JP2019148702A

JP2019148702A - ２面コーナーリフレクタアレイ及びその製造方法

Info

Publication number: JP2019148702A
Application number: JP2018033290A
Authority: JP
Inventors: 賢周森本; Kenshu Morimoto
Original assignee: Daishinku Corp
Current assignee: Daishinku Corp
Priority date: 2018-02-27
Filing date: 2018-02-27
Publication date: 2019-09-05

Abstract

【課題】金型を使用することなく、しかも、２つの部材を重ね合わせて接合する必要がなく、安価に、かつ容易に製造できる２面コーナーリフレクタアレイを提供する。【解決手段】枠状の２面コーナーリフレクタアレイ１は、多数の貫通孔２の隣接する２つの内面である反射面２ａ，２ｂによって２面コーナーリフレクタ３をそれぞれ構成し、当該２面コーナーリフレクタアレイ１を、感光性樹脂を所定のパターンのマスクを介して露光し、現像して製造する。【選択図】図３

Description

本発明は、直交する２つの反射面から構成される２面コーナーリフレクタを多数備えた２面コーナーリフレクタアレイ（DCRA:Dihedral Corner Reflector Array）及びその製造方法に関する。

２面コーナーリフレクタアレイは、映像を当該２面コーナーリフレクタアレイに対して面対称な位置にある空間に結像させることができる光学結像素子であり、空中に映像を表示する空中映像表示技術に利用されている。２面コーナーリフレクタアレイは、２つの直交する反射面を基本構成とする２面コーナーリフレクタの多数の集合として構成される。

かかる２面コーナーリフレクタアレイの製造方法として、樹脂材料などを金型で成型する方法があるが、２面コーナーリフレクタは、微小な凹部や凸部を有しているので、金型の製作に高い精度が要求されると共に、金型からの製品の離型が容易でなく、製造コストが高くなるといった課題がある。

金型を使用しない２面コーナーリフレクタアレイの製造方法として、例えば、特許文献１に開示された製造方法がある。

この特許文献１には、概略四角柱状で１つの面が第１鏡面である第１鏡体及び複数の前記第１鏡体を平行に並べて支持する第１ベースを有する第１部材と、概略四角柱状で１つの面が第２鏡面である第２鏡体及び複数の前記第２鏡体を平行に並べて支持する第２ベースを有する第２部材とを、各第１鏡面と各第２鏡面とがそれぞれ直角をなすように重ね合わせて接合し、２面コーナーリフレクタアレイを構成することが記載されている。

特開２００９−２７６６９９号公報

上記特許文献１の製造方法のように、第１部材の平行に延びる複数の第１鏡体と、第２部材の平行に延びる複数の第２鏡体とを、各第１鏡面と各第２鏡面とがそれぞれ直角をなすように重ね合わせて接合するには、高い位置精度が求められ、容易ではなく、また、各ベースに、概略四角柱状の複数の鏡体を平行に並べて支持させるのも容易ではない。

特に、視覚効果を高めるために、第１鏡面と第２鏡面とからなる一組の２面コーナーリフレクタを、多数構成しようとすると、平行に並べて配置される概略四角柱状の鏡体のサイズ及び隣合う鏡体間の間隔も小さくなるために、第１部材と第２部材とを、各第１鏡面と各第２鏡面とがそれぞれ直角をなすように
位置合せして接合するのは一層困難になると共に、接合領域も小さくなるために、十分な接合強度が得られない。

本発明は、上記のような点に鑑みて為されたものであって、金型を使用することなく、しかも、２つの部材を重ね合わせて接合する必要がなく、安価に、かつ容易に製造できる２面コーナーリフレクタアレイ及びその製造方法を提供することを目的とする。

本発明では、上記目的を達成するために、次のように構成している。

すなわち、本発明の２面コーナーリフレクタアレイは、平面視で略直交する２つの反射面を複数有すると共に、硬化した感光性樹脂によって構成されている。

本発明の２面コーナーリフレクタアレイは、硬化した感光性樹脂によって構成されているので、当該２面コーナーリフレクタアレイは、感光性樹脂を、所要のパターンのマスクを介して露光、現像して製造することができる。

