JP2019078747A - Device having scale attached to carrier - Google Patents

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Abstract

To provide a device having a scale attached to a carrier in which the scale is held to the carrier with as little drift as possible, so that this scale enables high-accuracy position measurement.SOLUTION: In accordance with the present invention, a scale 1 is held to a carrier 2 via an arrangement of adhesive dots 4. Each of the adhesive dots 4 is composed of an adhesive 42 having spherical spacers 41 mixed in the adhesive. In the manner that the spacers 41 rest directly on the carrier 2 on the one hand and, on the other hand, the scale 1 rests directly on the spacers 41, a flat rest part of the scale 1 on the carrier 2 is ensured. Stable holding of the scale 1 on the carrier 2 is ensured by the adhesive 42.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

２つの機械部分の相対的な位置の測定のために、これら機械部分の内の一方の機械部分にスケールが固定され得、および、相対して移動する機械部分の内の他方の機械部分に走査ユニットが固定され得る。位置測定の際に、スケールの測定目盛は、走査ユニットによって走査され、且つ、位置に依存する走査信号が生成される。   A scale may be fixed to one of the machine parts for measuring the relative position of the two machine parts, and scanning to the other of the machine parts moving relative to one another. The unit may be fixed. During position measurement, the measurement scale of the scale is scanned by the scanning unit and a position-dependent scanning signal is generated.

特許文献１内において、担持体に離間されて配設されているスケールを有する装置が記載されている。担持体におけるスケールの固定は、その際、平面状に分配され且つ相互に離間された粘着点を用いて行われる。   In the patent document 1 an apparatus is described which has a scale which is arranged at a distance from the carrier. The fixing of the scale on the carrier takes place here by means of adhesive points which are distributed in a plane and spaced from one another.

この構造の欠点として、特許文献１自体内において、粘着剤の収縮によって、スケールの局所的な歪みという事態になり、これら歪みが、測定誤差を、このスケールによる位置測定の際に誘起することが記載されている。   As a disadvantage of this structure, the shrinkage of the adhesive causes local distortion of the scale in Patent Document 1 itself, and these distortions induce measurement errors when measuring the position by this scale. Have been described.

米国特許出願公開第２００７／０２８１１４９ Ａ１号明細書U.S. Patent Application Publication No. 2007/0281149 A1

本発明の課題は、担持体に固定されたスケールを有する装置を提供することであり、その際、このスケールが、この担持体において、可能な限りドリフト無しに保持され、従って、このスケールによって、高い精度を有する位置測定が可能とされる。   The object of the present invention is to provide a device having a scale fixed to a carrier, wherein the scale is held as far as possible without drifting on the carrier, so that by means of this scale Position measurement with high accuracy is made possible.

この課題は、請求項１に記載された装置によって解決される。   This task is solved by the device described in claim 1.

本発明の有利な構成は、従属請求項内において記載されている。   Advantageous configurations of the invention are described in the dependent claims.

スケールは、測定作業内において、安定的に担持体に固定されており、このことは、測定方向における、並びに、測定目盛面に対して垂直方向における、高い剛性を意味する。   The scale is stably fixed to the carrier in the measuring operation, which means a high stiffness in the measuring direction as well as in the direction perpendicular to the measuring graduation surface.

本発明の実施例を、図に基づいて詳しく説明する。   Embodiments of the present invention will be described in detail based on the drawings.

担持体と、この担持体に固定されたスケールとを有する位置測定装置の、概略的な構造の断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a position measuring device having a carrier and a scale fixed to the carrier. 図１に従う、眺望ＩＩ−ＩＩの図である。FIG. 2 is a view according to FIG. 1 of view II-II. 担持体の上の、粘着点の二次元的な配設の図である。FIG. 2 is a diagram of a two-dimensional arrangement of adhesive points on a carrier.

