JP2019157651A - 真空ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】潤滑剤貯蔵部における潤滑剤の循環移動をより効果的行わせることができる真空ポンプの提供。【解決手段】真空ポンプは、ポンプロータが設けられたシャフト１０を支持するベアリング８と、シャフト１０に設けられ、遠心力により液状の潤滑剤をベアリング８に供給するためのテーパ面１００ａが形成された固定部品１００と、ベアリング８から排出された潤滑剤が戻る潤滑剤戻り面６０１およびテーパ面１００ａに接触する潤滑剤供給面６０２を有し、潤滑剤が貯蔵される潤滑剤貯蔵部６０と、を備え、潤滑剤貯蔵部６０は、内部に多数の微小空隙を有する毛細管構造体で形成され、潤滑剤戻り面６０１から潤滑剤供給面６０２にかけて毛細管力が大きくなっていくように構成されている。【選択図】図２

Description

本発明は、真空ポンプに関する。

ターボ分子ポンプ等の真空ポンプにおいて回転体の支持に油潤滑の軸受を用いる場合には、連続して潤滑剤（潤滑油）を供給する必要がある。連続して潤滑剤を供給する方法としては、特許文献１に記載のように潤滑剤を循環させて供給する方法が知られている。

特許文献１に記載の発明においては、フェルトから構成される潤滑剤貯蔵装置を備え、フェルトの一部は回転軸に設けられた噴霧ナットの円錐表面に接触している。軸受から排出された潤滑剤は潤滑剤貯蔵装置に戻り、毛細管力により潤滑剤貯蔵装置内に浸透し、接触部から噴霧ナットの円錐表面に移動する。円錐表面上の潤滑剤は遠心力により軸受方向へ移動し、軸受に供給される。

特許第５３０３１３７号公報

しかしながら、特許文献１に記載の潤滑剤貯蔵装置では、潤滑剤が毛細管力により浸透するという構成であり、潤滑剤戻り側から離れた潤滑剤供給側まで移動する際の移動効率が非常に悪いという問題がある。

本発明の好ましい態様による真空ポンプは、ポンプロータが設けられた回転軸を支持する軸受と、前記回転軸に設けられ、遠心力により液状の潤滑剤を前記軸受に供給するためのテーパ面が形成されたテーパ部材と、前記軸受から排出された潤滑剤が戻る潤滑剤戻り面および前記テーパ面に接触する潤滑剤供給面を有し、前記潤滑剤が貯蔵される潤滑剤貯蔵部と、を備え、前記潤滑剤貯蔵部は、内部に多数の微小空隙を有する毛細管構造体で形成され、前記潤滑剤戻り面から前記潤滑剤供給面にかけて毛細管力が大きくなっていくように構成されている。
さらに好ましい態様では、前記潤滑剤戻り面は前記軸受の外輪に接触している。
さらに好ましい態様では、前記微小空隙の大きさが、前記潤滑剤戻り面から前記潤滑剤供給面にかけて小さくなっていくように構成されている。
さらに好ましい態様では、前記潤滑剤貯蔵部は、前記潤滑剤戻り面から前記潤滑剤供給面にかけて複数層の毛細管構造体を有し、前記複数層の毛細管構造体の毛細管力は、前記潤滑剤供給面に近い毛細管構造体ほど大きく設定されている。
さらに好ましい態様では、前記潤滑剤貯蔵部は、前記軸受の外輪の軸方向位置を調節する調整部材を介して配置され、前記調整部材は、前記外輪に接触する第１の面と前記潤滑剤貯蔵部に接触する第２の面とを有する多孔質焼結金属材で形成され、前記多孔質焼結金属材は、前記第１の面から前記第２の面にかけて毛細管力が大きくなっていくように構成されている。
さらに好ましい態様では、前記潤滑剤貯蔵部は、前記軸受の外輪の軸方向位置を調節する調整部材を介して配置され、前記調整部材は多孔質層を形成する表面処理が施され、前記多孔質層は、前記外輪に接触する第１の多孔質層表面から前記潤滑剤貯蔵部に接触する第２の多孔質層表面にかけて毛細管力が大きくなっていくように構成されている。

本発明によれば、毛細管力の差を利用することにより、潤滑剤貯蔵部における潤滑剤の循環移動をより効果的行わせることができる。

図１は、ポンプ本体の断面図である。 図２は、ベアリングホルダの詳細構造を示す断面図である。 図３は、毛細管力のｚ方向の分布を示す図である。 図４は、変形例１を示す図である。 図５は、変形例２を示す図である。 図６は、変形例３を示す図である。 図７は、変形例４を示す図である。

