JP2019109180A - 顕微ラマン分光測定装置、顕微ラマン分光測定の方法及びプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
101 ステージ
101S 試料載置面
102 レーザ光源
103 光弁別部
104 対物レンズ
105、106 ミラー
108 分光部
109 機械的駆動部
110 制御部
501 カバーガラス
502 スライドガラス
503 試料
Claims (11)
- レーザ光を照射された試料から散射されるラマン散乱光を検出して分析することができる顕微ラマン分光測定装置において、
レーザ光源と、
試料載置面を有し、前記試料を光透過性の固定部材に固定して前記試料載置面に載置することができるステージと、
前記ステージに対向すると共に、前記ステージと反対側から入射する光を前記ステージの向きに合焦させるように配置された対物レンズと、
前記対物レンズ及び前記ステージ間の対向距離を変化させることができる機械的駆動部と、
前記ラマン散乱光のスペクトルを計測することができる分光部と、
前記レーザ光源から出射したレーザ光を、前記対物レンズを経て前記ステージに向かわせると共に、前記対物レンズを経て入射した前記ラマン散乱光を前記分光部に向かわせることができる光弁別部と、
前記機械的駆動部を制御して前記対向距離を変化させる度に前記レーザ光源を制御してレーザ光を出射させると共に前記分光部が計測したスペクトルのデータを取得することができ、かつ、前記スペクトルのデータから抽出した前記固定部材に固有のラマン散乱光の強度及び前記試料に固有のラマン散乱光の強度の少なくともいずれか1の値から前記レーザ光の前記試料への合焦が推定される合焦条件を満たすときの前記対向距離の値を合焦距離として確定することができる制御部とを
備えたことを特徴とする顕微ラマン分光測定装置。 - 前記制御部は、前記機械的駆動部を制御して前記対向距離を単調増加又は単調減少の向きに変化させることができ、かつ、前記対向距離を単調増加又は単調減少の向きに変化させる度に抽出した前記固定部材に固有のラマン散乱光の強度が予め与えたしきい値を超えた後に前記しきい値を下回ることを前記合焦条件とすることを特徴とする請求項1に記載の顕微ラマン分光測定装置。
- 前記制御部は、前記機械的駆動部を制御して前記対向距離を単調増加又は単調減少の向きに変化させることができ、かつ、前記対向距離を単調増加又は単調減少の向きに変化させる度に前記固定部材に固有のラマン散乱光の強度及び前記試料に固有のラマン散乱光の強度を抽出して、前記固定部材に固有のラマン散乱光の強度が予め与えた第1のしきい値を超えた後に前記第1のしきい値を下回ると共に前記試料に固有のラマン散乱光の強度が予め与えた第2のしきい値を超えることを前記合焦条件とすることを特徴とする請求項1に記載の顕微ラマン分光測定装置。
- 前記機械的駆動部は、圧電式アクチュエータ又は光学式アクチュエータを有して構成されたことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の顕微ラマン分光測定装置。
- 前記機械的駆動部は、前記試料載置面に平行に前記ステージの前記対物レンズに対する相対位置を変化させることができ、
前記制御部は、前記合焦距離を確定した後に、前記機械的駆動部を制御して前記試料載置面に平行に前記ステージの前記対物レンズに対する相対位置を変化させる度に前記レーザ光源を制御してレーザ光を出射させると共に前記分光部が計測したスペクトルのデータを取得することができる
ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の顕微ラマン分光測定装置。 - レーザ光源、ステージ、前記ステージに対向すると共に前記ステージと反対側から入射する光を前記ステージの方向へ合焦させるように配置された対物レンズ、前記対物レンズ及び前記ステージ間の対向距離を変化させることができる機械的駆動部、光弁別部並びに分光部を有してなる顕微ラマン分光測定装置を用いて行う顕微ラマン分光測定の方法において、
試料を光透過性の固定部材に固定して前記ステージの試料載置面に載置し、
前記機械的駆動部により前記対向距離の初期値を設定し、
指定した時間にわたり前記レーザ光源からレーザ光を出射させ、
前記レーザ光が前記光弁別部及び前記対物レンズを経て、前記固定部材に固定されて前記試料載置面に載置された前記試料を照射したとき、前記固定部材及び前記試料の少なくともいずれか一方から散射されたラマン散乱光を含み前記対物レンズ及び前記光弁別部を経て前記分光部に計測された光のスペクトルから、前記固定部材に固有のラマン散乱光の強度及び前記試料に固有のラマン散乱光の強度を抽出し、
前記固定部材に固有のラマン散乱光の強度及び前記試料に固有のラマン散乱光の強度の少なくともいずれか1の値から前記レーザ光の前記試料への合焦が推定される合焦条件を満たしたか否かを判定し、
前記合焦条件が満たされたと判定するまで、前記機械的駆動部により前記対向距離の値を変更する度に、前記レーザ光の出射並びに前記固定部材に固有のラマン散乱光の強度及び前記試料に固有のラマン散乱光の強度の抽出を繰り返し、
前記合焦条件が満たされたと判定したときの前記対向距離の値を合焦距離として確定する
ことを特徴とする顕微ラマン分光測定の方法。 - レーザ光源、ステージ、前記ステージに対向すると共に前記ステージと反対側から入射する光を前記ステージの向きに合焦させるように配置された対物レンズ、前記対物レンズ及び前記ステージ間の対向距離を変化させることができる機械的駆動部、光弁別部並びに分光部を有してなる顕微ラマン分光測定装置を用いて行う顕微ラマン分光測定の方法において、
