JP2019087612A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】トレンチゲートを備える半導体装置において、トレンチの側面のうちの必要な区間にp型の接続領域を選択的に形成する技術を提供する。【解決手段】トレンチゲート20を備える半導体装置10の製造方法であって、半導体基板12にトレンチ14を形成するトレンチ形成工程であって、トレンチ14の側面14aが、第1側面と、第1側面よりも傾斜角の大きい第2側面と、を有する、トレンチ形成工程と、トレンチ14内に向けてp型不純物を照射し、トレンチ14の底面14bと第2側面にp型不純物を導入する不純物導入工程と、トレンチ14内にトレンチゲートを形成するトレンチゲート形成工程と、を備える。【選択図】図3
Description
本明細書が開示する技術は、トレンチゲートを備える半導体装置の製造方法に関する。
特許文献1は、トレンチゲートを備える半導体装置を開示する。この半導体装置は、トレンチゲートの底面の電界を緩和するために、トレンチゲートの底面に接するp型の電界緩和領域を備えている。また、この半導体装置は、p型の電界緩和領域とp型のボディ領域を接続するために、トレンチゲートの側面の一部に沿って設けられているp型の接続領域を備えている。このようなp型の接続領域が設けられていると、半導体装置がターンオンしたときに、ボディ層から接続領域を介して電界緩和領域にホールが速やかに注入される。これにより、電界緩和領域のチャージアップが抑制される。
トレンチゲートの側面にp型の接続領域が形成されている区間は、チャネルが形成されない区間となる。このため、半導体装置のオン抵抗の増大を抑えるために、p型の接続領域は、トレンチゲートの側面の必要な区間に選択的に形成されなければならない。
特許文献1は、斜めイオン注入技術を利用して、トレンチゲートの長手方向の端部の側面にp型不純物を導入し、p型の接続領域を形成する方法を開示する。より確実に、トレンチゲートの側面のうちの必要な区間にp型の接続領域を選択的に形成する技術が必要とされている。
本明細書は、トレンチゲートを備える半導体装置の製造方法を開示する。この製造方法は、トレンチ形成工程、不純物導入工程及びトレンチゲート形成工程を備えることができる。トレンチ形成工程では、半導体基板にトレンチを形成する。トレンチの側面が、第1側面と、第1側面よりも傾斜角の大きい第2側面と、を有する。ここで、トレンチの側面の傾倒角とは、トレンチの深さ方向に対してトレンチの側面が成す角度を意味する。特に、トレンチの側面が深さ方向と平行のときを基準(即ち、傾倒角度をゼロ)とし、トレンチの側面が半導体基板の上面側を向くように傾くほど、傾倒角は大きくなるものとする。したがって、第2側面は、第1側面よりも半導体基板の上面側を向くように傾いている。なお、トレンチの側面が、平面ではなく、曲面で構成されていることもある。この場合、トレンチの側面の傾斜角は、半導体基板の上面とトレンチの側面が接する点とトレンチの側面と底面が接する点を結ぶ仮想平面の傾斜角として定義される。不純物導入工程では、トレンチ内に向けてp型不純物を照射し、トレンチの底面と第2側面にp型不純物を導入する。トレンチゲート形成工程では、トレンチ内にトレンチゲートを形成する。この製造方法では、トレンチ形成工程において、p型の接続領域を形成したくない区間に対応して第1側面を形成し、p型の接続領域を形成したい区間に対応して第2側面を形成する。これにより、不純物導入工程では、トレンチの底面に加えて、p型の接続領域を形成したい区間の第2側面にもp型不純物が選択的に導入される。この製造方法によると、トレンチの側面のうちの必要な区間にp型の接続領域を選択的に形成することができる。
図面を参照して、MOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor)10について説明する。MOSFET10は、特に限定されないが、パワー半導体装置に属するものであり、例えば電動型の自動車において、コンバータやインバータのスイッチング素子として採用することができる。ここでいう電動型の自動車には、例えば、ハイブリッド車、燃料電池車又は電気自動車といった、車輪をモータによって駆動する各種の自動車が含まれる。なお、以下では、MOSFET10を例示して説明するが、本明細書が開示する技術は、他の種類の半導体装置にも適用可能であり、例えばIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)にも適用可能である。
