JP5186358B2

JP5186358B2 - Suction head and component transfer device

Info

Publication number: JP5186358B2
Application number: JP2008335525A
Authority: JP
Inventors: 常司戸上; 聡井上
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2008-12-27
Filing date: 2008-12-27
Publication date: 2013-04-17
Anticipated expiration: 2028-12-27
Also published as: JP2010157635A

Description

本発明は、部品供給部と部品装着部とにわたって移動可能なヘッドユニットに備えられる、電子部品を吸着・保持するための吸着ヘッドおよび部品移載装置に関する。
The present invention is provided in the head unit is movable over a component supply unit and a component mounting unit, about the suction head and parts transfer NoSo location for adsorbing and holding the electronic component.

従来、プリント基板上に電子部品を実装するための表面実装機や、電子部品の性能を検査するための部品検査装置などに用いられる部品移載装置が知られている。部品移載装置には、電子部品を保持した状態で、電子部品を所定の位置に搬送するヘッドユニットが水平方向に移動可能に備えられている。そして、ヘッドユニットには、電子部品を吸着するための吸着ヘッドが複数備えられている。各吸着ヘッドは、主に、電子部品を保持するための負圧が供給される通路が形成されたセンターシャフトと、センターシャフトの下端を所定の高さに上げ下げする昇降駆動手段と、センターシャフトをノズル中心軸回りに回転させる回転駆動手段とから構成されている（特許文献１参照）。
特公平７−３８５１６号公報 2. Description of the Related Art Conventionally, a component transfer device used for a surface mounter for mounting an electronic component on a printed circuit board, a component inspection device for inspecting the performance of the electronic component, or the like is known. The component transfer device includes a head unit that transports an electronic component to a predetermined position in a state where the electronic component is held so as to be movable in the horizontal direction. The head unit is provided with a plurality of suction heads for sucking electronic components. Each suction head mainly includes a center shaft formed with a passage to which a negative pressure for holding electronic components is supplied, a lifting drive means for raising and lowering the lower end of the center shaft to a predetermined height, and a center shaft. It is comprised from the rotational drive means rotated around a nozzle central axis (refer patent document 1).
Japanese Patent Publication No. 7-38516

吸着ヘッドのセンターシャフトの下端には、電子部品に直に接触する吸着ノズルが装着される。吸着ノズルには電子部品の形態に応じていくつかのタイプがあり、吸着ヘッド毎に、吸着する電子部品の形態に応じたタイプのものに交換される。 A suction nozzle that is in direct contact with the electronic component is attached to the lower end of the center shaft of the suction head. There are several types of suction nozzles depending on the form of the electronic component, and each suction head is replaced with a type corresponding to the form of the electronic component to be sucked.

吸着ノズルの交換は、ノズルの保管場所であるノズルステーションを表面実装機や部品検査装置の基台上に設けて、ノズルステーション上にヘッドユニットを移動させて吸着ノズルの着脱を行うものや、吸着ノズルを交換するための交換専用のヘッドをヘッドユニットに備え、交換専用のヘッドで吸着ノズルの交換を行うものなどが開発されている。 Replacement of the suction nozzle can be done by installing a nozzle station, which is the storage location of the nozzle, on the base of a surface mounter or component inspection device, moving the head unit over the nozzle station, and attaching or detaching the suction nozzle. A head that has a replacement head for replacing the nozzle in the head unit and that replaces the suction nozzle with a replacement head has been developed.

前者の吸着ノズルの交換は、基台上の所定の位置にノズルステーションを備える必要があるとともに、吸着ノズルの交換のたびにヘッドユニットをノズルステーション上まで移動させなければならないという問題がある。 In the former replacement of the suction nozzle, it is necessary to provide a nozzle station at a predetermined position on the base, and there is a problem that the head unit must be moved onto the nozzle station each time the suction nozzle is replaced.

一方、後者の吸着ノズルの交換は、ノズルステーションまでの移動を省くことができ、前者の吸着ノズルの交換より効率よく吸着ノズルの交換を行うことができるが、開発されている交換専用のヘッドは大型のものであり、ヘッドユニットが大型化するという問題がある。 On the other hand, the replacement of the latter suction nozzle can eliminate the movement to the nozzle station and can replace the suction nozzle more efficiently than the replacement of the former suction nozzle. There is a problem that the head unit is large in size.

本発明は、上記の従来の問題に鑑みてなされたものであり、ヘッドユニットの大型化を避けつつ、吸着ノズルの保管・交換が可能な吸着ヘッドおよび部品移載装置を提供することを目的としている。
The present invention has been made in view of the conventional problems described above, aims while avoiding an increase in size of the head unit, provides a suction head and parts transfer NoSo location capable storage and exchange of the suction nozzle It is said.

本発明の吸着ヘッドは、部品供給部と部品装着部とにわたって移動可能なヘッドユニットに備えられる吸着ヘッドであって、部品の吸着のための負圧が供給される通路が形成された中空長尺状を呈し、その軸線を中心軸として回転可能で、かつ、所定範囲にわたり昇降可能なセンターシャフトと、該センターシャフトの周面に沿って配備され、前記センターシャフトの下端に対して選択的に着脱される、複数の吸着ノズルと、前記センターシャフトの上昇動作を受けて、前記センターシャフトの下端に対して装着された吸着ノズルを
離脱し、前記センターシャフトの回転動作を受けて、前記複数の吸着ノズルのうちの一つを選択するとともに、前記センターシャフトの下降動作を受けて前記センターシャフトの下端に対して前記選択された吸着ノズルの装着を行うように構成された交換操作手段とを備え、前記交換操作手段は、前記複数の吸着ノズルを、それぞれ、前記センターシャフトの周面に沿って支持する支持手段と、前記センターシャフト上昇時に前記支持手段の上昇を規制して、前記支持手段を前記センターシャフトに対して相対的に下方に変位させる高さ調整手段と、前記複数の吸着ノズルに対してそれぞれ設けられ、前記センターシャフトに対して相対的に上下に変位可能であり、かつ、前記センターシャフトに対する下方への相対変位に伴って吸着ノズルを前記センターシャフトの下方の装着位置へ押動する押動手段と、前記センターシャフトの回転位置に応じて選択的に一つの前記押動手段に対応し、前記センターシャフトの所定量以上の上昇に応じて当該押動手段を前記センターシャフトに対して相対的に下方へ変位させるように押圧する選択手段とを含むことを特徴としている。
The suction head of the present invention is a suction head provided in a head unit movable between a component supply unit and a component mounting unit, and is a hollow long type in which a passage for supplying negative pressure for component suction is formed. A center shaft that can be rotated about its axis and that can be raised and lowered over a predetermined range, and is arranged along the peripheral surface of the center shaft, and is selectively attached to and detached from the lower end of the center shaft The plurality of suction nozzles and the center shaft are lifted, the suction nozzle attached to the lower end of the center shaft is detached, and the center shaft is rotated to receive the plurality of suction nozzles. One of the nozzles is selected, and the selected suction is performed with respect to the lower end of the center shaft in response to the lowering operation of the center shaft. A configured exchange operation means to perform the mounting of the nozzle, said switching operation means includes a plurality of suction nozzles, respectively, and support means for supporting, along the peripheral surface of the center shaft, the center shaft A height adjusting means for restricting the raising of the support means at the time of ascent and displacing the support means downward relative to the center shaft; and a plurality of the suction nozzles, and the center shaft. And a pushing means for pushing the suction nozzle to a mounting position below the center shaft in accordance with a relative displacement downward relative to the center shaft, and the center shaft Corresponding to one of the pushing means selectively according to the rotation position of the center shaft, and the pushing movement according to the center shaft rising above a predetermined amount It is characterized in that it comprises a selection means for pressing the stage to displace the relatively downward with respect to the center shaft.

この発明によれば、複数の吸着ノズルが、センターシャフトの周面に沿って配備されている。そして、交換操作手段によって、これらの吸着ノズルのうちの１つが、センターシャフトの回転動作およびセンターシャフトの昇降動作を受けてセンターシャフトの下端に対して選択的に着脱される。すなわち、吸着ノズルがセンターシャフトの周面に沿って保管されているので、吸着ノズルの一連の交換作業が、センターシャフトの外周面に沿ったコンパクトな動作で実現されることになる。これによって、吸着ヘッドが過度に大型化されなくとも、吸着ノズルの保管・交換が吸着ヘッド単体で可能になる。さらに、吸着ノズルのセンターシャフトへの着脱は、センターシャフトの昇降動作およびセンターシャフトの回転動作という、元来備わった動作に連動して行われることになる。つまり、吸着ノズルを交換するための駆動装置等を追加的に設ける必要もない。したがって、ヘッドユニットの大型化を避けつつ、吸着ノズルの保管・交換を行うことができる。しかも、各々の吸着ヘッドが個別に吸着ノズルの交換の一連の作業を完結させることが可能であり、吸着ノズルを保管しておくノズルステーションなどの備品を省くことができるとともに、ノズルステーションまでの移動動作を省くことができるので、ノズルステーション上で吸着ノズルの交換作業を行う場合よりも交換作業が速やかに終了する。また、この発明によれば、センターシャフトの昇降動作および回転動作に連動させて、交換操作手段の支持手段、高さ調整手段、選択手段および押動手段を作動させることができる。
According to the present invention, the plurality of suction nozzles are arranged along the peripheral surface of the center shaft. Then, one of these suction nozzles is selectively attached / detached to / from the lower end of the center shaft by the rotation operation of the center shaft and the lifting / lowering operation of the center shaft by the replacement operation means. That is, since the suction nozzle is stored along the peripheral surface of the center shaft, a series of replacement work of the suction nozzle is realized by a compact operation along the outer peripheral surface of the center shaft. As a result, even if the suction head is not excessively enlarged, the suction nozzle can be stored and replaced by the suction head alone. Further, the attachment / detachment of the suction nozzle to / from the center shaft is performed in conjunction with the inherent operations such as the raising / lowering operation of the center shaft and the rotating operation of the center shaft. That is, it is not necessary to additionally provide a driving device or the like for exchanging the suction nozzle. Therefore, it is possible to store and replace the suction nozzle while avoiding an increase in the size of the head unit. In addition, each suction head can individually complete a series of operations for exchanging the suction nozzles, eliminating equipment such as nozzle stations for storing the suction nozzles and moving to the nozzle stations. Since the operation can be omitted, the replacement work is completed more quickly than when the suction nozzle is replaced on the nozzle station. Further, according to the present invention, the support means of the exchange operation means, the height adjustment means, the selection means, and the pushing means can be operated in conjunction with the raising / lowering operation and rotation operation of the center shaft.

