JP2019140173A - Frame housing tool - Google Patents
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- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 22
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 2
- 230000009191 jumping Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
Description
本発明は、環状のフレーム、または、該フレームを含むフレームユニットを収容するフレーム収容具に関する。 The present invention relates to an annular frame or a frame container that houses a frame unit including the frame.
デバイスチップの製造工程では、表面に複数のデバイスが形成された半導体ウェーハ等の被加工物を分割する切削装置やレーザ加工装置等の各種の加工装置が使用される。該被加工物が加工される際、環状のフレームと、テープと、被加工物と、が一体となったフレームユニットが形成され、被加工物はフレームユニットの状態で加工装置に搬入され加工される。該フレームユニットは、例えば、該フレームの開口を塞ぐようにテープを張り、次に該開口の内側で被加工物に該テープを貼着することで形成される。 In the device chip manufacturing process, various processing apparatuses such as a cutting apparatus and a laser processing apparatus that divide a workpiece such as a semiconductor wafer having a plurality of devices formed on the surface thereof are used. When the workpiece is processed, a frame unit in which the annular frame, the tape, and the workpiece are integrated is formed, and the workpiece is carried into the processing apparatus in the state of the frame unit and processed. The The frame unit is formed, for example, by applying a tape so as to close the opening of the frame, and then sticking the tape to a workpiece inside the opening.
これらの加工装置は、被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルの保持面の外周側に配されたクランプと、を備える。該加工装置に搬入されたフレームユニットは、チャックテーブルの保持面上に載せられる。そして、加工装置は、クランプでフレームを把持するとともにチャックテーブルで該テープを介して被加工物を吸引保持し、チャックテーブルに保持された被加工物を加工する。 These processing apparatuses include a chuck table that sucks and holds a workpiece and a clamp that is disposed on the outer peripheral side of the holding surface of the chuck table. The frame unit carried into the processing apparatus is placed on the holding surface of the chuck table. The processing apparatus grips the frame with the clamp and sucks and holds the workpiece with the chuck table via the tape to process the workpiece held on the chuck table.
近年、デバイスチップの製造効率を高めるために被加工物が大型化している。これに伴い、フレームユニットの形成に使用される環状のフレームも被加工物に対応した様々な大きさのものが準備される。加工装置のチャックテーブルは交換可能であり、被加工物の大きさに対応するチャックテーブルが加工装置に適宜装着される。また、該加工装置では、フレームを把持するクランプの取り付け位置や、フレームを吸着して搬送する搬送パッドの吸着位置等がフレームの大きさに応じて変更される。 In recent years, workpieces have become larger in size in order to increase device chip manufacturing efficiency. Along with this, the annular frame used for forming the frame unit is prepared in various sizes corresponding to the workpiece. The chuck table of the processing apparatus can be exchanged, and a chuck table corresponding to the size of the workpiece is appropriately attached to the processing apparatus. Further, in the processing apparatus, the mounting position of the clamp that holds the frame, the suction position of the transport pad that sucks and transports the frame, and the like are changed according to the size of the frame.
ところで、被加工物を切削する切削装置では、切削に使用される切削ブレードの切刃を切削に適した状態にするドレスボードや、被加工物を模したプリカット用のワークが使用される。これらのドレスボードやプリカット用のワークは、被加工物と同様にフレームユニットの状態でチャックテーブルに保持され、切削ユニットにより切削される。ここで、フレームユニットには、加工装置に装着されたチャックテーブル等の大きさに応じたフレームが使用される。 By the way, in a cutting apparatus that cuts a workpiece, a dress board that makes the cutting blade of the cutting blade used for cutting suitable for cutting or a pre-cut workpiece that simulates the workpiece is used. These dress boards and pre-cut workpieces are held on the chuck table in the state of a frame unit in the same manner as the workpiece, and are cut by the cutting unit. Here, a frame according to the size of a chuck table or the like mounted on the processing apparatus is used for the frame unit.
