JP2019160852A - Manufacturing method of heat sink - Google Patents

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Abstract

To provide a manufacturing method of a heat sink that can improve production efficiency and reduce costs.SOLUTION: There is provided a manufacturing method of obtaining a heat sink 9 in which a plurality of fins 92 are integrally formed on one surface of a base plate 91. A forging material 2 including an aluminum core 21 and a one-side brazing material layer 22 laminated on one surface of the core 21 and made of a brazing material is prepared. The forging material 2 is plastically deformed by die forging to manufacture a heat sink in which a tip joining layer 93 made of the brazing material of the one-side brazing material layer 22 is formed at the tip of the fin 92.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、ヒートシンクを型鍛造加工によって成形するようにしたヒートシンクの製造方法およびその関連技術に関する。なお本発明において、アルミニウム(Al)という場合、純アルミニウム(純Al)およびアルミニウム合金(Al合金)の双方を含むものである。   The present invention relates to a method of manufacturing a heat sink in which the heat sink is formed by die forging and related techniques. In the present invention, aluminum (Al) includes both pure aluminum (pure Al) and an aluminum alloy (Al alloy).

ヒートシンクは、パーソナルコンピュータのCPUやチップセット、AVアンプやオーディオ機器のパワートランジスタ、電気自動車やハイブリッド車(HV車)のインバータ等の発熱体の温度を下げることを目的として広く用いられている。   Heat sinks are widely used for the purpose of lowering the temperature of heating elements such as CPUs and chipsets of personal computers, power transistors of AV amplifiers and audio equipment, and inverters of electric vehicles and hybrid vehicles (HV vehicles).

例えば特許文献1は、ベース板と、その一面に設けられた多数のピン型形状のフィン(ピンフィン)とを備えたヒートシンクを、型鍛造によって製造するようにした技術を開示している。   For example, Patent Document 1 discloses a technique in which a heat sink including a base plate and a large number of pin-shaped fins (pin fins) provided on one surface thereof is manufactured by die forging.

このようなヒートシンクを、パワーモジュール用の水冷式冷却装置として利用するような場合例えば、ヒートシンクのベース板外周縁部と、多数のピンフィンの各先端とを金属製の流路部材に接合して、ヒートシンクのベース板と流路部材とによってピンフィンを囲うような冷却水用流路(冷却ジャケット)を形成するようにしている。   When using such a heat sink as a water-cooled cooling device for a power module, for example, joining the outer peripheral edge of the base plate of the heat sink and the tips of a large number of pin fins to a metal channel member, A cooling water channel (cooling jacket) is formed by the base plate of the heat sink and the channel member so as to surround the pin fins.

従来、ヒートシンクのピンフィン先端を金属製流路部材等の接合用部品に接合するには、ろう付けを用いるのが一般的である。例えば接合用部品を、ろう材がクラッドされたブレージングシートの成形品によって構成しておき、そのブレージングシート製の他の部品にヒートシンクのピンフィン先端を圧接した状態で加熱することにより、ろう材を溶融固化して、ピンフィン先端を接合用部品に接合する方法が多く採用されている。   Conventionally, brazing is generally used to join the pin fin tip of a heat sink to a joining part such as a metal channel member. For example, a joining part is composed of a brazing sheet molded product clad with a brazing material, and the brazing material is melted by heating in a state where the tip of the pin fin of the heat sink is pressed against another part of the brazing sheet. Many methods of solidifying and joining the tip of the pin fin to the joining component are employed.

特開2010−192708号公報JP 2010-192708 A

しかしながら、上記従来のヒートシンクにおいて、そのピンフィン先端に接合用部品を直接、ろう付け接合する場合には、接合用部品をブレージングシートによって構成する必要があるため、例えばブレージングシートによって容易に作製できないような切削加工品等を接合用部品として用いることは困難である。このように従来のヒートシンクにおいては、ろう付け接合される接合用部品がブレージングシート製に制限されるため、設計の自由度が低くなり、製品価値の低下を来すおそれがあるという課題があった。   However, in the above-described conventional heat sink, when a joining component is directly brazed to the tip of the pin fin, it is necessary to configure the joining component with a brazing sheet. For example, it cannot be easily produced with a brazing sheet. It is difficult to use a cut product or the like as a joining part. As described above, in the conventional heat sink, since the joining parts to be brazed are limited to the brazing sheet, there is a problem that the degree of freedom in design is reduced and the product value may be lowered. .

一方、ろう材を有しないベア材によって構成された接合用部品を、ヒートシンクのピンフィン先端に接合する場合、ヒートシンクのピンフィンと接合用部品との間に、ろう材シート、ろう材ペースト、ブレージングシート等のろう材供給用の部材(以下「ろう材シート等」と称する)を介在すれば、ピンフィン先端を接合用部品に確実にろう付け接合することができる。しかしながらその場合には、ろう材シート等を別途追加する分、部品点数が増加して、生産効率の低下を来すとともに、コストの増大を招くという別の課題が生じてしまう。   On the other hand, when joining parts composed of a bare material having no brazing material are joined to the pin fin tips of the heat sink, a brazing material sheet, brazing material paste, brazing sheet, etc. between the pin fins of the heat sink and the joining parts If a brazing material supply member (hereinafter referred to as “brazing material sheet or the like”) is interposed, the tip of the pin fin can be securely brazed to the joining component. However, in that case, the number of parts increases by adding a brazing material sheet or the like, resulting in a decrease in production efficiency and another problem of increasing the cost.

この発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、ろう材シート等を別途用いることなく、ブレージングシート製以外の接合用部品に対してもフィン先端を確実に接合できて、設計の自由度が増して製品価値を高めることができる上さらに、生産効率の向上およびコストの削減を図ることができるヒートシンクの製造方法およびその関連技術を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and it is possible to reliably join the tip of a fin to a joining component other than a brazing sheet without using a brazing material sheet or the like. It is an object of the present invention to provide a heat sink manufacturing method and related technology capable of increasing the product value and increasing the product value, and further improving the production efficiency and reducing the cost.

上記目的を達成するため、本発明は、以下の手段を提供する。   In order to achieve the above object, the present invention provides the following means.

