JP2019165250A - 光電変換装置 - Google Patents
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Abstract
Description
第1の実施形態について図1及び図2を用いて説明する。なお、本明細書で図示または記載されない部分に関しては、当該技術分野の周知または公知技術を適用する。また、説明を簡単にするため、各構成の面積について、各構成の断面の幅を用いて説明する場合がある。
第2の実施形態について、図3を用いて説明する。第2の実施形態は、第1の実施形態と導光路の幅を変えた点が異なる。本実施形態において、第1の実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。また、本実施形態において、第1の実施形態と対応する構成については、下二桁が同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
第3の実施形態について、図4を用いて説明する。第3の実施形態は、第1の実施形態と導光路の高さを変えた点が異なり、第2の実施形態と導光路の幅ではなく高さを変えた点で異なる。本実施形態において、他の実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。また、本実施形態において、第1の実施形態と対応する構成については、下二桁が同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
第4の実施形態について、図5(a)、図5(b)を用いて説明する。第4の実施形態は、他の実施形態とは、光電変換層の厚みが異なる。本実施形態において、他の実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。また、本実施形態において、第1の実施形態と対応する構成については、下二桁が同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
第5の実施形態について、図6を用いて説明する。本実施形態において、他の実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。また、本実施形態において、第1の実施形態と対応する構成については、下二桁が同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
102 領域
201 基板
202 表面
218 光電変換部
219 電極
220 光電変換層
221 電極
225 部材
226 部分
219a、220a、221a 下面
219b、220b、221b、225b 上面
220c、220d 側面
214 保護膜
203 配線構造体
204〜208 絶縁膜
209〜213 配線層
Claims (1)
- 半導体基板と、
第1の電極と、前記第1の電極と前記半導体基板との間に配された第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極との間に配された光電変換層と、を含む光電変換部と、
第1の前記第2の電極と隣り合う第2の前記第2の電極との間に配された絶縁部材と、を有することを特徴とする光電変換装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019108029A JP2019165250A (ja) | 2019-06-10 | 2019-06-10 | 光電変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2019108029A JP2019165250A (ja) | 2019-06-10 | 2019-06-10 | 光電変換装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014156786A Division JP6541313B2 (ja) | 2014-07-31 | 2014-07-31 | 光電変換装置、及び撮像システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2019165250A true JP2019165250A (ja) | 2019-09-26 |
Family
ID=68065037
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP (1) | JP2019165250A (ja) |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01295457A (ja) * | 1988-05-24 | 1989-11-29 | Toshiba Corp | 積層型固体撮像装置及びその製造方法 |
JPH04291964A (ja) * | 1991-03-20 | 1992-10-16 | Fujitsu Ltd | 積層型固体撮像素子及びその製造方法 |
JPH05167056A (ja) * | 1991-12-17 | 1993-07-02 | Olympus Optical Co Ltd | 積層型固体撮像装置 |
JP2002530897A (ja) * | 1998-11-20 | 2002-09-17 | カリフォルニア・インスティチュート・オブ・テクノロジー | サブバンド内吸収に基づいた多重量子井戸センサに用いる波長に無感応な放射線の結合 |
JP2003209239A (ja) * | 2002-01-07 | 2003-07-25 | Xerox Corp | 性能強化構造を備えるイメージセンサ |
JP2011109012A (ja) * | 2009-11-20 | 2011-06-02 | Fujifilm Corp | 放射線検出素子 |
JP2011243704A (ja) * | 2010-05-17 | 2011-12-01 | Panasonic Corp | 固体撮像装置 |
JP2012039004A (ja) * | 2010-08-10 | 2012-02-23 | Sony Corp | 光電変換素子およびその製造方法 |
JP2012238648A (ja) * | 2011-05-10 | 2012-12-06 | Sony Corp | 固体撮像装置及び電子機器 |
US20130062593A1 (en) * | 2011-09-13 | 2013-03-14 | L-3 Communications Cincinnati Electronics Corporation | Frontside-illuminated barrier infrared photodetector device and methods of fabricating the same |
WO2014027588A1 (ja) * | 2012-08-14 | 2014-02-20 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置および電子機器 |
JP2014127545A (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-07 | Sony Corp | 固体撮像素子およびこれを備えた固体撮像装置 |
-
2019
- 2019-06-10 JP JP2019108029A patent/JP2019165250A/ja active Pending
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01295457A (ja) * | 1988-05-24 | 1989-11-29 | Toshiba Corp | 積層型固体撮像装置及びその製造方法 |
JPH04291964A (ja) * | 1991-03-20 | 1992-10-16 | Fujitsu Ltd | 積層型固体撮像素子及びその製造方法 |
JPH05167056A (ja) * | 1991-12-17 | 1993-07-02 | Olympus Optical Co Ltd | 積層型固体撮像装置 |
JP2002530897A (ja) * | 1998-11-20 | 2002-09-17 | カリフォルニア・インスティチュート・オブ・テクノロジー | サブバンド内吸収に基づいた多重量子井戸センサに用いる波長に無感応な放射線の結合 |
JP2003209239A (ja) * | 2002-01-07 | 2003-07-25 | Xerox Corp | 性能強化構造を備えるイメージセンサ |
JP2011109012A (ja) * | 2009-11-20 | 2011-06-02 | Fujifilm Corp | 放射線検出素子 |
JP2011243704A (ja) * | 2010-05-17 | 2011-12-01 | Panasonic Corp | 固体撮像装置 |
JP2012039004A (ja) * | 2010-08-10 | 2012-02-23 | Sony Corp | 光電変換素子およびその製造方法 |
JP2012238648A (ja) * | 2011-05-10 | 2012-12-06 | Sony Corp | 固体撮像装置及び電子機器 |
US20130062593A1 (en) * | 2011-09-13 | 2013-03-14 | L-3 Communications Cincinnati Electronics Corporation | Frontside-illuminated barrier infrared photodetector device and methods of fabricating the same |
WO2014027588A1 (ja) * | 2012-08-14 | 2014-02-20 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置および電子機器 |
JP2014127545A (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-07 | Sony Corp | 固体撮像素子およびこれを備えた固体撮像装置 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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