JP2019160908A - 酸素濃度評価方法 - Google Patents
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Abstract
Description
低温PL法による酸素濃度定量方法は、特許文献1に2通りの方法が開示されている。第一の方法は、試料に電子線、および炭素イオンまたは酸素イオンを照射することで複合欠陥を形成させ、その複合欠陥に起因するルミネッセンス強度を測定し、その強度から酸素濃度を定量する方法である。第二の方法は、試料に大量の炭素イオンビームを照射して複合欠陥を形成させ、その複合欠陥に起因するルミネッセンス強度を測定し、その強度から酸素濃度を定量する方法である。
特許文献2には、シリコン単結晶に電子線を照射することで導入される格子間シリコン(I)由来のルミネッセンススペクトル(W線)をシリコン由来の発光線(TO線)で規格化した値と、シリコン単結晶中の炭素濃度の間で検量線を作成し、ルミネッセンス法で得られたW線/TO線から、炭素濃度を定量する方法が開示されている。
特許文献3には、シリコン単結晶中に炭素及び酸素以外のイオンを注入し、これにより形成される格子間炭素またはCi−Cs、またはCi−Oiのルミネッセンススペクトル強度と、炭素濃度の間で検量線を作成し、炭素関連複合欠陥のスペクトル強度から、炭素濃度を定量する方法が開示されている。
また、前述したように、シリコン単結晶中の酸素濃度測定方法としてFT−IR法やSIMS法が一般的であるが、それらの方法は感度が悪く、その検出下限値は、FT−IR法は0.07(ppma−JEITA)、SIMS法は0.02(ppma)である。
前記シリコン単結晶に、所定照射量の電子線、または、所定照射量の炭素および酸素以外のイオンビームを照射して、前記シリコン単結晶中に形成させた、格子間炭素Ciと格子間酸素Oiの複合欠陥Ci−Oiに由来する発光線(C線)の強度と格子間炭素Ciと置換型炭素Csの複合欠陥Ci−Csに由来する発光線(G線)の強度を所定温度で測定し、該C線とG線との強度比(Ci−Oi強度/Ci−Cs強度)を求め、
前記酸素濃度[Oi]を、
前記強度比(Ci−Oi強度/Ci−Cs強度)と前記シリコン単結晶中の炭素濃度[Cs]を下記式
[Oi]=α・(Ci−Oi強度/Ci−Cs強度)・[Cs](ここで、αは比例定数)
に代入して評価することを特徴とする酸素濃度評価方法を提供する。
酸素濃度および炭素濃度が既知のシリコン単結晶である試験結晶を用意し、
該試験結晶に、前記所定照射量の電子線、または、前記所定照射量の炭素および酸素以外のイオンビームを照射して、前記試験結晶中に形成させた、C線の強度とG線の強度を所定温度で測定し、該試験結晶におけるC線とG線との強度比(Ci−Oi強度/Ci−Cs強度)を求め、
前記試験結晶における前記酸素濃度および前記炭素濃度と、前記試験結晶におけるC線とG線との強度比(Ci−Oi強度/Ci−Cs強度)と、前記式とから、前記比例定数αの値を求めておくことができる。
前記比例定数αの値を2.25×10−15とすることができる。
前記比例定数αの値を3.55×10−15とすることができる。
まず、シリコン単結晶中の炭素濃度や、炭素関連複合欠陥であるCi−Oi(C線)とCi−Cs(G線)の強度比(Ci−Oi強度/Ci−Cs強度)から、シリコン単結晶中の酸素濃度を評価することができる式(酸素濃度関係式)を本発明者らが導出した過程を説明する。
なお、[Oi]は格子間酸素濃度(単に酸素濃度ともいう)、[Cs]は置換型炭素濃度(単に炭素濃度ともいう)、[Ci]は格子間炭素濃度、[CiCs]はG線強度(Ci―Cs強度)、[CiOi]はC線強度(Ci−Oi強度)を表す。
予備試験について説明する。
先に述べたように、式(5)の比例定数αの値は、サンプル温度、電子線照射条件、イオンビーム照射条件によって異なる。そこで、まず、酸素濃度および炭素濃度が既知のシリコン単結晶である試験結晶を用意し、本試験と同じ条件(所定温度のサンプル温度、所定照射量の電子線またはイオンビーム(炭素および酸素以外))で照射・測定を行い、C線とG線の強度比(Ci−Oi強度/Ci−Cs強度)を求める。そして、試験結晶における酸素濃度および炭素濃度と、試験結晶におけるC線とG線との強度比(Ci−Oi強度/Ci−Cs強度)と、式(5)とから、比例定数αの値を求める。