[1]ベース板の一面に複数のフィンが一体に形成されるヒートシンクを得るためのヒートシンクの製造方法であって、
アルミニウム製の心材と、その心材の一面に積層され、かつろう材によって構成される一面ろう材層とを備えた鍛造素材を準備しておき、
その鍛造素材を型鍛造加工によって塑性変形させることによって、フィンの先端に、前記一面ろう材層のろう材による先端接合層が形成されたヒートシンクを製造するようにしたことを特徴とするヒートシンクの製造方法。
[1] A heat sink manufacturing method for obtaining a heat sink in which a plurality of fins are integrally formed on one surface of a base plate,
Prepare a forging material comprising a core material made of aluminum and one side brazing material layer laminated on one side of the core material and composed of brazing material,
Manufacturing of a heat sink, wherein the forging material is plastically deformed by die forging to manufacture a heat sink in which a tip joining layer made of the brazing material of the one side brazing material layer is formed at the tip of the fin. Method.

[2]前記ヒートシンクにおけるフィンの周側面にろう材が被着されていない前項1に記載のヒートシンクの製造方法。   [2] The method for manufacturing a heat sink as recited in the aforementioned Item 1, wherein a brazing material is not attached to the peripheral side surface of the fin in the heat sink.

[3]前記鍛造素材は、前記心材の他面に積層され、かつろう材によって構成される他面ろう材層を備える前項1または2に記載のヒートシンクの製造方法。   [3] The method for manufacturing a heat sink as recited in the aforementioned Item 1 or 2, wherein the forged material is laminated on the other surface of the core material and includes a brazing material layer formed of a brazing material.

[4]前記ヒートシンクにおける他面に、前記他面ろう材層のろう材による他面接合層が形成されている前項3に記載のヒートシンクの製造方法。   [4] The method for manufacturing a heat sink according to [3], wherein an other surface bonding layer made of the brazing material of the other surface brazing material layer is formed on the other surface of the heat sink.

[5]前項1〜4のいずれか1項に記載の製造方法によって得られたヒートシンクのピンフィン先端に、前記先端接合層のろう材を利用してアルミニウム製の接合用部品をろう付け接合することによって冷却装置を製造するようにしたことを特徴とする冷却装置の製造方法。   [5] Brazing and joining an aluminum joining component to the pin fin tip of the heat sink obtained by the manufacturing method according to any one of items 1 to 4 using the brazing material of the tip joining layer. The manufacturing method of the cooling device characterized by manufacturing a cooling device by.

[6]ベース板の一面に複数のフィンが一体に形成されたアルミニウム製のヒートシンクであって、
前記フィンの先端に、ろう材によって構成される先端接合層が形成されるともに、前記ベース板の一面における複数のフィンの各間に、ろう材によって構成される一面接合層が形成され、
前記フィンの周側面にろう材が被着されていないことを特徴とするヒートシンク。
[6] An aluminum heat sink in which a plurality of fins are integrally formed on one surface of a base plate,
A tip joining layer composed of a brazing material is formed at the tip of the fin, and a one-surface joining layer composed of a brazing material is formed between each of the plurality of fins on one surface of the base plate,
A heat sink, wherein a brazing material is not attached to the peripheral side surface of the fin.

発明[1]にかかるヒートシンクの製造方法によれば、フィンの先端にろう材による先端接合層が形成されているため、この先端接合層のろう材を利用して、金属製の接合用部品を直接ろう付け接合することができる。従って本発明によるヒートシンクは、接合用部材としてブレージングシート製以外のものも難なく用いることができ、設計の自由度が増すため、製品価値を向上させることができるとともに、ろう材シート等を省略できる分、部品点数を削減できるため、生産効率の向上およびコストの削減を図ることができる。   According to the heat sink manufacturing method according to the invention [1], since the tip joining layer made of the brazing material is formed at the tip of the fin, the metal joining component is made using the brazing material of the tip joining layer. Can be brazed directly. Therefore, the heat sink according to the present invention can be used without difficulty as a joining member other than a brazing sheet, and since the degree of freedom in design increases, the product value can be improved and the brazing material sheet can be omitted. Since the number of parts can be reduced, the production efficiency can be improved and the cost can be reduced.

発明[2]にかかるヒートシンクの製造方法によれば、フィンの周側面にろう材が被着されていないため、フィンの周側面に被着しているろう材がろう付け時に溶融滅失して、フィン形状が変化してしまうのを防止できるので、フィン部の寸法精度を高く維持することができ、良好な放熱特性を得ることができる。   According to the heat sink manufacturing method according to the invention [2], since the brazing material is not attached to the peripheral side surface of the fin, the brazing material attached to the peripheral side surface of the fin is melted and lost during brazing, Since it can prevent that a fin shape changes, the dimensional accuracy of a fin part can be maintained highly and a favorable heat dissipation characteristic can be acquired.

発明[3][4]にかかるヒートシンクの製造方法によれば、ベース板の他面側にも他面接合層が形成されているため、その他面接合層のろう材を利用して、ベース板の他面側にも接合用部品をろう付け接合することができる。   According to the heat sink manufacturing method according to the invention [3] and [4], since the other surface bonding layer is formed also on the other surface side of the base plate, the brazing material of the other surface bonding layer is used to form the base plate. The joining component can also be brazed to the other surface side.

発明[5]にかかる冷却装置の製造方法によれば、発明[1]〜[4]によるヒートシンクを用いて冷却装置を製造するものであるため、上記と同様に、製品価値の向上、生産効率の向上およびコストの削減を図ることができる。   According to the manufacturing method of the cooling device according to the invention [5], the cooling device is manufactured using the heat sink according to the inventions [1] to [4]. Improvement and cost reduction can be achieved.

発明[6]にかかるヒートシンクによれば、発明[1]〜[4]の製法によって製造されたヒートシンクと同様の構成を備えるため、上記と同様に、製品価値の向上、生産効率の向上およびコストの削減を図ることができる。   The heat sink according to the invention [6] has the same configuration as the heat sink manufactured by the manufacturing method according to the inventions [1] to [4]. Therefore, the product value is improved, the production efficiency is improved, and the cost is the same as above. Can be reduced.