ドレスボードやプリカット用のワークは、一度使用された後、被加工物の加工が実施された後に再び使用される場合があり、フレームユニットの状態で加工装置の近傍に保管される。ドレスボードやプリカット用の被加工物を含むフレームユニットに使用されるフレームや該フレームユニットは、例えば、被加工物を収容する際に使用されるカセット（特許文献１参照）に収容されて保管される。 The dress board and the pre-cut work may be used once after being used and then processed again, and stored in the vicinity of the processing apparatus in the state of a frame unit. A frame used for a frame unit including a dressboard or a workpiece for pre-cutting or the frame unit is accommodated and stored in, for example, a cassette (see Patent Document 1) used when accommodating a workpiece. The
フレームやフレームユニットの収容には、該フレーム等の大きさに対応した大きさのカセットが使用される。そのため、様々な大きさのフレーム等に対応するために、大きさの異なる複数のカセットが準備される。しかし、複数のカセットを保管するためにデバイスチップの製造工場等の限られた領域の中で広い保管領域を確保するのは困難である。また、該フレーム等を収容する際に、複数のカセットの中から該フレーム等の大きさに対応したカセットを探しだすのも容易ではない。 For housing the frame and the frame unit, a cassette having a size corresponding to the size of the frame or the like is used. Therefore, a plurality of cassettes having different sizes are prepared in order to deal with frames of various sizes. However, it is difficult to secure a wide storage area in a limited area such as a device chip manufacturing factory for storing a plurality of cassettes. Further, when accommodating the frame or the like, it is not easy to find a cassette corresponding to the size of the frame or the like from a plurality of cassettes.
本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、フレームやフレームユニットの大きさに依らず各種のフレーム等を収容できるフレーム収容具を提供することである。 The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide a frame container that can accommodate various frames regardless of the size of the frame or the frame unit.
本発明によれば、中央に開口を有した環状のフレームを収容するフレーム収容具であって、載置台に固定される第１の固定部と、該第１の固定部から立設した第１の側壁と、を備えた第１の側壁体と、収容されるフレームの大きさに対応した距離該第１の側壁体から離間された状態で該載置台に固定される第２の固定部と、該第２の固定部から立設した第２の側壁と、を備えた第２の側壁体と、を有し、該第１の側壁体の該第１の側壁と、該第２の側壁体の該第２の側壁と、には、フレームの収容時に互いに対面する対応する位置に該フレームの端部が進入する溝がそれぞれ形成されていることを特徴とするフレーム収容具が提供される。 According to the present invention, there is provided a frame container for accommodating an annular frame having an opening in the center, the first fixing portion fixed to the mounting table, and the first standing upright from the first fixing portion. And a second fixing portion fixed to the mounting table in a state of being separated from the first side wall body at a distance corresponding to the size of the frame to be accommodated. And a second side wall provided upright from the second fixing portion, the first side wall of the first side wall body, and the second side wall A frame container is provided in which the second side wall of the body is formed with a groove into which an end of the frame enters at a corresponding position facing each other when the frame is accommodated. .
好ましくは、該溝は、該第１の側壁と、該第２の側壁と、の立設方向に沿って形成されている。また、好ましくは、該溝は、該第１の側壁と、該第２の側壁と、の立設方向と交差する方向に沿って形成されおり、該溝の端部には、フレームの落下防止部が形成されている。 Preferably, the groove is formed along a standing direction of the first side wall and the second side wall. Preferably, the groove is formed along a direction intersecting a standing direction of the first side wall and the second side wall, and a frame is prevented from dropping at an end of the groove. The part is formed.
本発明に係るフレーム収容具は、フレームユニットに含まれるフレーム、テープが張られたフレーム、及びテープが張られていないフレーム等、様々な状態のフレームを収容できる。該フレーム収容具は一対の側壁体を備え、フレームの収容時にはそれぞれの側壁体が互いの溝が対面する向きに向けられ、該フレームの大きさに対応した距離離間された状態で載置台上に固定される。そして、それぞれの溝にフレームの端部を入れると該フレーム収容具にフレームが収容される。 The frame container according to the present invention can accommodate frames in various states, such as a frame included in a frame unit, a frame with a tape, and a frame without a tape. The frame container includes a pair of side wall bodies, and when the frame is housed, each side wall body is oriented in a direction in which the grooves face each other, and is spaced apart by a distance corresponding to the size of the frame. Fixed. When the end of the frame is inserted into each groove, the frame is accommodated in the frame accommodation tool.
