JP2019160854A - Component mounting method and component mounting line - Google Patents

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Hitoshi Kaneko
仁 金子
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Toshihiko Tsujikawa
俊彦 辻川
昭嘉 田栗
Akiyoshi Takuri
昭嘉 田栗
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Abstract

To provide a component mounting method and a component mounting line improving the mounting accuracy of component, by calculating a correction value considering the worked facility configuration for every board.SOLUTION: On the basis of inspection information associating the board identification information with inspection results obtained by inspecting the position of a component 3 crimped to the board 2, the board identification information for identifying the inspected board 2, and the transportation stage information transported the inspected board 2, a correction value for correcting the relative position of the right side transportation stage 55R for transporting the right side board 2 and a right side crimp tool 51R for crimping the component 3 to the right side board 2, or the relative position of the left side transportation stage 55L for transporting the left side board 2 and a left side crimp tool 51L for crimping the component 3 to the left side board 2 is calculated. Mounting position is corrected when mounting the component 3 on the board 2, with the correction value calculated based on the transportation stage information.SELECTED DRAWING: Figure 12

Description

本発明は、基板に搭載した部品を圧着ツールにより圧着する部品実装方法及び部品実装ラインに関する。   The present invention relates to a component mounting method and a component mounting line for crimping a component mounted on a substrate with a crimping tool.

液晶パネル基板を製造するための装置では、基板に端部に接着として異方性導電部材のACF(Anisotropic Conductive Film)テープを貼着するACF貼着部、基板のACFテープが貼着された部分に部品を搭載する部品搭載部、部品搭載部において部品が搭載れた基板にその部品を圧着する部品圧着部を備えている。特許文献1には、部品実装装置の後側に連結される検査装置で検査した結果から基板に対する部品の搭載位置の位置ずれを補正する補正値を算出し、補正値を用いて部品搭載作業部で部品を搭載することが記載されている。   In an apparatus for manufacturing a liquid crystal panel substrate, an ACF adhering portion for adhering an anisotropic conductive film (ACF) tape of an anisotropic conductive member as an adhesive to the end portion of the substrate, and a portion where the ACF tape of the substrate is adhered A component mounting portion for mounting the component on the board, and a component crimping portion for crimping the component to the board on which the component is mounted in the component mounting portion. In Patent Document 1, a correction value for correcting a displacement of a component mounting position with respect to a substrate is calculated from a result of inspection by an inspection device connected to the rear side of the component mounting device, and the component mounting work unit is calculated using the correction value. It is described that the parts are mounted.

特開平9−17825号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-17825

しかしながら、生産性を向上させるために複数の基板を一度に搬送する搬送部や、複数基板を圧着できる圧着機構を有する部品圧着部を備える設備構成の部品実装装置では、基板ごとに作業した設備構成を考慮して補正値を算出しないと位置ずれ量が増加するおそれがある。   However, in order to improve productivity, a component mounting device having a component configuration that includes a conveyance unit that conveys a plurality of substrates at a time and a component crimping unit that has a crimping mechanism capable of crimping a plurality of substrates. If the correction value is not calculated in consideration of the above, the amount of misalignment may increase.

そこで本発明は、基板ごとに作業した設備構成に考慮した補正値を算出して部品の実装精度を向上させた部品実装方法及び部品実装ラインを提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a component mounting method and a component mounting line in which a correction value is calculated in consideration of the equipment configuration worked for each board to improve the component mounting accuracy.

本発明の部品実装方法は、基板に部品を搭載する部品搭載部及び前記部品が搭載された2つの前記基板を第1搬送ステージと第2搬送ステージで搬送し第1圧着手段と第2圧着手段で前記部品を前記2つの基板それぞれに圧着する部品圧着部を備えた部品実装装置と、前記2つの基板それぞれに圧着された前記部品の位置を検査する検査装置とを有する部品実装ラインにおける部品実装方法であって、前記部品搭載部に前記基板を搬送する第1搬送工程と、前記部品搭載部により前記基板に前記部品を搭載する部品搭載工程と、前記基板を搬送させる搬送ステージの情報である搬送ステージ情報に基づいて、一方の前記基板を前記第1搬送ステージで前記部品圧着部に搬送し他方の前記基板を第2搬送ステージで前記部品圧着部に搬送する第2搬送工程と、一方の前記基板に搭載された前記部品を前記第1圧着手段で圧着する第1圧着工程と、他方の前記基板に搭載された前記部品を前記第2圧着手段で圧着する第2圧着工程と、前記基板に圧着された前記部品の位置を検査する検査工程と、前記検査工程における検査結果と、検査した前記基板を識別する基板識別情報及び検査した前記基板の前記搬送ステージ情報とに基づいて、前記第1搬送ステージと前記第1圧着手段との相対位置又は前記第2搬送ステージと前記第2圧着手段との相対位置を補正する補正値を算出する補正値算出工程と、前記基板の前記搬送ステージ情報に基づき、算出した前記補正値で前記部品搭載工程での搭載位置を補正する搭載位置補正工程とを含む。   In the component mounting method of the present invention, a component mounting portion for mounting a component on a substrate and two substrates on which the component is mounted are transported by a first transport stage and a second transport stage, and a first crimping unit and a second crimping unit. Component mounting in a component mounting line having a component mounting device having a component crimping section that crimps the component to each of the two substrates, and an inspection device that inspects the position of the component crimped to each of the two substrates. The method includes a first transfer step of transferring the substrate to the component mounting unit, a component mounting step of mounting the component on the substrate by the component mounting unit, and information of a transfer stage for transferring the substrate. Based on the transport stage information, one of the substrates is transported to the component crimping section by the first transport stage, and the other substrate is transported to the component crimping section by the second transport stage. A first crimping step of crimping the component mounted on one of the substrates by the first crimping means; and a second crimping of the component mounted on the other substrate by the second crimping means. A crimping step, an inspection step for inspecting the position of the component crimped to the substrate, an inspection result in the inspection step, substrate identification information for identifying the inspected substrate, and the transport stage information of the inspected substrate A correction value calculating step for calculating a correction value for correcting a relative position between the first transfer stage and the first pressure bonding unit or a relative position between the second transfer stage and the second pressure bonding unit; And a mounting position correction step of correcting a mounting position in the component mounting step with the calculated correction value based on the transfer stage information of the substrate.

本発明の部品実装ラインは、基板に部品を搭載する部品搭載部及び前記基板に搭載された前記部品を圧着する部品圧着部を備えた部品実装装置と、前記基板に圧着された前記部品の位置を検査する検査装置とを有する部品実装ラインであって、前記部品実装装置は、前記部品搭載部に前記基板を搬送する第1搬送手段と、前記部品圧着部に2つの前記基板を搬送する第2搬送手段とを備え、前記部品圧着部は、一方の前記基板に搭載された前記部品を圧着する第1圧着手段と他方の前記基板に搭載された前記部品を圧着する第2圧着手段とを有し、前記第2搬送手段は、前記第1圧着手段に一方の前記基板を搬送する第1搬送ステージと、前記第2圧着手段に他方の前記基板を搬送する第2搬送ステージとを有し、前記部品搭載部と前記第1搬送手段を相対的に制御して搭載位置を制御する搭載制御部と、前記検査装置から検査情報を取得する検査情報取得部と、前記検査情報取得部が取得した検査情報から補正値を算出する補正値算出部と、搬送される搬送ステージの情報が関連づけられた前記基板を識別する基板識別情報を記憶する記憶部とを備え、前記検査装置は、前記基板に圧着された前記部品の位置を検査する検査部と、前記検査部が前記部品の位置を検査した検査結果を前記基板識別情報と関連づけて検査情報として出力する検査情報出力部とを備え、前記補正値算出部は、前記検査情報と、前記基板識別情報と、検査された前記基板を搬送した搬送ステージ情報とに基づいて、前記第1搬送ステージと前記第1圧着手段との相対位置又は前記第2搬送ステージと前記第2圧着手段との相対位置を補正する補正値を算出し、前記搭載制御部は、前記基板の前記搬送ステージ情報に基づき、算出された前記補正値で前記部品搭載部と前記第1搬送手段との相対位置を制御する。   The component mounting line according to the present invention includes a component mounting unit that includes a component mounting unit that mounts a component on a substrate, a component crimping unit that crimps the component mounted on the substrate, and a position of the component that is crimped to the substrate. The component mounting line includes a first transport unit that transports the substrate to the component mounting unit, and a second transport unit that transports the two substrates to the component crimping unit. 2 parts, and the component crimping section includes a first crimping unit that crimps the component mounted on one of the substrates and a second crimping unit that crimps the component mounted on the other substrate. And the second transfer means has a first transfer stage for transferring one of the substrates to the first pressure bonding means, and a second transfer stage for transferring the other substrate to the second pressure bonding means. , The component mounting portion and the first A correction value is calculated from the mounting control unit that controls the mounting position by relatively controlling the sending unit, the inspection information acquiring unit that acquires the inspection information from the inspection apparatus, and the inspection information acquired by the inspection information acquisition unit. A correction value calculation unit; and a storage unit that stores substrate identification information for identifying the substrate associated with information on a transport stage to be transported, and the inspection apparatus determines a position of the component that is press-bonded to the substrate. An inspection unit that inspects, and an inspection information output unit that outputs an inspection result obtained by inspecting the position of the component by the inspection unit in association with the board identification information, and the correction value calculation unit includes the inspection information. And the relative position between the first transfer stage and the first pressure-bonding means or the second transfer stage based on the substrate identification information and the transfer stage information that transferred the inspected substrate. The correction value for correcting the relative position with respect to the two crimping means is calculated, and the mounting control unit is configured to calculate the correction value based on the transfer stage information of the substrate and the component mounting unit and the first transfer unit. Control the relative position of.