この発明によれば、センターシャフトの昇降動作および回転動作に連動させて、交換操作手段の支持手段、高さ調整手段、選択手段および押動手段を作動させるができる。 According to this invention, the support means, the height adjustment means, the selection means, and the pushing means of the exchange operation means can be operated in conjunction with the raising / lowering operation and rotation operation of the center shaft.

また、前記吸着ノズルには、上部に、前記センターシャフトの下端に係合可能な凸部が形成されていることが好ましい。 Moreover, it is preferable that the suction nozzle is formed with a convex portion that can be engaged with a lower end of the center shaft at an upper portion.

この発明によれば、吸着ノズルの上部に凸部が形成されているので、吸着ノズルのセンターシャフト下端への着脱をスムーズに行うことができる。 According to this invention, since the convex part is formed in the upper part of the suction nozzle, the attachment / detachment to the lower end of the center shaft of the suction nozzle can be performed smoothly.

本発明の部品移載装置は、基台と、該基台上で部品を供給する部品供給部と、該部品供給部で供給された部品を保持する上記の吸着ヘッドを複数備え、前記基台上の所定の位置に前記部品を搬送するために水平方向に移動可能に支持されたヘッドユニットとを含むことを特徴としている。 A component transfer apparatus according to the present invention includes a base, a component supply unit that supplies components on the base, and a plurality of the suction heads that hold the components supplied by the component supply unit. And a head unit supported so as to be movable in the horizontal direction in order to convey the component to a predetermined position above.

前記部品移載装置は、前記基台上の所定の位置に基板を搬送する基板搬送手段を備え、前記吸着ヘッドの吸着ノズルにより、前記部品供給部から吸着した部品を前記基板に装着するようにした表面実装機であることが好ましい。 The component transfer apparatus includes a substrate transport unit that transports a substrate to a predetermined position on the base, and the component sucked from the component supply unit is mounted on the substrate by the suction nozzle of the suction head. It is preferable that the surface mounter be used.

また、前記部品移載装置は、未検査部品を供給する未検査部品供給部と、前記基台上の所定の位置で、部品の検査を行う検査手段と、前記検査手段による検査が終了した部品を収納する検査終了部品収納部とを備え、前記未検査部品供給部から前記検査手段への部品の移載、および検査手段から検査終了部品収納部への部品の移載を前記ヘッドユニットにより行うことをようにした部品検査装置であることが好ましい。 The component transfer apparatus includes an uninspected component supply unit that supplies uninspected components, an inspection unit that inspects components at a predetermined position on the base, and a component that has been inspected by the inspection unit An inspection-completed component storage unit for storing the component, and the transfer of the component from the uninspected component supply unit to the inspection unit and the transfer of the component from the inspection unit to the inspection-completed component storage unit are performed by the head unit. It is preferable that the component inspection apparatus is configured to do so.

本発明によれば、ヘッドユニットの大型化を避けつつ、吸着ノズルの保管・交換を行うことができる。 According to the present invention, it is possible to store and replace the suction nozzle while avoiding an increase in the size of the head unit.

以下で、本実施の形態の吸着ヘッドおよび部品移載装置について、図面を用いて詳細に説明する。 Hereinafter, the suction head and the component transfer apparatus of the present embodiment will be described in detail with reference to the drawings.

（実施の形態１）
図１は、表面実装機の平面図である。 (Embodiment 1)
FIG. 1 is a plan view of a surface mounter.

表面実装機は、図１に示されるように、基台１０と、基台１０上でプリント基板Ｐを搬送するコンベア（基板搬送手段）１１と、プリント基板Ｐ上に実装するための電子部品を供給する部品供給部１２と、部品供給部１２から供給された電子部品を吸着・保持する複数の吸着ヘッド１５ａが備えられたヘッドユニット１５と、ヘッドユニット１５を水平方向に移動可能に支持する水平方向移動手段１４と、部品供給位置と部品実装位置（部品装着部）との間に、上向きの姿勢で設けられている部品撮像部１３とを含む。ここで、本実施の形態における部品移載装置は、基台１０と、部品供給部１２と、ヘッドユニット１５とによって構成される。 As shown in FIG. 1, the surface mounting machine includes a base 10, a conveyor (substrate transport means) 11 that transports the printed board P on the base 10, and electronic components for mounting on the printed board P. A component supply unit 12 to be supplied, a head unit 15 provided with a plurality of suction heads 15a for sucking and holding electronic components supplied from the component supply unit 12, and a horizontal supporting the head unit 15 so as to be movable in the horizontal direction. The direction moving means 14 and the component imaging unit 13 provided in an upward posture between the component supply position and the component mounting position (component mounting unit) are included. Here, the component transfer apparatus according to the present embodiment includes a base 10, a component supply unit 12, and a head unit 15.

コンベア１１は、基台１０上を横切るように設置されている。プリント基板Ｐは、コンベア１１によって、基台１０上に搬入される。プリント基板Ｐが基台１０上の部品実装位置まで搬送されるとコンベア１１は停止し、不図示の基板保持装置によりプリント基板Ｐが保持固定され、プリント基板Ｐへ電子部品の実装作業が開始される。そして、プリント基板Ｐへの電子部品の実装作業が終了すると、基板保持装置によるプリント基板Ｐの保持が開放されてコンベア１１が駆動し、部品実装位置のプリント基板Ｐは基台１０上から搬出される。 The conveyor 11 is installed across the base 10. The printed circuit board P is carried onto the base 10 by the conveyor 11. When the printed board P is transported to the component mounting position on the base 10, the conveyor 11 stops, the printed board P is held and fixed by a board holding device (not shown), and the mounting operation of the electronic components on the printed board P is started. The When the mounting operation of the electronic components on the printed board P is completed, the holding of the printed board P by the board holding device is released, the conveyor 11 is driven, and the printed board P at the component mounting position is carried out from the base 10. The

以下では、プリント基板Ｐの搬送方向に平行な方向をＸ方向、Ｘ方向に垂直な方向であって、水平な方向をＹ方向、Ｘ方向およびＹ方向により形成される面に対して垂直な方向をＺ方向として説明する。 Hereinafter, the direction parallel to the transport direction of the printed circuit board P is the X direction, the direction perpendicular to the X direction, and the horizontal direction is the direction perpendicular to the surface formed by the Y direction, the X direction, and the Y direction. Is described as the Z direction.

部品供給部１２は、複数のテープフィーダ１２ａが、それぞれの部品供給位置をコンベア１１へ向けた状態で基台１０上に設置されている。各テープフィーダ１２ａは、リールと、リールに巻き付けられたテープと、テープを長手方向に間欠的に送り出す送り出し機構とを含む。テープには、長手方向に沿って複数の凹部が形成されており、この凹部内に電子部品が収容されている。 In the component supply unit 12, a plurality of tape feeders 12 a are installed on the base 10 with their component supply positions directed toward the conveyor 11. Each tape feeder 12a includes a reel, a tape wound around the reel, and a feeding mechanism that intermittently feeds the tape in the longitudinal direction. A plurality of recesses are formed along the longitudinal direction of the tape, and electronic components are accommodated in the recesses.

図２は、ヘッドユニット１５に備えられた複数の吸着ヘッド１５ａの側面図である。 FIG. 2 is a side view of the plurality of suction heads 15 a provided in the head unit 15.

ヘッドユニット１５には、電子部品を吸着・保持するための複数の吸着ヘッド１５ａ、プリント基板Ｐ上に施されたフィデューシャルマーク等を撮像するための基板撮像カメラ１５ｂなどが一体に備えられている。本実施の形態では、１１本の吸着ヘッド１５ａが、所定の間隔でＸ方向に平行な列をなしてヘッドユニット１５に備えられている。なお、吸着ヘッド１５ａについては、のちに詳しく説明する。 The head unit 15 is integrally provided with a plurality of suction heads 15a for sucking and holding electronic components, a board imaging camera 15b for picking up fiducial marks and the like applied on the printed board P, and the like. Yes. In the present embodiment, eleven suction heads 15a are provided in the head unit 15 in rows parallel to the X direction at predetermined intervals. The suction head 15a will be described in detail later.

水平方向移動手段１４は、Ｙ方向移動装置と、Ｙ方向移動装置によってＹ方向に移動可能に支持されたＸ方向移動装置とを含む。ヘッドユニット１５はＸ方向移動装置によってＸ方向に移動可能に支持されている。 The horizontal direction moving means 14 includes a Y direction moving device and an X direction moving device supported by the Y direction moving device so as to be movable in the Y direction. The head unit 15 is supported by an X direction moving device so as to be movable in the X direction.

具体的には、Ｙ方向移動装置は、サーボモータ１４ａと、Ｙ方向に略平行に延び、サーボモータ１４ａの駆動力を受けて回転するボールねじ軸１４ｂと、ボールねじ軸１４ｂの長手方向に沿って延びるように設けられた固定レール１４ｃと、ボールねじ軸１４ｂに螺合したボールナット１４ｆとを備えている。また、Ｘ方向移動装置は、サーボモータ１４ｄと、Ｘ方向に略平行に延びてサーボモータ１４ｄの駆動力を受けて回転するボールねじ軸１４ｅと、両端がＹ方向移動装置の固定レール１４ｃによって移動可能に支持されたフレーム部材１４ｇと、ボールねじ軸１４ｅに螺合するボールナット（図示しない）とを備えている。そして、Ｙ方向移動装置のボールナット１４ｆはフレーム部材１４ｇに固定されている。Ｘ方向移動装置のボールナットは、ブラケットを介してヘッドユニット１５に固定されている。 Specifically, the Y-direction moving device extends along the longitudinal direction of the servo motor 14a, the ball screw shaft 14b that extends substantially parallel to the Y direction and rotates by receiving the driving force of the servo motor 14a, and the ball screw shaft 14b. A fixed rail 14c provided so as to extend, and a ball nut 14f screwed to the ball screw shaft 14b. The X-direction moving device also has a servo motor 14d, a ball screw shaft 14e that extends substantially parallel to the X direction and rotates by receiving the driving force of the servo motor 14d, and both ends thereof are moved by a fixed rail 14c of the Y-direction moving device. The frame member 14g is supported so as to be able to be supported, and a ball nut (not shown) that is screwed onto the ball screw shaft 14e. The ball nut 14f of the Y-direction moving device is fixed to the frame member 14g. The ball nut of the X-direction moving device is fixed to the head unit 15 via a bracket.