これによって、金型を使用して２面コーナーリフレクタアレイを成型する従来例のように、製作に高い精度が要求される高価な金型を必要とすることなく、金型からの離型の問題もない。また、上記特許文献１のように、第１部材の平行に延びる複数の第１鏡体と、第２部材の平行に延びる複数の第２鏡体とを、各第１鏡面と各第２鏡面とがそれぞれ直角をなすように、高い位置精度で重ね合わせて２つの部材を接合するといった必要がなく、安価に、かつ、容易に２面コーナーリフレクタアレイを製造することができる。また、マスクのパターン等を選択することによって、形状の異なる２面コーナーリフレクタアレイを容易に製造することが可能となり、形状の選択の自由度が高まる。

当該２面コーナーリフレクタアレイは、複数の貫通孔を備え、各貫通孔は、平面視で略直交する隣接する２つの内面をそれぞれ有し、前記各貫通孔の前記隣接する２つの内面が、光反射性膜で被覆されて、前記２つの反射面を構成しているのが好ましい。

上記構成によれば、各貫通孔の、平面視で略直交する隣接する２つの内面が光反射性膜で被覆されて２つの反射面とされるので、各貫通孔によって２面コーナーリフレクタがそれぞれ構成され、複数の貫通孔によって、２面コーナーリフレクタアレイが構成される。

当該２面コーナーリフレクタアレイは、前記複数の貫通孔を区画形成する枠状に形成されているのが好ましい。

上記構成によれば、当該２面コーナーリフレクタアレイを、２面コーナーリフレクタをそれぞれ構成する多数の貫通孔を区画形成する枠体とすることができる。

当該２面コーナーリフレクタアレイは、透明な支持部と該支持部から突出する複数の突出部とを有し、各突出部は、平面視で略直交する隣接する２つの側面をそれぞれ有し、前記各突出部の前記隣接する２つの側面が、前記２つの反射面を構成しているのが好ましい。

上記構成によれば、各突出部の、平面視で略直交する隣接する２つの側面が２つの反射面とされるので、各突出部によって２面コーナーリフレクタがそれぞれ構成され、複数の突出部によって、２面コーナーリフレクタアレイが構成される。

前記支持部が平板状であり、前記突出部が柱状であるのが好ましい。

上記構成によれば、平板状の支持部に対して、平面視で略直交する隣接する２つの側面を有する柱状、例えば、角柱状の複数の突出部を形成して２面コーナーリフレクタアレイを構成することができる。

前記感光性樹脂が、ネガ型レジストであるのが好ましい。

ネガ型レジストは、ポジ型レジストに比べて、厚膜化が容易であり、上記構成によれば、当該２面コーナーリフレクタアレイの、例えば、貫通孔や突出部のアスペクト比を高めることができる。

本発明の２面コーナーリフレクタアレイの製造方法は、基板上に感光性樹脂層を形成する形成工程と、形成した前記感光性樹脂層を、マスクを介して所定のパターンに露光する露光工程と、露光した前記感光性樹脂層を現像する現像工程と、現像後の前記感光性樹脂層を前記基板から分離する分離工程とを含み、前記所定のパターンが、平面視で略直角な角部を有する単位パターンを複数備える。

本発明の２面コーナーリフレクタアレイの製造方法によれば、基板上に形成した感光性樹脂層を、マスクを介して所定のパターンに露光し、現像し、基板から分離することによって、複数の各単位パターンに対応して、平面視で略直角な角部、すなわち、前記角部を構成する平面視で略直交する隣接する２つの面を形成することができ、この２つの面を反射面として２面コーナーリフレクタアレイを構成することができる。