以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図１は本発明に係る真空ポンプの一実施の形態を示す図であり、ターボ分子ポンプのポンプ本体１の断面を示したものである。ターボ分子ポンプは、図１に示すポンプ本体１とは別にポンプ本体１に電力を供給する電源装置を備えるが、図１では図示を省略した。

図１に示すポンプ本体１は、排気機能部として、タービン翼を備えたターボポンプ部Ｐ１と、螺旋型の溝を備えたHolweckポンプ部Ｐ２とを備えている。もちろん、本発明は、排気機能部にターボポンプ部Ｐ１およびHolweckポンプ部Ｐ２を備えた真空ポンプに限らず、タービン翼のみを備えた真空ポンプや、ジーグバーンポンプやHolweckポンプなどのドラッグポンプのみを備えた真空ポンプや、それらを組み合わせた真空ポンプにも適用することができる。

ターボポンプ部Ｐ１は、ポンプロータ３に形成された複数段の回転翼３０とベース２側に配置された複数段の固定翼２０とで構成される。一方、ターボポンプ部Ｐ１の排気下流側に設けられたHolweckポンプ部Ｐ２は、ポンプロータ３に形成された円筒部３１とベース２側に配置されたステータ２１とで構成されている。円筒状のステータ２１の内周面には螺旋溝が形成されている。複数段の回転翼３０と円筒部３１とが回転側排気機能部を構成し、複数段の固定翼２０とステータ２１とが固定側排気機能部を構成する。

ポンプロータ３はシャフト１０に締結されており、そのシャフト１０はモータ４により回転駆動される。モータ４には例えばＤＣブラシレスモータが用いられ、ベース２にモータステータ４ａが設けられ、シャフト１０側にはモータロータ４ｂが設けられている。シャフト１０とポンプロータ３とから成る回転体ユニットＲは、永久磁石６ａ，６ｂを用いた永久磁石磁気軸受６と転がり軸受であるベアリング８とにより回転自在に支持されている。

永久磁石６ａ，６ｂは、軸方向に磁化されたリング状の永久磁石である。ポンプロータ３に設けられた複数の永久磁石６ａは、同極同士が対向するように軸方向に複数配置されている。一方、固定側の複数の永久磁石６ｂは、ポンプケーシング１２に固定された磁石ホルダ１１に装着されている。これらの永久磁石６ｂも、同極同士が対向するように軸方向に複数配置されている。

ポンプロータ３に設けられた永久磁石６ａの軸方向位置は、その内周側に配置された永久磁石６ｂの位置よりも若干上側となるように設定されている。すなわち、回転側の永久磁石の磁極は、固定側の永久磁石の磁極に対して軸方向に所定量だけずれている。この所定量の大きさによって、永久磁石磁気軸受６の支持力が異なる。図１に示す例では、永久磁石６ａの方が図示上側に配置されているため、永久磁石６ａと永久磁石６ｂとの反発力により、ラジアル方向の支持力と軸方向上向き（ポンプ排気口側方向）の力とが回転体ユニットＲに働いている。

磁石ホルダ１１の中央には、ベアリング９を保持するベアリングホルダ１３が固定されている。図１では、ベアリング８，９に深溝玉軸受を用いているが、これに限らず、例えばアンギュラコンタクトの軸受を用いても良い。ベアリング９は、シャフト上部のラジアル方向の振れを制限するタッチダウンベアリングとして機能するものである。定常回転状態ではシャフト１０とベアリング９とが接触することはなく、大外乱が加わった場合や、回転の加速時または減速時にシャフト１０の振れ回りが大きくなった場合に、シャフト１０がベアリング９に接触する。

ベアリング８は、ベース２に設けられたベアリングホルダ５０に保持される。ベアリングホルダ５０には、ベアリング８に供給される潤滑剤を貯蔵する潤滑剤貯蔵部６０が設けられている。ベアリング８の潤滑剤には、潤滑油等の液状の潤滑剤が用いられる。

図２は、ベアリングホルダ５０の詳細構造を示す断面図である。ベアリング８は外輪８１，内輪８２および転動体８３を備えており、内輪８２はシャフト１０に固定され、外輪８１はベアリングホルダ５０に保持される。シャフト１０の下端には、ベアリング８の内輪８２をシャフト１０に固定するための固定部品１００が装着される。外輪８１とベアリングホルダ５０との間には、外輪８１の外周側に配置されるラジアルダンパー４０と、外輪８１の軸方向端面側に配置されるスラストダンパー４１とが設けられている。ラジアルダンパー４０およびスラストダンパー４１にはゴム等の弾性部材が用いられる。外輪８１の軸方向位置、すなわちベアリング８にかかる予圧は、ネジなどで構成される位置調整部品７０によって調整される。