該フレーム収容具は、収容するフレームの大きさに応じて、一対の側壁体の間の距離を変更でき、本発明に係るフレーム収容具は、様々な大きさのフレームを収容できる。そのため、フレームの大きさにそれぞれ対応した大きさの異なる複数のフレーム収容具を用意する必要がなく、また、複数のフレーム収容具から収容するフレームの大きさに対応するフレーム収容具を探す必要もない。 The frame container can change the distance between the pair of side wall bodies according to the size of the frame to be accommodated, and the frame container according to the present invention can accommodate frames of various sizes. Therefore, it is not necessary to prepare a plurality of frame containers having different sizes corresponding to the sizes of the frames, and it is also necessary to search for a frame container corresponding to the size of the frame to be accommodated from the plurality of frame containers. Absent.
さらに、本発明に係るフレーム収容具は、未使用時には、一対の側壁体を離間させずまとめて保管できる。そのため、保管に要する領域が極めて小さくなる。 Furthermore, the frame container according to the present invention can be stored together without separating the pair of side wall bodies when not in use. Therefore, the area required for storage becomes extremely small.
したがって、本発明によりフレームの大きさに依らず各種のフレームを収容できるフレーム収容具が提供される。 Therefore, the present invention provides a frame container that can accommodate various frames regardless of the size of the frame.
図面を参照して、本発明の一態様に係るフレーム収容具について説明する。まず、本実施形態に係るフレーム収容具に収容されるフレームについて、図１を用いて説明する。図１は、環状のフレーム７を含むフレームユニット１を模式的に示す斜視図である。フレームユニット１は、フレーム７と、テープ５と、ドレスボード３と、を含む。 A frame container according to an aspect of the present invention will be described with reference to the drawings. First, the frame accommodated in the frame container according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a perspective view schematically showing a frame unit 1 including an annular frame 7. The frame unit 1 includes a frame 7, a tape 5, and a dress board 3.
フレーム収容具には、フレーム７を含むフレームユニット１、テープ５が張られたフレーム７、及びテープ５が張られていないフレーム７等、様々な状態のフレーム等を収容できる。以下、フレーム収容具にフレームユニット１を収容する場合を例に説明する。 The frame container can accommodate frames in various states such as the frame unit 1 including the frame 7, the frame 7 with the tape 5 stretched, and the frame 7 without the tape 5 stretched. Hereinafter, the case where the frame unit 1 is accommodated in the frame accommodation tool will be described as an example.
半導体ウェーハ等の被加工物を切削する切削ブレードを備える切削装置では、切削ブレードを適度に消耗させ該切削ブレードを切削に適した状態にするドレッシングと呼ばれる刃先の調整が実施される。切削ブレードのドレッシングでは、切削ブレードを適度に消耗させるドレスボード３が使用される。 In a cutting apparatus provided with a cutting blade for cutting a workpiece such as a semiconductor wafer, adjustment of the cutting edge called dressing is carried out so that the cutting blade is appropriately consumed to make the cutting blade suitable for cutting. In dressing a cutting blade, a dress board 3 that uses the cutting blade appropriately is used.
ドレスボード３はフレームユニット１の状態で切削装置に搬出入される。中央に開口７ａを有する環状のフレーム７を準備し、開口７ａを塞ぐようにテープ５をフレーム７に張り、フレーム７の開口７ａの内側でテープ５にドレスボード３を貼着することでフレームユニット１が形成される。切削装置には、被加工物の大きさに応じた大きさのチャックテーブルが装着されているため、ドレスボード３を含むフレームユニット１には、チャックテーブルの大きさに対応する大きさのフレーム７が使用される。 The dress board 3 is carried into and out of the cutting device in the state of the frame unit 1. A frame unit is prepared by preparing an annular frame 7 having an opening 7a in the center, stretching the tape 5 on the frame 7 so as to close the opening 7a, and attaching the dress board 3 to the tape 5 inside the opening 7a of the frame 7. 1 is formed. Since a chuck table having a size corresponding to the size of the workpiece is mounted on the cutting device, the frame unit 1 including the dress board 3 has a frame 7 having a size corresponding to the size of the chuck table. Is used.
