JP2019160979A - Suction nozzle and component mounting device - Google Patents

Suction nozzle and component mounting device Download PDF

Info

Publication number
JP2019160979A
JP2019160979A JP2018044864A JP2018044864A JP2019160979A JP 2019160979 A JP2019160979 A JP 2019160979A JP 2018044864 A JP2018044864 A JP 2018044864A JP 2018044864 A JP2018044864 A JP 2018044864A JP 2019160979 A JP2019160979 A JP 2019160979A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
nozzle body
suction
body holding
suction nozzle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2018044864A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP7142204B2 (en
Inventor
平木 勉
Tsutomu Hiraki
勉 平木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Original Assignee
Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd filed Critical Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority to JP2018044864A priority Critical patent/JP7142204B2/en
Publication of JP2019160979A publication Critical patent/JP2019160979A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7142204B2 publication Critical patent/JP7142204B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

To provide a suction nozzle and a component mounting device capable of reducing the number of times of periodic maintenance.SOLUTION: A suction nozzle 20 includes a nozzle body holding part 22 having a mating hole 25, and a nozzle body 21 including a base end part 26 mating with the mating hole 25 slidably and a lower end part 27 where a component suction surface for sucking the component is formed. The base end part 26 is provided with a pin 30 projecting in the radial direction of the mating hole 25. In the lateral face 22b of the nozzle body holding part 22, a long hole 29 is formed to penetrate in the sliding direction of the nozzle body 21 up to the mating hole 25, and the pin 30 moves in the long hole 29 as the nozzle body 21 slides. Below the long hole 29, a contact surface with which the pin 30 contacts is formed, and in the lateral face 22b of the nozzle body holding part 22, a groove 31 is formed downward from the lower end of the contact surface. Bottom face 31a of the groove 31 is inclining downward to the outside of the nozzle body holding part 22.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、部品実装装置において部品を吸着して基板に装着する吸着ノズルおよび部品実装装置に関する。   The present invention relates to a suction nozzle and a component mounting apparatus for sucking and mounting a component on a substrate in the component mounting apparatus.

部品を基板に装着する部品実装装置は、部品を吸着して基板に装着する吸着ノズルを備えている(例えば、特許文献1)。特許文献1に記載の吸着ノズルは、嵌合孔を有するノズルホルダ(ノズル本体保持部)と、その上部が嵌合孔に嵌合して上下に摺動するノズル本体を含んで構成されている。ノズルホルダの側面には嵌合孔まで貫通する上下に長い長孔が形成され、ノズル本体に固定されたピンが長孔に係合することによりノズル本体の回転が規制される。また、ノズル本体はバネによって下方に付勢されており、下降したピンが長孔の下端部に当接することでノズル本体の下方への移動が規制される。この構造により、吸着ノズルが部品を基板に押し付けて部品を基板に装着する際にノズル本体がノズルホルダの内部に押し込まれることで、基板や部品に過剰な力が加わることが防止される。   2. Description of the Related Art A component mounting apparatus for mounting a component on a board includes a suction nozzle that sucks the component and mounts it on the board (for example, Patent Document 1). The suction nozzle described in Patent Document 1 includes a nozzle holder (nozzle body holding portion) having a fitting hole and a nozzle body whose upper part is fitted in the fitting hole and slides up and down. . A long hole extending vertically to the fitting hole is formed on the side surface of the nozzle holder, and the rotation of the nozzle body is restricted by engaging a pin fixed to the nozzle body with the long hole. Further, the nozzle body is biased downward by a spring, and the downward movement of the nozzle body is restricted by the lowered pin coming into contact with the lower end portion of the long hole. With this structure, when the suction nozzle presses the component against the substrate and mounts the component on the substrate, the nozzle body is pushed into the nozzle holder, thereby preventing an excessive force from being applied to the substrate and the component.

特開2017―112307号公報JP 2017-112307 A

しかしながら、特許文献1に記載の吸着ノズルでは、部品の装着を継続する間に粉塵などの異物が長孔の下端部に付着してノズル本体の下降が規制される高さが変動するため、定期的に長孔に付着した異物を取り除くメンテナンスを実行する必要があるという課題があった。   However, in the suction nozzle described in Patent Document 1, since the foreign substance such as dust adheres to the lower end portion of the long hole and the height at which the lowering of the nozzle body is restricted fluctuates while the mounting of the components is continued, periodic In particular, there has been a problem that it is necessary to perform maintenance to remove the foreign matter adhering to the long hole.

そこで本発明は、定期的なメンテナンスの回数を削減することができる吸着ノズルおよび部品実装装置を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a suction nozzle and a component mounting apparatus that can reduce the number of periodic maintenance.

本発明の吸着ノズルは、嵌合孔を有するノズル本体保持部と、前記嵌合孔に摺動可能に嵌合する基端部および部品を吸着する部品吸着面が形成された下端部とを含むノズル本体と、を備えた吸着ノズルにおいて、前記基端部にはピンが前記嵌合孔の径方向に突出して設けられ、前記ノズル本体保持部の側面には前記ノズル本体が摺動する方向に沿って前記嵌合孔まで貫通する長孔が形成され、前記ノズル本体が摺動するのに伴い前記ピンが前記長孔内を移動し、前記長孔の下部には、前記ピンが当接する当接面が形成され、前記ノズル本体保持部の側面には、前記当接面の下端から下方に向けて溝部が形成され、前記溝部の底面は、下方に向けて前記ノズル本体保持部の外側に傾斜していることを特徴とする。   The suction nozzle of the present invention includes a nozzle main body holding portion having a fitting hole, a base end portion that is slidably fitted in the fitting hole, and a lower end portion on which a component suction surface that sucks the component is formed. In the suction nozzle comprising a nozzle body, a pin is provided at the base end portion so as to protrude in the radial direction of the fitting hole, and the nozzle body is slid on the side surface of the nozzle body holding portion. A long hole penetrating to the fitting hole is formed, and as the nozzle body slides, the pin moves in the long hole, and the pin comes into contact with the lower portion of the long hole. A contact surface is formed, and a groove portion is formed on a side surface of the nozzle body holding portion downward from a lower end of the contact surface, and a bottom surface of the groove portion is directed outwardly from the nozzle body holding portion. It is characterized by being inclined.