潤滑剤貯蔵部６０は、ベアリングホルダ５０の下端に固定される貯蔵部ホルダ５１に設けられている。潤滑剤貯蔵部６０の図示上側の面６０１は位置調整部品７０に接触している。潤滑剤貯蔵部６０はリング形状をしており、その内周側には潤滑剤供給突起部６０ａが設けられている。固定部品１００の外周面はベアリング８に近づくほど径が大きくなるテーパ面１００ａになっており、潤滑剤供給突起部６０ａの先端の面６０２はテーパ面１００ａに接触している。

潤滑剤貯蔵部６０は、フェルト状やスポンジ状の多孔質材または多孔質焼結プラスチックや多孔質焼結金属などで形成されており、多孔質材に形成された多数の微小空隙に潤滑剤が貯蔵される。潤滑剤貯蔵部６０の潤滑剤供給突起部６０ａは先端の面６０２がテーパ面１００ａに接触しているので、潤滑剤供給突起部６０ａの潤滑剤が面６０２からテーパ面１００ａに付着する。

上述のように、テーパ面１００ａは、固定部品１００の先端からベアリング８の内輪８２に近づくほど径が大きくなるテーパ面となっている。そのため、シャフト１０が高速で回転すると、テーパ面１００ａに付着した潤滑剤は、破線矢印で示すように遠心力によってテーパ面１００ａ上を内輪８２の方向に移動し、内輪８２へと移動する。内輪８２に移動した潤滑剤は転動体８３にも付着し、転動体８３の回転により外輪８１の転動面に付着する。

このように、ベアリング８の内部に入った潤滑剤の一部は、転動体８３を介して外輪８１へ移動する。しかし、外輪８１まで移動する潤滑剤は微量であり、供給された潤滑剤のほとんどが高速回転する内輪８２および転動体８３により弾き飛ばされて潤滑剤貯蔵部６０の面６０１側に戻される。例えば、弾き飛ばされて位置調整部品７０の内周面に付着した潤滑剤は、重力により潤滑剤貯蔵部６０方向に移動し、面６０１から潤滑剤貯蔵部６０に流入する。

上述したように、潤滑剤貯蔵部６０は微小空隙が多数形成された多孔質材で形成されており、毛細管現象によって多孔質材内を潤滑剤が浸透する。本実施の形態では、潤滑剤貯蔵部６０に用いられる多孔質材、すなわち上述したフェルト状やスポンジ状の多孔質材または多孔質焼結プラスチックや多孔質焼結金属などのことを、毛細管構造体と呼ぶ場合もある。

ところで、従来の場合（例えば特許文献１に記載の発明の場合）も、潤滑剤貯蔵部にフェルト状の部材を用いることで毛細管力による潤滑剤の浸透を潤滑剤供給に利用している。毛細管現象における毛細管の液面の上昇高さｈは、次式（１）で与えられる。ただし、式（１）において、Ｔ＝表面張力、θ＝接触角、ρ＝液体の密度、ｇ＝重力加速度、ｒ＝毛細管の半径である。毛細管力は上昇高さｈで表され、ｈが大きいものほど毛細管力が大きい。
ｈ＝（２Ｔcosθ）／ρｇｒ …（１）

式（１）から分かるように、毛細管の半径ｒが小さいほど上昇の高さｈ（すなわち毛細管力）は大きくなる。毛細管構造体（多孔質材）の場合、ｒはスポンジ状の部材であれば孔の大きさを表すパラメータであり、フェルト状の部材であれば繊維と繊維とで囲まれた隙間空間の大きさを表すパラメータである。

ここで、潤滑剤貯蔵部６０における毛細管力が従来のように一様で均質であると仮定した場合を考える。その場合、潤滑剤貯蔵部６０の面６０１から浸入した潤滑剤は、毛細管力により徐々に潤滑剤貯蔵部全体に浸透し、その後、潤滑剤が潤滑剤供給突起部６０ａの先端に達すると、面６０２から固定部品１００のテーパ面１００ａに潤滑剤が移動することになる。毛細管力が一様均質な場合には潤滑剤移動の効率が悪く、潤滑剤貯蔵部６０の面６０１から戻ってきた潤滑剤を離れた潤滑剤供給突起部６０ａの先端まで移動させるのに十分な力を発揮することができない。そのため、潤滑剤の戻りが少ない状況においては、テーパ面１００ａへの潤滑剤の供給が滞るというおそれがあった。

