JP2015056573A - Mount head and part mounting apparatus - Google Patents

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伸弘 中井
Nobuhiro Nakai
伸弘 中井
博 大田
Hiroshi Ota
博 大田
登 山崎
Noboru Yamazaki
登 山崎
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a mount head and a part mounting apparatus that can prevent reduction of mounting precision which is caused by a long air tube, and also can prevent damage of an air tube which is caused by interference between the air tube and a suction nozzle.SOLUTION: A mount head 16 is equipped to a part mounting device 1 and supplies vacuum pressure to a suction nozzle 16a secured to the lower end of a movable-side shaft 23 which is freely movable upwards and downwards relatively to a fixed-side shaft 22, thereby making a part 3 be sucked to the suction nozzle 16a. The mount head 16 has an air tube 28 supplied with the vacuum pressure, and a vacuum pressure introducing unit 29 for introducing the vacuum pressure supplied from the air tube 28 to an internal pipeline (shaft internal pipeline 23c) of the movable-side shaft 23. The vacuum pressure introducing unit 29 comprises a base portion (a block member 51 and a shaft member 52) secured to the movable-side shaft 23, and a connection portion (connecting member 53) which is provided to the base portion so as to be freely rotatable within a vertical plane and connected to the air tube 28.

Description

本発明は、吸着ノズルにより部品を吸着する装着ヘッド及びこの装着ヘッドを備えた部品実装装置に関するものである。   The present invention relates to a mounting head that sucks a component with a suction nozzle and a component mounting apparatus including the mounting head.

部品装着装置は、基板を搬送する基板搬送部によって位置決めされた基板に部品を装着する装置であり、部品供給部が供給する部品を吸着する装着ヘッドを備えている。装着ヘッドは固定側シャフトに対して昇降自在な可動側シャフトの下端に吸着ノズルを有しており、吸着ノズルに真空圧を供給することで吸着ノズルによる部品の吸着を可能にしている。吸着ノズルに真空圧を導入する経路は、真空圧が供給されるエアチューブと、可動側シャフトに取り付けられてエアチューブから供給される真空圧を可動側シャフトの内部管路に導入する真空圧導入部を有して成り、エアチューブは真空圧導入部に対して一定の角度を保持した状態で取り付けられている。(例えば、特許文献1)。   The component mounting apparatus is a device that mounts a component on a substrate positioned by a substrate transport unit that transports a substrate, and includes a mounting head that sucks a component supplied by a component supply unit. The mounting head has a suction nozzle at the lower end of a movable shaft that can be moved up and down with respect to the fixed shaft. By supplying a vacuum pressure to the suction nozzle, the suction nozzle can suck the components. The vacuum pressure is introduced into the suction nozzle through the air tube to which the vacuum pressure is supplied and the vacuum pressure that is attached to the movable shaft and introduced from the air tube into the internal pipe of the movable shaft. The air tube is attached in a state where a certain angle is maintained with respect to the vacuum pressure introducing portion. (For example, patent document 1).

上記のように真空圧導入部が可動側シャフトとともに昇降し、エアチューブが真空圧導入部に対して一定の角度を保持した状態で取り付けられている場合には、可動側シャフトの昇降動作によってエアチューブに無理な変形が与えられ、エアチューブが真空圧導入部から脱落したり損傷したりする可能性があった。このため従来、エアチューブの長さを十分に長くし、可動側シャフトの昇降動作に応じてエアチューブの屈曲状態が連動した変化をするようにして、チューブに無理な変形が与えられないようにしている。   As described above, when the vacuum pressure introduction part moves up and down together with the movable side shaft, and the air tube is attached in a state maintaining a certain angle with respect to the vacuum pressure introduction part, the air is moved by the movement of the movable side shaft. Unreasonable deformation was given to the tube, and the air tube could fall off from the vacuum pressure introduction part or be damaged. For this reason, conventionally, the length of the air tube is made sufficiently long so that the bending state of the air tube changes in conjunction with the lifting and lowering movement of the movable shaft so that the tube is not deformed excessively. ing.

特開2010−27855号公報JP 2010-27855 A

しかしながら、エアチューブが長いと装着ヘッドの移動に伴ってエアチューブ全体が振動し、これが吸着ノズルに伝わって装着精度が悪化する場合があった。また、エアチューブが吸着ノズルと干渉してエアチューブが損傷するおそれもあった。   However, if the air tube is long, the entire air tube vibrates with the movement of the mounting head, which is transmitted to the suction nozzle, which may deteriorate the mounting accuracy. Further, the air tube may interfere with the suction nozzle, and the air tube may be damaged.

そこで本発明は、エアチューブが長いことに起因して生じる装着精度の低下やエアチューブが吸着ノズルと干渉して生じるエアチューブの損傷を防止することができる装着ヘッド及び部品実装装置を提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention provides a mounting head and a component mounting apparatus that can prevent a decrease in mounting accuracy caused by a long air tube and damage of the air tube caused by the air tube interfering with a suction nozzle. With the goal.

請求項1に記載の装着ヘッドは、部品実装装置に備えられ、固定側シャフトに対して昇降自在な可動側シャフトの下端に取り付けられた吸着ノズルに真空圧を供給して前記吸着ノズルに部品を吸着させる装着ヘッドであって、真空圧が供給されるエアチューブと、前記可動側シャフトに設けられ、前記エアチューブから供給される真空圧を前記可動側シャフトの内部管路に導入する真空圧導入部とを備え、前記真空圧導入部は、前記可動側シャフトに取り付けられた基部と、前記基部に上下面内で回動自在に設けられて前記エアチューブと接続される接続部とから成る。   The mounting head according to claim 1 is provided in a component mounting apparatus, and supplies a vacuum pressure to a suction nozzle attached to a lower end of a movable shaft that is movable up and down with respect to a fixed shaft, so that the component is placed on the suction nozzle. A mounting head for adsorption, an air tube to which a vacuum pressure is supplied, and a vacuum pressure introduction that is provided on the movable side shaft and introduces the vacuum pressure supplied from the air tube into the internal pipe of the movable side shaft The vacuum pressure introducing portion includes a base portion attached to the movable side shaft, and a connection portion that is provided on the base portion so as to be rotatable in the upper and lower surfaces and is connected to the air tube.