Ｙ方向移動装置のサーボモータ１４ａが駆動すると、サーボモータ１４ａの駆動力を受けてボールねじ軸１４ｂが回転し、ボールナット１４ｆはボールねじ軸１４ｂの長手方向に移動する。この移動に伴い、ボールナット１４ｆが固定されたＸ方向移動装置全体がＹ方向に移動する。 When the servo motor 14a of the Y-direction moving device is driven, the ball screw shaft 14b rotates by receiving the driving force of the servo motor 14a, and the ball nut 14f moves in the longitudinal direction of the ball screw shaft 14b. Along with this movement, the entire X-direction moving device to which the ball nut 14f is fixed moves in the Y direction.

また、Ｘ方向移動装置のサーボモータ１４ｄが駆動すると、サーボモータ１４ｄの駆動力を受けてボールねじ軸１４ｂが回転し、Ｘ方向移動装置のボールナットはボールねじ軸１４ｅの長手方向に沿って移動する。この移動に伴い、ブラケットを介してボールナットが固定されたヘッドユニット１５が、Ｘ方向に移動する。 Further, when the servo motor 14d of the X direction moving device is driven, the ball screw shaft 14b is rotated by receiving the driving force of the servo motor 14d, and the ball nut of the X direction moving device is moved along the longitudinal direction of the ball screw shaft 14e. To do. Along with this movement, the head unit 15 to which the ball nut is fixed via the bracket moves in the X direction.

部品撮像部１３は、吸着ヘッド１５ａによる電子部品の吸着状態を調べるためのものであり、リニアセンサあるいはＣＣＤカメラ、照明装置などから構成されている。ヘッドユニット１５は、部品供給部１２で電子部品を吸着すると、この部品撮像部１３上を経由してプリント基板Ｐ上の所定の位置まで移動する。そして、部品撮像部１３は、ヘッドユニット１５が部品撮像部１３の上方を通過する際に、吸着ヘッド１５ａの下側から電子部品を撮像する。 The component imaging unit 13 is for examining the electronic component suction state by the suction head 15a, and includes a linear sensor, a CCD camera, an illumination device, or the like. When the electronic component is picked up by the component supply unit 12, the head unit 15 moves to a predetermined position on the printed circuit board P via the component imaging unit 13. The component imaging unit 13 images the electronic component from the lower side of the suction head 15a when the head unit 15 passes above the component imaging unit 13.

ここで、実施の形態１の吸着ヘッド１５ａについて詳しく説明する。 Here, the suction head 15a of the first embodiment will be described in detail.

実施の形態１の吸着ヘッド１５ａは、図１に示されるように、表面実装機のヘッドユニット１５に１１本、Ｘ方向に平行な列をなすように備えられている。 As shown in FIG. 1, the suction heads 15a according to the first embodiment are provided on the head unit 15 of the surface mounter so as to form a line parallel to the X direction.

図３は、ヘッドユニット１５の筐体の下方に突出したノズルの部分を説明するための斜視図である。図４は、吸着ヘッド１５ａの全体を説明するための図である。 FIG. 3 is a perspective view for explaining a portion of the nozzle protruding downward from the casing of the head unit 15. FIG. 4 is a diagram for explaining the entire suction head 15a.

吸着ヘッド１５ａは、図３および図４に示されるように、回転駆動手段２と、昇降駆動手段３と、センターシャフト４と、吸着ノズル５と、交換操作手段６とを備えている。 As shown in FIGS. 3 and 4, the suction head 15 a includes a rotation drive unit 2, a lift drive unit 3, a center shaft 4, a suction nozzle 5, and an exchange operation unit 6.

回転駆動手段２は、Ｚ方向に延びるノズル中心軸（軸線）Ａｘ１を回転の中心としてセンターシャフト４を回転駆動するためのものである。具体的には、Ｒ軸サーボモータと、Ｒ軸サーボモータの駆動力をセンターシャフト４に伝達する伝達ベルト２１とを含む。伝達ベルト２１は、Ｒ軸サーボモータの駆動力を受けて循環し、伝達ベルト２１がセンターシャフト４をノズル中心軸Ａｘ１回りに回転させる。 The rotation driving means 2 is for rotating the center shaft 4 around the center axis (axis) Ax1 extending in the Z direction. Specifically, an R-axis servomotor and a transmission belt 21 that transmits the driving force of the R-axis servomotor to the center shaft 4 are included. The transmission belt 21 circulates under the driving force of the R-axis servo motor, and the transmission belt 21 rotates the center shaft 4 around the nozzle center axis Ax1.

昇降駆動手段３は、リニアモータやＺ軸サーボモータなどから構成されており、センターシャフト４をＺ方向に所定範囲にわたって昇降駆動し、センターシャフト４の下端の高さを調整する。具体的には、電子部品の吸着時には、昇降駆動手段３は、部品供給部１２の部品供給位置でセンターシャフト４の下端を、吸着ノズル５が電子部品を吸着可能となる位置まで下降させ、電子部品が吸着されたのち上昇し、電子部品を所定の高さに保つ。そして、プリント基板Ｐ上の所定の位置まで電子部品が搬送されると、再び昇降駆動手段３が駆動し、センターシャフト４の下端を下降させて、電子部品をプリント基板Ｐ上の所定の位置に装着する。 The elevating drive means 3 is composed of a linear motor, a Z-axis servo motor, and the like, and drives the center shaft 4 up and down over a predetermined range in the Z direction to adjust the height of the lower end of the center shaft 4. Specifically, at the time of suction of the electronic component, the lifting drive means 3 lowers the lower end of the center shaft 4 at the component supply position of the component supply unit 12 to a position where the suction nozzle 5 can suck the electronic component. After the components are adsorbed, the components rise and keep the electronic components at a predetermined height. When the electronic component is transported to a predetermined position on the printed circuit board P, the elevating drive means 3 is driven again, and the lower end of the center shaft 4 is lowered to bring the electronic component to a predetermined position on the printed circuit board P. Installing.

センターシャフト４は、回転駆動手段２および昇降駆動手段３の駆動力を受けて、ノズル中心軸Ａｘ１回りに回転運動および昇降運動する中空長尺状の昇降シャフト４ａと、昇降シャフト４ａの下端部に圧入固着された中空長尺状のノズルシャフト４ｂとを含む（図５参照）。昇降シャフト４ａの中空部、ノズルシャフト４ｂの中空部はそれぞれ、センターシャフト４の軸線Ａｘ１に沿う通路４ａ１、通路４ｂ１とされている。そして、昇降シャフト４ａにノズルシャフト４ｂが装着された状態では、昇降シャフト４ａの通路４ａ１と、ノズルシャフト４ｂの通路４ｂ１とが連通する。この通路４ａ１および通路４ｂ１には、図示しない負圧供給部がバルブ等を介して接続され、電子部品の吸着時に当該通路内を負圧状態にする。電子部品の装着時には当該通路内を大気開放状態あるいは正圧状態にする。また、ノズルシャフト４ｂの外周面には、ノズルシャフト４ｂの長手方向に沿って延びる３本の溝（以下、上下溝４ｂ２という）が形成されている。 The center shaft 4 receives the driving force of the rotation driving means 2 and the elevation driving means 3 and is provided with a hollow elongate lifting shaft 4a that rotates and moves up and down around the nozzle center axis Ax1, and a lower end portion of the lifting shaft 4a. And a hollow long nozzle shaft 4b which is press-fitted and fixed (see FIG. 5). The hollow portion of the elevating shaft 4a and the hollow portion of the nozzle shaft 4b are defined as a passage 4a1 and a passage 4b1 along the axis Ax1 of the center shaft 4, respectively. When the nozzle shaft 4b is mounted on the lifting shaft 4a, the passage 4a1 of the lifting shaft 4a and the passage 4b1 of the nozzle shaft 4b communicate with each other. A negative pressure supply unit (not shown) is connected to the passage 4a1 and the passage 4b1 via a valve or the like, and the inside of the passage is brought into a negative pressure state when the electronic component is attracted. When electronic parts are mounted, the passage is opened to the atmosphere or positive pressure. In addition, three grooves (hereinafter referred to as upper and lower grooves 4b2) extending along the longitudinal direction of the nozzle shaft 4b are formed on the outer peripheral surface of the nozzle shaft 4b.

吸着ノズル５は、電子部品を直に吸着する部材である。吸着ノズル５は、電子部品の種類や大きさの違いに応じた異なるタイプが装備され、ノズルシャフト４ｂの外周を囲むように配備される。吸着ノズル５は、吸着ヘッド毎に、これら異なるタイプのうちから１つが選択され、ノズルシャフト４ｂの下端部に着脱される。本実施の形態では、吸着ノズル５として、内径が互いに異なる第１の吸着ノズル５１と第２の吸着ノズル５２と第３の吸着ノズル５３とが備えられている。各吸着ノズル５１、５２、５３は、センターシャフト４の下端より下方に位置した状態で、下面視でノズル中心軸Ａｘ１を中心として互いに約１２０度の角度をなすように配備されている（図８参照）。 The suction nozzle 5 is a member that directly sucks electronic components. The suction nozzle 5 is equipped with different types according to the types and sizes of electronic components, and is arranged so as to surround the outer periphery of the nozzle shaft 4b. One suction nozzle 5 is selected from these different types for each suction head, and is attached to and detached from the lower end of the nozzle shaft 4b. In the present embodiment, the suction nozzle 5 includes a first suction nozzle 51, a second suction nozzle 52, and a third suction nozzle 53 having different inner diameters. The respective suction nozzles 51, 52, 53 are arranged so as to form an angle of about 120 degrees with respect to the nozzle center axis Ax1 in the bottom view in a state of being positioned below the lower end of the center shaft 4 (FIG. 8). reference).