そこで、本実施の形態では、潤滑剤貯蔵部６０を構成する毛細管構造体の毛細管力が、潤滑剤戻り側（すなわち面６０１）から潤滑剤供給側（すなわち面６０２）にかけて大きくなっていくように潤滑剤貯蔵部６０を構成するようにした。図２に示す例では、潤滑剤貯蔵部６０の図示上下方向に毛細管力の大きさを変えるようにした。すなわち、図２のように面６０１を原点として下向きにｚ軸を設定した場合、潤滑剤貯蔵部６０における毛細管力のｚ方向に関する変化（ｚ方向の分布）を図３のように設定する。

図３において、実線Ｌ１が毛細管力のｚ方向分布を表している。原点（面６０１の位置）から潤滑剤供給突起部６０ａの上端位置（ｚ１）までは、毛細管力は一定の傾きで増加している。そして、位置ｚ１から潤滑剤貯蔵部６０の下面（ｚ２）までは毛細管力を一定とした。例えば、スポンジ状の毛細管構造体の場合には、孔径が面６０１から位置ｚ１にかけて小さくなっていくように構成されており、位置ｚ１から位置ｚ２の間は孔径がほぼ同じ大きさに設定されている。この場合、毛細管力の差による図示下向きの駆動力が潤滑剤に働くことにより、毛細管力が一様均質な場合に比べて潤滑剤の下方への移動を能動的に生じさせることができる。その結果、潤滑剤戻り側である面６０１から潤滑剤供給側である面６０２が形成された潤滑剤供給突起部６０ａへの潤滑剤の移動を効果的に行わせることができ、テーパ面１００ａを介したベアリング８への潤滑剤供給を安定して行わせることができる。

なお、図３に示す実線Ｌ１では、位置ｚ１から位置ｚ２まで毛細管力を一定としたが、破線Ｌ２で示すように位置ｚ２から位置ｚ１にかけて大きくなるように設定しても良い。破線Ｌ２のように毛細管力を設定した場合には、この領域では潤滑剤に対して図２の図示上向きの駆動力が働くので、潤滑剤が潤滑剤貯蔵部６０の下部（図２の位置ｚ１よりも下側）に無駄に滞留するのを低減することができる。

（変形例１）
図４は潤滑剤貯蔵部６０の変形例１を示す図である。変形例１では、潤滑剤貯蔵部６０は潤滑剤戻り側の面６０１から潤滑剤供給側の面６０２にかけて複数層の毛細管構造体を有していて、潤滑剤供給面（面６０２）に近い毛細管構造体ほど毛細管力が大きく設定されている。図４（ａ）では潤滑剤貯蔵部６０は図示上下（軸方向）に３層構造となっており、図４（ｂ）では潤滑剤貯蔵部６０は図示上下（軸方向）に４層構造となっている。

まず、図４（ａ）から説明すると、潤滑剤貯蔵部６０は、面６０１が形成された毛細管構造体６０Ａ、潤滑剤供給突起部６０ａが形成された毛細管構造体６０Ｂおよび毛細管構造体６０Ｂよりも下側の毛細管構造体６０Ｃで構成されている。各毛細管構造体６０Ａ〜６０Ｃの毛細管力の大小関係は、図４（ａ）に文字（大）、（小）で示すように、（毛細管構造体６０Ｂ）＞（毛細管構造体６０Ａ）＝（毛細管構造体６０Ｃ）のように設定されている。一方、図４（ｂ）では、毛細管構造体６０Ａをさらに上下に分割して、２層の毛細管構造体６２０，６２１とし、それらの毛細管力の大小関係を（毛細管構造体６０Ｂ）＞（毛細管構造体６２１）＞（毛細管構造体６２０）のように設定した。なお、毛細管構造体６０Ｂよりも下側の毛細管構造体６０Ｃについても、毛細管構造体６０Ａの場合と同様に複数層としても良い。

このように、潤滑剤貯蔵部６０を毛細管力の異なる毛細管構造体で層構造とすることで、図２に示す潤滑剤貯蔵部６０のように一つの毛細管構造体内で毛細管力に変化をつける場合に比べて、毛細管力に分布のある潤滑剤貯蔵部６０を容易に形成することができる。その場合、図４（ｂ）のように面６０１から面６０２までの経路において層数をより多くすることで、より効果的に毛細管力の差による潤滑剤駆動力を生じさせることができる。

