JP2019132231A - 真空ポンプ - Google Patents

真空ポンプ Download PDF

Info

Publication number
JP2019132231A
JP2019132231A JP2018016437A JP2018016437A JP2019132231A JP 2019132231 A JP2019132231 A JP 2019132231A JP 2018016437 A JP2018016437 A JP 2018016437A JP 2018016437 A JP2018016437 A JP 2018016437A JP 2019132231 A JP2019132231 A JP 2019132231A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
output shaft
sliding plate
rotor
rotating body
vacuum pump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2018016437A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6740262B2 (ja
Inventor
克弥 三澤
Katsuya Misawa
克弥 三澤
田中 秀児
Hideji Tanaka
秀児 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nabtesco Automotive Corp
Original Assignee
Nabtesco Automotive Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nabtesco Automotive Corp filed Critical Nabtesco Automotive Corp
Priority to JP2018016437A priority Critical patent/JP6740262B2/ja
Publication of JP2019132231A publication Critical patent/JP2019132231A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6740262B2 publication Critical patent/JP6740262B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Rotary Pumps (AREA)

Abstract

【課題】摺動プレートの摩耗を抑制することのできる真空ポンプを提供する。【解決手段】真空ポンプ1は、モータの駆動力を伝達する出力軸10と、出力軸10が貫通し、出力軸10によって回転されるロータ40と、ロータ40を収容する円筒状のシリンダ30と、シリンダ30の第1開口部33を閉じるとともに、出力軸10が貫通し、ロータ40の軸方向の一方の端面と接触する第1摺動プレート35と、シリンダ30の第2開口部34を閉じるとともに、ロータ40の軸方向の他方の端面と接触する第2摺動プレート36と、出力軸10とロータ40との間に設けられ、ロータ40を第1摺動プレート35側へ付勢する圧縮ばね45とを備える。【選択図】図1

