JP2019114340A - カソード - Google Patents
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Abstract
Description
一方向に開放された電子放出面を有する単結晶の電子放出部材と、
電子放出面と略同一面に電子放出面の周囲を取り囲むように形成された電子放出面よりも仕事関数の大きい環状面を有し、電子放出部材の少なくとも上部側面を取り囲む、電子放出部材と同じ材料により形成された囲み部材と、
を備えたことを特徴とする。
図1は、実施の形態1におけるカソードの構成の一例を示す断面図である。図1(a)では、陰極ホルダ301以外の部分の上面図を示す。図1(b)では陰極ホルダ301以外の部分の断面図を示す。図1(a)及び図1(b)において、カソード300は、陰極ホルダ301上に固定される。カソード300は、カソード本体20(カソード本体は「エミッタ」ともいう。)と、囲み部材30と、ガイド部(側面カバー部)40と、を備えている。カソード本体20(電子放出部材)は、材料として、六ホウ化ランタン(LaB6)、及び六ホウ化セリウム(CeB6)のいずれかの単結晶が用いられると好適である。カソード本体20は下部が円柱状に形成され、例えば上部が下部より直径の細い円柱状に形成される。カソード本体20は、一方向に開放された電子放出面を有する単結晶の電子放出部材となる。具体的には、カソード本体20上部の先端上面22(頂部)が平面に加工された電子放出面を形成する。電子放出面となる先端上面22は、(100)結晶面になるように加工されている。図1(a)及び図1(b)の例では、カソード本体20は、囲み部材30と、ガイド部40とによって、電子放出面が上面に制限されている。
一方、図3(b)では、所定の使用期間経過後の状態でのカソード300から放出される電子の様子の一例を示している。カソード300の使用(加熱等)による蒸発によって、カソード本体20の電子放出面となる先端上面22は内側に後退していく。一方、カーボン等により形成されたガイド部40はカソード本体20よりも蒸発速度が十分に遅いため段差が形成される。しかし、実施の形態1では、カソード本体20と同じ材料を用いて囲み部材30をカソード本体20の側面を取り囲むように配置している。そのため、カソード本体20の先端上面22が後退していくのと同様に、囲み部材30の環状上面32も同じ速度で後退していく。よって、カソード本体20の先端上面22と囲み部材30の環状上面32とは同一平面を維持し続けることができる。そのため、カソード本体20の先端上面22(電子放出面)近傍では、等電位線(実際は等電位面になる)はカソード本体20の先端上面22(電子放出面)と平行を保つ。よって、電子は、等電位線に直交する方向に進むことができる。よって、電子源としての使用限界(寿命)を延ばすことができる。なお、カソード本体20の側面と囲み部材30の内壁との間に隙間Gが形成される場合であっても、かかる隙間G内に引き出し電界が生じないので、カソード本体20の側面から電子が放出されたとしても隙間内で滞留するだけで電子ビーム形成に影響を与えるものではない。
(1) J=η・A・T2・exp{−φ/(k・T)}
22 先端上面
30 囲み部材
32 環状上面
40 ガイド部
42 環状上面
100 描画装置
101,340 試料
102 電子鏡筒
103 描画室
105 XYステージ
110 制御計算機
120 制御回路
130 高圧電源回路
150 描画機構
160 制御系回路
200 電子ビーム
201 電子銃
202 照明レンズ
203 第1の成形アパーチャ基板
204 投影レンズ
205 偏向器
206 第2の成形アパーチャ基板
207 対物レンズ
208 主偏向器
209 副偏向器
211 電子レンズ
212 ブランキング偏向器
230 電子銃機構
300 カソード
301 陰極ホルダ
322 ウェネルト
324 アノード
330 電子線
410 第1のアパーチャ
411 開口
420 第2のアパーチャ
421 可変成形開口
430 荷電粒子ソース
510 描画領域
520 ストライプ領域
530 SF
552,554,556 ショット図形
620 カソード
622 平面
630 カーボン
632 上面
Claims (5)
- 一方向に開放された電子放出面を有する単結晶の電子放出部材と、
前記電子放出面と略同一面に前記電子放出面の周囲を取り囲むように形成された前記電子放出面よりも仕事関数の大きい環状面を有し、前記電子放出部材の少なくとも上部側面を取り囲む、前記電子放出部材と同じ材料により形成された囲み部材と、
を備えたことを特徴とするカソード。 - 前記電子放出面は、(100)結晶面であることを特徴とする請求項1記載のカソード。
- 前記環状面は、(111)結晶面であることを特徴とする請求項1又は2記載のカソード。
- 前記電子放出部材の側面と前記囲み部材の側面とを覆うガイド部をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜3いずれか記載のカソード。
- 前記ガイド部の前記環状面側の面の高さ位置は、前記環状面の高さ位置と同じ位置か、前記環状面の高さ位置より高い位置であることを特徴とする請求項1〜4いずれか記載のカソード。
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JPS57196445A (en) * | 1981-05-26 | 1982-12-02 | Ibm | Forming electron beam generator |
JP2012069364A (ja) * | 2010-09-23 | 2012-04-05 | Nuflare Technology Inc | 電子銃および電子銃を用いた電子ビーム描画装置 |
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