JP2019089018A - 純水製造装置の運転方法および純水製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】水の無駄な消費を抑制して節水を実現する。【解決手段】純水製造装置１の運転方法は、被処理水を順次処理して純水を製造する工程と、製造された純水を純水タンク５に貯留する工程とを含み、純水を製造する工程は、逆浸透膜またはナノろ過膜を有する膜ろ過装置３に被処理水を通水して透過水と濃縮水とに分離し、分離された濃縮水を外部に排出する工程を含んでいる。純水を貯留する工程は、純水タンク５からユースポイント６に送水されて使用される純水の使用量に応じて、製造された純水の少なくとも一部を膜ろ過装置３の上流側に還流させることで、純水タンク５に貯留される純水の貯留量を調整することを含み、濃縮水を排出する工程は、少なくとも一部の純水を膜ろ過装置３の上流側に還流させることに連動して、分離された濃縮水の少なくとも一部を膜ろ過装置３の上流側に還流させることで、外部に排出される濃縮水の排水量を調整することを含んでいる。【選択図】図１

Description

本発明は、純水製造装置の運転方法および純水製造装置に関する。

純水製造装置は、一般に、逆浸透膜（ＲＯ膜）またはナノろ過膜（ＮＦ膜）を有する膜ろ過装置を備え、工業用水、井水、市水などの原水を順次処理して純水を製造するものである。純水製造装置で製造される純水は、多くの場合、一旦純水タンクに貯留され、必要に応じて、純水タンクからユースポイントに送水されて使用される。

純水を貯留する純水タンク内には、純水への二酸化炭素（炭酸ガス）の吸収を抑制するために、不活性ガス（例えば窒素）が封入されていることがある（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、ユースポイントでの純水の使用状況に応じて純水タンク内の水位が変動すると、それに伴い、不活性ガスを外部に排出したり、純水タンクに供給したりする必要があるため、不活性ガスの消費量が増加してしまう。そのため、このような純水製造装置では、製造される純水の少なくとも一部を原水タンクに還流させ、純水タンクに供給される純水の供給量を調整することで、純水タンク内の水位を所定の水位に保持することが行われている。

一方、純水製造装置の中には、処理水質のさらなる向上のために、原水を濃縮水と透過水とに分離する膜ろ過装置に加えて、膜ろ過装置で分離された透過水を処理して脱イオン水（純水）を製造する電気式脱イオン水製造装置を備えたものもある。そのような純水製造装置では、運転と停止の繰り返しによる電気式脱イオン水製造装置の劣化を抑制するために、継続的な運転を行うことが求められている。このような理由から、電気式脱イオン水製造装置を備えた純水製造装置では、ユースポイントでの純水の使用状況に応じて、製造される純水を純水タンクに貯留する採水運転と原水タンクに還流させる循環運転とを切り替えて実行することで、継続的な運転が行われている。

特開２０１３−２１５６７９号公報

上述したように、純水製造装置の中には、製造される純水の少なくとも一部を原水タンクに還流させる循環運転が行われているものがある。しかしながら、その循環運転の間、膜ろ過装置で分離される濃縮水は外部に排出され続けるため、ユースポイントでの純水の使用状況にかかわらず、常に一定量の水が無駄に消費されてしまう。このことは、原水の使用量に大きな影響を与え、水の有効利用（節水）の観点から好ましくない。

そこで、本発明の目的は、水の無駄な消費を抑制して節水を実現する純水製造装置の運転方法および純水製造装置を提供することである。

上述した目的を達成するために、本発明の純水製造装置の運転方法は、被処理水を順次処理して純水を製造する工程と、製造された純水を純水タンクに貯留する工程とを含む、純水製造装置の運転方法であって、純水を製造する工程が、逆浸透膜またはナノろ過膜を有する膜ろ過装置に被処理水を通水して透過水と濃縮水とに分離し、分離された濃縮水を外部に排出する工程を含み、純水を貯留する工程が、純水タンクからユースポイントに送水されて使用される純水の使用量に応じて、製造された純水の少なくとも一部を膜ろ過装置の上流側に還流させることで、純水タンクに貯留される純水の貯留量を調整することを含み、濃縮水を排出する工程が、少なくとも一部の純水を膜ろ過装置の上流側に還流させることに連動して、分離された濃縮水の少なくとも一部を膜ろ過装置の上流側に還流させることで、外部に排出される濃縮水の排水量を調整することを含んでいる。

