JP2019102589A - 表示装置と表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】画素内の輝度のばらつきを抑制する。【解決手段】本開示に係る表示装置は、基板と、前記基板の上方に設けられた下部電極膜と、前記下部電極膜の上方に設けられ、開口部を有する絶縁膜と、前記開口部に少なくともその一部が配置され、前記下部電極膜と電気的に接続された有機層と、前記有機層の上方に電気的に接続された上部電極膜と、を含み、前記有機層は、正孔注入層を含み、前記開口部は、中央側に配置された第1の領域と、前記第1の領域の外周側に配置された第2の領域と、を含み、前記第1の領域における前記正孔注入層のp型ドーパント濃度が、前記第2の領域における前記正孔注入層のp型ドーパント濃度よりも高い。【選択図】図5
Description
本発明は、表示装置と表示装置の製造方法に関する。
有機エレクトロルミネッセンス表示装置などのフラットパネルディスプレイは、基板上に薄膜トランジスタや、画素ごとに設けられた有機発光ダイオードなどが形成された表示パネルを有する。
下記特許文献1に示す有機エレクトロルミネッセンス表示装置においては、アノードとカソードの間に配置された有機層が開示されている。この有機層は、正孔注入層、正孔輸送層、発光層などを含んでいる。
しかし、上記従来の構成においては、画素内において輝度のばらつきが発生することが問題となっていた。即ち、上記従来の構成においては、上記有機層に含まれる例えば正孔輸送層等は、一般的にバンクと呼ばれる絶縁膜に設けられた開口部内に設けられる。この開口部内に正孔輸送層を形成するに際しては、マスクを用いた蒸着工程により正孔輸送層を製膜する。その際、マスクの厚みに応じて、マスク開口の中央領域と、マスク開口の端部領域とで、正孔輸送層の厚み分布に差が生じる。即ち、マスクの内側面の存在によって正孔輸送層の蒸着が阻害されてしまうため、マスク開口の中央領域の正孔輸送層と比較して端部領域の正孔輸送層が薄く製膜されてしまうことがある。その結果として、正孔輸送層が薄く形成された端部領域において電流が流れやすくなってしまい、画素内において輝度のばらつきが発生してしまっていた。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、画素内の輝度のばらつきを抑制することである。
(1)本開示に係る表示装置は、基板と、前記基板の上方に設けられた下部電極膜と、前記下部電極膜の上方に設けられ、開口部を有する絶縁膜と、前記開口部に少なくともその一部が配置され、前記下部電極膜と電気的に接続された有機層と、前記有機層の上方に電気的に接続された上部電極膜と、を含み、前記有機層は、正孔注入層を含み、前記開口部は、中央側に配置された第1の領域と、前記第1の領域の外周側に配置された第2の領域と、を含み、前記第1の領域における前記正孔注入層のp型ドーパント濃度が、前記第2の領域における前記正孔注入層のp型ドーパント濃度よりも高い構成である。
(2)上記(1)における表示装置において、前記有機層が第1の層を含み、前記第1の領域における前記第1の層の膜厚が、前記第2の領域における前記第1の層の膜厚よりも厚い構成としてもよい。
(3)上記(1)における表示装置において、前記有機層が正孔輸送層を含み、前記第1の領域における前記正孔輸送層の膜厚が、前記第2の領域における前記正孔輸送層の膜厚よりも厚い構成としてもよい。
(4)上記(1)における表示装置において、前記正孔注入層は、前記開口部から前記絶縁膜の上面にまで設けられた構成としてもよい。
(5)上記(1)における表示装置において、前記正孔注入層は、前記開口部における前記第1の領域に設けられた第1の正孔注入膜と、前記開口部における前記第2の領域に設けられた第2の正孔注入膜と、を含み、前記第1の正孔注入膜のp型ドーパント濃度が、前記第2の正孔注入膜のp型ドーパント濃度よりも高い構成としてもよい。
(6)本開示に係る表示装置の製造方法は、基板を準備する工程と、前記基板の上方に下部電極膜を形成する工程と、前記下部電極膜の上方に、開口部を有する絶縁膜を形成する工程と、前記開口部に少なくともその一部が配置され、前記下部電極膜と電気的に接続された有機層を形成する工程と、前記有機層の上方に電気的に接続された上部電極膜を形成する工程と、を含み、前記有機層を形成する工程には、正孔注入層を形成する工程を含み、前記開口部は、中央側に配置された第1の領域と、前記第1の領域の外周側に配置された第2の領域と、を含み、前記正孔注入層を形成する工程において、前記第1の領域における前記正孔注入層のp型ドーパント濃度が、前記第2の領域における前記正孔注入層のp型ドーパント濃度よりも高くなるよう前記正孔注入層を形成する製造方法である。
(7)上記(6)における表示装置の製造方法において、前記有機層が第1の層を含み、前記有機層を形成する工程において、前記第1の領域における前記第1の層の膜厚を、前記第2の領域における前記第1の層の膜厚よりも厚く形成する製造方法としてもよい。
(8)上記(6)における表示装置の製造方法において、前記有機層が正孔輸送層を含み、前記有機層を形成する工程において、前記第1の領域における前記正孔輸送層の膜厚を、前記第2の領域における前記正孔輸送層の膜厚よりも厚く形成する製造方法としてもよい。
(9)上記(6)における表示装置の製造方法は、前記正孔注入層を形成する工程において、前記正孔注入層を前記開口部から前記絶縁膜の上面にまで形成する製造方法としてもよい。
(10)上記(6)における表示装置の製造方法において、前記正孔注入層を形成する工程は、前記開口部における前記第1の領域に第1の正孔注入膜を形成する工程と、前記開口部における前記第2の領域に第2の正孔注入膜を形成する工程と、を含み、前記第1の正孔注入膜を形成する工程において形成する前記第1の正孔注入膜のp型ドーパント濃度を、前記第2の正孔注入膜を形成する工程において形成する前記第2の正孔注入膜のp型ドーパント濃度よりも高くする製造方法としてもよい。
(11)上記(6)における表示装置の製造方法において、前記正孔注入層を形成する工程は、前記正孔注入層を少なくとも前記開口部に形成する工程と、前記開口部における前記第1の領域に配置された前記正孔注入層に、p型ドーパントを追加的にドープする工程と、を含む製造方法としてもよい。
(12)上記(6)における表示装置の製造方法において、前記正孔注入層を形成する工程は、前記正孔注入層を少なくとも前記開口部に形成する工程と、前記開口部における前記正孔注入層に、p型ドーパントを追加的にドープする工程と、を含み、前記p型ドーパントを追加的にドープする工程において、前記開口部における前記第1の領域に配置された前記正孔注入層に対する前記p型ドーパントのドープ量が、前記開口部における前記第2の領域に配置された前記正孔注入層に対する前記p型ドーパントのドープ量よりも多い製造方法としてもよい。
[第1の実施形態]
以下、本発明の実施の形態について、図面に基づいて説明する。
以下、本発明の実施の形態について、図面に基づいて説明する。
なお、本開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。さらに特に断りのない限り、本発明の実施形態同士は互いに組み合わせることが可能である。
本実施形態に係る表示装置2は、例えば有機エレクトロルミネッセンス表示装置であり、テレビ、パソコン、携帯端末、携帯電話等に搭載される。図1は本実施形態に係る表示装置2の概略の構成を示す模式図である。表示装置2は、画像を表示する画素アレイ部4と、当該画素アレイ部4を駆動する駆動部とを備える。表示装置2は、ガラスなどからなる基材を有していてもよい。表示装置2は、可撓性を有するフレキシブルディスプレイであってもよく、その場合は可撓性を有した樹脂フィルムなどからなる基材を有していてもよい。表示装置2は、当該基材の内部又は上方に設けられた配線と、を含む配線層を有する。
画素アレイ部4には画素に対応して有機発光ダイオード6及び画素回路8がマトリクス状に配置される。画素回路8は、点灯薄膜トランジスタ10、駆動薄膜トランジスタ12、及びキャパシタ14などを含む。
一方、駆動部は、走査線駆動回路20、映像線駆動回路22、駆動電源回路24及び制御装置26を含み、画素回路8を駆動し、有機発光ダイオード6の発光を制御する。
走査線駆動回路20は画素の水平方向の並び(画素行)ごとに設けられた走査信号線28に接続されている。走査線駆動回路20は制御装置26から入力されるタイミング信号に応じて走査信号線28を順番に選択し、選択した走査信号線28に、点灯薄膜トランジスタ10をオンする電圧を印加する。
映像線駆動回路22は画素の垂直方向の並び(画素列)ごとに設けられた映像信号線30に接続されている。映像線駆動回路22は、制御装置26から映像信号を入力され、走査線駆動回路20による走査信号線28の選択に合わせて、選択された画素行の映像信号に応じた電圧を各映像信号線30に出力する。当該電圧は、選択された画素行にて点灯薄膜トランジスタ10を介してキャパシタ14に書き込まれる。駆動薄膜トランジスタ12は書き込まれた電圧に応じた電流を有機発光ダイオード6に供給し、これにより、選択された走査信号線28に対応する画素の有機発光ダイオード6が発光する。
駆動電源回路24は、画素列ごとに設けられた駆動電源線32に接続され、駆動電源線32及び選択された画素行の駆動薄膜トランジスタ12を介して有機発光ダイオード6に電流を供給する。
ここで、有機発光ダイオード6の下部電極膜である下部電極膜は駆動薄膜トランジスタ12に接続される。一方、各有機発光ダイオード6の上部電極膜である上部電極膜は、全画素の有機発光ダイオード6に共通の電極で構成される。下部電極膜を陽極(アノード)として構成する場合は、高電位が入力され、上部電極膜は陰極(カソード)となって低電位が入力される。下部電極膜を陰極(カソード)として構成する場合は、低電位が入力され、上部電極膜は陽極(アノード)となって高電位が入力される。
図2は、本実施形態における表示パネル40の模式的な平面図である。表示パネル40は、画素アレイ部4に設けられた有機発光ダイオード6が配置された表示領域42と、その外周側に配置された額縁領域44とを有する。ここで、表示領域42の略全体において、有機発光ダイオード6の上部電極膜が形成されている。即ち、上部電極膜は、複数の画素に跨るよう配置されている。
図2に示すように、有機発光ダイオード6を含む有機発光ダイオード構造層300には、フレキシブルプリント回路基板52が接続され、このフレキシブルプリント回路基板52上には、上述した駆動部を構成するドライバ集積回路48が搭載されている。フレキシブルプリント回路基板52は、上述した走査線駆動回路20、映像線駆動回路22、駆動電源回路24及び制御装置26等に接続される。
図3は、図2に示すIII−III線に沿った位置における表示パネル40の模式的な垂直断面図である。図3に示すように、本実施形態の表示パネル40は、アレイ基板50を有する。本実施形態においては、アレイ基板50を構成する材料としてポリイミドを用いている。なお、アレイ基板50を構成する材料として、他の樹脂材料を用いてもよい。
アレイ基板50の上方には、アンダーコート層として、第1シリコン酸化膜54、第1シリコン窒化膜56、第2シリコン酸化膜58を含む三層積層構造を設けている。最下層の第1シリコン酸化膜54は、アレイ基板50との密着性向上のため、中層の第1シリコン窒化膜56は、外部からの水分及び不純物のブロック膜として、最上層の第2シリコン酸化膜58は、第1シリコン窒化膜56中に含有される水素原子が半導体層側に拡散しないようにするブロック膜として、それぞれ設けられる。なお、アンダーコート層は、特にこの構造に限定されるものではなく、更なる積層を有する構造であってもよいし、単層構造あるいは二層構造としてもよい。
アンダーコート層の上方には、駆動薄膜トランジスタ12が設けられる。駆動薄膜トランジスタ12は、チャネル領域とソース・ドレイン領域との間に、低濃度不純物領域が設けられた構造を有する。本実施形態においては、ゲート絶縁膜60としてシリコン酸化膜を用い、ゲート電極としてTi、Alの積層構造からなる第1配線62を用いている。第1配線62は、駆動薄膜トランジスタ12のゲート電極としての機能に加え、保持容量線としても機能する。即ち、第1配線62は、ポリシリコン膜64との間で、保持容量の形成に用いられる。
駆動薄膜トランジスタ12の上方においては、層間絶縁膜となる第2シリコン窒化膜66、及び第3シリコン酸化膜68をそれぞれ積層し、さらにソース・ドレイン電極及び引き回し配線となる第2配線70を形成する。本実施形態においては、第2配線70が、Ti、Al、Tiの三層積層構造を有する構成とした。層間絶縁膜、第1配線62と同層の導電層で形成される電極と、駆動薄膜トランジスタ12のソース・ドレイン配線と同層の導電層で形成される電極とで、保持容量が形成される。引き回し配線は、アレイ基板50周縁の端部にまで延在され、図2に示したフレキシブルプリント回路基板52やドライバ集積回路48を接続する端子を形成する。
駆動薄膜トランジスタ12の上方においては、平坦化膜72を形成する。平坦化膜72としては感光性アクリル等の有機材料が多く用いられる。平坦化膜72は、CVD(chemical vapor deposition)法等により形成される無機絶縁材料に比べ、表面の平坦性に優れる。
平坦化膜72は、駆動薄膜トランジスタ12と有機発光ダイオード6に含まれる下部電極膜80とが電気的に接続される画素コンタクト部、及び額縁領域44の端部においては除去される。画素コンタクト部においては、平坦化膜72の除去により露出された第2配線70の上面は、ITO(Indium Tin Oxide)からなる透明導電膜74により被覆される。
続いて、透明導電膜74と同層に、第3配線76を設ける。本実施形態においては、この第3配線76はMo、Al、Moの三層積層構造で設けられ、周辺引き回し配線や、画素内で付加的に設けられる容量素子の形成に用いられる。先程、平坦化膜72を除去した後に露出された第2配線70の上面を透明導電膜74で被覆するのは、第3配線76のパターニング工程から第2配線70の露出面を保護する意味もある。
透明導電膜74、及び第3配線76の上面は、一旦、第3シリコン窒化膜78で被覆される。その後、表示領域42における透明導電膜74の画素コンタクト部付近において、第3シリコン窒化膜78に開口部が設けられ、透明導電膜74の上面の一部が露出される。更に、本実施形態においては、額縁領域44においても、第3シリコン窒化膜78に開口部を設けており、各開口部から、平坦化膜72の上面が露出される。
その後、開口部から露出された透明導電膜74の上面に接続されるよう、画素電極となる下部電極膜80を形成する。本実施形態においては、下部電極膜80は反射電極として形成され、IZOなどの材料からなる透明電極膜と、Agなどの材料からなる反射メタル膜とを含む積層構造を有する。
図3に示すように、画素コンタクト部においては、透明導電膜74、第3シリコン窒化膜78、下部電極膜80によって付加容量が形成される。ところで、下部電極膜80のパターニング時、一部において透明導電膜74がエッチング環境にさらされるが、透明導電膜74の形成工程後から、下部電極膜80の形成工程までの間に行われるアニール処理によって、透明導電膜74は下部電極膜80のエッチングに対し耐性を有する。
下部電極膜80の形成工程後、バンク、又はリブと呼ばれる、画素領域の隔壁となる絶縁膜82を形成する。絶縁膜82としては平坦化膜72と同じく感光性アクリル等が用いられる。絶縁膜82は、下部電極膜80の上面を発光領域として露出するように開口され、その開口端はなだらかなテーパー形状となるのが好ましい。開口端が急峻な形状になっていると、後で形成される有機エレクトロルミネッセンス層100のカバレッジ不良を生ずる。
絶縁膜82の形成後、有機エレクトロルミネッセンス層100を構成する有機材料を積層形成する。図4は、本実施形態における絶縁膜82に設けられた開口部における有機エレクトロルミネッセンス層100の積層構造を示す模式的な垂直段面図である。図4に示すように、本実施形態においては、有機エレクトロルミネッセンス層100を構成する積層構造として、下部電極膜80側から順に、正孔注入層101、正孔輸送層102、電子ブロック層103、発光層104、正孔ブロック層105、電子輸送層106、電子注入層107を積層形成する。本実施形態において、正孔注入層101は複数のサブ画素に亘って形成するが、正孔輸送層102や発光層104はサブ画素毎に形成する。
ここで、サブ画素毎に形成される正孔輸送層102が、マスクを用いた蒸着工程により絶縁膜82の開口部のみに形成される場合、マスクの厚みに応じて、マスク開口の中央領域と、マスク開口の端部領域とで、正孔輸送層102の厚み分布に差が生じる。即ち、マスクの内側面の存在によって正孔輸送層102の蒸着が阻害されてしまうため、マスク開口の中央領域の正孔輸送層102と比較して端部領域の正孔輸送層が薄く製膜されてしまうことがある。その結果として、正孔輸送層102が薄く形成された端部領域において電流が流れやすくなってしまう可能性がある。この課題を、本開示における正孔注入層101が有する構成により解消する方法について、以下、説明する。
図5は、絶縁膜82に設けられた開口部付近における、正孔注入層101を形成する工程を説明するための模式的な垂直断面図である。絶縁膜82に設けられた開口部は、中央側に配置された第1の領域111と、第1の領域111の外周側に配置された第2の領域112とを含む。図5に示す例においては、正孔注入層101を、絶縁膜82に設けられた開口部から、絶縁膜82の側面、及び上面にまで形成する。即ち、正孔注入層101は、開口部における第1の領域111、第2の領域112の双方に形成される。
正孔注入層101には、p型ドーパントが添加されており、正孔注入層101を構成する分子とp型ドーパントとが、相互作用により互いに電荷分離し、ホール、電子を発生させる。p型ドーパントとしては、正孔注入層101のHOMO(Highest Occupied Molecular Orbital)と近い値を持つLUMO(Lowest Unoccupied Molecular Orbital)を有する材料が望ましく、例えば、酸化モリブデン(MoO3)、酸化レニウム(Re2O7)F4−TCNQなどを用いることができる。
その後、図5に示すように、p型ドーパント108を、開口部の第1の領域111における、正孔注入層101の上面に、追加的にドープする。
p型ドーパント108を追加的にドープする具体例としては、絶縁膜82の開口部と同程度の開口を有するマスクを正孔注入層101の上方に配置し、そのマスクの上方からp型ドーパント108を正孔注入層101の上面に蒸着させる。その際、マスク開口の中央領域と、マスク開口の端部領域とで、p型ドーパント108の蒸着量に差が生じる。即ち、マスクの内側面の存在によってp型ドーパント108の蒸着が阻害されてしまうため、マスク開口の中央領域のp型ドーパント108の蒸着量と比較して端部領域のp型ドーパント108の蒸着量が少なくなる。その結果として、正孔注入層101の上面における、第1の領域111のp型ドーパント108の蒸着量が、第2の領域112のp型ドーパント108の蒸着量よりも多くなる。なお、図5においては、正孔注入層101の上面における第1の領域111のみに、p型ドーパント108が蒸着されたような構成を図示しているが、正孔注入層101の上面における第2の領域112においても、第1の領域111と比較して少量のp型ドーパント108が追加的に蒸着されても構わない。
なお、p型ドーパント108を追加的にドープする他の具体例としては、絶縁膜82の開口部よりも小さな開口を有するマスクを正孔注入層101の上方に配置し、そのマスクの上方からp型ドーパント108を正孔注入層101の上面に蒸着させてもよい。絶縁膜82の開口部よりも小さな開口を有するマスクを用いることにより、例えば第1の領域111のみにp型ドーパント108を蒸着させる構成とすることも可能である。
このように、絶縁膜82の開口部において、第1の領域111におけるp型ドーパント108の追加ドープ量を、第2の領域112におけるp型ドーパント108の追加ドープ量よりも多くする。このような製造方法を採用することにより、p型ドーパント108が取り込まれた正孔注入層101において、第1の領域111におけるp型ドーパント濃度が、第2の領域112におけるp型ドーパント濃度よりも高い構成を実現することができる。
このような構成により、第2の領域112における正孔輸送層102の厚みと、第1の領域111における正孔輸送層102の厚みとの差異に起因して発生する、電流の流れやすさの差異を、この第1の領域111のp型ドーパント濃度と第2の領域112のp型ドーパント濃度との差異に起因して発生する、電流の流れやすさの差異で相殺することが可能となる。その結果として、画素内において輝度のばらつきが発生するのを抑制することができる。
なお、この絶縁膜82の開口部のみに製膜する層の厚みが、第1の領域111と第2の領域112とで異なるという課題は、正孔輸送層102以外の層でも発生しうる。例えば、発光層104等の層が、絶縁膜82の開口部のみに製膜される場合において、その製膜工程に用いるマスク開口の内側面付近である端部領域が製膜されにくく、薄く製膜される課題は同様に存在する。従って、上述した正孔輸送層102に関する、第1の領域111における厚みと、第2の領域112における厚みとの差異のみならず、有機エレクトロルミネッセンス層100全体に関する、第1の領域111における厚みと、第2の領域112における厚みとの差異が発生しうる。この有機エレクトロルミネッセンス層100全体に関する、第1の領域111における厚みと、第2の領域112における厚みとの差異に起因して発生する、画素内における輝度のばらつきを、正孔注入層101における、第1の領域111におけるp型ドーパント108のドープ量と、第2の領域112におけるp型ドーパント108のドープ量との差異により、制御することが可能である。
以下、図6を用いて、第1の領域111における正孔注入層101のp型ドーパント濃度を、第2の領域112における正孔注入層101のp型ドーパント濃度よりも高くする他の方法について説明する。
図6に示す例においては、正孔注入層101を形成する工程を、2つの製膜工程により行う。
具体的には、まず、図6に示すように、第2の領域112から絶縁膜82の側面、上面にまで、第2の正孔注入膜101Bを形成する。第2の正孔注入膜101Bを形成する具体例としては、第1の領域111への蒸着を防ぐマスクを絶縁膜82の上方に配置して蒸着を行うことにより、第2の領域112から絶縁膜82の上面にまで、第2の正孔注入膜101Bを形成することができる。
次に、図6に示すように、第1の領域111に、第1の正孔注入膜101Aを形成する。第1の正孔注入膜101Aを形成する具体例としては、第2の領域112から絶縁膜82の上面までの蒸着を防ぐマスクを絶縁膜82の上方に配置して蒸着を行うことにより、第1の領域111に、第1の正孔注入膜101Aを形成することができる。
ここで、第1の正孔注入膜101Aのp型ドーパント濃度を、第2の正孔注入膜101Bのp型ドーパント濃度よりも高くしておく。このような製造方法とすることにより、第1の領域111における正孔注入層101のp型ドーパント濃度を、第2の領域112における正孔注入層101のp型ドーパント濃度よりも高くすることができる。
なお、図6を用いて上述した例においては、先に第2の正孔注入膜101Bを形成し、その後、第1の正孔注入膜101Aを形成する例を示したため、第1の領域111と第2の領域112との境界領域において、第2の正孔注入膜101Bの端部が、第1の正孔注入膜101Aの端部の下に潜り込む例を図示した。しかし、先に、第1の正孔注入膜101Aを形成し、その後、第2の正孔注入膜101Bを形成する製造方法としてもよい。その場合、第1の領域111と第2の領域112との境界領域においては、第1の正孔注入膜101Aの端部が、第2の正孔注入膜101Bの端部の下に潜り込む構成となる。
有機エレクトロルミネッセンス層100の形成後、上部電極膜84を形成する。本実施形態においては、トップエミッション構造としているため、上部電極膜84は、透明導電材料、一例としてIZO(Indium Zinc Oxide)を用いて形成される。前述の有機エレクトロルミネッセンス層100の形成順序に従うと、下部電極膜80が陽極となり、上部電極膜84が陰極となる。これら上部電極膜84、有機エレクトロルミネッセンス層100、及び下部電極膜80により、有機発光ダイオード6を構成している。有機発光ダイオード6の下部電極膜80は、駆動薄膜トランジスタ12に接続されている。
上部電極膜84の形成後、保護層90を形成する。保護層90は、先に形成した有機エレクトロルミネッセンス層100に、外部からの水分が侵入することを防止することをその機能の一つとしており、保護層90としてはガスバリア性の高いものが要求される。本実施形態においては、保護層90の積層構造として、第4シリコン窒化膜92、アクリル樹脂などからなる有機樹脂膜94、第5シリコン窒化膜96の積層構造を採用した。更に、有機樹脂膜94と、第5シリコン窒化膜96との間に、シリコン酸化膜を介在させる構成としてもよい。
本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。例えば、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除若しくは設計変更を行ったもの、又は、工程の追加、省略若しくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。
2 表示装置、4 画素アレイ部、6 有機発光ダイオード、8 画素回路、10 点灯薄膜トランジスタ、12 駆動薄膜トランジスタ、14 キャパシタ、20 走査線駆動回路、22 映像線駆動回路、24 駆動電源回路、26 制御装置、28 走査信号線、30 映像信号線、32 駆動電源線、40 表示パネル、42 表示領域、44 額縁領域、48 ドライバ集積回路、50 アレイ基板、52 フレキシブルプリント回路基板、54 第1シリコン酸化膜、56 第1シリコン窒化膜、58 第2シリコン酸化膜、60 ゲート絶縁膜、62 第1配線、64 ポリシリコン膜、66 第2シリコン窒化膜、68 第3シリコン酸化膜、70 第2配線、72 平坦化膜、74 透明導電膜、76 第3配線、78 第3シリコン窒化膜、80 下部電極膜、82 絶縁膜、84 上部電極膜、90 保護層、92 第4シリコン窒化膜、94 有機樹脂膜、96 第5シリコン窒化膜、100 有機エレクトロルミネッセンス層、101 正孔注入層、101A 第1の正孔注入膜、101B 第2の正孔注入膜、102 正孔輸送層、103 電子ブロック層、104 発光層、105 正孔ブロック層、106 電子輸送層、107 電子注入層、108 p型ドーパント、111 第1の領域、112 第2の領域、300 有機発光ダイオード構造層。
Claims (12)
- 基板と、
前記基板の上方に設けられた下部電極膜と、
前記下部電極膜の上方に設けられ、開口部を有する絶縁膜と、
前記開口部に少なくともその一部が配置され、前記下部電極膜と電気的に接続された有機層と、
前記有機層の上方に電気的に接続された上部電極膜と、を含み、
前記有機層は、正孔注入層を含み、
前記開口部は、中央側に配置された第1の領域と、前記第1の領域の外周側に配置された第2の領域と、を含み、
前記第1の領域における前記正孔注入層のp型ドーパント濃度が、前記第2の領域における前記正孔注入層のp型ドーパント濃度よりも高い、
表示装置。 - 前記有機層が第1の層を含み、
前記第1の領域における前記第1の層の膜厚が、前記第2の領域における前記第1の層の膜厚よりも厚い、
請求項1に記載の表示装置。 - 前記有機層が正孔輸送層を含み、
前記第1の領域における前記正孔輸送層の膜厚が、前記第2の領域における前記正孔輸送層の膜厚よりも厚い、
請求項1に記載の表示装置。 - 前記正孔注入層は、前記開口部から前記絶縁膜の上面にまで設けられた、
請求項1に記載の表示装置。 - 前記正孔注入層は、
前記開口部における前記第1の領域に設けられた第1の正孔注入膜と、
前記開口部における前記第2の領域に設けられた第2の正孔注入膜と、
を含み、
前記第1の正孔注入膜のp型ドーパント濃度が、前記第2の正孔注入膜のp型ドーパント濃度よりも高い、
請求項1に記載の表示装置。 - 基板を準備する工程と、
前記基板の上方に下部電極膜を形成する工程と、
前記下部電極膜の上方に、開口部を有する絶縁膜を形成する工程と、
前記開口部に少なくともその一部が配置され、前記下部電極膜と電気的に接続された有機層を形成する工程と、
前記有機層の上方に電気的に接続された上部電極膜を形成する工程と、を含み、
前記有機層を形成する工程には、正孔注入層を形成する工程を含み、
前記開口部は、中央側に配置された第1の領域と、前記第1の領域の外周側に配置された第2の領域と、を含み、
前記正孔注入層を形成する工程において、前記第1の領域における前記正孔注入層のp型ドーパント濃度が、前記第2の領域における前記正孔注入層のp型ドーパント濃度よりも高くなるよう前記正孔注入層を形成する、
表示装置の製造方法。 - 前記有機層が第1の層を含み、
前記有機層を形成する工程において、前記第1の領域における前記第1の層の膜厚を、前記第2の領域における前記第1の層の膜厚よりも厚く形成する、
請求項6に記載の表示装置の製造方法。 - 前記有機層が正孔輸送層を含み、
前記有機層を形成する工程において、前記第1の領域における前記正孔輸送層の膜厚を、前記第2の領域における前記正孔輸送層の膜厚よりも厚く形成する、
請求項6に記載の表示装置の製造方法。 - 前記正孔注入層を形成する工程において、前記正孔注入層を前記開口部から前記絶縁膜の上面にまで形成する、
請求項6に記載の表示装置の製造方法。 - 前記正孔注入層を形成する工程は、
前記開口部における前記第1の領域に第1の正孔注入膜を形成する工程と、
前記開口部における前記第2の領域に第2の正孔注入膜を形成する工程と、
を含み、
前記第1の正孔注入膜を形成する工程において形成する前記第1の正孔注入膜のp型ドーパント濃度を、前記第2の正孔注入膜を形成する工程において形成する前記第2の正孔注入膜のp型ドーパント濃度よりも高くする、
請求項6に記載の表示装置の製造方法。 - 前記正孔注入層を形成する工程は、
前記正孔注入層を少なくとも前記開口部に形成する工程と、
前記開口部における前記第1の領域に配置された前記正孔注入層に、p型ドーパントを追加的にドープする工程と、
を含む、請求項6に記載の表示装置の製造方法。 - 前記正孔注入層を形成する工程は、
前記正孔注入層を少なくとも前記開口部に形成する工程と、
前記開口部における前記正孔注入層に、p型ドーパントを追加的にドープする工程と、
を含み、
前記p型ドーパントを追加的にドープする工程において、前記開口部における前記第1の領域に配置された前記正孔注入層に対する前記p型ドーパントのドープ量が、前記開口部における前記第2の領域に配置された前記正孔注入層に対する前記p型ドーパントのドープ量よりも多い、
請求項6に記載の表示装置の製造方法。
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