JP2019155567A

JP2019155567A - Suction head

Info

Publication number: JP2019155567A
Application number: JP2018047981A
Authority: JP
Inventors: 勉糀谷; Tsutomu Koujiya; 平木　勉; Tsutomu Hiraki; 勉平木
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2018-03-15
Filing date: 2018-03-15
Publication date: 2019-09-19

Abstract

To provide a suction head which enables easy replacement of an air filter attached to the suction head.SOLUTION: A suction head 5 has: a nozzle shaft 7 in which an air suction passage (a holding part suction hole 14b) is formed therein and an opening 14e is formed on a side surface; an air filter 26 which is detachably disposed in the air suction passage through the opening 14e; and a slider 15 which is provided at an outer periphery of the nozzle shaft 7 and opens or closes the opening 14e. The suction head 5 uses a suction nozzle 20 to suction a component.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、吸着ノズルを用いて部品を吸着する吸着ヘッドに関する。 The present invention relates to a suction head that sucks components using a suction nozzle.

部品を基板に実装する部品装着装置が備える吸着ヘッドは、吸着ノズルを用いて部品を吸着する。このような吸着ヘッドにおいて、吸着ノズルが部品を吸着する際に吸着ノズルの先端から吸い込んだ微小なゴミが吸着ヘッドの内部まで侵入しないように、吸着ノズルの先端から吸着ヘッドの内部に向かって空気が吸引される空気吸引経路の途中にゴミなどを吸着するエアフィルタを備える吸着ヘッドが知られている（例えば、特許文献１）。特許文献１に記載の吸着ヘッド（装着ヘッド）は、吸着ヘッドに着脱可能な吸着ノズルの側部にエアフィルタを挿入するための挿入部が開口しており、挿入部からエアフィルタを挿入した吸着ノズルが吸着ヘッドに装着される。 A suction head provided in a component mounting apparatus that mounts a component on a substrate sucks the component using a suction nozzle. In such a suction head, air is directed from the tip of the suction nozzle toward the inside of the suction head so that minute dust sucked from the tip of the suction nozzle does not enter the inside of the suction head when the suction nozzle sucks a component. A suction head including an air filter that sucks dust and the like in the middle of an air suction path through which air is sucked is known (for example, Patent Document 1). In the suction head (mounting head) described in Patent Document 1, an insertion portion for inserting an air filter is opened in a side portion of a suction nozzle that can be attached to and detached from the suction head, and the air filter is inserted from the insertion portion. A nozzle is attached to the suction head.

特開２０１０―１７７５０９号公報JP 2010-177509 A

しかしながら、特許文献１に記載の吸着ヘッドでは、エアフィルタを交換する毎に吸着ノズルを吸着ヘッドから取り外す必要があり、さらに、取り外した吸着ノズルに挿入されたエアフィルタを交換するためには専用の治具を用いる必要があり、エアフィルタの交換に手間とコストを要するという問題点があった。 However, in the suction head described in Patent Document 1, it is necessary to remove the suction nozzle from the suction head every time the air filter is replaced. Further, in order to replace the air filter inserted into the removed suction nozzle, a dedicated nozzle is required. It was necessary to use a jig, and there was a problem that labor and cost were required to replace the air filter.

そこで本発明は、吸着ヘッドに装着されるエアフィルタを簡単に交換することができる吸着ヘッドを提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a suction head that can easily replace an air filter attached to the suction head.

本発明の吸着ヘッドは、吸着ノズルを用いて部品を吸着する吸着ヘッドであって、内部に空気吸引路が形成されると共に、側面に開口が形成されたノズルシャフトと、前記開口を介して、前記空気吸引路中に着脱可能に配置されるエアフィルタと、前記ノズルシャフトの外周に設けられると共に、前記開口を開閉するスライダと、を有する。 The suction head of the present invention is a suction head that sucks parts using a suction nozzle, and has an air suction path formed therein, a nozzle shaft having an opening formed on a side surface, and the opening, An air filter that is detachably disposed in the air suction path; and a slider that is provided on an outer periphery of the nozzle shaft and opens and closes the opening.

本発明によれば、吸着ヘッドに装着されるエアフィルタを簡単に交換することができる。 According to the present invention, the air filter mounted on the suction head can be easily replaced.

本発明の一実施の形態の部品実装装置の構成説明図Structure explanatory drawing of the component mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の吸着ノズルをノズル保持部に装着した状態の説明図Explanatory drawing of the state which mounted | wore the nozzle holding part with the suction nozzle of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の吸着ノズルをノズル保持部から取り外した状態の説明図Explanatory drawing of the state which removed the adsorption nozzle of one embodiment of this invention from the nozzle holding part （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態の吸着ノズルを装着したノズル保持部の外形を示す３面図(A) (b) (c) Three surface views showing the outer shape of the nozzle holding part equipped with the suction nozzle of one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態の吸着ノズルを装着したノズル保持部の断面図Sectional drawing of the nozzle holding | maintenance part equipped with the suction nozzle of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の吸着ノズルを装着したノズル保持部の断面図Sectional drawing of the nozzle holding | maintenance part equipped with the suction nozzle of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の吸着ノズルを装着したノズル保持部の断面図Sectional drawing of the nozzle holding | maintenance part equipped with the suction nozzle of one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態のノズル保持部の組み立て手順を示す図(A) (b) (c) The figure which shows the assembly procedure of the nozzle holding part of one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態のノズル保持部に吸着ノズルを装着する手順を示す図(A) (b) (c) (d) The figure which shows the procedure of mounting | wearing with the suction nozzle in the nozzle holding part of one embodiment of this invention. （ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態のノズル保持部にエアフィルタを装着する手順を示す図(A) (b) (c) (d) The figure which shows the procedure which attaches an air filter to the nozzle holding part of one embodiment of this invention. （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態のノズル保持部に他のエアフィルタを装着する手順を示す図(A) (b) The figure which shows the procedure which attaches another air filter to the nozzle holding part of one embodiment of this invention.

