JP2019096835A - プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 329
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 79
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 46
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 428
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 73
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 claims description 28
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 11
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 claims 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 53
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 20
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 17
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 11
- 230000004044 response Effects 0.000 description 9
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 6
- 238000005513 bias potential Methods 0.000 description 5
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000013404 process transfer Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/3244—Gas supply means
- H01J37/32449—Gas control, e.g. control of the gas flow
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
- H01L21/67069—Apparatus for fluid treatment for etching for drying etching
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32174—Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32192—Microwave generated discharge
- H01J37/32211—Means for coupling power to the plasma
- H01J37/32229—Waveguides
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32192—Microwave generated discharge
- H01J37/32211—Means for coupling power to the plasma
- H01J37/32238—Windows
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32458—Vessel
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32798—Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
- H01J37/32816—Pressure
- H01J37/32834—Exhausting
- H01J37/32844—Treating effluent gases
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
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- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
- H01L21/02274—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition in the presence of a plasma [PECVD]
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- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
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- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
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Abstract
Description
以下、本発明の実施例について、図1乃至図8を用いてを説明する。
2…シャワープレート
3…誘電体窓
4…処理室
5…真空排気口
6…導波管
7…空洞共振器
8…マイクロ波発生用電源
9…ソレノイドコイル
10…試料台
11…ウエハ
12…マッチング回路
13…高周波電源
14…フィルター
15…静電吸着用直流電源
16…ガス供給装置
17…圧力計
18…可変コンダクタンスバルブ
19…ドライポンプ
20…ターボ分子ポンプ
21…排気ライン
22…エッチングガスライン
23…捨てガスライン
24…ガス導入ライン
25…エッチングガスライン切り替え部
26…インピーダンスコントローラー
27…第1のマッチング用可変素子
28…第2のマッチング用可変素子
29…インピーダンス外部指示器
100…ガス切り替えユニット
101…第1のバルブ
102…第2のバルブ
103…第1のバイパスライン
104…圧力計
117…移行ステップガス源
110…移行ステップ用ガスライン
111…第3のバルブ
112…第4のバルブ
113…第2のバイパスライン
114…移行ステップ用マスフローコントローラ
131…捨てガスライン用圧力計
132…可変コンダクタンスバルブ。
Claims (11)
- 真空容器内部に配置され減圧された内側でプラズマが形成される処理室と、この処理室の下方に配置され処理の対象であるウエハがその上面に載せられて保持される試料台とを備え、前記プラズマを用いて前記ウエハを処理するプラズマ処理装置であって、