請求項2に記載の部品実装装置は、基板を搬送して位置決めする基板搬送部と、部品を供給する部品供給部と、前記基板に対して移動自在に設けられ、前記部品供給部から部品を真空吸着してその部品を前記基板搬送部により位置決めされた前記基板に装着する請求項1に記載の装着ヘッドとを備えた。   According to a second aspect of the present invention, there is provided a component mounting apparatus, comprising: a substrate conveyance unit that conveys and positions a substrate; a component supply unit that supplies a component; and a component that is movable with respect to the substrate. The mounting head according to claim 1, wherein the component is mounted on the substrate positioned by the substrate transport unit by vacuum suction.

本発明では、エアチューブから供給される真空圧を可動側シャフトの内部管路に導入する真空圧導入部のうち、エアチューブが接続される接続部が上下面内で回動自在になっており、固定側シャフトに対する可動側シャフトの昇降動作に応じてエアチューブが変形したときにはこれに追随して接続部が回動するので、エアチューブに無理な変形を与えない。このため従来のように、可動側シャフトの昇降動作に応じてエアチューブの屈曲状態が連動して変化するようにするためにエアチューブを長くするといった措置をとる必要はなく、相対的にエアチューブを短くすることができるので、エアチューブが長いことに起因して生じる装着精度の低下やエアチューブが吸着ノズルと干渉して生じるエアチューブの損傷を防止することができる。   In the present invention, of the vacuum pressure introduction part that introduces the vacuum pressure supplied from the air tube into the inner pipe line of the movable shaft, the connection part to which the air tube is connected is rotatable within the upper and lower surfaces. When the air tube is deformed in response to the lifting and lowering operation of the movable side shaft with respect to the fixed side shaft, the connecting portion rotates following this, so that the air tube is not excessively deformed. For this reason, unlike the conventional case, there is no need to take measures such as lengthening the air tube in order to change the bending state of the air tube in accordance with the up-and-down movement of the movable shaft. Therefore, it is possible to prevent the mounting accuracy from being lowered due to the long air tube and damage to the air tube caused by the air tube interfering with the suction nozzle.

本発明の一実施の形態における部品実装装置の斜視図The perspective view of the component mounting apparatus in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における部品実装装置が備える装着ヘッドの側面図The side view of the mounting head with which the component mounting apparatus in one embodiment of this invention is provided 本発明の一実施の形態における装着ヘッドの部分拡大図The elements on larger scale of the mounting head in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態における装着ヘッドの部分分解側面図(A) (b) The partial exploded side view of the mounting head in one embodiment of the present invention (a)(b)本発明の一実施の形態における装着ヘッドの部分下方斜視図(A) (b) The partial downward perspective view of the mounting head in one embodiment of the present invention (a)(b)本発明の一実施の形態における装着ヘッドの部分下面図(A) (b) The partial bottom view of the mounting head in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態における装着ヘッドの(a)一部断面正面図(b)断面図(A) Partial cross-sectional front view (b) Cross-sectional view of a mounting head in an embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態における装着ヘッドの(a)部分斜視図(b)部分分解斜視図(A) Partial perspective view (b) Partial disassembled perspective view of a mounting head in an embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態における部品実装装置の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the component mounting apparatus in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態における装着ヘッドの動作説明図(A) (b) (c) Operation | movement explanatory drawing of the mounting head in one embodiment of this invention

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図1に示す部品実装装置1は基板2上に部品3を装着する装置であり、基台11上に基板搬送部12、部品供給部13及び部品装着部14を有して成る。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. A component mounting apparatus 1 shown in FIG. 1 is a device that mounts a component 3 on a substrate 2, and includes a substrate transport unit 12, a component supply unit 13, and a component mounting unit 14 on a base 11.

基板搬送部12は同期駆動される一対の搬送コンベア12aによって基板2を水平面内の一の方向(X軸方向とする。オペレータOPから見た左右方向)に搬送して位置決めする。部品供給部13は基台11に着脱自在に設けられた複数のパーツフィーダ13a(例えばテープフィーダ)から成り、各パーツフィーダ13aは部品供給口13pに部品3を連続的に供給する。   The substrate transport unit 12 transports and positions the substrate 2 in one direction (X-axis direction, left-right direction as viewed from the operator OP) in a horizontal plane by a pair of synchronously driven conveyors 12a. The component supply unit 13 includes a plurality of parts feeders 13a (for example, tape feeders) that are detachably provided on the base 11, and each of the parts feeders 13a continuously supplies the components 3 to the component supply port 13p.

部品装着部14は基台11上に設けられたヘッド移動機構15と、ヘッド移動機構15によって移動される装着ヘッド16から成る。ヘッド移動機構15は基台11の上方をX軸方向と直交する水平面内方向(Y軸方向とする。オペレータOPから見た前後方向)に延びたY軸テーブル15a及びX軸方向に延びたX軸テーブル15bを有して成り、装着ヘッド16はX軸テーブル15bに取り付けられている。ヘッド移動機構15は、Y軸テーブル15aによってX軸テーブル15bをY軸方向に駆動し、X軸テーブル15bによって装着ヘッド16をX軸方向へ駆動することにより、装着ヘッド16を水平面内で移動させる。装着ヘッド16は、各パーツフィーダ13aが供給する部品3を吸着するための複数の吸着ノズル16aを備えている。   The component mounting unit 14 includes a head moving mechanism 15 provided on the base 11 and a mounting head 16 moved by the head moving mechanism 15. The head moving mechanism 15 includes a Y-axis table 15a extending in the horizontal plane direction (Y-axis direction, front-rear direction viewed from the operator OP) above the base 11 and the X-axis direction extending in the X-axis direction. The mounting head 16 is attached to the X-axis table 15b. The head moving mechanism 15 moves the mounting head 16 in a horizontal plane by driving the X-axis table 15b in the Y-axis direction by the Y-axis table 15a and driving the mounting head 16 in the X-axis direction by the X-axis table 15b. . The mounting head 16 includes a plurality of suction nozzles 16a for sucking the components 3 supplied by the parts feeders 13a.

装着ヘッド16には撮像視野を下方に向けた基板カメラ17が設けられており、基台11上の基板搬送部12と部品供給部13の間の位置には撮像視野を上方に向けた部品カメラ18が設けられている。   The mounting head 16 is provided with a substrate camera 17 with the imaging field of view facing downward, and a component camera with the imaging field of view facing upward at a position between the substrate transport unit 12 and the component supply unit 13 on the base 11. 18 is provided.