このように感光性樹脂を、所定のパターンのマスクを介して露光、現像して２面コーナーリフレクタアレイを製造することができるので、金型を使用して２面コーナーリフレクタアレイを成型する従来例のように、製作に高い精度が要求される高価な金型を必要とすることなく、金型からの離型の問題もない。また、上記特許文献１のように、第１部材の平行に延びる複数の第１鏡体と、第２部材の平行に延びる複数の第２鏡体とを、各第１鏡面と各第２鏡面とがそれぞれ直角をなすように、高い位置精度で重ね合わせて２つの部材を接合するといった必要がなく、安価に、かつ、容易に２面コーナーリフレクタアレイを製造することができる。また、マスクのパターンを選択することによって、形状の異なる２面コーナーリフレクタアレイを容易に製造することが可能となり、形状の選択の自由度が高まる。

前記単位パターンが、平面視で多角形状のパターンであるのが好ましい。

上記構成によれば、マスクの単位パターンが、平面視で多角形状のパターンであるので、露光工程では、感光性樹脂層に、平面視で略直角な角部を有する多角形状の各単位パターンを転写することができる。各単位パターンが転写された感光性樹脂層を現像することによって、各単位パターンに対応して、平面視で略直角な前記角部を構成する隣接する２つの面を、それぞれ形成することができ、２つの面を反射面として２面コーナーリフレクタアレイを構成することができる。

前記多角形状のパターンが、矩形のパターンであるのが好ましい。

上記構成によれば、マスクの単位パターンが、平面視で矩形のパターンであるので、露光工程では、感光性樹脂層に、矩形の各単位パターンを転写することができ、現像することによって、各単位パターンに対応して、矩形の略直角な角部を構成する隣接する２つの面をそれぞれ形成することができ、２つの面を反射面として２面コーナーリフレクタアレイを構成することができる。

前記現像工程では、前記多角形状のパターンの前記多角形状に区画された領域内の感光性樹脂層を除去して、前記感光性樹脂層に、平面視で略直交する隣接する２つの内面を有する貫通孔を形成するのが好ましい。

上記構成によれば、現像工程では、平面視で略直角な角部を有する多角形状の単位パターンに対応して、多角形状の領域内の感光性樹脂を除去して、多角形状の貫通孔を形成し、貫通孔の平面視で略直交する隣接する２つの内面を反射面として２面コーナーリフレクタアレイを構成することができる。

前記形成工程に先立って、前記基板上に、硬化した透明な感光性樹脂層を予め形成する予備形成工程を更に含み、前記現像工程では、前記多角形状のパターンの前記多角形状に区画された領域外の感光性樹脂層を除去して、前記透明な感光性樹脂層上に、平面視で略直交する隣接する２つの側面を有する突出部を形成するのが好ましい。

上記構成によれば、現像工程では、平面視で略直角な角部を有する多角形状の単位パターンに対応して、多角形状の領域外の周囲の感光性樹脂を除去して、予備形成工程で予め硬化させた透明な感光性樹脂層の上に、多角柱状の突出部を形成し、多角柱状の突出部の略直交する隣接する２つの側面を反射面として２面コーナーリフレクタアレイを構成することができる。

前記感光性樹脂層が、ネガ型レジストの層であるのが好ましい。

ネガ型レジストは、ポジ型レジストに比べて、厚膜化が容易であり、上記構成によれば、当該２面コーナーリフレクタアレイの、貫通孔や突出部のアスペクト比を高めることができる。

本発明によれば、２面コーナーリフレクタアレイを、硬化した感光性樹脂によって構成しているので、当該２面コーナーリフレクタアレイは、感光性樹脂を、所要のパターンのマスクを介して露光、現像して製造することができる。