図1、図2、図3に示すように、MOSFET10は、半導体基板12と、半導体基板12の上面12aに設けられたソース電極16と、半導体基板12の下面12bに設けられたドレイン電極18と、複数のトレンチゲート20を備える。半導体基板12の上層部には、複数のトレンチ14が設けられており、各々のトレンチ14内にトレンチゲート20が設けられている。
ここで、半導体基板12の上面12aとは、半導体基板12の一つの表面を意味し、半導体基板12の下面12bとは、半導体基板12の他の一つの表面であって、上面12aとは反対側に位置する表面を意味する。本明細書において、「上面」及び「下面」という表現は、互いに反対側に位置する二つの表面を便宜的に区別するものであり、MOSFET10の製造時や使用時における姿勢を限定するものではない。
本実施例の半導体基板12は、炭化ケイ素(SiC)で構成されたSiC基板である。但し、半導体基板12は、SiC基板に限定されず、シリコン(Si)基板又はその他の半導体材料で構成された半導体基板であってもよい。ソース電極16とドレイン電極18は、導電性を有する材料で構成されている。この材料には、特に限定されないが、Al(アルミニウム)、Ni(ニッケル)、Ti(チタン)、Au(金)といった金属材料を採用することができる。ソース電極16とドレイン電極18の具体的な構成については特に限定されない。ソース電極16は、半導体基板12の上面12aにオーミック接触しており、ドレイン電極18は、半導体基板12の下面12bにオーミック接触している。
トレンチ14の側面14a及び底面14bは、ゲート絶縁膜22で被覆されている。ゲート絶縁膜22は、例えば酸化シリコンといった、絶縁性を有する材料で形成されている。ゲート電極24は、導電性を有する材料で構成されており、その材料には、例えばポリシリコンを採用することができる。ゲート電極24は、ゲート絶縁膜22によって半導体基板12から電気的に絶縁されている。また、ゲート電極24とソース電極16は、層間絶縁膜によって電気的に絶縁されている。
図2、図3に示すように、半導体基板12は、ドレイン層32、ドリフト層34、ボディ層36、及び、ソース領域38を備える。ドレイン層32は、n型不純物(例えばリン)がドープされたn型の半導体領域である。ドレイン層32は、半導体基板12の下面12bに沿って位置しており、ドレイン電極18に接触している。ドレイン層32におけるn型不純物の濃度は十分に高く、ドレイン電極18はドレイン層32にオーミック接触している。なお、ドレイン層32の厚みや、そのn型不純物の濃度については、特に限定されず、適宜設計することができる。
ドリフト層34は、n型不純物がドープされたn型の半導体領域である。ドリフト層34は、ドレイン層32上に積層されており、半導体基板12の全体に亘って広がっている。ドリフト層34におけるn型不純物の濃度は、ドレイン層32におけるn型不純物の濃度よりも低い。なお、ドリフト層34の厚みや、n型不純物の具体的な濃度については、特に限定されず、適宜設計することができる。
ボディ層36は、p型不純物(例えばAl)がドープされたp型の半導体領域である。ボディ層36は、ドリフト層34上に積層されており、半導体基板12の全体に亘って広がっている。ボディ層36は、半導体基板12の上面12aにおいて、ソース電極16に接触している。ここで、ボディ層36のうち、ソース電極16に接触する部分36a(コンタクト領域又はボディコンタクト領域と称されることがある)では、p型不純物の濃度が高められており、これによってソース電極16はボディ層36にオーミック接触している。なお、ボディ層36の厚みや、そのp型不純物の具体的なの濃度については、特に限定されず、適宜設計することができる。
ソース領域38は、n型不純物がドープされたn型の半導体領域である。ソース領域38は、半導体基板12の上面12aに沿って設けられており、ソース電極16に接触している。一例ではあるが、本実施例では複数のソース領域38がストライプ状に形成されており、各々のソース領域38は、トレンチ14の長手方向と直交する方向に延びている。従って、半導体基板12の上面12aでは、トレンチ14の長手方向に沿って、ボディ層36とソース領域38とが交互に露出しており、ボディ層36とソース領域38との両者がソース電極16に接触している。また、ソース領域38は、トレンチ14の側面14aにも露出しており、ゲート絶縁膜22を介してゲート電極24に対向している。半導体基板12内では、ソース領域38がボディ層36によって取り囲まれており、ソース領域38がボディ層36を介してドリフト層34から隔離されている。ソース領域38におけるn型不純物の濃度は十分に高く、ソース電極16はソース領域38にオーミック接触している。なお、ソース領域38の形状や、n型不純物の具体的な濃度については、特に限定されず、適宜設計することができる。