Description

本発明は、真空ポンプに関する。
従来、ベーンポンプ等の真空ポンプとしては、モータ等の駆動機に取り付けられるケーシング(ボディ)と、このケーシングのシリンダ室内に駆動機により回転する回転体とを備える真空ポンプが知られている(例えば、特許文献1参照)。この種の真空ポンプは、駆動機により回転する回転体をシリンダ室内で駆動することによって、真空ポンプに接続された装置内にある空気を排出して、その装置内を減圧する。
特許文献1に記載の真空ポンプの回転体には、円柱状のロータと、ロータに形成されたガイド溝から出没自在に設けられる複数の板状のベーンとが備えられている。ベーンは、シリンダ室を区画して、ロータの回転に伴って発生する遠心力によりガイド溝から突出してシリンダ室の内周面に当接しながらロータともに回転する。
特開2012−167590号公報
上記のような真空ポンプにおいては、ロータの軸方向の端面はカーボンプレート等の摺動プレートと接触している。このため、摺動プレートがロータとの摺動によって摩耗することは避けられないが、摺動プレートの摩耗を抑制することが求められている。
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、摺動プレートの摩耗を抑制することのできる真空ポンプを提供することにある。
上記課題を解決する真空ポンプは、モータの駆動力を伝達する出力軸と、前記出力軸が貫通し、前記出力軸によって回転される回転体と、前記回転体を収容する円筒状のシリンダと、前記シリンダの一方の開口部を閉じるとともに、前記出力軸が貫通し、前記回転体の軸方向の一方の端面と接触する第1摺動プレートと、前記シリンダの他方の開口部を閉じるとともに、前記回転体の軸方向の他方の端面と接触する第2摺動プレートと、前記出力軸と前記回転体との間に設けられ、前記回転体を前記第1摺動プレート側へ付勢する付勢部材と、を備える。
回転体が出力軸によって回転されることでシリンダ内の圧力が低下するが、第1摺動プレート側は出力軸が貫通しているため、回転体の第1摺動プレート側の圧力が第2摺動プレート側の圧力よりも高くなり、回転体が第2摺動プレート側へ引き付けられることを発明者らは発見した。そこで、上記構成によれば、付勢部材が回転体を第1摺動プレート側へ付勢することで、回転体の第2摺動プレート側への移動を抑制することができ、摺動プレートの摩耗を抑制することができる。
上記真空ポンプについて、前記出力軸に設けられ、前記回転体との軸方向の相対移動を許容する接続部材を備え、前記付勢部材は、前記接続部材と前記回転体との間に取り付けられることが好ましい。
上記構成によれば、出力軸に設けられる接続部材に付勢部材を取り付けることで、付勢部材を出力軸に直接取り付けるよりも付勢部材の取り付けが容易である。
上記真空ポンプについて、前記付勢部材は、前記回転体が回転するときに、前記出力軸と前記回転体との軸方向の距離が短くなることにより前記回転体を前記第1摺動プレート側へ押すことが好ましい。
上記構成によれば、出力軸と回転体との間に例えば圧縮ばね等の付勢部材が設けられ、出力軸と回転体との軸方向の距離が短くなることにより回転体を第1摺動プレート側へ押す付勢力が発生する。
上記真空ポンプについて、前記付勢部材は、前記回転体が回転するときに、前記出力軸と前記回転体との軸方向の距離が長くなることにより前記回転体を前記第1摺動プレート側へ引くことが好ましい。
上記構成によれば、出力軸と回転体との間に例えば引張ばね等の付勢部材が設けられ、出力軸と回転体との軸方向の距離が長くなることにより回転体を第1摺動プレート側へ引く付勢力が発生する。
上記真空ポンプについて、前記シリンダが収容され、前記出力軸が貫通する底部を有する円筒状のボディと、前記ボディの開口部を閉じる蓋と、前記第1摺動プレートと前記ボディの前記底部との間に設けられる第1ばねと、前記第2摺動プレートと前記蓋との間に設けられる第2ばねと、を備えることが好ましい。
上記構成によれば、第1摺動プレートの移動を第1ばねによって吸収することができるとともに、第2摺動プレートの移動を第2ばねによって吸収することができる。このため、回転体との摺動による摺動プレートの摩耗を抑制することができる。
本発明によれば、摺動プレートの摩耗を抑制することができる。
真空ポンプの第1の実施形態の内部構造を示す断面図。 同実施形態の真空ポンプの動作を示す断面図。 真空ポンプの第2の実施形態の内部構造を示す断面図。 真空ポンプの変形例の内部構造を示す断面図。 真空ポンプの変形例の内部構造を示す断面図。 真空ポンプの変形例の内部構造を示す断面図。
(第1の実施形態)
以下、図1及び図2を参照して、真空ポンプの第1の実施形態について説明する。
図1に示されるように、真空ポンプ1は、図示しないモータと、モータの駆動力を伝達する出力軸10が挿通されるボディ20と、ボディ20に組み付けられる蓋25とを備える。真空ポンプ1は、ポンプ室に潤滑油を使用しないことで、内部に取り込んだ空気と油とを接触させないドライポンプである。
ボディ20は、アルミニウム等の金属から形成された部品であり、モータの出力軸10側に設けられる。即ち、ボディ20は、モータのケースを閉じる蓋としても機能する。ボディ20には、円柱状の空間20Aが形成されている。ボディ20には、ボディ20内に空気を取り込むボディ入口23と、ボディ20から空気を排出するボディ出口24とが設けられている。蓋25は、図示しないボルトによってボディ20に固定される。
ボディ20の底部21の中央には、モータの出力軸10が貫通する貫通孔21Aが形成されている。底部21の貫通孔21Aは、ボディ20の底部21における中心からずれた位置に形成されている。底部21の貫通孔21Aの周囲には、円環状の軸受部22が形成されている。軸受部22は、モータの出力軸10を支持する。