以下に図面を用いて、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、部品実装装置、吸着ヘッド、吸着ノズルなどの仕様に応じ、適宜変更が可能である。以下では、全ての図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図１、及び後述する一部では、水平面内で互いに直交する２軸方向として、基板搬送方向のＸ方向（図１における紙面垂直方向）、基板搬送方向に直交するＹ方向（図１における左右方向）が示される。また、水平面と直交する高さ方向としてＺ方向（図１における上下方向）が示される。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The configuration, shape, and the like described below are illustrative examples, and can be appropriately changed according to specifications of the component mounting apparatus, the suction head, the suction nozzle, and the like. Below, the same code | symbol is attached | subjected to the element which respond | corresponds in all the drawings, and the overlapping description is abbreviate | omitted. In FIG. 1 and a part to be described later, as a biaxial direction orthogonal to each other in a horizontal plane, an X direction in the substrate transport direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 1) and a Y direction orthogonal to the substrate transport direction (the left-right direction in FIG. ) Is displayed. Further, the Z direction (the vertical direction in FIG. 1) is shown as the height direction orthogonal to the horizontal plane.

まず図１を参照して、部品実装装置１の構成を説明する。部品実装装置１は、基板に部品を搭載した実装基板を製造する機能を有している。基台１ａの上面に設けられた基板搬送機構２は、基板３をＸ方向に搬送して位置決めして保持する。基板搬送機構２の上方には、ヘッド移動機構４によって水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に移動する吸着ヘッド５が設置されている。 First, the configuration of the component mounting apparatus 1 will be described with reference to FIG. The component mounting apparatus 1 has a function of manufacturing a mounting substrate in which components are mounted on a substrate. The substrate transport mechanism 2 provided on the upper surface of the base 1a transports the substrate 3 in the X direction, positions it, and holds it. Above the substrate transport mechanism 2, a suction head 5 that is moved in the horizontal direction (X direction, Y direction) by the head moving mechanism 4 is installed.

吸着ヘッド５は、複数のノズルユニット６を備えている。それぞれのノズルユニット６は、機構部６ａからノズルシャフト７を下方に延出させた構成となっている。ノズルシャフト７の下端部に設置されたノズル保持部８には、吸着ノズル２０が着脱自在に装着される。吸着ノズル２０は、部品Ｐを負圧発生源１９（図２参照）で発生させた吸引力を利用して保持する機能を有する。それぞれの機構部６ａには、ノズルシャフト７を昇降させる昇降機構が内蔵されている。この昇降機構を駆動することにより、ノズル保持部８に装着された吸着ノズル２０は個別に昇降する。 The suction head 5 includes a plurality of nozzle units 6. Each nozzle unit 6 has a configuration in which a nozzle shaft 7 extends downward from the mechanism portion 6a. A suction nozzle 20 is detachably attached to the nozzle holding portion 8 installed at the lower end portion of the nozzle shaft 7. The suction nozzle 20 has a function of holding the component P using the suction force generated by the negative pressure generation source 19 (see FIG. 2). Each mechanism 6a has a built-in lifting mechanism for lifting the nozzle shaft 7 up and down. By driving the lifting mechanism, the suction nozzle 20 mounted on the nozzle holding unit 8 is lifted and lowered individually.

図１において、基板搬送機構２の側方において基台１ａに結合された台車９の上部には、複数のテープフィーダ１０がＸ方向に並んで取り付けられている。台車９においてテープフィーダ１０の下方には、部品Ｐを収納したキャリアテープ１１を巻回して収納した部品リール１２が保持されている。テープフィーダ１０は、部品リール１２から引き出されたキャリアテープ１１をテープ送り方向に搬送して、部品取り出し位置に部品Ｐを供給する。 In FIG. 1, a plurality of tape feeders 10 are attached side by side in the X direction on an upper portion of a carriage 9 coupled to a base 1 a on the side of the substrate transport mechanism 2. In the carriage 9, below the tape feeder 10, a component reel 12 that holds and stores a carrier tape 11 that stores a component P is held. The tape feeder 10 conveys the carrier tape 11 drawn from the component reel 12 in the tape feeding direction, and supplies the component P to the component removal position.

吸着ヘッド５は、部品取り出し位置に供給された部品Ｐを吸着ノズル２０によって取り出し、基板搬送機構２に保持させた基板３の実装位置に移送搭載する。このように、吸着ヘッド５は、吸着ノズル２０を用いて部品Ｐを吸着する。台車９の上方には、作業者が可動中の吸着ヘッド５などに触れないようにカバーする開閉自在の本体カバー１３が設置されている。 The suction head 5 takes out the component P supplied to the component pickup position by the suction nozzle 20 and transfers and mounts it on the mounting position of the substrate 3 held by the substrate transfer mechanism 2. Thus, the suction head 5 sucks the component P using the suction nozzle 20. An openable and closable main body cover 13 is installed above the carriage 9 so as to cover an operator so as not to touch the moving suction head 5 and the like.

次に図２、図３を参照して、ノズル保持部８、吸着ノズル２０の構成および機能を説明する。前述のようにノズルユニット６毎にノズルシャフト７の下端部に設置されたノズル保持部８には、吸着ノズル２０が着脱自在に装着される。図２は、ノズル保持部８に吸着ノズル２０を装着した状態を、また図３は、ノズル保持部８から吸着ノズル２０を取り外した状態を、それぞれ示している。 Next, the configurations and functions of the nozzle holding unit 8 and the suction nozzle 20 will be described with reference to FIGS. As described above, the suction nozzle 20 is detachably attached to the nozzle holding portion 8 installed at the lower end portion of the nozzle shaft 7 for each nozzle unit 6. FIG. 2 shows a state where the suction nozzle 20 is mounted on the nozzle holding unit 8, and FIG. 3 shows a state where the suction nozzle 20 is removed from the nozzle holding unit 8.