半導体基板12はさらに、電界緩和領域40と接続領域42を備える。電界緩和領域40は、p型不純物がドープされたp型の半導体領域である。電界緩和領域40は、ドリフト層34内に位置しており、トレンチ14の底面14bに沿って設けられている。電界緩和領域40は、後述する接続領域42とともに、トレンチ14の底面14bの近傍における電界強度を緩和するために設けられている。なお、電界緩和領域40の形状や、p型不純物の具体的な濃度については、特に限定されず、適宜設計することができる。
接続領域42は、p型不純物がドープされたp型の半導体領域である。接続領域42は、トレンチ14の側面14aに沿って、ボディ層36と電界緩和領域40との間を延びている。これにより、電界緩和領域40は、接続領域42及びボディ層36を介して、ソース電極16と電気的に接続されている。ここで、図2、図3から理解されるように、接続領域42は、トレンチ14の長手方向における一部の区間にのみ設けられている。本明細書では、接続領域42が設けられている区間を接続区間という。その他の区間では、図2に示すように、接続領域42が設けられていない。これにより、接続領域42が設けられていない区間では、MOSFET10がターンオンしたときに、ソース領域38からドリフト層34へキャリアが流れるチャネルが形成される。本明細書では、接続領域42が設けられていない区間をMOS区間という。
MOSFET10では、MOS区間(図2参照)に対応するトレンチゲート20のトレンチ14の側面14aの傾斜角よりも、接続区間(図3参照)に対応するトレンチゲート20のトレンチ14の側面14aの傾斜角が大きく形成されている。ここで、トレンチ14の側面14aの傾倒角とは、トレンチ14の深さ方向に対してトレンチ14の側面14aが成す角度を意味する。特に、トレンチ14の側面14aが深さ方向と平行のときを基準(即ち、傾倒角度をゼロ)とし、トレンチ14の側面14aが半導体基板12の上面12a側を向くように傾くほど、即ち、トレンチ14が半導体基板12の深部に向けて先細りのテーパ状になるほど、傾倒角度は大きくなるものとする。なお、図3に示されるように、より詳細には、トレンチ14の側面14aが曲面で構成されている。このような場合、トレンチ14の側面14aの傾斜角は、半導体基板12の上面12aとトレンチの側面14aが接する点P1とトレンチ14の側面14aと底面14bが接する点P2を結ぶ仮想平面の傾斜角として定義される。なお、半導体基板12の上面12aとトレンチ14の底面14bは平行である。
次に、図4A−図4Fを参照して、トレンチゲート20を形成する方法を説明する。以下、本明細書が開示する技術の理解を助けるために、MOS区間と接続区間の要部断面図を並べて図示する。
まず、図4Aに示されるように、半導体基板12の上面12aを被覆するように第1マスク52を成膜する。第1マスク52には、トレンチ形成範囲に対応して開口52aが形成されている。第1マスク52には、後述の等方性エッチングでエッチング可能な材料が用いられている。この例では、第1マスク52の材料は、酸化シリコンである。なお、この例では、半導体基板12の表層部にボディ層36及びソース領域38が予め形成されているが、これらはトレンチゲート20を形成した後に形成されてもよい。
次に、図4Bに示されるように、第1マスク52を被覆するように第2マスク54を成膜する。接続区間において、第2マスク54には、第1マスク52の開口52aに隣接する位置に開口54aが形成されている。第2マスク54には、後述の等方性エッチングでエッチングされない材料が用いられている。この例では、第2マスク54の材料は、フォトレジストである。
次に、図4Cに示されるように、第2マスク54の開口54aから露出する第1マスク52を等方性エッチングする。MOS区間の第2マスク54には開口54aが形成されていないので、MOS区間の第1マスク52はエッチングされない。この等方性エッチングは、半導体基板12の上面12aが露出するまで行う。これにより、接続区間の第1マスク52は、開口52aを画定する端面がなだらかなテーパ状に加工される。
次に、図4Dに示されるように、第2マスク54を選択的に剥離する。このとき、第1マスク52に影響を及ぼさない薬液が用いられる。この例では、第2マスク54を選択的に剥離するのにN−メチルピロリドン(NMP)が用いられる。