また、各吸着ノズル５１、５２、５３の上端部は、ノズルシャフト４ｂの下端に吸着ノズル５１、５２、５３を係合させるために、吸着ノズルの上端へ向けて外径が小さくなる凸部５ａが形成されている。具体的には、この凸部５ａはテーパ状を呈している。また、ノズルシャフト４ｂの下端部には、下端へ向けて内径が大きくなる裾広がりの凹部が形成されている。具体的には、この凹部はテーパ状を呈している。このように、吸着ノズルの上端の外径をノズルシャフト４ｂの下端の内径よりも大幅に小さく設定しておくことで、吸着ノズル５１、５２、５３のノズルシャフト４ｂの下端への着脱がスムーズに行われる。また、ノズルシャフト４ｂの下端部のテーパ状の凹部に、吸着ノズル５１、５２、５３のテーパ状の凸部５ａを嵌合させることで、ノズルシャフト４ｂに吸着ノズル５１、５２、５３を安定的に連結保持することができる。 Further, the upper end portions of the suction nozzles 51, 52, 53 are convex portions 5a whose outer diameters decrease toward the upper ends of the suction nozzles in order to engage the suction nozzles 51, 52, 53 with the lower ends of the nozzle shaft 4b. Is formed. Specifically, the convex portion 5a has a tapered shape. Moreover, the bottom part of the nozzle shaft 4b is formed with a flared concave part whose inner diameter increases toward the lower part. Specifically, this recess has a tapered shape. Thus, by setting the outer diameter of the upper end of the suction nozzle to be significantly smaller than the inner diameter of the lower end of the nozzle shaft 4b, the attachment and detachment of the suction nozzles 51, 52 and 53 to the lower end of the nozzle shaft 4b is smooth. Done. Further, the suction nozzles 51, 52, 53 are stably attached to the nozzle shaft 4 b by fitting the tapered protrusions 5 a of the suction nozzles 51, 52, 53 into the tapered recess at the lower end of the nozzle shaft 4 b. Can be held connected to each other.

交換操作手段６は、第１〜第３の吸着ノズル５１、５２、５３をそれぞれノズルシャフト４ｂの周面に沿って支持する支持部材（支持手段）６０と、センターシャフト４の上昇時に支持部材６０を下方に押圧し、支持部材６０に支持される第１〜第３の吸着ノズル５１、５２、５３をそれぞれノズルシャフト４ｂの下端より下方位置とする吸着ノズル押し下げ手段（高さ調整手段）６７と、下方へ向けた力を水平方向に伝達し、支持部材６０によって支持された吸着ノズル５をセンターシャフト４の下方の装着位置へ移動させる押動手段６４と、押動手段６４を下方に押圧することによって、第１の吸着ノズル５１、第２の吸着ノズル５２および第３の吸着ノズル５３のうちの一つを間接的に選択する選択手段６５とを含む（図２参照）。 The exchange operation means 6 includes a support member (support means) 60 that supports the first to third suction nozzles 51, 52, and 53 along the peripheral surface of the nozzle shaft 4 b, and a support member 60 when the center shaft 4 is raised. A suction nozzle push-down means (height adjustment means) 67 for lowering the first and third suction nozzles 51, 52, 53 supported by the support member 60 from the lower end of the nozzle shaft 4b. , A downward force is transmitted in the horizontal direction, and the pushing means 64 for moving the suction nozzle 5 supported by the support member 60 to the mounting position below the center shaft 4 and the pushing means 64 are pushed downward. By this, the selection means 65 which indirectly selects one of the 1st suction nozzle 51, the 2nd suction nozzle 52, and the 3rd suction nozzle 53 is included (refer FIG. 2).

支持部材６０は、吸着ノズル５をノズルシャフト４ｂの下端またはノズルシャフト４ｂ周面の所定の位置に支持するとともに、吸着ノズル５をノズルシャフト４ｂの長手方向に沿って移動させるためのものである。具体的には、支持部材６０は、第１の吸着ノズル５１を支持する第１の支持部材６１と、第２の吸着ノズル５２を支持する第２の支持部材６２と、第３の吸着ノズル５３を支持する第３の支持部材６３と、第１〜第３の各支持部材６１、６２、６３をノズルシャフト４ｂに対して上方へ向けて付勢する第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃと、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃとともに補助的に第１〜第３の各支持部材６１、６２、６３を上方へ向けて付勢する補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１（図３参照）と、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃおよび補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ２、６３ｃ１をノズルシャフト４ｂの所定の位置に支持する台座６６とを含む。 The support member 60 supports the suction nozzle 5 at a predetermined position on the lower end of the nozzle shaft 4b or the peripheral surface of the nozzle shaft 4b and moves the suction nozzle 5 along the longitudinal direction of the nozzle shaft 4b. Specifically, the support member 60 includes a first support member 61 that supports the first suction nozzle 51, a second support member 62 that supports the second suction nozzle 52, and a third suction nozzle 53. And a first coil spring 61c, 62c, 63c for urging the first to third support members 61, 62, 63 upward with respect to the nozzle shaft 4b, Auxiliary urging means 61c1, 62c1, 63c1 for urging the first to third supporting members 61, 62, 63 upward together with the first coil springs 61c, 62c, 63c (see FIG. 3) ) And a pedestal 66 that supports the first coil springs 61c, 62c, 63c and the auxiliary biasing means 61c1, 62c2, 63c1 at predetermined positions of the nozzle shaft 4b.

各支持部材６１、６２、６３は、吸着ノズルを保持する略Ｌ字状を呈した板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａと、板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａを下部で支持するとともに、ノズルシャフト４ｂの外周面に形成された３つの上下溝４ｂ２にそれぞれ嵌合し、上下溝４ｂ２に沿って高さ方向に摺動する上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂとを有する（図５参照）。 Each of the support members 61, 62, 63 supports the plate springs 61a, 62a, 63a having a substantially L shape that holds the suction nozzle and the plate springs 61a, 62a, 63a at the lower portion, and the outer periphery of the nozzle shaft 4b. It has vertical movement members 61b, 62b, and 63b that fit in the three vertical grooves 4b2 formed on the surface and slide in the height direction along the vertical grooves 4b2 (see FIG. 5).

板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａは、側面視で略Ｌ字状を呈し、押圧力を加えない状態で、ノズル中心軸Ａｘ１から離れるように反っている。 The leaf springs 61a, 62a, and 63a are substantially L-shaped in a side view, and are warped away from the nozzle center axis Ax1 without applying a pressing force.

また、各上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂには、上部に、ノズル中心軸Ａｘ１を中心とした径方向に延びる受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２が形成されているとともに、下部に、板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａが小ネジ６１ｄ、６２ｄ、６３ｄで固定される固定部６１ｂ１、６２ｂ１、６３ｂ１が形成されている。受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２には、後述の押動手段６４の進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１を挿通させるための貫通孔が形成されている。上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂは、吸着ノズル５の交換時以外は、ノズルシャフト４ｂと一体となって昇降する。一方、吸着ノズル５の交換時には、センターシャフト４の上昇に伴い、後述するコイルばね６７ｃが、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃおよび補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１による反力に打ち勝って、後述するブッシュ６７ａを介して受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２を下方に押圧する。この押圧する力を受けて、上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂがノズルシャフト４ｂの外周面を下方へ向けて摺動する。 Each of the vertically moving members 61b, 62b, 63b is formed with receiving portions 61b2, 62b2, 63b2 extending in the radial direction around the nozzle center axis Ax1 at the upper portion, and a leaf spring 61a, Fixing portions 61b1, 62b1, and 63b1 are formed in which 62a and 63a are fixed by machine screws 61d, 62d, and 63d. The receiving portions 61b2, 62b2, and 63b2 are formed with through holes for inserting advance / retreat shafts 64a1, 64b1, and 64c1 of the pushing means 64 described later. The vertically moving members 61b, 62b, and 63b move up and down integrally with the nozzle shaft 4b except when the suction nozzle 5 is replaced. On the other hand, when the suction nozzle 5 is replaced, the coil spring 67c, which will be described later, overcomes the reaction force of the first coil springs 61c, 62c, 63c and the auxiliary biasing means 61c1, 62c1, 63c1 as the center shaft 4 is raised. The receiving portions 61b2, 62b2, and 63b2 are pressed downward through a bush 67a described later. In response to this pressing force, the vertically moving members 61b, 62b, 63b slide downward on the outer peripheral surface of the nozzle shaft 4b.

吸着ノズル押し下げ手段６７は、略筒状を呈し、センターシャフト４に摺動可能に外嵌される開口を下としたカップ状のブッシュ６７ａと、ブッシュ６７ａを吊り下げた状態で支持する３本の棒状の部材からなるブッシュ吊設部６７ｂと、ブッシュ６７ａの上端と後述の保持部材６５ｂとの間であって、センターシャフト４の外周に巻き付けられた状態で設けられるコイルばね（ブッシュ付勢部材）６７ｃと、各ブッシュ吊設部６７ｂに嵌合するカラー６７ｄとを含む。 The suction nozzle push-down means 67 has a substantially cylindrical shape, and has a cup-shaped bush 67a with an opening that is slidably fitted to the center shaft 4 below, and three supporting the bush 67a in a suspended state. A coil spring (bushing urging member) provided between the bush suspension 67b made of a rod-shaped member, the upper end of the bush 67a and a holding member 65b described later, and wound around the outer periphery of the center shaft 4 67c and a collar 67d fitted to each bush suspending portion 67b.

ブッシュ吊設部６７ｂの下端６７ｂ１にはフランジが形成され、ブッシュ６７ａがブッシュ吊設部６７ｂから抜け落ちないよう、ブッシュ６７ａの下端を支持している。 A flange is formed at the lower end 67b1 of the bush suspending portion 67b, and supports the lower end of the bush 67a so that the bush 67a does not fall out of the bush suspending portion 67b.

カラー６７ｄは、センターシャフト４の上昇に伴い、受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２からの反力を受けて上昇移動するブッシュ６７ａが、所定の高さを超えないよう移動を規制する。これによって、支持部材６０は所定の高さより上方への移動が規制される。すなわち、センターシャフト４が所定の高さまで上昇すると、支持部材６０によって支持された吸着ノズル５は、それ以上の上昇が規制される。 The collar 67d restricts the movement of the bush 67a that moves upward in response to the reaction force from the receiving portions 61b2, 62b2, and 63b2 as the center shaft 4 is raised. As a result, the support member 60 is restricted from moving above a predetermined height. That is, when the center shaft 4 rises to a predetermined height, the suction nozzle 5 supported by the support member 60 is restricted from further rising.