試料を光透過性の固定部材に固定して前記ステージの試料載置面に載置するステップと、
前記機械的駆動部により前記対向距離の初期値を設定する第1のステップと、
指定した時間にわたり前記レーザ光源からレーザ光を出射させる第2のステップと、
前記レーザ光が前記光弁別部及び前記対物レンズを経て、前記固定部材に固定されて前記試料載置面に載置された前記試料を照射したとき、前記固定部材及び前記試料の少なくともいずれか一方から散射されたラマン散乱光を含み前記対物レンズ及び前記光弁別部を経て前記分光部に計測された光のスペクトルから、前記固定部材に固有のラマン散乱光の強度及び前記試料に固有のラマン散乱光の強度を抽出する第3のステップと、
前記固定部材に固有のラマン散乱光の強度及び前記試料に固有のラマン散乱光の強度の少なくともいずれか1の値から前記レーザ光の前記試料への合焦が推定される合焦条件が満たされたか否かを判定する第4のステップと、
前記第4のステップにおいて前記合焦条件が満たされていないと判定すれば、前記対向距離の値を更新して設定した後、前記第2のステップないし前記第4のステップを繰り返して実行する第5のステップと、
前記第4のステップにおいて前記合焦条件が満たされたと判定したときの対向距離の値を合焦距離として確定する第6のステップとを
備えたことを特徴とする顕微ラマン分光測定の方法。 - 前記第5のステップにおいて前記対向距離の値を単調増加又は単調減少の向きに更新し、
前記合焦条件は、前記固定部材に固有のラマン散乱光の強度が予め与えたしきい値を超えた後に前記しきい値を下回ることである
ことを特徴とする請求項7に記載の顕微ラマン分光測定の方法。 - 前記第5のステップにおいて前記対向距離の値を単調増加又は単調減少の向きに更新し、
前記合焦条件は、前記第5のステップにおいて前記固定部材に固有のラマン散乱光の強度が予め与えた第1のしきい値を超えた後に前記第1のしきい値を下回り、かつ、前記試料に固有のラマン散乱光の強度が予め与えた第2のしきい値を超えることである
ことを特徴とする請求項7に記載の顕微ラマン分光測定の方法。 - 前記機械的駆動部が前記試料載置面に平行に前記ステージの前記対物レンズに対する相対位置を変化させることができる場合において、
前記第6のステップの後、前記試料載置面に平行に前記ステージの前記対物レンズに対する相対位置を変化させる度に、前記第2のステップ及び前記第3のステップを繰り返す第7のステップを、
さらに備えたことを特徴とする請求項7ないし請求項9のいずれか1項に記載の顕微ラマン分光測定の方法。 - レーザ光源、ステージ、前記ステージに対向すると共に前記ステージと反対側から入射する光を前記ステージの向きに合焦させるように配置された対物レンズ、前記対物レンズ及び前記ステージ間の対向距離を変化させることができる機械的駆動部、光弁別部並びに分光部を有してなる顕微ラマン分光測定装置をコンピュータに制御させるプログラムにおいて、
前記機械的駆動部により前記対向距離の初期値を設定する第1のステップと、
指定した時間にわたり前記レーザ光源からレーザ光を出射させる第2のステップと、
前記レーザ光が前記光弁別部及び前記対物レンズを経て、光透過性の固定部材に固定されて前記ステージの試料載置面に載置された試料を照射したとき、前記固定部材及び前記試料の少なくともいずれか一方から散射されたラマン散乱光を含み前記対物レンズ及び前記光弁別部を経て前記分光部に計測された光のスペクトルから、前記固定部材に固有のラマン散乱光の強度及び前記試料に固有のラマン散乱光の強度を抽出する第3のステップと、
前記固定部材に固有のラマン散乱光の強度及び前記試料に固有のラマン散乱光の強度の少なくともいずれか1の値から前記レーザ光の前記試料への合焦が推定される合焦条件が満たされたか否かを判定する第4のステップと、
前記第4のステップにおいて前記合焦条件が満たされなければ、前記対向距離の値を更新して設定した後、前記第2のステップないし前記第4のステップを繰り返して実行する第5のステップと、
前記第4のステップにおいて前記合焦条件が満たされたと判定したときの対向距離の値を合焦距離として確定する第6のステップとを
前記コンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006520900A (ja) * | 2003-03-11 | 2006-09-14 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 励起システム及び焦点モニタリングシステムを備える分光分析装置及び方法 |
JP2010156557A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Horiba Ltd | 入射光学系及びラマン散乱光測定装置 |
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EP3073251A1 (en) * | 2015-03-24 | 2016-09-28 | Agri-Food and Biosciences Institute | A multi-layered substrate for spectroscopy and manufacturing process thereof |
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2017
- 2017-12-20 JP JP2017243613A patent/JP6977995B2/ja active Active
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