JP2019173019A - スチレン及びメタクリル酸メチルをベースとする非構造化ブロックコポリマーを用いるブロックコポリマーフィルムのナノ構造化のための方法、並びにナノ構造ブロックコポリマーフィルム - Google Patents
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Abstract
Description
したがって、本発明の目的は、先行技術の欠点の少なくとも一つを克服することである。本発明は特に、所定の温度で非構造化された基本ブロックコポリマーから出発し、スチレンを含む少なくとも一つのブロックとメタクリル酸メチルを含む少なくとももう一つのブロックとを有するブロックコポリマーフィルムを10nm未満のサイズのナノドメインにナノ構造化するための方法を提案することを企図している。この目的のために、該ブロックコポリマーは、生成物χNが7以上、好ましくは10以上となってナノドメイン間の良好な相分離を可能にし、およそ1ナノメートルの分解能を得るように、修飾される。該ナノ構造化法はまた、およそ数分の組織化速度で、ブロックコポリマーの極めて迅速な組織化を可能にする必要がある。好ましくは、およそ数分の組織化速度を得るために、生成物χNは500以下、好ましくは200以下である必要がある。本発明はまた、所定の温度で非構造化された基本ブロックコポリマーから得られ、スチレンを含む少なくとも一つのブロックとメタクリル酸メチルを含む少なくとももう一つのブロックとを有する、前記所定の温度で10nm未満のサイズのナノドメインにナノ構造化されたブロックコポリマーフィルムを提案することを企図しており、前記コポリマーは、該ブロックの迅速な組織化速度を有するナノドメインに自己ナノ構造化するように修飾される。
(Aα(i)-co-Cγ)n-b-(Bβ(k)-co-Dδ)n-1-b-(Aα(i+1)-co-Eε)n-2-b-(Bβ(k+1)-co-Fζ)n-3-b-…-b-(Bβ(k+x)-co-Wω)n-p (I)
(ここで、
「n」は、該ブロックコポリマーのブロックの数を表し、
「A」はスチレン、「B」はメタクリル酸メチル、又は逆を表し、
「C」、「D」、「E」、「F」、…、「W」はそれぞれ、該ブロックコポリマーの各ブロックに組み込まれたコモノマー又はコモノマーの混合物を表し、スチレン系のブロックに組み込まれたコモノマー又はコモノマーの混合物は、メタクリル酸メチル系のブロックに組み込まれたコモノマー又はコモノマーの混合物とは異なっており、
下付き文字αi及びβkは、該ブロックコポリマーの各ブロックに含まれるスチレン又はメタクリル酸メチルのモノマー単位の数を表し、
下付き文字γ、δ、ε、ζ…、及びωは、所与のブロック中のコモノマー単位の数を表し、すべては互いに独立しており、
下付き文字αi、βk、γ、δ、ε、ζ…、及びωは、すべて1以上であり、
χN値は所望の範囲で得られ、基本PS-b-PMMA、すなわち修飾されていないブロックコポリマーの組織化速度と同程度、典型的にはおよそ数分から数十分の適切な組織化速度及び欠陥低減速度を保持ししつ、典型的には10nm未満の小さいサイズのナノドメインが得られる。)
− 前記基本ブロックコポリマーの各ブロックに少なくとも一つのコモノマーを組み込むことによる前記ブロックコポリマーの合成であって、その結果前記ブロックコポリマーが次の改変された式(I):
(Aα(i)−co−Cγ)n−b−(Bβ(k)−co−Dδ)n−1−b−(Aα(i+1)−co−Eε)n−2−b−(Bβ(k+1)−co−Fζ)n−3−b−…−b−(Bβ(k+x)−co−Wω)n−p (I)
(ここで、
「n」は、該ブロックコポリマーのブロックの数を表し、
