JP2019117130A - 透過型光電センサ - Google Patents

透過型光電センサ Download PDF

Info

Publication number
JP2019117130A
JP2019117130A JP2017251636A JP2017251636A JP2019117130A JP 2019117130 A JP2019117130 A JP 2019117130A JP 2017251636 A JP2017251636 A JP 2017251636A JP 2017251636 A JP2017251636 A JP 2017251636A JP 2019117130 A JP2019117130 A JP 2019117130A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
light receiving
photoelectric sensor
projector
transmission type
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2017251636A
Other languages
English (en)
Inventor
匡史 河田
Tadashi Kawada
匡史 河田
藤田 雅博
Masahiro Fujita
雅博 藤田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Industrial Devices SUNX Co Ltd
Original Assignee
Panasonic Industrial Devices SUNX Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Industrial Devices SUNX Co Ltd filed Critical Panasonic Industrial Devices SUNX Co Ltd
Priority to JP2017251636A priority Critical patent/JP2019117130A/ja
Priority to KR1020180149750A priority patent/KR102045688B1/ko
Priority to CN201811454277.6A priority patent/CN109974589B/zh
Publication of JP2019117130A publication Critical patent/JP2019117130A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/08Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • G01J1/44Electric circuits
    • G01J2001/4446Type of detector
    • G01J2001/4473Phototransistor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)

Abstract

【課題】投光器と受光器の光軸の調整作業を簡略化し得る透過型光電センサを提供する。【解決手段】投光器側設置面に固定手段で固定され、投光器側設置面に沿う一次元方向のライン光を出力する投光器と、投光器側設置面と同一面方向に延設される受光器側設置面に固定手段で固定され、投光器から出力される前記ライン光を、該ライン光と同方向の一次元方向に受光可能な受光素子で受光する受光器と、受光素子で受光したライン光の受光レベルに基づいて、投光器と受光器との間に位置する被検査物の変位を検出するコントローラとを備えた透過型光電センサにおいて、受光素子9は、投光器1から出力されるライン光Lの投光幅Aを含み、該投光幅より広い幅の受光可能領域ARpを備えた。【選択図】図7