（変形例２）
図５は潤滑剤貯蔵部６０の変形例２を示す図である。潤滑剤貯蔵部６０は、図４（ａ）に示した毛細管構造体６０Ａ〜６０Ｃに加えて毛細管構造体６０Ｄを備えている。毛細管構造体６０Ｄの毛細管力は隣接する毛細管構造体６０Ａと同一でも良いし、毛細管構造体６０Ａよりも小さく設定しても良い。毛細管構造体６０Ｄは、位置調整部品７０の内周側に、毛細管構造体６０Ａとベアリング８の外輪８１とに挟まれるように配置されている。すなわち、毛細管構造体６０Ｄの上面６０３は外輪８１に接触し、ベアリング８からの潤滑剤戻り面として機能する。

高速回転する内輪８２や転動体８３により弾き飛ばされた潤滑剤や、外輪８１の転動面から漏れ出た潤滑剤は、位置調整部品７０の内周側に配置された毛細管構造体６０Ｄに浸入し、毛細管力により図示下側の毛細管構造体６０Ａへと移動する。毛細管構造体６０Ａへと移動した潤滑剤は、さらに、毛細管力により毛細管構造体６０Ａ→毛細管構造体６０Ｂ→面６０２のように移動してテーパ面１００ａに供給される。

図２に示す構造では、位置調整部品７０の内周面に付着した潤滑剤は、重力により内周面を下側に移動して毛細管構造体６０Ａの面６０１に戻る。しかし、粘度のある潤滑剤が内周面を下側に移動する速度は小さく、とくに付着量が少ないと移動しにくい。また、真空ポンプの取付向きによっては、重力による作用を得ることが難しい場合がある。一方、図５の毛細管構造体６０Ｄに付着した潤滑油は毛細管力によって毛細管構造体６０Ｄ内を浸透するように移動するので、より効果的に潤滑剤を毛細管構造体６０Ａへと導くことができる。

毛細管構造体６０Ｄの形状は円筒形状に限らず、棒状の部品を円筒状に複数配置したものでも良い。毛細管構造体６０Ｄを構成する多孔質材としては、毛細管構造体６０Ａ〜６０Ｃの場合と同様にフェルト状やスポンジ状の部材や、多孔質焼結プラスチックや多孔質焼結金属などが用いられる。なお、図５に示す例では別体の毛細管構造体６０Ｄを位置調整部品７０の内周側に配置したが、毛細管構造体６０Ｄと毛細管構造体６０Ａとを一体に形成しても良い。

（変形例３）
図６は潤滑剤貯蔵部６０の変形例３を示す図である。変形例３では、図５に示した変形例２に、さらに毛細管構造体６０Ｅを外輪８１の内周側に配置した。毛細管構造体６０Ｅの毛細管力は隣接する毛細管構造体６０Ｄと同一でも良いし、毛細管構造体６０Ｄよりも小さく設定しても良い。なお、毛細管構造体６０Ｅは毛細管構造体６０Ｄと一体に形成しても良いし、毛細管構造体６０Ａ，６０Ｄおよび６０Ｅを一体に形成するようにしても良い。毛細管構造体６０Ｅを設けることにより、外輪８１の外輪から毛細管構造体６０Ａへの潤滑剤の戻りをより効果的に行わせることができる。

（変形例４）
図７は潤滑剤貯蔵部６０の変形例４を示す図である。変形例４では、図２に示す構成において、位置調整部品７０を毛細管構造体で構成した位置調整部品７１に置き換えたものである。毛細管構造体としては、例えば多孔質焼結金属が用いられる。このように位置調整部品７１を毛細管構造体で構成することで、図５に示すような毛細管構造体６０Ｄを設けなくても同様の効果を得ることができ、ベアリング８から潤滑剤貯蔵部６０への潤滑剤の戻りを効果的に行わせることができる。また、位置調整部品７１を毛細管構造体で構成する代わりに、位置調整部品７１の表面に多孔質電解メッキなどを施して毛細管力を有する多孔質層を形成するようにしても良い。

いずれの場合も、位置調整部品７１側の毛細管力は、毛細管構造体６０Ａの毛細管力よりも小さく、または、等しく設定される。また、位置調整部品７１の毛細管構造体内において毛細管力を変化させるようにする場合には、外輪８１に接触する面７１０から毛細管構造体６０Ａに接触する面７１１にかけて毛細管力が大きくなっていくように構成する。