図1はこの発明の実施形態の製法を実施可能な鍛造加工装置をパンチ上昇状態で示す略正面断面図である。FIG. 1 is a schematic front cross-sectional view showing a forging apparatus capable of performing the manufacturing method according to the embodiment of the present invention in a punch raised state. 図2は実施形態の鍛造加工装置をパンチ降下状態で示す略正面断面図である。FIG. 2 is a schematic front sectional view showing the forging device of the embodiment in a punch lowered state. 図3は実施形態で製造されたヒートシンクを示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a heat sink manufactured in the embodiment. 図4は実施形態のヒートシンクの一部を拡大して示す正面断面図である。FIG. 4 is an enlarged front sectional view showing a part of the heat sink of the embodiment. 図5は実施形態で用いられた鍛造素材を示す正面断面図である。FIG. 5 is a front sectional view showing the forging material used in the embodiment. 図6は本発明によるヒートシンクを用いて製作された冷却装置の一例を分解状態で示す模式断面図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing an example of a cooling device manufactured using the heat sink according to the present invention in an exploded state. 図7は上記冷却装置の一例を組立状態で示す模式断面図である。FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing an example of the cooling device in an assembled state. 図8は本発明によるヒートシンクを用いて製作された冷却装置の他の例を分解状態で示す模式断面図である。FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing another example of the cooling device manufactured using the heat sink according to the present invention in an exploded state. 図9はこの発明の変形例によって製造されたヒートシンクを示す正面断面図である。FIG. 9 is a front sectional view showing a heat sink manufactured according to a modification of the present invention. 図10は変形例のヒートシンクを製造する際に用いられた鍛造素材を示す正面断面図である。FIG. 10 is a front sectional view showing a forging material used when manufacturing a heat sink of a modification.

図1および図2はこの発明の実施形態にかかるヒートシンクの製造方法に用いられた鍛造加工装置の一例を概略的に示す正面断面図である。本実施形態においては、図1および図2に示す鍛造加工装置を用いて、鍛造素材2に対し、型鍛造加工を行って、鍛造加工品としてのヒートシンク9を成形するものである。鍛造素材2については後に説明するが、アルミニウム製のものが好適に用いられる。   FIG. 1 and FIG. 2 are front sectional views schematically showing an example of a forging device used in a method for manufacturing a heat sink according to an embodiment of the present invention. In the present embodiment, the forging material 2 is subjected to die forging using the forging device shown in FIGS. 1 and 2 to form the heat sink 9 as a forged product. The forging material 2 will be described later, but an aluminum material is preferably used.

図3は実施形態の鍛造加工装置によって製造されたヒートシンク9を示す斜視図である。同図に示すように、このヒートシンク9は、矩形状のベース板91と、そのベース板91の上面(一面)に形成された多数のピンフィン92とを備えている。各ピンフィン92は、柱状に形成されており、ベース板91に対し一体に形成されている。   FIG. 3 is a perspective view showing the heat sink 9 manufactured by the forging device of the embodiment. As shown in the figure, the heat sink 9 includes a rectangular base plate 91 and a large number of pin fins 92 formed on the upper surface (one surface) of the base plate 91. Each pin fin 92 is formed in a columnar shape and is formed integrally with the base plate 91.

なお本実施形態において、成形直後の金型内でのヒートシンク9の姿勢によって、ヒートシンク9の向きを決定している。具体的には、本実施形態において、ヒートシンク9のピンフィン92が形成されている側の面を一面とし、ピンフィン92が形成されていない側の面を他面として説明している。さらに鍛造素材2においては、ピンフィン92を形成する予定の面を一面とし、その反対側の面を他面として説明している。   In the present embodiment, the orientation of the heat sink 9 is determined by the posture of the heat sink 9 in the mold immediately after molding. Specifically, in this embodiment, the surface on the side where the pin fins 92 of the heat sink 9 are formed is described as one surface, and the surface on the side where the pin fins 92 are not formed is described as the other surface. Furthermore, in the forging material 2, the surface on which the pin fins 92 are to be formed is described as one surface, and the opposite surface is described as the other surface.

図1,2に示すように、本実施形態で用いられる鍛造加工装置は、下金型としてのダイ1と、上金型としてのパンチ5と、パンチ5を保持するパンチホルダー62と、背圧を付与するための背圧付与機構7とを基本的な構成要素として備えている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the forging apparatus used in the present embodiment includes a die 1 as a lower mold, a punch 5 as an upper mold, a punch holder 62 that holds the punch 5, and a back pressure. Is provided as a basic component.

ダイ1の上面には、ヒートシンク9のベース板91を成形するための成形凹部11が形成されている。   Formed on the upper surface of the die 1 is a molding recess 11 for molding the base plate 91 of the heat sink 9.

なお、ダイ1における成形凹部11の底壁部には、図示しないノックアウトピンが、成形凹部11の底面から上方に突出可能に収容されている。そして後に詳述するようにダイ1の成形凹部11で成形されたヒートシンク9は、上記ノックアウトピンにより突き上げられて、ヒートシンク9が成形凹部11から上方へ少量突出して配置されるようになっている。   A knockout pin (not shown) is accommodated in the bottom wall portion of the molding recess 11 in the die 1 so as to protrude upward from the bottom surface of the molding recess 11. As will be described in detail later, the heat sink 9 molded in the molding recess 11 of the die 1 is pushed up by the knockout pin, and the heat sink 9 is arranged so as to project a small amount upward from the molding recess 11.

パンチ5は、下端が閉塞された有底円筒状に形成されており、その底壁部に、上記ダイ1の成形凹部11に対応するパンチ本体51が形成されている。   The punch 5 is formed in a bottomed cylindrical shape whose lower end is closed, and a punch body 51 corresponding to the molding recess 11 of the die 1 is formed on the bottom wall portion thereof.

パンチ本体51には、鍛造加工品としてのヒートシンク9のピンフィン92を成形するための多数のフィン成形孔52が形成されている。各フィン成形孔52は、上下方向に貫通しており、上端がパンチ5の内部空間に開放されるとともに、下端がパンチ下方に開放されている。さらに各フィン成形孔52の水平断面形状は、ピンフィン92の水平断面形状に対応して形成されている。   A large number of fin forming holes 52 for forming the pin fins 92 of the heat sink 9 as a forged product are formed in the punch main body 51. Each fin forming hole 52 penetrates in the vertical direction, and an upper end is opened to the internal space of the punch 5 and a lower end is opened downward of the punch. Further, the horizontal cross-sectional shape of each fin forming hole 52 is formed corresponding to the horizontal cross-sectional shape of the pin fin 92.

パンチ5の上端面には、その上端開口を閉塞する態様にパンチプレート61が配置されている。そしてその状態で、パンチ5およびパンチプレート61がパンチホルダー62に保持されている。   A punch plate 61 is arranged on the upper end surface of the punch 5 so as to close the upper end opening. In this state, the punch 5 and the punch plate 61 are held by the punch holder 62.