図１から３までに基づいて、本発明の実施例を説明する。
図示された位置測定装置は、担持体２に固定された、測定目盛１１を担持するスケール１を有する装置から成っている。測定目盛１１は、例えば、インクリメンタルな目盛であり、この目盛が、位置測定の際に、少なくとも１つの測定方向Ｘにおいて、位置に依存する走査信号の生成のための走査ユニット３によって、光電子的に走査される。
測定目盛１１が、公知の方法で、高精確な、干渉的な位置測定のために利用される、振幅格子、または、位相格子であることは可能である。測定目盛１１は、この測定目盛がＸ方向およびＹ方向に目盛構造を有しているというやり方で、同様に二次元的な位置測定のためにも形成され得る。
スケール１は、位置測定のために、担持体２に間隔Ａを有して保持されている。担持体２は、有利には、スケール１と同じ熱的な膨張係数を有する材料から成っている。
平均的な熱的な膨張係数αは、スケール１および担持体２の、０℃から５０℃の温度範囲内において、有利には、ガラス、セラミック、または、いわゆるゼロ膨張（Ｎｕｌｌａｕｓｄｅｈｎｕｎｇ）を有する、ゼロデュア（ＺＥＲＯＤＵＲ）、シタール（ＳＩＴＡＬ）および、ユーエルイー（ＵＬＥ）のようなガラスセラミックの使用において、０．１×１０−６Ｋ−１よりも小さい、および、材料、例えばインバー（ＩＮＶＡＲ）の使用において、１．５×１０−６Ｋ−１よりも小さい。 An embodiment of the invention will be described on the basis of FIGS. 1 to 3.
The position measuring device shown consists of a device fixed on a carrier 2 and having a scale 1 carrying a measuring scale 11. The measuring scale 11 is, for example, an incremental scale, which is photoelectrically measured by means of the scanning unit 3 for generating position-dependent scanning signals in at least one measuring direction X during position measurement. It is scanned.
It is possible that the measuring graduation 11 is an amplitude grating or a phase grating, which is used in a known manner for highly accurate, interferometric position measurement. The measuring graduation 11 can likewise be formed for two-dimensional position measurement in a manner that this measuring graduation has graduation structures in the X and Y directions.
The scale 1 is held on the carrier 2 with a spacing A for position measurement. The carrier 2 is advantageously made of a material having the same thermal expansion coefficient as the scale 1.
The average thermal expansion coefficient α is preferably in the temperature range from 0 ° C. to 50 ° C. of scale 1 and of support 2, preferably zero glass, ceramic, or zero-dur, having a so-called zero expansion (Nulausdehnung) In the use of glass-ceramics such as (ZERODUR), SITAL and ULE (ULE) smaller than 0.1 × 10 −6 K −1 and in the use of materials such as INVAR It is smaller than 1.5 × 10 −6 K −1 .

担持体２におけるスケール１の固定は、平面状に分配され且つ相互に離間されて配設された粘着点４を介して行われる。   The fixing of the scale 1 on the carrier 2 takes place via adhesive points 4 distributed in a planar manner and spaced apart from one another.

粘着点４は、それぞれに、粘着剤４２から成り、この粘着剤内において、少なくとも３つの間隔保持体４１が封入されており、且つ、平面状に分配されている。このことは、１つの粘着点４の少なくとも３つの間隔保持体４１が、全体的に、この粘着点４の粘着剤４２の容積内において、封入、もしくは、取り囲まれていることを意味する。   The adhesion points 4 each consist of an adhesive 42, in which at least three spacing members 41 are enclosed and distributed in a planar manner. This means that at least three spacing members 41 of one sticky point 4 are totally enclosed or surrounded within the volume of the adhesive 42 of the sticky point 4.

１つの粘着点４のこれら間隔保持体４１の質量割合は、ほぼ１から１０％までの値である。この質量割合が、粘着点４の全質量における、間隔保持体４１の混合物成分の質量の相対的な割合を示し、その際、この全質量は、それぞれの粘着点４の粘着剤４２の質量と、粘着点４の全ての間隔保持体４１の質量をプラスした質量である。   The mass proportion of these spacing members 41 of one adhesive point 4 is approximately 1 to 10%. This mass ratio indicates the relative proportion of the mass of the mixture component of the spacer 41 in the total mass of the adhesion point 4, where the total mass is the mass of the adhesive 42 of each adhesion point 4 and And the mass of all the spacing members 41 of the adhesion point 4 are added.

これら間隔保持体４１は、理想的に、正確に、要求される間隔Ａに相応する高さを有している。間隔保持体４１の寸法許容差は、公称寸法（Ｎｅｎｎｍａｓｓ）の１０％よりも小さく、その際、この公称寸法が、所望された間隔Ａである。   These spacing members 41 ideally have a height which exactly corresponds to the required spacing A. The dimensional tolerance of the spacer 41 is less than 10% of the nominal dimension (Nennamass), where the nominal dimension is the desired interval A.