切削装置で被加工物の切削が実施されている間は、ドレスボード３はフレームユニット１の状態で該切削装置の近傍に保管される。フレームユニット１の保管には、本実施形態に係るフレーム収容具が使用される。なお、フレーム収容具に収容されるフレームユニット１は、ドレスボード３に代えて加工装置で加工される被加工物や、プリカットに使用される被加工物等が含まれてもよい。 While the workpiece is being cut by the cutting device, the dressboard 3 is stored in the vicinity of the cutting device in the state of the frame unit 1. For storage of the frame unit 1, the frame container according to the present embodiment is used. The frame unit 1 accommodated in the frame container may include a workpiece to be processed by a processing apparatus instead of the dress board 3 and a workpiece used for pre-cutting.
次に、本実施形態に係るフレーム収容具２について説明する。図２は、フレーム収容具２にフレームユニット１を収容する様子を模式的に示す斜視図である。図２に示す通り、フレーム収容具２は、第１の側壁体４ａと、第２の側壁体４ｂと、を有する。フレームユニット１は、この一対の側壁体４ａ，４ｂの間に収容される。 Next, the frame container 2 according to the present embodiment will be described. FIG. 2 is a perspective view schematically showing how the frame unit 1 is housed in the frame container 2. As shown in FIG. 2, the frame container 2 includes a first side wall body 4a and a second side wall body 4b. The frame unit 1 is accommodated between the pair of side wall bodies 4a and 4b.
フレーム収容具２は、所定の載置台（不図示）の上に配設されて使用される。載置台は、例えば、加工装置の近傍に置かれる収容棚や、加工装置の基台の余剰領域等である。第１の側壁体４ａは、固定部６ａと、該固定部６ａから立設した側壁８ａを備え、第２の側壁体４ｂは、固定部６ｂと、該固定部６ｂから立設した側壁８ｂを備える。 The frame container 2 is used by being disposed on a predetermined mounting table (not shown). The mounting table is, for example, a storage shelf placed in the vicinity of the processing apparatus, a surplus area of the base of the processing apparatus, or the like. The first side wall body 4a includes a fixed portion 6a and a side wall 8a erected from the fixed portion 6a, and the second side wall body 4b includes a fixed portion 6b and a side wall 8b erected from the fixed portion 6b. Prepare.
それぞれの側壁体４ａ，４ｂは、固定部６ａ，６ｂで載置台に接する。固定部６ａ，６ｂは、側壁体４ａ，４ｂを載置台に対して安定的に自立させて固定する機能を有する。固定部６ａ，６ｂの内部には、例えば、側壁体４ａ，４ｂの重心を低い高さに位置付ける錘が配設される。 The respective side wall bodies 4a and 4b are in contact with the mounting table at the fixing portions 6a and 6b. The fixing portions 6a and 6b have a function of stably supporting the side wall bodies 4a and 4b with respect to the mounting table. For example, weights that position the center of gravity of the side walls 4a and 4b at a low height are disposed inside the fixed portions 6a and 6b.
側壁８ａ，８ｂには、フレームユニット１に含まれるフレーム７の端部が進入できる溝１０ａ，１０ｂがそれぞれ互いに対応する位置に形成されている。図２に示す通り、溝１０ａ，１０ｂは、例えば、側壁８ａ，８ｂの立設方向に沿って形成されている。 On the side walls 8a and 8b, grooves 10a and 10b into which the ends of the frame 7 included in the frame unit 1 can enter are formed at positions corresponding to each other. As shown in FIG. 2, the grooves 10a and 10b are formed, for example, along the standing direction of the side walls 8a and 8b.
