JP2019099582A - Carbazole oxime ester derivative compound, and photopolymerization initiator and photosensitive composition containing the same - Google Patents

Carbazole oxime ester derivative compound, and photopolymerization initiator and photosensitive composition containing the same Download PDF

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Abstract

To provide a carbazole oxime ester derivative compound having excellent sensitivity, heat resistance, chemical resistance and curability, and a photopolymerization initiator and a photosensitive composition containing the same.SOLUTION: The present invention provides a carbazole oxime ester derivative compound represented by formula 1: [A is O or S, Ris (C1-C20) alkyl, Ris (C1-C20) alkyl, (C6-C20) aryl, (C1-C20) alkoxy, (C6-C20) aryl (C1-C20) alkyl, hydroxy (C1-C20) alkyl, hydroxy (C1-C20) alkoxy (C1-C20) alkyl or (C3-C20) cycloalkyl, Ris (C1-C20) alkyl, (C6-C20) aryl, (C6-C20) aryl (C1-C20) alkyl, (C3-C20) cycloalkyl or (C3-C20) cycloalkyl (C1-C20) alkyl].SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、カルバゾールオキシムエステル誘導体化合物、それを含む光重合開始剤及び感光性組成物に関し、より詳しくは、感度、耐熱性、耐光性、耐化学性及び硬化性に優れたカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物、それを含む光重合開始剤及び感光性組成物に関する。   The present invention relates to a carbazole oxime ester derivative compound, a photopolymerization initiator containing the same, and a photosensitive composition, and more specifically, a carbazole oxime ester derivative compound excellent in sensitivity, heat resistance, light resistance, chemical resistance and curability. And a photopolymerization initiator and a photosensitive composition containing the same.

感光性組成物に使用される光重合開始剤の一般的な例として、アセトフェノン誘導体、ベンゾフェノン誘導体、トリアジン誘導体、ビイミダゾール誘導体、アシルホスフィンオキシド誘導体及びオキシムエステル誘導体などの多くの種類が知られている。そのうちオキシムエステル誘導体は、紫外線を吸収して色をほとんど呈さず、ラジカル発生効率が高く、感光性組成物材料との相溶性及び安定性に優れるという利点を有している。しかし、従来のオキシム誘導体化合物は、光開始効率が低く、特にパターン露光工程時の感度が低いため、露光量または使用量を増やさなければならず、それにより生産量が低下するという問題がある。   As general examples of photopolymerization initiators used in photosensitive compositions, many types are known such as acetophenone derivatives, benzophenone derivatives, triazine derivatives, biimidazole derivatives, acyl phosphine oxide derivatives and oxime ester derivatives. . Among them, oxime ester derivatives have the advantages of absorbing ultraviolet rays and exhibiting almost no color, high radical generation efficiency, and excellent compatibility and stability with photosensitive composition materials. However, since the conventional oxime derivative compound has low photoinitiation efficiency, particularly low sensitivity in the pattern exposure step, it is necessary to increase the exposure amount or the use amount, thereby causing a problem of decreasing the production amount.

したがって、光感度に優れた光重合開始剤の開発は、少量の光重合開始剤でも十分な感度を有するのでコストが削減でき、優れた感度による露光量の低減が期待できるため、生産性を向上させることができる。   Therefore, the development of the photopolymerization initiator excellent in photosensitivity can reduce the cost because even a small amount of the photopolymerization initiator has sufficient sensitivity, the cost can be reduced, and the reduction of the exposure amount due to the excellent sensitivity can be expected, thereby improving the productivity. It can be done.

しかし、従来の光重合開始剤を用いてパターンを形成する場合、パターン形成のための露光工程の際、光重合開始剤の光感度が低いことから光重合開始剤の使用量を増やすか、又は露光量を増やさなければならず、それにより露光工程でマスクが汚染されたり、高温架橋の際、光重合開始剤が分解した後に発生する副産物により歩留まりが低下するという欠点がある。さらに、露光量を増加させるために露光工程の時間が長くなり、生産性が低下するという問題などがあり、それらを解決するための努力が行われている。   However, when forming a pattern using a conventional photopolymerization initiator, during the exposure step for pattern formation, the amount of the photopolymerization initiator used may be increased because the photosensitivity of the photopolymerization initiator is low, or The exposure dose must be increased, which may result in contamination of the mask in the exposure step, and during high temperature crosslinking, the yield may be reduced due to by-products generated after decomposition of the photopolymerization initiator. Furthermore, there is a problem that the time of the exposure process is prolonged to increase the exposure amount, and the productivity is lowered, and an effort is made to solve them.

国際公開第02/100903号WO02 / 100903 特開2005−025169号公報JP, 2005-025169, A 国際公開第07/071497号International Publication No. 07/071497 韓国公開特許第2013−0124215号公報Korean Published Patent Application No. 2013-0124215 韓国公開特許第2013−0115272号公報Korean Published Patent Application No. 2013-0115272

本発明が解決しようとする課題は、感度、耐熱性、耐化学性及び硬化性に優れたカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物、それを含む光重合開始剤及び感光性組成物を提供することである。   The problem to be solved by the present invention is to provide a carbazole oxime ester derivative compound excellent in sensitivity, heat resistance, chemical resistance and curability, a photopolymerization initiator and a photosensitive composition containing the same.

また、本発明が解決しようとする他の課題は、前記感光性組成物の硬化物を含む成形物を提供することである。   Another problem to be solved by the present invention is to provide a molded article containing a cured product of the photosensitive composition.

また、本発明が解決しようとするさらに他の課題は、前記成形物を含むディスプレイ装置を提供することである。   In addition, still another object of the present invention is to provide a display device including the molded article.

上記の課題を達成するための本発明の一態様としては、下記形態のカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物が提供される。   As one aspect of the present invention for achieving the above-mentioned subject, a carbazole oxime ester derivative compound of the following form is provided.

第1の形態は、下記化学式1または化学式2で表されるカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物に関する。   The first form relates to a carbazole oxime ester derivative compound represented by the following chemical formula 1 or chemical formula 2.

Figure 2019099582
Figure 2019099582

Figure 2019099582
化学式1及び化学式2において、
Aは、酸素または硫黄であり;R及びRは、それぞれ独立して、(C1〜C20)アルキルであり;Rは、(C1〜C20)アルキル、(C6〜C20)アリール、(C1〜C20)アルコキシ、(C6〜C20)アリール(C1〜C20)アルキル、ヒドロキシ(C1〜C20)アルキル、ヒドロキシ(C1〜C20)アルコキシ(C1〜C20)アルキルまたは(C3〜C20)シクロアルキルであり;Rは、(C1〜C20)アルキル、(C6〜C20)アリール、(C6〜C20)アリール(C1〜C20)アルキル、(C3〜C20)シクロアルキルまたは(C3〜C20)シクロアルキル(C1〜C20)アルキルである。
Figure 2019099582
In chemical formula 1 and chemical formula 2,
A is oxygen or sulfur; R 1 and R 4 are each independently a (C1 to C20) alkyl; R 2 is (C1 to C20) alkyl, (C6 to C20) aryl, (C1 -C20) alkoxy, (C6-C20) aryl (C1-C20) alkyl, hydroxy (C1-C20) alkyl, hydroxy (C1-C20) alkoxy (C1-C20) alkyl or (C3-C20) cycloalkyl; R 3 is, (C1 to C20) alkyl, (C6 to C20) aryl, (C6 to C20) aryl (C1 to C20) alkyl, (C3 to C20) cycloalkyl or (C3 to C20) cycloalkyl (C1 to C20 ) Alkyl.

第2の形態は、第1の形態において、前記R及びRが、それぞれ独立して、メチル、エチル、n−プロピル、i−プロピル、n−ブチル、i−ブチル、t−ブチル、n−ペンチル、i−ペンチル、n−ヘキシルまたはi−ヘキシルであり;前記Rが、メチル、エチル、n−プロピル、i−プロピル、n−ブチル、i−ブチル、t−ブチル、n−ペンチル、i−ペンチル、n−ヘキシル、i−ヘキシル、n−オクチル、n−デシル、i−デシル、n−ドデシル、シクロペンチル、シクロヘキシル、フェニル、ベンジル、ナフチル、ビフェニル、テルフェニル、アントリル、インデニル、フェナントリル、メトキシ、エトキシ、n−プロピルオキシ、i−プロピルオキシ、n−ブトキシ、i−ブトキシ、t−ブトキシ、ヒドロキシメチル、ヒドロキシエチル、ヒドロキシn−プロピル、ヒドロキシn−ブチル、ヒドロキシi−ブチル、ヒドロキシn−ペンチル、ヒドロキシi−ペンチル、ヒドロキシn−ヘキシル、ヒドロキシi−ヘキシル、ヒドロキシメトキシメチル、ヒドロキシメトキシエチル、ヒドロキシメトキシプロピル、ヒドロキシメトキシブチル、ヒドロキシエトキシメチル、ヒドロキシエトキシエチル、ヒドロキシエトキシプロピル、ヒドロキシエトキシブチル、ヒドロキシエトキシペンチルまたはヒドロキシエトキシヘキシルであり;前記Rが、メチル、エチル、n−プロピル、i−プロピル、n−ブチル、i−ブチル、t−ブチル、n−ペンチル、i−ペンチル、n−ヘキシル、i−ヘキシル、シクロペンチル、シクロヘキシルまたはフェニルであるカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物に関する。 In the second form, in the first form, R 1 and R 4 are each independently methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl, i-butyl, t-butyl, n -Pentyl, i-pentyl, n-hexyl or i-hexyl; R 2 is methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl, i-butyl, t-butyl, n-pentyl, i-pentyl, n-hexyl, i-hexyl, n-octyl, n-decyl, i-decyl, n-dodecyl, cyclopentyl, cyclohexyl, phenyl, benzyl, naphthyl, biphenyl, terphenyl, anthryl, indenyl, phenanthryl, methoxy , Ethoxy, n-propyloxy, i-propyloxy, n-butoxy, i-butoxy, t-butoxy, hydroxymethyl Hydroxyethyl, hydroxy n-propyl, hydroxy n-butyl, hydroxy i-butyl, hydroxy n-pentyl, hydroxy i-pentyl, hydroxy n-hexyl, hydroxy i-hexyl, hydroxymethoxymethyl, hydroxymethoxyethyl, hydroxymethoxypropyl, Hydroxymethoxybutyl, hydroxyethoxymethyl, hydroxyethoxyethyl, hydroxyethoxypropyl, hydroxyethoxybutyl, hydroxyethoxypentyl or hydroxyethoxyhexyl; and R 3 is methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl Carba which is i-butyl, t-butyl, n-pentyl, i-pentyl, n-hexyl, i-hexyl, cyclopentyl, cyclohexyl or phenyl It relates Lumpur oxime ester derivative compound.

第3の形態は、第1の形態または第2の形態において、前記カルバゾールオキシムエステル誘導体化合物が、下記化学式3−1〜3−18で表される化合物から選択されるカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物に関する。   A third aspect relates to the carbazole oxime ester derivative compound in which the carbazole oxime ester derivative compound is selected from the compounds represented by the following chemical formulas 3-1 to 3-18 in the first form or the second form.

Figure 2019099582
Figure 2019099582

本発明の他の態様によれば、下記形態の光重合開始剤が提供される。   According to another aspect of the present invention, a photoinitiator of the following form is provided.

第4の形態は、第1の形態〜第3の形態のうちいずれか一つの形態のカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物を含む光重合開始剤に関する。   A fourth aspect relates to a photopolymerization initiator comprising a carbazole oxime ester derivative compound according to any one of the first to third aspects.

本発明のさらに他の態様によれば、下記の形態の感光性組成物が提供される。   According to still another aspect of the present invention, a photosensitive composition of the following form is provided.

第5の形態は、(a)アルカリ可溶性樹脂;
(b)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物;及び
(c)上述した第1の形態〜第3の形態のうちいずれか一つの形態のカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物を含む光重合開始剤を含有する感光性組成物に関する。
The fifth form is (a) an alkali-soluble resin;
(B) a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond; and (c) a photopolymerization initiator containing a carbazole oxime ester derivative compound according to any one of the first to third embodiments described above Photosensitive composition.

第6の形態は、第5の形態において、前記感光性組成物100重量%中に、前記カルバゾールオキシムエステル誘導体化合物が0.01〜10重量%含まれる感光性組成物に関する。   A sixth aspect relates to the photosensitive composition according to the fifth aspect, wherein 0.01% to 10% by weight of the carbazole oxime ester derivative compound is contained in 100% by weight of the photosensitive composition.

第7の形態は、第5の形態または第6の形態において、前記光重合開始剤が、チオキサントン系化合物、アシルホスフィンオキシド系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、O−アシルオキシムエステル系化合物及びチオール系化合物からなる群より選択される1種または2種以上の化合物をさらに含む感光性組成物に関する。   A seventh form is according to the fifth form or the sixth form, wherein the photopolymerization initiator is a thioxanthone compound, an acylphosphine oxide compound, an acetophenone compound, a biimidazole compound, a triazine compound, an O-acyloxy The present invention relates to a photosensitive composition further comprising one or more compounds selected from the group consisting of a muester compound and a thiol compound.