間隔保持体４１は、種々の様式が可能であり、担持体２、及び／または、スケール１内において形成された、隆起した立体構造であることは可能であり、または、担持体２またはスケール１の上に載置された立体構造、または、載置された個別部材であることは可能である。   The spacer 41 can be in various ways and can be a raised steric structure formed in the support 2 and / or the scale 1 or the support 2 or the scale 1 It can be a three-dimensional structure placed on top of or a separate piece placed.

間隔保持体４１が、個別部材であり、従って、これら個別部材が、既に、担持体２または１の上での載置の際に粘着剤４２内において結合されている場合、有利である。担持体２とスケール１との組み合わせの際に、これら個別部材は、担持体２とスケール１との組み合わせられた状態において、
これら個別部材が、一方の側で、担持体２に載置しており、且つ、他方の側で、スケール１が、これら個別部材の上に載置しているように整向されている。 It is advantageous if the spacing body 41 is a separate piece, so that these separate pieces are already bonded in the adhesive 42 on mounting on the carrier 2 or 1. When the carrier 2 and the scale 1 are combined, these individual members in the combined state of the carrier 2 and the scale 1
The individual members are mounted on one side on the carrier 2 and on the other side the scale 1 is oriented such that it is mounted on these individual members.

個別部材は、有利には、粘着剤４２内において結合された球体または円筒体であり、および、これら個別部材の材料が、有利には、ガラス、セラミック、または、ガラスセラミックである。   The individual members are advantageously spheres or cylinders bound in an adhesive 42, and the material of these individual members is preferably glass, ceramic or glass ceramic.

以下で詳細に説明される実施例において、間隔保持体４１は球体である。   In the embodiment described in detail below, the spacer 41 is a sphere.

粘着点４のそれぞれは、球体の様式の少なくとも３つの間隔保持体４１を備えており、これら間隔保持体が、粘着剤４２内において埋設されており、且つ、この粘着点４内において平面状に分配されている。理想的に、粘着点４のそれぞれは、同じ数の間隔保持体４１を備えている。
スケール１は、球形の間隔保持体４１によって、この間隔保持体が、一方の側で担持体２に載置し、且つ、他方の側でスケール１が、個別部材の上に載置しているというやり方で、下から支持されている。球形の間隔保持体４１は、一方の側で、スケール１に、このスケールの下側面−即ち載置面で−、それぞれに点形状に接触し、且つ、他方の側で、これら球形の間隔保持体が、担持体２に、前記スケール１に向かい合って位置するこの担持体の上側面で、同様に点形状に接触している。このことによって、スケール１の平坦性が、他の媒体によって、不利な影響を及ぼされないことは保証されている。
粘着剤４２は、複数の間隔保持体４１を、それぞれの粘着点４の容積の内で、位置固定式に固定すること、および、担持体２とスケール１との間の保持力を発生させ、且つ、維持することの目的を有している。 Each of the adhesive points 4 comprises at least three spacing members 41 in the form of spheres, which are embedded in the adhesive 42 and are planar in this adhesive point 4. It is distributed. Ideally, each of the adhesive points 4 is provided with the same number of spacing supports 41.
The scale 1 is mounted on the carrier 2 on one side by means of a spherical spacer 41 and on the other side the scale 1 is mounted on an individual member It is supported from the bottom in the way. A spherical spacer 41 contacts the scale 1 on one side, the lower side of the scale on the scale-ie on the mounting surface, point-shaped respectively, and on the other side these spherical spacers A body is likewise in contact with the carrier 2 on the upper side of this carrier, which is situated opposite the scale 1, in a point-like fashion. This ensures that the flatness of the scale 1 is not adversely affected by other media.
The adhesive 42 fixes the plurality of spacer members 41 in a fixed position within the volume of each adhesive point 4 and generates a holding force between the carrier 2 and the scale 1, And it has the purpose of maintaining.

間隔保持体４１は、発生する押圧力を可能な限り変形無しに耐える材料から成っている。適当な材料は、例えば、ガラス、セラミック、または、ガラスセラミックである。例えば、ホウケイ酸ガラス（Ｂｏｒｏｓｉｌｉｋａｔｇｌａｓ）が、有用であることが実証された。有利な方法において、間隔保持体４１は、スケール１と同じ、または、少なくともほぼ同じ膨張係数を有する材料から成っている。   The spacer 41 is made of a material that withstands the generated pressure without distortion as much as possible. Suitable materials are, for example, glass, ceramic or glass ceramic. For example, borosilicate glass (Borosilikatglas) has proven useful. In an advantageous manner, the spacer 41 consists of a material having the same or at least approximately the same expansion coefficient as the scale 1.