また、本発明の純水製造装置は、被処理水を順次処理して純水を製造する純水製造装置であって、被処理水を透過水と濃縮水とに分離する逆浸透膜またはナノろ過膜を有する膜ろ過装置と、純水製造装置で製造された純水を貯留する純水タンクからユースポイントに送水されて使用される純水の使用量を検出する純水使用量検出手段と、純水製造装置の運転を制御する制御部と、を有し、制御部が、純水使用量検出手段の検出結果に基づいて、純水製造装置で製造された純水の少なくとも一部を膜ろ過装置の上流側に還流させることで、純水タンクに供給される純水の供給量を調整するとともに、少なくとも一部の純水を膜ろ過装置の上流側に還流させることに連動して、膜ろ過装置で分離された濃縮水の少なくとも一部を膜ろ過装置の上流側に還流させることで、膜ろ過装置から外部に排出される濃縮水の排水量を調整する。

このような純水製造装置の運転方法および純水製造装置によれば、ユースポイントでの純水の使用量に応じて、膜ろ過装置から外部に排出される濃縮水の排水量を調整することができる。したがって、例えば、ユースポイントで純水の需要がないときや少ないときにも、それに応じて濃縮水の排水量を低減することができ、その結果、水の無駄な消費を抑制することができる。

以上、本発明によれば、水の無駄な消費を抑制して節水を実現する純水製造装置の運転方法および純水製造装置を提供することができる。

本発明の第１の実施形態に係る純水製造装置の構成を示す概略図である。 本発明の第２の実施形態に係る純水製造装置の構成を示す概略図である。

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。

（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る純水製造装置の構成を示す概略図である。

純水製造装置１は、被処理水（原水）を順次処理して純水を製造するものであり、原水タンク２と、第１の膜ろ過装置３と、第２の膜ろ過装置４とを有している。純水製造装置１で製造された純水は、純水タンク５に貯留され、必要に応じて、純水タンク５からユースポイント６に送水されて使用される。さらに、純水製造装置１は、純水製造装置１の運転を制御する制御部７を有している。

第１の膜ろ過装置３および第２の膜ろ過装置４はそれぞれ、被処理水を濃縮水と透過水とに分離する逆浸透膜（ＲＯ膜）またはナノろ過膜（ＮＦ膜）を有している。第１の膜ろ過装置３は、原水タンク２から供給される原水を、不純物を含む濃縮水と、不純物が除去された透過水とに分離し、第２の膜ろ過装置４は、第１の膜ろ過装置３で分離された透過水をさらに処理し、濃縮水と、純水としての透過水とに分離する。

第１の膜ろ過装置３には、原水タンク２から第１の膜ろ過装置３に原水を供給する供給ラインＬ１と、第１の膜ろ過装置３からの透過水を流通させる透過水ラインＬ２と、第１の膜ろ過装置３からの濃縮水を流通させる濃縮水ラインＬ３とが接続されている。供給ラインＬ１には、加圧ポンプ１１が設けられ、加圧ポンプ１１は、インバータ（図示せず）によって回転数が制御されるようになっており、第１の膜ろ過装置３への原水の供給圧力を調整する機能を有している。濃縮水ラインＬ３は、濃縮水ラインＬ３を流れる濃縮水を外部へ排出する排水ラインＬ４と、濃縮水ラインＬ３を流れる濃縮水を原水タンク２に還流させる還流水ラインＬ５とに分岐している。この分岐点には、開度調整可能な三方制御弁２１が設けられている。これにより、濃縮水ラインＬ３を流れる濃縮水の少なくとも一部を、還流水ラインＬ５を通じて原水タンク２に還流させることで、排水ラインＬ４を通じて外部に排出される濃縮水の排水量を調整することが可能になる。原水タンク２には、原水供給ラインＬ６が接続され、必要に応じて原水が供給されるようになっている。なお、原水タンク２は必ずしも設けられている必要はなく、その場合、還流水ラインＬ５は、加圧ポンプ１１の上流側で供給ラインＬ１に直接接続されていてもよい。