本発明によれば、基板ごとに作業した設備構成に考慮した補正値を算出して部品の実装精度を向上させることができる。   According to the present invention, it is possible to improve a component mounting accuracy by calculating a correction value considering the equipment configuration worked for each board.

本発明の一実施の形態における部品実装ラインの平面図The top view of the component mounting line in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における部品実装ラインによる基板に部品を実装する作業の進行手順を示す図The figure which shows the advancing procedure of the operation | work which mounts components in the board | substrate by the component mounting line in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における部品実装ラインが備える基板移送体の斜視図The perspective view of the board | substrate transfer body with which the component mounting line in one embodiment of this invention is provided (a)(b)本発明の一実施の形態における部品実装ラインが備えるACF貼着部の斜視図(A) (b) Perspective view of ACF sticking part with which component mounting line in one embodiment of this invention is provided. (a)(b)本発明の一実施の形態における部品実装ラインが備える部品搭載部の斜視図(A) (b) The perspective view of the component mounting part with which the component mounting line in one embodiment of this invention is provided. (a)(b)本発明の一実施の形態における部品実装ラインが備える部品圧着部の斜視図(A) (b) The perspective view of the component crimping | compression-bonding part with which the component mounting line in one embodiment of this invention is provided. (a)(b)本発明の一実施の形態における部品実装ラインが備える検査部の斜視図(A) (b) The perspective view of the test | inspection part with which the component mounting line in one embodiment of this invention is provided. 本発明の一実施の形態における部品実装ラインの制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the component mounting line in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態における部品実装ラインが備えるACF貼着部の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of ACF sticking part with which the component mounting line in one embodiment of this invention is provided (a)(b)本発明の一実施の形態における部品実装ラインが備える部品搭載部の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the component mounting part with which the component mounting line in one embodiment of this invention is provided (a)(b)本発明の一実施の形態における部品実装ラインが備える部品圧着装置の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the component crimping apparatus with which the component mounting line in one embodiment of this invention is provided 本発明の一実施の形態における部品実装ラインが備える検査装置が実行する検査の流れを示すフローチャートThe flowchart which shows the flow of the test | inspection which the test | inspection apparatus with which the component mounting line in one embodiment of this invention is provided. (a)(b)本発明の一実施の形態における部品実装ラインが備える検査装置の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the test | inspection apparatus with which the component mounting line in one embodiment of this invention is provided 本発明の一実施の形態における部品実装ラインの検査情報取得部が取得した検査情報の一例を示す図The figure which shows an example of the inspection information which the inspection information acquisition part of the component mounting line in one embodiment of this invention acquired 本発明の一実施の形態における部品実装ラインの補正値算出部が算出した搭載位置の補正値のデータの一例を示す図The figure which shows an example of the correction value data of the mounting position which the correction value calculation part of the component mounting line in one embodiment of this invention calculated

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は、本発明の一実施の形態における部品実装ライン1を示している。部品実装ライン1は、部品実装装置1Aとその下流側の検査装置1Bが連結された構成を有しており、液晶パネル等の基板2に部品3を実装する(図2)。本実施の形態では説明の便宜上、作業者OPから見た部品実装ライン1の手前側を部品実装ライン1の前方と称し、作業者OPから見た部品実装ライン1の奥側を部品実装ライン1の後方と称する。また、作業者OPから見た部品実装ライン1の左方を部品実装ライン1の左方と称し、作業者OPから見た部品実装ライン1の右方を部品実装ラインの右方と称する。更に、部品実装ライン1の左右方向をX軸方向、前後方向をY軸方向とし、上下方向をZ軸方向とする。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a component mounting line 1 according to an embodiment of the present invention. The component mounting line 1 has a configuration in which a component mounting device 1A and an inspection device 1B on the downstream side thereof are connected, and a component 3 is mounted on a substrate 2 such as a liquid crystal panel (FIG. 2). In the present embodiment, for convenience of explanation, the front side of the component mounting line 1 viewed from the operator OP is referred to as the front of the component mounting line 1 and the back side of the component mounting line 1 viewed from the operator OP is referred to as the component mounting line 1. It is called the back of the. Further, the left side of the component mounting line 1 viewed from the operator OP is referred to as the left side of the component mounting line 1, and the right side of the component mounting line 1 viewed from the operator OP is referred to as the right side of the component mounting line. Further, the left-right direction of the component mounting line 1 is the X-axis direction, the front-rear direction is the Y-axis direction, and the vertical direction is the Z-axis direction.

図2において、基板2はその上面に複数の端子から構成される搭載位置2d(実装位置)をひとつ又は複数(ここでは2つ)備えており、各搭載位置2dを両側から挟む位置には一対の基板側マーク2mが設けられている。一方、部品3はその下面に搭載位置2dを構成する複数の端子に対応した複数の端子から構成される接合部位3Dを備えており、接合部位3Dを両側から挟む位置には一対の部品側マーク3Mを有している。一対の基板側マーク2mの間と一対の部品側マーク3Mの間は同一の間隔となっており、一対の基板側マーク2mと一対の部品側マーク3Mが平面視において一致するように部品3を基板2に取り付けることで、搭載位置2dと接合部位3Dとを合致させた状態で部品3を基板2に取り付けることができる。   In FIG. 2, the substrate 2 has one or a plurality (two in this case) of mounting positions 2d (mounting positions) composed of a plurality of terminals on its upper surface, and a pair of positions 2d between the mounting positions 2d from both sides. The substrate side mark 2m is provided. On the other hand, the component 3 is provided with a joint portion 3D composed of a plurality of terminals corresponding to the plurality of terminals constituting the mounting position 2d on the lower surface thereof, and a pair of component side marks at positions sandwiching the joint portion 3D from both sides. 3M. The distance between the pair of board-side marks 2m and the pair of component-side marks 3M are the same, and the parts 3 are arranged so that the pair of board-side marks 2m and the pair of component-side marks 3M coincide in plan view. By attaching to the substrate 2, the component 3 can be attached to the substrate 2 in a state where the mounting position 2 d and the bonding portion 3 </ b> D are matched.

図1において、部品実装ライン1は、基台11の前方領域に基板移送機構12を有している。基台11の後方領域には、作業者OPから見た左側から順に、ACF貼着部13、部品搭載部14及び部品圧着部15が備えられている。基板移送機構12は、基台11の最前方領域をX軸方向に延びて設けられたガイドテーブル12T上を複数の基板移送体12MがそれぞれX軸方向に独立して移動自在な構成を有する。   In FIG. 1, the component mounting line 1 has a board transfer mechanism 12 in a front area of a base 11. In the rear region of the base 11, an ACF adhering portion 13, a component mounting portion 14, and a component crimping portion 15 are provided in order from the left side as viewed from the operator OP. The substrate transfer mechanism 12 has a configuration in which a plurality of substrate transfer bodies 12M can move independently in the X-axis direction on a guide table 12T provided by extending the foremost region of the base 11 in the X-axis direction.

図3において、各基板移送体12Mは後方に延びた複数の吸着アーム21を有している。各吸着アーム21には吸着口を下方に向けた複数の吸着部22が設けられている。各基板移送体12Mは、吸着部22によって基板2を上方から吸着(ピックアップ)し、ガイドテーブル12Tに沿ってX軸方向に移動することにより基板2を移送する。各基板移送体12Mは2つの基板2を同時に搬送することができる。   In FIG. 3, each substrate transfer body 12M has a plurality of suction arms 21 extending rearward. Each suction arm 21 is provided with a plurality of suction portions 22 with suction ports facing downward. Each substrate transfer body 12M sucks (picks up) the substrate 2 from above by the suction portion 22, and moves the substrate 2 by moving in the X-axis direction along the guide table 12T. Each substrate transfer body 12M can transfer two substrates 2 simultaneously.

図4(a),(b)において、ACF貼着部13は、2つの貼着ツール31と2つの貼着支持台32を備えている。2つの貼着ツール31はX軸方向に並んで設けられており、それぞれ昇降自在となっている。各貼着ツール31の上方には、ACFテープ33が貼り付けられたテープ部材34が巻き付けられたテープ供給リール35が設けられている。2つの貼着支持台32はそれぞれ基台11から上方に突出してX軸方向に延びた形状を有している。2つの貼着支持台32はそれぞれ2つの貼着ツール31の下方に位置している。   4A and 4B, the ACF sticking unit 13 includes two sticking tools 31 and two sticking support bases 32. The two sticking tools 31 are provided side by side in the X-axis direction and can be raised and lowered. Above each sticking tool 31, a tape supply reel 35 around which a tape member 34 with an ACF tape 33 attached is wound is provided. Each of the two sticking support bases 32 protrudes upward from the base 11 and has a shape extending in the X-axis direction. The two sticking support bases 32 are respectively located below the two sticking tools 31.

図1及び図4(a),(b)において、ACF貼着部13の前方には、ACF貼着部13に対して基板2を位置決めする基板移動機構36が設けられている。基板移動機構36は直交座標移動機構から構成されている。基板移動機構36は、X軸方向に延びた貼着ステージベース37をX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向に移動させる。図4(a)に示すように、貼着ステージベース37は、X軸方向の両端に真空吸着口を備えた貼着ステージ38を備えており、これら2つの貼着ステージ38において2つの基板2を吸着して保持する。   In FIG. 1 and FIGS. 4A and 4B, a substrate moving mechanism 36 that positions the substrate 2 with respect to the ACF adhering portion 13 is provided in front of the ACF adhering portion 13. The substrate moving mechanism 36 is composed of an orthogonal coordinate moving mechanism. The substrate moving mechanism 36 moves the sticking stage base 37 extending in the X-axis direction in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction. As shown in FIG. 4A, the sticking stage base 37 includes sticking stages 38 having vacuum suction ports at both ends in the X-axis direction. In these two sticking stages 38, two substrates 2 are provided. Adsorb and hold.

貼着ステージベース37は、基板移動機構36によって、「準備位置」(図4(a)に示す位置)とその後方の「作業位置」(図4(b)に示す位置)との間で移動される。ACF貼着部13が備える2つの貼着ツール31のX軸方向の間隔及び2つの貼着支持台32のX軸方向の間隔は、2つの貼着ステージ38に保持された2つの基板2のX軸方向の間隔と一致している。   The sticking stage base 37 is moved between the “preparation position” (position shown in FIG. 4A) and the “working position” behind it (position shown in FIG. 4B) by the substrate moving mechanism 36. Is done. The distance in the X-axis direction of the two sticking tools 31 provided in the ACF sticking unit 13 and the distance in the X-axis direction of the two sticking support bases 32 of the two substrates 2 held by the two sticking stages 38 are as follows. It matches the interval in the X-axis direction.

図1及び図5(a),(b)において、部品搭載部14は、部品供給部41、搭載ヘッド42、搭載支持台43及び位置合わせ用カメラ44を備えている。部品供給部41は基板2に搭載される部品3を供給する。搭載ヘッド42は下端に部品3を吸着する部品吸着口(図示せず)を備えている。搭載ヘッド42は直交座標移動機構から構成される搭載ヘッド移動機構42KによってX軸方向、Y軸方向、Z軸方向及びZ軸回りの回転方向に移動される。搭載支持台43は基台11から上方に突出してX軸方向に延びた形状を有している。位置合わせ用カメラ44は搭載支持台43の近傍に設けられており、撮像光軸を上方に向けている。   1 and FIGS. 5A and 5B, the component mounting unit 14 includes a component supply unit 41, a mounting head 42, a mounting support base 43, and an alignment camera 44. The component supply unit 41 supplies the component 3 mounted on the substrate 2. The mounting head 42 has a component suction port (not shown) for sucking the component 3 at the lower end. The mounting head 42 is moved in the X-axis direction, the Y-axis direction, the Z-axis direction, and the rotation directions around the Z-axis by a mounting head moving mechanism 42K configured by an orthogonal coordinate moving mechanism. The mounting support 43 has a shape that protrudes upward from the base 11 and extends in the X-axis direction. The alignment camera 44 is provided in the vicinity of the mounting support 43, and the imaging optical axis is directed upward.

図6(a),(b)において、部品圧着部15は、2つの圧着ツール51と2つの圧着支持台52を備えている。2つの圧着ツール51はX軸方向に並んで設けられており、それぞれ昇降自在となっている。2つの圧着ツール51のうち、右側の圧着ツール51(右側圧着ツール51R)を第1圧着手段と称し、左側の圧着ツール51(左側圧着ツール51L)を第2圧着手段と称する。2つの圧着支持台52はそれぞれ基台11から上方に突出してX軸方向に延びた形状を有している。2つの圧着支持台52はそれぞれ2つの圧着ツール51の下方に位置している。   6 (a) and 6 (b), the component crimping portion 15 includes two crimping tools 51 and two crimping support bases 52. The two crimping tools 51 are provided side by side in the X-axis direction and can be raised and lowered. Of the two crimping tools 51, the right crimping tool 51 (right crimping tool 51R) is referred to as first crimping means, and the left crimping tool 51 (left crimping tool 51L) is referred to as second crimping means. Each of the two crimping support bases 52 has a shape protruding upward from the base 11 and extending in the X-axis direction. The two crimping support bases 52 are respectively positioned below the two crimping tools 51.

図1、図5(a),(b)及び図6(a),(b)において、部品搭載部14及び部品圧着部15の前方には、部品搭載部14及び部品圧着部15に対して基板2を位置決めするステージ移動機構53が設けられている。ステージ移動機構53は直交座標移動機構から構成されている。ステージ移動機構53は、X軸方向に延びた左右の2つの搬送ステージベース54をそれぞれX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向に移動させる。   In FIG. 1, FIG. 5 (a), (b) and FIG. 6 (a), (b), in front of the component mounting part 14 and the component crimping part 15, with respect to the component mounting part 14 and the component crimping part 15. A stage moving mechanism 53 for positioning the substrate 2 is provided. The stage moving mechanism 53 is composed of an orthogonal coordinate moving mechanism. The stage moving mechanism 53 moves the left and right transfer stage bases 54 extending in the X-axis direction in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction, respectively.

左側の搬送ステージベース54(左側搬送ステージベース54L。図1及び図5(a),(b))と、右側の搬送ステージベース54(右側搬送ステージベース54R。図1及び図6(a),(b))はそれぞれ、X軸方向の両端に真空吸着口を備えた搬送ステージ55を備えており、これら2つの搬送ステージ55において2つの基板2を吸着して保持する。ここでは2つの搬送ステージベース54のうち左側搬送ステージベース54Lを第1搬送手段と称し、右側搬送ステージベース54Rを第2搬送手段と称する。また、各搬送ステージベース54が備える2つの搬送ステージ55のうちの一方(右側)の搬送ステージ55(右側搬送ステージ55R)を第1搬送ステージと称し、他方(左側)の搬送ステージ55(左側搬送ステージ55L)を第2搬送ステージと称する。   The left transfer stage base 54 (left transfer stage base 54L. FIGS. 1 and 5A, 5B) and the right transfer stage base 54 (right transfer stage base 54R. FIGS. 1 and 6A). (B)) includes transport stages 55 each having a vacuum suction port at both ends in the X-axis direction. The two transport stages 55 suck and hold the two substrates 2. Here, of the two transfer stage bases 54, the left transfer stage base 54L is referred to as a first transfer unit, and the right transfer stage base 54R is referred to as a second transfer unit. Further, one (right side) transfer stage 55 (right side transfer stage 55R) of the two transfer stages 55 included in each transfer stage base 54 is referred to as a first transfer stage, and the other (left side) transfer stage 55 (left side transfer). The stage 55L) is referred to as a second transfer stage.

左側搬送ステージベース54Lは、ステージ移動機構53によって、「準備位置」(図5(a)に示す位置)とその後方の「作業位置」(図5(b)に示す位置)との間で移動される。同様に、右側搬送ステージベース54Rは、ステージ移動機構53によって、「準備位置」(図6(a)に示す位置)とその後方の「作業位置」(図6(b)に示す位置)との間で移動される。部品圧着部15が備える2つの圧着ツール51のX軸方向の間隔及び2つの圧着支持台52のX軸方向の間隔は、右側搬送ステージベース54Rが備える2つの搬送ステージ55に保持された2つの基板2のX軸方向の間隔と一致している。   The left transfer stage base 54L is moved by the stage moving mechanism 53 between a “preparation position” (position shown in FIG. 5A) and a “working position” behind it (position shown in FIG. 5B). Is done. Similarly, the right transport stage base 54R is moved between a “preparation position” (position shown in FIG. 6A) and a “working position” behind it (position shown in FIG. 6B) by the stage moving mechanism 53. Moved between. The distance between the two crimping tools 51 provided in the component crimping section 15 in the X-axis direction and the distance between the two crimping support bases 52 in the X-axis direction are the two held by the two transport stages 55 provided in the right transport stage base 54R. This is consistent with the distance in the X-axis direction of the substrate 2.

図7(a),(b)において、検査装置1Bは、カメラ61と基板移動部62を備えている。カメラ61は下方に撮像光軸に向けて設置されている。基板移動部62は直交座標移動機構から構成されている。基板移動部62は、X軸方向に延びた検査ステージベース63をX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向に移動させる。検査ステージベース63は、X軸方向の両端に真空吸着口を備えた検査ステージ64を備えており、これら2つの検査ステージ64において2つの基板2を吸着して保持する。   7A and 7B, the inspection apparatus 1B includes a camera 61 and a substrate moving unit 62. The camera 61 is installed downward toward the imaging optical axis. The substrate moving unit 62 is composed of an orthogonal coordinate moving mechanism. The substrate moving unit 62 moves the inspection stage base 63 extending in the X axis direction in the X axis direction, the Y axis direction, and the Z axis direction. The inspection stage base 63 includes inspection stages 64 having vacuum suction ports at both ends in the X-axis direction. The two inspection stages 64 suck and hold the two substrates 2.

図8において、部品実装ライン1の各部の動作は、部品実装ライン1が備える制御装置70が制御する。制御装置70は基板移送制御部71、ACF貼着制御部72、搭載制御部73、圧着制御部74を備えている。基板移送制御部71は基板移送機構12による基板2の移送制御を行う。ACF貼着制御部72は、ACF貼着部13による基板2へのACFテープ33の貼着制御を行う。搭載制御部73は、部品搭載部14と第1搬送手段である左側搬送ステージベース54Lを相対的に制御して搭載位置を制御する。圧着制御部74は、部品圧着部15による基板2への部品3の圧着制御を行う。また、制御装置70は、検査情報取得部75、補正値算出部76及び記憶部77を備えており、検査装置1Bには検査部78及び検査情報出力部79が備えられている。   In FIG. 8, the operation of each part of the component mounting line 1 is controlled by the control device 70 provided in the component mounting line 1. The control device 70 includes a substrate transfer control unit 71, an ACF attachment control unit 72, a mounting control unit 73, and a pressure bonding control unit 74. The substrate transfer control unit 71 controls the transfer of the substrate 2 by the substrate transfer mechanism 12. The ACF sticking control unit 72 performs sticking control of the ACF tape 33 to the substrate 2 by the ACF sticking unit 13. The mounting control unit 73 controls the mounting position by relatively controlling the component mounting unit 14 and the left transport stage base 54L as the first transport unit. The crimping controller 74 controls the crimping of the component 3 to the substrate 2 by the component crimping unit 15. The control device 70 includes an inspection information acquisition unit 75, a correction value calculation unit 76, and a storage unit 77, and the inspection device 1B includes an inspection unit 78 and an inspection information output unit 79.

次に、部品実装ライン1の各部の動作手順(部品実装ライン1による部品実装方法)を説明する。図1において、外部から同一種類の2つの基板2が供給されると、それら2つの基板2を最も左側に位置する基板移送体12Mが受け取り、準備位置に位置した貼着ステージベース37の2つの貼着ステージ38に受け渡す。2つの貼着ステージ38は、基板移送体12Mから受け取った2つの基板2を吸着して保持する。   Next, an operation procedure of each part of the component mounting line 1 (component mounting method using the component mounting line 1) will be described. In FIG. 1, when two substrates 2 of the same type are supplied from the outside, the two substrates 2 are received by the substrate transfer body 12M located on the leftmost side, and two substrates of the bonding stage base 37 positioned at the preparation position are received. Delivered to the sticking stage 38. The two sticking stages 38 suck and hold the two substrates 2 received from the substrate transfer body 12M.

2つの貼着ステージ38が2つの基板2を保持したら、貼着ステージベース37が準備位置から作業位置に移動して2つの基板2をACF貼着部13に搬送する(図4(a)→図4(b))。これにより2つの貼着ステージ38に保持された2つの基板2それぞれの後端部(搭載位置2d)の下面が、ACF貼着部13の2つの貼着支持台32によって支持される(図4(b))。   When the two bonding stages 38 hold the two substrates 2, the bonding stage base 37 moves from the preparation position to the working position and conveys the two substrates 2 to the ACF bonding unit 13 (FIG. 4A). FIG. 4 (b)). Thus, the lower surfaces of the rear end portions (mounting positions 2d) of the two substrates 2 held by the two bonding stages 38 are supported by the two bonding support bases 32 of the ACF bonding portion 13 (FIG. 4). (B)).

2つの基板2それぞれの後端部が2つの貼着支持台32によって支持されたら、2つの貼着ツール31がそれぞれ下降して、テープ供給リール35が供給するテープ部材34を押し下げる。これによりテープ部材34に貼り付けられているACFテープ33が基板2に押し付けられ、搭載位置2dに貼着される(図4(b)→図9(a)→図9(b)。図2も参照)。   When the rear end portions of the two substrates 2 are supported by the two sticking support bases 32, the two sticking tools 31 are lowered to push down the tape member 34 supplied by the tape supply reel 35. As a result, the ACF tape 33 attached to the tape member 34 is pressed against the substrate 2 and attached to the mounting position 2d (FIG. 4 (b) → FIG. 9 (a) → FIG. 9 (b). See also).

2つの貼着ツール31がそれぞれ、各基板2が備える2つの搭載位置2dのうちの一方にACFテープ33を貼着したら、貼着ステージ38がX軸方向に移動して、2つの基板2のもう一方の搭載位置2dを2つの貼着ツール31の下方に位置させる。そして、2つの貼着ツール31が下降し、そのもう一方の搭載位置2dにACFテープ33を貼着する。このようにして2つの基板2が備える2つの搭載位置2dそれぞれにACFテープ33が貼着されたら、貼着ステージベース37は作業位置から準備位置に移動(復帰)する。   When the two sticking tools 31 stick the ACF tape 33 to one of the two mounting positions 2d of each board 2, the sticking stage 38 moves in the X-axis direction, and the two boards 2 The other mounting position 2d is positioned below the two sticking tools 31. Then, the two attaching tools 31 are lowered, and the ACF tape 33 is attached to the other mounting position 2d. When the ACF tape 33 is attached to each of the two mounting positions 2d provided on the two substrates 2 in this manner, the attaching stage base 37 moves (returns) from the working position to the preparation position.

貼着ステージベース37が準備位置に復帰したら、2つの貼着ステージ38に保持されている2つの基板2が、最も左側に位置する基板移送体12Mによって、準備位置に位置している左側搬送ステージベース54Lの2つの搬送ステージ55に受け渡される。左側搬送ステージベース54Lの2つの搬送ステージ55は、基板移送体12Mから受け取った2つの基板2を吸着して保持する。   When the sticking stage base 37 returns to the preparation position, the left substrate stage in which the two substrates 2 held by the two sticking stages 38 are located at the preparation position by the leftmost substrate transfer body 12M. It is delivered to the two transfer stages 55 of the base 54L. The two transfer stages 55 of the left transfer stage base 54L suck and hold the two substrates 2 received from the substrate transfer body 12M.

左側搬送ステージベース54Lの2つの搬送ステージ55が2つの基板2を保持したら、左側搬送ステージベース54Lが部品搭載部14の前方の準備位置から作業位置に移動し、2つの基板2を部品搭載部14に搬送する(図5(a)→図5(b)。第1搬送工程)。2つの搬送ステージ55に保持された2つの基板2が部品搭載部14に搬送されたら、部品搭載部14は2つの基板2のそれぞれに部品3を搭載する(部品搭載工程)。   When the two transfer stages 55 of the left transfer stage base 54L hold the two substrates 2, the left transfer stage base 54L moves from the preparation position in front of the component mounting unit 14 to the working position, and the two substrates 2 are moved to the component mounting unit. 14 (FIG. 5 (a) → FIG. 5 (b), first conveying step). When the two substrates 2 held by the two transfer stages 55 are transferred to the component mounting unit 14, the component mounting unit 14 mounts the component 3 on each of the two substrates 2 (component mounting process).

部品搭載部14は、部品を搭載するときには先ず、ステージ移動機構53を作動させて、2つの基板2のうちの一方の基板2(例えば右側の基板2)の後端部を搭載支持台43に支持させる。そして、その基板2の後端部が搭載支持台43に支持されたら、搭載ヘッド42が部品供給部41の上方に移動し、部品供給部41が供給する部品3を吸着する。そして、搭載ヘッド42は搭載支持台43の上方に移動して部品3の接合部位3Dを搭載位置2dの上方に位置させる(図5(b)及び図10(a))。   When mounting a component, the component mounting unit 14 first operates the stage moving mechanism 53 to place the rear end portion of one of the two substrates 2 (for example, the right substrate 2) on the mounting support base 43. Support. When the rear end portion of the substrate 2 is supported by the mounting support base 43, the mounting head 42 moves above the component supply unit 41 and sucks the component 3 supplied by the component supply unit 41. Then, the mounting head 42 moves above the mounting support base 43 to position the joining portion 3D of the component 3 above the mounting position 2d (FIGS. 5B and 10A).

部品3の接合部位3Dが搭載位置2dの上方に位置したら搭載ヘッド42が下降し、基板2に貼着されたACFテープ33を介して基板2に部品3を搭載(仮圧着)する(図10(a)→図10(b))。このとき制御装置70は、位置合わせ用カメラ44に一対の基板側マーク2mと一対の部品側マーク3Mの双方を観察させ、得られる画像と後述する補正値に基づいて、搭載ヘッド42及び基板移動機構36を制御する。   When the joint portion 3D of the component 3 is positioned above the mounting position 2d, the mounting head 42 is lowered, and the component 3 is mounted on the substrate 2 via the ACF tape 33 attached to the substrate 2 (temporary pressure bonding) (FIG. 10). (A) → FIG. 10 (b)). At this time, the control device 70 causes the alignment camera 44 to observe both the pair of substrate side marks 2m and the pair of component side marks 3M, and based on the obtained image and a correction value described later, the mounting head 42 and the substrate movement The mechanism 36 is controlled.

2つの搬送ステージ55に保持された2つの基板2のうちの一方の基板2に部品3が搭載されたら、搬送ステージベース54はX軸方向に移動し、2つの基板2のうちの他の一方の基板2(例えば左側の基板2)を搭載支持台43に支持させる。そして、同様の手順によってその基板2に部品3を搭載する。このようにして各基板2が備える2つの搭載位置2dそれぞれに部品3が搭載されたら、左側搬送ステージベース54Lは作業位置から準備位置に移動(復帰)する。   When the component 3 is mounted on one of the two substrates 2 held by the two transfer stages 55, the transfer stage base 54 moves in the X-axis direction and the other one of the two substrates 2. The substrate 2 (for example, the left substrate 2) is supported by the mounting support base 43. Then, the component 3 is mounted on the substrate 2 by the same procedure. In this way, when the component 3 is mounted on each of the two mounting positions 2d included in each substrate 2, the left transfer stage base 54L moves (returns) from the working position to the preparation position.

左側搬送ステージベース54Lが準備位置に復帰したら、2つの搬送ステージ55に保持されている2つの基板2が、中央に位置する基板移送体12Mによって、準備位置に位置している右側搬送ステージベース54Rの2つの搬送ステージ55に受け渡される。右側搬送ステージベース54Rの2つの搬送ステージ55は、基板移送体12Mから受け取った2つの基板2を吸着して保持する。   When the left conveyance stage base 54L returns to the preparation position, the two substrates 2 held by the two conveyance stages 55 are moved to the right conveyance stage base 54R located at the preparation position by the substrate transfer body 12M located at the center. Are transferred to the two transfer stages 55. The two transfer stages 55 of the right transfer stage base 54R suck and hold the two substrates 2 received from the substrate transfer body 12M.

右側搬送ステージベース54Rの2つの搬送ステージ55が2つの基板2を保持したら、右側搬送ステージベース54Rが部品圧着部15の前方の準備位置から作業位置に移動し、2つの基板2を部品圧着部15に搬送する(図6(a)→図6(b)。第2搬送工程)。具体的には、2つの基板2のうち一方の基板2(右側の基板2)を右側搬送ステージ55Rで搬送し、他方の基板2(左側の基板2)を左側搬送ステージ55Lで搬送する。これにより、2つの基板2それぞれの後端部(部品3が搭載されている搭載位置2d)の下面が2つの圧着支持台52に支持される(図6(b)及び図11(a))。   When the two transfer stages 55 of the right transfer stage base 54R hold the two substrates 2, the right transfer stage base 54R moves from the preparation position in front of the component crimping unit 15 to the working position, and the two substrates 2 are moved to the component crimping unit. 15 (FIG. 6 (a) → FIG. 6 (b), second conveying step). Specifically, one of the two substrates 2 (right substrate 2) is transferred by the right transfer stage 55R, and the other substrate 2 (left substrate 2) is transferred by the left transfer stage 55L. Thereby, the lower surfaces of the rear end portions (mounting position 2d on which the component 3 is mounted) of each of the two substrates 2 are supported by the two crimping support bases 52 (FIGS. 6B and 11A). .

2つの基板2それぞれの端部の下面が2つの圧着支持台52に支持されたら、2つの圧着ツール51がそれぞれ下降して部品3を押圧する(図11(a)→図11(b))。これにより部品3は基板2ごと圧着支持台52に押し付けられ、部品3は基板2に圧着(本圧着)される(図11(b))。このとき一方の基板2(右側の基板2)に搭載された部品3は右側圧着ツール51R(第1圧着手段)によって右側の基板2に圧着され(第1圧着工程)、他方の基板2(左側の基板2)に搭載された部品3は左側圧着ツール51L(第2圧着手段)によって左側の基板2に圧着される(第2圧着工程)。これにより各基板2が備える2つの搭載位置2dそれぞれに部品3が圧着されたら、搬送ステージベース54は作業位置から準備位置に移動(復帰)する。   When the lower surfaces of the end portions of the two substrates 2 are supported by the two crimping support bases 52, the two crimping tools 51 descend and press the component 3 (FIG. 11 (a) → FIG. 11 (b)). . As a result, the component 3 is pressed together with the substrate 2 against the crimping support base 52, and the component 3 is crimped (mainly crimped) to the substrate 2 (FIG. 11B). At this time, the component 3 mounted on one substrate 2 (right substrate 2) is crimped to the right substrate 2 by the right crimping tool 51R (first crimping means) (first crimping step), and the other substrate 2 (left side). The component 3 mounted on the substrate 2) is crimped to the left substrate 2 by the left crimping tool 51L (second crimping means) (second crimping step). As a result, when the component 3 is crimped to each of the two mounting positions 2d included in each substrate 2, the transfer stage base 54 moves (returns) from the work position to the preparation position.

右側搬送ステージベース54Rが準備位置に復帰したら、2つの搬送ステージ55に保持されている2つの基板2が、最も右側に位置する基板移送体12Mによって、検査装置1Bが備える検査ステージベース63の2つの検査ステージ64に受け渡される。検査ステージベース63の2つの検査ステージ64は、基板移送体12Mから受け取った基板2を吸着して保持する。   When the right transport stage base 54R returns to the preparation position, the two substrates 2 held by the two transport stages 55 are transferred to the 2 of the inspection stage base 63 included in the inspection apparatus 1B by the substrate transfer body 12M positioned on the rightmost side. Passed to one inspection stage 64. The two inspection stages 64 of the inspection stage base 63 suck and hold the substrate 2 received from the substrate transfer body 12M.

2つの検査ステージ64が2つの基板2を保持したら、検査ステージベース63がカメラ61の前方の準備位置から作業位置に移動し、2つの基板2をカメラ61の下方に搬送する。そして、2つの基板2がカメラ61の下方に位置したら、検査装置1Bは2つの基板2それぞれに実装(圧着)された部品3の位置を検査する(検査工程)。   When the two inspection stages 64 hold the two substrates 2, the inspection stage base 63 moves from the preparation position in front of the camera 61 to the working position, and the two substrates 2 are transported below the camera 61. When the two substrates 2 are positioned below the camera 61, the inspection apparatus 1B inspects the positions of the components 3 mounted (crimped) on the two substrates 2 (inspection process).

2つの基板2における部品3の位置の検査は検査装置1Bの検査部78が行う。検査部78は先ず、検査ステージベース63をX軸方向に移動させ、2つの検査ステージ64に保持された2つの基板2のうち、検査対象とする基板2(例えば右側の基板2)の搭載位置2dをカメラ61に観察(撮像)させる(図12に示すフローチャートのステップST1。図13(a))。そして検査部78は、カメラ61が取得した画像データを解析し、各搭載位置2dに対する部品3の位置ずれを検出する(ステップST2)。   The inspection of the position of the component 3 on the two substrates 2 is performed by the inspection unit 78 of the inspection apparatus 1B. The inspection unit 78 first moves the inspection stage base 63 in the X-axis direction, and of the two substrates 2 held by the two inspection stages 64, the mounting position of the substrate 2 to be inspected (for example, the right substrate 2). 2d is observed (imaged) by the camera 61 (step ST1 in the flowchart shown in FIG. 12; FIG. 13A). Then, the inspection unit 78 analyzes the image data acquired by the camera 61 and detects a positional deviation of the component 3 with respect to each mounting position 2d (step ST2).

検査部78は、搭載位置2dに対する部品3の位置ずれの検出を、2つの基板側マーク2mに対する2つの部品側マーク3Mの位置の位置ずれ(ΔX1,ΔY1,Δθ1)を求めることによって行う。ここで、ΔX1はX軸方向の位置ずれ、ΔY1はY方向の位置ずれ、Δθ1はZ軸回りの位置ずれである。   The inspection unit 78 detects the positional deviation of the component 3 with respect to the mounting position 2d by determining the positional deviation (ΔX1, ΔY1, Δθ1) of the two component-side marks 3M with respect to the two board-side marks 2m. Here, ΔX1 is a positional shift in the X-axis direction, ΔY1 is a positional shift in the Y-direction, and Δθ1 is a positional shift around the Z-axis.

検査部78は、位置ずれ(ΔX1,ΔY1,Δθ1)を求めたら、その位置ずれ(ΔX1,ΔY1,Δθ1)の各成分が、それぞれに定められた基準値以下であるかどうかを調べて基板2の良否判定を行う(ステップST3)。この良否判定では、位置ずれ(ΔX1,ΔY1,Δθ1)の各成分が基準値以下であった場合には、その部品3の基板2への圧着状態は正常であると判定する。一方、位置ずれ(ΔX1,ΔY1,Δθ1)の各成分のうち少なくとも一つがそれぞれに定められた基準値を超えていた場合には、その部品3の基板2への圧着状態は非正常であると判定し、その基板2が取り除かれるように処置する。   When the inspection unit 78 obtains the positional deviation (ΔX1, ΔY1, Δθ1), the inspection unit 78 examines whether each component of the positional deviation (ΔX1, ΔY1, Δθ1) is equal to or less than a reference value determined for each of the substrates 2. Is determined (step ST3). In this pass / fail determination, if each component of the positional deviation (ΔX1, ΔY1, Δθ1) is equal to or less than the reference value, it is determined that the crimping state of the component 3 to the substrate 2 is normal. On the other hand, when at least one of the components of the positional deviations (ΔX1, ΔY1, Δθ1) exceeds a predetermined reference value, the crimping state of the component 3 to the substrate 2 is abnormal. Determination is made and the substrate 2 is treated so as to be removed.

検査部78が部品3の位置を検査したら、検査装置1Bが備える検査情報出力部79は、その検査結果(検査部78が部品3の位置を検査した検査結果)を基板識別情報と関連づけて検査情報として出力(フィードバック)する(ステップST4)。なお、出力される検査情報は、部品3の基板2への圧着状態が正常であるが、搭載位置2dから一定以上の位置ずれがある検査情報である。   When the inspection unit 78 inspects the position of the component 3, the inspection information output unit 79 included in the inspection apparatus 1B inspects the inspection result (the inspection result of the inspection unit 78 inspecting the position of the component 3) in association with the board identification information. Information is output (feedback) (step ST4). Note that the inspection information to be output is inspection information in which the crimping state of the component 3 to the substrate 2 is normal, but there is a certain positional deviation from the mounting position 2d.

ここで、基板識別情報とは、検査した基板2を識別する情報である。具体的には、搬送される搬送ステージ55の情報(右側搬送ステージ55Rであるか左側搬送ステージ55Lであるかの情報)が関係づけられた基板2の情報(すなわち、基板2が左右の搬送ステージ55のいずれによって保持されたか、ひいてはその基板2が左右の圧着ツール51のいずれによって押圧されたかの情報)が関連づけられた基板2を識別する情報である。基板識別情報は、記憶部77に記憶されている。なお、検査装置1Bは基板識別情報を基板2に付されたIDマーク(図示せず)から取得して、検査結果と関連付けてもよい。また、検査装置1Bは、部品実装ライン1に投入された基板2順に、基板識別情報と関連付けられたシリアル番号を付与しておき、装置間でシリアル番号を受け渡すことで検査結果に関連付ける基板識別情報を取得してもよい。   Here, the substrate identification information is information for identifying the inspected substrate 2. Specifically, information on the substrate 2 related to information on the transport stage 55 to be transported (information on whether the transport stage is the right transport stage 55R or the left transport stage 55L) (that is, the substrate 2 is a transport stage on the left and right). This information is used to identify the substrate 2 associated with which one of the two pressure bonding tools 51 is held. The board identification information is stored in the storage unit 77. The inspection apparatus 1B may acquire the board identification information from an ID mark (not shown) attached to the board 2 and associate it with the inspection result. In addition, the inspection apparatus 1B assigns serial numbers associated with the board identification information to the boards 2 placed in the component mounting line 1 in order, and the board identification associated with the inspection result by passing the serial numbers between the apparatuses. Information may be acquired.

このようにして検査対象とする基板2(右側の基板2)の検査が終了したら、まだ他に検査対象とする基板2があるかどうかを判断する(ステップST5)。そして、まだ検査対象とする基板2(左側の基板2)がある場合には、ステップST1に戻り、次の基板2(左側の基板2)についての検査(ステップST1〜ステップST4)を実行する(図13(b))。これにより、2つの基板2のそれぞれについての検査結果が基板識別情報と紐付されてフィードバックされる。   When the inspection of the substrate 2 to be inspected (right substrate 2) is completed in this way, it is determined whether there is still another substrate 2 to be inspected (step ST5). If there is still a substrate 2 to be inspected (left substrate 2), the process returns to step ST1, and inspection (step ST1 to step ST4) is performed on the next substrate 2 (left substrate 2) (step ST1). FIG. 13B). Thereby, the inspection results for each of the two substrates 2 are linked to the substrate identification information and fed back.

検査部78からフィードバックされた2つの基板2それぞれの検査情報は検査情報取得部75によって取得される。図14は検査情報取得部75が取得した検査情報の一例であり、搭載位置2dに対する接合部位3Dの位置ずれを搭載位置2dごとに示したものである。これらの位置ずれ情報には、基板識別情報である「左」又は「右」のフラグと、搬送ステージ情報である「左」又は「右」のフラグが付されている。   The inspection information of the two substrates 2 fed back from the inspection unit 78 is acquired by the inspection information acquisition unit 75. FIG. 14 is an example of the inspection information acquired by the inspection information acquisition unit 75, and shows the positional deviation of the joint part 3D with respect to the mounting position 2d for each mounting position 2d. The positional deviation information is provided with a “left” or “right” flag that is substrate identification information and a “left” or “right” flag that is transfer stage information.

検査装置1Bからフィードバックされた位置ずれ情報を検査情報取得部75が取得したら、補正値算出部76は、検査情報と、基板識別情報と、検査された基板2を搬送した搬送ステージ55の情報(搬送ステージ情報)とに基づいて、右側搬送ステージ55Rと右側圧着ツール51Rとの相対位置又は左側搬送ステージ55Lと左側圧着ツール51Lとの相対位置を補正する補正値を算出する(補正値算出工程)。   When the inspection information acquisition unit 75 acquires the positional deviation information fed back from the inspection apparatus 1B, the correction value calculation unit 76 acquires the inspection information, the substrate identification information, and information on the transport stage 55 that transports the inspected substrate 2 ( And a correction value for correcting the relative position between the right conveyance stage 55R and the right crimping tool 51R or the relative position between the left conveyance stage 55L and the left crimping tool 51L (correction value calculation step). .

図15は補正値算出部76が算出した補正値のデータの一例を示したものであり、検査情報取得部75が取得した部品3の位置ずれに基づいて、右側搬送ステージ55Rと右側圧着ツール51Rとの相対位置又は左側搬送ステージ55Lと左側圧着ツール51Lとの相対位置を補正する補正値を搭載位置2dごとに示したものである。これらの補正値には、基板識別情報である「左」又は「右」のフラグと、搬送ステージ情報である「左」又は「右」のフラグが付されている。ここで、ΔXはX軸方向の位置ずれを補正する補正値であり、ΔYはY方向の位置ずれを補正する補正値であり、ΔθはZ軸回りの位置ずれを補正する補正値である。   FIG. 15 shows an example of correction value data calculated by the correction value calculation unit 76. Based on the positional deviation of the part 3 acquired by the inspection information acquisition unit 75, the right transport stage 55R and the right crimping tool 51R. Or a correction value for correcting the relative position between the left conveyance stage 55L and the left crimping tool 51L for each mounting position 2d. These correction values are provided with a “left” or “right” flag that is substrate identification information and a “left” or “right” flag that is transfer stage information. Here, ΔX is a correction value for correcting the positional deviation in the X-axis direction, ΔY is a correction value for correcting the positional deviation in the Y-direction, and Δθ is a correction value for correcting the positional deviation about the Z-axis.

補正値算出部76が補正値を算出したら、搭載制御部73は、搭載位置補正工程)を実行することによって、部品搭載部14と第1搬送手段である左側搬送ステージベース54Lとの相対位置を制御する。ここで、上記搭載位置補正工程とは、基板2の搬送ステージ情報(基板2が右側圧着ツール51Rで圧着されるか左側圧着ツール51Lで圧着されるかの情報)に基づき、算出された補正値で部品搭載工程での搭載位置を補正する工程である。   When the correction value calculation unit 76 calculates the correction value, the mounting control unit 73 executes a mounting position correction step), thereby determining the relative position between the component mounting unit 14 and the left transport stage base 54L as the first transport unit. Control. Here, the mounting position correction step is a correction value calculated based on transport stage information of the substrate 2 (information on whether the substrate 2 is bonded by the right crimping tool 51R or the left crimping tool 51L). This is a process of correcting the mounting position in the component mounting process.

上記搭載位置補正工程では、搭載制御部73は先ず、記憶部77に記憶された実装プログラムに基づいて、部品搭載部14が部品3を搭載する基板2が、その後に2つの圧着ツール51のうちのどちらによって押圧されるか情報を読み取る。そして、補正した搭載位置に搭載した部品をその後に押圧することとなる圧着ツール51と、搬送される搬送ステージ55の情報(右側搬送ステージ55Rであるか左側搬送ステージ55Lであるかの情報)が関連づけられた基板識別情報とに基づいて、その圧着ツール51に対応した位置ずれに対応する補正値を読み取り、その読み取った補正値で搭載位置の補正を行う。このようにして補正された搭載位置に部品3が搭載されるように部品搭載部14と左側搬送ステージベース54Lとの相対位置を制御すると、その搭載された部品3は、その後の部品圧着工程において圧着ツール51によって押圧されることで、基板2上の正確な位置(設計上の搭載位置)に圧着されることになる。   In the mounting position correction step, the mounting control unit 73 first determines that the substrate 2 on which the component mounting unit 14 mounts the component 3 is the two crimping tools 51 based on the mounting program stored in the storage unit 77. The information is read as to which is pressed. Then, the crimping tool 51 that will subsequently press the component mounted at the corrected mounting position and information on the transport stage 55 to be transported (information on whether it is the right transport stage 55R or the left transport stage 55L). Based on the associated board identification information, a correction value corresponding to the positional deviation corresponding to the crimping tool 51 is read, and the mounting position is corrected using the read correction value. When the relative position between the component mounting portion 14 and the left transport stage base 54L is controlled so that the component 3 is mounted at the mounting position corrected in this way, the mounted component 3 is used in the subsequent component crimping process. By being pressed by the crimping tool 51, it is crimped to an accurate position (designed mounting position) on the substrate 2.

以上説明したように、本実施の形態における部品実装ライン1及びこの部品実装ライン1による部品の実装方法(部品実装方法)では、基板2に圧着された部品3の位置を検査した検査結果と、検査した基板2を識別する基板識別情報と、検査した基板2を搬送した搬送ステージ情報とに基づいて、部品搭載部14で部品3が搭載された2つの基板2の一方を搬送する第1搬送ステージ(右側搬送ステージ55R)とその一方の基板2に搭載された部品3を基板2に圧着する第1圧着手段(右側圧着ツール51R)との相対位置又は部品搭載部14で部品3が搭載された2つの基板2の他方を搬送する第2搬送ステージ(左側搬送ステージ55L)とその他方の基板2に搭載された部品3を基板2に圧着する第2圧着手段(左側圧着ツール51L)との相対位置を補正する補正値を算出するようにしている。そして、基板2の搬送ステージ情報(基板2が第1圧着手段で圧着されるか第2圧着手段で圧着されるかの情報)に基づき、算出された補正値で基板2に部品3を搭載する際の搭載位置を補正するようにしている。このように本実施の形態では、基板2ごとに作業した設備構成に考慮した補正値を算出するので、部品3の実装精度を向上させることができる。   As described above, in the component mounting line 1 and the component mounting method (component mounting method) according to this component mounting line 1 according to the present embodiment, the inspection results obtained by inspecting the position of the component 3 crimped to the substrate 2; Based on the substrate identification information for identifying the inspected substrate 2 and the transport stage information for transporting the inspected substrate 2, the first transport that transports one of the two substrates 2 on which the component 3 is mounted by the component mounting unit 14. The component 3 is mounted at a relative position between the stage (right conveyance stage 55R) and the first crimping means (right crimping tool 51R) for crimping the component 3 mounted on one of the substrates 2 to the substrate 2 or at the component mounting portion 14. A second transfer stage (left transfer stage 55L) for transferring the other of the two substrates 2 and a second pressing means for pressing the component 3 mounted on the other substrate 2 to the substrate 2 (the left press tool 5). The relative positions of the L) is adapted to calculate a correction value for correcting. Then, based on the transfer stage information of the substrate 2 (information on whether the substrate 2 is crimped by the first crimping means or the second crimping means), the component 3 is mounted on the substrate 2 with the calculated correction value. The mounting position at the time is corrected. As described above, in the present embodiment, the correction value considering the equipment configuration worked for each substrate 2 is calculated, so that the mounting accuracy of the component 3 can be improved.

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されず、種々の設計変更等が可能である。例えば、上述の実施の形態では、補正値算出部は検査装置1Bより検査情報が出力されるごとに補正値を算出するようになっていたが、出力された結果を複数蓄積し、統計的に処理して補正値を算出するようにしてもよい。また、上述の実施の形態では、1つの基板2に実装される部品3は左右の2つであるとしていたが、これは一例であり、部品3の数は1つであってもよいし、3つ以上であってもよい。   Although the embodiments of the present invention have been described so far, the present invention is not limited to the above-described ones, and various design changes can be made. For example, in the above-described embodiment, the correction value calculation unit calculates a correction value every time inspection information is output from the inspection apparatus 1B. However, a plurality of output results are accumulated and statistically calculated. The correction value may be calculated by processing. Moreover, in the above-mentioned embodiment, although the components 3 mounted on one board | substrate 2 were two left and right, this is an example and the number of the components 3 may be one, There may be three or more.