Description

本発明は、例えばレーザ光を出力する投光器と、投光器から出力される光を受信する受光器を備えた透過型光電センサに関するものである。
透過型光電センサは、センサヘッドとして、レーザ光を出力する投光器と、レーザ光を受信する受光器を備えている。そして、投光器と受光器が対向して設置され、受光器でのレーザ光の受光レベルをコントローラで検出することにより、被検査物の変位を検出する。
投光器には、レーザ光を出力する投光素子と、投光素子からの光をライン状すなわち一次元方向に変換するレンズが搭載され、その投光器のケースが設置面にネジで固定される。受光器には、受光素子としてCMOSが一次元方向に搭載され、その受光器のケースが設置面にネジで固定される。
このとき、投光器及び受光器は、投光素子と受光素子が互いに対向し、かつ同方向に延びるように設置面に固定される。
そして、投光器から出力されるレーザ光を受光器で受光し、その受光レベルをコントローラで判定することにより、投光器と受光器との間で搬送される被検査物の変位が検出される。
このような透過型光電センサに類似する先行技術として、特許文献1,2が知られている。
特開2008−275462号公報 特開2016−151543号公報
上記のような透過型光電センサでは、投光器から出力されるレーザ光の投光幅が受光器の受光可能領域内すなわち受光セルの設置範囲内に位置するように、投光器及び受光器を設置面に固定する必要がある。受光器の受光可能領域が投光幅から外れると、被検査物の変位を正常に検出することができない。
投光器と受光器を設置面に固定する際には、投光器の投光幅が受光器の受光可能領域内に位置するように光軸調整を行った状態で、投光器及び受光器を設置面にネジで固定する。
ところが、ネジで固定する際に、投光器と受光器の光軸が一次元方向にずれる場合があり、この場合には光軸調整をやり直す必要があるため、光軸調整作業が煩雑であった。
特許文献1,2には、透過型光電センサの光軸ずれを検出する構成が開示されているが、光軸ずれを補正する機能は開示されていない。
この発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は投光器と受光器の光軸の調整作業を簡略化し得る透過型光電センサを提供することにある。
上記課題を解決する透過型光電センサは、投光器側設置面に固定手段で固定され、前記投光器側設置面に沿う一次元方向のライン光を出力する投光器と、前記投光器側設置面と同一面方向に延設される受光器側設置面に固定手段で固定され、前記投光器から出力される前記ライン光を、該ライン光と同方向の一次元方向に受光可能な受光素子で受光する受光器と、前記受光素子で受光した前記ライン光の受光レベルに基づいて、前記投光器と前記受光器との間に位置する被検査物の変位を検出するコントローラとを備えた透過型光電センサにおいて、前記受光素子は、前記投光器から出力される前記ライン光の投光幅を含み、該投光幅より広い幅の受光可能領域を備えたことを特徴とする。
この構成により、投光器と受光器の光軸ずれに対する許容度が向上する。
また、上記の透過型光電センサでは、前記コントローラは、前記受光素子の前記受光可能領域の中から、前記ライン光を基準レベル以上の受光レベルで受光する受光領域を検出し、該受光領域の範囲内であらかじめ設定された範囲の有効領域を設定する第一の設定手段を備えることが好ましい。
この構成により、実行モード時に、有効領域以外の受光可能領域に入射する外乱光の影響が抑制される。
また、上記の透過型光電センサでは、前記コントローラは、前記有効領域の範囲を調整する第二の設定手段を備えることが好ましい。
この構成により、必要に応じて、有効領域AR2を狭く設定することにより、投光器1及び受光器2の光軸のずれに対する許容度が向上する。
また、上記の透過型光電センサでは、前記コントローラは、前記受光領域のエッジを検出するエッジ検出手段と、検出された前記エッジを前記有効領域から除外するように設定する第三の設定手段を備えることが好ましい。
この構成により、受光領域のエッジを有効領域から除外可能となる。
また、上記の透過型光電センサでは、前記コントローラは、前記有効領域が前記受光可能領域内に収まらないとき、エラーを表示するエラー表示手段を備えることが好ましい。
この構成により、有効領域が受光可能領域を外れる場合には、表示画面にエラーが表示されるので、有効領域の誤設定が抑制される。
また、上記の透過型光電センサでは、前記受光器に、前記ライン光を取り込んで前記受光素子に供給する受光窓を備え、前記受光素子の前記一次元方向の中心を、前記受光窓の前記一次元方向の中心に対しオフセットし、前記コントローラは、前記受光窓の端部との距離が近い前記受光素子の一方の端部に位置する前記受光セルから受光信号を順次読み出す。