第２の膜ろ過装置４には、第１の膜ろ過装置３から第２の膜ろ過装置４に被処理水としての透過水を供給する透過水ラインＬ２と、第２の膜ろ過装置４からの透過水（純水）を流通させる純水ラインＬ７と、第２の膜ろ過装置４からの濃縮水を流通させる濃縮水ライン（図示せず）とが接続されている。純水ラインＬ７は、純水ラインＬ７を流れる純水を純水タンク５に供給する純水供給ラインＬ８と、純水ラインＬ７を流れる純水を原水タンク２に還流させる純水還流ラインＬ９とに分岐している。この分岐点には、開度調整可能な三方制御弁２２が設けられている。これにより、純水ラインＬ７を流れる純水の少なくとも一部を、純水還流ラインＬ９を通じて原水タンク２に還流させることで、純水供給ラインＬ８を通じて純水タンク５に供給される純水の供給量を調整することが可能になる。第２の膜ろ過装置４に接続された濃縮水ラインは、第２の膜ろ過装置４からの濃縮水の全てを原水タンク２に還流させるために、原水タンク２に接続されている。

純水タンク５とユースポイント６は、送水ラインＬ９によって接続され、送水ラインＬ９には、純水タンク５内の純水をユースポイント６に送水する送水ポンプ１２が設けられている。純水タンク５からユースポイント６に純水が送水されて使用されると、それに応じて、純水タンク５内の水位は変化する。そこで、本実施形態では、ユースポイント６での純水の使用量を直接検出する代わりに、純水タンク５内の水位を検出するために、純水タンク５に水位センサ１３が設けられている。また、純水タンク５には、純水タンク５内の純水への二酸化炭素（炭酸ガス）の吸収を抑制するために、不活性ガス（例えば窒素）を供給する不活性ガス供給ラインＬ１０が接続されている。本実施形態では、後述するように、制御部７によって純水タンク５内の水位はほぼ一定に保持されるため、水位変動による不活性ガスの消費量が大幅に増加するおそれはない。なお、純水タンク５内の純水への二酸化炭素（炭酸ガス）の吸収を抑制する手段が別途設けられていれば、不活性ガス供給ラインＬ１０は省略されていてもよい。

制御部７は、純水タンク５からユースポイント６に送水されて使用される純水の使用量に応じて、２つの三方制御弁２１，２２を連動して作動させ、純水タンク５に貯留される純水の貯留量を調整するとともに、第１の膜ろ過装置３から外部に排出される濃縮水の排水量を調整する機能を有している。

具体的には、水位センサ１３で検出される純水タンク５内の水位が所定の水位になるように、三方制御弁２２の開度が調整され、純水還流ラインＬ９を通じて原水タンク２に還流する純水の還流量、すなわち、純水供給ラインＬ８を通じて純水タンク５に供給される純水の供給量が調整される。例えば、ユースポイント６での純水の使用量が増加して純水タンク５内の水位が低下すると、原水タンク２への還流量を減少させることで純水タンク５に供給される純水の供給量が増加するように、三方制御弁２２の開度が調整される。また、ユースポイント６での純水の使用量が減少して純水タンク５内の水位が上昇すると、原水タンク２への還流量を増加させることで純水タンク５に供給される純水の供給量が減少するように、三方制御弁２２の開度が調整される。こうして、ユースポイント６での純水の使用状況にかかわらず、純水タンク５内の水位が所定の水位に保持される。