第8の形態は、第5の形態〜第7の形態のうちいずれか一つの形態において、前記感光性組成物が色材をさらに含む感光性組成物に関する。   An eighth aspect relates to the photosensitive composition according to any one of the fifth to seventh aspects, wherein the photosensitive composition further comprises a coloring material.

本発明のさらに他の態様によれば、下記の形態の成形物及びそれを含むディスプレイ装置が提供される。   According to still another aspect of the present invention, there is provided a molded article of the following form and a display device comprising the same.

第9の形態は、第5の形態〜第8の形態のうちいずれか一つの形態の感光性組成物の硬化物を含む成形物に関する。   The ninth aspect relates to a molded article including a cured product of the photosensitive composition according to any one of the fifth to eighth aspects.

第10の形態は、第9の形態において、前記成形物がアレイ平坦化膜、絶縁膜、カラーフィルタ、カラムスペーサ、オーバーコート、ブラックカラムスペーサまたはブラックマトリクスである成形物に関する。   A tenth aspect relates to the molding according to the ninth aspect, wherein the molding is an array flattening film, an insulating film, a color filter, a column spacer, an overcoat, a black column spacer or a black matrix.

第11の形態は、第9の形態または第10の形態の成形物を含むディスプレイ装置に関する。   An eleventh aspect relates to a display device including the ninth aspect or the tenth aspect molding.

本発明の一形態であるカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物を感光性組成物の光重合開始剤として使用すれば、感度が著しく優れ、残膜率、パターン安定性、耐熱性、耐化学性及び延性などの物性にも優れるため、TFT−LCD製造工程中の露光及びポストベーク(postbake)工程において、光重合開始剤から発生するアウトガス(outgassing)を最小限とすることで汚染を低減させることができ、それにより発生し得る不具合を最小限に抑えることができる。   When the carbazole oxime ester derivative compound according to one embodiment of the present invention is used as a photopolymerization initiator of a photosensitive composition, the sensitivity is extremely excellent, and the residual film rate, pattern stability, heat resistance, chemical resistance, ductility, etc. Because of the excellent physical properties, contamination can be reduced by minimizing the outgassing generated from the photopolymerization initiator in the exposure and postbake steps in the TFT-LCD manufacturing process. Can minimize problems that may occur.

以下、本発明を詳しく説明するが、本明細書及び特許請求の範囲に使用される用語や単語は、一般的または辞書的な意味に限定して解釈してはならず、発明者自身が発明を最善の方法で説明するために用語の概念を適切に定義できるという原則に照らして、本発明の技術的思想に基づいて用語や単語の意味及び概念を解釈しなければならない。   Hereinafter, the present invention will be described in detail, but the terms and words used in the present specification and claims should not be interpreted as being limited to general or lexical meanings, and the inventor himself In light of the principle that the concept of terms can be properly defined in order to explain in a best way, the meanings and concepts of terms and words must be interpreted based on the technical idea of the present invention.

したがって、本明細書に記載された実施例に示された構成は、本発明の最も望ましい一実施形態に過ぎず、本発明の技術的思想のすべてを具現化するものではないため、本出願の時点においてこれらに代替可能な種々の均等物及び変形例があり得ることを理解しなければならない。   Accordingly, the configuration shown in the embodiments described herein is only one of the most desirable embodiments of the present invention and does not embody all of the technical ideas of the present invention. It should be understood that there may be various equivalents and variations that can be substituted for them at any given time.

本発明の一態様であるカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物は、下記化学式1または化学式2で表される。   The carbazole oxime ester derivative compound according to one aspect of the present invention is represented by the following Chemical Formula 1 or Chemical Formula 2.

Figure 2019099582
Figure 2019099582

Figure 2019099582
化学式1及び化学式2において、Aは、酸素または硫黄であり;R及びRは、それぞれ独立して、(C1〜C20)アルキルであり;Rは、(C1〜C20)アルキル、(C6〜C20)アリール、(C1〜C20)アルコキシ、(C6〜C20)アリール(C1〜C20)アルキル、ヒドロキシ(C1〜C20)アルキル、ヒドロキシ(C1〜C20)アルコキシ(C1〜C20)アルキルまたは(C3〜C20)シクロアルキルであり;Rは、(C1〜C20)アルキル、(C6〜C20)アリール、(C6〜C20)アリール(C1〜C20)アルキル、(C3〜C20)シクロアルキルまたは(C3〜C20)シクロアルキル(C1〜C20)アルキルである。
Figure 2019099582
In Chemical Formula 1 and Chemical Formula 2, A is oxygen or sulfur; R 1 and R 4 are each independently (C 1 -C 20) alkyl; R 2 is (C 1 -C 20) alkyl, (C 6 To C20) aryl, (C1 to C20) alkoxy, (C6 to C20) aryl (C1 to C20) alkyl, hydroxy (C1 to C20) alkyl, hydroxy (C1 to C20) alkoxy (C1 to C20) alkyl or (C3 to C20) C20) cycloalkyl; R 3 is (C 1 -C 20) alkyl, (C 6 -C 20) aryl, (C 6 -C 20) aryl (C 1 -C 20) alkyl, (C 3 -C 20) cycloalkyl or (C 3 -C 20) ) Cycloalkyl (C1-C20) alkyl.

本明細書に記載される「アルキル」、「アルコキシ」及びその他の「アルキル」部分を含む置換体は、直鎖または分枝鎖の構造をすべて含み、「シクロアルキル」は、単環系だけでなく多環系炭化水素も含む。   Substituents containing "alkyl", "alkoxy" and other "alkyl" moieties as described herein include all linear or branched structures, and "cycloalkyl" is a single ring system only. Also contains polycyclic hydrocarbons.

また、本明細書に記載される「アリール」は、芳香族炭化水素から1つの水素を除去することで誘導された有機ラジカルであって、単一または融合環を含み、多数のアリールが単一結合で連結されている構造も含む。   In addition, “aryl” described herein is an organic radical derived by removing one hydrogen from an aromatic hydrocarbon, which includes a single or fused ring, and multiple aryls are single. It also includes structures linked by bonds.

また、本明細書に記載される「ヒドロキシアルキル」は、上述したアルキル基にヒドロキシ基が結合されたOH−アルキルを意味し、「ヒドロキシアルコキシアルキル」は前記ヒドロキシアルキル基にアルコキシ基が結合されたヒドロキシアルキル−O−アルキルを意味し、アルケニルはアルキルまたはアリール基が結合されたケトンを含む構造を意味する。   In addition, "hydroxyalkyl" described in the present specification means OH-alkyl having a hydroxy group bonded to the above-mentioned alkyl group, and "hydroxyalkoxyalkyl" has an alkoxy group bonded to the above hydroxyalkyl group. By hydroxyalkyl-O-alkyl, alkenyl is meant a structure comprising a ketone to which an alkyl or aryl group is attached.

また、本明細書に記載される「アリールアルキル」としては、ベンジルなどが挙げられ、「シクロアルキル」としては、シクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、シクロヘキシルなどが挙げられ、「シクロアルキルアルキル」としては、シクロプロピルメチル、シクロブチルメチル、シクロペンチルメチル、シクロプロピルエチルなどが挙げられる。   In addition, as "arylalkyl" described in the present specification, benzyl and the like can be mentioned, as "cycloalkyl", cyclopropyl, cyclobutyl, cyclopentyl, cyclohexyl and the like can be mentioned, and as "cycloalkylalkyl", And cyclopropylmethyl, cyclobutylmethyl, cyclopentylmethyl, cyclopropylethyl and the like.

また、本明細書に記載される「(C1〜C20)アルキル」は、炭素数1〜20個のアルキルを意味し、望ましくは(C1〜C10)アルキルであり、より望ましくは(C1〜C6)アルキルであり得る。   In addition, “(C1 to C20) alkyl” described in the present specification means alkyl having 1 to 20 carbon atoms, preferably (C1 to C10) alkyl, more preferably (C1 to C6). It may be alkyl.

「(C6〜C20)アリール」は、炭素数6〜20個のアリールを意味し、望ましくは(C6〜C18)アリールであり、より望ましくは(C6〜C12)アリールであり得る。   "(C6-C20) aryl" means aryl having 6 to 20 carbon atoms, preferably (C6-C18) aryl, more preferably (C6-C12) aryl.

「(C1〜C20)アルコキシ」は、炭素数1〜20個のアルコキシを意味し、望ましくは(C1〜C10)アルコキシであり、より望ましくは(C1〜C4)アルコキシであり得る。   "(C1-C20) alkoxy" means alkoxy having 1 to 20 carbon atoms, preferably (C1-C10) alkoxy, more preferably (C1-C4) alkoxy.

「(C6〜C20)アリール(C1〜C20)アルキル」は、炭素数1〜20個のアルキルのうち1つの水素が炭素数6〜20個のアリール基に置換されたアルキルを意味し、望ましくは(C6〜C18)アリール(C1〜C10)アルキルであり、より望ましくは(C6〜C18)アリール(C1〜C6)アルキルであり、さらに望ましくは(C6〜C12)アリール(C1〜C6)アルキルであり得る。   “(C 6 -C 20) aryl (C 1 -C 20) alkyl” means alkyl in which one hydrogen of alkyl having 1 to 20 carbons is substituted with an aryl group having 6 to 20 carbons, preferably (C6-C18) aryl (C1-C10) alkyl, more preferably (C6-C18) aryl (C1-C6) alkyl, still more preferably (C6-C12) aryl (C1-C6) alkyl obtain.

「ヒドロキシ(C1〜C20)アルキル」は、炭素数1〜20個のアルキルから1つの水素がヒドロキシに置換されたアルキルを意味し、望ましくはヒドロキシ(C1〜C10)アルキルであり、より望ましくはヒドロキシ(C1〜C6)アルキルであり得る。   "Hydroxy (C1-C20) alkyl" means alkyl having 1 to 20 carbon atoms substituted with 1 hydrogen substituted with hydroxy, preferably hydroxy (C1-C10) alkyl, more preferably hydroxy It may be (C1-C6) alkyl.

「ヒドロキシ(C1〜C20)アルコキシ(C1〜C20)アルキル」は、炭素数1〜20個のアルキルから1つの水素が炭素数1〜20個のアルコキシに置換され、さらに前記アルコキシから1つの水素がヒドロキシに置換された構造を意味し、望ましくはヒドロキシ(C1〜C10)アルコキシ(C1〜C10)アルキルであり、より望ましくはヒドロキシ(C1〜C4)アルコキシ(C1〜C6)アルキルであり得る。   The "hydroxy (C1-C20) alkoxy (C1-C20) alkyl" is one in which one hydrogen is substituted with an alkyl having 1 to 20 carbons to an alkoxy having 1 to 20 carbons, and one hydrogen is selected from the above alkoxy It means a structure substituted by hydroxy, preferably hydroxy (C1-C10) alkoxy (C1-C10) alkyl, more preferably hydroxy (C1-C4) alkoxy (C1-C6) alkyl.

「(C3〜C20)シクロアルキル」は、炭素数3〜20個のシクロアルキルを意味し、望ましくは(C3〜C10)シクロアルキルであり得る。   The “(C 3 -C 20) cycloalkyl” means a cycloalkyl having 3 to 20 carbon atoms, which may desirably be (C 3 -C 10) cycloalkyl.

「(C3〜C20)シクロアルキル(C1〜C20)アルキル」は、炭素数1〜20個のアルキルから1つの水素が炭素数3〜20個のシクロアルキルに置換されたアルキルを意味し、望ましくは(C3〜C10)シクロアルキル(C1〜C10)アルキルであり、より望ましくは(C3〜C6)シクロアルキル(C1〜C6)アルキルであり得る。   “(C 3 -C 20) cycloalkyl (C 1 -C 20) alkyl” means alkyl having 1 to 20 carbons and one hydrogen substituted with cycloalkyl having 3 to 20 carbons, preferably It may be (C3-C10) cycloalkyl (C1-C10) alkyl, more preferably (C3-C6) cycloalkyl (C1-C6) alkyl.