フレーム収容具２にフレームユニット１を収容する際は、第１の側壁体４ａを載置台に固定し、第２の側壁体４ｂをフレームユニット１に含まれるフレーム７の大きさに対応した距離第１の側壁体４ａから離間させて載置台に固定する。このとき、一対の側壁体４ａ，４ｂを互いの溝１０ａ，１０ｂが対面する向きに向ける。そして、フレーム７の端部をそれぞれの溝１０ａ，１０ｂに進入させるように一対の側壁体４ａ，４ｂの間に上方からフレームユニット１を進入させる。 When the frame unit 1 is housed in the frame container 2, the first side wall body 4 a is fixed to the mounting table, and the second side wall body 4 b is a distance corresponding to the size of the frame 7 included in the frame unit 1. The first side wall 4a is separated from the side wall 4a and fixed to the mounting table. At this time, the pair of side wall bodies 4a and 4b are oriented in the direction in which the grooves 10a and 10b face each other. Then, the frame unit 1 is entered from above between the pair of side wall bodies 4a, 4b so that the end of the frame 7 enters the respective grooves 10a, 10b.
フレーム７の下端が載置台の上面に達すると、フレームユニット１が該載置台に支持される。このとき、フレームユニット１の端部が溝１０ａ，１０ｂに進入しているため、載置台の上面に平行な方向への移動が該側壁８ａ，８ｂにより規制される。このように、フレーム収容具２は、フレームユニット１を収容できる。 When the lower end of the frame 7 reaches the upper surface of the mounting table, the frame unit 1 is supported by the mounting table. At this time, since the end portions of the frame unit 1 have entered the grooves 10a and 10b, the movement in the direction parallel to the upper surface of the mounting table is restricted by the side walls 8a and 8b. Thus, the frame container 2 can accommodate the frame unit 1.
フレーム収容具２は、一対の側壁体４ａ，４ｂの間の距離を任意に設定できるため、様々な大きさのフレームユニット１を収容できる。したがって、様々な大きさのフレームユニット１に対応するために大きさの異なる複数のフレーム収容具を準備する必要がない。なお、側壁８ａ，８ｂには、それぞれ、フレーム収容具２に収容したいフレームユニット１の数だけ溝１０ａ，１０ｂが形成される。 Since the frame container 2 can arbitrarily set the distance between the pair of side wall bodies 4a and 4b, it can accommodate the frame units 1 of various sizes. Therefore, it is not necessary to prepare a plurality of frame containers having different sizes in order to correspond to the frame units 1 having various sizes. The side walls 8a and 8b are formed with grooves 10a and 10b corresponding to the number of frame units 1 to be accommodated in the frame container 2, respectively.
図３（Ａ）は、フレーム収容具２の他の一例を模式的に示す斜視図である。図３（Ａ）に示すフレーム収容具２では、一対の側壁体４ａ，４ｂの固定部６ａ，６ｂは磁石を含み、一対の側壁体４ａ，４ｂは磁力により載置台に固定される。この場合、固定部６ａ，６ｂに錘が不要であるため、フレーム収容具２が比較的小型軽量となる。 FIG. 3A is a perspective view schematically showing another example of the frame container 2. In the frame container 2 shown in FIG. 3A, the fixing portions 6a and 6b of the pair of side wall bodies 4a and 4b include magnets, and the pair of side wall bodies 4a and 4b are fixed to the mounting table by magnetic force. In this case, since no weight is required for the fixing portions 6a and 6b, the frame container 2 is relatively small and light.
なお、フレーム収容具２は、未使用時に一対の側壁体４ａ，４ｂを重ねて保管できる。図３（Ｂ）は、未使用時のフレーム収容具２を模式的に示す斜視図である。それぞれの側壁体４ａ，４ｂは固定部６ａ，６ｂにより自立でき、フレーム収容具２は自立させた状態で保管できる。そのため、フレーム収容具２の保管に要する領域は極めて小さくなる。 The frame container 2 can be stored with the pair of side wall bodies 4a and 4b stacked when not in use. FIG. 3B is a perspective view schematically showing the frame container 2 when not in use. Each of the side walls 4a and 4b can be self-supported by the fixing portions 6a and 6b, and the frame container 2 can be stored in a self-supporting state. Therefore, the area required for storing the frame container 2 is extremely small.
また、側壁８ａ，８ｂのそれぞれに形成される溝１０ａ，１０ｂは、側壁８ａ，８ｂの立設方向に交差する方向に沿って形成されてもよい。例えば、図４（Ａ）に、示す通り、溝１０ａ，１０ｂは、該側壁８ａ，８ｂの立設方向に垂直な方向に沿って形成されてもよい。 Further, the grooves 10a and 10b formed in the side walls 8a and 8b may be formed along a direction intersecting the standing direction of the side walls 8a and 8b. For example, as shown in FIG. 4A, the grooves 10a and 10b may be formed along a direction perpendicular to the standing direction of the side walls 8a and 8b.