本発明の部品実装装置は、部品を吸着ノズルで吸着し基板に装着する部品実装装置において、前記吸着ノズルは、嵌合孔を有するノズル本体保持部と、前記嵌合孔に摺動可能に嵌合する基端部および前記部品を吸着する部品吸着面が形成された下端部とを含むノズル本体と、を備え、前記基端部にはピンが前記嵌合孔の径方向に突出して設けられ、前記ノズル本体保持部の側面には前記ノズル本体が摺動する方向に沿って前記嵌合孔まで貫通する長孔が形成され、前記ノズル本体が摺動するのに伴い前記ピンが前記長孔内を移動し、前記長孔の下部には、前記ピンが当接する当接面が形成され、前記ノズル本体保持部の側面には、前記当接面の下端から下方に向けて溝部が形成され、前記溝部の底面は、下方に向けて前記ノズル本体保持部の外側に傾斜していることを特徴とする。   The component mounting apparatus of the present invention is a component mounting apparatus that sucks a component with a suction nozzle and mounts the component on a substrate. The suction nozzle is slidably fitted into a nozzle body holding portion having a fitting hole and the fitting hole. A nozzle body including a base end portion to be joined and a lower end portion on which a component suction surface for sucking the component is formed, and a pin is provided on the base end portion so as to protrude in the radial direction of the fitting hole. In addition, a long hole is formed in a side surface of the nozzle body holding portion so as to penetrate the fitting body along the sliding direction of the nozzle body, and the pin is inserted into the long hole as the nozzle body slides. A contact surface with which the pin contacts is formed at the lower portion of the long hole, and a groove portion is formed on the side surface of the nozzle body holding portion downward from the lower end of the contact surface. , The bottom surface of the groove portion faces downward of the nozzle body holding portion. And it is inclined to the side.

本発明によれば、定期的なメンテナンスの回数を削減することができる。   According to the present invention, the number of periodic maintenance can be reduced.

本発明の一実施の形態の部品実装装置の構成説明図Structure explanatory drawing of the component mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の吸着ノズルをノズル保持部に装着した状態の説明図Explanatory drawing of the state which mounted | wore the nozzle holding part with the suction nozzle of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の吸着ノズルをノズル保持部から取り外した状態の説明図Explanatory drawing of the state which removed the adsorption nozzle of one embodiment of this invention from the nozzle holding part (a)(b)(c)本発明の一実施の形態の吸着ノズルの外形を示す3面図(A) (b) (c) Three views showing the outer shape of the suction nozzle of one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態の吸着ノズルの断面図Sectional drawing of the suction nozzle of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の吸着ノズルの断面図Sectional drawing of the suction nozzle of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の吸着ノズルの断面図Sectional drawing of the suction nozzle of one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態の吸着ノズルに形成された長孔と溝部付近の拡大図(A) (b) Enlarged view of the vicinity of the slot and groove formed in the suction nozzle of one embodiment of the present invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態の吸着ノズルの機能説明図(A) (b) (c) Functional explanatory drawing of the suction nozzle of one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態の吸着ノズルにおいてノズル本体をノズル本体保持部に押し込んだ状態の外形を示す図The figure which shows the external shape of the state which pushed the nozzle main body into the nozzle main body holding part in the suction nozzle of one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態の吸着ノズルの溝部と壁部の機能説明図(A) (b) Functional explanatory drawing of the groove part and wall part of the suction nozzle of one embodiment of this invention

以下に図面を用いて、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、部品実装装置、吸着ノズルなどの仕様に応じ、適宜変更が可能である。以下では、全ての図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図1、及び後述する一部では、水平面内で互いに直交する2軸方向として、基板搬送方向のX方向(図1における紙面垂直方向)、基板搬送方向に直交するY方向(図1における左右方向)が示される。また、水平面と直交する高さ方向としてZ方向(図1における上下方向)が示される。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The configuration, shape, and the like described below are illustrative examples, and can be appropriately changed according to specifications of the component mounting apparatus, the suction nozzle, and the like. Below, the same code | symbol is attached | subjected to the element which respond | corresponds in all the drawings, and the overlapping description is abbreviate | omitted. In FIG. 1 and a part to be described later, as a biaxial direction orthogonal to each other in a horizontal plane, an X direction in the substrate transport direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 1) and a Y direction orthogonal to the substrate transport direction (the left-right direction in FIG. ) Is displayed. Further, the Z direction (the vertical direction in FIG. 1) is shown as the height direction orthogonal to the horizontal plane.

まず図1を参照して、部品実装装置1の構成を説明する。部品実装装置1は、基板に部品を搭載した実装基板を製造する機能を有している。基台1aの上面に設けられた基板搬送機構2は、基板3をX方向に搬送して位置決めして保持する。基板搬送機構2の上方には、ヘッド移動機構4によって水平方向(X方向、Y方向)に移動する実装ヘッド5が設置されている。   First, the configuration of the component mounting apparatus 1 will be described with reference to FIG. The component mounting apparatus 1 has a function of manufacturing a mounting substrate in which components are mounted on a substrate. The substrate transport mechanism 2 provided on the upper surface of the base 1a transports the substrate 3 in the X direction, positions it, and holds it. A mounting head 5 that is moved in the horizontal direction (X direction, Y direction) by the head moving mechanism 4 is installed above the substrate transport mechanism 2.

実装ヘッド5は、複数のノズルユニット6を備えている。それぞれのノズルユニット6は、機構部6aからノズル軸7を下方に延出させた構成となっている。ノズル軸7の下端部に結合されたノズル保持部8には、吸着ノズル20が着脱自在に装着されている。吸着ノズル20は、部品Pを負圧発生源17(図2参照)で発生させた吸引力を利用して保持する機能を有する。それぞれの機構部6aには、ノズル軸7を昇降させる昇降機構が内蔵されている。この昇降機構を駆動することにより、ノズル保持部8に装着された吸着ノズル20は個別に昇降する。   The mounting head 5 includes a plurality of nozzle units 6. Each nozzle unit 6 has a configuration in which the nozzle shaft 7 extends downward from the mechanism portion 6a. A suction nozzle 20 is detachably attached to the nozzle holding portion 8 coupled to the lower end portion of the nozzle shaft 7. The suction nozzle 20 has a function of holding the component P using the suction force generated by the negative pressure generation source 17 (see FIG. 2). Each mechanism unit 6a has a built-in lifting mechanism for moving the nozzle shaft 7 up and down. By driving the lifting mechanism, the suction nozzle 20 mounted on the nozzle holding unit 8 is lifted and lowered individually.