本発明の一形態によれば、化学式1及び化学式2において、Aは、酸素または硫黄であり;R及びRは、それぞれ独立して、メチル、エチル、n−プロピル、i−プロピル、n−ブチル、i−ブチル、t−ブチル、n−ペンチル、i−ペンチル、n−ヘキシルまたはi−ヘキシルであり;Rは、メチル、エチル、n−プロピル、i−プロピル、n−ブチル、i−ブチル、t−ブチル、n−ペンチル、i−ペンチル、n−ヘキシル、i−ヘキシル、n−オクチル、n−デシル、i−デシル、n−ドデシル、シクロペンチル、シクロヘキシル、フェニル、ベンジル、ナフチル、ビフェニル、テルフェニル、アントリル、インデニル、フェナントリル、メトキシ、エトキシ、n−プロピルオキシ、i−プロピルオキシ、n−ブトキシ、i−ブトキシ、t−ブトキシ、ヒドロキシメチル、ヒドロキシエチル、ヒドロキシn−プロピル、ヒドロキシn−ブチル、ヒドロキシi−ブチル、ヒドロキシn−ペンチル、ヒドロキシi−ペンチル、ヒドロキシn−ヘキシル、ヒドロキシi−ヘキシル、ヒドロキシメトキシメチル、ヒドロキシメトキシエチル、ヒドロキシメトキシプロピル、ヒドロキシメトキシブチル、ヒドロキシエトキシメチル、ヒドロキシエトキシエチル、ヒドロキシエトキシプロピル、ヒドロキシエトキシブチル、ヒドロキシエトキシペンチルまたはヒドロキシエトキシヘキシルであり;Rは、メチル、エチル、n−プロピル、i−プロピル、n−ブチル、i−ブチル、t−ブチル、n−ペンチル、i−ペンチル、n−ヘキシル、i−ヘキシル、シクロペンチル、シクロヘキシルまたはフェニルであり得る。 According to one aspect of the invention, in Formula 1 and Formula 2, A is oxygen or sulfur; and R 1 and R 4 are each independently methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n -Butyl, i-butyl, t-butyl, n-pentyl, i-pentyl, n-hexyl or i-hexyl; R 2 is methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl, i -Butyl, t-butyl, n-pentyl, i-pentyl, n-hexyl, i-hexyl, n-octyl, n-decyl, i-decyl, n-dodecyl, cyclopentyl, cyclohexyl, phenyl, benzyl, naphthyl, biphenyl , Terphenyl, anthryl, indenyl, phenanthryl, methoxy, ethoxy, n-propyloxy, i-propyloxy, n-butoxy, i- Toxy, t-butoxy, hydroxymethyl, hydroxyethyl, hydroxy n-propyl, hydroxy n-butyl, hydroxy i-butyl, hydroxy n-pentyl, hydroxy i-pentyl, hydroxy n-hexyl, hydroxy i-hexyl, hydroxymethoxymethyl , Hydroxymethoxyethyl, hydroxymethoxypropyl, hydroxymethoxybutyl, hydroxyethoxymethyl, hydroxyethoxyethyl, hydroxyethoxypropyl, hydroxyethoxybutyl, hydroxyethoxypentyl or hydroxyethoxyhexyl; R 3 is methyl, ethyl, n-propyl , I-propyl, n-butyl, i-butyl, t-butyl, n-pentyl, i-pentyl, n-hexyl, i-hexyl, cyclopentyl, cyclic It may be hexyl, or phenyl.

より具体的に、化学式1及び化学式2において、前記Aは、酸素または硫黄であり;前記R及びRは、それぞれ独立して、メチル、エチルまたはn−プロピルであり;Rはメチル、エチル、n−プロピル、i−プロピル、n−ブチル、n−ペンチル、シクロヘキシル、フェニルまたはベンジルであり;前記Rは、メチル、エチル、n−プロピルまたはフェニルであり得る。 More specifically, in the chemical formula 1 and the chemical formula 2, said A is oxygen or sulfur; said R 1 and R 4 are each independently methyl, ethyl or n-propyl; R 2 is methyl, Ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl, n-pentyl, cyclohexyl, phenyl or benzyl; R 3 may be methyl, ethyl, n-propyl or phenyl.

本発明の一形態によれば、前記カルバゾールオキシムエステル誘導体化合物としては、下記化学式3−1〜3−18からなる群より選択される化合物が挙げられるが、下記化合物により本発明は限定されない。   According to one aspect of the present invention, examples of the carbazole oxime ester derivative compound include compounds selected from the group consisting of the following chemical formulas 3-1 to 3-18, but the present invention is not limited by the following compounds.

Figure 2019099582
Figure 2019099582

本発明の前記化学式1または化学式2で表されるカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物は、下記反応式1または反応式2に従って製造できるが、これらに限定されない。   Although the carbazole oxime ester derivative compound represented by said Chemical formula 1 or Chemical formula 2 of this invention can be manufactured according to following Reaction formula 1 or Reaction formula 2, it is not limited to these.

Figure 2019099582
Figure 2019099582

Figure 2019099582
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前記反応式1または反応式2において、A及びR〜Rは前記化学式1または化学式2における定義と同一であり、Xはハロゲンである。 In Reaction Scheme 1 or Reaction Scheme 2, A and R 1 to R 4 are the same as defined in Chemical Formula 1 or Chemical Equation 2, and X is a halogen.

また、本発明の他の態様である光重合開始剤は、前記化学式1または化学式2で表されるカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物から選択される1種以上を含む。   Moreover, the photoinitiator which is the other aspect of this invention contains 1 or more types selected from the carbazole oxime ester derivative compound represented by said Chemical formula 1 or Chemical formula 2.

また、本発明のさらに他の態様である感光性組成物は、(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、及び(c)前記化学式1または化学式2で表されるカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物から選択される1種以上を含む光重合開始剤を含む。
ここで、前記カルバゾールオキシムエステル誘導体化合物は、光重合開始剤として含まれ得る。
In addition, the photosensitive composition according to still another aspect of the present invention includes (a) an alkali-soluble resin, (b) a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, and (c) a compound represented by Formula 1 or Formula 2 above. A photopolymerization initiator comprising one or more selected from carbazole oxime ester derivative compounds.
Here, the carbazole oxime ester derivative compound may be included as a photopolymerization initiator.

本発明のさらに他の態様である感光性組成物は、パターン特性の調整に優れ、耐熱性及び耐化学性などの薄膜物性に優れる。以下、本発明の感光性組成物に含まれる各成分を詳しく説明する。   The photosensitive composition which is the further another aspect of this invention is excellent in adjustment of a pattern characteristic, and excellent in thin film physical properties, such as heat resistance and chemical resistance. Hereinafter, each component contained in the photosensitive composition of this invention is demonstrated in detail.

本明細書において、「(メタ)アクリル」はアクリル及び/またはメタクリルを意味し、「(メタ)アクリレート」はアクリレート及び/またはメタクリレートを意味し、「(メタ)アクリル酸」はアクリル酸及び/またはメタクリル酸を意味する。   In the present specification, “(meth) acrylic” means acrylic and / or methacrylic, “(meth) acrylate” means acrylate and / or methacrylate, and “(meth) acrylic acid” means acrylic acid and / or Stands for methacrylic acid.

(a)アルカリ可溶性樹脂
前記アルカリ可溶性樹脂としては、アクリル重合体または側鎖にアクリル不飽和結合を有するアクリル重合体を使用することができる。
(A) Alkali-Soluble Resin As the alkali-soluble resin, an acrylic polymer or an acrylic polymer having an acrylic unsaturated bond in the side chain can be used.

前記アクリル重合体は、アクリル系単量体の重合体(単独重合体または共重合体を含む)を意味し、このような単量体の例としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ヘプチル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、ノニル(メタ)アクリレート、デシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、テトラデシル(メタ)アクリレート、ヘキサデシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−エトキシエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノアルキルエステル、モノアルキルイタコネート、モノアルキルフマレート、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシブチル(メタ)アクリレート、2,3−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、3−メチルオキセタン−3−メチル(メタ)アクリレート、3−エチルオキセタン−3−メチル(メタ)アクリレート、スチレン、α−メチルスチレン、アセトキシスチレン、N−メチルマレイミド、N−エチルマレイミド、N−プロピルマレイミド、N−ブチルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、(メタ)アクリルアミド、N−メチル(メタ)アクリルアミドなどが挙げられ、これらをそれぞれ単独で、または2種以上を組み合わせて使用することができる。   The acrylic polymer means a polymer (including a homopolymer or copolymer) of an acrylic monomer, and examples of such a monomer include methyl (meth) acrylate and ethyl (meth). Acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, heptyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, nonyl (meth) acrylate, Decyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, tetradecyl (meth) acrylate, hexadecyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, adamantyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) Acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 2-ethoxyethyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid, itaconic acid, maleic acid, maleic anhydride Maleic acid monoalkyl ester, monoalkyl itaconate, monoalkyl fumarate, glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth) acrylate, 2,3-epoxycyclohexyl (meth) acrylate, 3,4-epoxy Cyclohexylmethyl (meth) acrylate, 3-methyloxetane-3-methyl (meth) acrylate, 3-ethyloxetane-3-methyl (meth) acrylate, styrene, α-methylstyrene, acetoxystyrene, N-methylmaleate Imide, N-ethyl maleimide, N-propyl maleimide, N-butyl maleimide, N-cyclohexyl maleimide, (meth) acrylamide, N- methyl (meth) acrylamide and the like can be mentioned, and these can be used alone or in combination of two or more It can be used in combination.

また、側鎖にアクリル不飽和結合を有するアクリル重合体は、カルボン酸を含むアクリル共重合体にエポキシ樹脂を付加反応させた共重合体であって、(メタ)アクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、マレイン酸モノアルキルエステルなどのカルボン酸を含むアクリルモノマーと、メチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレートなどのアルキル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−エトキシエチル(メタ)アクリレート、スチレン、α−メチルスチレン、アセトキシスチレン、N−メチルマレイミド、N−エチルマレイミド、N−プロピルマレイミド、N−ブチルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、(メタ)アクリルアミド、N−メチル(メタ)アクリルアミドなどのモノマーを2種以上共重合してカルボン酸を含むアクリル共重合体に、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシブチル(メタ)アクリレート、2,3−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレートなどのエポキシ樹脂を40〜180℃の温度で付加反応させて得たバインダー樹脂を使用することができる。   An acrylic polymer having an acrylic unsaturated bond in a side chain is a copolymer obtained by addition reaction of an epoxy resin to an acrylic copolymer containing a carboxylic acid, and (meth) acrylic acid, itaconic acid, and maleic acid And acrylic monomers containing carboxylic acids such as maleic acid monoalkyl ester, and alkyl (meth) acrylates such as methyl (meth) acrylate and hexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, adamantyl (meth ) Acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 2-ethoxyethyl (meth) acrylate, styrene, α-methylstyrene Copolymerizing two or more monomers such as acetoxystyrene, N-methyl maleimide, N-ethyl maleimide, N-propyl maleimide, N-butyl maleimide, N-cyclohexyl maleimide, (meth) acrylamide, N-methyl (meth) acrylamide and the like And acrylic copolymers containing carboxylic acid such as glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth) acrylate, 2,3-epoxycyclohexyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate And the like can be used at a temperature of 40 to 180 ° C.

側鎖にアクリル不飽和結合を有するアクリル重合体の他の例としては、エポキシ基を含むアクリル共重合体にカルボン酸を付加反応させた共重合体であって、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシブチル(メタ)アクリレート、2,3−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレートなどのエポキシ基を含むアクリルモノマーと、メチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレートなどのアルキル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−エトキシエチル(メタ)アクリレート、スチレン、α−メチルスチレン、アセトキシスチレン、N−メチルマレイミド、N−エチルマレイミド、N−プロピルマレイミド、N−ブチルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、(メタ)アクリルアミド、N−メチル(メタ)アクリルアミドなどのモノマー2種以上を共重合したエポキシ基を含むアクリル共重合体に、(メタ)アクリル酸イタコン酸、マレイン酸、マレイン酸モノアルキルエステルなどのカルボン酸を含むアクリルモノマーを40〜180℃の温度で付加反応させて得たバインダー樹脂を使用することができる。   Another example of the acrylic polymer having an acrylic unsaturated bond in the side chain is a copolymer obtained by the addition reaction of an acrylic copolymer containing an epoxy group with a carboxylic acid, and glycidyl (meth) acrylate, 3, Acrylic monomers containing an epoxy group such as 4-epoxybutyl (meth) acrylate, 2,3-epoxycyclohexyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, methyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate ) Alkyl (meth) acrylates such as acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, adamantyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylic , 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 2-ethoxyethyl (meth) acrylate, styrene, α-methylstyrene, acetoxystyrene, N-methyl maleimide, N-ethyl maleimide, N-propyl maleimide, N-butyl maleimide (Meth) acrylic acid itaconic acid, maleic acid, and maleic acid to an acrylic copolymer containing an epoxy group obtained by copolymerizing two or more monomers such as N-cyclohexylmaleimide, (meth) acrylamide, N-methyl (meth) acrylamide and the like A binder resin obtained by subjecting an acrylic monomer containing a carboxylic acid such as an acid monoalkyl ester to an addition reaction at a temperature of 40 to 180 ° C. can be used.

本発明の一形態によれば、前記アルカリ可溶性樹脂は、パターン特性を調整し、耐熱性及び耐化学性などの薄膜物性を付与するため、感光性組成物100重量%中に3〜50重量%、望ましくは5〜45重量%、より望ましくは8〜40重量%使用することができる。   According to one aspect of the present invention, the alkali-soluble resin is 3 to 50% by weight in 100% by weight of the photosensitive composition in order to adjust pattern characteristics and to impart thin film physical properties such as heat resistance and chemical resistance. Preferably, 5 to 45% by weight, more preferably 8 to 40% by weight can be used.

前記アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)によるポリスチレン換算によって測定する)は2,000〜300,000、望ましくは4,000〜100,000であり得、分散度は1.0〜10.0であり得る。   The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin (as measured by polystyrene conversion by gel permeation chromatography (GPC)) may be 2,000 to 300,000, preferably 4,000 to 100,000, and the dispersion degree may be 1. It may be from 0 to 10.0.

(b)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物
前記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物は、パターン形成時に光反応によって架橋されてパターンを形成する役割をし、高温加熱の際に架橋されて耐化学性及び耐熱性を与える。
(B) Polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond The polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond plays a role of being cross-linked by light reaction during pattern formation to form a pattern, and being cross-linked during high temperature heating Provide chemical resistance and heat resistance.