またパンチホルダー62は、図示しないガイドポスト等によって昇降自在に支持されて、パンチ5が、その軸心をダイ1の成形凹部11の軸心に対し一致させた状態で、パンチホルダー62と共にダイ1に対し接離(昇降)できるようになっている。   The punch holder 62 is supported by a guide post or the like (not shown) so as to be movable up and down, and the punch 5 and the die 1 together with the punch holder 62 in a state where the axis of the punch 5 is aligned with the axis of the molding recess 11 of the die 1. Can be moved up and down.

さらにパンチホルダー62は、図示しない昇降駆動手段によって昇降駆動できるようになっている。そして図1に示すようにパンチ5がダイ1の上方に配置された状態で、上記昇降駆動手段によって、パンチホルダー62と共にパンチ5が降下すると、図2に示すようにパンチ5の本体51がダイ1の成形凹部11内に打ち込まれるようになっている。   Further, the punch holder 62 can be driven up and down by a lift drive means (not shown). Then, when the punch 5 is lowered together with the punch holder 62 by the lift drive means with the punch 5 disposed above the die 1 as shown in FIG. 1, the main body 51 of the punch 5 is moved to the die as shown in FIG. It is designed to be driven into one molding recess 11.

パンチ5には、背圧付与機構7が設けられている。この背圧付与機構7は、パンチ5の内部空間に収容されるスプリングホルダー71を備えている。   The punch 5 is provided with a back pressure applying mechanism 7. The back pressure applying mechanism 7 includes a spring holder 71 accommodated in the internal space of the punch 5.

スプリングホルダー71は、パンチ5の内部空間内において上下方向(軸心)に沿ってスライド自在に支持されている。   The spring holder 71 is slidably supported along the vertical direction (axial center) in the internal space of the punch 5.

さらにスプリングホルダー71には、その上端面側に複数のスプリング収容凹部72が形成されており、各スプリング収容凹部72内に圧縮コイルバネ等からなる付勢手段としてのスプリング73がそれぞれ収容されている。各スプリング73は、圧縮状態で上端がパンチプレート61に接合されるとともに、下端がスプリング収容凹部72の底面に接合されている。従って、パンチ5を上昇させた状態(通常状態)では、スプリングホルダー71が、自重およびスプリング73の付勢力によって下方に押し込まれて、パンチ5の底壁部(パンチ本体51)に接触した状態に配置されるようになっている。   Further, the spring holder 71 is formed with a plurality of spring accommodating recesses 72 on the upper end surface side, and springs 73 serving as urging means including compression coil springs are accommodated in the respective spring accommodating recesses 72. Each spring 73 has a top end joined to the punch plate 61 in a compressed state and a bottom end joined to the bottom surface of the spring accommodating recess 72. Therefore, in a state where the punch 5 is raised (normal state), the spring holder 71 is pushed downward by its own weight and the urging force of the spring 73 and is brought into contact with the bottom wall portion (punch main body 51) of the punch 5. It is arranged.

また背圧付与機構7には、パンチ5の各フィン成形孔52に対応して背圧付与ピン75がそれぞれ設けられている。各背圧付与ピン75は、水平断面形状が、各フィン成形孔52の水平断面形状に対応して形成されている。なお背圧付与ピン75は、イジェクタピンとも称される。   The back pressure application mechanism 7 is provided with a back pressure application pin 75 corresponding to each fin forming hole 52 of the punch 5. Each back pressure applying pin 75 has a horizontal cross-sectional shape corresponding to the horizontal cross-sectional shape of each fin forming hole 52. The back pressure application pin 75 is also referred to as an ejector pin.

各背圧付与ピン75は、その上端部がスプリングホルダー71の下側部に固定された状態で、対応するフィン成形孔52内に軸心方向(上下方向)に沿ってスライド自在に収容されている。これにより、各背圧付与ピン75は、スプリングホルダー71の昇降動作に伴って、各フィン成形孔52内を上下にスライドするようになっている。   Each back pressure applying pin 75 is slidably accommodated along the axial direction (vertical direction) in the corresponding fin forming hole 52 with its upper end fixed to the lower side of the spring holder 71. Yes. Thus, each back pressure applying pin 75 slides up and down in each fin forming hole 52 as the spring holder 71 moves up and down.

なお各背圧付与ピン75の下端面(先端拘束面)は、図1に示すように、スプリングホルダー71が下端位置に配置された状態(パンチ5を上昇させた状態)では、各フィン成形孔52の下端開口部、つまりパンチ本体5の成形面に対応して配置されるようになっている。   In addition, as shown in FIG. 1, the lower end surface (tip restraining surface) of each back pressure application pin 75 is a fin forming hole in a state where the spring holder 71 is disposed at the lower end position (a state where the punch 5 is raised). 52 is arranged corresponding to the lower end opening of 52, that is, the molding surface of the punch body 5.

ここで、本実施形態に用いられる鍛造素材2について説明する。図5に示すように本実施形態の鍛造素材2は、心材21と、心材21の一面にクラッドされ、かつろう材によって構成されるろう材層(一面ろう材層)22とを備えた積層体(ブレージングシート)によって構成されている。   Here, the forging material 2 used in this embodiment will be described. As shown in FIG. 5, the forging material 2 of the present embodiment includes a core material 21 and a laminated body including a brazing material layer (one-sided brazing material layer) 22 that is clad on one surface of the core material 21 and configured by the brazing material. (Brazing sheet).

心材21としては、その主成分が熱伝導性の高いアルミニウム、例えば1000系アルミニウム(純アルミニウム系)や、耐久性の高いアルミニウム、例えば6000系アルミニウム合金(Al−Mg−Si系)等を好適に用いることができる。心材21はその主成分(母材)としてのアルミニウムと、熱伝導性がより優れたカーボンとの複合材によって構成するようにしても良い。さらに複合材は2層に限られず、3層以上の多層構造で構成するようにしても良い。   As the core material 21, aluminum whose main component is high thermal conductivity, for example, 1000 series aluminum (pure aluminum series), or highly durable aluminum, for example, 6000 series aluminum alloy (Al—Mg—Si series) is preferably used. Can be used. The core material 21 may be composed of a composite material of aluminum as its main component (base material) and carbon having better thermal conductivity. Furthermore, the composite material is not limited to two layers, and may be configured by a multilayer structure of three or more layers.