図２、図３に示すように、吸着ノズル２０は、ノズル本体２１とノズル本体保持部２２を含んで構成されている。ノズル本体保持部２２には、中央より下側の外周に円板状の鍔部２２ａが形成され、内部に上下に貫通する嵌合孔２２ｂが形成されている。ノズル本体２１は、基端部２３と下端部２４を含んで構成されている。基端部２３の内部には、上下に貫通する上部吸引孔２３ａが形成されている。下端部２４の内部には上下に貫通する下部吸引孔２４ａが形成されており、下端には下部吸引孔２４ａが開口した部品吸着口２４ｂが形成されている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the suction nozzle 20 includes a nozzle body 21 and a nozzle body holding part 22. The nozzle main body holding part 22 has a disk-shaped flange part 22a formed on the outer periphery below the center, and a fitting hole 22b penetrating vertically inside. The nozzle body 21 includes a proximal end portion 23 and a lower end portion 24. Inside the base end portion 23, an upper suction hole 23a penetrating vertically is formed. A lower suction hole 24a penetrating vertically is formed inside the lower end 24, and a component suction port 24b having a lower suction hole 24a is formed at the lower end.

下端部２４の上部は基端部２３の上部吸引孔２３ａの下部に挿入されて、基端部２３に結合されている（図５、図６も参照）。基端部２３の上部は嵌合孔２２ｂに下方から挿入され、ノズル本体２１は嵌合孔２２ｂに摺動可能に嵌合する（図５、図６も参照）。ノズル本体２１が挿入されたノズル本体保持部２２には、円柱状のピン２５が嵌合孔２２ｂの径方向（上下方向に直交する左右方向）に突出して装着されている。ピン２５はノズル本体２１に挿入されたノズル本体２１の基端部２３を貫通し、ピン２５はノズル本体保持部２２に結合されている（図５、図６も参照）。 The upper end of the lower end portion 24 is inserted into the lower portion of the upper suction hole 23a of the base end portion 23 and is coupled to the base end portion 23 (see also FIGS. 5 and 6). The upper part of the base end 23 is inserted into the fitting hole 22b from below, and the nozzle body 21 is slidably fitted into the fitting hole 22b (see also FIGS. 5 and 6). A columnar pin 25 is attached to the nozzle body holding portion 22 in which the nozzle body 21 is inserted so as to protrude in the radial direction of the fitting hole 22b (left and right direction perpendicular to the up and down direction). The pin 25 passes through the base end portion 23 of the nozzle body 21 inserted in the nozzle body 21, and the pin 25 is coupled to the nozzle body holding portion 22 (see also FIGS. 5 and 6).

図２、図３において、ノズル保持部８は、ノズルシャフト７の下端部に形成された略円筒形の保持部本体１４、保持部本体１４の外周に下方からこの順番で装着された円筒形のスライダ１５、弾性体であるコイルバネ１６、ノズル保持部材１７を含んで構成されている。保持部本体１４の上部であって保持部本体１４に装着されたスライダ１５の上方には、フランジ１４ａが保持部本体１４の外周面から延伸して形成されている。保持部本体１４に装着されたコイルバネ１６は、スライダ１５を上方（フランジ１４ａ側）に付勢すると共に、ノズル保持部材１７を下方に付勢する。 2 and 3, the nozzle holding portion 8 includes a substantially cylindrical holding portion main body 14 formed at the lower end portion of the nozzle shaft 7, and a cylindrical shape mounted in this order on the outer periphery of the holding portion main body 14 from below. The slider 15 includes an elastic coil spring 16 and a nozzle holding member 17. A flange 14 a is formed to extend from the outer peripheral surface of the holding portion main body 14 above the slider 15 mounted on the holding portion main body 14 above the holding portion main body 14. The coil spring 16 attached to the holding portion main body 14 urges the slider 15 upward (flange 14a side) and urges the nozzle holding member 17 downward.

保持部本体１４の内部には、上下に貫通する保持部吸引孔１４ｂが形成されている。保持部本体１４の下端部の外周面の対向する位置には、スリット幅がピン２５の直径よりやや広く、倒立したＪ字型のノズル係止スリット１８がそれぞれ形成されている。ノズル係止スリット１８は、保持部吸引孔１４ｂまで貫通している。このように、保持部本体１４には、外周の対向する位置に２つのノズル係止スリット１８が形成されている。吸着ノズル２０は、保持部本体１４の保持部吸引孔１４ｂに下方から挿入され、ノズル本体保持部２２から延出しているピン２５をノズル係止スリット１８に係合させることでノズル保持部８に保持される。 A holding portion suction hole 14 b penetrating vertically is formed inside the holding portion main body 14. Inverted J-shaped nozzle locking slits 18 are formed at opposite positions on the outer peripheral surface of the lower end portion of the holding portion main body 14, and the slit width is slightly wider than the diameter of the pin 25. The nozzle locking slit 18 penetrates to the holding part suction hole 14b. Thus, two nozzle locking slits 18 are formed in the holding body 14 at positions facing the outer periphery. The suction nozzle 20 is inserted into the holding portion suction hole 14b of the holding portion main body 14 from below, and the pin 25 extending from the nozzle main body holding portion 22 is engaged with the nozzle locking slit 18 so that the nozzle holding portion 8 is engaged. Retained.

図２に示すように、ノズルシャフト７内の真空経路は負圧発生源１９に接続されている。吸着ノズル２０をノズル保持部８に装着すると、ノズルシャフト７内の空気吸引路、保持部吸引孔１４ｂ、嵌合孔２２ｂ、上部吸引孔２３ａ、下部吸引孔２４ａは連通した空気吸引路を形成する。この状態で負圧発生源１９を作動させると、空気吸引路が排気されて吸引力が発生し、吸着ノズル２０の部品吸着口２４ｂに部品Ｐを吸着して保持することができる。 As shown in FIG. 2, the vacuum path in the nozzle shaft 7 is connected to a negative pressure generation source 19. When the suction nozzle 20 is attached to the nozzle holding part 8, the air suction path in the nozzle shaft 7, the holding part suction hole 14b, the fitting hole 22b, the upper suction hole 23a, and the lower suction hole 24a form a continuous air suction path. . When the negative pressure generating source 19 is operated in this state, the air suction path is exhausted to generate a suction force, and the component P can be sucked and held in the component suction port 24b of the suction nozzle 20.