前記処理が2つの処理ステップとこれらの間の繋ぎステップとを備えたものであって、前記処理ステップ中に前記処理室内に前記処理用のガスを供給する第1のガス供給ユニットおよび繋ぎステップ中に前記処理室内に繋ぎステップ用のガスを供給する第2のガス供給ユニットと、前記2つの処理ステップ及び前記繋ぎステップの間の移行に際して前記第1のガス供給ユニットからの処理用のガス及び第2のガス供給ユニットからの繋ステップ用のガスの処理室への供給を切り替えるガス切り替えユニットと、前記繋ステップ中に供給される前記繋ステップ用のガスの流量を前記2つの処理ステップのうち後の処理ステップ中に前記処理室に供給される前記処理用のガスの供給量と等しいと見なせる流量に調節する制御部とを備えたプラズマ処理装置。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置であって、
前記第1のガス供給ユニットと前記処理室との間を連結する第1のガス供給ラインと、前記第2のガス供給ユニットと前記処理室との間を連結する第2のガス供給ラインと、第1及び第2のガス供給ラインと排気ポンプとの間を連結する捨てガスラインとを備え、前記制御部が前記2つの処理のステップ及び前記繋ぎステップの開始に際して前記第1及び第2のガス供給ラインと前記処理室及び前記捨てガスラインとの間の連通の組合せを切替えるように前記ガス切り替えユニットを調節するプラズマ処理装置。 - 請求項2に記載のプラズマ処理装置であって、
前記ガス切り替えユニットが、前記第1のガス供給ライン上に配置され当該第1のガスラインを開閉する第1のバルブ及びこの第1のバルブと前記第1のガス供給ユニットとの間の前記第1のガス供給ラインと前記捨てガスラインとに連結されこれらを連通する第1のバイパスラインと、この第1のバイパスライン上に配置されこれを開閉する第2のバルブと、前記第2のガス供給ライン上に配置され当該第2のガスラインを開閉する第3のバルブ及びこの第3のバルブと前記第2のガス供給ユニットとの間の前記第2のガス供給ラインと前記捨てガスラインとに連結されこれらを連通する第2のバイパスラインと、この第2のバイパスライン上に配置されこれを開閉する第4のバルブとを備え、前記制御部からの指令信号に応じて前記第1、第2、第3、第4のバルブが開閉を切替えられて前記第1及び第2のガス供給ラインと前記処理室及び前記捨てガスラインとの間の連通の組合せが切り替えられるプラズマ処理装置。 - 請求項1乃至3の何れかに記載のプラズマ処理装置であって、
前記真空容器に取り付けられ前記処理室と前記第1のガス供給ラインとの間を連結して連通するガス導入ライン上に配置され当該ガス導入ライン内の圧力を検知する第1の圧力計と、前記捨てガスライン上に配置され当該捨てガスライン内の圧力を検知する第2の圧力計及びこの捨てガスライン上に配置され内部の開度を可変に調節する可変バルブとを備え、前記制御部により前記第1及び第2の圧力が等しくなるように前記可変バルブの動作が調節されるプラズマ処理装置。 - 請求項4に記載のプラズマ処理装置であって、
前記第1のガス供給ラインと前記第一のバイパスラインとの連結部から当該第1のガス供給ラインを通り前記ガス導入ライン上の前記第1の圧力計が配置された箇所までの配管の長さおよび当該長さ方向の内径の推移が、前記連結部から前記第一のバイパスラインを通り前記捨てガスライン上の前記第2の圧力計が配置された箇所までの配管及び内径の推移と等しくされたプラズマ処理装置。 - 請求項1乃至5の何れかに記載のプラズマ処理装置であって、
前記繋ステップ中に前記繋ステップ用ガスが供給される前記処理室内の圧力および前記試料台内部に配置された電極に供給される高周波電力の設定値が前記2つの処理ステップのうちの次の処理ステップの前記処理室内の圧力に合わせて調節されるプラズマ処理装置。 - 真空容器内部に配置され減圧された処理室の下方に配置された試料台上面上方に処理の対象であるウエハを載せて保持し、前記処理室内にプラズマを形成してこのプラズマを用いて前記ウエハを処理するプラズマ処理方法であって、
前記処理が、前記ウエハを2つの処理ステップとこれらの間の繋ぎステップを備え、前記処理の工程において前記2つの処理ステップ及び前記繋ぎステップの間の移行に際して、前記処理ステップ中に前記処理室内に前記処理用のガスを供給する第1のガス供給ユニットからの処理用のガスおよび前記繋ぎステップ中に前記処理室内に繋ぎステップ用のガスを供給する第2のガス供給ユニットからの繋ぎステップ用のガスの処理室への供給を切り替えるものであって、
前記繋ぎステップ中に供給される前記繋ステップ用のガスの流量を前記2つの処理ステップのうち後の処理ステップ中に前記処理室に供給される前記処理用のガスの供給量と等しいと見なせる流量に調節するプラズマ処理方法。 - 請求項7に記載のプラズマ処理方法であって、
前記2つの処理のステップ及び前記繋ぎステップの開始に際して、前記第1のガス供給ユニットと前記処理室との間を連結する第1のガス供給ラインおよび前記第2のガス供給ユニットと前記処理室との間を連結する第2のガス供給ラインと排気ポンプとの間を連結する捨てガスライン及び前記処理室とおよび前記第1及び第2のガス供給ラインとの間の連通の組合せを切替えるプラズマ処理方法。 - 請求項6乃至8の何れかに記載のプラズマ処理方法であって、
前記真空容器に取り付けられ前記処理室と前記第1のガス供給ラインとの間を連結して連通するガス導入ライン上に配置され当該ガス導入ライン内の圧力を検知する第1の圧力計から検出される値と、前記捨てガスライン上に配置され当該捨てガスライン内の圧力を検知する第2の圧力計から検出される値とが等しくなるように前記捨てガスライン上に配置され内部の開度を可変に調節する可変バルブの動作が調節されるプラズマ処理方法。 - 請求項9に記載のプラズマ処理方法であって、
前記第1のガス供給ラインと前記第一のバイパスラインとの連結部から当該第1のガス供給ラインを通り前記ガス導入ライン上の前記第1の圧力計が配置された箇所までの配管の長さおよび当該長さ方向の内径の推移が、前記連結部から前記第一のバイパスラインを通り前記捨てガスライン上の前記第2の圧力計が配置された箇所までの配管及び内径の推移と等しくされたプラズマ処理方法。 - 請求項6乃至10の何れかに記載のプラズマ処理方法であって、
前記繋ステップ中に前記繋ステップ用ガスが供給される前記処理室内の圧力および前記試料台内部に配置された電極に供給される高周波電力の設定値が前記2つの処理ステップのうちの次の処理ステップの前記処理室内の圧力に合わせて調節されるプラズマ処理方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017227353A JP6971805B2 (ja) | 2017-11-28 | 2017-11-28 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
KR1020180097163A KR102186773B1 (ko) | 2017-11-28 | 2018-08-21 | 플라스마 처리 장치 및 플라스마 처리 방법 |
TW107130058A TWI717630B (zh) | 2017-11-28 | 2018-08-29 | 電漿處理裝置及電漿處理方法 |