「A」はスチレン、「B」はメタクリル酸メチル、又は逆を表し、
「C」、「D」、「E」、「F」、…、「W」はそれぞれ、該ブロックコポリマーの各ブロックに組み込まれたコモノマー又はコモノマーの混合物を表し、スチレン系のブロックに組み込まれたコモノマー又はコモノマーの混合物は、メタクリル酸メチル系のブロックに組み込まれたコモノマー又はコモノマーの混合物とは異なっており、
下付き文字αi及びβkは、該ブロックコポリマーの各ブロックに含まれるスチレン又はメタクリル酸メチルのモノマー単位の数を表し、すべては互いに独立しており、
下付き文字γ、δ、ε、ζ…、及びωは、所与のブロック中のコモノマー単位の数を表し、すべては互いに独立しており、
下付き文字αi、βk、γ、δ、ε、ζ…、及びωは、すべて1以上である。)
を満たす工程;
− 前記ブロックコポリマーの溶液を表面にフィルム状に塗布する工程;
− 該溶液の溶媒を蒸発させ、前記所定の温度でアニーリングする工程
を含むことを特徴とする方法に関する。
(Aα(i)−co−Cγ)n−b−(Bβ(k)−co−Dδ)n−1−b−(Aα(i+1)−co−Eε)n−2−b−(Bβ(k+1)−co−Fζ)n−3−b−…−b−(Bβ(k+x)−co−Wω)n−p (I)
(ここで、
「n」は、該ブロックコポリマーのブロックの数を表し、
「A」はスチレン、「B」はメタクリル酸メチル、又は逆を表し、
「C」、「D」、「E」、「F」…「W」は、該ブロックコポリマーの各ブロックに組み込まれた各コモノマーである。スチレンブロックに組み込まれたコモノマー又はコモノマーの混合物は、メタクリル酸メチルブロックに組み込まれたコモノマー又はコモノマーの混合物とは異なる。)
を満たす。
ここで、ラジカルRLは、15.0342g/モルを超えるモル質量を有する。ラジカルRLは、15.0342を超えるモル質量を有する限り、塩素、臭素又はヨウ素などのハロゲン原子であっても、飽和若しくは不飽和の環状、分岐状又は直鎖状炭化水素基(例えば、アルキルラジカル又はフェニルラジカル)、又はエステル基-COOR、又はアルコキシル基-OR、又はホスホン酸エステル基-PO(OR)2であってもよい。一価のラジカルRLはニトロキシドラジカルの窒素原子との相対位置bにあるといわれる。式(1)の炭素原子及び窒素原子の残りの原子価は、種々のラジカル、例えば水素原子、1から10個の炭素原子を含むアルキル、アリール又はアリール-アルキルラジカル等の炭化水素ラジカルに結合していてもよい。式(1)の炭素原子と窒素原子が二価のラジカルを介して結合し、環を形成することは除外されない。しかし、式(1)の炭素原子と窒素原子の残りの原子価は、好ましくは一価のラジカルに結合している。ラジカルRLは、好ましくは30g/モルを超えるモル質量を有する。ラジカルRLは、例えば40から450g/モルのモル質量を有してもよい。例として、ラジカルRLは、ホスホリル基を含むラジカルであってもよく、前記ラジカルRLは、以下の式:
(ここで、R3及びR4は、同じであるか又は異なっており、アルキル、シクロアルキル、アルコキシル、アリールオキシル、アリール、アラルキルオキシル、ペルフルオロアルキル、アラルキルラジカルから選択することができ、1から20個の炭素原子を有しうる。R3及び/又はR4はまた、塩素、臭素、フッ素又はヨウ素原子等のハロゲン原子であってもよい。また、例えば1から4個の炭素原子を有するアルキルラジカルにより置換されていてもよいフェニルラジカル又はナフチルラジカルの場合、ラジカルRLは少なくとも一つの芳香環を含んでもよい。)
により表すことができる。
− N-テルチオブチル-1-フェニル-2メチルプロピルニトロキシド