図１は本発明の一実施形態に係る２面コーナーリフレクタアレイの平面図である。図２は図１の一部を拡大して示す平面図である。図３は図１の一部を拡大して示す斜視図である。図４は図１の２面コーナーリフレクタアレイによる結像様式を模式的に示す図である。図５は図１の２面コーナーリフレクタアレイの製造工程を示す概略断面図である。図６は本発明の他の実施形態の２面コーナーリフレクタアレイの図２に対応する平面図である。図７は本発明の更に他の実施形態の２面コーナーリフレクタアレイの図２に対応する平面図である。図８は本発明の他の実施形態の２面コーナーリフレクタアレイの斜視図である。図９は本発明の更に他の実施形態に係る２面コーナーリフレクタアレイの平面図である。図１０は図９の一部を拡大して示す平面図である。図１１は図９の一部を拡大して示す斜視図である。図１２は図１０のＡ−Ａ線断面図である。図１３は図９の２面コーナーリフレクタアレイの製造工程を示す概略断面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

図１は、本発明の一実施形態の２面コーナーリフレクタアレイの平面図であり、図２は図１の一部を拡大して示す平面図であり、図３は、図１の一部を拡大して示す斜視図である。

この実施形態の２面コーナーリフレクタアレイ１は、平面視で矩形、この例では正方形の多数の貫通孔２を区画形成する枠部１ａを備えている。この枠部１ａは、各貫通孔２の周囲を囲むように枠状に形成されている。この２面コーナーリフレクタアレイ１の枠部１ａは、各貫通孔２の内面を含む全面が、後述のように、光反射性膜で被覆された反射面となっている。

２面コーナーリフレクタアレイ１の枠部１ａの上下の各端面は、互いに平行に形成されており、各貫通孔２は、その内面が、枠部１ａの前記各端面に対して略垂直になるよう貫通形成されている。

この実施形態の２面コーナーリフレクタアレイ１の上下の各端面間の距離、すなわち、枠部１ａの高さ（厚さ）は、例えば、３００μｍ〜６００μｍである。また、図２に示される枠部１ａの幅Ｗは、数十μｍ程度、この例では、３０μｍである。平面視正方形の貫通孔２の正方形の各一辺の長さは、例えば、２００μｍ〜３００μｍであり、この例では、２５０μｍである。

平面視正方形の貫通孔２の内面を構成する４つの反射面は、隣接する２つの反射面が平面視でそれぞれ略直交しており、隣接する２つの反射面によって、２面コーナーリフレクタがそれぞれ構成されている。ここでは、貫通孔２の４つの反射面の内、例えば、図２及び図３に示すように、貫通孔２の上部の角部４を構成する、隣接する２つの反射面２ａ，２ｂによる２面コーナーリフレクタ３を例にとって説明する。なお、前記隣接する２つの反射面２ａ，２ｂ以外の、２面コーナーリフレクタ３を構成しない他の反射面は、枠部１ａの上下の各端面に対して垂直でなく、傾斜させてなどして多重反射光を抑制するようにしてもよい。

ここで、略直交するとは、直角（９０度）に交差する場合に限らず、９０±２度、好ましくは、９０±１度の角度範囲で交差する場合も含むものである。また、交差する角部４の頂点付近の反射面２ａ，２ｂが、例えば、平面視で円弧状となって角部４が丸味を帯びたような場合も含むものである。

このように各貫通孔２によって、２面コーナーリフレクタ３がそれぞれ構成され、各貫通孔２からなる微小な２面コーナーリフレクタ３を、格子状に多数並べた２面コーナーリフレクタアレイ１が構成される。

また、２面コーナーリフレクタアレイ１において、貫通孔２の単位面積当たりの形成数は、前記サイズの貫通孔２の場合、例えば、１ｍｍ²当りでは約８個である。

２面コーナーリフレクタアレイ１の貫通孔２のサイズや形成数等は、２面コーナーリフレクタアレイ１の用途や要求される明度や解像度等に応じて適宜選択すればよい。

この実施形態の２面コーナーリフレクタアレイ１は、後述のようにして、硬化した感光性樹脂、具体的には、硬化したネガ型レジストによって構成されている。

ここで、図４を参照して、２面コーナーリフレクタアレイ１の光学結像作用について説明する。図４は、２面コーナーリフレクタアレイ１による結像様式を模式的に示す図であり、多数の各貫通孔２の略直交する反射面２ａ，２ｂをＶ字形状で簡略化して示している。