図1において、基板搬送機構2の側方において基台1aに結合された台車9の上部には、複数のテープフィーダ10がX方向に並んで取り付けられている。台車9においてテープフィーダ10の下方には、部品Pを収納したキャリアテープ11を巻回して収納した部品リール12が保持されている。テープフィーダ10は、部品リール12から引き出されたキャリアテープ11をテープ送り方向に搬送して、部品取り出し位置に部品Pを供給する。実装ヘッド5は、部品取り出し位置に供給された部品Pを取り出し、基板搬送機構2に保持させた基板3の実装位置に移送搭載する。台車9の上方には、作業者が可動中の実装ヘッド5などに触れないようにカバーする開閉自在の本体カバー13が設置されている。   In FIG. 1, a plurality of tape feeders 10 are attached side by side in the X direction on an upper portion of a carriage 9 coupled to a base 1 a on the side of the substrate transport mechanism 2. In the carriage 9, below the tape feeder 10, a component reel 12 that holds and stores a carrier tape 11 that stores a component P is held. The tape feeder 10 conveys the carrier tape 11 drawn from the component reel 12 in the tape feeding direction, and supplies the component P to the component removal position. The mounting head 5 takes out the component P supplied to the component taking-out position, and transfers and mounts the component P on the mounting position of the board 3 held by the board carrying mechanism 2. An openable and closable main body cover 13 is installed above the carriage 9 so as to cover an operator so as not to touch the movable mounting head 5 and the like.

次に図2、図3を参照して、ノズル保持部8、吸着ノズル20の構成および機能を説明する。前述のようにノズルユニット6毎にノズル軸7の下端部に結合されたノズル保持部8には、吸着ノズル20が着脱自在に装着される。図2は、ノズル保持部8に吸着ノズル20を装着した状態を、また図3は、ノズル保持部8から吸着ノズル20を取り外した状態を、それぞれ示している。   Next, the configurations and functions of the nozzle holding unit 8 and the suction nozzle 20 will be described with reference to FIGS. As described above, the suction nozzle 20 is detachably attached to the nozzle holding portion 8 coupled to the lower end portion of the nozzle shaft 7 for each nozzle unit 6. FIG. 2 shows a state where the suction nozzle 20 is mounted on the nozzle holding unit 8, and FIG. 3 shows a state where the suction nozzle 20 is removed from the nozzle holding unit 8.

図2、図3に示すように、吸着ノズル20は、ノズル本体21とノズル本体保持部22を含んで構成されている。ノズル本体保持部22には、中央より下側の外周に円板状の鍔部23が形成され、上端部に被クランプ部24が形成され、内部に上下に貫通する嵌合孔25が形成されている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the suction nozzle 20 includes a nozzle body 21 and a nozzle body holding part 22. The nozzle body holding part 22 has a disk-shaped flange part 23 formed on the outer periphery below the center, a clamped part 24 formed on the upper end part, and a fitting hole 25 penetrating vertically inside. ing.

ノズル本体21は、上部に嵌合孔25に摺動可能に嵌合する基端部26が形成されている。基端部26は、ノズル本体保持部22の嵌合孔25に下方から挿入される(図5、図6も参照)。基端部26の内部には、上下に貫通する上部吸引孔26aが形成されている。上部吸引孔26aの下部には、下端に部品Pを吸着する部品吸着面27aが形成された下端部27の上部が挿入され、基端部26に結合されている(図5、図6も参照)。下端部27の内部には、上下に貫通して部品吸着面27aに開口する下部吸引孔27bが形成されている。   The nozzle body 21 is formed with a base end portion 26 slidably fitted in the fitting hole 25 at the upper portion. The base end portion 26 is inserted from below into the fitting hole 25 of the nozzle body holding portion 22 (see also FIGS. 5 and 6). Inside the base end portion 26, an upper suction hole 26a penetrating vertically is formed. The upper portion of the lower end portion 27 having a component suction surface 27a that sucks the component P at the lower end is inserted into the lower portion of the upper suction hole 26a, and is coupled to the base end portion 26 (see also FIGS. 5 and 6). ). A lower suction hole 27b is formed in the lower end portion 27 so as to penetrate vertically and open to the component suction surface 27a.

基端部26の下端には円板状のバネ座部26bが外周から延出して形成されている。基端部26とノズル本体保持部22の外周における鍔部23とバネ座部26bの間には、弾性体であるコイルバネ28が装着されている。コイルバネ28は、ノズル本体保持部22の嵌合孔25に挿入されたノズル本体21を下方に付勢する機能を有している。このように、ノズル本体保持部22は嵌合孔25を有し、ノズル本体21は嵌合孔25に摺動可能に嵌合する基端部26および部品Pを吸着する部品吸着面27aが形成された下端部とを含んでいる。   A disc-shaped spring seat portion 26b is formed at the lower end of the base end portion 26 so as to extend from the outer periphery. A coil spring 28, which is an elastic body, is mounted between the flange portion 23 and the spring seat portion 26 b on the outer periphery of the base end portion 26 and the nozzle main body holding portion 22. The coil spring 28 has a function of urging the nozzle body 21 inserted into the fitting hole 25 of the nozzle body holding portion 22 downward. As described above, the nozzle main body holding portion 22 has the fitting hole 25, and the nozzle main body 21 is formed with the base end portion 26 slidably fitted into the fitting hole 25 and the component suction surface 27 a for sucking the component P. And a lower end portion.

図2、図3において、吸着ノズル20の被クランプ部24は、ノズル保持部8に設けられた一対のクランプ部材14によってクランプされて、吸着ノズル20がノズル保持部8に保持される。被クランプ部24は略四角錐台形で、下方に広がるテーパ形状のガイド部24aが形成されている。ノズル保持部8を構成する本体部15の内部には、上下に貫通する接続孔15aが設けられている。接続孔15aには、ノズル軸7の下端部が接続されている。本体部15の下部には、ノズル保持部8に保持された吸着ノズル20の上部を外側から囲む円筒形の円筒部15bと、円筒部15bの内部に下方に突出して形成されて上方から吸着ノズル20の嵌合孔25に嵌合する嵌合部15cと、が設けられている。   2 and 3, the clamped portion 24 of the suction nozzle 20 is clamped by a pair of clamp members 14 provided in the nozzle holding portion 8, and the suction nozzle 20 is held by the nozzle holding portion 8. The clamped portion 24 has a substantially quadrangular pyramid shape, and is formed with a tapered guide portion 24a extending downward. A connection hole 15 a penetrating vertically is provided inside the main body portion 15 constituting the nozzle holding portion 8. The lower end portion of the nozzle shaft 7 is connected to the connection hole 15a. At the lower part of the main body part 15, a cylindrical cylindrical part 15 b that surrounds the upper part of the suction nozzle 20 held by the nozzle holding part 8 from the outside, and is formed to protrude downward inside the cylindrical part 15 b, and the suction nozzle from above. And a fitting portion 15c that fits into the 20 fitting holes 25.