ろう材層22としては、一般に多く用いられるろう材、例えばJIS−Z3263−2002で示される4000系アルミニウム合金(Al−Si系)等を好適に用いることができる。   As the brazing material layer 22, a brazing material that is generally used, for example, a 4000 series aluminum alloy (Al—Si series) represented by JIS-Z3263-2002 can be suitably used.

また鍛造素材2において、心材21の他面側には、アルミニウムを主成分とし、かつ心材21よりも強度が高い合金からなる強化層を形成するようにしても良い。このように心材21の他面側に強化層を形成する場合には、鍛造加工によってベース板91の板厚が薄いヒートシンク9を製造する際に、ベース板91の他面側におけるピンフィン形成位置にヒケが発生するのを有効に防止することができる。   In the forged material 2, a reinforcing layer made of an alloy containing aluminum as a main component and higher in strength than the core material 21 may be formed on the other surface side of the core material 21. When the reinforcing layer is formed on the other surface side of the core material 21 in this way, when manufacturing the heat sink 9 in which the thickness of the base plate 91 is thin by forging, the pin fin forming position on the other surface side of the base plate 91 is formed. It is possible to effectively prevent the occurrence of sink marks.

なお後述するように、鍛造素材2において、心材21の他面には、一面側と同様に、ろう材をクラッドしたろう材層(他面ろう材層)を形成するようにしても良い。   As will be described later, in the forging material 2, a brazing material layer clad with a brazing material (other surface brazing material layer) may be formed on the other surface of the core material 21 as in the case of the one surface side.

以上の構成の鍛造素材2を用いて、図1および図2に示す上記の鍛造加工装置によって鍛造加工を実施してヒートシンク9を成形する。   Using the forging material 2 having the above configuration, the heat sink 9 is formed by performing forging by the forging device shown in FIGS. 1 and 2.

すなわち図1に示すように、ダイ1およびパンチ5の所要部分に潤滑剤を塗布し、板状の鍛造素材2をダイ1の成形凹部11内にセットする。鍛造素材2は、その一面側(ろう材層22側)を上向きにしてパンチ5(フィン成形孔52)に対向するように配置する。なお、鍛造素材2、ダイ1およびパンチ5は必要に応じて予備加熱されている。   That is, as shown in FIG. 1, the lubricant is applied to the required portions of the die 1 and the punch 5, and the plate-like forging material 2 is set in the molding recess 11 of the die 1. The forging material 2 is arranged so that the one surface side (the brazing material layer 22 side) faces upward and faces the punch 5 (fin forming hole 52). The forging material 2, the die 1 and the punch 5 are preheated as necessary.

この状態から図2に示すように、パンチ5を降下させてパンチ本体51をダイ1の成形凹部11内に打ち込む。これにより、鍛造素材2に圧縮荷重が加わって、その圧縮荷重によって、鍛造素材2を構成する金属材料(メタル)が塑性流動して、各背圧付与ピン75を、背圧付与機構7の自重およびスプリング73の付勢力に抗して上方へ押し上げつつ、パンチ本体51の各フィン成形孔52内に流入していく。   From this state, as shown in FIG. 2, the punch 5 is lowered and the punch body 51 is driven into the molding recess 11 of the die 1. As a result, a compression load is applied to the forging material 2, and the metal material (metal) constituting the forging material 2 is plastically flowed by the compression load, and each back pressure application pin 75 is moved by its own weight of the back pressure application mechanism 7. And while flowing upward against the urging force of the spring 73, it flows into the fin forming holes 52 of the punch body 51.

ここで、各フィン成形孔52内に流入する金属材料に対し、背圧付与機構7の自重およびスプリング73の付勢力が、流入方向と反対方向に作用する背圧(抵抗力)として機能する。従って、金属材料を各フィン成形孔52内にバランス良く均等に流入させることができる。   Here, the self-weight of the back pressure applying mechanism 7 and the urging force of the spring 73 function as back pressure (resistance force) acting in the direction opposite to the inflow direction with respect to the metal material flowing into each fin forming hole 52. Accordingly, the metal material can be uniformly and uniformly flowed into the fin forming holes 52.

そして、ダイ1の成形凹部11の内周面とパンチ本体51の成形面(下端面)とで囲まれる成形空間に充填された金属材料によってベース板91が形成されるとともに、背圧付与ピン75の先端拘束面とフィン成形孔52の内周面とで囲まれる成形空間内に充填された金属材料によってピンフィン92が形成される。これにより、図3に示すように、ベース板91の一面に多数のピンフィン92が一体形成された鍛造加工品であるヒートシンク9が成形される。   The base plate 91 is formed of a metal material filled in a molding space surrounded by the inner peripheral surface of the molding recess 11 of the die 1 and the molding surface (lower end surface) of the punch body 51, and the back pressure application pin 75. The pin fins 92 are formed of a metal material filled in a forming space surrounded by the front end restraining surface of the fin and the inner peripheral surface of the fin forming hole 52. Thereby, as shown in FIG. 3, the heat sink 9 which is a forged product in which a large number of pin fins 92 are integrally formed on one surface of the base plate 91 is formed.

図5は本実施形態の製法によって製造されたヒートシンク9の一部を拡大して示す正面断面図である。同図に示すように、ピンフィン92の先端には、鍛造素材2のろう材層22によるろう材が被着されることにより先端接合層93が一体に形成される。さらにベース板91の一面におけるピンフィン92の各間(ピンフィン92が形成されていない部分)にも、鍛造素材2のろう材層22によるろう材が被着されることにより一面接合層94が形成される。   FIG. 5 is an enlarged front sectional view showing a part of the heat sink 9 manufactured by the manufacturing method of the present embodiment. As shown in the figure, a tip joining layer 93 is integrally formed at the tip of the pin fin 92 by applying a brazing material from the brazing material layer 22 of the forging material 2. Further, a single-surface bonding layer 94 is formed between the pin fins 92 on one surface of the base plate 91 (part where the pin fins 92 are not formed) by applying a brazing material by the brazing material layer 22 of the forging material 2. The

またヒートシンク9のピンフィン92の周側面921には、鍛造素材2のろう材層22によるろう材が被着されず、心材21を構成していた金属が露出した状態に配置されている。   Further, the brazing material due to the brazing material layer 22 of the forging material 2 is not attached to the peripheral side surface 921 of the pin fin 92 of the heat sink 9, and the metal constituting the core material 21 is exposed.