なお負圧発生源１９としては、工場設備として設けられた真空給引源を用いてもよく、また部品実装装置１に組み込まれた真空ポンプ、エジェクタ装置などの真空発生装置を用いてもよい。また、部品吸着口２４ｂから吸引された空気が負圧発生源１９に向かって流れる空気吸引路の一部である保持部吸引孔１４ｂには、エアフィルタ２６が配置されている。エアフィルタ２６は、部品吸着口２４ｂから空気とともに吸引された小さなゴミや粉塵などを吸着して、故障の原因となるゴミが吸着ヘッド５など装置内部に侵入することを防止する。 As the negative pressure generation source 19, a vacuum supply source provided as factory equipment may be used, or a vacuum generation device such as a vacuum pump or an ejector device incorporated in the component mounting apparatus 1 may be used. An air filter 26 is disposed in the holding portion suction hole 14b which is a part of an air suction path through which air sucked from the component suction port 24b flows toward the negative pressure generation source 19. The air filter 26 adsorbs small dust or dust sucked together with air from the component suction port 24b, and prevents dust that causes a failure from entering the inside of the device such as the suction head 5.

次に図４〜図７を参照して、吸着ノズル２０を保持するノズル保持部８の詳細構成について説明する。図４は、吸着ノズル２０を保持するノズル保持部８の３面図を示している。図４（ａ）、図４（ｂ）は、吸着ノズル２０を保持するノズル保持部８の正面および側面をそれぞれ示しており、図４（ｃ）は、図４（ａ）に示す吸着ノズル２０を保持するノズル保持部８を下方から見た下面を示している。以下に説明する図５、図６、図７は、図４におけるＡ−Ａ断面、Ｂ−Ｂ断面、Ｃ−Ｃ断面をそれぞれ示している。 Next, with reference to FIGS. 4-7, the detailed structure of the nozzle holding | maintenance part 8 holding the suction nozzle 20 is demonstrated. FIG. 4 is a three-side view of the nozzle holding unit 8 that holds the suction nozzle 20. 4A and 4B respectively show the front and side surfaces of the nozzle holding unit 8 that holds the suction nozzle 20, and FIG. 4C shows the suction nozzle 20 shown in FIG. 4A. The lower surface which looked at the nozzle holding part 8 which hold | maintains from the downward direction is shown. 5, FIG. 6, and FIG. 7 described below show the AA cross section, the BB cross section, and the CC cross section in FIG. 4, respectively.

図５、図６において、ノズル本体２１の基端部２３の外周の対向する位置には、それぞれノズル本体２１が摺動する方向（上下方向）に長い長孔２３ｂが上部吸引孔２３ａまで貫通して形成されている。ノズル本体保持部２２に装着されたピン２５は、２つの長孔２３ｂを貫通している。長孔２３ｂを貫通するピン２５が長孔２３ｂに沿って相対的に上下に移動することにより、ノズル本体２１はノズル本体保持部２２の嵌合孔２２ｂに沿って上下に摺動する。 5 and 6, long holes 23b extending in the direction in which the nozzle body 21 slides (vertical direction) penetrate to the upper suction hole 23a at opposite positions on the outer periphery of the base end portion 23 of the nozzle body 21. Is formed. The pin 25 attached to the nozzle body holding part 22 passes through the two long holes 23b. As the pin 25 penetrating the long hole 23 b moves relatively up and down along the long hole 23 b, the nozzle body 21 slides up and down along the fitting hole 22 b of the nozzle body holding portion 22.

保持部吸引孔１４ｂの内部には、弾性体である荷重制御バネ３０が設置されている。荷重制御バネ３０の上部は、保持部吸引孔１４ｂに設置されたバネ留め３１に接続されている。吸着ノズル２０がノズル保持部８に装着されると、基端部２３の上面が荷重制御バネ３０によって下方に付勢される。これによって、ノズル本体２１はピン２５が長孔２３ｂの上面に当接する下方規制位置で停止する。部品Ｐを保持した吸着ノズル２０が基板３に着地する際は、ノズル本体２１がノズル本体保持部２２の内部に押されることで、部品Ｐに加わる荷重（衝撃）が緩和される。 A load control spring 30 that is an elastic body is provided inside the holding portion suction hole 14b. The upper part of the load control spring 30 is connected to a spring clamp 31 installed in the holding part suction hole 14b. When the suction nozzle 20 is attached to the nozzle holding portion 8, the upper surface of the base end portion 23 is urged downward by the load control spring 30. As a result, the nozzle body 21 stops at the lower restriction position where the pin 25 contacts the upper surface of the long hole 23b. When the suction nozzle 20 that holds the component P lands on the substrate 3, the load (impact) applied to the component P is reduced by the nozzle body 21 being pushed into the nozzle body holding portion 22.

図５、図６において、ノズル保持部材１７は円筒形の円筒部１７ａ、バネ受け１７ｂ、係止部１７ｃを含んで形成されている。バネ受け１７ｂは、円筒部１７ａの下端に円筒部１７ａの外周より外側に延伸して形成されている。係止部１７ｃは、円筒部１７ａの上端の対向する２箇所に円筒部１７ａの中空に延出するように形成されている。円筒部１７ａの外周は、コイルバネ１６の内径より小さい。バネ受け１７ｂは、コイルバネ１６の外径より大きい。 5 and 6, the nozzle holding member 17 includes a cylindrical cylindrical portion 17a, a spring receiver 17b, and a locking portion 17c. The spring receiver 17b is formed to extend outward from the outer periphery of the cylindrical portion 17a at the lower end of the cylindrical portion 17a. The locking portion 17c is formed so as to extend into the hollow of the cylindrical portion 17a at two opposing positions on the upper end of the cylindrical portion 17a. The outer periphery of the cylindrical portion 17 a is smaller than the inner diameter of the coil spring 16. The spring receiver 17 b is larger than the outer diameter of the coil spring 16.