前記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物は、感光性組成物100重量%中に0.001〜40重量%、望ましくは0.1〜30重量%、より望ましくは1〜20重量%で含まれ得る。   The polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond is included in an amount of 0.001 to 40% by weight, preferably 0.1 to 30% by weight, and more preferably 1 to 20% by weight in 100% by weight of the photosensitive composition. It can be done.

前記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物の添加量が多過ぎれば、架橋度が過剰に高くなってパターンの延性が低下する虞が生じ得る。   If the addition amount of the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond is too large, there is a possibility that the degree of crosslinking may be excessively increased to decrease the ductility of the pattern.

前記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物は、具体的には、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸のアルキルエステル、グリシジル(メタ)アクリレート、エチレンオキシド基の数が2〜14のポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレンオキシド基の数が2〜14のポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレンオキシド基の数が2〜14のプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルアクリル酸付加物、β−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートのフタル酸ジエステル、β−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートのトルエンジイソシアネート付加物、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートのように、多価アルコールとα,β−不飽和カルボン酸とをエステル化して得られる化合物、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルアクリル酸付加物のような多価グリシジル化合物のアクリル酸付加物などが挙げられ、これらをそれぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。   Specifically, examples of the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate and the like. Alkyl esters of (meth) acrylic acid, glycidyl (meth) acrylates, polyethylene glycol mono (meth) acrylates having 2 to 14 ethylene oxide groups, ethylene glycol di (meth) acrylates, 2 to 14 ethylene oxide groups Polyethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 propylene oxide groups, trimethylolpropane di (meth) acrylate, bisphenol A diglycidyl ether with acrylic acid , Phthalic acid diester of β-hydroxyethyl (meth) acrylate, toluene diisocyanate adduct of β-hydroxyethyl (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra ( Esterify polyhydric alcohol with α, β-unsaturated carboxylic acid like meta) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate And acrylic acid adducts of polyvalent glycidyl compounds such as trimethylolpropane triglycidyl ether acrylic acid adduct, and the like, and these may be used alone or in combination of two or more. The above can be used in combination.

(c)光重合開始剤
本発明の感光性組成物において、光重合開始剤として前記化学式1または化学式2で表されるカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物から選択される1種以上を使用することができる。前記光重合開始剤は、透明性を高め、露光量を最小化するために、感光性組成物100重量%中に0.01〜10重量%、望ましくは0.1〜5重量%含有することがより効果的である。
(C) Photoinitiator In the photosensitive composition of the present invention, one or more selected from carbazole oxime ester derivative compounds represented by the above Chemical Formula 1 or Chemical Formula 2 can be used as a photopolymerization initiator. The photopolymerization initiator is contained in an amount of 0.01 to 10% by weight, preferably 0.1 to 5% by weight, in 100% by weight of the photosensitive composition in order to enhance the transparency and minimize the exposure amount. Is more effective.

(d)接着助剤
また、本発明の感光性組成物は、必要に応じて接着助剤としてエポキシ基またはアミン基を有するシリコーン系化合物をさらに含むことができる。
(D) Adhesion Aid Also, the photosensitive composition of the present invention may further contain a silicone compound having an epoxy group or an amine group as an adhesion aide, if necessary.

前記エポキシ基またはアミン基を有するシリコーン系化合物は、ITO電極と感光性組成物との接着力を向上させ、硬化後の耐熱特性を増大させることができる。前記エポキシ基またはアミン基を有するシリコーン系化合物としては、(3−グリシドキシプロピル)トリメトキシシラン、(3−グリシドキシプロピル)トリエトキシシラン、(3−グリシドキシプロピル)メチルジメトキシシラン、(3−グリシドキシプロピル)メチルジエトキシシラン、(3−グリシドキシプロピル)ジメチルメトキシシラン、(3−グリシドキシプロピル)ジメチルエトキシシラン、3,4−エポキシブチルトリメトキシシラン、3,4−エポキシブチルトリエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリエトキシシラン、アミノプロピルトリメトキシシランなどが挙げられ、これらをそれぞれ単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。   The silicone type compound which has the said epoxy group or an amine group can improve the adhesive force of an ITO electrode and a photosensitive composition, and can increase the heat resistant characteristic after hardening. Examples of the silicone compound having an epoxy group or an amine group include (3-glycidoxypropyl) trimethoxysilane, (3-glycidoxypropyl) triethoxysilane, and (3-glycidoxypropyl) methyldimethoxysilane. (3-glycidoxypropyl) methyldiethoxysilane, (3-glycidoxypropyl) dimethylmethoxysilane, (3-glycidoxypropyl) dimethylethoxysilane, 3,4-epoxybutyltrimethoxysilane, 3,4 Epoxy-butyltriethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltriethoxysilane, aminopropyltrimethoxysilane and the like. Alone or two or more Combined and can be used.

前記エポキシ基またはアミン基を有するシリコーン系化合物は、感光性組成物100重量%中に0.0001〜3重量%含まれ得る。上記の範囲を下回ると、添加効果が得られず、上記の範囲を超えると、非露光部の現像特性が低下して、下部基材、ITO、またはガラス基板にスカム(scum)及び残渣などが残存する可能性がある。   The silicone compound having an epoxy group or an amine group may be contained in an amount of 0.0001 to 3% by weight in 100% by weight of the photosensitive composition. Below the above range, the additive effect can not be obtained, and above the above range, the development characteristics of the non-exposed area are degraded, and scum and residue on the lower substrate, ITO or glass substrate It may remain.

(e)その他の添加剤
本発明の感光性組成物は、必要に応じて光増感剤、熱重合防止剤、消泡剤及びレベリング剤から選択される1つ以上の相溶性添加剤をさらに含むことができる。
(E) Other Additives The photosensitive composition of the present invention may further contain one or more compatible additives selected from photosensitizers, thermal polymerization inhibitors, antifoaming agents and leveling agents as required. Can be included.

前記その他の添加剤は、感光性組成物100重量%中に0.1〜10重量%含まれ得、上記の範囲を下回ると、添加効果が得られず、上記の範囲を超えると、泡が過剰に発生しする可能性がある。   The above-mentioned other additives may be contained in an amount of 0.1 to 10% by weight in 100% by weight of the photosensitive composition, and the addition effect can not be obtained below the above range, and the foam It may occur in excess.

(f)溶媒
本発明の感光性組成物は、溶媒を加えて基板上にコーティングした後、マスクを用いて紫外線を照射し、アルカリ現像液で現像する方法でパターンを形成する。
(F) Solvent The photosensitive composition of the present invention is coated with a solvent and coated on a substrate, and then irradiated with ultraviolet rays using a mask to form a pattern by development with an alkaline developer.

したがって、溶媒を上述した感光性組成物中の溶媒以外の成分の含量と合わせて組成物の総量が100重量%になるように、溶媒の含量を調節可能であるため、感光性組成物中の溶媒以外の成分の含量によって、溶媒の含量は多様に変更され得る。例えば、溶媒の含量を感光性組成物100重量%中に10〜95重量%として、粘度を1〜50cpsの範囲となるように調節することが望ましい。   Therefore, since the solvent content can be adjusted so that the total amount of the composition becomes 100% by weight by combining the solvent with the content of components other than the solvent in the photosensitive composition described above, Depending on the content of components other than the solvent, the content of the solvent may be variously changed. For example, it is desirable to adjust the content of the solvent to 10 to 95% by weight in 100% by weight of the photosensitive composition and to adjust the viscosity to be in the range of 1 to 50 cps.

前記溶媒としては、アルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤及びその他化合物との相溶性を考慮して、エチルアセテート、ブチルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエチルエーテル、メチルメトキシプロピオネート、エチルエトキシプロピオネート(EEP)、エチルラクテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、プロピレングリコールメチルエーテルプロピオネート(PGMEP)、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールメチルアセテート、ジエチレングリコールエチルアセテート、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、ジメチルホルムアミド(DMF)、N,N−ジメチルアセトアミド(DMAc)、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)、γ−ブチルラクトン、ジエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、ジグリム(diglyme)、テトラヒドロフラン(THF)、メタノール、エタノール、プロパノール、イソ−プロパノール、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ジエチレングリコールメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トルエン、キシレン、ヘキサン、ヘプタン及びオクタンから選択される溶媒をそれぞれ単独で、または2種以上を混合して使用することができる。   As the solvent, ethyl acetate, butyl acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ethyl ether, methyl methoxy propionate, ethyl ethoxy propionate, in consideration of compatibility with an alkali soluble resin, a photo polymerization initiator and other compounds (EEP), ethyl lactate, propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA), propylene glycol methyl ether propionate (PGMEP), propylene glycol methyl ether, propylene glycol propyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol methyl acetate, diethylene glycol Ethyl acetate, acetone, methyl isobutyl ketone, syrup Hexanone, dimethylformamide (DMF), N, N-dimethylacetamide (DMAc), N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), γ-butyl lactone, diethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, diglyme, tetrahydrofuran (THF) A solvent selected from methanol, ethanol, propanol, iso-propanol, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, diethylene glycol methyl ether, diethylene glycol ethyl ether, dipropylene glycol methyl ether, toluene, xylene, hexane, heptane and octane alone; Alternatively, two or more kinds can be mixed and used.

(g)その他光重合開始剤
本発明の感光性組成物は、光重合開始剤として上述したカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物を単独で使用することもでき、チオキサントン系化合物、アシルホスフィンオキシド系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、O−アシルオキシムエステル系化合物及びチオール系化合物からなる群より選択される1種または2種以上をさらに使用することもできる。
(G) Other Photopolymerization Initiators The photosensitive composition of the present invention may use the carbazole oxime ester derivative compound described above as the photopolymerization initiator alone, and may use thioxanthone compounds, acylphosphine oxide compounds, acetophenone compounds. One or more selected from the group consisting of a compound, a biimidazole compound, a triazine compound, an O-acyl oxime ester compound and a thiol compound can also be used.

これらのさらに使用することができる光重合開始剤は、感光性組成物100重量%中に0.01〜5重量%含有することができる。   These further usable photoinitiators can be contained in an amount of 0.01 to 5% by weight in 100% by weight of the photosensitive composition.

前記チオキサントン系化合物としては、例えば、チオキサントン、2−クロロチオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン及び2,4−ジイソプロピルチオキサントンから選択される1つ以上を使用できるが、これらに限定されない。   Examples of the thioxanthone compounds include thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-methyl thioxanthone, 2-isopropyl thioxanthone, 4-isopropyl thioxanthone, 2,4-dichloro thioxanthone, 2,4- dimethyl thioxanthone, 2,4- diethyl One or more selected from thioxanthone and 2,4-diisopropyl thioxanthone can be used, but is not limited thereto.

前記アシルホスフィンオキシド系化合物としては、例えば、ジフェニル(2,4,6−トリメチルベンゾイル)ホスフィンオキシド、フェニルビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)ホスフィンオキシドまたはこれらの組合せを使用できるが、これらに限定されない。   As the acyl phosphine oxide compound, for example, diphenyl (2,4,6-trimethyl benzoyl) phosphine oxide, phenyl bis (2, 4, 6- trimethyl benzoyl) phosphine oxide or a combination of these can be used. It is not limited.

前記アセトフェノン系化合物としては、例えば、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン及び2−(4−メチルベンジル)−2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オンから選択される1つ以上を使用できるが、これらに限定されない。   Examples of the acetophenone compound include 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl). One or more selected from butan-1-one and 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one can be used, but is not limited thereto I will not.

前記ビイミダゾール系化合物としては、例えば、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール及び2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールから選択される1つ以上を使用できるが、これらに限定されない。   Examples of the biimidazole compounds include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole and 2,2′-bis 2,4-Dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole and 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4', One or more selected from 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole can be used, but is not limited thereto.

前記トリアジン系化合物としては、例えば、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(フラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン及び2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジンから選択される1つ以上を使用できるが、これらに限定されない。   Examples of the triazine compounds include 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (5) -Methylfuran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl)- s-Triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl ] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxy) Use one or more selected from tyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine and 2- (4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine Although it can be, it is not limited to these.

前記O−アシルオキシムエステル系化合物としては、例えば、1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル}−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)及び2−(アセトキシイミノ)−1−(9,9’−ジエチル−9H−フルオロ−2−イル)プロパン−1−オンから選択される1つ以上を使用できるが、これらに限定されない。   Examples of the O-acyloxime ester compounds include 1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) phenyl] -2- (O-benzoyloxime) and ethanone-1- [9-ethyl-6. -(2-Methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl)- 9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxy Benzoyl} -9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime) and 2- (acetoxyimino) -1- (9,9'-diethyl-9H-ful) B-2-yl) but more than one can be used which is selected from propan-1-one, and the like.

前記チオール系化合物としては、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)などを使用できるが、これらに限定されない。   Although the pentaerythritol tetrakis (3-mercapto propionate) etc. can be used as said thiol type compound, It is not limited to these.

(h)色材
本発明の一形態である感光性組成物には、カラーフィルタまたはブラックマトリクス形成用レジストとして使用するために含有される色材を、さらに含むことができる。
(H) Color material The photosensitive composition which is one form of the present invention can further contain a color material contained for use as a color filter or a resist for forming a black matrix.