選択手段６５は、ヘッドユニット１５の筐体の下面に固定される保持部材６５ｂと、保持部材６５ｂの所定の位置において圧入固定され、下方に向けて突出するピン６５ａとを有する。ピン６５ａの下端の高さは、ヘッドユニット１５の筐体下面から所定の距離になるように設定されている。そして、ピン６５ａはその下端で、押動手段６４を作動させる。 The selection means 65 includes a holding member 65b that is fixed to the lower surface of the casing of the head unit 15, and a pin 65a that is press-fitted and fixed at a predetermined position of the holding member 65b and protrudes downward. The height of the lower end of the pin 65 a is set to be a predetermined distance from the lower surface of the casing of the head unit 15. And the pin 65a operates the pushing means 64 at the lower end.

押動手段６４は、第１の支持部材６１を作動させる第１の押動手段６４ａと、第２の支持部材６２を作動させる第２の押動手段６４ｂと、第３の支持部材６３を作動させる第３の押動手段６４ｃとを含む。 The pushing means 64 actuates the first pushing means 64 a that actuates the first support member 61, the second pushing means 64 b that actuates the second support member 62, and the third support member 63. Third pushing means 64c to be moved.

各押動手段６４ａ、６４ｂ、６４ｃは、ノズル中心軸Ａｘ１に対して略平行に備えられ、センターシャフト４の上昇に伴う選択手段６５のピン６５ａによる押圧力を受けて、ノズルシャフト４ｂに対して相対的に下方向にスライドする進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１と、進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１の下端部に設けられ、進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１が下方にスライドしたときに、板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａをノズル中心軸Ａｘ１に略平行な状態になるように押し込む押込部６４ａ２、６４ｂ２、６４ｃ２と、各頂部膨隆部Ｔを押圧して進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１を上方へ向けて付勢する第２のコイルばね６４ａ４、６４ｂ４、６４ｃ４とを含む。 Each of the pushing means 64a, 64b, 64c is provided substantially parallel to the nozzle center axis Ax1, and receives the pushing force by the pin 65a of the selection means 65 as the center shaft 4 is raised, The leaf springs 61a, 64b1, 64c1 are provided at the lower ends of the advance / retreat shafts 64a1, 64b1, 64c1 that slide relatively downward and the advance / retreat shafts 64a1, 64b1, 64c1, and the leaf springs 61a, The pushing portions 64a2, 64b2, and 64c2 that push the 62a and 63a so as to be substantially parallel to the nozzle center axis Ax1 and the top bulge portions T are pressed to urge the advancing and retracting shafts 64a1, 64b1, and 64c1 upward. Second coil springs 64a4, 64b4, 64c4.

各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１は、棒状の部材である。各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１は、各上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂの各受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２、上下逆としたカップ状のブッシュ６７ａの底部、および台座６６に形成された貫通孔に挿通された状態で、貫通孔の内側面を摺動するように備えられている。なお、各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１の外周に各第２のコイルばね６４ａ４、６４ｂ４、６４ｃ４が取り付けられた状態において、各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１および各第２のコイルばね６４ａ４、６４ｂ４、６４ｃ４が、上下逆としたカップ状のブッシュ６７ａの底部に設けられた貫通孔を貫通配置されている。そして、３本の進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１のうち、選択手段６５のピン６５ａの真下に位置する進退軸は、センターシャフト４の上昇に伴い、頂部膨隆部Ｔをピン６５ａの下端で押圧されて、ノズルシャフト４ｂに対して下方向に移動する。 Each advance / retreat shaft 64a1, 64b1, 64c1 is a rod-shaped member. Respective advance / retreat shafts 64a1, 64b1, and 64c1 are respectively provided with receiving portions 61b2, 62b2, and 63b2 of the vertically moving members 61b, 62b, and 63b, bottom portions of cup-shaped bushes 67a that are upside down, and through holes formed in the pedestal 66. It is provided so as to slide on the inner surface of the through hole in a state of being inserted into the through hole. In addition, in the state where each second coil spring 64a4, 64b4, 64c4 is attached to the outer periphery of each advance / retreat shaft 64a1, 64b1, 64c1, each advance / retreat shaft 64a1, 64b1, 64c1 and each second coil spring 64a4, 64b4, 64c4 is disposed through a through hole provided in the bottom of a cup-shaped bush 67a that is upside down. Of the three advancing / retracting shafts 64a1, 64b1, 64c1, the advancing / retreating shaft located immediately below the pin 65a of the selection means 65 is pressed against the top bulge portion T by the lower end of the pin 65a as the center shaft 4 is raised. Thus, it moves downward relative to the nozzle shaft 4b.

各押込部６４ａ２、６４ｂ２、６４ｃ２は、各支持部材６１、６２、６３の板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａに接触するノズルシャフト４ｂへ向けた面が略円弧状を呈している。進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１がノズルシャフト４ｂに対して下方へ押し下げられると、各押込部６４ａ２、６４ｂ２、６４ｃ２の略円弧状の面が、板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａの外側面に接触する。そして、各押込部６４ａ２、６４ｂ２、６４ｃ２は、板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａを押し込む。各押込部６４ａ２、６４ｂ２、６４ｃ２によって押圧された板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａは、反りが矯正されるように変形し、吸着ノズル５１、５２、５３は待機位置（ノズル中心軸Ａｘ１の延長線上から吸着ノズルの通路が外れる位置）から装着位置（ノズル中心軸Ａｘ１の延長線上に吸着ノズルの通路が重なる位置）に水平移動する。 In each of the pushing portions 64a2, 64b2, and 64c2, the surfaces of the support members 61, 62, and 63 that contact the leaf springs 61a, 62a, and 63a toward the nozzle shaft 4b have a substantially arc shape. When the advance / retreat shafts 64a1, 64b1, and 64c1 are pushed down with respect to the nozzle shaft 4b, the substantially arc-shaped surfaces of the pushing portions 64a2, 64b2, and 64c2 come into contact with the outer surfaces of the leaf springs 61a, 62a, and 63a. And each pushing part 64a2, 64b2, 64c2 pushes in the leaf | plate spring 61a, 62a, 63a. The leaf springs 61a, 62a, 63a pressed by the pressing portions 64a2, 64b2, 64c2 are deformed so that the warp is corrected, and the suction nozzles 51, 52, 53 are positioned at the standby positions (from the extension line of the nozzle center axis Ax1). It moves horizontally from the position where the suction nozzle passage is removed) to the mounting position (position where the suction nozzle passage overlaps the extended line of the nozzle center axis Ax1).

第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃは、各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１に巻き掛けられ、上端は上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂの受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２の下面に当接し、下端は台座６６の上面に当接している。そして、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃが自然長より短くなるように圧縮されると、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃは、上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂをノズルシャフト４ｂに対して上方へ向けて付勢する。 The first coil springs 61c, 62c, and 63c are wound around the respective advance / retreat shafts 64a1, 64b1, and 64c1, and the upper ends thereof are in contact with the lower surfaces of the receiving portions 61b2, 62b2, and 63b2 of the vertical movement members 61b, 62b, and 63b. Is in contact with the upper surface of the base 66. When the first coil springs 61c, 62c, and 63c are compressed so as to be shorter than the natural length, the first coil springs 61c, 62c, and 63c cause the vertical movement members 61b, 62b, and 63b to move to the nozzle shaft 4b. Energize upward.

第２のコイルばね６４ａ４、６４ｂ４、６４ｃ４は、各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１に巻き掛けられ、上端は各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１の頂部膨隆部Ｔに当接し、下端は上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂの受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２の上面に当接している。そして、第２のコイルばね６４ａ４、６４ｂ４、６４ｃ４が自然長より短くなるように圧縮されると、第２のコイルばね６４ａ４、６４ｂ４、６４ｃ４は、受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２と上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂの頂部膨隆部Ｔとの間を離間するように付勢する。すなわち、昇降シャフト４ａ下端に受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２が当接している場合は、第２のコイルばね６４ａ４、６４ｂ４、６４ｃ４の付勢力が、受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２が昇降シャフト４ａの下端から離れている場合は、並列配置の第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃおよび補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１、これらに対して直列配置される第２のコイルばね６４ａ４、６４ｂ４、６４ｃ４の各付勢力に基づく付勢力が、ノズルシャフト４ｂに対して各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１を上方へ向けて付勢する。 The second coil springs 64a4, 64b4, 64c4 are wound around the respective advance / retreat shafts 64a1, 64b1, 64c1, the upper ends abut on the top bulge portions T of the respective advance / retreat shafts 64a1, 64b1, 64c1, and the lower ends are the vertical movement members 61b. 62b and 63b are in contact with the upper surfaces of the receiving portions 61b2, 62b2 and 63b2. When the second coil springs 64a4, 64b4, 64c4 are compressed so as to be shorter than the natural length, the second coil springs 64a4, 64b4, 64c4 are received by the receiving portions 61b2, 62b2, 63b2, and the vertical movement member 61b, It urges | biases so that it may space apart from the top bulging part T of 62b, 63b. That is, when the receiving portions 61b2, 62b2, 63b2 are in contact with the lower end of the lifting shaft 4a, the biasing force of the second coil springs 64a4, 64b4, 64c4 is such that the receiving portions 61b2, 62b2, 63b2 are the lower ends of the lifting shaft 4a. Of the first coil springs 61c, 62c, 63c and the auxiliary biasing means 61c1, 62c1, 63c1 arranged in parallel with each other, and the second coil springs 64a4, 64b4, 64c4 arranged in series with respect to them. The urging force based on each urging force urges the forward / backward shafts 64a1, 64b1, 64c1 upward with respect to the nozzle shaft 4b.