図６において、係止部１７ｃは、ノズル保持部材１７が保持部本体１４の外周に装着された状態で、保持部本体１４の外周の対向する２箇所に外周に沿って形成された突起部１４ｃに上方から当接する。これにより、ノズル保持部材１７の下方への移動が規制される。保持部本体１４の外周に装着されたコイルバネ１６の下端はノズル保持部材１７のバネ受け１７ｂに上方から当接し、ノズル保持部材１７を下方に付勢する。また、コイルバネ１６の上端は保持部本体１４の外周に装着されたスライダ１５の下端面に当接し、スライダ１５を上方に付勢する。上方に付勢されたスライダ１５は、その上端面がフランジ１４ａの下面に当接することで、上方への移動が規制される。 In FIG. 6, the locking portion 17 c is a protruding portion 14 c formed along the outer periphery at two opposing locations on the outer periphery of the holding portion main body 14 in a state where the nozzle holding member 17 is mounted on the outer periphery of the holding portion main body 14. It contacts from above. Thereby, the downward movement of the nozzle holding member 17 is restricted. The lower end of the coil spring 16 mounted on the outer periphery of the holding body 14 contacts the spring receiver 17b of the nozzle holding member 17 from above, and biases the nozzle holding member 17 downward. Further, the upper end of the coil spring 16 abuts on the lower end surface of the slider 15 mounted on the outer periphery of the holding portion main body 14 and urges the slider 15 upward. The upper end surface of the slider 15 urged upward is brought into contact with the lower surface of the flange 14a, so that upward movement is restricted.

このように、スライダは、ノズルシャフト７の下端部に形成された保持部本体１４の外周に沿って摺動する管状体である。また、保持部本体１４の外周面から延伸して設けられたフランジ１４ａは、スライダ１５の一端（上端面）を係止してスライダ１５を閉位置に固定するストッパーである。また、保持部本体１４の外周に設けられたコイルバネ１６はスライダ１５の他端（下端面）をストッパー（フランジ１４ａ）の方向へ付勢する弾性体である。 Thus, the slider is a tubular body that slides along the outer periphery of the holding portion main body 14 formed at the lower end portion of the nozzle shaft 7. Further, a flange 14a provided extending from the outer peripheral surface of the holding portion main body 14 is a stopper that locks one end (upper end surface) of the slider 15 and fixes the slider 15 in the closed position. The coil spring 16 provided on the outer periphery of the holding portion main body 14 is an elastic body that urges the other end (lower end surface) of the slider 15 toward the stopper (flange 14a).

図５、図６、図７において、エアフィルタ２６は、略円筒形のフィルタカセット３２の中央に保持されている。フィルタカセット３２は、保持部吸引孔１４ｂに形成されたカセット保持部１４ｄに保持されている。この状態で、エアフィルタ２６は保持部吸引孔１４ｂの中央に位置する。保持部本体１４の側面（外周面）には、カセット保持部１４ｄの横の位置に側面の一部を切り欠いた開口１４ｅが形成されている（図８（ａ）も参照）。後述するように、フィルタカセット３２は、開口１４ｅを介してカセット保持部１４ｄに着脱される。 5, 6, and 7, the air filter 26 is held at the center of a substantially cylindrical filter cassette 32. The filter cassette 32 is held in a cassette holding portion 14d formed in the holding portion suction hole 14b. In this state, the air filter 26 is located at the center of the holding portion suction hole 14b. On the side surface (outer peripheral surface) of the holding unit main body 14, an opening 14 e is formed by cutting out a part of the side surface at a position lateral to the cassette holding unit 14 d (see also FIG. 8A). As will be described later, the filter cassette 32 is attached to and detached from the cassette holding portion 14d through the opening 14e.

保持部本体１４の開口１４ｅには、開口１４ｅの形状と一致するカバー３３が装着されている。開口１４ｅにカバー３３を装着すると、カバー３３と保持部本体１４の外周は一体化する。フランジ１４ａに当接しているスライダ１５は、保持部本体１４の外周を囲んで開口１４ｅを覆う。スライダ１５を下方に移動させることで、開口１４ｅが露出される。以下、スライダ１５がフランジ１４ａに当接して上方への移動が規制されている位置を「閉位置」、スライダ１５を下方に移動させて、開口１４ｅが露出している位置を「開位置」と称する。 A cover 33 that matches the shape of the opening 14 e is attached to the opening 14 e of the holding unit main body 14. When the cover 33 is attached to the opening 14e, the outer periphery of the cover 33 and the holding unit main body 14 is integrated. The slider 15 in contact with the flange 14a surrounds the outer periphery of the holding unit main body 14 and covers the opening 14e. The opening 14e is exposed by moving the slider 15 downward. Hereinafter, the position where the slider 15 is in contact with the flange 14a and the upward movement is restricted is referred to as the “closed position”, and the position where the slider 15 is moved downward and the opening 14e is exposed is referred to as the “open position”. Called.