ボディ20の空間20Aには、円筒状のシリンダ30が収容されている。シリンダ30の内側は、ポンプ室に相当する。シリンダ30は、鉄等の金属製であり、円筒状に形成されている。シリンダ30は、ボディ20に圧入されることでボディ20に取り付けられる。シリンダ30には、ポンプ室に空気を取り込むためのポンプ室入口31と、ポンプ室から空気を排出するためのポンプ室出口32とが貫通形成されている。ポンプ室入口31は、ボディ入口23に連通されている。ポンプ室出口32は、ボディ出口24に連通されている。
シリンダ30には、回転体であるロータ40が収容されている。ロータ40には、カーボン製の板状のベーン43が出没可能に複数収容されている。ロータ40は、鉄等の金属製である。ロータ40には、ベーン43を収容する図示しないベーン収容溝が複数形成されている。ロータ40には、出力軸10が貫通する貫通孔41が設けられている。出力軸10とロータ40とは、ロータ40に形成される係合溝42に出力軸10が係合することで一体に回転する。また、出力軸10とロータ40とは、係合溝42によって軸方向に相対移動可能である。
ロータ40のモータ側と反対側の中央には、凹部44が形成されている。凹部44は、貫通孔41と同軸である。凹部44の内径は、貫通孔41の内径よりも長い。出力軸10の先端部11には、接続部材としての円板12が貫挿され、Cリング13によって円板12が抜け止めされている。よって、円板12は、Cリング13よりも出力軸10の先端側へは移動することができないようになっている。円板12の外径は、凹部44の内径と同一である。
円板12と凹部44の底部44Aとの間には、付勢部材としての圧縮ばね45が設けられている。圧縮ばね45は、円板12に取り付けられるとともに、凹部44の底部44Aに取り付けられている。圧縮ばね45は、出力軸10とロータ40と軸方向の距離が短くなることにより圧縮されてロータ40をモータ側へ押す付勢力が発生する(図2参照)。
シリンダ30のモータ側の開口部を第1開口部33とし、シリンダ30のモータ側と反対側の開口部を第2開口部34とする。シリンダ30の第1開口部33は、第1摺動プレート35によって閉じられている。第1摺動プレート35は、ボディ20の底部21とロータ40との間に設置され、ロータ40が摺動可能である。第1摺動プレート35には、モータの出力軸10が貫通する貫通孔35Aが形成されている。シリンダ30の第2開口部34は、第2摺動プレート36によって閉じられている。第2摺動プレート36は、蓋25とロータ40との間に設置され、ロータ40が摺動可能である。第1摺動プレート35及び第2摺動プレート36は、ベーン43に対する摩擦係数が小さいカーボン等の材料製であって、円板状に形成されている。
第1摺動プレート35とボディ20の底部21との間には、第1皿ばね26が設けられている。第1皿ばね26は、第1摺動プレート35がボディ20の底部21側移動しようとしたときに圧縮されて第1摺動プレート35を押す付勢力を発生させる。第2摺動プレート36と蓋25との間には、第2皿ばね27が設けられている。第2皿ばね27は、第2摺動プレート36が蓋25側移動しようとしたときに圧縮されて第2摺動プレート36を押す付勢力を発生させる。
ここで、真空ポンプ1の組み立てについて説明する。
まず、モータの出力軸10を、ボディ20の底部21からボディ20内に挿入する。出力軸10は、貫通孔21Aを貫通する。
続いて、第1皿ばね26を、出力軸10に挿通させつつ、ボディ20の空間20Aの底部21に設置する。続いて、第1摺動プレート35を、出力軸10に挿通させつつ、ボディ20の空間20Aの第1皿ばね26の上に設置する。
次に、シリンダ30をボディ20の空間20Aに圧入する。そして、ボディ入口23とポンプ室入口31とをまとめて切削加工で形成する。また、ボディ出口24とポンプ室出口32とをまとめて切削加工で形成する。
続いて、ロータ40を、出力軸10の係合溝42に係合させつつ、出力軸10に挿通させてシリンダ30の内側且つ第1摺動プレート35の上に設置する。そして、圧縮ばね45を、出力軸10に挿通させつつ、ロータ40の凹部44の底部44Aに設置する。そして、円板12を、出力軸10に挿通させつつ、ロータ40の凹部44内且つ圧縮ばね45の上に設置する。そして、Cリング13を、出力軸10の先端部11に取り付け、円板12を抜け止めする。
続いて、第2摺動プレート36を、シリンダ30の第2開口部34を閉じつつ、ロータ40の上に設置する。続いて、第2皿ばね27を、第2摺動プレート36の上に設置する。そして、ボディ20の空間20Aの開口部を蓋25によって閉じて、図示しないボルトで蓋25をボディ20に固定する。
次に、上記のように構成された真空ポンプ1の動作について説明する。
シリンダ30には、シリンダ30内に偏心させて取り付けられたロータ40によって略三日月状の空間が形成される。モータの駆動によりロータ40が回転すると、ベーン43が遠心力によりベーン収容溝に沿ってロータ40の径方向外側へ突出し、その先端をシリンダ30の内周面に当接させる。これにより、シリンダ30内の略三日月状の空間が複数のベーン43と、ロータ40の外周面と、シリンダ30の内周面とによって囲まれる複数の圧縮室に区画される。
これらの圧縮室は、ロータ40の回転に伴って同一方向に移動する。圧縮室が移動する際、圧縮室の容積は、ポンプ室入口31近傍で大きくなり、ポンプ室出口32で小さくなる。つまり、ポンプ室入口31から圧縮室に吸入された空気は、ロータ40の回転に伴って圧縮されて、ポンプ室出口32から吐出される。シリンダ30では、ロータ40及びベーン43がシリンダ30内を回転することにより空気を圧縮しているため、ポンプ室出口32から圧縮空気が間欠的に吐出される。