前記色材としては、種々の顔料を使用することができ、例えば、加色混合系のレッド、グリーン、ブルー、減色混合系のシアン、マゼンダ、イエロー、及びブラック顔料などが挙げられ、より具体的に使用可能な顔料としては、C.I.ピグメントイエロー12、13、14、17、20、24、55、83、86、93、109、110、117、125、137、139、147、148、153、154、166、168、C.I.ピグメントオレンジ36、43、51、55、59、61、C.I.ピグメントレッド9、97、122、123、149、168、177、180、192、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、C.I.ピグメントバイオレット19、23、29、30、37、40、50、C.I.ピグメントブルー15、15:1、15:4、15:6、22、60、64、C.I.ピグメントグリーン7、36、C.I.ピグメントブラウン23、25、26、C.I.ピグメントブラック7、及びチタンブラックなどが挙げられる。   As the coloring material, various pigments can be used, and examples thereof include additive mixed red, green and blue, and color-reduced mixed cyan, magenta, yellow and black pigments, and the like. As pigments usable for C.I. I. Pigment yellow 12, 13, 14, 17, 20, 24, 55, 83, 86, 93, 109, 110, 117, 125, 137, 147, 148, 153, 154, 166, 168, C.I. I. Pigment orange 36, 43, 51, 55, 59, 61, C.I. I. Pigment red 9, 97, 122, 123, 149, 168, 177, 180, 192, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, C.I. I. Pigment violet 19, 23, 29, 30, 37, 40, 50, C.I. I. Pigment blue 15, 15: 1, 15: 4, 15: 6, 22, 60, 64, C.I. I. Pigment green 7, 36, C.I. I. Pigment browns 23, 25, 26, C.I. I. Pigment black 7 and titanium black.

前記色材は、感光性組成物100重量%中に5〜50重量%含まれ得る。上記の範囲を下回ると、遮光性が低下し、上記の範囲を超えると、露光不良や硬化不良になる可能性がある。   The colorant may be contained in an amount of 5 to 50% by weight in 100% by weight of the photosensitive composition. If it is less than the above range, the light shielding property is lowered, and if it is more than the above range, there is a possibility that exposure failure or curing failure may occur.

本発明の一形態である感光性組成物は、スピンコーター、ロールコーター、バーコーター、ダイコーター、カーテンコーター、各種の印刷、浸漬などの公知の手段で、ソーダガラス、石英ガラス、半導体基板、金属、紙、プラスチックなどの支持体上に適用することができる。また、まずはじめにフィルムなどの支持体上に適用した後、他の支持体上に転写することもでき、その適用方法に制限はない。   The photosensitive composition which is one form of the present invention may be soda glass, quartz glass, semiconductor substrate, metal by known means such as spin coater, roll coater, bar coater, die coater, curtain coater, various printing, immersion and the like. , Paper, plastic and the like. Moreover, after applying on a support | carrier, such as a film first, it can also be transcribe | transferred on another support | carrier, and there is no restriction | limiting in the application method.

本発明のさらに他の態様によれば、上述した感光性組成物の硬化物を含む成形物が提供される。   According to still another aspect of the present invention, there is provided a molded article comprising the cured product of the photosensitive composition described above.

前記成形物としては、アレイ平坦化膜、絶縁膜、カラーフィルタ、カラムスペーサ、オーバーコート、ブラックカラムスペーサまたはブラックマトリクスなどが挙げられるが、これらに限定されない。   Examples of the molded product include, but are not limited to, an array planarization film, an insulating film, a color filter, a column spacer, an overcoat, a black column spacer, a black matrix, and the like.

また、本発明のさらに他の態様によれば、前記成形物を含む液晶表示素子、OLEDのなどの多様なディスプレイが提供される。   Moreover, according to the further another aspect of this invention, various displays, such as a liquid crystal display element containing the said molding, and OLED, are provided.

以下、本発明の理解を助けるため、本発明の代表化合物を実施例及び比較例を挙げて詳細に説明する。しかし、本発明の実施例は他の多くの形態に変更でき、本発明の範囲は後述する実施例に限定されない。本発明の実施例は、当業者に本発明をより詳細に説明するために提供されるものである。   Hereinafter, in order to aid the understanding of the present invention, representative compounds of the present invention will be described in detail by way of examples and comparative examples. However, the embodiments of the present invention can be modified in many other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. Examples of the present invention are provided to those skilled in the art to describe the present invention in more detail.

<カルバゾールオキシムエステル誘導体化合物の製造>
実施例1:1−(9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール−3−イル)−1−プロパンオンオキシム(O−アセテート)[化学式3−1]の製造
<Production of Carbazole Oxime Ester Derivative Compound>
Example 1: Preparation of 1- (9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazol-3-yl) -1-propanone oxime (O-acetate) [Chemical formula 3-1]

Figure 2019099582
Figure 2019099582

1段階:9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾールの合成
反応器中に、トリエチレングリコールジメチルエーテル(40ml)を入れ、そこにカルバゾール(30g、170.5mmol)、4−ヨードアニソール(49.8g、204.3mmol)、粉末状の銅(11.34g、180mmol)及び炭酸カリウム(58.8g、423.2mmol)を添加した後、200℃で20時間撹拌した。反応完了後、常温に冷却してエチルアセテート(300ml)を添加した後、30分間撹拌して結晶化した。該溶液を濾過して得た固体を再びアセトン(300ml)と塩化メチレン(300ml)中でそれぞれ30分間撹拌してから濾過した後、水で洗浄した。
Step 1: Synthesis of 9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazole Into a reactor was placed triethylene glycol dimethyl ether (40 ml), into which carbazole (30 g, 170.5 mmol), 4-iodoanisole (49. After adding 8 g (204.3 mmol), powdered copper (11.34 g, 180 mmol) and potassium carbonate (58.8 g, 423.2 mmol), the mixture was stirred at 200 ° C. for 20 hours. After completion of the reaction, the reaction solution was cooled to normal temperature and ethyl acetate (300 ml) was added and then stirred for 30 minutes to crystallize. The solution was filtered and the solid obtained was again stirred for 30 minutes each in acetone (300 ml) and methylene chloride (300 ml) and then filtered and washed with water.

得られた固体は不純物であるため捨て、濾液を採取して、濾液中の有機溶媒を40℃で減圧蒸留し、生成物を含む液を一日冷蔵保管して生成物を沈澱させた。続いて、石油エーテル(約200ml)を添加して濾過し、生成した固体をアセトンを用いて再結晶して目的化合物である9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール(40.7g、87.4%)を得た。   The solid obtained was discarded because it was an impurity, the filtrate was collected, the organic solvent in the filtrate was distilled at 40 ° C. under reduced pressure, and the liquid containing the product was kept refrigerated for one day to precipitate the product. Subsequently, petroleum ether (about 200 ml) is added and filtered, and the resulting solid is recrystallized with acetone to obtain the target compound 9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazole (40.7 g, 87). .4%).

H NMR(δppm、CDCl、500MHz):3.93(3H,s)、7.12(2H,d)、7.28(2H,t)、7.33(2H,d)、7.41(2H,t)、7.46(2H,d)、8.15(2H,d)
MS(m/e):273
1 H NMR (δ ppm, CDCl 3 , 500 MHz): 3.93 (3 H, s), 7.12 (2 H, d), 7. 28 (2 H, t), 7.33 (2 H, d), 7. 41 (2H, t), 7.46 (2H, d), 8.15 (2H, d)
MS (m / e): 273

2段階:1−(9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール−3−イル)プロパン−1−オンの合成
塩化アルミニウム(5.91g、43.9mmol)を塩化メチレン(200ml)に加え、−10℃以下に冷却して10分間撹拌した後、前記1段階で得られた9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール(10.0g、36.3mmol)を加えて30分間撹拌した。塩化プロピオニル(3.89ml、43.9mmol)を塩化メチレン(25ml)に溶かした溶液を50分間滴加した後、30分間撹拌した。反応溶液を氷(490g)及び水(500ml)からなる氷水中で30分間撹拌してから放置して、水層を除去し、有機層は重炭酸ナトリウム水溶液で十分に洗浄した。続いて、有機層を無水硫酸マグネシウムを用いて乾燥し、濾過した後、減圧蒸留して目的化合物である1−(9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール−3−イル)プロパン−1−オン(11.8g、98.9%)を得た。
Two steps: Synthesis of 1- (9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazol-3-yl) propan-1-one Aluminum chloride (5.91 g, 43.9 mmol) is added to methylene chloride (200 ml), After cooling to −10 ° C. or less and stirring for 10 minutes, 9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazole (10.0 g, 36.3 mmol) obtained in the first step was added and stirred for 30 minutes. A solution of propionyl chloride (3.89 ml, 43.9 mmol) in methylene chloride (25 ml) was added dropwise for 50 minutes and then stirred for 30 minutes. The reaction solution was stirred in ice water consisting of ice (490 g) and water (500 ml) for 30 minutes and allowed to stand to remove the aqueous layer, and the organic layer was thoroughly washed with aqueous sodium bicarbonate solution. Subsequently, the organic layer is dried using anhydrous magnesium sulfate, filtered and distilled under reduced pressure to obtain the target compound 1- (9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazol-3-yl) propane-1 -Obtained on (11.8 g, 98.9%).

H NMR(δppm、CDCl、500MHz):1.31(3H,t)、3.16(2H,q)、3.93(3H,s)、7.13(2H,d)、7.32(3H,m)、7.45(3H,m)、8.07(1H,d)、8.2(1H,d)、8.81(1H,s)
MS(m/e):329
1 H NMR (δ ppm, CDCl 3 , 500 MHz): 1.31 (3 H, t), 3.16 (2 H, q), 3.93 (3 H, s), 7.13 (2 H, d), 7. 32 (3 H, m), 7. 45 (3 H, m), 8.07 (1 H, d), 8.2 (1 H, d), 8.8 1 (1 H, s)
MS (m / e): 329

3段階:1−(9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール−3−イル)−1−プロパンオン−2−オキシムの合成
前記2段階で得られた1−(9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール−3−イル)プロパン−1−オン(6.0g、18.2mmol)、テトラヒドロフラン(132ml)及び35%の濃塩酸(8.7ml)を反応器に入れて30分間撹拌した。亜硝酸イソペンチル(5.1ml、36.4mmol)をテトラヒドロフラン(10ml)に溶かした溶液を30分間滴加した後、50分間撹拌した。続いて、反応物をエチルアセテートで抽出し、重炭酸ナトリウム水溶液で十分に洗浄した。抽出した有機層を無水硫酸マグネシウムを用いて乾燥し、濾過した後、減圧蒸留して不純物を含んだ生成物を得た。得られた不純物を含んだ生成物を塩化メチレンを用いて3回洗浄し、目的化合物である1−(9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール−3−イル)−1−プロパンオン−2−オキシム(2.03g、31.1%)を得た。
Three steps: Synthesis of 1- (9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazol-3-yl) -1-propanone-2-oxime 1- (9- (4-methoxy) obtained in the above two steps Phenyl) -9H-carbazol-3-yl) propan-1-one (6.0 g, 18.2 mmol), tetrahydrofuran (132 ml) and 35% concentrated hydrochloric acid (8.7 ml) were placed in a reactor and stirred for 30 minutes did. A solution of isopentyl nitrite (5.1 ml, 36.4 mmol) in tetrahydrofuran (10 ml) was added dropwise for 30 minutes and then stirred for 50 minutes. Subsequently, the reaction was extracted with ethyl acetate and thoroughly washed with aqueous sodium bicarbonate. The extracted organic layer was dried over anhydrous magnesium sulfate, filtered and distilled under reduced pressure to obtain an impurity-containing product. The resulting impurity-containing product is washed three times with methylene chloride to give the target compound 1- (9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazol-3-yl) -1-propanone-. 2-Oxime (2.03 g, 31.1%) was obtained.

H NMR(δppm、CDCl、500MHz):2.26(3H,s)、3.93(3H,s)、7.13(2H,d)、7.33(3H,m)、7.44(3H,m)、7.88(1H,br)、8.07(1H,d)、8.18(1H,d)、8.83(1H,s)
MS(m/e):358
1 H NMR (δ ppm, CDCl 3 , 500 MHz): 2.26 (3 H, s), 3.93 (3 H, s), 7.13 (2 H, d), 7.33 (3 H, m), 7. 44 (3H, m), 7.88 (1 H, br), 8.07 (1 H, d), 8. 18 (1 H, d), 8.83 (1 H, s)
MS (m / e): 358

4段階:1−(9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール−3−イル)−1−プロパンオンオキシム(O−アセテート)の合成
前記3段階で得られた1−(9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール−3−イル)−1−プロパンオン−2−オキシム(0.5g、1.4mmol)をエチルアセテートに加えて−10℃以下に冷却し、トリエチルアミン(0.39ml、2.8mmol)を滴加して10分間撹拌した。続いて、塩化アセチル(0.22ml、3.08mmol)をエチルアセテート(1ml)に溶かした溶液を10分間滴加し、30分間撹拌した。反応溶液を塩化メチレンで抽出し、重炭酸ナトリウム水溶液で十分に洗浄した。抽出した有機層を無水硫酸マグネシウムを用いて乾燥し、濾過した後、減圧蒸留して目的化合物である1−(9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール−3−イル)−1−プロパンオンオキシム(O−アセテート)(0.53g、94.3%)を得た。
Step 4: Synthesis of 1- (9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazol-3-yl) -1-propanone oxime (O-acetate) 1- (9- (4 ) obtained in the above step -Methoxyphenyl) -9H-carbazol-3-yl) -1-propanone-2-oxime (0.5 g, 1.4 mmol) is added to ethyl acetate and cooled to -10 ° C. or less, triethylamine (0.39 ml) , 2.8 mmol) was added dropwise and stirred for 10 minutes. Subsequently, a solution of acetyl chloride (0.22 ml, 3.08 mmol) in ethyl acetate (1 ml) was added dropwise for 10 minutes and stirred for 30 minutes. The reaction solution was extracted with methylene chloride and thoroughly washed with aqueous sodium bicarbonate solution. The extracted organic layer is dried over anhydrous magnesium sulfate, filtered and distilled under reduced pressure to obtain the target compound 1- (9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazol-3-yl) -1-propane On oxime (O-acetate) (0.53 g, 94.3%) was obtained.

H NMR(δppm、CDCl、500MHz):2.31(3H,s)、2.37(3H,s)、3.93(3H,s)、7.13(2H,d)、7.34(3H,q)、7.45(3H,q)、8.19(2H,t)、8.99(1H,s)
MS(m/e):400
分解点:241.8℃
1 H NMR (δ ppm, CDCl 3 , 500 MHz): 2.31 (3 H, s), 2.37 (3 H, s), 3.93 (3 H, s), 7.13 (2 H, d), 34 (3 H, q), 7. 45 (3 H, q), 8. 19 (2 H, t), 8.99 (1 H, s)
MS (m / e): 400
Decomposition point: 241.8 ° C

実施例2〜実施例12
実施例1と同じ条件で、下記表1の組成のカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物を合成した。
Example 2 to Example 12
Under the same conditions as in Example 1, carbazole oxime ester derivative compounds having the compositions in Table 1 below were synthesized.

Figure 2019099582
Figure 2019099582

実施例13:2−(ヒドロキシイミノ)−1−(6−メトキシ−9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール−3−イル)プロパン−1−オン(O−アセテート)[化学式3−13]の製造Example 13: 2- (hydroxyimino) -1- (6-methoxy-9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazol-3-yl) propan-1-one (O-acetate) [chemical formula 3-13 ]Manufacturing of

Figure 2019099582
Figure 2019099582

1段階:3−メトキシ−9H−カルバゾールの合成
窒素雰囲気下、3−ブロモ−9H−カルバゾール(19.8g、78.8mmol)、ヨウ化銅(8.0g、41.76mmol)、ナトリウムメトキシド25%メタノール溶液(750ml)、エチルアセテート(15ml)及びトルエン(15ml)を反応器に入れて、90℃で4日間還流反応させた。反応終了後、常温に冷却した。続いて、反応溶液をビーカーに移して水(300ml)と塩化メチレン(300ml)を入れた後、1時間撹拌した。2〜3cm大きさのシリカゲル(40〜400メッシュ)が充填された濾過器に前記ビーカーの溶液を通液して濾過し、溶解されていない不純物を除去した。続いて、濾過液を塩化メチレン(300ml)で3回抽出し、有機層を無水硫酸マグネシウムを用いて乾燥し、濾過し、それを減圧蒸留して再結晶(塩化メチレン:ヘキサン=1:1)し、目的化合物である3−メトキシ−9H−カルバゾール(10.3g、66.4%)を得た。
Step 1: Synthesis of 3-methoxy-9H-carbazole 3-bromo-9H-carbazole (19.8 g, 78.8 mmol), copper iodide (8.0 g, 41.76 mmol), sodium methoxide 25 under nitrogen atmosphere % Methanol solution (750 ml), ethyl acetate (15 ml) and toluene (15 ml) were put into a reactor and reacted under reflux at 90 ° C. for 4 days. It cooled to normal temperature after reaction completion. Subsequently, the reaction solution was transferred to a beaker, water (300 ml) and methylene chloride (300 ml) were added, and the mixture was stirred for 1 hour. The solution of the beaker was passed through a filter filled with 2-3 cm sized silica gel (40-400 mesh) and filtered to remove undissolved impurities. Subsequently, the filtrate is extracted three times with methylene chloride (300 ml), the organic layer is dried using anhydrous magnesium sulfate, filtered and distilled under reduced pressure to recrystallize (methylene chloride: hexane = 1: 1). The target compound 3-methoxy-9H-carbazole (10.3 g, 66.4%) was obtained.

H NMR(δppm、CDCl、500MHz):3.93(3H,s)、7.12(2H,d)、7.28(2H,t)、7.33(2H,d)、7.41(2H,t)、7.46(2H,d)、8.15(2H,d)
MS(m/e):197
1 H NMR (δ ppm, CDCl 3 , 500 MHz): 3.93 (3 H, s), 7.12 (2 H, d), 7. 28 (2 H, t), 7.33 (2 H, d), 7. 41 (2H, t), 7.46 (2H, d), 8.15 (2H, d)
MS (m / e): 197

2段階:3−メトキシ−9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾールの合成
前記1段階で得られた3−メトキシ−9H−カルバゾール(3.0g、15.2mmol)、4−ヨードアニソール(4.34g、17.8mmol)、粉末状の銅(1.01g、15.8mmol)、炭酸カリウム(5.28g、38mmol)及びトリエチレングリコールジメチルエーテル(5.3ml、29.3mmol)を反応器に入れ、200℃で24時間撹拌した。反応終了後、常温に冷却して塩化メチレン(60ml)を入れ、1時間撹拌した。2〜3cm大きさのシリカゲル(40〜400メッシュ)が充填された濾過器に前記反応溶液を通液し濾過した。続いて、濾過液中の塩化メチレンとトリエチレングリコールジメチルエーテルを減圧蒸留して除去し、カラム分離(塩化メチレン:ヘキサン=1:5)して目的化合物である3−メトキシ−9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール(4.05g、88.2%)を得た。
Two steps: Synthesis of 3-methoxy-9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazole 3-methoxy-9H-carbazole (3.0 g, 15.2 mmol) obtained in the above one step, 4-iodoanisole ( 4.34 g (17.8 mmol), powdered copper (1.01 g, 15.8 mmol), potassium carbonate (5.28 g, 38 mmol) and triethylene glycol dimethyl ether (5.3 ml, 29.3 mmol) in the reactor Then, it was stirred at 200 ° C. for 24 hours. After completion of the reaction, the reaction solution was cooled to room temperature, methylene chloride (60 ml) was added, and the mixture was stirred for 1 hour. The reaction solution was passed through a filter filled with 2-3 cm sized silica gel (40-400 mesh) and filtered. Subsequently, methylene chloride and triethylene glycol dimethyl ether in the filtrate are removed by distillation under reduced pressure and column separation (methylene chloride: hexane = 1: 5) is carried out to obtain the target compound 3-methoxy-9- (4-methoxy Phenyl) -9H-carbazole (4.05 g, 88.2%) was obtained.

H NMR(δppm、CDCl、500MHz):3.91(3H,s)、3.95(3H,s)、7.04(1H,dd)、7.10(2H,dd)、7.24(2H,m)、7.32(1H,d)、7.38(1H,m)、7.44(2H,dd)、7.61(1H,d)、8.09(1H,d)
MS(m/e):303
1 H NMR (δ ppm, CDCl 3 , 500 MHz): 3.91 (3 H, s), 3.95 (3 H, s), 7.04 (1 H, dd), 7.10 (2 H, dd), 24 (2H, m), 7.32 (1 H, d), 7. 38 (1 H, m), 7.44 (2 H, dd), 7.61 (1 H, d), 8.09 (1 H, d) )
MS (m / e): 303

3段階:1−(6−メトキシ−9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール−3−イル)プロパン−1−オンの合成
塩化アルミニウム(2.32g、17.2mmol)を塩化メチレン(40ml)に加えて−10℃以下に冷却した。前記2段階で得られた3−メトキシ−9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール(4.0g、13.2mmol)を上記の塩化メチレン(5ml)に滴加した後、20分ほど撹拌した。塩化プロピオニル(1.52ml、17.2mmol)を30分間滴加した後、20分間撹拌した。反応終了後、水(200ml)に反応溶液を注ぎ、1時間撹拌してから塩化メチレン(100ml)を加えて有機層を抽出し、抽出した有機層を重炭酸ナトリウム水溶液で十分に洗浄した。抽出した有機層は無水硫酸マグネシウムを用いて乾燥し、濾過してから減圧蒸留して目的化合物である1−(6−メトキシ−9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール−3−イル)プロパン−1−オン(4.5g、94.7%)を得た。
Three steps: Synthesis of 1- (6-methoxy-9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazol-3-yl) propan-1-one Aluminum chloride (2.32 g, 17.2 mmol) in methylene chloride (40 ml) ) And cooled to -10 ° C or less. After dropping 3-methoxy-9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazole (4.0 g, 13.2 mmol) obtained in the above two steps into the above methylene chloride (5 ml), it is stirred for about 20 minutes did. Propionyl chloride (1.52 ml, 17.2 mmol) was added dropwise for 30 minutes and then stirred for 20 minutes. After completion of the reaction, the reaction solution was poured into water (200 ml) and stirred for 1 hour, then methylene chloride (100 ml) was added to extract the organic layer, and the extracted organic layer was thoroughly washed with an aqueous sodium bicarbonate solution. The extracted organic layer is dried using anhydrous magnesium sulfate, filtered and distilled under reduced pressure to obtain the target compound 1- (6-methoxy-9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazol-3-yl). Propan-1-one (4.5 g, 94.7%) was obtained.

H NMR(δppm、CDCl、500MHz):1.30(3H,t)、3.15(2H,q)、3.91(3H,s)、3.95(3H,s)、7.07(1H,dd)、7.11(2H,dd)、7.24(1H,d)、7.29(1H,d)、7.42(2H,dd)、7.66(1H,d)、8.04(1H,dd)、8.76(1H,d)
MS(m/e):359
1 H NMR (δ ppm, CDCl 3 , 500 MHz): 1.30 (3H, t), 3.15 (2H, q), 3.91 (3H, s), 3.95 (3H, s), 7. 07 (1H, dd), 7.11 (2H, dd), 7.24 (1H, d), 7.29 (1H, d), 7.42 (2H, dd), 7.66 (1H, d) ), 8.04 (1 H, dd), 8.76 (1 H, d)
MS (m / e): 359

4段階:2−(ヒドロキシイミノ)−1−(6−メトキシ−9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール−3−イル)プロパン−1−オンの合成
前記3段階で得られた1−(6−メトキシ−9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール−3−イル)プロパン−1−オン(4.91g、13.7mmol)及び35%濃塩酸(2.4ml、27.4mmol)をテトラヒドロフラン(40ml)に加えて30分間撹拌した。続いて、亜硝酸イソペンチル(3.83ml、27.4mmol)をテトラヒドロフラン(8ml)に溶かした溶液を20分間滴加し、5時間撹拌した。反応終了後、エチルアセテート(100ml)を加えて有機層を抽出し、抽出した有機層を重炭酸ナトリウム水溶液で十分に洗浄した。抽出した有機層は無水硫酸マグネシウムを用いて乾燥し、濾過した。次いで、減圧蒸留した後、カラム分離(エチルアセテート:ヘキサン=1:4)して目的化合物である2−(ヒドロキシイミノ)−1−(6−メトキシ−9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール−3−イル)プロパン−1−オン(1.63g、30.7%)を得た。
Four steps: Synthesis of 2- (hydroxyimino) -1- (6-methoxy-9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazol-3-yl) propan-1-one 1- obtained in the above three steps (6-Methoxy-9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazol-3-yl) propan-1-one (4.91 g, 13.7 mmol) and 35% concentrated hydrochloric acid (2.4 ml, 27.4 mmol) Was added to tetrahydrofuran (40 ml) and stirred for 30 minutes. Subsequently, a solution of isopentyl nitrite (3.83 ml, 27.4 mmol) in tetrahydrofuran (8 ml) was added dropwise for 20 minutes and stirred for 5 hours. After completion of the reaction, ethyl acetate (100 ml) was added to extract the organic layer, and the extracted organic layer was thoroughly washed with an aqueous sodium bicarbonate solution. The extracted organic layer was dried using anhydrous magnesium sulfate and filtered. Then, after distillation under reduced pressure, column separation (ethyl acetate: hexane = 1: 4) is carried out to obtain the target compound 2- (hydroxyimino) -1- (6-methoxy-9- (4-methoxyphenyl) -9H-. Carbazol-3-yl) propan-1-one (1.63 g, 30.7%) was obtained.

H NMR(δppm、CDCl、500MHz):2.27(3H,s)、3.92(3H,s)、3.95(3H,s)、7.07(1H,dd)、7.12(2H,dd)、7.23(1H,d)、7.29(1H,d)、7.42(2H,dd)、7.65(1H,d)、7.68(1H,s)、8.06(1H,dd)、8.79(1H,d)
MS(m/e):388
1 H NMR (δ ppm, CDCl 3 , 500 MHz): 2.27 (3 H, s), 3.92 (3 H, s), 3.95 (3 H, s), 7.07 (1 H, dd), 7. 12 (2H, dd), 7.23 (1 H, d), 7.29 (1 H, d), 7.42 (2 H, dd), 7.65 (1 H, d), 7.68 (1 H, s) ), 8.06 (1 H, dd), 8.79 (1 H, d)
MS (m / e): 388

5段階:2−(ヒドロキシイミノ)−1−(6−メトキシ−9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール−3−イル)プロパン−1−オン(O−アセテート)の合成
前記4段階で得られた2−(ヒドロキシイミノ)−1−(6−メトキシ−9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール−3−イル)プロパン−1−オン(0.76g、1.96mmol)をエチルアセテート(15ml)に加えて−10℃以下に冷却し、さらにトリエチルアミン(0.55ml、3.92mmol)を加えて10分間撹拌した。続いて、塩化アセチル(0.29ml、3.92mmol)をエチルアセテート(2ml)に溶かした溶液を5分間滴加し、20分間撹拌した。反応終了後、塩化メチレン(50ml)を加えて有機層を抽出し、抽出した有機層を重炭酸ナトリウム水溶液で十分に洗浄した。抽出した有機層は無水硫酸マグネシウムを用いて乾燥し、減圧蒸留して目的化合物である2−(ヒドロキシイミノ)−1−(6−メトキシ−9−(4−メトキシフェニル)−9H−カルバゾール−3−イル)プロパン−1−オン(O−アセテート)(0.77g、91.3%)を得た。
Step 5: Synthesis of 2- (hydroxyimino) -1- (6-methoxy-9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazol-3-yl) propan-1-one (O-acetate) The obtained 2- (hydroxyimino) -1- (6-methoxy-9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazol-3-yl) propan-1-one (0.76 g, 1.96 mmol) in ethyl The reaction solution was added to acetate (15 ml) and cooled to -10 ° C or lower, and triethylamine (0.55 ml, 3.92 mmol) was further added and stirred for 10 minutes. Subsequently, a solution of acetyl chloride (0.29 ml, 3.92 mmol) in ethyl acetate (2 ml) was added dropwise for 5 minutes and stirred for 20 minutes. After completion of the reaction, methylene chloride (50 ml) was added to extract the organic layer, and the extracted organic layer was thoroughly washed with an aqueous sodium bicarbonate solution. The extracted organic layer is dried over anhydrous magnesium sulfate and distilled under reduced pressure to give the target compound 2- (hydroxyimino) -1- (6-methoxy-9- (4-methoxyphenyl) -9H-carbazole-3. -Yl) propan-1-one (O-acetate) (0.77 g, 91.3%) was obtained.

H NMR(δppm、CDCl、500MHz):2.30(3H,s)、2.37(3H,s)、3.92(3H,s)、3.96(3H,s)、7.08(1H,dd)、7.12(2H,dd)、7.24(1H,d)、7.31(1H,d)、7.42(2H,dd)、7.67(1H,d)、8.16(1H,dd)、8.93(1H,d)
MS(m/e):430
分解点:248.3℃
1 H NMR (δ ppm, CDCl 3 , 500 MHz): 2.30 (3H, s), 2.37 (3H, s), 3.92 (3H, s), 3.96 (3H, s), 7. 08 (1 H, dd), 7.12 (2 H, dd), 7.24 (1 H, d), 7.31 (1 H, d), 7.42 (2 H, dd), 7.67 (1 H, d) ), 8.16 (1 H, dd), 8.93 (1 H, d)
MS (m / e): 430
Decomposition point: 248.3 ° C

実施例14〜実施例18
実施例13と同じ条件で、下記表2の組成のカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物を合成した。
Example 14 to Example 18
Under the same conditions as in Example 13, carbazole oxime ester derivative compounds having the compositions shown in Table 2 below were synthesized.

Figure 2019099582
Figure 2019099582

<アルカリ可溶性樹脂の製造>
製造例1:アクリル重合体(a−1)の製造
500mLの重合容器にプロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)200mL及びアゾビスイソブチロニトリル(AIBN)1.5gを添加した後、メタクリル酸、グリシジルメタクリル酸、メチルメタクリル酸及びジシクロペンタニルアクリル酸をそれぞれ20:20:40:20のモル比で、アクリルモノマーの固形分が40重量%となるように添加した後、窒素雰囲気下、70℃で5時間撹拌して重合させてアクリル重合体(a−1)を製造した。このようにして製造された重合体(a−1)の重量平均分子量は25,000、分散度は1.9であった。
<Production of alkali-soluble resin>
Production Example 1 Production of Acrylic Polymer (a-1) After adding 200 mL of propylene glycol methyl ether acetate (PGMEA) and 1.5 g of azobisisobutyronitrile (AIBN) to a 500 mL polymerization vessel, methacrylic acid, glycidyl After adding methacrylic acid, methyl methacrylic acid and dicyclopentanyl acrylic acid in a molar ratio of 20: 20: 40: 20, respectively, so that the solid content of the acrylic monomer is 40% by weight, under a nitrogen atmosphere, at 70 ° C. The mixture was stirred for 5 hours to polymerize to produce an acrylic polymer (a-1). The weight average molecular weight of the polymer (a-1) thus produced was 25,000, and the degree of dispersion was 1.9.

製造例2:アクリル重合体(a−2)の製造
500mLの重合容器にPGMEA 200mL及びAIBN 1.0gを添加した後、メタクリル酸、スチレン、メチルメタクリル酸及びシクロヘキシルメタクリル酸をそれぞれ40:20:20:20のモル比で、アクリルモノマーの固形分が40重量%となるように添加した後、窒素雰囲気下、70℃で5時間撹拌して重合させて共重合体を合成した。この反応器にN,N−ジメチルアニリン0.3gと、グリシジルメタクリル酸を総モノマー固形分100モルを基準に20モルとなるように添加した後、100℃で10時間撹拌して側鎖にアクリル不飽和結合を有するアクリル重合体(a−2)を製造した。このようにして製造されたアクリル重合体(a−2)の重量平均分子量は20,000、分散度は2.0であった。
Production Example 2 Production of Acrylic Polymer (a-2) After adding 200 mL of PGMEA and 1.0 g of AIBN to a 500 mL polymerization vessel, methacrylic acid, styrene, methyl methacrylic acid and cyclohexyl methacrylic acid were each 40: 20: 20. After adding so that solid content of an acryl monomer might be 40 weight% by molar ratio of: 20, it stirred for 5 hours at 70 degreeC under nitrogen atmosphere, was polymerized, and the copolymer was synthesize | combined. 0.3 g of N, N-dimethylaniline and 20 mol of glycidyl methacrylic acid based on 100 mol of total monomer solids were added to this reactor, and then stirred at 100 ° C. for 10 hours for acrylic on the side chain An acrylic polymer (a-2) having unsaturated bonds was produced. The weight average molecular weight of the acrylic polymer (a-2) thus produced was 20,000, and the degree of dispersion was 2.0.

製造例3:アクリル重合体(a−3)の製造
500mLの重合容器にPGMEA 200mL及びAIBN 1.0gを添加した後、グリシジルメタクリル酸、スチレン、メチルメタクリル酸及びシクロヘキシルメタクリル酸をそれぞれ40:20:20:20のモル比で、アクリルモノマーの固形分が40重量%となるように添加した後、窒素雰囲気下、70℃で5時間撹拌して重合させて共重合体を合成した。この反応器にN,N−ジメチルアニリン0.3gと、アクリル酸を総モノマー固形分100モルを基準に20モルとなるように添加した後、100℃で10時間撹拌して側鎖にアクリル不飽和結合を有するアクリル重合体(a−3)を製造した。このようにして製造されたアクリル重合体(a−3)の重量平均分子量は18,000、分散度は1.8とであった。
Production Example 3 Production of Acrylic Polymer (a-3) After adding 200 mL of PGMEA and 1.0 g of AIBN to a 500 mL polymerization vessel, 40:20 each of glycidyl methacrylic acid, styrene, methyl methacrylic acid and cyclohexyl methacrylic acid: After adding so that the solid content of an acrylic monomer might be 40 weight% by molar ratio of 20:20, it stirred for 5 hours at 70 degreeC under nitrogen atmosphere, was polymerized, and the copolymer was synthesize | combined. After adding 0.3 g of N, N-dimethylaniline and 20 mol of acrylic acid based on 100 mol of total monomer solids to this reactor, the side chain is stirred for 10 hours at 100 ° C. An acrylic polymer (a-3) having a saturated bond was produced. The weight average molecular weight of the acrylic polymer (a-3) thus produced was 18,000, and the degree of dispersion was 1.8.

<感光性組成物の製造>
実施例19〜実施例34:感光性組成物の製造
紫外線遮断膜と撹拌機を備える反応混合槽に下記表3に記載される成分と含量に従って、アルカリ可溶性樹脂;エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物;本発明の光重合開始剤;及びFC−430(3M社製のレベリング剤)を順次添加し、常温(23℃)で撹拌した後、組成物の総量が100重量%になるように溶媒としてPGMEAを加えて実施例19〜実施例34の感光性組成物を製造した。
<Production of Photosensitive Composition>
Examples 19 to 34 Preparation of Photosensitive Composition Alkali-Soluble Resin According to the Components and Content Described in the Following Table 3 in a Reaction-mixing Tank Equipped with an Ultraviolet Blocking Film and a Stirrer; Polymerization Having an Ethylenically Unsaturated Bond Compound; the photopolymerization initiator of the present invention; and FC-430 (leveling agent manufactured by 3M) are sequentially added, and after stirring at normal temperature (23 ° C.), the total amount of the composition becomes 100% by weight Photosensitive compositions of Examples 19 to 34 were produced by adding PGMEA as a solvent.

<着色感光性組成物の製造>
実施例35〜実施例36:着色感光性組成物の製造
下記表3に記載されたように、固形分25重量%でPGMEAに分散したカーボンブラック分散液50重量%を加えたことを除いて、実施例19と同じ方法で実施例35の着色感光性組成物を製造した。また、固形分25重量%でPGMEAに分散したピグメントレッド177(P.R.177)の分散液50重量%を加えたことを除いて、実施例19と同じ方法で実施例36の着色感光性組成物を製造した。
<Production of Colored Photosensitive Composition>
Examples 35 to 36: Preparation of a colored photosensitive composition As described in Table 3 below, except that 50% by weight of a carbon black dispersion dispersed in PGMEA at 25% by weight solids was added, The colored photosensitive composition of Example 35 was produced in the same manner as in Example 19. Also, the color photosensitivity of Example 36 was the same as Example 19 except that 50% by weight of a dispersion of Pigment Red 177 (PR 177) dispersed in PGMEA at a solid content of 25% was added. The composition was manufactured.

実施例37
下記表3に記載されたように、光重合開始剤として、実施例1の化合物とともに下記化学式4で表される化合物を混合使用したことを除いて、実施例19と同じ方法で感光性組成物を製造した。
Example 37
As described in Table 3 below, a photosensitive composition was prepared in the same manner as Example 19, except that the compound represented by the following Chemical Formula 4 was used in combination with the compound of Example 1 as a photopolymerization initiator. Manufactured.

Figure 2019099582
Figure 2019099582

<成分>
(a)アルカリ可溶性樹脂:製造例1〜3のアクリル重合体(a−1)〜(a−3)
(b)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物
b−1:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
b−2:ジペンタエリスリトールペンタアクリレート
b−3:ペンタエリスリトールトリアクリレート
b−4:ペンタエリスリトールトリメタクリレート
b−5:トリメチロールプロパントリアクリレート
b−6:エチレングリコールジアクリレート
b−7:ビスフェノール−Aジグリシジルエーテルアクリル酸付加物
b−8:トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルアクリル酸付加物
(c)光重合開始剤:実施例1〜18で製造されたカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物
(e)レベリング剤:FC−430(3M社製のレベリング剤)
(h)色材
h−1:カーボンブラック(固形分25重量%)
h−2:ピグメントレッド177(P.R.177)(固形分25重量%)
<Component>
(A) Alkali-soluble resin: Acrylic polymers (a-1) to (a-3) of Production Examples 1 to 3
(B) Polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond b-1: dipentaerythritol hexaacrylate b-2: dipentaerythritol pentaacrylate b-3: pentaerythritol triacrylate b-4: pentaerythritol trimethacrylate b-5 : Trimethylolpropane triacrylate b-6: ethylene glycol diacrylate b-7: bisphenol-A diglycidyl ether acrylic acid adduct b-8: trimethylolpropane triglycidyl ether acrylic acid adduct (c) photopolymerization initiator: Carbazole oxime ester derivative compound produced in Examples 1 to 18 (e) Leveling agent: FC-430 (leveling agent manufactured by 3M)
(H) Color material h-1: carbon black (solid content 25% by weight)
h-2: pigment red 177 (PR 177) (solid content 25% by weight)

Figure 2019099582
Figure 2019099582

比較例1
光重合開始剤として実施例1の化学式3−1で表される化合物の代りに下記化学式5で表される化合物を使用したことを除き、実施例19と同じ方法で感光性組成物を製造した。
Comparative Example 1
A photosensitive composition was manufactured in the same manner as Example 19, except that a compound represented by the following Chemical Formula 5 was used instead of the compound represented by Chemical Formula 3-1 of Example 1 as a photopolymerization initiator. .

Figure 2019099582
Figure 2019099582

比較例2
光重合開始剤として実施例1の化学式3−1で表される化合物の代りに下記化学式6で表される化合物を使用したことを除き、実施例19と同じ方法で感光性組成物を製造した。
Comparative example 2
A photosensitive composition was manufactured in the same manner as Example 19, except that a compound represented by the following Chemical Formula 6 was used instead of the compound represented by Chemical Formula 3-1 of Example 1 as a photopolymerization initiator. .

Figure 2019099582
Figure 2019099582

<感光性組成物の評価>
実施例19〜実施例37、比較例1及び比較例2で製造した感光性組成物の評価はガラス基板上で行い、感光性組成物の感度、残膜率、パターン安定性、耐化学性及び延性などの性能を測定して、その結果を下記表4に示した。
<Evaluation of photosensitive composition>
The photosensitive compositions produced in Examples 19 to 37 and Comparative Examples 1 and 2 were evaluated on a glass substrate, and the sensitivity, residual film ratio, pattern stability, chemical resistance, and the like of the photosensitive composition were evaluated. The performances such as ductility were measured, and the results are shown in Table 4 below.

1)感度
ガラス基板上にフォトレジストをスピンコーティングして100℃で1分間ホットプレートで乾燥した後、ステップマスクを用いて露光し、0.04%KOH水溶液で現像した。ステップマスクパターンが初期厚さに対して80%の厚さを維持する露光量を、感度として評価した。
1) Sensitivity A photoresist was spin-coated on a glass substrate, dried on a hot plate at 100 ° C. for 1 minute, exposed using a step mask, and developed with a 0.04% aqueous KOH solution. The exposure amount at which the step mask pattern maintained a thickness of 80% with respect to the initial thickness was evaluated as sensitivity.

2)残膜率
感光性組成物を基板上にスピンコーターで塗布した後、100℃で1分間プリベーク(prebake)し、365nmで露光させた後、230℃で20分間ポストベーク(postbake)して、レジスト膜のポストベーク前後の厚さの比率(%)を測定した。
2) Residual film ratio After the photosensitive composition is coated on a substrate by a spin coater, it is prebaked at 100 ° C. for 1 minute, exposed at 365 nm, and postbaked at 230 ° C. for 20 minutes. The thickness ratio (%) before and after post-baking of the resist film was measured.

3)パターン安定性
フォトレジストパターンを形成したシリコンウェハーをホールパターンの垂直方向から切断し、パターンの断面方向を電子顕微鏡で観察した。パターンのサイド壁が基板に対して55度以上の角度で起立し、レジスト膜が減少しなかったものを「良好」とし、レジスト膜の減少が認められたものを「膜減」と判定した。
3) Pattern stability The silicon wafer in which the photoresist pattern was formed was cut from the perpendicular direction of a hole pattern, and the section direction of the pattern was observed with the electron microscope. The side walls of the pattern stood at an angle of 55 ° or more with respect to the substrate, and those having no decrease in the resist film were regarded as “good”, and those in which the decrease in the resist film was recognized were judged as “film loss”.

4)耐化学性
感光性組成物を基板上にスピンコーターを用いて塗布した後、プリベーク及びポストベークなどの工程を経て形成されたレジスト膜をストリッパー(stripper)溶液に40℃で10分間浸漬し、レジスト膜の透過率及び厚さの変化の有無を観察した。透過率及び厚さの変化が2%以下の場合を「良好」とし、透過率及び厚さの変化が2%を超えれば「不良」と判定した。
4) Chemical resistance After the photosensitive composition is applied onto the substrate using a spin coater, the resist film formed through steps such as prebaking and postbaking is immersed in a stripper solution at 40 ° C. for 10 minutes. The presence or absence of the change of the transmittance and thickness of the resist film was observed. When the change of the transmittance and the thickness was 2% or less was regarded as “good”, and when the change of the transmittance and the thickness exceeded 2%, it was determined as “defect”.

5)延性
感光性組成物を基板上にスピンコーティングした後、100℃で1分間プリベークし、フォトレジストの感度で露光させた後、KOH水溶液で現像して20μm×20μmのパターンを形成した。形成されたパターンを230℃で20分間ポストベークして架橋させ、該パターンの延性をナノインデンター(nano indentor)を用いて測定した。ナノインデンターでの測定は5gfの負荷で行い、総変位量が500nm以上であれば「良好」、500nm未満であれば「不良」と判定した。
5) Ductility After spin-coating the photosensitive composition on a substrate, it was prebaked at 100 ° C. for 1 minute, exposed with the sensitivity of a photoresist, and then developed with an aqueous solution of KOH to form a 20 μm × 20 μm pattern. The formed pattern was post-baked at 230 ° C. for 20 minutes to crosslink, and the ductility of the pattern was measured using a nano indentor. The measurement with a nano indenter was performed with a load of 5 gf, and it was determined as "good" if the total displacement amount is 500 nm or more and "poor" if less than 500 nm.

Figure 2019099582
Figure 2019099582

表4より、本発明のカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物は、感光性組成物の光重合開始剤として使用する際、少量でも感度が格段に優れ、残膜率、パターン安定性、耐化学性及び延性などの物性にも優れることが確認できた。したがって、TFT−LCD製造工程中の露光及びポストベーク工程において、光重合開始剤から発生するアウトガスを最小限にすることで汚染を低減させることができ、それにより発生し得る不具合を最小限に抑えられる。   From Table 4, when the carbazole oxime ester derivative compound of the present invention is used as a photopolymerization initiator of a photosensitive composition, the sensitivity is remarkably excellent even in a small amount, and the residual film rate, pattern stability, chemical resistance, ductility, etc. It was also confirmed that the physical properties of were excellent. Therefore, in the exposure and post-baking steps in the TFT-LCD manufacturing process, the contamination can be reduced by minimizing the outgassing generated from the photopolymerization initiator, thereby minimizing the problems that may occur. Be

Claims (12)

下記化学式1または化学式2で表されるカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物:
Figure 2019099582
Figure 2019099582
化学式1及び化学式2において、
Aは、酸素または硫黄であり;
及びRは、それぞれ独立して、(C1〜C20)アルキルであり;
は、(C1〜C20)アルキル、(C6〜C20)アリール、(C1〜C20)アルコキシ、(C6〜C20)アリール(C1〜C20)アルキル、ヒドロキシ(C1〜C20)アルキル、ヒドロキシ(C1〜C20)アルコキシ(C1〜C20)アルキルまたは(C3〜C20)シクロアルキルであり;
は、(C1〜C20)アルキル、(C6〜C20)アリール、(C6〜C20)アリール(C1〜C20)アルキル、(C3〜C20)シクロアルキルまたは(C3〜C20)シクロアルキル(C1〜C20)アルキルである。
Carbazole oxime ester derivative compounds represented by the following chemical formula 1 or chemical formula 2:
Figure 2019099582
Figure 2019099582
In chemical formula 1 and chemical formula 2,
A is oxygen or sulfur;
R 1 and R 4 are each independently (C 1 -C 20) alkyl;
R 2 is, (C1 to C20) alkyl, (C6 to C20) aryl, (C1 to C20) alkoxy, (C6 to C20) aryl (C1 to C20) alkyl, hydroxy (C1 to C20) alkyl, hydroxy (C1 to C20) alkoxy (C 1 -C 20) alkyl or (C 3 -C 20) cycloalkyl;
R 3 is, (C1 to C20) alkyl, (C6 to C20) aryl, (C6 to C20) aryl (C1 to C20) alkyl, (C3 to C20) cycloalkyl or (C3 to C20) cycloalkyl (C1 to C20 ) Alkyl.
前記Aが、酸素または硫黄であり;
前記R及びRが、それぞれ独立して、メチル、エチル、n−プロピル、i−プロピル、n−ブチル、i−ブチル、t−ブチル、n−ペンチル、i−ペンチル、n−ヘキシルまたはi−ヘキシルであり;
前記Rが、メチル、エチル、n−プロピル、i−プロピル、n−ブチル、i−ブチル、t−ブチル、n−ペンチル、i−ペンチル、n−ヘキシル、i−ヘキシル、n−オクチル、n−デシル、i−デシル、n−ドデシル、シクロペンチル、シクロヘキシル、フェニル、ベンジル、ナフチル、ビフェニル、テルフェニル、アントリル、インデニル、フェナントリル、メトキシ、エトキシ、n−プロピルオキシ、i−プロピルオキシ、n−ブトキシ、i−ブトキシ、t−ブトキシ、ヒドロキシメチル、ヒドロキシエチル、ヒドロキシn−プロピル、ヒドロキシn−ブチル、ヒドロキシi−ブチル、ヒドロキシn−ペンチル、ヒドロキシi−ペンチル、ヒドロキシn−ヘキシル、ヒドロキシi−ヘキシル、ヒドロキシメトキシメチル、ヒドロキシメトキシエチル、ヒドロキシメトキシプロピル、ヒドロキシメトキシブチル、ヒドロキシエトキシメチル、ヒドロキシエトキシエチル、ヒドロキシエトキシプロピル、ヒドロキシエトキシブチル、ヒドロキシエトキシペンチルまたはヒドロキシエトキシヘキシルであり;
前記Rが、メチル、エチル、n−プロピル、i−プロピル、n−ブチル、i−ブチル、t−ブチル、n−ペンチル、i−ペンチル、n−ヘキシル、i−ヘキシル、シクロペンチル、シクロヘキシルまたはフェニルである、請求項1に記載のカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物。
Said A is oxygen or sulfur;
R 1 and R 4 are each independently methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl, i-butyl, t-butyl, n-pentyl, i-pentyl, n-hexyl or i -Hexyl;
R 2 is methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl, i-butyl, t-butyl, n-pentyl, i-pentyl, n-hexyl, i-hexyl, n-octyl, n -Decyl, i-decyl, n-dodecyl, cyclopentyl, cyclohexyl, phenyl, benzyl, naphthyl, biphenyl, terphenyl, anthryl, indenyl, phenanthryl, methoxy, ethoxy, n-propyloxy, i-propyloxy, n-butoxy, i-butoxy, t-butoxy, hydroxymethyl, hydroxyethyl, hydroxy n-propyl, hydroxy n-butyl, hydroxy i-butyl, hydroxy n-pentyl, hydroxy i-pentyl, hydroxy n-hexyl, hydroxy i-hexyl, hydroxy Methoxymethyl, hydroxy Methoxyethyl, hydroxymethoxypropyl, hydroxymethoxybutyl, hydroxyethoxymethyl, hydroxyethoxyethyl, hydroxyethoxypropyl, hydroxyethoxybutyl, hydroxyethoxypentyl or hydroxyethoxyhexyl;
R 3 is methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl, i-butyl, t-butyl, n-pentyl, i-pentyl, n-hexyl, i-hexyl, cyclopentyl, cyclohexyl or phenyl The carbazole oxime ester derivative compound according to claim 1, which is
前記カルバゾールオキシムエステル誘導体化合物が、下記化学式3−1〜3−18で表される化合物から選択される1つ以上である、請求項1に記載のカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物。
Figure 2019099582
The carbazole oxime ester derivative compound according to claim 1, wherein the carbazole oxime ester derivative compound is one or more selected from compounds represented by the following chemical formulas 3-1 to 3-18.
Figure 2019099582
請求項1〜請求項3のうちいずれか1項に記載のカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物を含む光重合開始剤。   A photopolymerization initiator comprising the carbazole oxime ester derivative compound according to any one of claims 1 to 3. (a)アルカリ可溶性樹脂;
(b)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物;及び
(c)請求項1〜請求項3のうちいずれか1項に記載のカルバゾールオキシムエステル誘導体化合物を含む光重合開始剤を含有する感光性組成物。
(A) alkali-soluble resin;
(B) A polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond; and (c) a photopolymerization initiator containing a photopolymerization initiator containing the carbazole oxime ester derivative compound according to any one of claims 1 to 3. Composition.
前記カルバゾールオキシムエステル誘導体化合物の含量が、感光性組成物100重量%中に、0.01〜10重量%含まれる、請求項5に記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 5, wherein the content of the carbazole oxime ester derivative compound is 0.01 to 10 wt% in 100 wt% of the photosensitive composition. 前記光重合開始剤が、チオキサントン系化合物、アシルホスフィンオキシド系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、O−アシルオキシムエステル系化合物及びチオール系化合物からなる群より選択される1種または2種以上をさらに含む、請求項5に記載の感光性組成物。   The photopolymerization initiator is selected from the group consisting of thioxanthone compounds, acyl phosphine oxide compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, O-acyl oxime ester compounds and thiol compounds. Or the photosensitive composition of Claim 5 which further contains 2 or more types. 前記感光性組成物が色材をさらに含む、請求項5に記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 5, wherein the photosensitive composition further comprises a colorant. 前記感光性組成物が色材をさらに含む、請求項7に記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 7, wherein the photosensitive composition further comprises a colorant. 請求項5に記載の感光性組成物の硬化物を含む成形物。   A molded article comprising the cured product of the photosensitive composition according to claim 5. 前記成形物が、アレイ平坦化膜、絶縁膜、カラーフィルタ、カラムスペーサ、オーバーコート、ブラックカラムスペーサまたはブラックマトリクスである、請求項10に記載の成形物。   The molded article according to claim 10, wherein the molded article is an array flattening film, an insulating film, a color filter, a column spacer, an overcoat, a black column spacer or a black matrix. 請求項10に記載の成形物を含むディスプレイ装置。   A display device comprising the molding according to claim 10.
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