図５、図６において、保持部本体１４の外周であって閉位置にあるスライダ１５の上部と下部が位置する位置には、それぞれ保持部本体１４の外周を一周して囲むＯリング３４，３５が装着されている（図８も参照）。２本のＯリング３４，３５は、閉位置にあるスライダ１５の内周面と保持部本体１４の外周の間の気密を保つ。エアフィルタ２６の上面には、エアフィルタ２６と保持部吸引孔１４ｂの間の気密を保つＯリング３６が装着されている。保持部吸引孔１４ｂの内周で、ノズル保持部８に装着された吸着ノズル２０のノズル本体保持部２２の外周と重なる位置に、保持部吸引孔１４ｂとノズル本体保持部２２との間の気密を保つＯリング３７が装着されている。 5 and 6, O-rings 34 and 35 that surround the outer periphery of the holder main body 14 around the outer periphery of the holder main body 14 at positions where the upper and lower portions of the slider 15 in the closed position are located, respectively. (See also FIG. 8). The two O-rings 34 and 35 maintain airtightness between the inner peripheral surface of the slider 15 in the closed position and the outer periphery of the holding portion main body 14. On the upper surface of the air filter 26, an O-ring 36 that keeps airtight between the air filter 26 and the holding portion suction hole 14b is mounted. Airtight between the holding portion suction hole 14b and the nozzle body holding portion 22 at a position overlapping the outer circumference of the nozzle body holding portion 22 of the suction nozzle 20 attached to the nozzle holding portion 8 on the inner circumference of the holding portion suction hole 14b. An O-ring 37 is attached to keep the

次に図８を参照して、保持部本体１４にスライダ１５、コイルバネ１６、ノズル保持部材１７を装着してノズル保持部８を組み立てる手順について説明する。図８（ａ）において、まず、保持部本体１４に下方からスライダ１５を挿入し（矢印ａ）、次いでコイルバネ１６を挿入する（矢印ｂ）。次いでノズル保持部材１７を、ノズルシャフト７の軸方向に対する回転角度を係止部１７ｃが保持部本体１４の外周の突起部１４ｃに干渉しない角度に合わせて保持部本体１４に挿入する（矢印ｃ）。 Next, a procedure for assembling the nozzle holding portion 8 by mounting the slider 15, the coil spring 16, and the nozzle holding member 17 on the holding portion main body 14 will be described with reference to FIG. 8. In FIG. 8A, first, the slider 15 is inserted into the holding portion main body 14 from below (arrow a), and then the coil spring 16 is inserted (arrow b). Next, the nozzle holding member 17 is inserted into the holding portion main body 14 such that the rotation angle with respect to the axial direction of the nozzle shaft 7 is adjusted such that the locking portion 17c does not interfere with the protrusion 14c on the outer periphery of the holding portion main body 14 (arrow c). .

図８（ｂ）において、次いでノズル保持部材１７を、係止部１７ｃが保持部本体１４の外周において突起部１４ｃより上方に形成された溝１４ｆに入る高さ位置まで押し上げる。この状態で、係止部１７ｃが溝１４ｆの中を通過するようにノズル保持部材１７をノズルシャフト７の軸方向に対して９０°回転させる（矢印ｄ）。図８（ｃ）において、次いでノズル保持部材１７を保持部本体１４の外周に沿って下降させ（矢印ｅ）、係止部１７ｃを突起部１４ｃに当接させる。これにより、ノズル保持部８の組み立てが完了する。 In FIG. 8B, the nozzle holding member 17 is then pushed up to a height position where the locking portion 17 c enters the groove 14 f formed above the protrusion 14 c on the outer periphery of the holding portion main body 14. In this state, the nozzle holding member 17 is rotated by 90 ° with respect to the axial direction of the nozzle shaft 7 so that the locking portion 17c passes through the groove 14f (arrow d). In FIG. 8C, the nozzle holding member 17 is then lowered along the outer periphery of the holding portion main body 14 (arrow e), and the locking portion 17c is brought into contact with the protruding portion 14c. Thereby, the assembly of the nozzle holding part 8 is completed.

次に図９を参照して、ノズル保持部８に吸着ノズル２０を装着する手順について説明する。図９（ａ）において、保持部本体１４の下端部に形成された２つのノズル係止スリット１８は、縦スリット１８ａ、横スリット１８ｂ、ピン受け１８ｃを含んでいる。縦スリット１８ａは、保持部本体１４の下端からノズルシャフト７の軸方向（縦方向）に形成されており、下端が開放されている。横スリット１８ｂは、縦スリット１８ａの上端から外周に沿って形成されている。ピン受け１８ｃは、横スリット１８ｂの縦スリット１８ａとは反対側の端部から下方に延伸して形成されている。 Next, with reference to FIG. 9, a procedure for mounting the suction nozzle 20 on the nozzle holding portion 8 will be described. In FIG. 9A, the two nozzle locking slits 18 formed at the lower end portion of the holding portion main body 14 include a vertical slit 18a, a horizontal slit 18b, and a pin receiver 18c. The vertical slit 18a is formed in the axial direction (vertical direction) of the nozzle shaft 7 from the lower end of the holding portion main body 14, and the lower end is opened. The horizontal slit 18b is formed along the outer periphery from the upper end of the vertical slit 18a. The pin receiver 18c is formed by extending downward from the end of the horizontal slit 18b opposite to the vertical slit 18a.

図９（ａ）において、吸着ノズル２０は保持部本体１４の下方から保持部吸引孔１４ｂに挿入し、さらにノズル本体保持部２２の側面から左右に突き出たピン２５をノズル係止スリット１８の縦スリット１８ａにそれぞれ挿入する（矢印ｆ）。図９（ｂ）において、次いでピン２５によってノズル保持部材１７を押し上げて（矢印ｇ）、横スリット１８ｂを露出させる。図９（ｃ）において、次いでピン２５が横スリット１８ｂに沿って移動するように吸着ノズル２０をノズルシャフト７の軸方向に対して回転させる（矢印ｈ）。 In FIG. 9A, the suction nozzle 20 is inserted into the holding portion suction hole 14 b from below the holding portion main body 14, and a pin 25 protruding left and right from the side surface of the nozzle main body holding portion 22 is inserted vertically into the nozzle locking slit 18. Each is inserted into the slit 18a (arrow f). In FIG. 9B, the nozzle holding member 17 is then pushed up by the pin 25 (arrow g) to expose the lateral slit 18b. In FIG. 9C, the suction nozzle 20 is then rotated with respect to the axial direction of the nozzle shaft 7 so that the pin 25 moves along the horizontal slit 18b (arrow h).