図1及び図2において、装着ヘッド16は、X軸テーブル15bに取り付けられたプレート状の移動ベース20にシャフト保持部21を備えており、このシャフト保持部21によって複数の固定側シャフト22がそれぞれ上下方向に延びた状態で保持されている。各固定側シャフト22の下部には可動側シャフト23が収容されており、可動側シャフト23はシャフト保持部21の上方に設けられた昇降モータ24に駆動されて個別に固定側シャフト22に対して昇降する。可動側シャフト23は固定側シャフト22に対して上下軸(Z軸とする)回りに相対回転しない非回転部23aと、非回転部23aに対して(すなわち固定側シャフト22に対して)Z軸回りに相対回転する回転部23bとから成り、回転部23bはシャフト保持部21内に設けられた回転駆動部25に駆動されて非回転部23aに対して回転する。なお、本実施の形態では、固定側シャフト22及び可動側シャフト23は、X軸方向に4列、Y軸方向に2列並んでいるものとする(図1等参照)。   1 and 2, the mounting head 16 includes a shaft holding portion 21 on a plate-like moving base 20 attached to the X-axis table 15b, and the shaft holding portion 21 allows a plurality of fixed side shafts 22 to be respectively connected. It is held in a state extending in the vertical direction. A movable side shaft 23 is accommodated in the lower part of each fixed side shaft 22, and the movable side shaft 23 is driven by an elevating motor 24 provided above the shaft holding portion 21 to individually support the fixed side shaft 22. Go up and down. The movable-side shaft 23 does not rotate relative to the fixed-side shaft 22 around the vertical axis (referred to as Z-axis), and the non-rotating portion 23a (that is, with respect to the fixed-side shaft 22) Z-axis. The rotating portion 23b is driven by a rotation driving portion 25 provided in the shaft holding portion 21 and rotates with respect to the non-rotating portion 23a. In the present embodiment, the fixed shaft 22 and the movable shaft 23 are arranged in four rows in the X-axis direction and two rows in the Y-axis direction (see FIG. 1 and the like).

図2及び図3において、各固定側シャフト22には吸着ノズル16aへの真空供給経路の一部を構成するジョイント部26が設けられている。ジョイント部26の上部には図示しない真空源に繋がる真空圧供給管路27の下端部が取り付けられており、ジョイント部26の下部にはエアチューブ28の上端が取り付けられている。   2 and 3, each fixed-side shaft 22 is provided with a joint portion 26 that constitutes a part of a vacuum supply path to the suction nozzle 16a. A lower end portion of a vacuum pressure supply conduit 27 connected to a vacuum source (not shown) is attached to the upper portion of the joint portion 26, and an upper end of an air tube 28 is attached to the lower portion of the joint portion 26.

図3及び図4(a),(b)において、ジョイント部26はハウジング部材31、チューブ接続具32及びフィルタ部材33を有して成る。ハウジング部材31内は固定側シャフト22に対して相対的に固定して設けられており、その内部には斜め方向に延びて下方に開口した挿入穴31aが設けられている。チューブ接続具32は下端側にエアチューブ28の上端が取り付けられるチューブ上端接続部32aを有しており、上端側にはフィルタ部材33を取り付けるための突起部32bを有している。フィルタ部材33は下方に開口した有底円筒状の部材から成り、円筒状の側面がフィルタ面となっている。フィルタ部材33はチューブ接続具32に形成された突起部32bに下方開口部33aを嵌合させてチューブ接続具32に取り付けられ(図4(b)中に示す矢印A)、チューブ接続具32はフィルタ部材33が取り付けられた状態で、ハウジング部材31の挿入穴31aに下方から挿入取り付けされる(図4(a)中に示す矢印B)。   3 and 4A and 4B, the joint portion 26 includes a housing member 31, a tube connector 32, and a filter member 33. The housing member 31 is provided so as to be relatively fixed with respect to the stationary shaft 22, and an insertion hole 31 a extending obliquely and opening downward is provided in the housing member 31. The tube connector 32 has a tube upper end connection portion 32a to which the upper end of the air tube 28 is attached on the lower end side, and a projection portion 32b for attaching the filter member 33 on the upper end side. The filter member 33 is formed of a bottomed cylindrical member that opens downward, and the cylindrical side surface is a filter surface. The filter member 33 is attached to the tube connector 32 (arrow A shown in FIG. 4B) by fitting the lower opening 33a to the protrusion 32b formed on the tube connector 32 (the arrow A shown in FIG. 4B). With the filter member 33 attached, the filter member 33 is inserted into the insertion hole 31a of the housing member 31 from below (arrow B shown in FIG. 4A).

図3において、ハウジング部材31の内部には、ハウジング部材内管路34が上下方向に延びて設けられている。ハウジング部材内管路34は、下端が挿入穴31aに繋がっており、上端がハウジング部材31の上面から突出した管路接続部31bに開口している。管路接続部31bには、前述の真空圧供給管路27の下端部が接続される。   In FIG. 3, a housing member inner conduit 34 is provided in the housing member 31 so as to extend in the vertical direction. The inner pipe 34 of the housing member has a lower end connected to the insertion hole 31 a and an upper end opened to the pipe connecting part 31 b protruding from the upper surface of the housing member 31. The lower end part of the above-mentioned vacuum pressure supply pipe line 27 is connected to the pipe line connection part 31b.

図3及び図4(a),(b)において、チューブ接続具32内には軸方向に貫通して延びたチューブ接続具内管路32cが形成されている。フィルタ部材33が取り付けられた状態のチューブ接続具32がハウジング部材31の挿入穴31aに挿入され、チューブ上端接続部32aにエアチューブ28の上端が接続されると、真空圧供給管路27は、ハウジング部材内管路34、挿入穴31a、フィルタ部材33及びチューブ接続具内管路32cを介してエアチューブ28に繋がる。   3 and 4 (a) and 4 (b), a tube connector inner pipe 32c extending in the axial direction is formed in the tube connector 32. As shown in FIG. When the tube connector 32 with the filter member 33 attached is inserted into the insertion hole 31a of the housing member 31, and the upper end of the air tube 28 is connected to the tube upper end connection portion 32a, the vacuum pressure supply line 27 is It is connected to the air tube 28 via the housing member inner conduit 34, the insertion hole 31a, the filter member 33, and the tube connector inner conduit 32c.

図4(a),(b)に示すように、各チューブ接続具32の外周面にはOリング32eが外嵌されている。このOリング32eは、挿入穴31aに挿入された状態のチューブ接続具32を挿入穴31a内に固定する役割と、チューブ接続具32と挿入穴31aとの間の気密性を保つ役割とを果たす。   As shown in FIGS. 4A and 4B, an O-ring 32 e is fitted on the outer peripheral surface of each tube connector 32. The O-ring 32e serves to fix the tube connector 32 inserted into the insertion hole 31a in the insertion hole 31a and to maintain airtightness between the tube connector 32 and the insertion hole 31a. .