図2に示すように、真空ポンプ1の稼動時には、モータの駆動によりロータ40が回転すると、シリンダ30内の圧力が低下する。しかしながら、ロータ40の第1摺動プレート35側は出力軸10が貫通しているため、ロータ40の第1摺動プレート35側の圧力が第2摺動プレート36側の圧力よりも高くなり、ロータ40が第2摺動プレート36側へ引き付けられる。このとき、ロータ40が第2摺動プレート36側へ移動しようとすると、圧縮ばね45がロータ40を第1摺動プレート35側へ付勢することで、ロータ40の第2摺動プレート36側への移動を抑制する。なお、モータの出力軸10が第2摺動プレート36側へ移動しようとしたとしても、圧縮ばね45によって移動を吸収することができる。また、第1摺動プレート35の若干の移動は第1皿ばね26により吸収され、第2摺動プレート36の若干の移動は第2皿ばね27により吸収されるので、第1摺動プレート35及び第2摺動プレート36の摩耗を抑制することができる。
以上説明したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
(1)圧縮ばね45がロータ40を第1摺動プレート35側へ付勢することで、ロータ40の第2摺動プレート36側への移動を抑制することができ、第1摺動プレート35及び第2摺動プレート36の摩耗を抑制することができる。
(2)出力軸10に固定される接続部材に圧縮ばね45を取り付けることで、圧縮ばね45を出力軸10に直接取り付けるよりも圧縮ばね45の取り付けが容易である。
(3)出力軸10とロータ40との間に圧縮ばね45が設けられ、出力軸10とロータ40との軸方向の距離が短くなることによりロータ40を第1摺動プレート35側へ押す付勢力が発生する。
(4)第1摺動プレート35の移動を第1皿ばね26によって吸収することができるとともに、第2摺動プレート36の移動を第2皿ばね27によって吸収することができる。このため、ロータ40との摺動による第1摺動プレート35及び第2摺動プレート36の摩耗を抑制することができる。
(第2の実施形態)
以下、図3を参照して、真空ポンプの第2の実施形態について説明する。この実施形態の真空ポンプは、2個の付勢部材が設置されている点が上記第1の実施形態と異なっている。以下、第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
図3に示すように、真空ポンプ1のロータ40のモータ側の中央には、第2凹部47が形成されている。第2凹部47は、貫通孔41と同軸である。凹部47の内径は、貫通孔41の内径よりも長い。出力軸10の第1摺動プレート35近傍には、接続部材としての第2円板14が貫挿されている。第2円板14の外径は、第2凹部47の内径と同一である。
第2円板14と第2凹部47の底部47Aとの間には、付勢部材としての引張ばね48が設けられている。引張ばね48は、第2円板14に取り付けられるとともに、第2凹部47の底部47Aに取り付けられている。引張ばね48は、出力軸10とロータ40と軸方向の距離が長くなることにより伸長されてロータ40をモータ側へ引く付勢力が発生する。
真空ポンプ1は、圧縮ばね45と引張ばね48とによって、ロータ40の第2摺動プレート36側への移動が抑制されるため、第1摺動プレート35及び第2摺動プレート36の摩耗を抑制することができる。
以上説明したように、本実施形態によれば、第1の実施形態の(1)〜(4)の効果に加え、以下の効果を奏することができる。
(5)出力軸10とロータ40との間に引張ばね48が設けられ、出力軸10とロータ40との軸方向の距離が長くなることによりロータ40を第1摺動プレート35側へ引く付勢力が発生する。
なお、上記実施形態は、これを適宜変更した以下の形態にて実施することもできる。
・上記第2の実施形態の圧縮ばね45を省略して、引張ばね48のみによってロータ40を付勢してもよい。例えば、図4に示すように、第2の実施形態の円板12と圧縮ばね45とを省略して、Cリング13を出力軸10の先端部11に取り付けて、Cリング13によって出力軸10に対してロータ40を抜け止めする。ロータ40が第2摺動プレート36側へ移動しようとすると、引張ばね48がロータ40を第1摺動プレート35側へ付勢することで、ロータ40の第2摺動プレート36側への移動を抑制する。
・上記各実施形態において、圧縮ばね45を他の付勢部材を採用してもよい。例えば、図5に示すように、圧縮ばね45に代えてウェーブワッシャー55を採用してもよい。ウェーブワッシャー55は、円板12とロータ40の凹部44の底部44Aとの間に設置される。ウェーブワッシャーは圧縮ばねよりも取り付けが容易である。また、図6に示すように、圧縮ばね45に代えて皿ばね65を採用してもよい。皿ばね65は、円板12とロータ40の凹部44の底部44Aとの間に設置される。皿ばねは圧縮ばねよりも取り付けが容易である。
・上記各実施形態では、Cリング13を出力軸10の先端部11に取り付けて抜け止めとしたが、出力軸10からの抜け止めが可能であれば、Cリングに限らず他の固定部材を採用してもよい。
・上記各実施形態では、第1皿ばね26と第2皿ばね27とを設けたが、皿ばねに限らず、ウェーブワッシャー等の他のばねを設けてもよい。
・上記各実施形態において、第1皿ばね26と第2皿ばね27との構成を省略してもよい。この場合、第1摺動プレート35はボディ20の底部21に直接接触した状態で設置し、第2摺動プレート36は蓋25に直接接触した状態で設置する。
・上記各実施形態では、出力軸10に接続部材としての円板12,14を取り付けたが、接続部材を省略して、出力軸10に付勢部材を直接取り付けてもよい。
1…真空ポンプ、10…出力軸、11…先端部、12…接続部材としての円板、13…Cリング、14…接続部材としての第2円板、20…ボディ、20A…空間、21…底部、21A…貫通孔、22…軸受部、23…ボディ入口、24…ボディ出口、25…蓋、26…第1ばねとしての第1皿ばね、27…第2ばねとしての第2皿ばね、30…シリンダ、31…ポンプ室入口、32…ポンプ室出口、33…第1開口部、34…第2開口部、35…第1摺動プレート、35A…貫通孔、36…第2摺動プレート、40…ロータ、41…貫通孔、42…係合溝、43…ベーン、44…凹部、44A…底部、45…付勢部材としての圧縮ばね、47…第2凹部、47A…底部、48…付勢部材としての引張ばね、55…ウェーブワッシャー、65…皿ばね。