補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１は、各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１に平行な状態で、各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１の両側部であって、上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂの受け部６１ｂ１、６２ｂ２、６３ｂ２と、台座６６との間に一対ずつ設けられている。補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１は、円柱状の棒部材と、棒部材の周面に巻き付けられたコイルばねとから構成されている。棒部材は、上部が上下動部材６１ｂ１、６２ｂ１、６３ｃ１の受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２に形成された貫通孔に挿通されており、上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂが下方へ移動すると、棒部材の上部が受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２の上方に突出する。 The auxiliary urging means 61c1, 62c1, 63c1 are parallel to the advance / retreat shafts 64a1, 64b1, 64c1, and are located on both sides of the advance / retreat shafts 64a1, 64b1, 64c1, and receive the vertical movement members 61b, 62b, 63b. A pair is provided between each of the parts 61b1, 62b2, 63b2 and the pedestal 66. The auxiliary urging means 61c1, 62c1, and 63c1 include a columnar bar member and a coil spring that is wound around the peripheral surface of the bar member. The upper portion of the bar member is inserted into a through hole formed in the receiving portions 61b2, 62b2, 63b2 of the vertical movement members 61b1, 62b1, 63c1, and when the vertical movement members 61b, 62b, 63b move downward, The upper part protrudes above the receiving parts 61b2, 62b2, and 63b2.

台座６６は、略環状の部材であり、鍔状に設けられている。台座６６は、ノズルシャフト４ｂの下端から所定の距離だけ上方の位置において、ノズルシャフト４ｂの外周面に固設されたサークリップ６６ａにより下側が支持されており、その上面で、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃの下端および補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１の下端を支持している。また、台座６６の中央貫通孔には、ノズルシャフト４ｂ、およびその外周面に形成された３つの上下溝４ｂ２それぞれに移動可能に嵌合する上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂが貫通配置される。台座６６は、ノズルシャフト４ｂに上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂが、上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂに第２のコイルばね６４ａ４、６４ｂ４、６４ｃ４および各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１が、各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１に第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃおよび補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１が、それぞれ取り付けられた状態で、中央貫通孔に固定部６１ｂ１、６２ｂ１、６３ｂ１の外周を挿入させ、３ケ所の貫通孔に各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１を挿入させ、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃおよび補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１を圧縮しつつ、ノズルシャフト４ｂの所定位置に保持した状態で、下側においてノズルシャフト４ｂにサークリップ６６ａを取り付けることで、組み付けられる。その後、板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａが小ネジ６１ｄ、６２ｄ、６３ｄで固定される固定部６１ｂ１、６２ｂ１、６３ｂ１が形成されている。固定部６１ｂ１、６２ｂ１、６３ｂ１に、吸着ノズル５１、５２、５３がそれぞれ取り付けられた各板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａが、小ネジ６１ｄ、６２ｄ、６３ｄで固定される。さらに、各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１に各押込部６４ａ２、６４ｂ２、６４ｃ２が、小ネジ６４ａ３、６４ｂ３、６４ｃ３で固定される。 The pedestal 66 is a substantially annular member and is provided in a bowl shape. The pedestal 66 is supported at its lower side by a circlip 66a fixed to the outer peripheral surface of the nozzle shaft 4b at a position above the lower end of the nozzle shaft 4b by a predetermined distance. The lower end of 61c, 62c, 63c and the lower end of auxiliary biasing means 61c1, 62c1, 63c1 are supported. Further, vertically moving members 61b, 62b, and 63b that are movably fitted in the nozzle shaft 4b and the three vertical grooves 4b2 formed on the outer peripheral surface thereof are disposed through the central through hole of the base 66. The pedestal 66 has a vertically moving member 61b, 62b, 63b on the nozzle shaft 4b, a second coil spring 64a4, 64b4, 64c4 and advancing and retracting shafts 64a1, 64b1, 64c1 on the vertically moving members 61b, 62b, 63b. With the first coil springs 61c, 62c, 63c and the auxiliary biasing means 61c1, 62c1, 63c1 attached to the shafts 64a1, 64b1, 64c1, respectively, the outer periphery of the fixing portions 61b1, 62b1, 63b1 is formed in the central through hole. Inserting and inserting the advance / retreat shafts 64a1, 64b1, 64c1 into the three through holes, compressing the first coil springs 61c, 62c, 63c and the auxiliary biasing means 61c1, 62c1, 63c1, The circlip 6 is attached to the nozzle shaft 4b on the lower side while being held in place. By attaching the a, it is assembled. Thereafter, fixing portions 61b1, 62b1, and 63b1 are formed to which the leaf springs 61a, 62a, and 63a are fixed with the small screws 61d, 62d, and 63d. The plate springs 61a, 62a, 63a to which the suction nozzles 51, 52, 53 are respectively attached are fixed to the fixing portions 61b1, 62b1, 63b1 with small screws 61d, 62d, 63d. Further, the pushing portions 64a2, 64b2, and 64c2 are fixed to the advance / retreat shafts 64a1, 64b1, and 64c1 with machine screws 64a3, 64b3, and 64c3.

この吸着ヘッド１５ａの動作について、以下で図面を用いて詳細に説明する。 The operation of the suction head 15a will be described in detail below with reference to the drawings.

図５は、吸着ヘッド１５ａのノズル部分の断面図であり、第２の吸着ノズル５２がノズルシャフト４ｂの下端に取り付けられた状態を示す。図６は、図５のノズル部分の下面図であり、第１の吸着ノズル５１、第２の吸着ノズル５２および第３の吸着ノズル５３のうち、第２の吸着ノズル５２がノズルシャフト４ｂの下端に取り付けられた状態を示す。図７は、吸着ヘッド１５ａのノズル部分の断面図であり、センターシャフト４が上昇することによってノズル部分全体が上昇するとともに、第２の吸着ノズル５２がノズルシャフト４ｂの下端から外れるとともに、第１の吸着ノズル５１、第２の吸着ノズル５２および第３の吸着ノズル５３がノズルシャフト４ｂの下端より下方に位置した状態を示す。図８は、図７のノズル部分の下面図である。図９は、吸着ヘッド１５ａのノズル部分の断面図であり、第１の吸着ノズル５１が押込部６４ａ２によって押し出されて、ノズルシャフト４ｂの下方に位置した状態を示す。図１０は、図９のノズル部分の下面図である。 FIG. 5 is a cross-sectional view of the nozzle portion of the suction head 15a, showing a state where the second suction nozzle 52 is attached to the lower end of the nozzle shaft 4b. FIG. 6 is a bottom view of the nozzle portion of FIG. 5, and among the first suction nozzle 51, the second suction nozzle 52, and the third suction nozzle 53, the second suction nozzle 52 is the lower end of the nozzle shaft 4b. The state attached to is shown. FIG. 7 is a cross-sectional view of the nozzle portion of the suction head 15a. As the center shaft 4 is raised, the entire nozzle portion is raised, and the second suction nozzle 52 is detached from the lower end of the nozzle shaft 4b. The suction nozzle 51, the second suction nozzle 52, and the third suction nozzle 53 are located below the lower end of the nozzle shaft 4b. FIG. 8 is a bottom view of the nozzle portion of FIG. FIG. 9 is a cross-sectional view of the nozzle portion of the suction head 15a, showing a state where the first suction nozzle 51 is pushed out by the pushing portion 64a2 and is located below the nozzle shaft 4b. FIG. 10 is a bottom view of the nozzle portion of FIG.

ここで、第２の吸着ノズル５２を第１の吸着ノズル５１に交換する際の動作を説明する。 Here, an operation when the second suction nozzle 52 is replaced with the first suction nozzle 51 will be described.

まず、回転駆動手段２が駆動する。回転駆動手段２が駆動すると、センターシャフト４、支持部材６０、第１〜第３の押動手段６４ａ、６４ｂ、６４ｃおよび第１〜第３の吸着ノズル５１、５２、５３は、一体となって、ピン６５ａの下端がちょうど第１の押動手段６４ａの進退軸６４ａ１の真上に位置するように、所定の角度だけノズル中心軸Ａｘ１回りに回転する。これによって、図５および図６に示されるように、ピン６５ａの下方に位置する第１の押動手段６４ａによって押圧される第１の吸着ノズル５１の選択が完了する。 First, the rotation driving means 2 is driven. When the rotation driving means 2 is driven, the center shaft 4, the support member 60, the first to third pushing means 64a, 64b, 64c and the first to third suction nozzles 51, 52, 53 are integrated. The pin 65a rotates about the nozzle center axis Ax1 by a predetermined angle so that the lower end of the pin 65a is positioned just above the advance / retreat shaft 64a1 of the first pushing means 64a. As a result, as shown in FIGS. 5 and 6, the selection of the first suction nozzle 51 to be pressed by the first pushing means 64a located below the pin 65a is completed.

つぎに、昇降駆動手段３が駆動し、センターシャフト４が上昇することによって、サークリップ６６ａ、台座６６、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃ、補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１を介して、上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂの各受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２が押し上げられ、各受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２がブッシュ６７ａの下端面に当接する位置まで上昇する。ブッシュ６７ａはコイルばね６７ｃによって下方に付勢されるので、ブッシュ６７ａはその下端面で上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂの各受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２を下方へ押圧し、センターシャフト４がさらに上昇しても、上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂはブッシュ６７ａの押圧力を受けて上昇せず、ノズルシャフト４ｂに対して相対的に下方へ移動する（図７参照）。 Next, when the elevating drive means 3 is driven and the center shaft 4 is raised, the circlip 66a, the pedestal 66, the first coil springs 61c, 62c, 63c, and the auxiliary urging means 61c1, 62c1, 63c1 are used. The receiving portions 61b2, 62b2, and 63b2 of the vertical movement members 61b, 62b, and 63b are pushed up, and the receiving portions 61b2, 62b2, and 63b2 are lifted to a position where they are in contact with the lower end surface of the bush 67a. Since the bush 67a is urged downward by the coil spring 67c, the bush 67a presses the receiving portions 61b2, 62b2, 63b2 of the vertical movement members 61b, 62b, 63b downward at its lower end surface, and the center shaft 4 further Even if it rises, the vertical movement members 61b, 62b, 63b do not rise due to the pressing force of the bush 67a, but move downward relative to the nozzle shaft 4b (see FIG. 7).

そして、第１の支持部材６１によって支持された第１の吸着ノズル５１、第２の支持部材６２によって支持された第２の吸着ノズル５２および第３の支持部材６３によって支持された第３の吸着ノズル５３は、ノズルシャフト４ｂに対してその下端より下方へ離間しほぼ同一の高さに並ぶ（図７および図８参照）。 The third suction supported by the first suction nozzle 51 supported by the first support member 61, the second suction nozzle 52 supported by the second support member 62, and the third support member 63. The nozzles 53 are spaced downward from the lower end of the nozzle shaft 4b and line up at substantially the same height (see FIGS. 7 and 8).