図2、図3において、クランプ部材14の上端部には、本体部15の係止用凹部15dに嵌入する係止用突部14aが内側方向に突出して設けられている。クランプ部材14の下端部には、被クランプ部24に設けられたクランプ用凹部24bに嵌入するクランプ用突部14bが内側方向に突出して設けられている。また係止用突部14aとクランプ用突部14bとの中間には、引張りバネ部材16を周回させて装着するためのバネ装着用凹部14cが形成されている。   2 and 3, the upper end of the clamp member 14 is provided with a locking projection 14a that fits into the locking recess 15d of the main body 15 so as to protrude inward. At the lower end of the clamp member 14, a clamp projection 14 b that fits into a clamp recess 24 b provided in the clamped portion 24 is provided so as to protrude inward. Further, a spring mounting recess 14c for rotating and mounting the tension spring member 16 is formed between the locking projection 14a and the clamp projection 14b.

ノズル本体保持部22の外周の一部には、吸着ノズル20の回転方向の位置決めのための位置決め用突部22aが外周から突出して形成されている。ノズル保持部8の本体部15の円筒部15bの下端には、位置決め用突部22aに対応する位置を切り欠いた位置決め用凹部15eが形成されている。吸着ノズル20をノズル保持部8に保持させる際には、位置決め用突部22aが位置決め用凹部15eに一致するように吸着ノズル20の向きを合わせた状態で嵌合部15cを嵌合孔25に嵌入させ、吸着ノズル20をノズル保持部8に対して上方に押しつける。   A positioning projection 22a for positioning the suction nozzle 20 in the rotational direction is formed on a part of the outer periphery of the nozzle body holding portion 22 so as to protrude from the outer periphery. At the lower end of the cylindrical portion 15b of the main body portion 15 of the nozzle holding portion 8, a positioning recess 15e is formed by cutting out a position corresponding to the positioning protrusion 22a. When the suction nozzle 20 is held by the nozzle holding portion 8, the fitting portion 15c is inserted into the fitting hole 25 with the orientation of the suction nozzle 20 aligned so that the positioning protrusion 22a coincides with the positioning recess 15e. The suction nozzle 20 is pressed upward against the nozzle holding portion 8.

このとき、クランプ部材14の下端部がガイド部24aのテーパ面に沿って押し広げられ、クランプ部材14はノズル保持部8および吸着ノズル20を両側から挟み込んで、引張りバネ部材16の弾性力によってクランプする。図2に示す吸着ノズル20の装着状態では、係止用突部14a、クランプ用突部14bが引張りバネ部材16の弾性力によってそれぞれ係止用凹部15d、クランプ用凹部24bに嵌入して内側方向に押しつけられる。これにより吸着ノズル20は、ノズル保持部8にクランプ保持される。   At this time, the lower end portion of the clamp member 14 is pushed and expanded along the tapered surface of the guide portion 24 a, and the clamp member 14 sandwiches the nozzle holding portion 8 and the suction nozzle 20 from both sides and is clamped by the elastic force of the tension spring member 16. To do. In the mounted state of the suction nozzle 20 shown in FIG. 2, the locking projection 14a and the clamping projection 14b are fitted into the locking recess 15d and the clamping recess 24b by the elastic force of the tension spring member 16, respectively. Pressed against. As a result, the suction nozzle 20 is clamped and held by the nozzle holding portion 8.

図2に示すように、ノズル軸7内の真空給引路は負圧発生源17に接続されている。吸着ノズル20をノズル保持部8に装着すると、ノズル軸7内の真空給引路、接続孔15a、嵌合孔25、上部吸引孔26a、下部吸引孔27bが連通する。この状態で負圧発生源17を作動させると、ノズル軸7内の真空給引路から下部吸引孔27bまで連通した経路が排気されて吸引力が発生し、吸着ノズル20の部品吸着面27aに部品Pを吸着して保持することができる。なお負圧発生源17としては、工場設備として設けられた真空給引源を用いてもよく、また部品実装装置1に組み込まれた真空ポンプ、エジェクタ装置などの真空発生装置を用いてもよい。   As shown in FIG. 2, the vacuum supply path in the nozzle shaft 7 is connected to a negative pressure generation source 17. When the suction nozzle 20 is attached to the nozzle holding portion 8, the vacuum supply path, the connection hole 15a, the fitting hole 25, the upper suction hole 26a, and the lower suction hole 27b in the nozzle shaft 7 communicate with each other. When the negative pressure generating source 17 is operated in this state, a path communicating from the vacuum supply path in the nozzle shaft 7 to the lower suction hole 27b is exhausted to generate a suction force, and a component is applied to the component suction surface 27a of the suction nozzle 20. P can be adsorbed and held. As the negative pressure generation source 17, a vacuum supply source provided as factory equipment may be used, or a vacuum generation device such as a vacuum pump or an ejector device incorporated in the component mounting apparatus 1 may be used.

次に図4〜図8を参照して、本実施の形態の吸着ノズル20の詳細構成について説明する。図4は、吸着ノズル20の3面図を示している。図4(a)、図4(b)は、吸着ノズル20の正面および側面をそれぞれ示しており、図4(c)は、図4(a)に示す吸着ノズル20の上面を示している。以下に説明する図5、図6、図7は、図4におけるA−A断面、B−B断面、C−C断面をそれぞれ示している。図8は、以下に説明する吸着ノズル20に形成された長孔と溝部付近の部分拡大図である。   Next, with reference to FIGS. 4-8, the detailed structure of the suction nozzle 20 of this Embodiment is demonstrated. FIG. 4 is a three-side view of the suction nozzle 20. 4 (a) and 4 (b) show the front and side surfaces of the suction nozzle 20, respectively, and FIG. 4 (c) shows the top surface of the suction nozzle 20 shown in FIG. 4 (a). 5, FIG. 6, and FIG. 7 described below show the AA cross section, the BB cross section, and the CC cross section in FIG. 4, respectively. FIG. 8 is a partially enlarged view of the vicinity of a long hole and a groove formed in the suction nozzle 20 described below.