２面コーナーリフレクタアレイ１は、枠部１ａの上下の各端面に平行な素子面５に対して一方側（図４では下方側）の空間に配置した光源６の空中像７を実像として、素子面５に対する面対称位置に結像させるものである。

このような２面コーナーリフレクタアレイ１による結像作用は、各２面コーナーリフレクタ３において、光源６からの光が素子面５の一方側から他方側へ透過する際に、光源６から発した光が、貫通孔２の直交する２つの反射面２ａ，２ｂの一方の反射面２ａ（２ｂ）で反射し、更に他方の反射面２ｂ（２ａ）で反射することによって得られるものである。

このように２面コーナーリフレクタアレイ１では、素子面５の一方側の空間に配置された光源６から発した光が、２面コーナーリフレクタアレイ１を通過する際に、２面コーナーリフレクタ３の２つの反射面２ａ，２ｂで１回ずつ、合計２回反射する。これにより、素子面５に対する光源６の面対称位置に空中像７が結像し、それを素子面５に対して空中像７と同じ側の空間から観察することができる。

次に、この実施形態の２面コーナーリフレクタアレイ１の製造方法を、図５の概略断面図に基づいて説明する。なお、この図５では、分かり易いように光反射性膜１１等の厚みを誇張して描いている。

先ず、図５（ａ）に示される洗浄したガラス、水晶や金属等からなる基板８、この例ではガラスからなる基板８の全面に、例えば、スパッタリングや蒸着などの手法を用いて金属層９を、図５（ｂ）に示すように形成する。

この金属層９は、次に形成されるネガ型レジスト層１０に対して親和性の低い金属、例えば、金（Ａｕ）層とするのが好ましい。

次に、感光性樹脂層を形成する形成工程では、図５（ｃ）に示されるようにスピンコートなどによって、感光性樹脂層としてのネガ型レジスト層１０を塗布形成する。このネガ型レジストとしては、加工終了後も除去されることなく残る、いわゆる、永久レジストとして、公知のネガ型レジストを使用することができる。

このネガ型レジスト層１０を、図５（ｄ）に示すように、多数の貫通孔２に対応するパターンの図示しないマスクを介して露光し、現像する。

この露光工程では、マスクを介してネガ型レジスト層１０を、所定のパターンである、上記図１に示される格子状の所定のパターンに露光する、すなわち、ネガ型レジスト層１０に所定のパターンを転写する。

この所定のパターンは、図１に示されるように、平面視で略直角な角部を有する正方形のパターンを単位パターンとし、この単位パターンを、縦横に繰り返し備えた格子状のパターンである。

この実施形態では、この所定のパターンの正方形の領域外の枠部１ａに対応する領域を露光し、この枠部１ａに対応する領域のネガ型レジスト層１０を硬化させる。

現像工程は、例えば、現像液中に浸漬するディップ現像によって行われる。この現像によって、正方形の領域内のネガ型レジスト層１０が除去され、正方形の多数の貫通孔２が形成された枠部１ａに対応する構造体が形成される。

露光に際しては、枠部１ａの上下の各端面に対して、貫通孔２が垂直に形成されるように、焦点距離等の露光条件が設定される。

次に、図５（ｅ）に示すように、現像後の構造体１ｂを基板８から分離する分離工程を行う。基板８には、上記のように、ネガ型レジストに対して親和性の低い金からなる金属層９が形成されているので、構造体１ｂを、基板８から容易に分離することができる。

なお、基板８自体が、ネガ型レジストに対して親和性の低い金属である場合には、現像後の構造体１ｂを基板８から容易に分離することができるので、金属層９の形成を省略してもよい。