一方、これに連動して、三方制御弁２１の開度も調整され、還流水ラインＬ５を通じて原水タンク２に還流する濃縮水の還流量、すなわち、排水ラインＬ４を通じて外部に排出される濃縮水の排水量も調整される。例えば、ユースポイント６での純水の使用量が増加すると、上述したように原水タンク２への純水の還流量が減少するが、それに応じて、原水タンク２への濃縮水の還流量も減少するように、三方制御弁２１の開度が調整される。すなわち、ユースポイント６での純水の使用量が増加すると、外部への濃縮水の排水量も増加するように、三方制御弁２１の開度が調整される。また、ユースポイント６での純水の使用量が減少すると、上述したように原水タンク２への純水の還流量が増加するが、それに応じて、原水タンク２への濃縮水の還流量も増加するように、三方制御弁２１の開度が調整される。すなわち、ユースポイント６での純水の使用量が減少すると、外部への濃縮水の排水量も減少するように、三方制御弁２１の開度が調整される。

このように、本実施形態では、ユースポイント６での純水の使用量に応じて、第１の膜ろ過装置３から排水ラインＬ４を通じて外部に排出される濃縮水の排水量を調整することができる。したがって、例えば、ユースポイント６で純水の需要がないときや少ないときにも、それに応じて濃縮水の排水量を低減することができ、その結果、水の無駄な消費を抑制することができる。

ところで、還流水ラインＬ５を通じて原水タンク２に還流する濃縮水の還流量が、純水還流ラインＬ９を通じて原水タンク２に還流する純水の還流量よりも多くなると、原水タンク２内の原水の濃縮が進行するおそれがある。その場合、第１の膜ろ過装置３のＲＯ膜またはＮＦ膜の膜面に不純物が析出するスケーリングが発生しやすくなる。そのため、２つの三方制御弁２１，２２の開度調整は、原水タンク２への濃縮水の還流量が、原水タンク２への純水の還流量と同じか、それよりも少なくなるように行われることが好ましい。これにより、原水の濃縮によるスケーリングのリスクを回避することができる。

なお、２つの三方制御弁２１，２２が同じ開度であっても、配管の圧力損失などの関係から、還流水ラインＬ５を通じた原水タンク２への濃縮水の還流量が、純水還流ラインＬ９を通じた原水タンク２への純水の還流量と同じになるとは限らない。したがって、例えば、純水ラインＬ７の三方制御弁２２の開度に対して濃縮水ラインＬ３の三方制御弁２１の開度がどの程度のときに還流量が同じになるのかを実験などにより予め求めておき、その対応関係に基づいて、濃縮水ラインＬ３の三方制御弁２１の開度調整を行うことが好ましい。そのため、濃縮水ラインＬ３の三方制御弁２１は、純水タンク５内の水位にではなく、純水ラインＬ７の三方制御弁２２の開度に応じて開度調整されてもよく、その場合、純水ラインＬ７の三方制御弁２２の開度に対して非線形（例えば階段状）に開閉するようになっていてもよい。

本実施形態では、純水ラインＬ７の三方制御弁２２の開度調整、すなわち、純水タンク５への純水の供給量の調整は、純水タンク５内の水位に基づいて行われているが、これに限定されず、例えば、純水タンク５からユースポイント６への純水の送水量に基づいて行われるようになっていてもよい。

また、本実施形態では、純水タンク２への純水の供給量を調整するために、純水ラインＬ７と純水供給ラインＬ８および純水還流ラインＬ９との分岐点に三方制御弁２２が設けられているが、純水タンク２への純水の供給量を調整する手段としては、これに限定されるものではない。例えば、純水供給ラインＬ８および純水還流ラインＬ９にそれぞれ流量調整機構が設けられ、各ラインＬ８，Ｌ９を流れる純水の流量が調整されるようになっていてもよい。そのような流量調整機構としては、例えば、互いに並列に配置され、選択的に開閉可能な複数の自動弁などが挙げられる。同様に、濃縮水ラインＬ３の三方制御弁２１の代わりに、排水ラインＬ４および還流水ラインＬ５にそれぞれ他の流量調整機構が設けられていてもよい。

また、本実施形態では、２つの膜ろ過装置３，４が設けられているが、膜ろ過装置の数はこれに限定されるものではない。例えば、第２の膜ろ過装置４が省略されていてもよく、あるいは、第２の膜ろ過装置４の下流側に１つ以上の別の膜ろ過装置が設けられていてもよい。