図4(a)、図6において、ノズル本体保持部22の対向する2つの側面22bには、それぞれノズル本体21が摺動する方向(上下方向)に長い長孔29が形成されている。長孔29は、ノズル本体保持部22の外周から嵌合孔25まで貫通している。ノズル本体保持部22の嵌合孔25に挿入されたノズル本体21の基端部26には、円柱状のピン30が嵌合孔25の径方向(上下方向に直交する左右方向)に突出して装着されている。   In FIG. 4A and FIG. 6, long holes 29 that are long in the direction in which the nozzle body 21 slides (vertical direction) are formed on the two opposing side surfaces 22 b of the nozzle body holding part 22. The long hole 29 penetrates from the outer periphery of the nozzle body holding part 22 to the fitting hole 25. A cylindrical pin 30 protrudes in the radial direction of the fitting hole 25 (left and right direction perpendicular to the vertical direction) at the base end portion 26 of the nozzle body 21 inserted into the fitting hole 25 of the nozzle body holding portion 22. It is installed.

図6において、ノズル本体21から突出したピン30の左右の端部30a,30bは、それぞれノズル本体保持部22に形成された長孔29に突入している。すなわち、ピン30は、対向する長孔29の間を貫通してノズル本体21に装着されている。ノズル本体21が上下に摺動するに伴い、ピン30は長孔29内を上下に移動する(図8(b)の矢印a)。上下に移動するノズル本体21は、ピン30と長孔29によって上下方向を回転軸とする回転が規制される。   In FIG. 6, the left and right end portions 30 a and 30 b of the pin 30 protruding from the nozzle main body 21 protrude into long holes 29 formed in the nozzle main body holding portion 22, respectively. That is, the pin 30 is attached to the nozzle body 21 through the space between the opposed long holes 29. As the nozzle body 21 slides up and down, the pin 30 moves up and down in the long hole 29 (arrow a in FIG. 8B). The nozzle body 21 that moves up and down is restricted from rotating about the vertical direction by the pin 30 and the long hole 29.

このように、基端部26にはピン30が嵌合孔25の径方向に突出して設けられ、ノズル本体保持部22の側面22bにはノズル本体21が摺動する方向に沿って嵌合孔25まで貫通する長孔29が形成され、ノズル本体21が嵌合孔25を摺動するのに伴いピン30が長孔29内を移動する。   Thus, the pin 30 is provided in the base end portion 26 so as to protrude in the radial direction of the fitting hole 25, and the fitting hole is formed on the side surface 22 b of the nozzle body holding portion 22 along the direction in which the nozzle body 21 slides. A long hole 29 penetrating up to 25 is formed, and the pin 30 moves in the long hole 29 as the nozzle body 21 slides in the fitting hole 25.

図5、図6において、ノズル本体21は、コイルバネ28によってノズル本体保持部22に対して下方に付勢されており、ノズル本体21に装着されたピン30も同様に下方に付勢されている。図8(a)において、長孔29の下部には、下方に付勢されているピン30が当接する当接面29aが形成されている。当接面29aは、長孔29のノズル本体保持部22周方向の中央で左右対称に形成された2つの斜面29bおよび2つの斜面29bに挟まれた下端29cを含んで形成されている。   5 and 6, the nozzle body 21 is urged downward with respect to the nozzle body holding portion 22 by a coil spring 28, and the pin 30 attached to the nozzle body 21 is similarly urged downward. . In FIG. 8A, a contact surface 29 a with which the pin 30 biased downward is contacted is formed in the lower portion of the long hole 29. The contact surface 29a includes two inclined surfaces 29b formed symmetrically at the center of the long hole 29 in the circumferential direction of the nozzle body holding portion 22 and a lower end 29c sandwiched between the two inclined surfaces 29b.

図8(b)において、ノズル本体21は、円柱状のピン30の外周が当接面29aの2つの斜面29bの一部Dに当接することによって、下方への移動が規制される。また、ノズル本体21は、ピン30の外周が長孔29の上部に形成された上端面29dに当接することによって、上方への移動が規制される。以下、下方に付勢されているピン30が長孔29の当接面29aの2つの斜面29bに当接しているノズル本体21の位置を「下方規制位置」と称する。   In FIG. 8B, the nozzle body 21 is restricted from moving downward when the outer periphery of the cylindrical pin 30 abuts against a part D of the two inclined surfaces 29b of the abutment surface 29a. Further, the nozzle body 21 is restricted from moving upward when the outer periphery of the pin 30 comes into contact with the upper end surface 29 d formed at the upper portion of the long hole 29. Hereinafter, the position of the nozzle body 21 where the pin 30 biased downward is in contact with the two inclined surfaces 29b of the contact surface 29a of the long hole 29 is referred to as a “downward restriction position”.

図5において、基端部26の長孔29を含む長孔29より上方の長さL1は、ノズル本体21が摺動する方向(上下方向)の長孔29の長さL2より長い。そのため、ノズル本体21が下方規制位置に移動している状態であっても、長孔29はノズル本体21の基端部26の外周面によって塞がれている。これによって、ノズル本体21が上下に摺動する吸着ノズル20の内部の吸引経路(嵌合孔25、上部吸引孔26a、下部吸引孔27b)の真空が維持される。   In FIG. 5, the length L1 above the long hole 29 including the long hole 29 of the base end portion 26 is longer than the length L2 of the long hole 29 in the direction in which the nozzle body 21 slides (vertical direction). Therefore, even when the nozzle main body 21 is moved to the lower restriction position, the long hole 29 is blocked by the outer peripheral surface of the base end portion 26 of the nozzle main body 21. Thereby, the vacuum of the suction path (the fitting hole 25, the upper suction hole 26a, and the lower suction hole 27b) inside the suction nozzle 20 in which the nozzle body 21 slides up and down is maintained.

図6、図8(a)において、長孔29が形成されたノズル本体保持部22の側面22bには、当接面29aの下端29cから下方に向けて溝部31が形成されている。図6において、31溝部の底面31aは、下方に向けてノズル本体保持部22の外側に傾斜している。図8(a)において、溝部31は、長孔29のノズル本体保持部22周方向の中央の下方に位置しており、溝部31のノズル本体保持部22周方向の幅W1は、ピン30の直径W2よりも小さい。   6 and 8A, a groove portion 31 is formed on the side surface 22b of the nozzle body holding portion 22 in which the long hole 29 is formed, downward from the lower end 29c of the contact surface 29a. In FIG. 6, the bottom surface 31 a of the 31 groove portion is inclined outward from the nozzle main body holding portion 22 toward the lower side. In FIG. 8A, the groove portion 31 is located below the center of the long hole 29 in the circumferential direction of the nozzle body holding portion 22, and the width W1 of the groove portion 31 in the circumferential direction of the nozzle body holding portion 22 is It is smaller than the diameter W2.