図3及び図5(a),(b)に示すように、ジョイント部26のハウジング部材31にはX軸方向に延びた形状のスライダ35が取り付けられている。スライダ35はX軸方向に並んだ複数の張り出し片35aを有しており、各張り出し片35aにはX軸方向に延びた長孔から成るガイド溝35bが設けられている、ハウジング部材31には各ガイド溝35b内に位置するガイド用ボルト31cが取り付けられている。   As shown in FIGS. 3 and 5A and 5B, a slider 35 having a shape extending in the X-axis direction is attached to the housing member 31 of the joint portion 26. The slider 35 has a plurality of projecting pieces 35a arranged in the X-axis direction, and each projecting piece 35a is provided with a guide groove 35b formed of a long hole extending in the X-axis direction. A guide bolt 31c located in each guide groove 35b is attached.

スライダ35の一端部には操作部35cが設けられており、この操作部35cとハウジング部材31との間にはリターンスプリング36が縮設されている。オペレータOPが操作部35cをリターンスプリング36の圧縮方向に押圧すると、スライダ35は各ガイド溝35bをガイド用ボルト31cに沿って移動させ、ハウジング部材31上をX軸方向にスライドする。また、この状態からオペレータOPが操作部35cの押圧をやめる(操作部35cから手を離す)と、スライダ35はリターンスプリング36の付勢力によってもとの位置に復帰する。   An operation portion 35 c is provided at one end of the slider 35, and a return spring 36 is contracted between the operation portion 35 c and the housing member 31. When the operator OP presses the operating portion 35c in the compression direction of the return spring 36, the slider 35 moves the guide grooves 35b along the guide bolts 31c and slides on the housing member 31 in the X-axis direction. In addition, when the operator OP stops pressing the operation portion 35c (releases the hand from the operation portion 35c) from this state, the slider 35 returns to the original position by the urging force of the return spring 36.

図5(a),(b)及び図6(a),(b)において、スライダ35にはハウジング部材31にX軸方向に並んで設けられた複数(ここでは4つ)の挿入穴31aの配列に応じた配列(個数及び間隔)で複数の爪部35dが設けられている。各チューブ接続具32の外周面には周回状の係止用溝32d(図3及び図4(a),(b))が設けられており、各爪部35dは、挿入穴31aに挿入された状態のチューブ接続具32の係止用溝32dに横方向(X軸方向)から入り込み得るようになっている。   5A, 5B, and 6A, 6B, the slider 35 has a plurality of (here, four) insertion holes 31a provided in the housing member 31 along the X-axis direction. A plurality of claw portions 35d are provided in an arrangement (number and interval) according to the arrangement. Circumferential locking grooves 32d (FIGS. 3 and 4A, 4B) are provided on the outer peripheral surface of each tube connector 32, and each claw portion 35d is inserted into the insertion hole 31a. It is possible to enter the locking groove 32d of the tube connection tool 32 in a state of being in a lateral direction (X-axis direction).

スライダ35は、操作部35cがオペレータOPによって押圧操作されていない状態では、ハウジング部材31の各挿入穴31aに挿入されたチューブ接続具32の係止用溝32dに爪部35dを係止させて、挿入穴31a内にチューブ接続具32を保持する(このときのスライダ35の位置を「保持位置」と称する。図5(a)及び図6(a))。一方、保持位置にあるスライダ35の操作部35cがオペレータOPによって押圧操作された状態では、(図5(b)及び図6(b)。これらの図中に示す矢印C)、スライダ35に設けられた各爪部35dが各チューブ接続具32の係止用溝32dから抜け出るので、オペレータOPは各チューブ接続具32をハウジング部材31の挿入穴31aから下方に引き抜くことが可能となる(このときのスライダ35の位置を「非保持位置」と称する)。   The slider 35 locks the claw portion 35d in the locking groove 32d of the tube connector 32 inserted in each insertion hole 31a of the housing member 31 when the operation portion 35c is not pressed by the operator OP. The tube connector 32 is held in the insertion hole 31a (the position of the slider 35 at this time is referred to as “holding position”. FIGS. 5A and 6A). On the other hand, when the operation portion 35c of the slider 35 in the holding position is pressed by the operator OP (FIGS. 5B and 6B, arrow C shown in these drawings), the slider 35 is provided with the slider 35. Since each of the claw portions 35d thus pulled out of the locking groove 32d of each tube connector 32, the operator OP can pull out each tube connector 32 downward from the insertion hole 31a of the housing member 31 (at this time). The position of the slider 35 is referred to as a “non-holding position”).

このように本実施の形態において、スライダ35は、ハウジング部材31に設けられ、挿入穴31aに挿入されたチューブ接続具32に爪部35dを係止させてチューブ接続具32を挿入穴31a内に保持する保持位置と、チューブ接続具32に対する爪部35dの係止を解除してチューブ接続具32を挿入穴31aから抜き取り可能にする非保持との間でスライド操作されるものとなっている。   As described above, in the present embodiment, the slider 35 is provided in the housing member 31, and the tube connector 32 inserted into the insertion hole 31a is engaged with the claw portion 35d to place the tube connector 32 in the insertion hole 31a. The sliding operation is performed between the holding position to be held and the non-holding state in which the locking of the claw portion 35d with respect to the tube connector 32 is released and the tube connector 32 can be removed from the insertion hole 31a.

図2において、各可動側シャフト23の中間部(非回転部23aの下端部)には真空圧導入部29が設けられている。この真空圧導入部29は、前述のエアチューブ28から供給される真空圧を、吸着ノズル16aに繋がる可動側シャフト23(詳細には回転部23b)の内部管路であるシャフト内管路23cに導入する機能を有する。   In FIG. 2, a vacuum pressure introducing portion 29 is provided at an intermediate portion of each movable side shaft 23 (a lower end portion of the non-rotating portion 23a). The vacuum pressure introducing portion 29 applies the vacuum pressure supplied from the air tube 28 to the in-shaft conduit 23c that is an internal conduit of the movable shaft 23 (specifically, the rotating portion 23b) connected to the suction nozzle 16a. Has the function to introduce.