この場合、フレームユニット１の収容時には、図４（Ａ）に示す通り、フレームユニット１を溝１０ａ，１０ｂの形成方向に沿って水平方向からフレーム収容具２に進入させる。なお、フレーム収容具２に進入させたフレームユニット１が溝１０ａ，１０ｂを通過して落下するのを防止するために、該溝１０ａ，１０ｂの端部にフレーム落下防止部１２が形成されてもよい。 In this case, when the frame unit 1 is accommodated, as shown in FIG. 4A, the frame unit 1 is caused to enter the frame accommodation tool 2 from the horizontal direction along the forming direction of the grooves 10a and 10b. In order to prevent the frame unit 1 that has entered the frame container 2 from falling through the grooves 10a and 10b, even if the frame drop prevention part 12 is formed at the ends of the grooves 10a and 10b. Good.
溝１０ａ，１０ｂの端部にフレーム落下防止部１２が形成されていると、フレームユニット１をフレーム収容具２に収容する際に、例えば、フレーム落下防止部１２に当たるまでフレームユニット１を進行させることで収容位置を一定の位置に制御できる。 When the frame drop prevention portion 12 is formed at the ends of the grooves 10a and 10b, when the frame unit 1 is housed in the frame container 2, for example, the frame unit 1 is advanced until it hits the frame drop prevention portion 12. Thus, the storage position can be controlled to a fixed position.
本実施形態に係るフレーム収容具２は、溝１０ａ，１０ｂが形成された側壁８ａ，８ｂを有する一対の側壁体４ａ，４ｂを備え、一対の側壁体４ａ，４ｂの間にフレームユニット１を収容できる。側壁体４ａ，４ｂの間の距離は、任意の値に設定できるため、様々な大きさのフレームユニット１を収容できる。 The frame container 2 according to the present embodiment includes a pair of side wall bodies 4a and 4b having side walls 8a and 8b in which grooves 10a and 10b are formed, and houses the frame unit 1 between the pair of side wall bodies 4a and 4b. it can. Since the distance between the side walls 4a and 4b can be set to an arbitrary value, the frame units 1 of various sizes can be accommodated.
なお、上記実施形態では、固定部６ａ，６ｂがそれぞれの側壁体４ａ，４ｂの底部に形成される場合について説明した。しかし、本発明の一態様に係るフレーム収容具２はこれに限定されない。例えば、それぞれの側壁体４ａ，４ｂは底部以外にもさらに固定部６ａ，６ｂを備えてもよい。 In the above embodiment, the case where the fixing portions 6a and 6b are formed at the bottoms of the respective side wall bodies 4a and 4b has been described. However, the frame container 2 according to one aspect of the present invention is not limited to this. For example, the side walls 4a and 4b may further include fixing portions 6a and 6b in addition to the bottom.
図４（Ｂ）は、フレーム収容具２の一例を模式的に示す斜視図である。図４（Ｂ）に示す例では、それぞれの側壁体４ａ，４ｂは、底部に隣接する面にさらに固定部６ａ，６ｂを備える。この場合、それぞれの側壁体４ａ，４ｂでは２つの固定部６ａ，６ｂの使い分けが可能であり、載置台に接触する固定部６ａ，６ｂを変えることでフレーム収容具２に収容するフレームユニット１の進入方向を変えられる。 FIG. 4B is a perspective view schematically showing an example of the frame container 2. In the example shown in FIG. 4B, each side wall 4a, 4b further includes fixing portions 6a, 6b on the surface adjacent to the bottom. In this case, each of the side wall bodies 4a and 4b can use the two fixing portions 6a and 6b properly. You can change the direction of entry.
また、それぞれの側壁体４ａ，４ｂは、底部とは逆の頂部にさらに固定部６ａ，６ｂを備えてもよい。この場合、一対の側壁体４ａ，４ｂが同一の部材となるため、準備する側壁体の種類は一つで済む。 Each of the side walls 4a and 4b may further include fixing portions 6a and 6b at the top opposite to the bottom. In this case, since the pair of side wall bodies 4a and 4b are the same member, only one type of side wall body is required.