この構成により、実行モードにおいて、受光素子の各セルから受光レベルを読み出すとき、受光窓の中心との距離が近い側の端部から受光レベルが順次読み出されるので、有効領域の受信レベルを読み出すまでの時間が短縮される。また、有効領域の受信レベルを読み出した後の各セルからの受光レベルの読み出しが省略できるので、繰り返し読み出す際の読み出し時間も短縮可能となる。
本発明の透過型光電センサによれば、投光器と受光器の光軸の調整作業を簡略化することができる。
透過型光電センサを示す斜視図。 受光器を示す斜視図。 受光器内の受光素子を示す斜視図。 コントローラを示す正面図。 透過型光電センサの電気的構成を示すブロック図。 透過型光電センサの動作を示すフローチャート。 受光素子で検出する受光レベルを示す説明図。 有効領域の設定動作を示す説明図。 有効領域の設定動作を示す説明図。
以下、透過型光電センサの一実施形態を図面に従って説明する。
図1に示す透過型光電センサは、投光器1と、受光器2と、コントローラ3を備える。投光器1及び受光器2は、同一の外形寸法を備えたケース4,5を備える。ケース4,5は、例えば厚さが10mmの直方体で形成され、その直方体の対角位置の隅部において、ケース4,5を厚さ方向に貫通する取付孔6を備えている。そして、取付孔6に挿通されるネジにより、ケース4,5の厚さ方向の一方の側面4a,5aが取付面にそれぞれ固定される。ケース4,5を固定する投光器側設置面及び受光器側設置面は、同一面の一部をなす平面である。
投光器1のケース4には、側面4aに直交する側面のうち、長辺方向の一方の側面に投光窓7が形成されている。投光窓7は、ケース4の長手方向に沿って長方形状に開口されている。また、側面4aに直交する側面のうち、短辺方向の一方の側面からケーブル4bが延設されて、コントローラ3に接続されている。
投光器1のケース4内には、レーザ光を出力する投光素子が投光窓7の長手方向に沿って一次元方向に並べて搭載されている。そして、投光素子から出力される一次元方向のレーザ光(ライン光)Lが投光窓7から出射される。
図2に示すように、受光器2のケース5には、側面5aに直交する側面のうち、長辺方向の一方の側面に受光窓8が形成されている。受光窓8は、投光窓7と同一の大きさ及び形状で、ケース5の長手方向に沿って長方形状に開口されている。また、側面5aに直交する側面のうち、短辺方向の一方の側面からケーブル5bが延設されて、コントローラ3に接続されている。
そして、投光器1と受光器2は、投光窓7と受光窓8が互いに対向するように設置面にネジあるいは他の固定手段で固定される。
図3に示すように、受光器2のケース5内には、レーザ光を受光する受光素子9が受光窓8に沿って取付けられている。受光素子9は、CMOSによって構成される。レーザ光を受光可能とした受光素子9の受光可能領域ARpは、受光窓8の長手方向の幅より広く形成され、その受光可能領域ARpの長手方向の中心位置Xは、受光窓8の長手方向の中心Yとは一致しない。図3においては、受光領域の長手方向の中心位置Xが受光窓8の長手方向の中心Yより下方にオフセットされ、受光素子9の一方の端部9a(図3においては上端)と受光窓8の上端との距離D1が受光素子9の他方の端部9b(図3においては下端)と受光窓8の下端との距離D2より短くなっている。
受光素子9は、図示しない受光回路に接続され、当該受光回路、フレキシブルケーブル26、コネクタ27を介してケーブル5bに接続されている。受光素子9の受光信号がケーブル5bを介してコントローラ3に出力される。
図4に示すように、コントローラ3は直方体状のケース10の前面に、表示画面11と、leftキー12、rightキー13、upキー14、downキー15、enterキー16、exitキー17、プリセットキー18と、出力表示灯19a〜19c及び入力表示灯20a、プリセット表示灯20bが設けられている。
leftキー12、rightキー13、upキー14、downキー15、enterキー16、exitキー17、プリセットキー18は、各種設定を行う場合に使用される。出力表示灯19a〜19c及び入力表示灯20a、プリセット表示灯20bは、コントローラ3の入出力状態を表示し、表示画面11は、設定モード時の設定内容、非検査物の変位を検出する実行モード時の測定状況、あるいはエラー表示等が表示される。
コントローラ3のケース10の長手方向の一方側面にはケーブル28が接続されている。ケーブル28は、投光器1及び受光器2から延設されるケーブル4b,5bをまとめてコントローラ3に接続するものであり、投光器1及び受光器2がコントローラ3に電気的に接続される。