真空圧導入部29は、図7(a)、図7(b)(この図7(b)は図7(a)の矢視V−Vから見た断面図)及び図8(a)に示すように、可動側シャフト23に外嵌して(詳細には可動側シャフト23の回転部23bを挿通させて)取り付けられたブロック部材51と、ブロック部材51からY軸方向に張り出して設けられた張り出し部51aに取り付けられた軸部材52と、軸部材52に取り付けられた接続部材53を有して成る。   The vacuum pressure introducing part 29 is shown in FIGS. 7A and 7B (this FIG. 7B is a cross-sectional view taken along the line V-V in FIG. 7A) and FIG. 8A. As shown in the figure, a block member 51 that is externally fitted to the movable shaft 23 (specifically, inserted through the rotating portion 23b of the movable shaft 23), and extends from the block member 51 in the Y-axis direction. It has a shaft member 52 attached to the protruding portion 51a and a connecting member 53 attached to the shaft member 52.

図7(b)及び図8(b)に示すように、接続部材53はX軸方向に貫通する円筒状の貫通孔53aを有しており、その貫通孔53aにはリング状の2つのシール部材(接続部材内シール部材53b)が設けられている。軸部材52は中央胴部52aが接続部材53の貫通孔53aに挿入されたうえでその外周面が上記2つの接続部材内シール部材53bによって支持され、中央胴部52aよりも外径の小さい端部胴部52bがブロック部材51の張り出し部51aに形成された収容孔51bに嵌入されている。このため接続部材53は軸部材52の中央胴部52a回り(軸部材52の中心軸52J回り)に回動自在になっている(図7(a)及び図8(a)中に示す矢印D参照)。   As shown in FIGS. 7B and 8B, the connection member 53 has a cylindrical through hole 53a that penetrates in the X-axis direction, and two ring-shaped seals are formed in the through hole 53a. A member (connection member inner seal member 53b) is provided. The shaft member 52 is inserted into the through hole 53a of the connecting member 53 and the outer peripheral surface thereof is supported by the two connecting member inner seal members 53b, and the shaft member 52 is an end having an outer diameter smaller than that of the central body portion 52a. The body trunk portion 52 b is fitted into the accommodation hole 51 b formed in the projecting portion 51 a of the block member 51. For this reason, the connecting member 53 is rotatable around the central body 52a of the shaft member 52 (around the central axis 52J of the shaft member 52) (arrow D shown in FIGS. 7A and 8A). reference).

図7(a),(b)及び図8(b)において、接続部材53にはエアチューブ28の下端が接続されるチューブ下端接続部54が突出して設けられている。前述の2つの接続部材内シール部材53b、接続部材53の貫通孔53aの内周面及び軸部材52の外周面と形成される空間は周回状の溝部(接続部材内周回溝53c)となっており、この接続部材内周回溝53cには、チューブ下端接続部54をその軸方向に貫通して延びたエア管路54aが連通している。このように本実施の形態において、真空圧導入部29は、可動側シャフトに取り付けられた基部(ブロック部材51及び軸部材52)と、この基部に上下面内で回動自在に設けられてエアチューブ28と接続される接続部(接続部材53)から構成されている。   7A, 7 </ b> B, and 8 </ b> B, the connection member 53 is provided with a tube lower end connection portion 54 to which the lower end of the air tube 28 is connected. The space formed with the above-mentioned two connecting member inner seal members 53b, the inner peripheral surface of the through hole 53a of the connecting member 53 and the outer peripheral surface of the shaft member 52 is a circular groove (connecting member inner peripheral groove 53c). The connecting member inner circumferential groove 53c communicates with an air conduit 54a extending through the tube lower end connecting portion 54 in the axial direction thereof. As described above, in the present embodiment, the vacuum pressure introducing portion 29 is provided with a base (block member 51 and shaft member 52) attached to the movable shaft, and is provided on the base so as to be rotatable within the upper and lower surfaces. It is comprised from the connection part (connection member 53) connected with the tube 28. FIG.

図7(b)において、軸部材52内にはその軸方向(X軸方向)に延びて形成された軸方向通路52cが設けられるとともに、中央胴部52a内において軸方向通路52cを横断して軸部材52の半径方向に貫通して延びた中央胴部貫通路52d(図8(b)も参照)と端部胴部52b内において軸方向通路52cを横断して半径方向に貫通して延びた端部胴部貫通路52e(図8(b)も参照)が設けられている。中央胴部貫通路52dの両端は前述の接続部材内周回溝53cに開口しており、端部胴部貫通路52eは、ブロック部材51内をY軸方向に延びて設けられたブロック部材内通路51c(図7(a),(b))に連通している。   In FIG. 7B, an axial passage 52c formed in the axial direction (X-axis direction) is provided in the shaft member 52, and crosses the axial passage 52c in the central body portion 52a. A central body through passage 52d (see also FIG. 8 (b)) extending in the radial direction of the shaft member 52 and an axial passage 52c in the end body 52b and extending in the radial direction. Further, an end body through-hole 52e (see also FIG. 8B) is provided. Both ends of the central trunk portion through passage 52d are opened in the connecting member inner circumferential groove 53c, and the end trunk portion through passage 52e extends in the block member 51 in the Y-axis direction. 51c (FIGS. 7A and 7B).

図7(a)において、ブロック部材51内には可動側シャフト23の回転部23bを挿通させるシャフト挿通孔51dが上下方向に貫通して延びており、このシャフト挿通孔51dの中間部にはリング状の2つのシール部材(ブロック部材内シール部材51e)が上下に配置されている。可動側シャフト23の回転部23bはブロック部材51のシャフト挿通孔51dを上下に貫通した状態で、その外周面が上記2つのブロック部材内シール部材51eによって支持されている。2つのブロック部材内シール部材51e、シャフト挿通孔51dの内周面及び可動側シャフト23の回転部23bの外周面によって囲まれた空間は周回状の溝部(ブロック部材内周回溝51f)となっており、このブロック部材内周回溝51fには前述のブロック部材内通路51cが連通している(図7(b))。   In FIG. 7A, a shaft insertion hole 51d through which the rotating portion 23b of the movable side shaft 23 is inserted extends through the block member 51 in the vertical direction, and a ring is provided at the intermediate portion of the shaft insertion hole 51d. Two sealing members (in-block member sealing member 51e) are vertically arranged. The rotating portion 23b of the movable side shaft 23 is vertically supported by the two block member inner seal members 51e while vertically passing through the shaft insertion hole 51d of the block member 51. The space surrounded by the two inner seal members 51e, the inner peripheral surface of the shaft insertion hole 51d, and the outer peripheral surface of the rotating portion 23b of the movable shaft 23 is a circular groove (block member inner peripheral groove 51f). The block member inner passage 51c communicates with the block member inner circumferential groove 51f (FIG. 7B).

