JP2019110180A - ナノワイヤ光デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 金属から構成された構造体と、
前記構造体の上に側面が接して配置された半導体からなるナノワイヤ部と、
前記構造体と前記ナノワイヤ部との接触領域以外の前記構造体に面した前記ナノワイヤ部の表面に形成された誘電体層と
を備え、
前記ナノワイヤ部は、前記ナノワイヤ部を伝搬する光のプラズモニックモードが出現可能な太さとされている
ことを特徴とするナノワイヤ光デバイス。 - 請求項1記載のナノワイヤ光デバイスにおいて、
前記構造体は、各々絶縁分離された複数の金属構造体が配列されたグレーティング構造であることを特徴とするナノワイヤ光デバイス。 - 請求項1または2記載のナノワイヤ光デバイスにおいて、
前記構造体は、前記ナノワイヤ部の延在方向に沿う溝を構成し、
前記ナノワイヤ部は、前記溝に配置されている
ことを特徴とするナノワイヤ光デバイス。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のナノワイヤ光デバイスにおいて、
前記ナノワイヤ部を励起する励起手段を備え、
前記ナノワイヤ部は所定の波長のレーザ光を発振することを特徴とするナノワイヤ光デバイス。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のナノワイヤ光デバイスにおいて、
前記ナノワイヤ部に電流を注入する電流注入部を備え、
前記ナノワイヤ部は所定の波長の光を発光することを特徴とするナノワイヤ光デバイス。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載のナノワイヤ光デバイスにおいて、
前記ナノワイヤ部は、断面が略円形とされ、
前記ナノワイヤ部の太さdは、以下の式を満たす範囲とされていることを特徴とするナノワイヤ光デバイス。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113889844A (zh) * | 2021-09-27 | 2022-01-04 | 电子科技大学 | 一种纳米线-等离激元耦合的单光子发射器及其制备方法 |
CN114069383A (zh) * | 2021-11-18 | 2022-02-18 | 中国科学院半导体研究所 | 等离激元激光器微腔及其制备方法 |
CN114256737A (zh) * | 2021-12-15 | 2022-03-29 | 电子科技大学 | 一种窄线宽dfb纳米等离子体激光器及其制备方法 |
WO2023058217A1 (ja) * | 2021-10-08 | 2023-04-13 | 日本電信電話株式会社 | ナノワイヤレーザおよびその製造方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006259064A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Fdk Corp | 表面プラズモンによる電界増強方法及びデバイス |
JP2006332137A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 発光素子 |
JP2006351918A (ja) * | 2005-06-17 | 2006-12-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 発光素子 |
WO2008102511A1 (ja) * | 2007-02-19 | 2008-08-28 | Nec Corporation | 光位相変調素子およびこれを用いた光変調器 |
CN102646928A (zh) * | 2012-05-02 | 2012-08-22 | 中国科学院半导体研究所 | 一种双维度上克服衍射极限的等离子体激光器 |
US20130148682A1 (en) * | 2010-07-27 | 2013-06-13 | The Regents Of The University Of California | Plasmon lasers at deep subwavelength scale |
JP2013165152A (ja) * | 2012-02-10 | 2013-08-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | プラズモン薄膜レーザ |
WO2013128540A1 (ja) * | 2012-02-27 | 2013-09-06 | 富士通株式会社 | 半導体レーザ |
JP2016061816A (ja) * | 2014-09-16 | 2016-04-25 | 日本電信電話株式会社 | 微小集光導波路 |
-
2017
- 2017-12-18 JP JP2017241535A patent/JP6919549B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006259064A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Fdk Corp | 表面プラズモンによる電界増強方法及びデバイス |
JP2006332137A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 発光素子 |
JP2006351918A (ja) * | 2005-06-17 | 2006-12-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 発光素子 |
WO2008102511A1 (ja) * | 2007-02-19 | 2008-08-28 | Nec Corporation | 光位相変調素子およびこれを用いた光変調器 |
US20130148682A1 (en) * | 2010-07-27 | 2013-06-13 | The Regents Of The University Of California | Plasmon lasers at deep subwavelength scale |
JP2013165152A (ja) * | 2012-02-10 | 2013-08-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | プラズモン薄膜レーザ |
WO2013128540A1 (ja) * | 2012-02-27 | 2013-09-06 | 富士通株式会社 | 半導体レーザ |
CN102646928A (zh) * | 2012-05-02 | 2012-08-22 | 中国科学院半导体研究所 | 一种双维度上克服衍射极限的等离子体激光器 |
JP2016061816A (ja) * | 2014-09-16 | 2016-04-25 | 日本電信電話株式会社 | 微小集光導波路 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113889844A (zh) * | 2021-09-27 | 2022-01-04 | 电子科技大学 | 一种纳米线-等离激元耦合的单光子发射器及其制备方法 |
CN113889844B (zh) * | 2021-09-27 | 2023-09-12 | 电子科技大学 | 一种纳米线-等离激元耦合的单光子发射器及其制备方法 |
WO2023058217A1 (ja) * | 2021-10-08 | 2023-04-13 | 日本電信電話株式会社 | ナノワイヤレーザおよびその製造方法 |
CN114069383A (zh) * | 2021-11-18 | 2022-02-18 | 中国科学院半导体研究所 | 等离激元激光器微腔及其制备方法 |
CN114256737A (zh) * | 2021-12-15 | 2022-03-29 | 电子科技大学 | 一种窄线宽dfb纳米等离子体激光器及其制备方法 |
CN114256737B (zh) * | 2021-12-15 | 2023-09-26 | 电子科技大学 | 一种窄线宽dfb纳米等离子体激光器及其制备方法 |
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Publication number | Publication date |
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