本試験での種々の条件に応じて、予め、予備試験でその本試験の条件と同様の条件とした時の比例定数αを取得することができ、それにより本試験で、より高精度に酸素濃度を評価することができる。
CZ法により、炭素濃度、および酸素濃度が異なるシリコン単結晶基板(試験結晶サンプル)を15水準用意した。
炭素濃度が異なるシリコン単結晶基板を用意した理由は、異なる炭素濃度でも1つの関係式から酸素濃度を定量できる事を検証する為である。なお、酸素濃度をより確実にFT−IRで検出できるようにするため、またC線の形成に使われるCiが多くなり、G線のS/N比が悪くなるのをより確実に防ぐため、シリコン単結晶基板の酸素濃度範囲は、ここでは3〜17(ppma−JEITA)で準備した。
次に、これらのサンプルの炭素濃度をSIMS法、酸素濃度をFT−IR法で測定した。
その後、電子線照射装置により各シリコン単結晶基板に2(MV)の加速電圧で1.0×1015(electrons/cm2)の電子線を照射し、シリコン単結晶基板にCi−Cs、およびCi−Oiを形成させ、それらのピーク強度をフォトルミネッセンス法で測定した。この測定時のサンプル温度は液体ヘリウム温度とした。
比例定数αはほぼ一定の値となったため、αとして上記15水準のサンプルの平均値とし、2.25×10−15が得られた。ここで、それぞれの単位は、炭素濃度が(atoms/cm3)、酸素濃度が(ppma−JEITA)、G線強度、C線強度が相対値(a.u.)である。
以上により、この条件の場合における酸素濃度関係式(6)が求まった。
次に、本試験について説明する。
本発明において、まず、評価用サンプルであるシリコン単結晶基板を用意する(工程1)。このシリコン単結晶基板は特に限定されず、例えばチョクラルスキー法(CZ法)によるものや、フローティングゾーン法(FZ法)によるものとすることができる。
なお、酸素濃度を評価するにあたって、炭素濃度は後の工程において測定して上記のような関係式に代入するが、その測定の際に例えばFT−IRやSIMSなどでより確実に検出して測定可能なように、例えば1.0×1014(atoms/cm3)以上のものが好ましい。すなわち1.0×1014(atoms/cm3)以上のものとすることで、より精度高く炭素濃度を求める事ができ、そのため、本発明において求められる酸素濃度の精度も上げる事ができる。
また、酸素濃度自体は特に限定されるものではない。
また、電子線照射量は、例えば2.5×1014〜2.5×1016(electrons/cm2)の範囲とすることができる。この範囲の照射量とすることにより、電子線照射量が少な過ぎてCi−CsやCi−Oiが形成されない等の問題が生じるのをより確実に防ぐことができる。また、電子線照射量が多過ぎてシリコンの格子が乱れ、G線やC線のS/N比が悪くなることをより確実に防ぐ事ができる。
式(5)の比例定数αの値は、本試験と同様の条件下(所定温度のサンプル温度、所定照射量の電子線、または、所定照射量の炭素および酸素以外のイオンビーム)において予備試験で求めた比例定数αの値を用いることができる。
一方、シリコン単結晶に照射するときの電子線の所定照射量を1.0×1015(electrons/cm2)とし、C線の強度とG線の強度を測定するときの所定温度を液体窒素温度としたとき、予備試験を行うことなく、比例定数αの値を3.55×10−15とすることができる。
上記条件の下では、予備試験・検量線の作成を必要とせずに比例定数αを決定することができ、より簡便に酸素濃度を評価することができる。なお、当然、比例定数αはこれらに限定されるものではない。
さらに、この方法で定量できる酸素濃度に制限はなく、あらゆる範囲の酸素濃度を定量できる。例えば酸素濃度の検出下限値は、FT−IR法では0.07(ppma−JEITA)、SIMS法では0.02(ppma)であるが、本発明の酸素濃度評価方法では、これらの検出下限値以下の酸素濃度を定量できる。
(実施例)
本発明の酸素濃度評価方法を行い、評価対象のシリコン単結晶における酸素濃度を評価した。
ここで扱うサンプルの温度は全て液体ヘリウム温度とし、また電子線照射条件は、加速電圧2(MV)、照射量1.0×1015(electrons/cm2)とした。
予備試験の実施により式(5)のαの値を求めることもできるが、上記条件においては、先の具体例で既に判明していることもあり、比例定数αの値を2.25×10−15とした。すなわち、ここでは式(6)を用いることにした。