（第２の実施形態）
図２は、本発明の第２の実施形態に係る純水製造装置の構成を示す概略図である。以下、第１の実施形態と同様の構成については、図面に同じ符号を付してその説明を省略し、第１の実施形態と異なる構成のみ説明する。

本実施形態は、第１の実施形態の変形例であり、電気式脱イオン水製造装置８がさらに追加されている点で、第１の実施形態と異なっている。電気式脱イオン水製造装置８は、第２の膜ろ過装置４の下流側に接続され、第２の膜ろ過装置４で分離された透過水を被処理水として処理し、脱イオン水（純水）を製造するものである。すなわち、電気式脱イオン水製造装置８の上流側には、第２の膜ろ過装置４からの透過水を流通させる第２の透過水ラインＬ１２が接続され、下流側には、純水ラインＬ７が接続されている。

電気式脱イオン水製造装置８は、イオン交換体による被処理水の脱イオン化（脱塩）処理と、イオン交換体の再生処理とを同時に行う装置である。電気式脱イオン水製造装置８は、一例として、陽極および陰極と、陽極および陰極の間に配置され、カチオン交換体とアニオン交換体との少なくとも一方が充填された脱塩室と、イオン交換膜を介して脱塩室の両側に配置された一対の濃縮室とを有している。第２の膜ろ過装置４から供給される透過水は、脱塩室に通水されてイオン成分が除去され、処理水（脱イオン水）として脱塩室から流出し、純水ラインＬ７を通じて純水タンク５に供給される。一方、脱塩室で除去されたイオン成分は、両極間に直流電圧が印加されることで発生する電位差により、脱塩室に隣接する濃縮室に移動し、濃縮室に供給される濃縮水に取り込まれて外部に排出される。なお、脱塩室では、水解離反応（水が水素イオンと水酸化物イオンとに解離する反応）が連続的に進行しており、これら水素イオンおよび水酸化物イオンが脱塩室内のイオン交換体に吸着したイオン成分と交換されて、脱塩室内のイオン交換体が再生される。

さらに、本実施形態では、電気式脱イオン水製造装置８の追加に伴い、第１の実施形態の２つの三方制御弁２１，２２の代わりに、４つの自動弁２３〜２６が設けられている。具体的には、濃縮水ラインＬ３の三方制御弁２１の代わりに、排水ラインＬ４および還流水ラインＬ５にそれぞれ自動弁２３，２４が設けられ、純水ラインＬ７の三方制御弁２２の代わりに、純水供給ラインＬ８および純水還流ラインＬ９にそれぞれ自動弁２５，２６が設けられている。

本実施形態では、このような構成の追加・変更に伴い、制御部７による純水製造装置１の運転制御も第１の実施形態と異なっている。具体的には、制御部７は、純水タンク５内の水位に応じて、２つの運転モード、すなわち、採水運転モードと循環運転モードを切り替えて実行する。

採水運転モードは、純水製造装置１で製造された純水を純水タンク５に貯留するための運転モードであり、循環運転モードは、製造された純水を純水タンク５に貯留せずに、原水タンク２に還流させるための運転モードである。採水運転モードでは、純水供給ラインＬ８の自動弁２５が開放され、純水還流ラインＬ９の自動弁２６が閉鎖される。一方、循環運転モードでは、純水供給ラインＬ８の自動弁２５が閉鎖され、純水還流ラインＬ９の自動弁２６が開放される。

採水運転モードは、水位センサ１３で検出された純水タンク５内の水位が所定の下限水位以下になった場合に実行され、循環運転モードは、水位センサ１３で検出された純水タンク５内の水位が所定の上限水位以上になった場合に実行される。すなわち、純水タンク５内の水位が所定の上限水位を上回った場合に、採水運転モードから循環運転モードへの切り替えが行われ、純水タンク５内の水位が所定の下限水位を下回った場合に、循環運転モードから採水運転モードへの切り替えが行われる。こうして、ユースポイント６での純水の使用状況にかかわらず、純水製造装置１を継続的に運転することが可能になる。