Claims (5)

  1. モータの駆動力を伝達する出力軸と、
    前記出力軸が貫通し、前記出力軸によって回転される回転体と、
    前記回転体を収容する円筒状のシリンダと、
    前記シリンダの一方の開口部を閉じるとともに、前記出力軸が貫通し、前記回転体の軸方向の一方の端面と接触する第1摺動プレートと、
    前記シリンダの他方の開口部を閉じるとともに、前記回転体の軸方向の他方の端面と接触する第2摺動プレートと、
    前記出力軸と前記回転体との間に設けられ、前記回転体を前記第1摺動プレート側へ付勢する付勢部材と、を備える
    真空ポンプ。
  2. 前記出力軸に設けられ、前記回転体との軸方向の相対移動を許容する接続部材を備え、
    前記付勢部材は、前記接続部材と前記回転体との間に取り付けられる
    請求項1に記載の真空ポンプ。
  3. 前記付勢部材は、前記回転体が回転するときに、前記出力軸と前記回転体との軸方向の距離が短くなることにより前記回転体を前記第1摺動プレート側へ押す
    請求項1又は2に記載の真空ポンプ。
  4. 前記付勢部材は、前記回転体が回転するときに、前記出力軸と前記回転体との軸方向の距離が長くなることにより前記回転体を前記第1摺動プレート側へ引く
    請求項1又は2に記載の真空ポンプ。
  5. 前記シリンダが収容され、前記出力軸が貫通する底部を有する円筒状のボディと、
    前記ボディの開口部を閉じる蓋と、
    前記第1摺動プレートと前記ボディの前記底部との間に設けられる第1ばねと、
    前記第2摺動プレートと前記蓋との間に設けられる第2ばねと、を備える
    請求項1〜4のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
JP2018016437A 2018-02-01 2018-02-01 真空ポンプ Active JP6740262B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018016437A JP6740262B2 (ja) 2018-02-01 2018-02-01 真空ポンプ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018016437A JP6740262B2 (ja) 2018-02-01 2018-02-01 真空ポンプ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019132231A true JP2019132231A (ja) 2019-08-08
JP6740262B2 JP6740262B2 (ja) 2020-08-12