図5は、投光器1、受光器2及びコントローラ3の電気的構成を示す。投光器1の投光手段21はレーザダイオード及びその駆動部で構成され、受光器2の受光手段22は受光素子9としてのCMOSと、受光素子9の受信信号をCPU23に出力する出力部で構成される。
コントローラ3には、CPU23が内蔵されるとともに、表示部24及び操作部25が設けられている。表示部24は、表示画面11と各表示灯19a〜19c,20及びその駆動部を含み、操作部25は、各キー12〜18を含む。
CPU23は、あらかじめ設定されたプログラムに基づいて動作して、設定モードでは操作部25で設定された設定内容を表示部24に表示させ、投光手段21を駆動してレーザ光Lを出力させる。そして、受光手段22の受光信号に基づいて設定動作を行う。
また、実行モードでは投光手段21を駆動してレーザ光Lを出力させ、受光手段22の受光信号に基づいて、被検査物の測定結果を判定し、その判定結果を表示部24に表示する。
次に、上記のように構成された透過型光電センサの作用を説明する。
図6は、透過型光電センサを設置位置に設置して測定動作を開始するまでの手順を示す。
投光器1及び受光器2を設置位置にネジで固定するとともに、コントローラ3と接続した後、電源を投入して、まず光軸調整処理を行う(ステップ1)。光軸調整処理は、投光器1及び受光器2の各光軸が適正であるか否かを判定し、適正でない場合には各光軸の位置が適正となるように調整する作業を行う。
次いで、基準波形登録処理が行われる(ステップ2)。基準波形登録処理は、投光器1及び受光器2の設置時、あるいは再設置時に受光レベルの閾値やフィルタの設定等を行う。
次いで、実行モードの選択が行われ(ステップ3)、測定方向の選択が行われた後(ステップ4)、被検査物の変位を測定する測定動作が開始される。
次に、ステップ1の光軸調整処理について説明する。
図7において、投光器1から出射されるレーザ光Lは、投光窓7及び受光窓8を経て、受光素子9で受光される。レーザ光Lは、投光幅Aの一次元方向のレーザ光として受光素子9で受光される。
受光素子9は、上記のように受光窓8の長手方向の幅より広い受光可能領域ARpで、一次元方向のレーザ光Lを受光可能とするように、CMOS(多数のセルが一列に配置)が設置されている。
受光素子9によるレーザ光Lの受光レベルRLは、投光幅Aの両端部すなわちエッジEGでフレネル解析に起因するノイズNRLが発生する。受光レベルRLにノイズNRLが含まれると、被検査物の変位を検出する際に、正常に検出できないおそれがある。
そこで、受光素子9の受光領域AR1のうち、ノイズNRLが発生しない領域を有効領域AR2として設定し、その有効領域AR2の受光レベルRLに基づいて被検査物の変位を検出するようにする必要がある。
光軸調整処理が開始されると、CPU23は、投光器1からレーザ光Lを出力させ、受光器2の受光素子9から出力される受信信号の受光レベルRLを判定する。この時、受光レベルRLは受光素子9の一端側、すなわち図3においては上端側のセルから順次読み出される。
図8に示すように、次いで、CPU23は多数の受光素子9から順次読み出した受信信号の受光レベルRLをあらかじめ設定されている基準レベルSと比較し、受光レベルRLが基準レベルSより高いときをHレベルとする比較結果信号CRを得る。比較結果信号CRは、受光素子9の受光可能領域ARpのセルのうち、投光器1からのレーザ光Lを受光している領域に位置するセルを示し、CPU23はこれを受光領域AR1として認識する。
なお、図8に示す受光レベルRLは、受光素子9から順次読み出した受信信号の受光レベルを左から右に向かって表示している。
次いで、CPU23は受光レベルRLが基準レベルSを超えるセル位置P1を特定し、セル位置P1からあらかじめ設定した所定数X1のセルを隔てたセル位置P2を特定する。
そして、セル位置P2からさらに所定数X2のセルを隔てたセル位置P3を特定し、セル位置P2とセル位置P3との間の領域を、有効領域AR2として設定する。そして、セル位置P3の比較結果信号CRがHレベルであれば、CPU23は有効領域AR2の設定が正常であると認識して、表示画面11に「OK」と表示する。
一方、図9に示すように、セル位置P3が受光可能領域ARpから外れる場合には、有効領域AR2の設定は異常であると認識して、表示画面11に「ERR」と表示する。
また、CPU23は上記光軸調整処理に先立って、有効領域AR2の範囲、すなわちセル数を任意に設定する機能を備えている。
コントローラ3のexitキー17を押すと、CPU23は設定モードに移行して、表示画面に「SET」と表示する。
