JP2019102709A - 軟磁性金属薄膜および薄膜インダクタ - Google Patents
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Abstract
Description
柱状磁性粒子および前記柱状磁性粒子同士の間にある粒界相からなる軟磁性金属薄膜であって、
前記柱状磁性粒子がアモルファス構造を有し、
前記柱状磁性粒子が、Fe,CoまたはNiから選択される少なくとも1種以上、および、Si,B,C,P,Ti,Nb,Ta,Zr,HfおよびYから選択される少なくとも1種以上を含有し、
前記粒界相が酸化物または窒化物を含有することを特徴とする。
実施例1〜17および比較例2では、まずスパッタリングにより、最終的に得られる軟磁性金属薄膜の平均組成が下表1に記載する平均組成となる金属薄膜(厚み500nm)を形成した。
実施例18および19は、平均組成が異なる点、および、スパッタリング後に酸素を導入せずに熱処理を行う点以外は実施例1〜17および比較例2と同条件で金属薄膜を作製した。なお、実施例18ではスパッタリング後の段階でAl2O3が粒界相を形成している。なお、下記の表1ではAl:Oが2:3からずれているが、これは表1では小数点1桁目を四捨五入していることに伴うものである。しかし、実施例19ではスパッタリング後の段階では単相である。熱処理により窒化ホウ素が他の元素と相分離し、粒界相を形成する。残りのBが柱状磁性粒子に含有される。Bについては軟磁性金属薄膜全体を100at%として10at%が柱状磁性粒子に含有され、B12at%が窒素12at%と結合した窒化物として粒界相に含有されると推測できる。
比較例1は、加熱時の温度を550℃とした点以外は実施例1と同条件で金属薄膜を作製した。
比較例3では、下表1に記載する平均組成を有する金属薄膜をスパッタリングにより作製した。スパッタリング条件は実施例1〜17および比較例2と同様である。そして、その後の熱処理を行わなかった。
2・・・コイル
11・・・軟磁性金属薄膜
12・・・柱状磁性粒子
13・・・粒界相
Claims (7)
- 柱状磁性粒子および前記柱状磁性粒子同士の間にある粒界相からなる軟磁性金属薄膜であって、
前記柱状磁性粒子がアモルファス構造を有し、
前記柱状磁性粒子が、Fe,CoまたはNiから選択される少なくとも1種以上、および、Si,B,C,P,Ti,Nb,Ta,Zr,HfおよびYから選択される少なくとも1種以上を含有し、
前記粒界相が酸化物または窒化物を含有することを特徴とする軟磁性金属薄膜。 - 前記粒界相がLa,Ce,Pr,Nd,Sm,Eu,Gd,TbおよびDyから選択される少なくとも1種以上の元素の酸化物を含有する請求項1に記載の軟磁性金属薄膜。
- 前記柱状磁性粒子の軸芯が互いに略平行である請求項1または2に記載の軟磁性金属薄膜。
- 前記柱状磁性粒子の軸芯が薄膜の厚み方向に略平行である請求項1〜3のいずれかに記載の軟磁性金属薄膜。
- 前記柱状磁性粒子の軸芯に略垂直な前記柱状磁性粒子の横断面の平均円相当径が10nm以上100nm以下である請求項1〜4のいずれかに記載の軟磁性金属薄膜。
- 厚さが100nm以上10,000nm以下である請求項1〜5のいずれかに記載の軟磁性金属薄膜。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の軟磁性金属薄膜と、導体パターンと、を有する薄膜インダクタ。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113789487A (zh) * | 2021-08-11 | 2021-12-14 | 北京航空航天大学 | 一种高碳高电阻率软磁铁基非晶合金及其制备方法 |
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