− N-テルチオブチル-1-(2-ナフチル)-2-メチルプロピルニトロキシド
− N-テルチオブチル−1−ジエチルホスホノ-2,2-ジメチルプロピルニトロキシド
− N-テルチオブチル-1-ジベンジルホスホノ-2,2-ジメチルプロピルニトロキシド
− N-フェニル-1-ジエチルホスホノ-2,2-ジメチルプロピルニトロキシド
− N-フェニル-1-ジエチルホスホノ-1-メチルエチルニトロキシド
− N-(1-フェニル2-メチルプロピル)-1-ジエチルホスホノ-1-メチルエチルニトロキシド
− 4-オキソ-2,2,6,6-テトラメチル-1-ピペリジニルオキシ
− 2,4,6−トリ−tert−ブチルフェノキシ
Mn=29.1kg/モル
Mw/Mn=1.2
P(S-co-DPE)/P(MMA-co MADAME)の重量比=69.8:30.2
Claims (17)
- 所定の温度で非構造化された基本ブロックコポリマーから得られ、スチレンを含む少なくとも一つのブロックと、メタクリル酸メチルを含む少なくとも一つの他のブロックとを有する、前記所定の温度でナノドメインにナノ構造化されるブロックコポリマーフィルムであって、以下の改変された化学式:
(Aα(i)−co−Cγ)n−b−(Bβ(k)−co−Dδ)n−1−b−(Aα(i+1)−co−Eε)n−2−b−(Bβ(k+1)−co−Fζ)n−3−b−…−b−(Bβ(k+x)−co−Wω)n−p (I)
(ここで、
「n」は、該ブロックコポリマーのブロックの数を表し、
「A」はスチレン、「B」はメタクリル酸メチル、又は逆を表し、
「C」、「D」、「E」、「F」、…、「W」はそれぞれ、該ブロックコポリマーの各ブロックに組み込まれたコモノマー又はコモノマーの混合物を表し、スチレンブロックに組み込まれたコモノマー又はコモノマーの混合物は、メタクリル酸メチルブロックに組み込まれたコモノマー又はコモノマーの混合物とは異なっており、
下付き文字αi及びβkは、該ブロックコポリマーの各ブロックに含まれるスチレン又はメタクリル酸メチルのモノマー単位の数を表し、
下付き文字γ、δ、ε、ζ…、及びωは、所与のブロック中のコモノマー単位の数を表し、すべてが互いに独立しており、
下付き文字αi、βk、γ、δ、ε、ζ…、及びωは、すべて1以上である。)
を有することを特徴とするブロックコポリマーフィルム。 - 各ブロックに組み込まれる前記コモノマー又はコモノマーの混合物のすべてが化学的及び/又は構造的に互いに異なることを特徴とする、請求項1に記載のブロックコポリマーフィルム。
- ブロックの数nが好ましくはn≦7、より好ましくは2≦n≦3であることを特徴とする、請求項1又は2に記載のブロックコポリマーフィルム。
- さらに、下付き文字αi、βk、γ、δ、ε、ζ…、及びωが5000以下であることを特徴とする、請求項1から3のいずれか一項に記載のブロックコポリマーフィルム。
- 各ブロックに組み込まれる各コモノマー又はコモノマーの混合物のモノマー単位の相対比率が、共重合するコモノマーに対して1から99%、好ましくは5から49%であることを特徴とする、請求項1から4のいずれか一項に記載のブロックコポリマーフィルム。
- 各ブロックの分子量が500から200000であり、分散度指数が2以下、好ましくは1.02から1.70であることを特徴とする、請求項1から5のいずれか一項に記載のブロックコポリマーフィルム。
- ブロックコポリマーの総体積に対する各ブロックの体積分率が5から95%まで、好ましくは15から85%まで幅があることを特徴とする、請求項1から6のいずれか一項に記載のブロックコポリマーフィルム。
- 各コポリマーブロックのコモノマーがランダム型又はグラジエント型の配置を有することを特徴とする、請求項1から7のいずれか一項に記載のブロックコポリマーフィルム。