次いで、CPU23は現在設定されている有効領域AR2のセル数、すなわち上記の所定数X2を表示する。この状態から、upキー14あるいはdownキー15を操作すると、所定数X2が増減される。
そして、所定数X2を所望の数に設定した後、enterキー16を押すと、CPU23は新たに設定された所定数X2を有効領域AR2とし、その所定数X2を数秒間点滅させて所定数X2が確定されたことを表示する。
次いで、CPU23は表示画面11に「SET」の表示を再度行い、この状態でexitキー17を押すと、実行モードに復帰する。なお、enterキー16を押すと、再度設定モードに移行する。
上記のような透過型光電センサでは、次に示す効果を得ることができる。
(1)受光素子9の受光可能領域ARpが、投光器1の投光幅Aより広いので、投光器1及び受光器2をネジで取付面に固定する際に、その固定位置のずれにより、投光素子と受光素子9の光軸が、投光素子及び受光素子9の延びる一次元方向にずれても、投光幅Aが受光素子9の受光可能領域ARpの範囲内に収まり易い。従って、投光器1と受光器2の固定位置の再調整、すなわち光軸の再調整が必要となる可能性を低くすることができる。
(2)設定モード時に、受光器2の受光素子9において、投光器1から出力されるレーザ光Lの受光レベルRLが基準レベルSより大きくなる受光領域AR1の範囲内において、あらかじめ設定された範囲を有効領域AR2として設定することができる。そして、実行モードではその有効領域AR2の受光レベルRLに基づいて被検査物の変位を検出するので、有効領域AR2以外の受光可能領域ARpに入射する外乱光の影響による被検査物の誤検出を防止することができる。
(3)有効領域AR2の広さを任意に設定することができる。必要に応じて、有効領域AR2を狭く設定することにより、投光器1及び受光器2の固定位置のずれに対する許容度が向上する。従って、投光器1と受光器2の固定位置の再調整が必要となる可能性をさらに低くすることができる。
(4)有効領域AR2の設定時に、受光レベルRLが基準レベルS未満から基準レベルSに達するセル位置P1を特定し、セル位置P1からあらかじめ設定した所定数X1のセルを隔てたセル位置P2からさらに所定数X2のセルを隔てたセル位置P3を特定する。そして、セル位置P2とセル位置P3との間の領域を、有効領域AR2として設定するので、受光領域AR1のエッジEGを有効領域AR2から除外することができる。従って、実行モードでは、エッジEGで発生するノイズNRLの影響を除外して、被検査物の検出精度を向上させることができる。
(5)有効領域AR2の設定時に、設定しようとする有効領域AR2に受光レベルRLが基準レベルSに達しないセル位置が存在する場合、あるいは有効領域AR2が受光可能領域ARpを外れる場合には、表示画面11にエラーを表示することができる。従って、有効領域AR2の誤設定を抑制することができる。
(6)受光素子9の受光可能領域ARpの長手方向の中心位置Xは、受光窓8の長手方向の中心Yとは一致しない位置にオフセットされ、受光素子9の受光可能領域ARpの一方の端部9aと受光窓8の端部9a側の端部との距離D1が受光素子9の他方の端部9bと受光窓8の端部9b側の端部との距離D2より短くなっている。従って、実行モードにおいて、受光素子9の各セルから受光レベルRLを読み出すとき、受光窓8の中心Yとの距離が近い側の端部9aから受光レベルRLが順次読み出されるので、有効領域AR2の受光レベルRLを読み出すまでの時間を短縮することができる。
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・投光器1及び受光器2をネジ以外の固定手段で設置面に固定してもよい。
・投光器1から出力される光は、レーザ光以外の光としてもよい。
・受光素子9としてCMOSを二次元のものを使用してもよい。その場合でも、ライン状の一次元領域のみが使用される。
・投光素子から出力されるライン状の光は、一次元のみならず、僅かな幅を持った帯状の光も含まれる。
・「OK」「ERR」の表示は、その他の文字、記号、コード等による表示でもよいし、表示灯の点灯、点滅、表示色の変化等による表示でもよい。
・投光器1と受光器2の外形寸法は同一でなくてもよい。
1…投光器、2…受光器、3…コントローラ(第一の設定手段、第二の設定手段、第三の設定手段、エッジ検出手段、エラー表示手段)、8…受光窓、9…受光素子、11…エラー表示手段(表示画面)、L…ライン光(レーザ光)、ARp…受光可能領域、AR1…受光領域、AR2…有効領域、A…投光幅、RL…受光レベル、S…基準レベル、EG…エッジ。