これら粘着点４は、相互の中心間隔ｄを有して配設されており、この中心間隔が、スケール１の厚さＢの５倍よりも小さい。更に、粘着点４の直径Ｄが、それぞれに、スケール１の厚さＢよりも小さい場合、有利である。これら条件は、粘着点４の二次元的な分配のそれぞれの位置において、少なくとも、しかしながら、測定領域の内側で満たされている。
この測定領域は、測定目盛１１の領域によって規定されており、この領域が、高精確な位置測定のために利用される。スケール１の厚さＢは、その測定目盛面内において測定目盛１１が位置する測定目盛面Ｅと、スケール１が間隔保持体４１の上で支持される載置面との間の間隔である。 These adhesive points 4 are arranged with a mutual center distance d, which is smaller than five times the thickness B of the scale 1. Furthermore, it is advantageous if the diameter D of the sticking points 4 is smaller than the thickness B of the scale 1 respectively. These conditions are satisfied at least at each position of the two-dimensional distribution of the sticky point 4, however, inside the measuring area.
This measurement area is defined by the area of the measurement scale 11, which area is used for highly accurate position measurement. The thickness B of the scale 1 is the distance between the measuring graduation surface E in which the measuring graduation 11 is located in the measurement graduation plane and the mounting surface on which the scale 1 is supported on the spacer 41.

図１の横断面図内において見て取れるように、二次元的に分配されて配設されている粘着点４が、スケール１の、測定領域を規定する測定目盛１１に、直接的に向かい合って位置して配設されている場合、特に有利である。   As can be seen in the cross-sectional view of FIG. 1, the two-dimensionally distributed adhesive points 4 are situated directly opposite the measuring scale 11 of the scale 1 which defines the measuring area. It is particularly advantageous if they are arranged.

粘着点４の二次元的な配設は、有利な方法において、これら粘着点の間に、自由空間が生成するように行われ、これら自由空間が、互いに結合状態にあり、且つ、これに伴って外方へと案内する通路を形成する。この目的のために、これら粘着点４は、相互の中心間隔ｄにおいて配設されており、この中心間隔が、粘着点の直径Ｄよりも大きい。
この構成によって、空気は、スケール１の全面にわたって、通路を介して、均一に外方へと、周囲環境内に放出され得、このことは、スケール１の良好な平坦性を、組み付けの際に、および、同様に測定作業の間じゅう保障する。 The two-dimensional arrangement of the adhesion points 4 is advantageously carried out in such a way that a free space is created between these adhesion points, these free spaces being in connection with one another and concomitantly To form a passage for guiding outward. For this purpose, these adhesive points 4 are arranged at a center distance d from one another, which is greater than the diameter D of the adhesive points.
With this configuration, air can be discharged uniformly throughout the entire surface of the scale 1 through the passage, into the surrounding environment, which ensures good flatness of the scale 1 during assembly. And also ensure throughout the measurement work as well.

粘着点４の相互に離間された配設は、更に、担持体２とスケール１との間の間隔Ａに影響を及ぼすこと無しに、粘着剤４２の硬化のためおよび同様に後の劣化のためにも十分な容積が使用されることの利点を有している。   The mutually spaced arrangement of the adhesion points 4 additionally does not affect the spacing A between the carrier 2 and the scale 1, for the curing of the adhesive 42 and also for the later deterioration. There is also the advantage that a sufficient volume is used.

スケール１の厚さＢに関する典型的な値は、０．５ｍｍから１５ｍｍまでである。   Typical values for thickness B of scale 1 are from 0.5 mm to 15 mm.

球形の間隔保持体４１、または、同様に円筒形の間隔保持体も、担持体２とスケール１との間の間隔Ａに相応する直径を有している。間隔Ａに関する典型的な大きさ、および、これに伴って、間隔保持体４１の直径は、５μｍと２５０μｍとの間である。   A spherical spacer 41, or likewise a cylindrical spacer, also has a diameter corresponding to the distance A between the carrier 2 and the scale 1. Typical sizes for the spacing A, and correspondingly, the diameter of the spacing body 41 is between 5 μm and 250 μm.