次に、図示しない加熱工程において、構造体１ｂを、例えば、熱板上で２００℃程度に加熱して、ネガ型レジストに残存する溶剤等を除去する。

その後、図５（ｆ）に示すように、構造体１ｂの全面を、光反射性膜１１で被覆して反射面を形成する。

具体的には、多数の貫通孔２が形成された構造体１ｂに、貫通孔２の内面を含む露出面の全面に、例えば、スパッタリングや蒸着などの手法を用いて金属膜からなる光反射性膜１１を形成して反射面、すなわち、鏡面とする。これによって、図１に示される、２面コーナーリフレクタアレイ１が得られる。

この光反射性膜１１を構成する金属膜として、例えば、銀、ニッケル、アルミニウムなどの金属を用いることができ、この実施形態では、銀合金（例えばＡｇ−Ｐｄ-Ｃｕ合金）を用いている。

なお、空中映像を表示する表示画面に応じて、２面コーナーリフレクタアレイ１を大型化する場合には、例えば、透明なガラス基板等に、２面コーナーリフレクタアレイ１を、縦横に多数並べて接合すればよい。

上記のように本実施形態の２面コーナーリフレクタアレイ１は、ネガ型レジスト層１０を形成し、マスクを介して所定のパターンに露光し、現像して得られる構造体１ｂに光反射性膜１１を被覆したものであり、いわゆる、感光性永久レジストからなる構造体である。

このように本実施形態の２面コーナーリフレクタアレイ１は、感光性永久レジストから構成されるので、金型を使用して２面コーナーリフレクタアレイを成型する従来例のように、製作に高い精度が要求される高価な金型を必要とすることなく、金型からの離型の問題もない。

更に、第１部材と第２部材とによって２面コーナーリフレクタアレイを構成する上記特許文献１のように、２つの部材を、各部材の各鏡面がそれぞれ直角をなすように高い位置精度で重ね合わせて接合するといった必要がない。

このように本実施形態によれば、従来例に比べて、２面コーナーリフレクタアレイを容易に、かつ安価に製造することができる。

また、露光の際のマスクの所定のパターン等を選択することによって、形状の異なる２面コーナーリフレクタアレイを容易に製造することが可能となり、形状の選択の自由度が高まる。

上記実施形態では、図２に示すように、各貫通孔２は、平面視正方形であって、各角部は、直角であったが、必ずしも直角でなくてもよい。例えば、図６の平面図に示すように、２面コーナーリフレクタアレイ１₁の各貫通孔２₁の各角部が直角でなく、丸味を帯びていてもよい。この場合にも、１つの角部、例えば、角部４₁を構成する、隣接する２つの反射面２ａ₁，２ｂ₁によって、２面コーナーリフレクタ３₁が構成される。

また、各貫通孔は、図７の平面図に示すように、少なくとも１つの角部４₂が、略直交するすものであればよく、この１つの角部４₂を構成する、隣接する２つの反射面２ａ₂，２ｂ₂によって、２面コーナーリフレクタ３₂を構成することができる。

更に、２面コーナーリフレクタアレイ１，１₁，１₂は、各貫通孔２，２₁，２₂の周囲を囲むように形成された枠体に限らず、例えば、図８の斜視図に示すように、２面コーナーリフレクタアレイ１₃は、平板状の基板１２に、２面コーナーリフレクタを構成する多数の貫通孔２₃を形成した板状体であってもよい。この板状体を、上記実施形態と同様に、硬化した感光性樹脂によって構成する。

上記各実施形態では、多数の貫通孔２，２₁，２₂，２₃の内面によって、２面コーナーリフレクタを構成したが、貫通孔に限らず、例えば、次の実施形態に示すように、多数の突出部を平板状の支持部に支持し、前記突出部によって２面コーナーリフレクタを構成してもよい。

図９は、本発明の他の実施形態に係る２面コーナーリフレクタアレイの平面図であり、図１０は、図９の一部を拡大して示す平面図であり、図１１は、図９の一部を拡大して示す斜視図であり、図１２は、図１０のＡ−Ａ線断面図である。