Claims (6)

  1. 投光器側設置面に固定手段で固定され、前記投光器側設置面に沿う一次元方向のライン光を出力する投光器と、
    前記投光器側設置面と同一面方向に延設される受光器側設置面に固定手段で固定され、前記投光器から出力される前記ライン光を、該ライン光と同方向の一次元方向に受光可能な多数の受光セルを備えた受光素子で受光する受光器と、
    前記受光素子で受光した前記ライン光の受光レベルに基づいて、前記投光器と前記受光器との間に位置する被検査物の変位を検出するコントローラと
    を備えた透過型光電センサにおいて、
    前記受光素子は、前記投光器から出力される前記ライン光の投光幅を含み、該投光幅より広い幅の受光可能領域を備えたことを特徴とする透過型光電センサ。
  2. 請求項1に記載の透過型光電センサにおいて、
    前記コントローラは、
    前記受光素子の前記受光可能領域の中から、前記ライン光を基準レベル以上の受光レベルで受光する受光領域を検出し、該受光領域の範囲内であらかじめ設定された範囲の有効領域を設定する第一の設定手段を備えたことを特徴とする透過型光電センサ。
  3. 請求項2に記載の透過型光電センサにおいて、
    前記コントローラは、
    前記有効領域の範囲を調整する第二の設定手段を備えたことを特徴とする透過型光電センサ。
  4. 請求項2又は3に記載の透過型光電センサにおいて、
    前記コントローラは、
    前記受光領域のエッジを検出するエッジ検出手段と、
    検出された前記エッジを前記有効領域から除外するように設定する第三の設定手段を備えたことを特徴とする透過型光電センサ。
  5. 請求項3又は4に記載の透過型光電センサにおいて、
    前記コントローラは、
    前記有効領域が前記受光可能領域内に収まらないとき、エラーを表示するエラー表示手段を備えたことを特徴とする透過型光電センサ。
  6. 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の透過型光電センサにおいて、
    前記受光器に、前記ライン光を取り込んで前記受光素子に供給する受光窓を備え、前記受光素子の前記一次元方向の中心を、前記受光窓の前記一次元方向の中心に対しオフセットし、前記コントローラは、前記受光窓の端部との距離が近い前記受光素子の一方の端部に位置する前記受光セルから受光信号を順次読み出すことを特徴とする透過型光電センサ。
JP2017251636A 2017-12-27 2017-12-27 透過型光電センサ Pending JP2019117130A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017251636A JP2019117130A (ja) 2017-12-27 2017-12-27 透過型光電センサ
KR1020180149750A KR102045688B1 (ko) 2017-12-27 2018-11-28 투과형 광전 센서
CN201811454277.6A CN109974589B (zh) 2017-12-27 2018-11-30 透射型光电传感器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017251636A JP2019117130A (ja) 2017-12-27 2017-12-27 透過型光電センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2019117130A true JP2019117130A (ja) 2019-07-18