上記実施形態では、側壁８ａ，８ｂに形成される溝１０ａ，１０ｂについて、側壁８ａ，８ｂの立設方向に沿う場合と、該立設方向に垂直な方向に沿う場合と、を例に説明したが、本発明の一態様はこれに限定されない。 In the said embodiment, about the groove | channel 10a, 10b formed in side wall 8a, 8b, the case where it met along the standing direction of side wall 8a, 8b, and the case where it met a direction perpendicular | vertical to this standing direction was demonstrated to the example. However, one embodiment of the present invention is not limited thereto.
例えば、側壁８ａ，８ｂの該立設方向から該垂直な方向までの所定の角度で傾斜した方向に沿って溝１０ａ，１０ｂが形成されてもよい。この場合、フレーム収容具２に振動や予期せぬ衝撃等が加わる際のフレーム収容具２からのフレームユニット１の飛び出しがフレームユニット１にかかる重力により防止される。 For example, the grooves 10a and 10b may be formed along a direction inclined at a predetermined angle from the standing direction of the side walls 8a and 8b to the vertical direction. In this case, the frame unit 1 is prevented from jumping out from the frame container 2 when vibration or an unexpected impact is applied to the frame container 2 due to gravity applied to the frame unit 1.
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。 In addition, the structure, method, and the like according to the above-described embodiment can be appropriately modified and implemented without departing from the scope of the object of the present invention.
１ フレームユニット
３ ドレスボード
５ テープ
７ フレーム
７ａ 開口
２ フレーム収容具
４ａ，４ｂ 側壁体
６ａ，６ｂ 固定部
８ａ，８ｂ 側壁
１０ａ，１０ｂ 溝
１２ 落下防止部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Frame unit 3 Dress board 5 Tape 7 Frame 7a Opening 2 Frame container 4a, 4b Side wall body 6a, 6b Fixing part 8a, 8b Side wall 10a, 10b Groove 12 Fall prevention part
Claims (3)
載置台に固定される第１の固定部と、該第１の固定部から立設した第１の側壁と、を備えた第１の側壁体と、
収容されるフレームの大きさに対応した距離該第１の側壁体から離間された状態で該載置台に固定される第２の固定部と、該第２の固定部から立設した第２の側壁と、を備えた第２の側壁体と、を有し、
該第１の側壁体の該第１の側壁と、該第２の側壁体の該第２の側壁と、には、フレームの収容時に互いに対面する対応する位置に該フレームの端部が進入する溝がそれぞれ形成されていることを特徴とするフレーム収容具。 A frame container for accommodating an annular frame having an opening in the center,
A first side wall including a first fixing portion fixed to the mounting table, and a first side wall provided upright from the first fixing portion;
A distance corresponding to the size of the frame to be accommodated, a second fixing portion fixed to the mounting table in a state of being separated from the first side wall body, and a second fixing portion erected from the second fixing portion A second side wall body comprising a side wall, and
The end of the frame enters the first side wall of the first side wall body and the second side wall of the second side wall body at corresponding positions facing each other when the frame is received. A frame container in which grooves are respectively formed.
該溝の端部には、フレームの落下防止部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のフレーム収容具。 The groove is formed along a direction intersecting a standing direction of the first side wall and the second side wall,
The frame container according to claim 1, wherein a frame fall prevention portion is formed at an end of the groove.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018020171A JP7076897B2 (en) | 2018-02-07 | 2018-02-07 | Frame containment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2018020171A JP7076897B2 (en) | 2018-02-07 | 2018-02-07 | Frame containment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2019140173A true JP2019140173A (en) | 2019-08-22 |
| JP7076897B2 JP7076897B2 (en) | 2022-05-30 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018020171A Active JP7076897B2 (en) | 2018-02-07 | 2018-02-07 | Frame containment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7076897B2 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2018
- 2018-02-07 JP JP2018020171A patent/JP7076897B2/en active Active
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP7076897B2 (en) | 2022-05-30 |
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|
| A977 | Report on retrieval |
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|
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|
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