この実施形態の２面コーナーリフレクタアレイ３１は、平面視で矩形平板状の支持部３２と、この支持部３２の一方の面（表面）に、突出形成された多数の突出部３３とを備えている。この２面コーナーリフレクタアレイ３１は、透明である。この実施形態の２面コーナーリフレクタアレイ３１も、上記実施形態と同様に、感光性樹脂を硬化させて構成されている。

各突出部３３は、同一の角柱状、この例では、直方体にそれぞれ形成されており、支持部３２上に整列して形成されている。

支持部３２の他方の面（裏面）は、図１２に示すように、平坦面となっている。

各突出部３３は、直方体の４つの各側面が、平板状の支持部３２の両面に対して垂直に突出している。直方体の４つの側面は、隣接する２つの側面が、平面視でそれぞれ略直交しており、隣接する２つの側面によって、２面コーナーリフレクタがそれぞれ構成されている。ここでは、直方体の４つの側面の内、例えば、図１０及び図１１に示すように、直方体の上部の角部３５を構成する、隣接する２つの側面３３ａ，３３ｂによる２面コーナーリフレクタ３４を例にとって説明する。なお、前記隣接する２つの側面３３ａ，３３ｂ以外の、２面コーナーリフレクタ３４を構成しない他の側面は、平板状の支持部３２に対して垂直でなく、傾斜させてなどして多重反射光を抑制するようにしてもよい。

この実施形態では、隣接する２つの側面３３ａ，３３ｂの内側面（内壁面）が、２面コーナーリフレクタ３４を構成している。すなわち、各突出部３３の隣接する２つの側面３３ａ，３３ｂの２つの内側面が、図２に示される上記実施形態の２つの反射面２ａ，２ｂに相当する。

したがって、この透明な２面コーナーリフレクタアレイ３１では、支持部３２の他方の面（裏面）側から入射した光は、直方体の各突出部３３の直交する各側面（各内側面）３３ａ，３３ｂで、それぞれ１回ずつ、計２回反射されて突出部３３から出射される。

次に、この実施形態の２面コーナーリフレクタアレイ３１の製造方法を、図１３の概略断面図に基づいて説明する。

先ず、図１３（ａ）に示される洗浄したガラス、水晶や金属等からなる基板３６、この例ではガラスからなる基板３６の全面に、例えば、スパッタリングや蒸着などの手法を用いて金属層３７、例えば、金（Ａｕ）層を、図１３（ｂ）に示すように形成する。

次に、図１３（ｃ）に示されるようにスピンコートなどによって、支持部３２となる、透明な感光性樹脂層としてのネガ型レジスト層３８を塗布形成し、全面露光してネガ型レジスト層３８を硬化させる。これによって、透明な平板状の支持部３２が形成される。

次に、この支持部３２上に、図１３（ｄ）に示されるように、スピンコートなどによって、透明な感光性樹脂層としてのネガ型レジスト層３９を厚く塗布形成する。

このネガ型レジスト層３９を、図１３（ｅ）に示すように、多数の突出部３３に対応するパターンの図示しないマスクを介して露光し、現像する。

この露光工程では、マスクを介してネガ型レジスト層３９に、所定のパターンである、上記図９に示される格子状の所定のパターンを転写する。

この所定のパターンは、図９に示されるように、平面視で略直角な角部を有する正方形のパターンを単位パターンとし、この単位パターンを、縦横に繰り返し備えた格子状のパターンである。

この実施形態では、この所定のパターンの各正方形の領域内を露光し、この各正方形の領域内のネガ型レジスト層３９を硬化させる。

現像によって、各正方形の領域外の周囲のネガ型レジスト層３９が除去され、多数の柱状の正方形、すなわち、透明な多数の直方体の突出部３３が形成される。

次に、図１３（ｆ）に示すように、突出部３３が形成された支持部３２を、基板３６から分離する。基板３６には、金属層３７が形成されているので、支持部３２を、基板３６から容易に分離することができる。