図4(a)、図6において、ノズル本体保持部22において、鍔部23は溝部31の下方に形成されている。図6、図7において、鍔部23は、ノズル本体保持部22の外周から延出して形成されたフランジ部23aと、フランジ部23aの外縁から上方に延出する壁部23bを含んで構成されている。フランジ部23aは、上方から見て略円形の円盤状であり、対向する2辺を切り落とした2つのエッジ23cを有している。壁部23bは、フランジ部23aの外縁に沿ってフランジ部23aを一周して囲うように形成されている。   4A and 6, in the nozzle main body holding portion 22, the flange portion 23 is formed below the groove portion 31. 6 and 7, the flange portion 23 includes a flange portion 23a formed extending from the outer periphery of the nozzle body holding portion 22, and a wall portion 23b extending upward from the outer edge of the flange portion 23a. ing. The flange portion 23a has a substantially circular disk shape when viewed from above, and has two edges 23c obtained by cutting off two opposing sides. The wall portion 23b is formed so as to surround the flange portion 23a along the outer edge of the flange portion 23a.

フランジ部23aの上面には、バーコード、2次元コード、RFIDなどの吸着ノズル20を特定する情報を認識するためのマーク32が取り付けられている。このように、ノズル本体保持部22における溝部31の下方には、嵌合孔25の径方向に延出した略円形のフランジ部23aが形成されている。そして、フランジ部23aの外縁には少なくとも一つのエッジ23cが形成され、フランジ部23aの外縁には上方に向いた壁部23bが外縁を周回して形成されている。   A mark 32 for recognizing information identifying the suction nozzle 20 such as a barcode, a two-dimensional code, and RFID is attached to the upper surface of the flange portion 23a. Thus, a substantially circular flange portion 23 a extending in the radial direction of the fitting hole 25 is formed below the groove portion 31 in the nozzle body holding portion 22. At least one edge 23c is formed on the outer edge of the flange portion 23a, and an upward wall portion 23b is formed around the outer edge of the flange portion 23a.

次に図9、図10を参照して、上述構成の吸着ノズル20によって部品Pを保持して基板3に搭載する部品実装動作における吸着ノズル20の挙動について説明する。部品実装動作では、まず図9(a)に示すように、負圧発生源17を作動させてノズル本体21の下端部の部品吸着面27aに部品Pを真空吸着して保持した吸着ノズル20を、基板3の部品実装点の上方に位置させる。この時、ノズル本体21は、コイルバネ28によって下方に付勢されてピン30が長孔29の2つの斜面29bに当接した下方規制位置にある。   Next, the behavior of the suction nozzle 20 in the component mounting operation in which the component P is held by the suction nozzle 20 having the above-described configuration and mounted on the substrate 3 will be described with reference to FIGS. In the component mounting operation, first, as shown in FIG. 9A, the suction nozzle 20 that holds the component P by vacuum suction on the component suction surface 27 a at the lower end portion of the nozzle body 21 by operating the negative pressure generating source 17. And positioned above the component mounting point of the substrate 3. At this time, the nozzle main body 21 is urged downward by the coil spring 28 and is in the lower restriction position where the pin 30 abuts against the two inclined surfaces 29 b of the long hole 29.

次に図9(b)に示すように、図9(a)に示す状態からノズル保持部8の昇降機構を作動させて吸着ノズル20を下降させ(矢印b)、ノズル本体21が下方規制位置にある状態でノズル本体21に保持した部品Pを基板3の部品実装点に着地させる。次に図9(c)に示すように、図9(b)に示す状態から吸着ノズル20を更に下降させて(矢印c)、ノズル本体21をノズル本体保持部22に対して下方規制位置から押し込み代ΔHだけ相対的に押し込む。この状態ではコイルバネ28は押し込み代ΔHだけ圧縮され、部品Pにはコイルバネ28がΔHだけ圧縮されたことによる押圧荷重が作用している。   Next, as shown in FIG. 9 (b), the suction mechanism 20 of the nozzle holding part 8 is operated from the state shown in FIG. 9 (a) to lower the suction nozzle 20 (arrow b), and the nozzle body 21 is in the lower restriction position. In this state, the component P held by the nozzle body 21 is landed on the component mounting point of the substrate 3. Next, as shown in FIG. 9C, the suction nozzle 20 is further lowered from the state shown in FIG. 9B (arrow c), and the nozzle main body 21 is moved from the lower restriction position to the nozzle main body holding portion 22. Push in relative to the push allowance ΔH. In this state, the coil spring 28 is compressed by the pushing allowance ΔH, and a pressing load due to the coil spring 28 being compressed by ΔH acts on the component P.

図10は、図9(c)の状態にある吸着ノズル20の正面(長孔29側)から見た外観を示している。このように部品実装動作では、ノズル本体21が下方規制位置にある部品吸着面27aの位置に基づいてノズルユニット6の昇降機構を制御し、吸着ノズル20が保持する部品Pを基板3の部品実装点に着地させ、さらに押し込み代ΔHだけ押し込んで所定の押圧荷重を作用させて基板3に搭載している。   FIG. 10 shows the appearance of the suction nozzle 20 in the state of FIG. 9C as viewed from the front (the long hole 29 side). In this way, in the component mounting operation, the lifting mechanism of the nozzle unit 6 is controlled based on the position of the component suction surface 27a where the nozzle body 21 is in the downward restriction position, and the component P held by the suction nozzle 20 is mounted on the substrate 3 as a component. The substrate is landed on the point, and is further pushed by the pushing allowance ΔH to be applied to the substrate 3 by applying a predetermined pressing load.

次に図11を参照して、吸着ノズル20に形成されている長孔29の2つの斜面29b、溝部31、鍔部23の機能について説明する。図11(a)は、図10に示す吸着ノズル20の長孔29付近の部分拡大図である。図11(b)は、図11(a)におけるE−E断面を示している。吸着ノズル20では、部品実装動作を継続して実行する間に、粉塵などの異物33が長孔29に落下することがある。異物33が長孔29の当接面29aに付着してピン30と当接面29aの間に挟まると、ノズル本体21の下方規制位置が設定位置から変動するため、部品Pを基板3に正常に搭載することができなくなる。   Next, with reference to FIG. 11, functions of the two inclined surfaces 29 b of the long hole 29, the groove portion 31, and the flange portion 23 formed in the suction nozzle 20 will be described. FIG. 11A is a partially enlarged view of the vicinity of the long hole 29 of the suction nozzle 20 shown in FIG. FIG.11 (b) has shown the EE cross section in Fig.11 (a). In the suction nozzle 20, foreign matter 33 such as dust may fall into the long hole 29 while the component mounting operation is continuously performed. When the foreign material 33 adheres to the contact surface 29a of the long hole 29 and is sandwiched between the pin 30 and the contact surface 29a, the lower restriction position of the nozzle body 21 changes from the set position, so that the component P is normal to the substrate 3. Can no longer be installed.