また、採水運転モードと循環運転モードとの切り替え時には、純水供給ラインＬ８の自動弁２５と純水還流ラインＬ９の自動弁２６の開閉に連動して、排水ラインＬ４の自動弁２３と還流水ラインＬ５の自動弁２４が開閉される。すなわち、採水運転モードでは、純水供給ラインＬ８の自動弁２５が開放することに連動して、排水ラインＬ４の自動弁２３が開放され、純水還流ラインＬ９の自動弁２６が閉鎖することに連動して、還流水ラインＬ５の自動弁２４が閉鎖される。また、循環運転モードでは、純水供給ラインＬ８の自動弁２５が閉鎖することに連動して、排水ラインＬ４の自動弁２３が閉鎖され、純水還流ラインＬ９の自動弁２６が開放することに連動して、還流水ラインＬ５の自動弁２４が開放される。

これにより、本実施形態では、第１の実施形態と同様に、ユースポイント６での純水の使用量に応じて、第１の膜ろ過装置３から排水ラインＬ４を通じて外部に排出される濃縮水の排水量を調整することができる。すなわち、例えばユースポイント６で純水の需要がないときなど、純水タンク５内の水位が変動しない場合には、循環運転モードが実行され、排水ラインＬ４の自動弁２３が閉鎖される。こうして、排水ラインＬ４を通じた外部への濃縮水の排水が停止され、濃縮水の排水量を低減することができる。なお、循環運転モードでは、濃縮水ラインＬ３を流れる濃縮水は全て原水タンク２に還流するが、このときの還流量は、第１の実施形態と同様に、純水還流ラインＬ９を通じた原水タンク２への純水の還流量と同じか、それよりも少ないことが好ましい。そのために、本実施形態では、還流水ラインＬ５に開度調整可能な手動弁が別途設けられていることが好ましい。あるいは、濃縮水の全てを原水タンク２に還流する代わりに、自動弁２３，２４の開閉を調整して、その一部を外部に排出することで、原水タンク２への濃縮水の還流量を調整するようになっていてもよい。

本実施形態では、純水供給ラインＬ８および純水還流ラインＬ９にそれぞれ自動弁２５，２６が設けられ、純水ラインＬ７を流れる純水が純水供給ラインＬ８と純水還流ラインＬ９のどちらか一方を流れるようになっているが、純水ラインＬ７を流れる純水の流路を切り替える手段としては、これに限定されるものではない。例えば、純水ラインＬ７と純水供給ラインＬ８および純水還流ラインＬ９との分岐点に、純水ラインＬ７を流れる純水の流路を純水供給ラインＬ８と純水還流ラインＬ９とに切り替える三方弁が設けられていてもよい。同様に、排水ラインＬ４および還流水ラインＬ５に設けられた２つの自動弁２３，２４の代わりに、濃縮水ラインＬ３とそれらのラインＬ４，Ｌ５との分岐点に、濃縮水ラインＬ３を流れる濃縮水の流路を排水ラインＬ４と還流水ラインＬ５とに切り替える三方弁が設けられていてもよい。

１ 純水製造装置
２ 原水タンク
３ 第１の膜ろ過装置
４ 第２の膜ろ過装置
５ 純水タンク
６ ユースポイント
７ 制御部
８ 電気式脱イオン水製造装置
１１ 加圧ポンプ
１２ 送水ポンプ
１３ 水位センサ
Ｌ１ 供給ライン
Ｌ２ 透過水ライン（第１の透過水ライン）
Ｌ３ 濃縮水ライン
Ｌ４ 排水ライン
Ｌ５ 還流水ライン
Ｌ６ 原水供給ライン
Ｌ７ 純水ライン
Ｌ８ 純水還流ライン
Ｌ９ 純水還流ライン
Ｌ１０ 送水ライン
Ｌ１１ 第２の透過水ライン

Claims (11)