昇降駆動手段３の駆動力を受けて、さらに、図７の状態からセンターシャフト４が上昇すると、サークリップ６６ａ、台座６６、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃ、補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１を介して押圧されて上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂが上昇する一方、この内の上下動部材６１ｂの上昇に伴い第２のコイルばね６４ａ４を介して押圧される第１の押動手段６４ａの進退軸６４ａ１の頂部膨隆部Ｔが、ピン６５ａの下端によって移動が阻止されるので、第１の押動手段６４ａの進退軸６４ａ１および押込部６４ａ２が、第１の支持部材６１に対して相対的に下方へ移動する。 When the center shaft 4 rises from the state shown in FIG. 7 in response to the driving force of the elevating drive means 3, the circlip 66a, the pedestal 66, the first coil springs 61c, 62c, 63c, and the auxiliary biasing means 61c1, 62c1 , 63c1 is pushed up and the vertically moving members 61b, 62b, 63b are raised, and the first pushing means is pushed through the second coil spring 64a4 as the vertically moving member 61b rises. Since the movement of the top bulge portion T of the advance / retreat shaft 64a1 of the pin 64a is blocked by the lower end of the pin 65a, the advance / retreat shaft 64a1 and the push-in portion 64a2 of the first pushing means 64a are moved relative to the first support member 61. Move relatively downward.

そして、第１の押動手段６４ａの押込部６４ａ２は、板ばね６１ａの外側面をノズル中心軸Ａｘ１へ向けて押圧する。これにより、板ばね６１ａは変形し、第１の吸着ノズル５１がノズルシャフト４ｂの真下に、つまり、ノズルシャフト４ｂの通路４ｂ１と第１の吸着ノズル５１の通路５１ａとが一直線上に並ぶ装着位置に移動する（図９および図１０参照）。 And the pushing part 64a2 of the 1st pushing means 64a presses the outer surface of the leaf | plate spring 61a toward the nozzle central axis Ax1. As a result, the leaf spring 61a is deformed, and the first suction nozzle 51 is located directly below the nozzle shaft 4b, that is, the mounting position where the passage 4b1 of the nozzle shaft 4b and the passage 51a of the first suction nozzle 51 are aligned. (See FIGS. 9 and 10).

つぎに、昇降駆動手段３の駆動により、昇降シャフト４ａおよびノズルシャフト４ｂは、一体となって下降する。このとき、第１〜第３の支持部材６１、６２、６３は、それぞれ、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃ、ならびに、補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１によって上方に付勢されているため、ノズルシャフト４ｂおよび昇降シャフト４ａの下降動作より一歩遅れて下降を開始する。つまり、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃ、補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１のコイルばねの付勢力で、ノズルシャフト４ｂの下降動作と支持部材６０の動作とにずれを生じさせて、ノズルシャフト４ｂに対する吸着ノズルの高さ方向の位置を相対的に変化させる。したがって、ノズルシャフト４ｂの真下に位置し、第１の支持部材６１に支持された第１の吸着ノズル５１は、テーパが形成された上端の凸部５ａがノズルシャフト４ｂの下端部の凹部に装着される。また、第２の吸着ノズル５２および第３の吸着ノズル５３は、ノズルシャフト４ｂに対して相対的に上昇し、ノズルシャフト４ｂの外周面に配備される。 Next, as the elevating drive means 3 is driven, the elevating shaft 4a and the nozzle shaft 4b are lowered integrally. At this time, the first to third support members 61, 62, and 63 are biased upward by the first coil springs 61c, 62c, and 63c and the auxiliary biasing means 61c1, 62c1, and 63c1, respectively. Thus, the nozzle shaft 4b and the elevating shaft 4a start descending one step later than the descending operation. That is, the biasing force of the coil springs of the first coil springs 61c, 62c, 63c and the auxiliary biasing means 61c1, 62c1, 63c1 causes a shift between the lowering operation of the nozzle shaft 4b and the operation of the support member 60, The position of the suction nozzle in the height direction with respect to the nozzle shaft 4b is changed relatively. Therefore, the first suction nozzle 51, which is located directly below the nozzle shaft 4b and supported by the first support member 61, is mounted with the convex portion 5a at the upper end with the taper formed in the concave portion at the lower end portion of the nozzle shaft 4b. Is done. The second suction nozzle 52 and the third suction nozzle 53 rise relative to the nozzle shaft 4b and are arranged on the outer peripheral surface of the nozzle shaft 4b.

こうして、第２の吸着ノズル５２を第１の吸着ノズル５１に交換する動作が完了する。 Thus, the operation of replacing the second suction nozzle 52 with the first suction nozzle 51 is completed.

以上の実施の形態によれば、第１の吸着ノズル５１、第２の吸着ノズル５２および第３の吸着ノズル５３が、センターシャフト４の周面を囲むように配備されている。そして、これらの第１〜第３の吸着ノズル５１、５２、５３のうちの１つが、交換操作手段６によって、センターシャフト４の回転動作およびセンターシャフト４の昇降動作を受けてセンターシャフト４の下端に対して選択的に着脱される。すなわち、第１の吸着ノズル５１、第２の吸着ノズル５２および第３の吸着ノズル５３の内選択されなかったものが、その長手方向を上下方向とした状態でセンターシャフト４の周面に沿って保管され、選択されたものがセンターシャフト４の下端に装着されて、相対的に上方位置となる選択されなかった吸着ノズルが邪魔となることなく部品の吸着・搬送が可能となる。また、吸着ノズル５１、５２、５３の一連の交換作業中も、各吸着ノズル５１、５２、５３はセンターシャフト４の外周面に沿って、その長手方向を上下方向としたコンパクトな状態を維持する。これによって、吸着ヘッド１５ａは常時過度に大型化されることはない。また、第１〜第３の吸着ノズル５１、５２、５３の交換のための駆動装置も、部品の吸着・装着のための昇降駆動装置、部品装着時の部品装着方向を調整するための回転駆動装置を用い、特別なものを追加的に設ける必要もない。しかも、各々の吸着ヘッド１５ａが個別に吸着ノズル交換の一連の作業を完結させることが可能であり、吸着ノズルを保管しておくノズルステーションなどの備品を省くことができるとともに、ノズルステーションまでの移動動作を省くことができるので、ノズルステーション上で吸着ノズルの交換作業を行う場合よりも交換作業が速やかに終了する。 According to the above embodiment, the first suction nozzle 51, the second suction nozzle 52, and the third suction nozzle 53 are arranged so as to surround the peripheral surface of the center shaft 4. Then, one of these first to third suction nozzles 51, 52, 53 is subjected to the rotation operation of the center shaft 4 and the raising / lowering operation of the center shaft 4 by the exchange operation means 6, and the lower end of the center shaft 4. Is selectively attached and detached. That is, the first suction nozzle 51, the second suction nozzle 52, and the third suction nozzle 53 that have not been selected are arranged along the peripheral surface of the center shaft 4 with the longitudinal direction thereof being the vertical direction. The stored and selected ones are mounted on the lower end of the center shaft 4 so that the parts can be picked up and transported without being obstructed by the picked-up suction nozzles which are relatively positioned. Further, even during a series of replacement operations of the suction nozzles 51, 52, 53, the suction nozzles 51, 52, 53 maintain a compact state in which the longitudinal direction is the vertical direction along the outer peripheral surface of the center shaft 4. . Accordingly, the suction head 15a is not always excessively enlarged. Further, the drive device for exchanging the first to third suction nozzles 51, 52, 53 is also a lifting drive device for sucking and mounting parts, and a rotational drive for adjusting the component mounting direction when mounting the components. There is no need to use a device and additionally provide anything special. In addition, each suction head 15a can individually complete a series of operations for exchanging the suction nozzles, so that equipment such as a nozzle station for storing the suction nozzles can be omitted and moved to the nozzle station. Since the operation can be omitted, the replacement work is completed more quickly than when the suction nozzle is replaced on the nozzle station.

なお、上記実施の形態では、表面実装機のヘッドユニット１５に備えられた吸着ヘッド１５ａについて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、部品を吸着する吸着ノズルを設けた吸着ヘッドを備え、移動可能なヘッドユニットを含む他の部品移載装置の吸着ヘッドに対して、本発明の吸着ヘッドを適用する形態であってもよい。たとえば、未検査部品を供給する未検査部品供給部と、基台上の所定の位置で、部品の検査を行う検査ソケット等の検査手段と、検査手段による検査が終了した部品を収納する検査終了部品収納部とを備え、未検査部品供給部から検査手段への部品の移載、および検査手段から検査終了部品収納部への部品の移載をヘッドユニットにより行う、電子部品の性能を検査するＩＣハンドラー（部品検査装置）において、そのヘッドユニットに備えられる吸着ヘッドに対して本発明の吸着ヘッドを適用する形態であってもよい。この場合、ＩＣハンドラー（部品検査装置）は、部品供給部に配置した部品供給用のトレイから部品を吸着して検査手段へ移載するとともに、検査が終了した部品を検査終了部品収納用トレイに移載する処理を同じヘッドユニットにより行なうようになっているものでもよいし、検査が終了した部品を所定の受渡部でヘッドユニットから別の搬送手段に受け渡して、この別の搬送手段で検査終了部品収納用トレイに移載するようになっているものでもよい。前者であれば、上記検査終了部品収納用トレイが検査終了部品収納部に相当し、後者であれば上記受渡部が検査終了部品収納部に相当する。 In the above embodiment, the suction head 15a provided in the head unit 15 of the surface mounter has been described. However, the present invention is not limited to this, and the suction head provided with a suction nozzle for sucking components. The suction head of the present invention may be applied to a suction head of another component transfer device including a movable head unit. For example, an uninspected part supply unit for supplying uninspected parts, an inspection means such as an inspection socket for inspecting parts at a predetermined position on the base, and an end of inspection for storing parts that have been inspected by the inspection means Inspecting the performance of an electronic component comprising a component storage unit, wherein the head unit transfers the component from the uninspected component supply unit to the inspection unit and transfers the component from the inspection unit to the inspection-completed component storage unit. In the IC handler (component inspection apparatus), the suction head of the present invention may be applied to the suction head provided in the head unit. In this case, the IC handler (component inspection apparatus) picks up the component from the component supply tray arranged in the component supply unit and transfers it to the inspection means, and also transfers the inspection completed component to the inspection completed component storage tray. The transfer process may be performed by the same head unit, or the inspection-completed part is transferred from the head unit to another transfer means at a predetermined delivery unit, and the inspection is completed by this other transfer means. It may be transferred to the component storage tray. In the former case, the inspection completion component storage tray corresponds to the inspection completion component storage portion, and in the latter case, the delivery portion corresponds to the inspection completion component storage portion.