図7(a),(b)において、可動側シャフト23の回転部23bには、その内部管路であるシャフト内管路23cを通って半径方向に貫通するシャフト連通路23dが設けられており、シャフト連通路23dは前述のブロック部材内周回溝51f内に開口している。このため接続部材53のチューブ下端接続部54に取り付けられたエアチューブ28は、エア管路54a、接続部材内周回溝53c、中央胴部貫通路52d、軸方向通路52c、端部胴部貫通路52e、ブロック部材内通路51c、ブロック部材内周回溝51f、シャフト連通路23dを介してシャフト内管路23cに繋がる。シャフト内管路23cは、可動側シャフト23の回転部23bの下端に取り付けられた吸着ノズル16aの内部管路(図示せず)に繋がっているので、前述の図示しない真空源からの真空圧は、真空圧供給管路27、ジョイント部26、エアチューブ28、真空圧導入部29からシャフト内管路23cを経て吸着ノズル16aに供給される。   7 (a) and 7 (b), the rotating portion 23b of the movable shaft 23 is provided with a shaft communication passage 23d penetrating in the radial direction through the inner shaft passage 23c as the inner passage. The shaft communication path 23d opens into the block member inner circumferential groove 51f described above. For this reason, the air tube 28 attached to the tube lower end connecting portion 54 of the connecting member 53 includes an air conduit 54a, a connecting member inner circumferential groove 53c, a central trunk passage 52d, an axial passage 52c, and an end trunk passage. 52e, the block member inner passage 51c, the block member inner circumferential groove 51f, and the shaft communication passage 23d are connected to the shaft inner passage 23c. Since the in-shaft conduit 23c is connected to the inner conduit (not shown) of the suction nozzle 16a attached to the lower end of the rotating portion 23b of the movable shaft 23, the vacuum pressure from the aforementioned vacuum source (not shown) is The vacuum pressure supply pipe 27, the joint part 26, the air tube 28, and the vacuum pressure introduction part 29 are supplied to the suction nozzle 16a through the in-shaft pipe line 23c.

なお、前述のように、軸部材52に設けられた中央胴部貫通路52dは周回状の接続部材内周回溝53cに連通しているので、接続部材53が軸部材52に対して回動した場合であっても、接続部材内周回溝53cと軸方向通路52cとの連通状態は保持される。また同様に、可動側シャフト23の回転部23bに設けられたシャフト連通路23dは周回状のブロック部材内周回溝51fに連通しているので、可動側シャフト23の回転部23bが非回転部23aに対して(すなわち非回転部23aに固定されたブロック部材51に対して)回転した場合であっても、ブロック部材内周回溝51fとシャフト内管路23cとの連通状態は保持される。   As described above, since the central body through-hole 52 d provided in the shaft member 52 communicates with the circumferential connection member inner circumferential groove 53 c, the connection member 53 rotates with respect to the shaft member 52. Even in this case, the communication state between the connecting member inner circumferential groove 53c and the axial passage 52c is maintained. Similarly, the shaft communication path 23d provided in the rotating portion 23b of the movable side shaft 23 communicates with the circular block member inner peripheral groove 51f, so that the rotating portion 23b of the movable side shaft 23 becomes the non-rotating portion 23a. Even if it rotates with respect to (that is, with respect to the block member 51 fixed to the non-rotating part 23a), the communication state of the block member inner circumferential groove 51f and the shaft inner pipe line 23c is maintained.

図3に示すように、ジョイント部26に隣接した位置には真空圧供給制御用のバルブ等から成る吸着制御機構61が設けられている。この吸着制御機構61は信号線62を通じて作動させることができ、これにより吸着ノズル16aへの真空圧の供給制御のほか、吸着ノズル16aへの正圧の供給制御を行うことができる。   As shown in FIG. 3, an adsorption control mechanism 61 including a vacuum pressure supply control valve or the like is provided at a position adjacent to the joint portion 26. The suction control mechanism 61 can be operated through a signal line 62, whereby the supply control of the positive pressure to the suction nozzle 16a as well as the supply control of the vacuum pressure to the suction nozzle 16a can be performed.

図9において、基板搬送部12(搬送コンベア12a)による基板2の搬送及び位置決め動作制御、部品供給部13(パーツフィーダ13a)による部品3の供給動作制御、ヘッド移動機構15による装着ヘッド16の移動動作制御、昇降モータ24による各可動側シャフト23の昇降動作制御、回転駆動部25による各可動側シャフト23の回転部23bのZ軸回りの回転動作制御、吸着制御機構61による各吸着ノズル16aへの真空圧(或いは正圧)の供給制御は、部品実装装置1が備える制御装置70によってなされる。また、基板カメラ17による撮像動作制御と部品カメラ18による撮像動作制御は制御装置70によってなされ、基板カメラ17の撮像動作によって得られた画像データと部品カメラ18による撮像動作によって得られた画像データは制御装置70に送られ、制御装置70が備える画像認識部70aにおいて画像認識がなされる。   In FIG. 9, substrate 2 transport and positioning operation control by the substrate transport unit 12 (transport conveyor 12 a), component 3 supply operation control by the component supply unit 13 (part feeder 13 a), and movement of the mounting head 16 by the head moving mechanism 15. Operation control, elevating operation control of each movable side shaft 23 by the elevating motor 24, rotation operation control around the Z axis of the rotating portion 23b of each movable side shaft 23 by the rotation driving unit 25, and each adsorption nozzle 16a by the adsorption control mechanism 61 The supply control of the vacuum pressure (or positive pressure) is performed by the control device 70 provided in the component mounting apparatus 1. Further, the imaging operation control by the substrate camera 17 and the imaging operation control by the component camera 18 are performed by the control device 70, and the image data obtained by the imaging operation of the substrate camera 17 and the image data obtained by the imaging operation of the component camera 18 are The image is sent to the control device 70 and image recognition is performed in an image recognition unit 70 a included in the control device 70.