- 所定の温度で非構造化された基本ブロックコポリマーから、スチレンを含む少なくとも一つのブロックと、メタクリル酸メチルを含む少なくとも一つの他のブロックとを有するブロックコポリマーフィルムをナノドメインにナノ構造化するための方法であって、以下の工程:
− 前記基本ブロックコポリマーの各ブロックに少なくとも一つのコモノマーを組み込むことによる前記ブロックコポリマーの合成であって、その結果前記ブロックコポリマーが以下の改変された式(I):
(Aα(i)−co−Cγ)n−b−(Bβ(k)−co−Dδ)n−1−b−(Aα(i+1)−co−Eε)n−2−b−(Bβ(k+1)−co−Fζ)n−3−b−…−b−(Bβ(k+x)−co−Wω)n−p (I)
(ここで、
「n」は、該ブロックコポリマーのブロックの数を表し、
「A」はスチレン、「B」はメタクリル酸メチル、又は逆を表し、
「C」、「D」、「E」、「F」、…、「W」はそれぞれ、該ブロックコポリマーの各ブロックに組み込まれたコモノマー又はコモノマーの混合物を表し、スチレンブロックに組み込まれたコモノマー又はコモノマーの混合物は、メタクリル酸メチルブロックに組み込まれたコモノマー又はコモノマーの混合物とは異なっており、
下付き文字αi及びβkは、該ブロックコポリマーの各ブロックに含まれるスチレン又はメタクリル酸メチルのモノマー単位の数を表し、すべてが互いに独立しており、
下付き文字γ、δ、ε、ζ…、及びωは、所与のブロック中のコモノマー単位の数を表し、すべてが互いに独立しており、
下付き文字αi、βk、γ、δ、ε、ζ…、及びωは、すべて1以上である。)
を満たす工程
− 前記ブロックコポリマーの溶液を表面にフィルム状に塗布する工程
− 該溶液から溶媒を蒸発させ、前記所定の温度でアニーリングする工程
を含むことを特徴とする方法。 - 合成が制御ラジカル重合により実施されることを特徴とする、請求項9に記載の方法。
- 合成がアニオン重合により実施されることを特徴とする、請求項9に記載の方法。
- 合成されるコポリマーブロック及び組み込まれるコモノマー又はコモノマーの混合物の成長種間のpKの差異が12以下、好ましくは10以下であることを特徴とする、請求項11に記載の方法。
- アニーリング工程が、前記表面に沈着するブロックコポリマーフィルムのナノ構造化を可能にし、293°Kから673°Kの温度Tで実施される、請求項9から12のいずれか一項に記載の方法。
- ブロックコポリマーフィルムのナノ構造化を可能にするアニーリング工程が、溶媒雰囲気中又は熱経路を介して、又はこれらの両方の方法の組み合わせを介して実施されることを特徴とする、請求項9から13のいずれか一項に記載の方法。
- アニーリング工程時に、コポリマーブロックが5分以下、好ましくは2分以下の速度でナノドメインに自己組織化することを特徴とする、請求項9から14のいずれか一項に記載の方法。
- 各コポリマーブロックに組み込まれるコモノマー又はコモノマーの混合物が、それが共重合し、コポリマーブロックを形成するコモノマーに対して1%から99%、好ましくは5%から49%のモノマー単位の相対比率で組み込まれていることを特徴とする、請求項9から15のいずれか一項に記載の方法。
- 請求項9から16のいずれか一項に記載の方法に従ってエッチングされる表面に沈着する、請求項1から8のいずれか一項に記載のブロックコポリマーフィルムから得られるナノリソグラフィマスクであって、前記コポリマーフィルムがエッチングされる表面に対して垂直に配向しているナノドメインを含むマスク。
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