以上のように構成された本実施形態のヒートシンク9においては、ピンフィン92の先端にろう材による先端接合層93が一体に形成されているため、この先端接合層93のろう材を利用して、金属製の接合用部品をろう付け接合することができる。このため本実施形態のヒートシンク9のピンフィン92に放熱用部材等の接合用部品を接合するような場合、ピンフィン92に直接、接合用部品をろう付け接合することができる。従って本実施形態のヒートシンク9は、接合用部品としてブレージングシート製以外のものも用いることができ、設計の自由度が増して、汎用性が向上するため、製品価値を向上させることができる。さらにブレージングシート等を省略できる分、部品点数を削減できるため、生産効率の向上およびコストの削減を図ることができる。   In the heat sink 9 of the present embodiment configured as described above, since the tip joining layer 93 made of the brazing material is integrally formed at the tip of the pin fin 92, the brazing material of the tip joining layer 93 is used, Metal joining parts can be brazed. For this reason, when joining parts, such as a heat radiating member, are joined to the pin fins 92 of the heat sink 9 of this embodiment, the joining parts can be brazed and joined directly to the pin fins 92. Accordingly, the heat sink 9 of the present embodiment can use other than the brazing sheet as a joining component, and the degree of design is increased and the versatility is improved, so that the product value can be improved. Furthermore, since the number of parts can be reduced by the amount that the brazing sheet or the like can be omitted, the production efficiency can be improved and the cost can be reduced.

また本実施形態のヒートシンク9によれば、各ピンフィン92の先端面のみにろう材が被着されて、ピンフィン92の周側面921にはろう材が被着されていないため、高い寸法精度を維持できて、良好な放熱特性を得ることができる。すなわち仮に、ピンフィンの周側面921にろう材が被着していると、ろう付け時の熱等によって、ピンフィン周側面のろう材が溶融滅失してしまうため、ピンフィンの寸法等が変化して変形してしまう。そうすると、ヒートシンクにおけるフィン部の寸法精度が低下してしまい、良好な放熱特性を得ることが困難になってしまう。   Further, according to the heat sink 9 of the present embodiment, since the brazing material is attached only to the front end surface of each pin fin 92 and the brazing material is not attached to the peripheral side surface 921 of the pin fin 92, high dimensional accuracy is maintained. And good heat dissipation characteristics can be obtained. That is, if the brazing filler metal is attached to the peripheral surface 921 of the pin fin, the brazing filler metal on the peripheral surface of the pin fin is melted and lost due to heat during brazing. Resulting in. If it does so, the dimensional accuracy of the fin part in a heat sink will fall, and it will become difficult to obtain a favorable heat dissipation characteristic.

これに対し、本実施形態のヒートシンク9は、ピンフィン92の周側面921にろう材が被着されていないため、ろう材の溶融滅失によるフィンピン92の形状が変化するのを防止することができる。このため本実施形態のヒートシンク9は、フィン部の寸法精度を高く維持することができ、良好な放熱特性を確実に維持することができる。   On the other hand, the heat sink 9 of this embodiment can prevent the shape of the fin pin 92 from being changed due to melting and disappearance of the brazing material because the brazing material is not attached to the peripheral side surface 921 of the pin fin 92. For this reason, the heat sink 9 of this embodiment can maintain the dimensional accuracy of a fin part highly, and can maintain a favorable heat dissipation characteristic reliably.

次に本実施形態によるヒートシンク9を用いて、パワーモジュール用の水冷式冷却装置を作製する場合について説明する。   Next, the case where the water cooling type cooling device for power modules is produced using the heat sink 9 by this embodiment is demonstrated.

図6および図7はその水冷式冷却装置の一例を模式化して示す正面断面図である。同図に示すようにこの冷却装置は、上記実施形態のヒートシンクと同様に構成されたヒートシンク9と、絶縁基板31と、パワーモジュール(発熱素子)3と、流路部材8とを備えている。   6 and 7 are front sectional views schematically showing an example of the water-cooled cooling device. As shown in the figure, the cooling device includes a heat sink 9, an insulating substrate 31, a power module (heating element) 3, and a flow path member 8 that are configured in the same manner as the heat sink of the above embodiment.

絶縁基板31は、2枚の金属製導電板32,32間にセラミック板33が介在されるように積層されており、下側の導電板32がヒートシンク9の他面側にろう付けによって接合固定されるとともに、上側の導電板32にパワーモジュール3が取り付けられている。   The insulating substrate 31 is laminated so that the ceramic plate 33 is interposed between the two metal conductive plates 32, 32, and the lower conductive plate 32 is bonded and fixed to the other surface side of the heat sink 9 by brazing. In addition, the power module 3 is attached to the upper conductive plate 32.

流路部材8は、金属板の成形品等によって構成されており、中間領域が他面側に下面側に凹陥形成されることにより、上面側に流路用凹部81が形成されるとともに、凹部81の外周縁部にはフランジ82が形成されている。この流路部材8の流路用凹部81内に、ピンフィン92が収容されるように配置された状態で、ピンフィン92の先端が流路部材8の流路用凹部81の底面にろう付け接合されるとともに、ベース板91の一面側における外周縁部が流路部材81のフランジ82にろう付け接合される。これにより流路部材8の流路用凹部81の内周面と、ヒートシンク9のベース板91の一面とによって、ピンフィン92を囲う冷却水用(冷媒用)流路85が形成される。   The flow path member 8 is formed of a molded product of a metal plate or the like, and the intermediate area is formed to be recessed on the lower surface side on the other surface side, whereby a flow path recess 81 is formed on the upper surface side, and the recess A flange 82 is formed on the outer peripheral edge of 81. The tip end of the pin fin 92 is brazed and joined to the bottom surface of the channel recess 81 of the channel member 8 in a state where the pin fin 92 is accommodated in the channel recess 81 of the channel member 8. At the same time, the outer peripheral edge of one surface of the base plate 91 is brazed to the flange 82 of the flow path member 81. Thus, a cooling water (refrigerant) flow path 85 surrounding the pin fins 92 is formed by the inner peripheral surface of the flow path recess 81 of the flow path member 8 and one surface of the base plate 91 of the heat sink 9.