1. 被処理水を順次処理して純水を製造する工程と、前記製造された純水を純水タンクに貯留する工程とを含む、純水製造装置の運転方法であって、
   前記純水を製造する工程が、逆浸透膜またはナノろ過膜を有する膜ろ過装置に被処理水を通水して透過水と濃縮水とに分離し、該分離された濃縮水を外部に排出する工程を含み、
   前記純水を貯留する工程が、前記純水タンクからユースポイントに送水されて使用される純水の使用量に応じて、前記製造された純水の少なくとも一部を前記膜ろ過装置の上流側に還流させることで、前記純水タンクに貯留される純水の貯留量を調整することを含み、
   前記濃縮水を排出する工程が、前記少なくとも一部の純水を前記膜ろ過装置の上流側に還流させることに連動して、前記分離された濃縮水の少なくとも一部を前記膜ろ過装置の上流側に還流させることで、外部に排出される濃縮水の排水量を調整することを含む、純水製造装置の運転方法。
2. 前記純水を貯留する工程が、前記純水タンク内の水位に応じて、前記少なくとも一部の純水を前記膜ろ過装置の上流側に還流させることで、前記純水の貯留量を調整することを含む、請求項１に記載の純水製造装置の運転方法。
3. 前記膜ろ過装置の上流側に還流させる濃縮水の還流量が、前記膜ろ過装置の上流側に還流させる純水の還流量と同じか、それよりも少ない、請求項１または２に記載の純水製造装置の運転方法。
4. 前記純水を製造する工程が、前記膜ろ過装置で分離された透過水を電気式脱イオン水製造装置に通水して脱イオン水を製造する工程をさらに含む、請求項１から３のいずれか１項に記載の純水製造装置の運転方法。
5. 前記純水を貯留する工程が、前記純水の使用量に応じて、前記製造された純水の全部を前記膜ろ過装置の上流側に還流させることで、前記純水の貯留量を調整することを含み、
   前記濃縮水を排出する工程が、前記全部の純水を前記膜ろ過装置の上流側に還流させることに連動して、前記分離された濃縮水の全部を前記膜ろ過装置の上流側に還流させることで、前記濃縮水の排水量を調整することを含む、請求項４に記載の純水製造装置の運転方法。
6. 被処理水を順次処理して純水を製造する純水製造装置であって、
   被処理水を透過水と濃縮水とに分離する逆浸透膜またはナノろ過膜を有する膜ろ過装置と、
   前記純水製造装置で製造された純水を貯留する純水タンクからユースポイントに送水されて使用される純水の使用量を検出する純水使用量検出手段と、
   前記純水製造装置の運転を制御する制御部と、を有し、
   前記制御部が、前記純水使用量検出手段の検出結果に基づいて、前記純水製造装置で製造された純水の少なくとも一部を前記膜ろ過装置の上流側に還流させることで、前記純水タンクに貯留される純水の供給量を調整するとともに、前記少なくとも一部の純水を前記膜ろ過装置の上流側に還流させることに連動して、前記膜ろ過装置で分離された濃縮水の少なくとも一部を前記膜ろ過装置の上流側に還流させることで、前記膜ろ過装置から外部に排出される濃縮水の排水量を調整する、純水製造装置。
7. 前記純水使用量検出手段が、前記純水タンク内の水位を検出する手段である、請求項６に記載の純水製造装置。
8. 前記制御部は、前記膜ろ過装置の上流側に還流させる濃縮水の還流量が、前記膜ろ過装置の上流側に還流させる純水の還流量と同じか、それよりも少なくなるように、前記少なくとも一部の濃縮水を前記膜ろ過装置の上流側に還流させる、請求項６または７に記載の純水製造装置。
9. 前記膜ろ過装置の下流側に接続され、前記膜ろ過装置で分離された透過水が供給される電気式脱イオン水製造装置をさらに有する、請求項６から８のいずれか１項に記載の純水製造装置。
10. 前記制御部が、前記純水使用量検出手段の検出結果に基づいて、前記純水製造装置で製造された純水の全部を前記膜ろ過装置の上流側に還流させることで、前記純水の貯留量を調整するとともに、前記全部の純水を前記膜ろ過装置の上流側に還流させることに連動して、前記膜ろ過装置で分離された濃縮水の全部を前記膜ろ過装置の上流側に還流させることで、前記濃縮水の排水量を調整する、請求項９に記載の純水製造装置。
11. 前記純水タンクに不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段を有する、請求項６から１０のいずれか１項に記載の純水製造装置。