US16/135,437 US11232932B2 (en) | 2017-11-28 | 2018-09-19 | Plasma processing apparatus and plasma processing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017227353A JP6971805B2 (ja) | 2017-11-28 | 2017-11-28 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019096835A true JP2019096835A (ja) | 2019-06-20 |
JP6971805B2 JP6971805B2 (ja) | 2021-11-24 |
Family
ID=66633486
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017227353A Active JP6971805B2 (ja) | 2017-11-28 | 2017-11-28 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11232932B2 (ja) |
JP (1) | JP6971805B2 (ja) |
KR (1) | KR102186773B1 (ja) |
TW (1) | TWI717630B (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10665430B2 (en) * | 2016-07-11 | 2020-05-26 | Tokyo Electron Limited | Gas supply system, substrate processing system and gas supply method |
JP6851510B2 (ja) * | 2019-06-20 | 2021-03-31 | 株式会社日立ハイテク | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
KR102421985B1 (ko) * | 2020-01-23 | 2022-07-18 | 주식회사 히타치하이테크 | 플라스마 처리 장치 및 플라스마 처리 장치의 운전 방법 |
KR20210095798A (ko) * | 2020-01-23 | 2021-08-03 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반응 챔버 압력을 안정화하기 위한 시스템 및 방법 |
CN113767453B (zh) * | 2020-04-03 | 2023-12-12 | 株式会社日立高新技术 | 等离子处理装置以及等离子处理方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007287924A (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 |
JP2008091651A (ja) * | 2006-10-03 | 2008-04-17 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマエッチング装置およびプラズマエッチング方法 |
JP2016105433A (ja) * | 2014-12-01 | 2016-06-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008277666A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Tokyo Electron Ltd | バルブ開閉動作確認方法、ガス処理装置および記憶媒体 |
JP2011166167A (ja) * | 2011-05-16 | 2011-08-25 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマエッチング装置およびプラズマエッチング方法 |
JP2013161913A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP6499835B2 (ja) * | 2014-07-24 | 2019-04-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
JP6346849B2 (ja) * | 2014-08-20 | 2018-06-20 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給系、プラズマ処理装置、及びプラズマ処理装置の運用方法 |
-
2017
- 2017-11-28 JP JP2017227353A patent/JP6971805B2/ja active Active
-
2018
- 2018-08-21 KR KR1020180097163A patent/KR102186773B1/ko active IP Right Grant
- 2018-08-29 TW TW107130058A patent/TWI717630B/zh active
- 2018-09-19 US US16/135,437 patent/US11232932B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007287924A (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 |
JP2008091651A (ja) * | 2006-10-03 | 2008-04-17 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマエッチング装置およびプラズマエッチング方法 |
JP2016105433A (ja) * | 2014-12-01 | 2016-06-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190164725A1 (en) | 2019-05-30 |
US11232932B2 (en) | 2022-01-25 |
JP6971805B2 (ja) | 2021-11-24 |
TW201926402A (zh) | 2019-07-01 |
TWI717630B (zh) | 2021-02-01 |
KR20190062146A (ko) | 2019-06-05 |
KR102186773B1 (ko) | 2020-12-04 |
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A621 | Written request for application examination |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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