層側に光を射出し、
    前記第1の絶縁層は、前記第1の電極と重なる第1の開口を有し、
    前記第1の絶縁層は、前記第1の電極の端部を覆い、
    前記第1の発光層は、前記第1の開口を介して、前記第1の電極と重なり、
    前記第2の電極は、前記第1の発光層上に位置し、
    前記第1の保護層は、前記第2の電極上に接し、
    前記第1の保護層は、前記第1の絶縁層と重なる第2の開口を有し、
    前記第1の導電層は、前記第2の開口を介して、前記第2の電極と接続される、表示装置。
  15. 請求項14において、
    前記第2の表示領域は、第2の発光素子と、第2の絶縁層と、第2の保護層と、第2の導電層と、を有し、
    前記第2の発光素子は、第3の電極と、第2の発光層と、第4の電極と、を有し、
    前記第2の発光素子は、前記第2の保護層側に光を射出し、
    前記第2の絶縁層は、前記第3の電極と重なる第3の開口を有し、
    前記第2の絶縁層は、前記第3の電極の端部を覆い、
    前記第2の発光層は、前記第3の開口を介して、前記第3の電極と重なり、
    前記第4の電極は、前記第2の発光層上に位置し、
    前記第2の保護層は、前記第4の電極上に接し、
    前記第2の保護層は、前記第2の絶縁層と重なる第4の開口を有し、
    前記第2の導電層は、前記第4の開口を介して、前記第4の電極と接続される、表示装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022018799A1 (ja) * 2020-07-20 2022-01-27 シャープ株式会社 表示装置

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102599722B1 (ko) * 2018-12-28 2023-11-09 삼성디스플레이 주식회사 표시 패널 및 이를 포함하는 타일드 표시 장치
US11769436B2 (en) * 2021-02-17 2023-09-26 Samsung Electronics Co., Ltd. Display apparatus including display driving circuit and display panel

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008098148A (ja) * 2006-09-14 2008-04-24 Canon Inc 有機発光装置
JP2010027504A (ja) * 2008-07-23 2010-02-04 Seiko Epson Corp 有機el装置及び電子機器
JP2013254947A (ja) * 2012-05-10 2013-12-19 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 表示装置およびその作製方法
JP2016029464A (ja) * 2014-07-18 2016-03-03 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6559594B2 (en) * 2000-02-03 2003-05-06 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light-emitting device
KR100963074B1 (ko) * 2008-10-17 2010-06-14 삼성모바일디스플레이주식회사 유기전계발광 표시장치
JP2010257957A (ja) 2009-04-01 2010-11-11 Seiko Epson Corp 有機エレクトロルミネッセンス装置
KR101407587B1 (ko) 2011-06-02 2014-06-13 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시장치 및 그 제조방법
KR102079188B1 (ko) 2012-05-09 2020-02-19 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 발광 장치 및 전자 기기
US8813235B2 (en) * 2012-08-10 2014-08-19 Nopsec Inc. Expert system for detecting software security threats
KR101994227B1 (ko) 2012-12-07 2019-09-30 엘지디스플레이 주식회사 유기전계 발광소자 및 그 제조방법
KR20150010037A (ko) 2013-07-17 2015-01-28 삼성디스플레이 주식회사 표시장치 및 그 제조방법
US10141383B2 (en) * 2014-07-29 2018-11-27 Lg Display Co., Ltd. Organic light emitting display device and method for manufacturing the same
CN104157675A (zh) * 2014-08-05 2014-11-19 京东方科技集团股份有限公司 一种oled显示器件及其制作方法、显示装置
KR102341853B1 (ko) * 2015-08-12 2021-12-23 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
US10424632B2 (en) 2015-11-30 2019-09-24 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device and electronic device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008098148A (ja) * 2006-09-14 2008-04-24 Canon Inc 有機発光装置
JP2010027504A (ja) * 2008-07-23 2010-02-04 Seiko Epson Corp 有機el装置及び電子機器
JP2013254947A (ja) * 2012-05-10 2013-12-19 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 表示装置およびその作製方法
JP2016029464A (ja) * 2014-07-18 2016-03-03 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022018799A1 (ja) * 2020-07-20 2022-01-27 シャープ株式会社 表示装置

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