粘着点４が、それぞれに円形の外側輪郭を有しており、且つ、同じ直径Ｄによって形成されている場合、特に有利である。粘着点４の直径Ｄは、有利には、スケール１の厚さよりも小さい。   It is particularly advantageous if the adhesion points 4 each have a circular outer contour and are formed by the same diameter D. The diameter D of the sticking point 4 is advantageously smaller than the thickness of the scale 1.

粘着点４の直径Ｄに関する典型的な値は、１ｍｍから３ｍｍまでの範囲内にある。   Typical values for the diameter D of the sticking point 4 are in the range from 1 mm to 3 mm.

粘着点４の中心間隔ｄに関する典型的な値は、８ｍｍの範囲内にある。 Typical values for the center spacing d of the sticky point 4 are in the range of 8 mm.

図２および３内において、粘着点４の特に有利な配設が図示されている。
これら粘着点は、その際、規則的な格子内において配設されており、この格子において、全ての相対して離間された粘着点４の相互の中心間隔ｄが同じである。このことは、二次元的に相並んで配置されたそれぞれに３つの粘着点４の中心間隔ｄが、等辺三角形を画定し、これら三角形の内の１つの三角形が、図２および図３内において描かれていることを意味する。粘着点４のこの二次元的に対称的な分配から、対称的な、且つ、これに伴って特に有利な、機械的な応力の分配も結果として生じる。
粘着点４の外側輪郭は、その際、理想的に、円形である。 In FIGS. 2 and 3 a particularly advantageous arrangement of adhesion points 4 is illustrated.
These adhesive points are in that case arranged in a regular grid in which the mutual center distance d of all the relatively spaced adhesive points 4 is the same. This means that the center spacing d of the three adhesive points 4 arranged two-dimensionally next to one another defines an equilateral triangle, and one triangle of these triangles is shown in FIGS. 2 and 3. It means being drawn. This two-dimensionally symmetrical distribution of the adhesion points 4 also results in a symmetrical and particularly advantageous distribution of mechanical stresses.
The outer contour of the adhesive point 4 is then ideally circular.

この規則的な格子もしくは面パターンは、複数の行における、粘着点４の同じに離間された並列によって達成され、その際、並列する２つの行の、第２の行の粘着点４が、第１の行の粘着点４に対して、行方向に、半分の中心間隔ｄだけ、位置ずれされて配設されている。   This regular grid or surface pattern is achieved by the same spaced parallel arrangement of the adhesion points 4 in a plurality of rows, wherein the adhesion points 4 of the second row of two adjacent rows are The adhesive points 4 in one row are misaligned in the row direction by a half center distance d.

この構成によって、測定目盛１１の面Ｅに対して平行に位置する１つの面内において、粘着点４の分配は、１つの粘着点４の周りに配設されている、最も近くに位置する６つの粘着点４が、一方では、同じ中心間隔ｄを、中心に位置する粘着点４に対して有しており、且つ、他方では、これら６つの粘着点４の中心の結合が、全ての６つの辺が長さｄを有している等辺六角形を形成するように与えられる。   By means of this configuration, the distribution of adhesive points 4 in one plane parallel to the plane E of the measuring graduation 11 is arranged around the one adhesive point 4, which is the closest one 6 One sticky point 4 has on the one hand the same center spacing d with the centrally located sticky point 4 and on the other hand the bond of the centers of these six sticky points 4 is all 6 Two sides are given to form an equilateral hexagon having a length d.