以上説明したように、本実施の形態では、例えば図２に示すように、潤滑剤貯蔵部６０は、ベアリング８から排出された潤滑剤が戻る面６０１およびテーパ面１００ａに接触する潤滑剤を供給する面６０２を有し、テーパ面１００ａの潤滑剤は遠心力によりベアリング８に供給される。そして、潤滑剤貯蔵部６０を構成する毛細管構造体は、毛細管力が、潤滑剤戻り側（すなわち面６０１）から潤滑剤供給側（すなわち面６０２）にかけて大きくなっていくように構成されている。

そのため、潤滑剤貯蔵部６０に戻った潤滑剤を毛細管力の差による駆動力を利用して移動させることができ、毛細管力が一様均質な場合に比べてより多くの潤滑剤を潤滑剤循環に利用することができる。その結果、潤滑剤の早期劣化を防ぐことができる。すなわち、潤滑剤の量が同じであっても潤滑可能な使用時間を従来よりも延ばすことができ、潤滑剤交換の周期を延長することが可能となる。これによりメンテナンス周期の延長が可能となり、ユーザのメンテナンス負担の軽減を図ることができる。

また、潤滑剤の循環の効率向上が可能であることから、潤滑剤貯蔵部６０の潤滑剤の使用効率を上げることができ、より少ない潤滑剤貯蔵量でベアリング８の適切な潤滑状態を維持することが可能となる。すなわち、潤滑剤使用量の低減によるコスト低減や、潤滑剤貯蔵部６０の小型化によるポンプ小型化を図ることができる。なお、潤滑剤の循環に毛細管力を利用しているので、潤滑に対する重力の影響を低減することができると共に、ポンプ取り付け姿勢の制限を無くすことができる。

上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。

１…ポンプ本体、３…ポンプロータ、８，９…ベアリング、１０…シャフト、６０…潤滑剤貯蔵部、６０ａ…潤滑剤供給突起部、６０Ａ〜６０Ｅ…毛細管構造体、７０，７１…位置調整部品、８１…外輪、８２…内輪、８３…転動体、１００…固定部品、１００ａ…テーパ面、６０１，６０２，７１０，７１１…面、Ｒ…回転体ユニット

Claims (6)

1. ポンプロータが設けられた回転軸を支持する軸受と、
   前記回転軸に設けられ、遠心力により液状の潤滑剤を前記軸受に供給するためのテーパ面が形成されたテーパ部材と、
   前記軸受から排出された潤滑剤が戻る潤滑剤戻り面および前記テーパ面に接触する潤滑剤供給面を有し、前記潤滑剤が貯蔵される潤滑剤貯蔵部と、を備え、
   前記潤滑剤貯蔵部は、内部に多数の微小空隙を有する毛細管構造体で形成され、前記潤滑剤戻り面から前記潤滑剤供給面にかけて毛細管力が大きくなっていくように構成されている、真空ポンプ。
2. 請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
   前記潤滑剤戻り面は前記軸受の外輪に接触している、真空ポンプ。
3. 請求項１または２に記載の真空ポンプにおいて、
   前記微小空隙の大きさが、前記潤滑剤戻り面から前記潤滑剤供給面にかけて小さくなっていくように構成されている、真空ポンプ。
4. 請求項１または２に記載の真空ポンプにおいて、
   前記潤滑剤貯蔵部は、前記潤滑剤戻り面から前記潤滑剤供給面にかけて複数層の毛細管構造体を有し、
   前記複数層の毛細管構造体の毛細管力は、前記潤滑剤供給面に近い毛細管構造体ほど大きく設定されている、真空ポンプ。
5. 請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
   前記潤滑剤貯蔵部は、前記軸受の外輪の軸方向位置を調節する調整部材を介して配置され、
   前記調整部材は、前記外輪に接触する第１の面と前記潤滑剤貯蔵部に接触する第２の面とを有する多孔質焼結金属材で形成され、
   前記多孔質焼結金属材は、前記第１の面から前記第２の面にかけて毛細管力が大きくなっていくように構成されている、真空ポンプ。
6. 請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
   前記潤滑剤貯蔵部は、前記軸受の外輪の軸方向位置を調節する調整部材を介して配置され、
   前記調整部材は多孔質層を形成する表面処理が施され、
   前記多孔質層は、前記外輪に接触する第１の多孔質層表面から前記潤滑剤貯蔵部に接触する第２の多孔質層表面にかけて毛細管力が大きくなっていくように構成されている、真空ポンプ。

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