また、上記実施の形態では、第１〜第３の吸着ノズル５１、５２、５３を板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａで保持し、板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａを押圧して変形させることで、吸着ノズルを待機位置から装着位置に移動させた形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。図１１は、吸着ノズルを支持するための支持部材の他の形態を示す図である。たとえば、図１１に示されるように、板ばねの代わりに、上下動部材の下部に支持軸２００を介して支持部材６１〜６３を回動可能に支持し、支持軸２００の周りに各支持部材６１〜６３をそれぞれノズルシャフト４ｂの周面から離れるように付勢するコイルスプリングＣｓなどを配置し、各支持部材６１〜６３は側面視で略Ｌ字上の部材で吸着ノズルを保持する形態であってもよい。 In the above embodiment, the first to third suction nozzles 51, 52, and 53 are held by the leaf springs 61a, 62a, and 63a, and the leaf springs 61a, 62a, and 63a are pressed and deformed. Although the embodiment in which the nozzle is moved from the standby position to the mounting position has been described, the present invention is not limited to this. FIG. 11 is a view showing another form of a support member for supporting the suction nozzle. For example, as shown in FIG. 11, instead of a leaf spring, support members 61 to 63 are rotatably supported via a support shaft 200 at the lower part of the vertical movement member, and each support member is provided around the support shaft 200. Coil springs Cs and the like for urging 61 to 63 away from the peripheral surface of the nozzle shaft 4b are arranged, and the support members 61 to 63 are members that are substantially L-shaped in a side view and hold the suction nozzle. There may be.

また、上記実施の形態では、板ばねの外側面を押込部の円弧状の面でノズル中心軸Ａｘ１へ向けて押圧した形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。図１２は、押込部６４ａ２、６４ｂ２と支持部材の位置関係が異なる他の形態を示す図である。たとえば、図１２に示されるように、支持部材６１、６２よりも内側に押動手段６４を配置して、吸着ノズルを保持する部材の姿勢を変化させる形態であってもよい。この場合、押込部６４ａ２、６４ｂ２の円弧状の面は、ノズルシャフト４ｂの外方を向けて設けられ、押込部６４ａ２が下方に下がった状態で支持部材６１はノズル中心軸Ａｘ１から離れる方向に押圧され、吸着ノズル５１が待機位置に位置する。また、押込部６４ｂ２が上方に上がった状態で、支持軸２００の周りに配置されノズル中心軸Ａｘ１に近づく方向に支持部材６２を付勢するコイルスプリングＣｓによって、支持部材６２が押圧され、吸着ノズル５２が装着位置に位置する。 Moreover, although the said embodiment demonstrated the form which pressed the outer surface of the leaf | plate spring toward the nozzle center axis | shaft Ax1 with the circular-arc-shaped surface of the pressing part, this invention is not limited to this. FIG. 12 is a diagram showing another embodiment in which the positional relationship between the pushing portions 64a2 and 64b2 and the support member is different. For example, as shown in FIG. 12, the pushing means 64 may be disposed inside the support members 61 and 62 to change the posture of the member that holds the suction nozzle. In this case, the arcuate surfaces of the pushing portions 64a2 and 64b2 are provided facing the outside of the nozzle shaft 4b, and the support member 61 is pushed away from the nozzle center axis Ax1 in a state where the pushing portion 64a2 is lowered downward. Then, the suction nozzle 51 is located at the standby position. In addition, with the pushing portion 64b2 raised upward, the support member 62 is pressed by the coil spring Cs that is disposed around the support shaft 200 and biases the support member 62 in a direction approaching the nozzle center axis Ax1, and the suction nozzle 52 is located at the mounting position.

また、上記実施の形態では、吸着ノズル５として第１の吸着ノズル５１、第２の吸着ノズル５２および第３の吸着ノズル５３の３つを備えた形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、吸着ノズルの数は２つであってもよいし、４つ以上であってもよい。 Moreover, although the said embodiment demonstrated the form provided with three of the 1st suction nozzle 51, the 2nd suction nozzle 52, and the 3rd suction nozzle 53 as the suction nozzle 5, this invention is limited to this. The number of suction nozzles may be two, or four or more.

表面実装機の平面図である。It is a top view of a surface mounter. ヘッドユニットに備えられた複数の吸着ヘッドの側面図である。It is a side view of a plurality of adsorption heads provided in the head unit. ノズル部分を説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating a nozzle part. 吸着ヘッドの全体を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the whole suction head. 吸着ヘッドのノズル部分の断面図であり、第２の吸着ノズルがノズルシャフトの下端に取り付けられた状態を示す。It is sectional drawing of the nozzle part of a suction head, and shows the state with which the 2nd suction nozzle was attached to the lower end of a nozzle shaft. 図５のノズル部分の下面図であり、第１の吸着ノズル、第２の吸着ノズルおよび第３の吸着ノズルのうち、第２の吸着ノズルがノズルシャフトの下端に取り付けられた状態を示す。FIG. 6 is a bottom view of the nozzle portion of FIG. 5, showing a state in which the second suction nozzle among the first suction nozzle, the second suction nozzle, and the third suction nozzle is attached to the lower end of the nozzle shaft. 吸着ヘッドのノズル部分の断面図であり、ノズル部分全体が上昇するとともに、第２の吸着ノズルがノズルシャフトの下端から外れた状態を示す。It is sectional drawing of the nozzle part of a suction head, and while the whole nozzle part raises, the 2nd suction nozzle has shown the state removed from the lower end of the nozzle shaft. 図７のノズル部分の下面図であり、第１の吸着ノズル、第２の吸着ノズルおよび第３の吸着ノズルがほぼ同じ高さにある状態を示す。FIG. 8 is a bottom view of the nozzle portion of FIG. 7, showing a state where the first suction nozzle, the second suction nozzle, and the third suction nozzle are at substantially the same height. 吸着ヘッドのノズル部分の断面図であり、第１の吸着ノズルが押込部によって押し出されて、ノズルシャフトの下方に位置した状態を示す。It is sectional drawing of the nozzle part of a suction head, and shows the state where the 1st suction nozzle was pushed out by the pushing part, and was located under the nozzle shaft. 図８のノズル部分の下面図であり、第１の吸着ノズル、第２の吸着ノズルおよび第３の吸着ノズルのうち、第１の吸着ノズルがノズルシャフトの下端に取り付けられた状態を示す。FIG. 9 is a bottom view of the nozzle portion of FIG. 8, showing a state in which the first suction nozzle among the first suction nozzle, the second suction nozzle, and the third suction nozzle is attached to the lower end of the nozzle shaft. 吸着ノズルを支持するための支持部材の他の形態を示す図である。It is a figure which shows the other form of the supporting member for supporting a suction nozzle. 押込部と支持部材の位置関係が異なる他の形態を示す図である。It is a figure which shows the other form from which the positional relationship of a pushing part and a supporting member differs.

Explanation of symbols

４センターシャフト
５吸着ノズル
６交換操作手段
１０基台
１２部品供給部
１５ヘッドユニット
１５ａ吸着ヘッド
６０支持部材（支持手段）
６４押動手段
６５選択手段
６７吸着ノズル押し下げ手段（高さ調整手段）
Ａｘ１ノズル中心軸（軸線） 4 Center shaft 5 Suction nozzle 6 Replacement operation means 10 Base 12 Parts supply unit 15 Head unit 15a Suction head 60 Support member (support means)
64 pushing means 65 selecting means 67 suction nozzle pushing means (height adjusting means)
Ax1 nozzle central axis (axis)

Claims

A suction head provided in a head unit movable between a component supply unit and a component mounting unit,
A center shaft that has a hollow elongated shape formed with a passage to which a negative pressure for suction of components is formed, can rotate around its axis, and can be raised and lowered over a predetermined range;
A plurality of suction nozzles disposed along a circumferential surface of the center shaft and selectively attached to and detached from a lower end of the center shaft;
In response to the ascending operation of the center shaft, the suction nozzle attached to the lower end of the center shaft is detached, and in response to the rotation operation of the center shaft, one of the plurality of suction nozzles is selected. And an exchange operation means configured to receive the lowering operation of the center shaft and to attach the selected suction nozzle to the lower end of the center shaft ,
The exchange operation means includes
Support means for supporting the plurality of suction nozzles along the peripheral surface of the center shaft, respectively;
A height adjusting means for restricting the raising of the support means when the center shaft is raised, and for displacing the support means downward relative to the center shaft;
Provided for each of the plurality of suction nozzles, can be displaced up and down relatively with respect to the center shaft, and the suction nozzle is moved below the center shaft in accordance with a relative displacement downward with respect to the center shaft. A pushing means for pushing to the mounting position,
It selectively corresponds to one of the pushing means according to the rotational position of the center shaft, and the pushing means is moved downward relative to the center shaft in response to a rise of a predetermined amount or more of the center shaft. A suction head comprising: selection means for pressing so as to be displaced .

2. The suction head according to claim 1, wherein the suction nozzle is formed with a convex portion that can be engaged with a lower end of the center shaft at an upper portion .

The base,
A component supply unit for supplying components on the base;
A plurality of suction heads according to claim 1 or 2 that hold the parts supplied by the parts supply unit, and are supported so as to be movable in a horizontal direction in order to transport the parts to a predetermined position on the base. Component transfer device including a head unit .

The component transfer device is
Comprising substrate transport means for transporting the substrate to a predetermined position on the base;
4. The component transfer apparatus according to claim 3, wherein the component mounting apparatus is a surface mounter configured to mount a component sucked from the component supply unit on the substrate by a suction nozzle of the suction head .

The component transfer device is
An uninspected part supply unit for supplying uninspected parts;
Inspection means for inspecting parts at a predetermined position on the base;
An inspection completion component storage unit for storing a component that has been inspected by the inspection means
It is a component inspection apparatus in which the transfer of components from the uninspected component supply unit to the inspection unit and the transfer of components from the inspection unit to the inspection-terminated component storage unit are performed by the head unit. The component transfer apparatus according to claim 3, wherein: