JP2019153787A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 基板の処理を行う複数の基板処理部と、前記基板を搬送する搬送部と、前記搬送部と前記基板処理部を制御する制御部を備えた基板処理装置の前記制御部に内蔵され、基板搬送スケジュールを計算するスケジューラであって、
   前記基板処理装置の処理条件、処理時間、及び制約条件を、グラフ・ネットワーク理論を用いてノード及びエッジにモデル化し、グラフ・ネットワークを作成し、各ノードへの最長経路長の計算を行うモデル化部と、
   前記最長経路長に基づいて前記基板搬送スケジュールを計算する計算部と、を有し、
   前記モデル化部は、前記グラフ・ネットワークを作成する対象となる前記基板のうち所定枚数の前記基板を一単位として、前記基板の各々のグラフ・ネットワークを作成し、
   前記スケジューラは、作成された前記グラフ・ネットワークの一つを固定し、
   前記モデル化部は、前記グラフ・ネットワークを作成する対象となる前記基板のうち、前記グラフ・ネットワークが既に固定された前記基板を除いた所定枚数の前記基板を別の一単位として、該別の一単位の前記基板の各々のグラフ・ネットワークを作成して、前記固定されたグラフ・ネットワークに追加し、
   前記スケジューラは、追加された前記グラフ・ネットワークの一つを固定し、
   前記制御部は、計算された前記基板搬送スケジュールに基づいて前記搬送部を制御するように構成される、スケジューラ。
2. 請求項１に記載されたスケジューラにおいて、
   前記グラフ・ネットワークが作成された前記基板の前記処理の開始時刻を計算し、
   前記処理の開始時刻を固定する、スケジューラ。
3. 請求項２に記載されたスケジューラにおいて、
   前記別の一単位の前記基板のグラフ・ネットワークを前記固定されたグラフ・ネットワークに追加したときに、前記グラフ・ネットワークが固定された前記基板の前記処理の開始時刻が変化しなかった場合に、前記処理の開始時刻を固定する、スケジューラ。
4. 請求項１から３のいずれか一項に記載されたスケジューラにおいて、
   前記モデル化部は、グラフ・ネットワークを作成する対象となる前記基板の全てのグラフ・ネットワークを作成する、スケジューラ。
5. 請求項１から４のいずれか一項に記載されたスケジューラにおいて、
   前記基板処理装置が非定常状態に移行したか否かを検知する検知部を有し、
   前記モデル化部は、前記基板処理装置が非定常状態に移行したことを前記検知部が検知したとき、前記非定常状態における前記基板処理装置の処理条件、処理時間、及び制約条件を、グラフ・ネットワーク理論を用いてノード及びエッジにモデル化し、グラフ・ネットワークを作成し、各ノードへの最長経路長の計算を行い、
   前記計算部は、前記非定常状態における前記各ノードへの最長経路長に基づいて、前記基板搬送スケジュールを計算するように構成される、スケジューラ。
6. 請求項５に記載されたスケジューラにおいて、
   前記非定常状態は、前記基板処理装置の故障時の状態、基板ホルダのメンテナンス時の状態、アノードホルダのメンテナンス時の状態、又は前記基板処理装置の稼働中に前記基板の処理が変更された場合を含む、スケジューラ。
7. 基板の処理を行う複数の基板処理部と、前記基板を搬送する搬送部と、前記搬送部と前記基板処理部を制御する制御部を備えた基板処理装置を用いた基板搬送方法であって、
   前記基板処理装置の処理条件、処理時間、及び制約条件を、グラフ・ネットワーク理論を用いてノード及びエッジにモデル化し、グラフ・ネットワークを作成し、各ノードへの最長経路長の計算を行うモデル化工程と、
   前記最長経路長に基づいて基板搬送スケジュールを計算する計算工程と、
   前記基板搬送スケジュールに基づいて前記基板を搬送する工程と、を有し、
   前記計算工程は、
   前記グラフ・ネットワークを作成する対象となる前記基板のうち所定枚数の前記基板を一単位として、前記基板の各々のグラフ・ネットワークを作成する工程と、
   作成された前記グラフ・ネットワークの一つを固定する工程と、
   前記グラフ・ネットワークを作成する対象となる前記基板のうち、前記グラフ・ネットワークが既に固定された前記基板を除いた所定枚数の前記基板を別の一単位として、該別の一単位の前記基板の各々のグラフ・ネットワークを作成して、前記固定されたグラフ・ネットワークに追加する工程と、
   追加された前記グラフ・ネットワークの一つを固定する工程と、を含む、基板搬送方法。
8. 請求項７に記載された基板搬送方法において、
   前記計算工程は、
   前記グラフ・ネットワークが作成された前記基板の前記処理の開始時刻を計算する工程と、
   前記処理の開始時刻を固定する工程と、を含む、基板搬送方法。
9. 請求項８に記載された基板搬送方法において、
   前記処理の開始時刻を固定する工程は、前記別の一単位の前記基板のグラフ・ネットワークを前記固定されたグラフ・ネットワークに追加したときに、前記グラフ・ネットワークが固定された前記基板の前記処理の開始時刻が変化しなかった場合に、前記処理の開始時刻を固定する、基板搬送方法。
10. 請求項７から９のいずれか一項に記載された基板搬送方法において、
    前記基板処理装置が非定常状態に移行したか否かを検知する工程を有し、
    前記モデル化工程は、前記基板処理装置が非定常状態に移行したことを検知したとき、前記非定常状態における前記基板処理装置の処理条件、処理時間、及び制約条件を、グラフ・ネットワーク理論を用いてノード及びエッジにモデル化し、グラフ・ネットワークを作成し、前記各ノードへの最長経路長の計算を行う工程を含み、
    前記計算工程は、前記非定常状態の前記各ノードへの最長経路長に基づいて、前記基板搬送スケジュールを計算する工程を含む、基板搬送方法。
11. 請求項１０に記載された基板搬送方法において、
    前記非定常状態は、前記基板処理装置の故障時の状態、基板ホルダのメンテナンス時の状態、アノードホルダのメンテナンス時の状態、又は前記基板処理装置の稼働中に前記基板の処理が変更された場合を含む、基板搬送方法。