基板ごとに作業した設備構成に考慮した補正値を算出して部品の実装精度を向上させた部品実装方法及び部品実装ラインを提供する。   Provided are a component mounting method and a component mounting line in which a correction value is calculated in consideration of the equipment configuration worked for each board and the mounting accuracy of the components is improved.

1 部品実装ライン
1A 部品実装装置
1B 検査装置
2 基板
2d 搭載位置
3 部品
14 部品搭載部
15 部品圧着部
51R 右側圧着ツール(第1圧着手段)
51L 左側圧着ツール(第2圧着手段)
54L 左側搬送ステージベース(第1搬送手段)
54R 右側搬送ステージベース(第2搬送手段)
55R 右側搬送ステージ(第1搬送ステージ)
55L 左側搬送ステージ(第2搬送ステージ)
73 搭載制御部
75 検査情報取得部
76 補正値算出部
77 記憶部
78 検査部
79 検査情報出力部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Component mounting line 1A Component mounting apparatus 1B Inspection apparatus 2 Board | substrate 2d Mounting position 3 Components 14 Component mounting part 15 Component crimping part 51R Right side crimping tool (1st crimping means)
51L Left side crimping tool (second crimping means)
54L Left transfer stage base (first transfer means)
54R Right transport stage base (second transport means)
55R Right transfer stage (first transfer stage)
55L Left transfer stage (second transfer stage)
73 Mounting Control Unit 75 Inspection Information Acquisition Unit 76 Correction Value Calculation Unit 77 Storage Unit 78 Inspection Unit 79 Inspection Information Output Unit

Claims (2)

基板に部品を搭載する部品搭載部及び前記部品が搭載された2つの前記基板を第1搬送ステージと第2搬送ステージで搬送し第1圧着手段と第2圧着手段で前記部品を前記2つの基板それぞれに圧着する部品圧着部を備えた部品実装装置と、前記2つの基板それぞれに圧着された前記部品の位置を検査する検査装置とを有する部品実装ラインにおける部品実装方法であって、
前記部品搭載部に前記基板を搬送する第1搬送工程と、
前記部品搭載部により前記基板に前記部品を搭載する部品搭載工程と、
前記基板を搬送させる搬送ステージの情報である搬送ステージ情報に基づいて、一方の前記基板を前記第1搬送ステージで前記部品圧着部に搬送し他方の前記基板を第2搬送ステージで前記部品圧着部に搬送する第2搬送工程と、
一方の前記基板に搭載された前記部品を前記第1圧着手段で圧着する第1圧着工程と、
他方の前記基板に搭載された前記部品を前記第2圧着手段で圧着する第2圧着工程と、
前記基板に圧着された前記部品の位置を検査する検査工程と、
前記検査工程における検査結果と、検査した前記基板を識別する基板識別情報及び検査した前記基板の前記搬送ステージ情報とに基づいて、前記第1搬送ステージと前記第1圧着手段との相対位置又は前記第2搬送ステージと前記第2圧着手段との相対位置を補正する補正値を算出する補正値算出工程と、
前記基板の前記搬送ステージ情報に基づき、算出した前記補正値で前記部品搭載工程での搭載位置を補正する搭載位置補正工程とを含む部品実装方法。
A component mounting portion for mounting a component on a substrate, and the two substrates on which the component is mounted are transported by a first transport stage and a second transport stage, and the two substrates are transported by first and second crimping means. A component mounting method in a component mounting line having a component mounting device including a component crimping portion that crimps each of the components, and an inspection device that inspects the position of the component crimped to each of the two substrates,
A first transport step for transporting the substrate to the component mounting unit;
A component mounting step of mounting the component on the substrate by the component mounting unit;
Based on transport stage information which is information of a transport stage for transporting the substrate, one of the substrates is transported to the component crimping section by the first transport stage, and the other substrate is transported to the component crimping section by a second transport stage. A second conveying step for conveying to
A first crimping step of crimping the component mounted on one of the substrates by the first crimping means;
A second crimping step of crimping the component mounted on the other substrate by the second crimping means;
An inspection step of inspecting the position of the component crimped to the substrate;
Based on the inspection result in the inspection step, the substrate identification information for identifying the inspected substrate and the transport stage information of the inspected substrate, the relative position between the first transport stage and the first pressure bonding unit or the A correction value calculating step for calculating a correction value for correcting a relative position between the second transfer stage and the second pressure bonding unit;
A component mounting method including a mounting position correcting step of correcting a mounting position in the component mounting step with the calculated correction value based on the transport stage information of the substrate.
基板に部品を搭載する部品搭載部及び前記基板に搭載された前記部品を圧着する部品圧着部を備えた部品実装装置と、前記基板に圧着された前記部品の位置を検査する検査装置とを有する部品実装ラインであって、
前記部品実装装置は、
前記部品搭載部に前記基板を搬送する第1搬送手段と、
前記部品圧着部に2つの前記基板を搬送する第2搬送手段とを備え、
前記部品圧着部は、一方の前記基板に搭載された前記部品を圧着する第1圧着手段と他方の前記基板に搭載された前記部品を圧着する第2圧着手段とを有し、
前記第2搬送手段は、前記第1圧着手段に一方の前記基板を搬送する第1搬送ステージと、前記第2圧着手段に他方の前記基板を搬送する第2搬送ステージとを有し、
前記部品搭載部と前記第1搬送手段を相対的に制御して搭載位置を制御する搭載制御部と、
前記検査装置から検査情報を取得する検査情報取得部と、
前記検査情報取得部が取得した検査情報から補正値を算出する補正値算出部と、
搬送される搬送ステージの情報が関連づけられた前記基板を識別する基板識別情報を記憶する記憶部とを備え、
前記検査装置は、
前記基板に圧着された前記部品の位置を検査する検査部と、
前記検査部が前記部品の位置を検査した検査結果を前記基板識別情報と関連づけて検査情報として出力する検査情報出力部とを備え、
前記補正値算出部は、前記検査情報と、前記基板識別情報と、検査された前記基板を搬送した搬送ステージ情報とに基づいて、前記第1搬送ステージと前記第1圧着手段との相対位置又は前記第2搬送ステージと前記第2圧着手段との相対位置を補正する補正値を算出し、
前記搭載制御部は、前記基板の前記搬送ステージ情報に基づき、算出された前記補正値で前記部品搭載部と前記第1搬送手段との相対位置を制御する部品実装ライン。
A component mounting device including a component mounting portion for mounting a component on a substrate, a component crimping portion for crimping the component mounted on the substrate, and an inspection device for inspecting the position of the component crimped to the substrate. A component mounting line,
The component mounting apparatus includes:
First conveying means for conveying the substrate to the component mounting unit;
A second conveying means for conveying the two substrates to the component crimping portion;
The component crimping portion includes a first crimping unit that crimps the component mounted on one of the substrates and a second crimping unit that crimps the component mounted on the other substrate.
The second transport unit includes a first transport stage that transports one of the substrates to the first pressure-bonding unit, and a second transport stage that transports the other substrate to the second pressure-bonding unit,
A mounting control unit that controls the mounting position by relatively controlling the component mounting unit and the first transport unit;
An inspection information acquisition unit for acquiring inspection information from the inspection device;
A correction value calculation unit that calculates a correction value from the inspection information acquired by the inspection information acquisition unit;
A storage unit for storing substrate identification information for identifying the substrate associated with information on a transfer stage to be transferred;
The inspection device includes:
An inspection unit for inspecting the position of the component crimped to the substrate;
An inspection information output unit that outputs the inspection result obtained by inspecting the position of the component by the inspection unit in association with the board identification information;
The correction value calculator is configured to determine a relative position between the first transport stage and the first pressure bonding unit based on the inspection information, the substrate identification information, and transport stage information that transports the inspected substrate. Calculating a correction value for correcting a relative position between the second transport stage and the second pressure-bonding means;
The mounting control unit is a component mounting line that controls a relative position between the component mounting unit and the first transport unit with the calculated correction value based on the transport stage information of the substrate.
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