次に、制御装置70が実行する基板2への部品3の装着作業手順を説明する。制御装置70は、先ず、部品実装装置1の上流側の他の装置から送られてきた基板2を基板搬送部12によって搬送して所定の作業位置に位置決めする(図1)。そして、ヘッド移動機構15により装着ヘッド16を水平面内で移動させて、基板2の上方に基板カメラ17を位置させ、基板2に設けられた位置認識マーク(図示せず)の撮像を行う。そして、得られた位置認識マークの画像を画像認識部70aにおいて画像認識することによって、基板2の正規の作業位置からの位置ずれを検出する。   Next, a procedure for mounting the component 3 on the board 2 executed by the control device 70 will be described. The control device 70 first transports the substrate 2 sent from another device on the upstream side of the component mounting device 1 by the substrate transport unit 12 and positions it at a predetermined work position (FIG. 1). Then, the mounting head 16 is moved in the horizontal plane by the head moving mechanism 15, the substrate camera 17 is positioned above the substrate 2, and a position recognition mark (not shown) provided on the substrate 2 is imaged. Then, an image of the obtained position recognition mark is image-recognized by the image recognition unit 70a, thereby detecting a displacement of the substrate 2 from the normal work position.

制御装置70は、基板2の位置ずれを検出したら、ヘッド移動機構15の作動制御を行って装着ヘッド16を部品供給部13の上方に移動させ、各パーツフィーダ13aに部品3の供給動作を行わせるとともに、昇降モータ24、回転駆動部25及び吸着制御機構61の作動制御を行い、吸着ノズル16aに部品3を吸着させてピックアップする。そして、吸着ノズル16aによりピックアップした部品3が部品カメラ18の上方を通過するように装着ヘッド16を移動させ、部品カメラ18による部品3の撮像とこれにより得られた画像データの画像認識を行って、吸着ノズル16aに対する部品3の位置ずれ(吸着ずれ)を求める。   When the control device 70 detects the displacement of the substrate 2, the control device 70 controls the operation of the head moving mechanism 15 to move the mounting head 16 above the component supply unit 13 and performs the operation of supplying the component 3 to each part feeder 13 a. In addition, the elevator motor 24, the rotation drive unit 25, and the suction control mechanism 61 are controlled so that the component 3 is sucked and picked up by the suction nozzle 16a. Then, the mounting head 16 is moved so that the component 3 picked up by the suction nozzle 16a passes above the component camera 18, and imaging of the component 3 by the component camera 18 and image recognition of the image data obtained thereby are performed. Then, the positional deviation (suction deviation) of the component 3 with respect to the suction nozzle 16a is obtained.

制御装置70は、吸着ノズル16aに対する部品3の位置ずれを求めたら、部品3が基板2の上方に位置するように装着ヘッド16を移動させる。そして、吸着ノズル16aを下降させて、部品3を基板2に装着する(図10(a)→図10(b)→図10(c))。この部品3の装着時には、制御装置70は、既に求めている基板2の位置ずれと部品3の吸着ずれが修正されるように、基板2に対する吸着ノズル16aの位置補正(回転補正を含む)を行う。制御装置70は、基板2に装着すべき全ての部品3の装着が終了したら、基板搬送部12を作動させて、基板2を部品実装装置1の外部に搬出する。   When the controller 70 determines the positional deviation of the component 3 relative to the suction nozzle 16a, the controller 70 moves the mounting head 16 so that the component 3 is positioned above the substrate 2. Then, the suction nozzle 16a is lowered and the component 3 is mounted on the substrate 2 (FIG. 10 (a) → FIG. 10 (b) → FIG. 10 (c)). When the component 3 is mounted, the control device 70 performs position correction (including rotation correction) of the suction nozzle 16a with respect to the substrate 2 so that the already-determined positional displacement of the substrate 2 and the suction displacement of the component 3 are corrected. Do. When the mounting of all the components 3 to be mounted on the board 2 is completed, the control device 70 operates the board transport unit 12 to carry the board 2 out of the component mounting apparatus 1.

上記のような部品3の装着作業において、吸着ノズル16aに吸着させた部品3を基板2に装着するときには、可動側シャフト23は固定側シャフト22に対して昇降されるが、可動側シャフト23が図10(a)に示す初期位置から下降されると、可動側シャフト23に取り付けられた真空圧導入部29も一体となって下降する(図10(a)→図10(b)→図10(c))。このとき真空圧導入部29に接続されたエアチューブ28の下端は下方に移動させられるが、エアチューブ28の下端が取り付けられている真空圧導入部29の接続部材53はエアチューブ28の変形に追随して軸部材52回り、すなわち上下面内で回動するので、エアチューブ28に無理な変形が与えられることはない。   In the mounting operation of the component 3 as described above, when the component 3 sucked by the suction nozzle 16a is mounted on the substrate 2, the movable shaft 23 is lifted and lowered with respect to the fixed shaft 22, but the movable shaft 23 is When it is lowered from the initial position shown in FIG. 10A, the vacuum pressure introducing portion 29 attached to the movable shaft 23 is also lowered integrally (FIG. 10A → FIG. 10B → FIG. 10). (C)). At this time, the lower end of the air tube 28 connected to the vacuum pressure introducing portion 29 is moved downward, but the connection member 53 of the vacuum pressure introducing portion 29 to which the lower end of the air tube 28 is attached is deformed by the air tube 28. Following the rotation around the shaft member 52, that is, within the upper and lower surfaces, the air tube 28 is not deformed excessively.

また、上記のような部品3の装着作業を繰り返し実行している間、ジョイント部26のハウジング部材31内に収容されているフィルタ部材33には真空エア中に含まれていた異物が付着するため、オペレータOPは定期的にハウジング部材31からフィルタ部材33を取り外して交換等する必要がある。オペレータOPは、ハウジング部材31からフィルタ部材33を取り外す場合には、ハウジング部材31に取り付けられたスライダ35の操作部35cを押圧操作してスライダ35を「保持位置」から「非保持位置」に位置させる。これによりスライダ35の各爪部35dは各挿入穴31a内に挿入されたチューブ接続具32の係止用溝32dから外れ、オペレータOPは挿入穴31aからチューブ接続具32を引き抜くことができるようになる。そして、引き抜いたチューブ接続具32からフィルタ部材33を取り外し、新品と交換等して再度チューブ接続具32に取り付けた後、スライダ35を操作しながら、チューブ接続具32を挿入穴31aに戻す。   Further, while the mounting operation of the component 3 as described above is repeatedly performed, foreign matters contained in the vacuum air adhere to the filter member 33 housed in the housing member 31 of the joint portion 26. The operator OP needs to periodically remove and replace the filter member 33 from the housing member 31. When the operator OP removes the filter member 33 from the housing member 31, the operator OP presses the operation portion 35 c of the slider 35 attached to the housing member 31 to move the slider 35 from the “holding position” to the “non-holding position”. Let As a result, each claw portion 35d of the slider 35 is disengaged from the locking groove 32d of the tube connector 32 inserted into each insertion hole 31a, so that the operator OP can pull out the tube connector 32 from the insertion hole 31a. Become. Then, after removing the filter member 33 from the extracted tube connector 32, replacing it with a new one and attaching it to the tube connector 32 again, the tube connector 32 is returned to the insertion hole 31a while operating the slider 35.

