JP2019078747A - 担持体に固定されたスケールを有する装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図示された位置測定装置は、担持体2に固定された、測定目盛11を担持するスケール1を有する装置から成っている。測定目盛11は、例えば、インクリメンタルな目盛であり、この目盛が、位置測定の際に、少なくとも1つの測定方向Xにおいて、位置に依存する走査信号の生成のための走査ユニット3によって、光電子的に走査される。
測定目盛11が、公知の方法で、高精確な、干渉的な位置測定のために利用される、振幅格子、または、位相格子であることは可能である。測定目盛11は、この測定目盛がX方向およびY方向に目盛構造を有しているというやり方で、同様に二次元的な位置測定のためにも形成され得る。
スケール1は、位置測定のために、担持体2に間隔Aを有して保持されている。担持体2は、有利には、スケール1と同じ熱的な膨張係数を有する材料から成っている。
平均的な熱的な膨張係数αは、スケール1および担持体2の、0℃から50℃の温度範囲内において、有利には、ガラス、セラミック、または、いわゆるゼロ膨張(Nullausdehnung)を有する、ゼロデュア(ZERODUR)、シタール(SITAL)および、ユーエルイー(ULE)のようなガラスセラミックの使用において、0.1×10−6K−1よりも小さい、および、材料、例えばインバー(INVAR)の使用において、1.5×10−6K−1よりも小さい。
これら個別部材が、一方の側で、担持体2に載置しており、且つ、他方の側で、スケール1が、これら個別部材の上に載置しているように整向されている。
スケール1は、球形の間隔保持体41によって、この間隔保持体が、一方の側で担持体2に載置し、且つ、他方の側でスケール1が、個別部材の上に載置しているというやり方で、下から支持されている。球形の間隔保持体41は、一方の側で、スケール1に、このスケールの下側面−即ち載置面で−、それぞれに点形状に接触し、且つ、他方の側で、これら球形の間隔保持体が、担持体2に、前記スケール1に向かい合って位置するこの担持体の上側面で、同様に点形状に接触している。このことによって、スケール1の平坦性が、他の媒体によって、不利な影響を及ぼされないことは保証されている。
粘着剤42は、複数の間隔保持体41を、それぞれの粘着点4の容積の内で、位置固定式に固定すること、および、担持体2とスケール1との間の保持力を発生させ、且つ、維持することの目的を有している。
この測定領域は、測定目盛11の領域によって規定されており、この領域が、高精確な位置測定のために利用される。スケール1の厚さBは、その測定目盛面内において測定目盛11が位置する測定目盛面Eと、スケール1が間隔保持体41の上で支持される載置面との間の間隔である。
この構成によって、空気は、スケール1の全面にわたって、通路を介して、均一に外方へと、周囲環境内に放出され得、このことは、スケール1の良好な平坦性を、組み付けの際に、および、同様に測定作業の間じゅう保障する。
これら粘着点は、その際、規則的な格子内において配設されており、この格子において、全ての相対して離間された粘着点4の相互の中心間隔dが同じである。このことは、二次元的に相並んで配置されたそれぞれに3つの粘着点4の中心間隔dが、等辺三角形を画定し、これら三角形の内の1つの三角形が、図2および図3内において描かれていることを意味する。粘着点4のこの二次元的に対称的な分配から、対称的な、且つ、これに伴って特に有利な、機械的な応力の分配も結果として生じる。
粘着点4の外側輪郭は、その際、理想的に、円形である。
1.粘着剤42内へと、間隔保持体41−例示的に、特に球体の様式の個別部材−を混入すること、その際、これら個別部材が、混合物内において、可能な限り均一に分配されているべきである。
2.担持体2またはスケール1の上へと、粘着剤42および混入された個別部材を含む、不連続な粘着点滴の規則的なパターンを載置すること。
全ての粘着点4に関して、可能な限り同じ特性を達成するために、混合物の載置されるべき量は、全ての粘着点滴に関して可能な限り一定であることは留意されるべきである。