本実施の形態の吸着ノズル20では、長孔29の当接面29aに落下した異物33は、斜面29bを通じて溝部31に落下する(矢印d)。さらに、異物33は、溝部31の底面31aの傾斜に沿って鍔部23のフランジ部23aに排出される(矢印e)。これによって、吸着ノズル20の下方規制位置の位置決め精度が維持され、作業者が吸着ノズル20に付着した異物33を除去するなどのメンテナンス作業の間隔を長くすることができる。また、フランジ部23aに排出された異物33は、フランジ部23aを囲む壁部23bによって鍔部23から落下して吸着ノズル20の外に拡散することが防止される。   In the suction nozzle 20 of the present embodiment, the foreign material 33 that has dropped onto the contact surface 29a of the long hole 29 falls into the groove 31 through the slope 29b (arrow d). Furthermore, the foreign material 33 is discharged to the flange portion 23a of the flange portion 23 along the inclination of the bottom surface 31a of the groove portion 31 (arrow e). Thereby, the positioning accuracy of the lower restriction position of the suction nozzle 20 is maintained, and the interval of maintenance work such as removal of the foreign matter 33 attached to the suction nozzle 20 by the operator can be lengthened. Further, the foreign matter 33 discharged to the flange portion 23a is prevented from falling from the flange portion 23 and diffusing out of the suction nozzle 20 by the wall portion 23b surrounding the flange portion 23a.

上記説明したように、本実施の形態の吸着ノズル20は、嵌合孔25を有するノズル本体保持部22と、嵌合孔25に摺動可能に嵌合する基端部26および部品Pを吸着する部品吸着面27aが形成された下端部27とを含むノズル本体21とを備えている。そして、基端部26にはピン30が嵌合孔25の径方向に突出して設けられている。ノズル本体保持部22の側面22bにはノズル本体21が摺動する方向に沿って嵌合孔25まで貫通する長孔29が形成され、ノズル本体21が摺動するのに伴いピン30が長孔29内を移動する。   As described above, the suction nozzle 20 of the present embodiment sucks the nozzle body holding portion 22 having the fitting hole 25, the base end portion 26 and the component P that are slidably fitted in the fitting hole 25. And a nozzle body 21 including a lower end 27 on which a component suction surface 27a is formed. A pin 30 is provided on the proximal end portion 26 so as to protrude in the radial direction of the fitting hole 25. A long hole 29 is formed in the side surface 22b of the nozzle main body holding portion 22 so as to penetrate the fitting body 25 along the sliding direction of the nozzle main body 21, and as the nozzle main body 21 slides, the pin 30 becomes a long hole. Move in 29.

長孔29の下端には、ピン30が当接する当接面29aが形成され、ノズル本体保持部22の側面22bには、当接面29aの下端から下方に向けて溝部31が形成されている。溝部31の底面31aは、下方に向けてノズル本体保持部22の外側に傾斜している。これによって、当接面29aに落下した異物33が当接面29aから自然に除去されるため、定期的なメンテナンスの回数を削減することができる。   A contact surface 29a with which the pin 30 contacts is formed at the lower end of the long hole 29, and a groove portion 31 is formed on the side surface 22b of the nozzle body holding portion 22 from the lower end of the contact surface 29a downward. . The bottom surface 31a of the groove portion 31 is inclined outwardly from the nozzle body holding portion 22 toward the lower side. As a result, the foreign matter 33 that has fallen on the contact surface 29a is naturally removed from the contact surface 29a, so that the number of periodic maintenance can be reduced.

本発明の吸着ノズルおよび部品実装装置は、定期的なメンテナンスの回数を削減することができるという効果を有し、部品を基板に実装する分野において有用である。   The suction nozzle and the component mounting apparatus of the present invention have an effect that the number of periodic maintenance can be reduced, and are useful in the field of mounting components on a substrate.

1 部品実装装置
20 吸着ノズル
21 ノズル本体
22 ノズル本体保持部
22b 側面
23a フランジ部
23b 壁部
23c エッジ
25 嵌合孔
26 基端部
27 下端部
27a 部品吸着面
29 長孔
29b 斜面
30 ピン
31 溝部
31a 底面
P 部品
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Component mounting apparatus 20 Adsorption nozzle 21 Nozzle main body 22 Nozzle main body holding part 22b Side surface 23a Flange part 23b Wall part 23c Edge 25 Fitting hole 26 Base end part 27 Lower end part 27a Component adsorption surface 29 Long hole 29b Slope 30 Pin 31 Groove part 31a Bottom P part

Claims (8)