Family

ID=67544831

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018016437A Active JP6740262B2 (ja) 2018-02-01 2018-02-01 真空ポンプ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6740262B2 (ja)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006001342A1 (ja) * 2004-06-28 2006-01-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 空気ポンプ
JP2012117437A (ja) * 2010-11-30 2012-06-21 Nabtesco Automotive Corp 真空ポンプ
JP2016109029A (ja) * 2014-12-05 2016-06-20 株式会社デンソー ベーン式ポンプ、及び、それを用いる燃料蒸気漏れ検出装置
JP2016121583A (ja) * 2014-12-24 2016-07-07 ナブテスコオートモーティブ株式会社 真空ポンプ

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006001342A1 (ja) * 2004-06-28 2006-01-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 空気ポンプ
JP2012117437A (ja) * 2010-11-30 2012-06-21 Nabtesco Automotive Corp 真空ポンプ
JP2016109029A (ja) * 2014-12-05 2016-06-20 株式会社デンソー ベーン式ポンプ、及び、それを用いる燃料蒸気漏れ検出装置
JP2016121583A (ja) * 2014-12-24 2016-07-07 ナブテスコオートモーティブ株式会社 真空ポンプ

Also Published As

Publication number Publication date
JP6740262B2 (ja) 2020-08-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2017203881A1 (ja) 電動式ターボ機械
US11047385B2 (en) Electric compressor having compression portion and motor chamber communication via passage in flange of shaft support member
WO2016107601A1 (zh) 涡旋压缩机
EP1553301B1 (en) Vane type vacuum pump
WO2014057811A1 (ja) ベーン型圧縮機
JP2019132231A (ja) 真空ポンプ
JP2009235987A (ja) 流体圧力回転装置
JP2017500506A (ja) 内燃機関用の可変ポンプ
JP6530911B2 (ja) 真空ポンプ
JP6258665B2 (ja) スクロール型流体機械
JP6817891B2 (ja) カートリッジ式ベーンポンプ、及びポンプ装置
JPWO2013057752A1 (ja) ベーン式油圧装置
JP6765279B2 (ja) ダイヤフラムポンプ
JP2016017438A (ja) シングルスクリュー圧縮機
WO2020203025A1 (ja) カートリッジ式ベーンポンプ、及びポンプ装置
JP2020508412A (ja) 自動車用液体ペンデュラム型ベーンポンプ
JPH0359273B2 (ja)
KR102158532B1 (ko) 전동식 압축기
JP2016205211A (ja) ベーンロータリー圧縮機
WO2015107840A1 (ja) 電動過給機
KR102008940B1 (ko) 스크롤 압축기
JP6961439B2 (ja) 開放型圧縮機
WO2021128916A1 (zh) 涡旋及支承组件及涡旋压缩机
JP6963452B2 (ja) 開放型圧縮機
KR200236537Y1 (ko) 베인 압축기

Legal Events

Date Code Title Description
RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20180817

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20180817

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190529

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200226

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200303

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200507

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200623

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200722

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6740262

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250