3.個別部材が、その際に発生する面圧力によって、間隔保持体41の機能を達成するまで、担持体2とスケール1とを組み付けること。
その際、粘着点4の円形が与えられ、および、粘着剤42の量および間隔保持体41の直径に依存して、同様に粘着点4の所望された直径Dも与えられる。
4.光硬化(UV−光)及び/または熱硬化で、粘着剤42を硬化すること、
の方法のステップを備えている。
測定目盛11に直接的に、向かい合って位置する下からの支持によって、スケール1は、測定作業内において、安定的に担持体2において固定されており、このことは、測定方向Xにおける、並びに、測定目盛面Eに対して垂直方向における、高い剛性を意味する。
2 担持体
3 走査ユニット
4 粘着点
11 測定目盛
41 間隔保持体
42 粘着剤
d 中心間隔
A 間隔
B スケール1の厚さ
D 粘着点4の直径
E 測定目盛面
X 方向、測定方向
Y 方向
Claims (14)
- 担持体(2)に離間されて配設されているスケール(1)を有する装置であって、
前記スケール(1)が、測定目盛(11)を有しており、且つ、平面状に分配され且つ相互に離間されて配設されている粘着点(4)を介して、前記担持体(2)に固定されている様式の上記装置において、
これら粘着点(4)が、それぞれに、粘着剤(42)内において封入された少なくとも3つの間隔保持体(41)を備えていることを特徴とする装置。 - 前記粘着点(4)は、それぞれに3つの相並んで配置された前記粘着点(4)の中心間隔(d)が、等辺三角形を画定するように、同じ相互の前記中心間隔(d)を有して配設されていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 1つの前記粘着点(4)の前記間隔保持体(41)の質量割合は、1から10%までの値であることを特徴とする請求項1または2に記載の装置。
- 前記粘着点(4)は、それぞれに、円形に形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一つに記載の装置。
- 全ての前記粘着点(4)は、同じ直径(D)を有しており、且つ、前記粘着点(4)の前記直径(D)が、前記スケール(1)の厚さ(B)よりも小さいことを特徴とする請求項4に記載の装置。
- 前記粘着点(4)の前記直径(D)は、1mmから3mmまでの値であることを特徴とする請求項4または5に記載の装置。
- 前記粘着点(4)は、相互の中心間隔(d)において配設されており、この中心間隔が、前記スケール(1)の前記厚さ(B)の5倍よりも小さいことを特徴とする請求項1から6のいずれか一つに記載の装置。
- 前記粘着点(4)は、前記スケール(1)の、測定領域を規定する前記測定目盛(11)に向かい合って位置して配設されていることを特徴とする請求項1から7のいずれか一つに記載の装置。
- 前記粘着点(4)は、これら粘着点が、外方へと案内する通路を形成する、相互の自由空間を有しているように、相互に離間されて配設されていることを特徴とする請求項1から8のいずれか一つに記載の装置。
- 前記担持体(2)と前記スケール(1)との材料は、同じ熱的な膨張係数を有していることを特徴とする請求項1から9のいずれか一つに記載の装置。
- 前記担持体(2)と前記スケール(1)のと前記膨張係数は、1.5×10−6K−1よりも小さい、有利には、0.1×10−6K−1よりも小さいことを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記間隔保持体(41)は、粘着剤(42)内において結合された個別部材であり、および、これら個別部材が、一方の側で、前記担持体(2)に載置しており、且つ、他方の側で、前記スケール(1)がこれら個別部材の上に載置していることを特徴とする請求項1から11のいずれか一つに記載の装置。
- 前記個別部材の材料は、ガラス、セラミック、または、ガラスセラミックであることを特徴とする請求項1から12のいずれか一つに記載の装置。
- 前記個別部材の材料は、球体であることを特徴とする請求項12または13に記載の装置。
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