図９（ｄ）において、次いでピン２５がピン受け１８ｃに収まるように吸着ノズル２０を下降させる（矢印ｉ）。これにより、コイルバネ１６によって下方に付勢されているノズル保持部材１７によってピン２５がピン受け１８ｃに押さえつけられて、吸着ノズル２０がノズル保持部８に保持されるとともに、回転が規制される。 In FIG. 9D, the suction nozzle 20 is then lowered so that the pin 25 fits in the pin receiver 18c (arrow i). Accordingly, the pin 25 is pressed against the pin receiver 18c by the nozzle holding member 17 biased downward by the coil spring 16, and the suction nozzle 20 is held by the nozzle holding portion 8 and the rotation is restricted.

このように、吸着ノズル２０は、側面上にピン２５を有している。ノズルシャフト７の下端部に形成された保持部本体１４に形成されたノズル係止スリット１８は、装着された吸着ノズル２０のピン２５と係合して吸着ノズル２０がノズルシャフト７の軸方向に対して回転することを規制する被係合部である。そして、ノズル保持部材１７は、弾性体（コイルバネ１６）によってノズルシャフト７に装着された吸着ノズル２０の方向に付勢されると共に、ピン２５を押さえて吸着ノズル２０がノズルシャフト７の軸方向に動くことを規制する規制部である。 Thus, the suction nozzle 20 has the pin 25 on the side surface. The nozzle locking slit 18 formed in the holding body 14 formed at the lower end of the nozzle shaft 7 is engaged with the pin 25 of the attached suction nozzle 20 so that the suction nozzle 20 extends in the axial direction of the nozzle shaft 7. It is an to-be-engaged part which controls that it rotates with respect to it. The nozzle holding member 17 is biased in the direction of the suction nozzle 20 mounted on the nozzle shaft 7 by an elastic body (coil spring 16), and the suction nozzle 20 is pressed in the axial direction of the nozzle shaft 7 by pressing the pin 25. It is a regulation part that regulates movement.

次に図１０を参照して、ノズル保持部８にエアフィルタ２６を装着する手順について説明する。図１０（ａ）において、内部に空気吸引路である保持部吸引孔１４ｂが形成された保持部本体１４の側面に形成された開口１４ｅは、上部開口１４ｅ１と下部開口１４ｅ２を含んでいる。下部開口１４ｅ２は、上部開口１４ｅ１の下方で上部開口１４ｅ１より保持部本体１４の外周方向に長く切り欠かれている。開口１４ｅは、エアフィルタ２６を保持するフィルタカセット３２より大きく開口している。図１０（ｂ）において、カバー３３は、上部開口１４ｅ１を覆う上部カバー３３ａと、下部開口１４ｅ２を覆う下部カバー３３ｂを含んで形成されている。 Next, a procedure for mounting the air filter 26 on the nozzle holding portion 8 will be described with reference to FIG. In FIG. 10A, an opening 14e formed on a side surface of the holding unit main body 14 in which a holding unit suction hole 14b as an air suction path is formed includes an upper opening 14e1 and a lower opening 14e2. The lower opening 14e2 is cut out longer than the upper opening 14e1 in the outer peripheral direction of the holding body 14 below the upper opening 14e1. The opening 14 e is larger than the filter cassette 32 that holds the air filter 26. In FIG. 10B, the cover 33 includes an upper cover 33a that covers the upper opening 14e1 and a lower cover 33b that covers the lower opening 14e2.

図１０（ａ）において、まずスライダ１５を開位置まで下方に押し下げて、開口１４ｅを露出させる（矢印ｊ）。次いで、開口１４ｅを通じてフィルタカセット３２を保持部本体１４のカセット保持部１４ｄに装着する（矢印ｋ）。図１０（ｂ）において、次いでカバー３３を開口１４ｅに合わせて保持部本体１４に装着する（矢印ｍ）。これにより、上部カバー３３ａは上部開口１４ｅ１に係合し、下部カバー３３ｂは下部開口１４ｅ２に係合して、カバー３３が保持部本体１４と一体化する（図１０（ｃ））。図１０（ｄ）において、次いでスライダ１５を閉位置まで上昇させる（矢印ｎ）。 In FIG. 10A, first, the slider 15 is pushed down to the open position to expose the opening 14e (arrow j). Next, the filter cassette 32 is mounted on the cassette holding portion 14d of the holding portion main body 14 through the opening 14e (arrow k). In FIG. 10B, the cover 33 is then attached to the holding portion main body 14 in accordance with the opening 14e (arrow m). Accordingly, the upper cover 33a engages with the upper opening 14e1, and the lower cover 33b engages with the lower opening 14e2, so that the cover 33 is integrated with the holding portion main body 14 (FIG. 10C). In FIG. 10D, the slider 15 is then raised to the closed position (arrow n).

このように、ノズルシャフト７の下端部に形成された保持部本体１４には、内部に空気吸引路（保持部吸引孔１４ｂ）が形成されると共に、側面に開口１４ｅが形成されている。そして、エアフィルタ２６は開口１４ｅを介して空気吸引路中に着脱可能に配置され、スライダ１５はノズルシャフト７の外周に設けられると共に開口１４ｅを開閉し、カバー３３は開口１４ｅを覆うと共に着脱可能である。また、上記とは逆の手順でエアフィルタ２６が取り外される。なお、図１０に示すノズル保持部８は吸着ノズル２０を外した状態であるが、ノズル保持部８に吸着ノズル２０を装着した状態でも上記の手順でエアフィルタ２６の装着を行うことができる。 As described above, the holding portion main body 14 formed at the lower end portion of the nozzle shaft 7 has an air suction path (holding portion suction hole 14b) formed therein and an opening 14e formed on the side surface. The air filter 26 is detachably disposed in the air suction path through the opening 14e. The slider 15 is provided on the outer periphery of the nozzle shaft 7 and opens and closes the opening 14e. The cover 33 covers the opening 14e and is detachable. It is. Further, the air filter 26 is removed in the reverse procedure to the above. The nozzle holding unit 8 shown in FIG. 10 is in a state where the suction nozzle 20 is removed, but the air filter 26 can be mounted in the above procedure even when the suction nozzle 20 is mounted on the nozzle holding unit 8.