なお、スライダ35を「保持位置」から「非保持位置」にしたときには、複数のチューブ接続具32についての爪部35dの係止が同時に外れるが、各チューブ接続具32は前述したようにOリング32eによって挿入穴31a内に固定されているので、オペレータOPが意図的にチューブ接続具32を引き抜かない限りチューブ接続具32が挿入穴31aから脱落することはない。このためオペレータOPは引き抜く対象のもののみを選択して挿入穴31aから引き抜き、そのうえでフィルタ部材33の交換等の作業を行うことができる。   When the slider 35 is changed from the “holding position” to the “non-holding position”, the locking of the claw portions 35d with respect to the plurality of tube connecting devices 32 is simultaneously released, but each tube connecting device 32 has an O-ring as described above. Since it is fixed in the insertion hole 31a by 32e, the tube connector 32 will not fall out of the insertion hole 31a unless the operator OP intentionally pulls out the tube connector 32. For this reason, the operator OP can select only the object to be pulled out, pull out from the insertion hole 31a, and then perform operations such as replacement of the filter member 33.

以上説明したように、本実施の形態における部品実装装置1では、エアチューブ28から供給される真空圧を可動側シャフト23の内部管路(シャフト内管路23c)に導入する真空圧導入部29のうち、エアチューブ28が接続される接続部としての接続部材53が上下面内で回動自在になっており、固定側シャフト22に対する可動側シャフト23の昇降動作に応じてエアチューブ28が変形したときにはこれに追随して接続部材53が回動するので、エアチューブ28に無理な変形を与えない。このため従来のように、可動側シャフト23の昇降動作に応じてエアチューブ28の屈曲状態が連動して変化するようにするためにエアチューブ28を長くするといった措置をとる必要はなく、相対的にエアチューブ28を短くすることができるので、エアチューブ28が長いことに起因して生じる振動等による装着精度の低下やエアチューブ28が吸着ノズル16aと干渉して生じるエアチューブ28の損傷を防止することができる。   As described above, in the component mounting apparatus 1 according to the present embodiment, the vacuum pressure introduction unit 29 that introduces the vacuum pressure supplied from the air tube 28 into the internal pipe line (in-shaft pipe line 23c) of the movable shaft 23. Among them, a connecting member 53 as a connecting portion to which the air tube 28 is connected is rotatable within the upper and lower surfaces, and the air tube 28 is deformed in accordance with the raising and lowering operation of the movable side shaft 23 with respect to the fixed side shaft 22. When this happens, the connecting member 53 rotates following this, so that the air tube 28 is not deformed excessively. Therefore, unlike the prior art, there is no need to take measures such as lengthening the air tube 28 so that the bent state of the air tube 28 changes in conjunction with the up-and-down movement of the movable shaft 23. In addition, since the air tube 28 can be shortened, it is possible to prevent a reduction in mounting accuracy due to vibrations caused by the long air tube 28 and damage to the air tube 28 caused by the air tube 28 interfering with the suction nozzle 16a. can do.

エアチューブが長いことに起因して生じる装着精度の低下やエアチューブが吸着ノズルと干渉して生じるエアチューブの損傷を防止することができる装着ヘッド及び部品実装装置を提供する。   Provided are a mounting head and a component mounting apparatus capable of preventing a decrease in mounting accuracy caused by a long air tube and damage of the air tube caused by interference of the air tube with a suction nozzle.

1 部品実装装置
2 基板
3 部品
12 基板搬送部
13 部品供給部
16 装着ヘッド
16a 吸着ノズル
22 固定側シャフト
23 可動側シャフト
23c シャフト内管路(内部管路)
28 エアチューブ
29 真空圧導入部
51 ブロック部材(基部)
52 軸部材(基部)
53 接続部材(接続部)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Component mounting apparatus 2 Board | substrate 3 Component 12 Board | substrate conveyance part 13 Component supply part 16 Mounting head 16a Adsorption nozzle 22 Fixed side shaft 23 Movable side shaft 23c Shaft inner pipe line (internal pipe line)
28 Air tube 29 Vacuum pressure introduction part 51 Block member (base part)
52 Shaft member (base)
53 Connection member (connection part)

Claims (2)

部品実装装置に備えられ、固定側シャフトに対して昇降自在な可動側シャフトの下端に取り付けられた吸着ノズルに真空圧を供給して前記吸着ノズルに部品を吸着させる装着ヘッドであって、
真空圧が供給されるエアチューブと、
前記可動側シャフトに設けられ、前記エアチューブから供給される真空圧を前記可動側シャフトの内部管路に導入する真空圧導入部とを備え、
前記真空圧導入部は、前記可動側シャフトに取り付けられた基部と、前記基部に上下面内で回動自在に設けられて前記エアチューブと接続される接続部とから成ることを特徴とする装着ヘッド。
A mounting head that is provided in a component mounting apparatus and supplies vacuum pressure to a suction nozzle attached to the lower end of a movable shaft that can be moved up and down with respect to a fixed shaft to suck the component onto the suction nozzle,
An air tube supplied with vacuum pressure;
A vacuum pressure introduction unit provided on the movable side shaft, for introducing a vacuum pressure supplied from the air tube into an internal conduit of the movable side shaft;
The vacuum pressure introducing part is composed of a base part attached to the movable shaft and a connection part provided on the base part so as to be rotatable in the upper and lower surfaces and connected to the air tube. head.
基板を搬送して位置決めする基板搬送部と、
部品を供給する部品供給部と、
前記基板に対して移動自在に設けられ、前記部品供給部から部品を真空吸着してその部品を前記基板搬送部により位置決めされた前記基板に装着する請求項1に記載の装着ヘッドとを備えたことを特徴とする部品実装装置。
A board transfer section for transferring and positioning the board;
A component supply unit for supplying components;
The mounting head according to claim 1, wherein the mounting head is provided so as to be movable with respect to the substrate, the component is vacuum-sucked from the component supply unit, and the component is mounted on the substrate positioned by the substrate transport unit. A component mounting apparatus characterized by that.
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