Family

ID=67076168

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017251636A Pending JP2019117130A (ja) 2017-12-27 2017-12-27 透過型光電センサ

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2019117130A (ja)
KR (1) KR102045688B1 (ja)
CN (1) CN109974589B (ja)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6461603A (en) * 1987-09-02 1989-03-08 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Method and device for detecting camber of beltlike body
JPH05296717A (ja) * 1992-04-22 1993-11-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 2次元位置検出装置
JPH10239024A (ja) * 1997-02-26 1998-09-11 Omron Corp 光学式計測装置
JP2002335006A (ja) * 2001-05-09 2002-11-22 Toshiba Corp 反射型光センサ
JP2008275462A (ja) * 2007-04-27 2008-11-13 Omron Corp 位置寸法測定装置
JP2009002701A (ja) * 2007-06-19 2009-01-08 Yamatake Corp エッジ検出装置及びエッジ検出装置用ラインセセンサ
JP2010286244A (ja) * 2009-06-09 2010-12-24 Keyence Corp 透過型寸法測定装置
WO2011147385A2 (en) * 2010-05-28 2011-12-01 Petr Perner Method and device for continuous detection of the thickness and/or homogeneity of linear objects, particularly textile fibres, and their application

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0583981U (ja) * 1992-04-20 1993-11-12 竹中エンジニアリング株式会社 反射型光電スイッチ
JP5410137B2 (ja) * 2009-03-31 2014-02-05 パナソニック デバイスSunx株式会社 光電センサ
JP5507879B2 (ja) * 2009-04-24 2014-05-28 株式会社キーエンス 透過型寸法測定装置
JP6285376B2 (ja) 2015-02-19 2018-02-28 アズビル株式会社 エッジ検出装置
CN205561758U (zh) * 2016-02-19 2016-09-07 深圳市意普兴科技有限公司 红外测量装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6461603A (en) * 1987-09-02 1989-03-08 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Method and device for detecting camber of beltlike body
JPH05296717A (ja) * 1992-04-22 1993-11-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 2次元位置検出装置
JPH10239024A (ja) * 1997-02-26 1998-09-11 Omron Corp 光学式計測装置
JP2002335006A (ja) * 2001-05-09 2002-11-22 Toshiba Corp 反射型光センサ
JP2008275462A (ja) * 2007-04-27 2008-11-13 Omron Corp 位置寸法測定装置
JP2009002701A (ja) * 2007-06-19 2009-01-08 Yamatake Corp エッジ検出装置及びエッジ検出装置用ラインセセンサ
JP2010286244A (ja) * 2009-06-09 2010-12-24 Keyence Corp 透過型寸法測定装置
WO2011147385A2 (en) * 2010-05-28 2011-12-01 Petr Perner Method and device for continuous detection of the thickness and/or homogeneity of linear objects, particularly textile fibres, and their application

Also Published As

Publication number Publication date
CN109974589A (zh) 2019-07-05
KR102045688B1 (ko) 2019-11-15
KR20190079505A (ko) 2019-07-05
CN109974589B (zh) 2021-04-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10747976B2 (en) Optical information reading device
US9103931B2 (en) Modular light curtain and optical unit for a light curtain
JP5507879B2 (ja) 透過型寸法測定装置
JP2005106608A (ja) 多光軸光電センサ
JP6264934B2 (ja) 光電センサ
JP5218138B2 (ja) 反射特性測定装置、反射特性測定装置の校正基準装置、および反射特性測定装置の校正基準板の劣化測定装置
CA1311607C (en) Non-contact optical gauge
JP5022767B2 (ja) 多光軸光電センサ
JP2019117130A (ja) 透過型光電センサ
JP5036995B2 (ja) 光電検出器
JP6712132B2 (ja) 光電スイッチ
CN109596151B (zh) 光电传感器
US20210036483A1 (en) Driving current correction method and apparatus for multiple laser devices, and laser projector
KR20200019990A (ko) 송신기 모듈 및 수신기 모듈을 부착하기 위한 장착 요소를 구비한 라이다 유닛
KR102053935B1 (ko) 빔프로젝터모듈의 광학장치에서의 크랙을 탐지하는 시스템 및 방법
JP2019139830A (ja) 限定反射型センサ
US20210364903A1 (en) Driving current correction method and apparatus for multiple laser devices, and laser projector
JP2008139190A (ja) コイルばねの寸法測定装置
CN215677278U (zh) 亮度检测装置及投影设备
JP6361587B2 (ja) 金属帯穴検査装置の点検装置および点検方法
CN214427310U (zh) 检测激光加工质量的光学检测模块和系统
JP4989993B2 (ja) エッジ検出装置及びその光束調整方法
JP2017059266A (ja) 光学的情報読取装置
KR100247284B1 (ko) 액티브형 자동 초점 카메라의 수광 에러 경고 장치
JP4147130B2 (ja) 広範囲検出用光電スイッチ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20201026

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20210924

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20211005

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20211203

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20220208