粘着点４の形成のための方法は、以下の方法のステップ：即ち、
１．粘着剤４２内へと、間隔保持体４１−例示的に、特に球体の様式の個別部材−を混入すること、その際、これら個別部材が、混合物内において、可能な限り均一に分配されているべきである。
２．担持体２またはスケール１の上へと、粘着剤４２および混入された個別部材を含む、不連続な粘着点滴の規則的なパターンを載置すること。
全ての粘着点４に関して、可能な限り同じ特性を達成するために、混合物の載置されるべき量は、全ての粘着点滴に関して可能な限り一定であることは留意されるべきである。
３．個別部材が、その際に発生する面圧力によって、間隔保持体４１の機能を達成するまで、担持体２とスケール１とを組み付けること。
その際、粘着点４の円形が与えられ、および、粘着剤４２の量および間隔保持体４１の直径に依存して、同様に粘着点４の所望された直径Ｄも与えられる。
４．光硬化（ＵＶ−光）及び／または熱硬化で、粘着剤４２を硬化すること、
の方法のステップを備えている。 The method for the formation of the sticky point 4 comprises the steps of the following method:
1. Inclusion of spacers 41-illustratively, in particular individual members in the form of spheres, into the adhesive 42, wherein the individual members are distributed as uniformly as possible in the mixture It should.
2. Placing on the carrier 2 or scale 1 a regular pattern of discontinuous adhesive drops, comprising an adhesive 42 and incorporated individual parts.
It should be noted that for all tack points 4 the amount to be placed of the mixture is as constant as possible for all tack drops in order to achieve the same properties as possible.
3. Assemble the carrier 2 and the scale 1 until the individual members achieve the function of the spacer 41 by the surface pressure generated at that time.
In this case, the circular shape of the sticky point 4 is given, and depending on the amount of the adhesive 42 and the diameter of the spacer 41, the desired diameter D of the sticky point 4 is likewise given.
4. Curing the adhesive 42 with light curing (UV-light) and / or heat curing,
With the steps of the method.

図３は、例示的に、ｄ＝８ｍｍ、および、ほぼ１０ｃｍ×１０ｃｍの担持体２の寸法の仮定でもっての、全担持体２の上での、粘着点４の、規則的な、平面状の分配を示している。   FIG. 3 exemplarily shows a regular, planar shape of the adhesion points 4 on the entire carrier 2 with the assumption of a dimension of the carrier 2 of d = 8 mm and approximately 10 cm × 10 cm. Shows the distribution of

インクリメンタルな測定目盛１１に対して代わりにまたは付加的に、同様にアブソリュートのコーディングが、スケール１の上で設けられていることも可能である。   Alternatively or additionally to the incremental measuring graduation 11, an absolute coding can likewise be provided on the scale 1.

本発明に従う構成により、スケール１の固定によって導入される、全ての引張応力および圧縮応力が、測定目盛面Ｅ内において、長さ誤差として影響を及ぼさないことは保証されている。本発明に従い構成された配設によって、変形の無い測定目盛面Ｅが達成可能であり、この測定目盛面が、正確な位置測定を可能にする。
測定目盛１１に直接的に、向かい合って位置する下からの支持によって、スケール１は、測定作業内において、安定的に担持体２において固定されており、このことは、測定方向Ｘにおける、並びに、測定目盛面Ｅに対して垂直方向における、高い剛性を意味する。 By means of the arrangement according to the invention, it is ensured that all tensile and compressive stresses introduced by the fixation of the scale 1 do not influence as a length error in the measuring graduation plane E. By means of the arrangement configured in accordance with the invention, a deformation-free measuring graduation surface E can be achieved, which enables accurate position measurement.
The scale 1 is stably fixed on the carrier 2 in the measuring operation by means of the lower support positioned directly on the measuring scale 11, which in the measuring direction X, as well as This means high rigidity in the direction perpendicular to the measuring graduation surface E.

１ スケール
２ 担持体
３ 走査ユニット
４ 粘着点
１１ 測定目盛
４１ 間隔保持体
４２ 粘着剤
ｄ 中心間隔
Ａ 間隔
Ｂ スケール１の厚さ
Ｄ 粘着点４の直径
Ｅ 測定目盛面
Ｘ 方向、測定方向
Ｙ 方向 Reference Signs List 1 scale 2 carrier 3 scanning unit 4 adhesive point 11 measurement scale 41 adhesive agent 42 adhesive d center distance A interval B scale 1 thickness D adhesive point 4 diameter E measurement scale surface X direction, measurement direction Y direction

Claims (14)