これによって、図１３（ｆ）に示されるように、平板状の支持部３２上に、多数の直方体の突出部３３が形成された透明な２面コーナーリフレクタアレイ３２が得られる。

なお、突出部３３は、直方体に限らず、立方体であってもよく、三角柱状や五角柱状等の他の柱状であってもよく、平面視で略直交する少なくとも１つの角部を有するものであればよい。また、角部は、直角でなくてもよく、上記図６に示すように、角部が丸味を帯びたものであってもよい。

感光性樹脂は、上記ネガ型レジストに限らず、ポジ型レジストを使用してもよい。

１，１₁，１₂，１₃，３１２面コーナーリフレクタアレイ
２，２₁，２₂，２₃，貫通孔
３，３₁，３₂，３４２面コーナーリフレクタ
４，４₁，４₂，３５角部
１０，３８，３９ネガ型レジスト層
１１光反射性膜
３２支持部
３３突出部

Claims

平面視で略直交する２つの反射面を複数有すると共に、硬化した感光性樹脂によって構成されている、
ことを特徴とする２面コーナーリフレクタアレイ。
当該２面コーナーリフレクタアレイは、複数の貫通孔を備え、各貫通孔は、平面視で略直交する隣接する２つの内面をそれぞれ有し、前記各貫通孔の前記隣接する２つの内面が、光反射性膜で被覆されて、前記２つの反射面を構成している、
請求項１に記載の２面コーナーリフレクタアレイ。
当該２面コーナーリフレクタアレイは、前記複数の貫通孔を区画形成する枠状に形成されている、
請求項２に記載の２面コーナーリフレクタアレイ。
当該２面コーナーリフレクタアレイは、透明な支持部と該支持部から突出する複数の突出部とを有し、各突出部は、平面視で略直交する隣接する２つの側面をそれぞれ有し、前記各突出部の前記隣接する２つの側面が、前記２つの反射面を構成している、
請求項１に記載の２面コーナーリフレクタアレイ。
前記支持部が平板状であり、前記突出部が柱状である、
請求項４に記載の２面コーナーリフレクタアレイ。
前記感光性樹脂が、ネガ型レジストである、
請求項１ないし５のいずれか一項に記載の２面コーナーリフレクタアレイ。
基板上に感光性樹脂層を形成する形成工程と、
形成した前記感光性樹脂層を、マスクを介して所定のパターンに露光する露光工程と、
露光した前記感光性樹脂層を現像する現像工程と、
現像後の前記感光性樹脂層を前記基板から分離する分離工程とを含み、
前記所定のパターンが、平面視で略直角な角部を有する単位パターンを複数備える、
ことを特徴とする２面コーナーリフレクタアレイの製造方法。
前記単位パターンが、平面視で多角形状のパターンである、
請求項７に記載の２面コーナーリフレクタアレイの製造方法。
前記多角形状のパターンが、矩形のパターンである、
請求項８に記載の２面コーナーリフレクタアレイの製造方法。
前記現像工程では、前記多角形状のパターンの前記多角形状に区画された領域内の感光性樹脂層を除去して、前記感光性樹脂層に、平面視で略直交する隣接する２つの内面を有する貫通孔を形成する、
請求項８または９に記載の２面コーナーリフレクタアレイの製造方法。
前記形成工程に先立って、前記基板上に、硬化した透明な感光性樹脂層を予め形成する予備形成工程を更に含み、
前記現像工程では、前記多角形状のパターンの前記多角形状に区画された領域外の感光性樹脂層を除去して、前記透明な感光性樹脂層上に、平面視で略直交する隣接する２つの側面を有する突出部を形成する、
請求項８または９に記載の２面コーナーリフレクタアレイの製造方法。
前記感光性樹脂層が、ネガ型レジストの層である、
請求項７ないし１１のいずれか一項に記載の２面コーナーリフレクタアレイの製造方法。