JP2019165207A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7620578B2 (ja) * 2022-01-07 2025-01-23 日本碍子株式会社 半導体製造装置用部材
CN115959479B (zh) * 2023-02-09 2025-12-12 中国科学院光电技术研究所 一种吸盘气道的设计方法、吸盘和设计装置
JP7551827B1 (ja) 2023-04-21 2024-09-17 日本特殊陶業株式会社 保持装置
JP7588686B1 (ja) 2023-07-04 2024-11-22 日本特殊陶業株式会社 保持装置、保持装置の製造方法、取付体、及び取付体の製造方法
KR20260035984A (ko) * 2023-08-30 2026-03-13 교세라 가부시키가이샤 시료 유지구
WO2025134289A1 (ja) * 2023-12-20 2025-06-26 日本碍子株式会社 半導体製造装置用部材
JP7748570B1 (ja) * 2024-03-08 2025-10-02 日本碍子株式会社 半導体製造装置用部材

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003045809A (ja) * 2001-07-31 2003-02-14 Toshiba Ceramics Co Ltd シャワープレート
JP2007253144A (ja) 2005-07-21 2007-10-04 Ibiden Co Ltd ハニカム構造体及び排ガス浄化装置
JP5449750B2 (ja) * 2008-11-19 2014-03-19 株式会社日本セラテック 静電チャックおよびその製造方法
JP6634315B2 (ja) 2016-03-03 2020-01-22 日本特殊陶業株式会社 保持装置および保持装置の製造方法
US10770270B2 (en) 2016-06-07 2020-09-08 Applied Materials, Inc. High power electrostatic chuck with aperture-reducing plug in a gas hole
JP6722518B2 (ja) 2016-06-09 2020-07-15 新光電気工業株式会社 焼結体及びその製造方法と静電チャック

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