次に、SIMS法で酸素濃度測定用サンプルの炭素濃度を測定した。その結果、105枚のサンプルの炭素濃度は、1.0×1014〜7.3×1015(atoms/cm3)の範囲内であった。
続いて、酸素濃度測定用サンプルに対して電子線照射装置で電子線を照射した(加速電圧2(MV)、照射量1.0×1015(electrons/cm2))。電子線が照射された酸素濃度測定用サンプルに対し、フォトルミネッセンス測定装置を用いてサンプル温度を液体ヘリウム温度として発光スペクトルを測定し、G線強度、C線強度を得た。
これらの値を上記関係式(6)に代入し、各々の酸素濃度測定用サンプルの酸素濃度を算出した。
実施例と同様の酸素濃度測定用サンプルを用意し、それらの酸素濃度を、FT−IR法およびSIMS法により評価した。
ここで、FT−IR法では0.07(ppma−JEITA)未満の酸素濃度を定量できないため、実施例での酸素濃度が0.07(ppma−JEITA)未満のサンプルの評価データは、別途、図4に示した。
さらには、別の電子線照射条件、サンプル温度にて、予備試験を行って比例定数αを求めるとともに本試験を行って酸素濃度を求めたところ、やはり同様の結果が得られた。
Claims (6)
- シリコン単結晶中の酸素濃度をフォトルミネッセンス法またはカソードルミネッセンス法により評価する酸素濃度評価方法であって、
前記シリコン単結晶に、所定照射量の電子線、または、所定照射量の炭素および酸素以外のイオンビームを照射して、前記シリコン単結晶中に形成させた、格子間炭素Ciと格子間酸素Oiの複合欠陥Ci−Oiに由来する発光線(C線)の強度と格子間炭素Ciと置換型炭素Csの複合欠陥Ci−Csに由来する発光線(G線)の強度を所定温度で測定し、該C線とG線との強度比(Ci−Oi強度/Ci−Cs強度)を求め、
前記酸素濃度[Oi]を、
前記強度比(Ci−Oi強度/Ci−Cs強度)と前記シリコン単結晶中の炭素濃度[Cs]を下記式
[Oi]=α・(Ci−Oi強度/Ci−Cs強度)・[Cs](ここで、αは比例定数)
に代入して評価することを特徴とする酸素濃度評価方法。 - 前記酸素濃度を評価するとき、予め、
酸素濃度および炭素濃度が既知のシリコン単結晶である試験結晶を用意し、
該試験結晶に、前記所定照射量の電子線、または、前記所定照射量の炭素および酸素以外のイオンビームを照射して、前記試験結晶中に形成させた、C線の強度とG線の強度を所定温度で測定し、該試験結晶におけるC線とG線との強度比(Ci−Oi強度/Ci−Cs強度)を求め、
前記試験結晶における前記酸素濃度および前記炭素濃度と、前記試験結晶におけるC線とG線との強度比(Ci−Oi強度/Ci−Cs強度)と、前記式とから、前記比例定数αの値を求めておくことを特徴とする請求項1に記載の酸素濃度評価方法。 - 前記シリコン単結晶に照射するときの電子線の所定照射量を1.0×1015(electrons/cm2)とし、前記C線の強度とG線の強度を測定するときの所定温度を液体ヘリウム温度とし、前記炭素濃度の単位を(atoms/cm3)とし、前記酸素濃度の単位を(ppma−JEITA)とし、前記C線強度およびG線強度を相対値としたとき、
前記比例定数αの値を2.25×10−15とすることを特徴とする請求項1に記載の酸素濃度評価方法。 - 前記シリコン単結晶に照射するときの電子線の所定照射量を1.0×1015(electrons/cm2)とし、前記C線の強度とG線の強度を測定するときの所定温度を液体窒素温度とし、前記炭素濃度の単位を(atoms/cm3)とし、前記酸素濃度の単位を(ppma−JEITA)とし、前記C線強度およびG線強度を相対値としたとき、
前記比例定数αの値を3.55×10−15とすることを特徴とする請求項1に記載の酸素濃度評価方法。 - 前記シリコン単結晶に照射する炭素および酸素以外のイオンビームを、ボロン、リン、砒素、アンチモン、水素、ヘリウム、アルゴン、ゲルマニウム、フッ素、窒素、シリコン、アルミニウム、インジウム、キセノンのうちのいずれか1つまたは複数のイオンビームとすることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の酸素濃度評価方法。
- 前記シリコン単結晶中の炭素濃度を、1.0×1014(atoms/cm3)以上とすることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の酸素濃度評価方法。
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