この冷却装置においては、ヒートシンク9におけるピンフィン92の先端およびベース板91の一面にそれぞれ接合層93,94が形成されているため、その接合層93,94のろう材を利用して、流路部材8をろう付け接合することができる。従って既述した通り、流路部材(接合用部品)8として、ブレージングシート製以外のものも難なく用いることができ、流路部材8の構成が制約されることがなく、設計の自由度が増して、製品価値を向上させることができる。例えば流路部材8としてベア材を用いることもできるため、より一層設計の自由度が増して、より一層製品価値を向上させることができる。   In this cooling device, since the joining layers 93 and 94 are formed on the front end of the pin fin 92 and one surface of the base plate 91 in the heat sink 9, the flow path member is formed using the brazing material of the joining layers 93 and 94. 8 can be brazed. Therefore, as already described, a material other than the brazing sheet can be used as the flow path member (joining part) 8 without difficulty, the configuration of the flow path member 8 is not restricted, and the degree of freedom in design increases. Product value can be improved. For example, since a bare material can be used as the flow path member 8, the degree of freedom in design is further increased, and the product value can be further improved.

また本冷却装置においては、流路部材8のろう付け接合用にろう材シート等を別途用いる必要がなく、その分、部品点数を削減できて、生産効率の向上およびコストの削減を図ることができる。   Further, in this cooling device, it is not necessary to separately use a brazing material sheet or the like for brazing and joining the flow path member 8, and accordingly, the number of parts can be reduced, thereby improving production efficiency and reducing costs. it can.

また図8は本実施形態によるヒートシンク9を用いて製作された水冷式冷却装置の他の例を模式化して示す正面断面図である。同図に示すようにこの冷却装置に用いられるヒートシンク9は、ベース板91の一面側におけるピンフィン92が形成されている領域が他面側に凹陥形成されて流路用凹部96が形成されるとともに、その流路用凹部96の外周縁部にフランジ97が形成されている。   FIG. 8 is a front sectional view schematically showing another example of the water-cooled cooling device manufactured using the heat sink 9 according to the present embodiment. As shown in the figure, the heat sink 9 used in this cooling device has a region where the pin fins 92 are formed on one surface side of the base plate 91 is recessed on the other surface side to form a channel recess 96. A flange 97 is formed on the outer peripheral edge of the channel recess 96.

このヒートシンク9におけるベース板91の他面側には、上記と同様に絶縁基板31を介してパワーモジュール3が取り付けられる。   The power module 3 is attached to the other surface side of the base plate 91 in the heat sink 9 via the insulating substrate 31 as described above.

またヒートシンク9の一面側には、流路用凹部96を閉塞するように平板状の流路部材8が配置された状態で、流路部材8にピンフィン92の先端およびフランジ97がろう付け接合される。これにより、ヒートシンク9の流路用凹部96の内周面と、流路部材8とによって、ピンフィン92を囲う冷却水用(冷媒用)流路85が形成される。   Further, on the one surface side of the heat sink 9, the tip end of the pin fin 92 and the flange 97 are brazed and joined to the flow path member 8 in a state where the flat flow path member 8 is disposed so as to close the flow path recess 96. The Thereby, the cooling water (refrigerant) flow path 85 surrounding the pin fins 92 is formed by the inner peripheral surface of the flow path recess 96 of the heat sink 9 and the flow path member 8.

この冷却装置においても、上記と同様に、ヒートシンク9における接合層93,94のろう材を利用して、流路部材8をろう付け接合できるため、製品価値の向上、生産効率の向上およびコストの削減を図ることができる。   In this cooling device as well, since the flow path member 8 can be brazed and joined using the brazing material of the joining layers 93 and 94 in the heat sink 9 as described above, the product value is improved, the production efficiency is improved, and the cost is reduced. Reduction can be achieved.

図9はこの発明の変形例である製造方法によって製造されたヒートシンク9を模式化して示す正面断面図、図10はその変形例のヒートシンクを製造する際に用いられた鍛造素材2を示す正面断面図である。両図に示すようにこのヒートシンク9を製造するに際して、鍛造素材2として、心材21の一面側に上記と同様に一面ろう材層22が形成されるとともに、他面側にも他面ろう材層23が形成されたもの、つまり心材21の両面にろう材層22,23が形成されたものを用いて、上記と同様に鍛造加工を行ったものである。   FIG. 9 is a front sectional view schematically showing the heat sink 9 manufactured by the manufacturing method which is a modification of the present invention, and FIG. 10 is a front sectional view showing the forging material 2 used in manufacturing the heat sink of the modification. FIG. When manufacturing this heat sink 9 as shown to both figures, as the forging material 2, the one surface brazing material layer 22 is formed in the one surface side of the core material 21 similarly to the above, and the other surface brazing material layer is also formed in the other surface side. Forging is performed in the same manner as described above, using a material in which brazing material layers 22 and 23 are formed on both surfaces of the core material 21.

このヒートシンク9においては、ベース板91のピンフィン92が形成されない他面側にも、他面ろう材層23による他面接合層95が形成されている。この変形例のヒートシンク9において、他の構成は上記実施形態のヒートシンク9と同様である。   In the heat sink 9, the other surface bonding layer 95 is formed by the other surface brazing material layer 23 on the other surface side of the base plate 91 where the pin fins 92 are not formed. The other configuration of the heat sink 9 of this modification is the same as that of the heat sink 9 of the above embodiment.

この変形例のヒートシンク9においても、上記と同様の効果を得ることができる。その上さらに、この変形例においては、ベース板91の他面側に他面接合層95が形成されているため、上記図6等に示すような冷却装置を作製する場合、ベース板91の他面接合層95のろう材を利用して、絶縁基板31をろう付け接合することができる。このため絶縁基板31を接合する際にも、ろう材接合用にブレージングシート等を用いる必要がなく、設計の自由度がさらに増して、製品価値を一段と向上できるとともに、生産効率の向上およびコストの削減をさらに図ることができる。   In the heat sink 9 of this modification, the same effect as described above can be obtained. Furthermore, in this modified example, since the other surface bonding layer 95 is formed on the other surface side of the base plate 91, when the cooling device as shown in FIG. The insulating substrate 31 can be brazed and bonded using the brazing material of the surface bonding layer 95. For this reason, it is not necessary to use a brazing sheet or the like for joining the brazing material when joining the insulating substrate 31, the design flexibility is further increased, the product value can be further improved, the production efficiency is improved, and the cost is reduced. Further reduction can be achieved.