嵌合孔を有するノズル本体保持部と、
前記嵌合孔に摺動可能に嵌合する基端部および部品を吸着する部品吸着面が形成された下端部とを含むノズル本体と、
を備えた吸着ノズルにおいて、
前記基端部にはピンが前記嵌合孔の径方向に突出して設けられ、前記ノズル本体保持部の側面には前記ノズル本体が摺動する方向に沿って前記嵌合孔まで貫通する長孔が形成され、前記ノズル本体が摺動するのに伴い前記ピンが前記長孔内を移動し、
前記長孔の下部には、前記ピンが当接する当接面が形成され、
前記ノズル本体保持部の側面には、前記当接面の下端から下方に向けて溝部が形成され、
前記溝部の底面は、下方に向けて前記ノズル本体保持部の外側に傾斜していることを特徴とする、吸着ノズル。
A nozzle body holding portion having a fitting hole;
A nozzle body including a base end portion slidably fitted in the fitting hole and a lower end portion formed with a component suction surface for sucking the component;
In the suction nozzle with
A pin is provided in the base end portion so as to protrude in the radial direction of the fitting hole, and a long hole that penetrates to the fitting hole along a direction in which the nozzle body slides on a side surface of the nozzle body holding portion. And as the nozzle body slides, the pin moves in the slot,
A contact surface with which the pin contacts is formed at the bottom of the elongated hole,
On the side surface of the nozzle body holding portion, a groove portion is formed downward from the lower end of the contact surface,
The suction nozzle according to claim 1, wherein a bottom surface of the groove portion is inclined outwardly from the nozzle main body holding portion.
前記溝部の前記ノズル本体保持部周方向の幅は、前記ピンの直径よりも小さいことを特徴とする、請求項1に記載の吸着ノズル。   The suction nozzle according to claim 1, wherein a width of the groove portion in the circumferential direction of the nozzle body holding portion is smaller than a diameter of the pin. 前記溝部は、前記長孔の前記ノズル本体保持部周方向の中央の下方に位置することを特徴とする、請求項1または2に記載の吸着ノズル。   The suction nozzle according to claim 1, wherein the groove is located below a center of the long hole in the circumferential direction of the nozzle body holding portion. 前記当接面は、前記長孔の前記ノズル本体保持部周方向の中央で左右対称に形成された2つの斜面を含むことを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の吸着ノズル。   The suction nozzle according to any one of claims 1 to 3, wherein the contact surface includes two inclined surfaces formed symmetrically at the center of the long hole in the circumferential direction of the nozzle body holding portion. . 前記ノズル本体保持部における前記溝部の下方には、前記嵌合孔の径方向に延出したフランジ部が形成されたことを特徴とする、請求項1から4のいずれかに記載の吸着ノズル。   The suction nozzle according to any one of claims 1 to 4, wherein a flange portion extending in a radial direction of the fitting hole is formed below the groove portion in the nozzle body holding portion. 前記フランジ部の外縁には、上方に向いた壁部が形成されたことを特徴とする、請求項5に記載の吸着ノズル。   The suction nozzle according to claim 5, wherein a wall portion facing upward is formed on an outer edge of the flange portion. 前記フランジ部は略円形に形成され、前記フランジ部の外縁には少なくとも一つのエッジが形成されたことを特徴とする、請求項5または6に記載の吸着ノズル。   The suction nozzle according to claim 5 or 6, wherein the flange portion is formed in a substantially circular shape, and at least one edge is formed on an outer edge of the flange portion. 部品を吸着ノズルで吸着し基板に装着する部品実装装置において、
前記吸着ノズルは、
嵌合孔を有するノズル本体保持部と、
前記嵌合孔に摺動可能に嵌合する基端部および前記部品を吸着する部品吸着面が形成された下端部とを含むノズル本体と、を備え、
前記基端部にはピンが前記嵌合孔の径方向に突出して設けられ、前記ノズル本体保持部の側面には前記ノズル本体が摺動する方向に沿って前記嵌合孔まで貫通する長孔が形成され、前記ノズル本体が摺動するのに伴い前記ピンが前記長孔内を移動し、
前記長孔の下部には、前記ピンが当接する当接面が形成され、
前記ノズル本体保持部の側面には、前記当接面の下端から下方に向けて溝部が形成され、
前記溝部の底面は、下方に向けて前記ノズル本体保持部の外側に傾斜していることを特徴とする、部品実装装置。
In a component mounting device that picks up a component with a suction nozzle and places it on a board,
The suction nozzle is
A nozzle body holding portion having a fitting hole;
A nozzle body including a base end portion slidably fitted into the fitting hole and a lower end portion formed with a component suction surface for sucking the component;
A pin is provided in the base end portion so as to protrude in the radial direction of the fitting hole, and a long hole that penetrates to the fitting hole along a direction in which the nozzle body slides on a side surface of the nozzle body holding portion. And as the nozzle body slides, the pin moves in the slot,
A contact surface with which the pin contacts is formed at the bottom of the elongated hole,
On the side surface of the nozzle body holding portion, a groove portion is formed downward from the lower end of the contact surface,
The component mounting apparatus according to claim 1, wherein a bottom surface of the groove portion is inclined outwardly from the nozzle main body holding portion.
JP2018044864A 2018-03-13 2018-03-13 Suction nozzle and component mounter Active JP7142204B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018044864A JP7142204B2 (en) 2018-03-13 2018-03-13 Suction nozzle and component mounter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018044864A JP7142204B2 (en) 2018-03-13 2018-03-13 Suction nozzle and component mounter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019160979A true JP2019160979A (en) 2019-09-19
JP7142204B2 JP7142204B2 (en) 2022-09-27

Family

ID=67996336

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018044864A Active JP7142204B2 (en) 2018-03-13 2018-03-13 Suction nozzle and component mounter

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7142204B2 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000208994A (en) * 1999-01-08 2000-07-28 Yamagata Casio Co Ltd Automatic electronic component loading apparatus and elastic member used in the same
JP2013027961A (en) * 2011-07-29 2013-02-07 Fuji Mach Mfg Co Ltd Suction nozzle
JP2015140883A (en) * 2014-01-29 2015-08-03 本田技研工業株式会社 Check valve and air intake duct of internal combustion engine

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000208994A (en) * 1999-01-08 2000-07-28 Yamagata Casio Co Ltd Automatic electronic component loading apparatus and elastic member used in the same
JP2013027961A (en) * 2011-07-29 2013-02-07 Fuji Mach Mfg Co Ltd Suction nozzle
JP2015140883A (en) * 2014-01-29 2015-08-03 本田技研工業株式会社 Check valve and air intake duct of internal combustion engine

Also Published As

Publication number Publication date
JP7142204B2 (en) 2022-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106794582B (en) Suction nozzle
JPH09293995A (en) Part vacuum-sucking method
JP5056769B2 (en) Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting head
JP4869975B2 (en) Electronic circuit component supply device
JP2021119640A (en) Component mounting machine
JP2019160979A (en) Suction nozzle and component mounting device
JP2014216468A (en) Backup pin, substrate supporting apparatus, and substrate processing apparatus
JP6232247B2 (en) Workpiece holding mechanism
JP2019096907A (en) Vacuum chuck stage and manufacturing method of semiconductor device
JP6695040B2 (en) Electronic component mounting device and component suction nozzle
JP4900359B2 (en) Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting head
JP2009202294A (en) Floating chuck device and floating chuck unit
KR102364791B1 (en) Work transfer device and work transfer method
WO2017203626A1 (en) Nozzle holding mechanism and component mounting device
JP3741240B2 (en) Component adsorption nozzle unit for mounting machine
JP2012099680A (en) Die feeding device
JP2004311807A (en) Electronic component mount apparatus
JP4783689B2 (en) Component mounting equipment
JP2019160856A (en) Suction head and component mounting device
JP7194034B2 (en) SUPPORT PIN AND SUBSTRATE PROCESSING MACHINE INCLUDING THE SAME
CN219957680U (en) Depth-variable chip placement seat and chip test system with same
JP6004879B2 (en) Cutting equipment
JP6955101B2 (en) Tape feeder
JP2019155567A (en) Suction head
JPH0253257A (en) Disk presser

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20190123

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210106

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20211221

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220201

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220324

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220802

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220815

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7142204

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151