上記説明したように、本実施の形態の吸着ヘッド５は、内部に空気吸引路（保持部吸引孔１４ｂ）が形成されると共に、側面に開口１４ｅが形成されたノズルシャフト７と、開口１４ｅを介して空気吸引路中に着脱可能に配置されるエアフィルタ２６と、ノズルシャフト７の外周に設けられると共に開口１４ｅを開閉するスライダ１５を有し、吸着ノズル２０を用いて部品Ｐを吸着する。これによって、吸着ヘッド５に装着されるエアフィルタ２６を専用の治具を用いることなく簡単に交換することができる。 As described above, the suction head 5 of the present embodiment includes the nozzle shaft 7 having the air suction path (holding portion suction hole 14b) formed therein and the opening 14e formed on the side surface, and the opening 14e. And an air filter 26 that is detachably disposed in the air suction path, and a slider 15 that is provided on the outer periphery of the nozzle shaft 7 and opens and closes the opening 14e, and sucks the component P using the suction nozzle 20. Thus, the air filter 26 attached to the suction head 5 can be easily replaced without using a dedicated jig.

次に図１１を参照して、他のフィルタカセットであるカバー付きフィルタカセット４０の構成について説明する。図１１（ａ）において、カバー付きフィルタカセット４０は、中央にエアフィルタ２６を保持するカセット部４０ａと、カセット部４０ａに接合されたカバー部４０ｂを含んで構成されている。カセット部４０ａは図１０（ａ）に示すフィルタカセット３２と同じ形状であり、カバー部４０ｂは図１０（ｂ）に示すカバー３３と同じ形状である。 Next, with reference to FIG. 11, the structure of the filter cassette 40 with a cover which is another filter cassette is demonstrated. In FIG. 11A, the filter cassette 40 with a cover includes a cassette part 40a that holds the air filter 26 in the center and a cover part 40b joined to the cassette part 40a. The cassette part 40a has the same shape as the filter cassette 32 shown in FIG. 10A, and the cover part 40b has the same shape as the cover 33 shown in FIG.

図１１（ａ）において、エアフィルタ２６を保持するカバー付きフィルタカセット４０をノズル保持部８に装着する際は、スライダ１５を開位置まで押し下げて開口１４ｅを露出させた状態で、カバー付きフィルタカセット４０を開口１４ｅより装着する。これにより、カバー部４０ｂが保持部本体１４と一体化する（図１１（ｂ））。次いで、スライダ１５を閉位置まで上昇させる（図示省略）。カバー付きフィルタカセット４０は、ノズル保持部８に装着させた後にカバー３３を装着する必要がなく、エアフィルタ２６をより簡単に交換することができる。 In FIG. 11A, when the cover-equipped filter cassette 40 that holds the air filter 26 is attached to the nozzle holding portion 8, the slider cassette 15 is pushed down to the open position so that the opening 14e is exposed, and the cover-equipped filter cassette is exposed. 40 is installed from the opening 14e. Thereby, the cover part 40b is integrated with the holding | maintenance part main body 14 (FIG.11 (b)). Next, the slider 15 is raised to the closed position (not shown). The cover-equipped filter cassette 40 does not need to be attached with the cover 33 after being attached to the nozzle holding portion 8, and the air filter 26 can be replaced more easily.

本発明の吸着ヘッドは、吸着ヘッドに装着されるエアフィルタを簡単に交換することができるという効果を有し、部品を基板に実装する分野において有用である。 The suction head of the present invention has an effect that the air filter mounted on the suction head can be easily replaced, and is useful in the field of mounting components on a substrate.

５吸着ヘッド
７ノズルシャフト
１４ａフランジ（ストッパー）
１４ｂ保持部吸引孔（空気吸引路）
１４ｅ開口
１５スライダ（管状体）
１６コイルバネ（弾性体）
１７ノズル保持部材（規制部）
１８ノズル係止スリット（被係合部）
２０吸着ノズル
２５ピン
２６エアフィルタ
３３カバー
Ｐ部品 5 Suction head 7 Nozzle shaft 14a Flange (stopper)
14b Holding part suction hole (air suction path)
14e Opening 15 Slider (tubular body)
16 Coil spring (elastic body)
17 Nozzle holding member (regulator)
18 Nozzle locking slit (engaged part)
20 Suction nozzle 25 Pin 26 Air filter 33 Cover P Parts

Claims

A suction head that sucks parts using a suction nozzle,
A nozzle shaft having an air suction path formed therein and an opening formed on a side surface;
An air filter detachably disposed in the air suction path through the opening;
A suction head, comprising: a slider provided on an outer periphery of the nozzle shaft and opening and closing the opening.

The suction head according to claim 1, further comprising:
A stopper extending from the outer peripheral surface of the nozzle shaft, and locking the one end of the slider to fix the slider in a closed position;
An adsorption head provided on an outer periphery of the nozzle shaft and having an elastic body that urges the other end of the slider toward the stopper.

The suction head according to claim 2,
The slider is a suction head that is a tubular body that slides along the outer periphery of the nozzle shaft.

The suction head according to claim 2 or 3,
The suction nozzle has a pin on a side surface,
The nozzle shaft has an engaged portion that engages with the pin of the suction nozzle mounted at an end thereof and restricts the suction nozzle from rotating with respect to the axial direction of the nozzle shaft;
Further, the elastic member is urged in the direction of the suction nozzle mounted on the nozzle shaft, and has a restricting portion that presses the pin and restricts the suction nozzle from moving in the axial direction of the nozzle shaft. , Suction head.

The suction head according to any one of claims 1 to 4, further comprising:
A suction head that covers the opening and has a detachable cover.