JP2019121784A5 - - Google Patents
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Priority Applications (5)
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|---|---|---|---|
| TW107144908A TWI813607B (zh) | 2017-12-27 | 2018-12-13 | 蝕刻方法及蝕刻裝置 |
| KR1020180167758A KR102184067B1 (ko) | 2017-12-27 | 2018-12-21 | 에칭 방법 및 에칭 장치 |
| US16/232,532 US10665470B2 (en) | 2017-12-27 | 2018-12-26 | Etching method and etching apparatus |
| CN201811610534.0A CN109979815B (zh) | 2017-12-27 | 2018-12-27 | 蚀刻方法和蚀刻装置 |
| US16/839,176 US20200234974A1 (en) | 2017-12-27 | 2020-04-03 | Etching Method and Etching Apparatus |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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| JP2017251800 | 2017-12-27 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Family
ID=67308019
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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Country Status (2)
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Families Citing this family (5)
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Family Cites Families (7)
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|---|---|---|---|---|
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2018
- 2018-11-01 JP JP2018206819A patent/JP7067424B2/ja active Active
- 2018-12-13 TW TW107144908A patent/TWI813607B/zh active