なお上記実施形態等においては、ベース板91の一面にピンフィン92を形成する場合を例に挙げて説明したが、それだけに限られず、本発明においては、ベース板の少なくとも一面にピンフィンが形成されていれば良く、例えばベース板の一面および他面の双方にピンフィンを形成するようにしても良い。   In the embodiment and the like, the case where the pin fins 92 are formed on one surface of the base plate 91 has been described as an example. However, the present invention is not limited thereto, and in the present invention, the pin fins are formed on at least one surface of the base plate. For example, pin fins may be formed on both one side and the other side of the base plate.

また上記実施形態においては、鍛造加工時に背圧を付与する、いわゆる背圧鍛造によってヒートシンクを成形する場合を例に挙げて説明したが、それだけに限られず、本発明においては、背圧を付与せずに鍛造加工して、ヒートシンクを成形するようにしても良い。   Further, in the above embodiment, the case where the heat sink is formed by so-called back pressure forging, which gives back pressure during forging, has been described as an example, but the present invention is not limited thereto, and in the present invention, no back pressure is applied. The heat sink may be formed by forging.

また上記実施形態においては、ピンフィンが形成されたヒートシンクを製造する場合を例に挙げて説明したが、本発明においては、ヒートシンクに形成されるフィンの形状は特に限定されるものではなく、ピンフィン以外のフィン、例えばプレートフィンを形成するようにしても良い。   In the above-described embodiment, the case where a heat sink having pin fins is manufactured has been described as an example. However, in the present invention, the shape of the fin formed on the heat sink is not particularly limited, and other than pin fins. Fins such as plate fins may be formed.

また上記実施形態においては、パンチ5側にフィン成形孔52を形成して、後方押出によってフィンを形成する場合を例に挙げて説明したが、それだけに限られず、本発明においては、ダイの成形凹部底面にフィン成形孔を形成して、前方押出によってフィンを形成するようにしても良い。   Moreover, in the said embodiment, although the case where the fin shaping | molding hole 52 was formed in the punch 5 side and the fin was formed by back extrusion was mentioned as an example and demonstrated, it is not restricted only to it, In this invention, die shaping | molding recessed parts A fin forming hole may be formed on the bottom surface, and the fin may be formed by forward extrusion.

また本発明において、フィンの周側面にろう材が付着していないという場合、フィンの周側面に実質的にろう材が付着していないということであり、例えば本発明においては、フィンの周側面における根元部近傍や先端部近傍等にろう材が少量付着していても良い。   In the present invention, when the brazing material is not adhered to the peripheral side surface of the fin, it means that the brazing material is not substantially adhered to the peripheral side surface of the fin. For example, in the present invention, the peripheral surface of the fin A small amount of brazing material may be adhered to the vicinity of the root portion, the vicinity of the tip portion, or the like.

この発明のヒートシンクの製造方法は、ベース板上にフィンが一体に形成されたヒートシンクを製造する際等に用いることができる。   The heat sink manufacturing method of the present invention can be used when manufacturing a heat sink in which fins are integrally formed on a base plate.

21:心材
22:一面ろう材層
23:他面ろう材層
8:流路部材(接合用部品)
9:ヒートシンク
91:ベース板
92:ピンフィン
921:周側面
93:先端接合層
94:一面接合層
95:他面接合層
21: Core material 22: One side brazing material layer 23: Other side brazing material layer 8: Channel member (part for joining)
9: Heat sink 91: Base plate 92: Pin fin 921: Peripheral side surface 93: Tip bonding layer 94: One surface bonding layer 95: Other surface bonding layer

Claims (6)

ベース板の一面に複数のフィンが一体に形成されるヒートシンクを得るためのヒートシンクの製造方法であって、
アルミニウム製の心材と、その心材の一面に積層され、かつろう材によって構成される一面ろう材層とを備えた鍛造素材を準備しておき、
その鍛造素材を型鍛造加工によって塑性変形させることによって、フィンの先端に、前記一面ろう材層のろう材による先端接合層が形成されたヒートシンクを製造するようにしたことを特徴とするヒートシンクの製造方法。
A heat sink manufacturing method for obtaining a heat sink in which a plurality of fins are integrally formed on one surface of a base plate,
Prepare a forging material comprising a core material made of aluminum and one side brazing material layer laminated on one side of the core material and composed of brazing material,
Manufacturing of a heat sink, wherein the forging material is plastically deformed by die forging to manufacture a heat sink in which a tip joining layer made of the brazing material of the one side brazing material layer is formed at the tip of the fin. Method.
前記ヒートシンクにおけるフィンの周側面にろう材が被着されていない請求項1に記載のヒートシンクの製造方法。   The method of manufacturing a heat sink according to claim 1, wherein a brazing material is not attached to a peripheral side surface of the fin in the heat sink. 前記鍛造素材は、前記心材の他面に積層され、かつろう材によって構成される他面ろう材層を備える請求項1または2に記載のヒートシンクの製造方法。   The method of manufacturing a heat sink according to claim 1 or 2, wherein the forging material includes a brazing material layer laminated on the other surface of the core material and configured by a brazing material. 前記ヒートシンクにおける他面に、前記他面ろう材層のろう材による他面接合層が形成されている請求項3に記載のヒートシンクの製造方法。   The method of manufacturing a heat sink according to claim 3, wherein an other surface bonding layer made of a brazing material of the other surface brazing material layer is formed on the other surface of the heat sink. 請求項1〜4のいずれか1項に記載の製造方法によって得られたヒートシンクのピンフィン先端に、前記先端接合層のろう材を利用してアルミニウム製の接合用部品をろう付け接合することによって冷却装置を製造するようにしたことを特徴とする冷却装置の製造方法。   Cooling by brazing and joining an aluminum joining component to a pin fin tip of a heat sink obtained by the manufacturing method according to claim 1, using a brazing material of the tip joining layer. A method of manufacturing a cooling device, characterized in that the device is manufactured. ベース板の一面に複数のフィンが一体に形成されたアルミニウム製のヒートシンクであって、
前記フィンの先端に、ろう材によって構成される先端接合層が形成されるともに、前記ベース板の一面における複数のフィンの各間に、ろう材によって構成される一面接合層が形成され、
前記フィンの周側面にろう材が被着されていないことを特徴とするヒートシンク。
A heat sink made of aluminum in which a plurality of fins are integrally formed on one surface of a base plate,
A tip joining layer composed of a brazing material is formed at the tip of the fin, and a one-surface joining layer composed of a brazing material is formed between each of the plurality of fins on one surface of the base plate,
A heat sink, wherein a brazing material is not attached to the peripheral side surface of the fin.
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