次に、図4Eに示されるように、異方性エッチング技術を利用して、第1マスク52の開口52aから露出する半導体基板12の上面12aからドリフト層34に達するトレンチ14を形成する。このとき、接続区間においては、第1マスク52の開口52aを画定する端面がなだらかなテーパ状であったことから、その端面の形状がトレンチ14の側面14aに転写される。これにより、接続区間のトレンチ14の側面14aの傾斜角が、MOS区間のトレンチの側面14aの傾斜角よりも大きくなる。
次に、図4Fに示されるように、イオン注入技術を利用して、トレンチ14内に向けてp型不純物を照射する。イオン注入の入射角は、半導体基板12の上面12aに対して垂直である。これにより、MOS区間と接続区間の双方において、トレンチ14の底面14bにp型不純物が導入され、電界緩和領域40が形成される。さらに、接続区間において、トレンチ14の側面14aにもp型不純物が導入され、接続領域42が形成される。なお、MOS区間のトレンチ14の側面14aにも、p型不純物が導入され得る。しかしながら、導入されるp型不純物量は少なく、そのp型不純物の領域は接続領域42として機能しない、あるいは、後の洗浄工程で十分に除去される。一方、接続区画のトレンチ14の側面14aには、多量のp型不純物が深く導入される。このため、接続区画のトレンチ14の側面14aに接続領域42が選択的に形成される。p型不純物を導入した後に、第1マスク52は、例えばHFエッチング技術を利用して除去される。その後、既知の製造技術を利用して、トレンチ14内にトレンチゲートが形成される。
このように、接続区間に形成されるトレンチ14の側面14aの傾斜角をMOS区間に形成されるトレンチ14の側面14aの傾斜角よりも大きくすることにより、接続区間のトレンチ14の側面14aにp型の接続領域42を選択的に形成することができる。なお、MOS区間に形成されるトレンチ14の側面14aが本明細書で開示する「第1側面」に対応し、接続区間に形成されるトレンチ14の側面14aが本明細書で開示する「第2側面」に対応する。
上記実施形態では、トレンチゲート20の短手方向の側面の一部に接続領域42が形成される例を説明した。接続領域42は、トレンチゲート20の長手方向の端部の側面にも形成されてもよく、トレンチゲート20の長手方向の端部の側面のみに形成されてもよい。このような場合でも、そのような側面の傾斜角を大きくすることで、接続領域42を選択的に形成することができる。
以上、本技術の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。本明細書又は図面に記載された技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載された組合せに限定されるものではない。また、本明細書又は図面に例示された技術は複数の目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
12:半導体基板
14:トレンチ
14a:側面
14b:底面
16:ソース電極
18:ドレイン電極
20:トレンチゲート
22:ゲート絶縁膜
24:ゲート電極
32:ドレイン層
34:ドリフト層
36:ボディ層
38:ソース領域
40:電界緩和領域
42:接続領域
14:トレンチ
14a:側面
14b:底面
16:ソース電極
18:ドレイン電極
20:トレンチゲート
22:ゲート絶縁膜
24:ゲート電極
32:ドレイン層
34:ドリフト層
36:ボディ層
38:ソース領域
40:電界緩和領域
42:接続領域
Claims (1)
- トレンチゲートを備える半導体装置の製造方法であって、
半導体基板にトレンチを形成するトレンチ形成工程であって、前記トレンチの側面が、第1側面と、前記第1側面よりも傾斜角の大きい第2側面と、を有する、トレンチ形成工程と、
前記トレンチ内に向けてp型不純物を照射し、前記トレンチの底面と前記第2側面に前記p型不純物を導入する不純物導入工程と、
前記トレンチ内に前記トレンチゲートを形成するトレンチゲート形成工程と、を備える、半導体装置の製造方法。
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---|---|---|---|---|
WO2020225943A1 (ja) | 2019-05-07 | 2020-11-12 | 日本精工株式会社 | カム装置、及び部品の製造装置、軸受の製造装置、並びに部品の製造方法及び機械の製造方法、カム装置の小型化方法 |
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