担持体（２）に離間されて配設されているスケール（１）を有する装置であって、
前記スケール（１）が、測定目盛（１１）を有しており、且つ、平面状に分配され且つ相互に離間されて配設されている粘着点（４）を介して、前記担持体（２）に固定されている様式の上記装置において、
これら粘着点（４）が、それぞれに、粘着剤（４２）内において封入された少なくとも３つの間隔保持体（４１）を備えていることを特徴とする装置。 A device comprising a scale (1) arranged spaced apart on a carrier (2),
The carrier (2) is provided with adhesive points (4) which have a measuring scale (11) and are distributed in a plane and spaced from one another. In the above device fixed to
A device characterized in that these adhesive points (4) are each provided with at least three spacing elements (41) enclosed in an adhesive (42). 前記粘着点（４）は、それぞれに３つの相並んで配置された前記粘着点（４）の中心間隔（ｄ）が、等辺三角形を画定するように、同じ相互の前記中心間隔（ｄ）を有して配設されていることを特徴とする請求項１に記載の装置。   The adhesion points (4) have the same mutual distance (d) from one another such that the separation (d) of the adhesion points (4) arranged in series in each other defines an equilateral triangle. The device according to claim 1, characterized in that it is arranged. １つの前記粘着点（４）の前記間隔保持体（４１）の質量割合は、１から１０％までの値であることを特徴とする請求項１または２に記載の装置。   Device according to claim 1 or 2, characterized in that the mass fraction of the spacing body (41) of one of the adhesion points (4) is a value from 1 to 10%. 前記粘着点（４）は、それぞれに、円形に形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一つに記載の装置。   Device according to any one of the preceding claims, characterized in that the adhesive points (4) are each formed circular. 全ての前記粘着点（４）は、同じ直径（Ｄ）を有しており、且つ、前記粘着点（４）の前記直径（Ｄ）が、前記スケール（１）の厚さ（Ｂ）よりも小さいことを特徴とする請求項４に記載の装置。   All the sticky points (4) have the same diameter (D), and the diameter (D) of the sticky points (4) is greater than the thickness (B) of the scale (1) 5. Device according to claim 4, characterized in that it is small. 前記粘着点（４）の前記直径（Ｄ）は、１ｍｍから３ｍｍまでの値であることを特徴とする請求項４または５に記載の装置。   Device according to claim 4 or 5, characterized in that the diameter (D) of the adhesion point (4) is a value from 1 mm to 3 mm. 前記粘着点（４）は、相互の中心間隔（ｄ）において配設されており、この中心間隔が、前記スケール（１）の前記厚さ（Ｂ）の５倍よりも小さいことを特徴とする請求項１から６のいずれか一つに記載の装置。   The adhesion points (4) are disposed at a mutual center distance (d), and the center distance is smaller than five times the thickness (B) of the scale (1). A device according to any one of the preceding claims. 前記粘着点（４）は、前記スケール（１）の、測定領域を規定する前記測定目盛（１１）に向かい合って位置して配設されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一つに記載の装置。   The adhesive point (4) is arranged opposite to the measurement scale (11) defining the measurement area of the scale (1). The device described in one. 前記粘着点（４）は、これら粘着点が、外方へと案内する通路を形成する、相互の自由空間を有しているように、相互に離間されて配設されていることを特徴とする請求項１から８のいずれか一つに記載の装置。   The adhesive points (4) are characterized in that they are arranged mutually spaced apart so as to have free space from one another forming a channel for guiding outwards. A device according to any one of the preceding claims. 前記担持体（２）と前記スケール（１）との材料は、同じ熱的な膨張係数を有していることを特徴とする請求項１から９のいずれか一つに記載の装置。   A device according to any one of the preceding claims, characterized in that the material of the carrier (2) and the scale (1) have the same thermal expansion coefficient. 前記担持体（２）と前記スケール（１）のと前記膨張係数は、１．５×１０−６Ｋ−１よりも小さい、有利には、０．１×１０−６Ｋ−１よりも小さいことを特徴とする請求項１０に記載の装置。 The support (2) and the scale (1) and the expansion coefficient are less than 1.5 × 10 −6 K −1 , preferably less than 0.1 × 10 −6 K −1 The apparatus according to claim 10, characterized in that. 前記間隔保持体（４１）は、粘着剤（４２）内において結合された個別部材であり、および、これら個別部材が、一方の側で、前記担持体（２）に載置しており、且つ、他方の側で、前記スケール（１）がこれら個別部材の上に載置していることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一つに記載の装置。   The spacing member (41) is an individual member joined within the adhesive (42), and these individual members are mounted on the carrier (2) on one side, and 12. Device according to any one of the preceding claims, characterized in that on the other side the scale (1) is mounted on these individual members. 前記個別部材の材料は、ガラス、セラミック、または、ガラスセラミックであることを特徴とする請求項１から１２のいずれか一つに記載の装置。   The device according to any one of claims 1 to 12, wherein the material of the individual members is glass, ceramic or glass ceramic. 前記個別部材の材料は、球体であることを特徴とする請求項１２または１３に記載の装置。   14. A device according to claim 12 or 13, wherein the material of the individual members is a sphere.
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